CN114632751B - 清洗*** - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种清洗***，涉及半导体领域。一种清洗***，包括清洗装置和花篮；清洗装置包括装置本体、支撑组件和清洁组件；所述装置本体具有工艺腔体；所述支撑组件包括设于工艺腔体内的支撑架，所述花篮设置于所述支撑架；所述清洁组件包括喷臂，所述喷臂设置于所述工艺腔体内，并与所述花篮对应设置，所述喷臂用于向所述花篮喷射清洗介质或干燥介质。本申请至少能够解决自动清洗整个过程中传送花篮而导致清洗效率低的问题。
Description
技术领域
本申请属于半导体装备技术领域，具体涉及一种清洗***。
背景技术
在半导体晶圆制造工艺中，需要采用片篮对晶圆进行承载，以便于对晶圆进行工艺。在对晶圆进行工艺的过程中，片篮与晶圆直接接触，片篮的洁净度直接影响晶圆的良率，因此，在晶圆制造工艺中，对片篮洁净度的要求较高，由此，需要对片篮进行清洗，以保证其洁净度。在片篮清洗装置中，为了提高产能，片篮通常使用花篮承载，一次可以清洗多个片篮。
当前，片篮的清洗方式分为手动清洗和自动清洗。其中，手动清洗是人工将装有片篮的花篮放入清洗槽内浸泡式清洗，清洗步骤完成后，人工将装有片篮的花篮放入干燥槽内进行干燥步骤。
自动清洗则是将装有片篮的花篮放入上下料工位处，并通过传送机构将其传送至清洗工位，以对其进行清洗；待清洗步骤完成后，传送机构将装有片篮的花篮传送至干燥工位，以对其进行干燥；待干燥步骤完成后，传送机构将装有片篮的花篮传送回上下料工位。
然而，上述手动清洗方式清洗效率低、人工提篮容易引入杂质，影响晶圆的良率，且人员工作强度较大；上述自动清洗方式在整个过程中，均需要传送机构进行传送，增加了清洗时间，造成清洗效率低、产能低等问题。
发明内容
本申请实施例的目的是提供一种清洗***，至少能够解决自动清洗整个过程中传送花篮而导致清洗效率低的问题。
为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：
本申请实施例提供了一种清洗***，用于清洗承载晶圆的片篮，该清洗***包括：清洗装置以及与清洗装置配合使用的花篮；
所述清洗装置包括装置本体、支撑组件和清洁组件；
所述装置本体具有工艺腔体；
所述支撑组件包括设置于工艺腔体内的支撑架，所述花篮设置于所述支撑架；
所述清洁组件包括喷臂，所述喷臂设置于所述工艺腔体内，并与所述花篮对应设置，所述喷臂用于向所述花篮喷射清洗介质或干燥介质。
本申请实施例中，通过支撑组件可以使待清洗的片篮处于工艺腔体内，从而可以为清洗片篮提供清洗空间和清洗环境；通过清洁组件可以对片篮进行清洗，从而去除片篮上的杂质，使片篮保持洁净，避免片篮上的杂质影响晶圆的良率，并且，通过清洁组件还可以对片篮进行干燥。
基于上述设置，本申请实施例通过清洗***可以实现对片篮的自动清洗，无需人工搬运装有片篮的花篮，从而避免了人工提篮引入杂质的风险，保证了晶圆的良率，并且降低了人工作业强度；与此同时，整个清洗工艺(包括清洗步骤和干燥步骤)位于工艺腔体中，通过喷臂向花篮喷射清洗介质或干燥介质，从而可以在工艺腔体内实现清洗步骤和干燥步骤的切换，使整个清洗工艺过程无需人工提篮或通过传送机构传输片篮，进而减少了清洗工艺时间，提高了清洗效率和产能。
附图说明
图1为相关技术中的手动清洗装置的结构示意图；
图2为本申请实施例公开的清洗***的结构示意图；
图3为本申请实施例公开的清洗***的剖面示意图；
图4为本申请实施例公开的支撑架的局部结构示意图；
图5为本申请实施例公开的装有片篮的花篮的结构示意图；
图6为本申请实施例公开的花篮的剖面示意图。
附图标记说明：
01-清洗槽；02-干燥槽；03-片篮；04-花篮；
100-清洗装置；
110-装置本体；111-工艺腔体；112-储液腔体；113-台面板；1131-通孔；
120-支撑组件；121-支撑架；1211-容纳区域；1212-第一围栏；1213-第二围栏；122-支撑轴；123-驱动部件；
130-清洁组件；131-喷臂；132-输送管路；133-喷头；
200-花篮；210-框架；211-开口；212-长孔或长槽；220-支撑件；230-压紧件；240-锁紧件；250-龙骨；
300-片篮。
具体实施方式
下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。
相关技术中公开了一种手动片篮清洗装置，如图1所示，该手动片篮清洗装置包括清洗槽01和干燥槽02，在清洗步骤中，人工将装有片篮03的花篮04放置于清洗槽01中浸泡；待清洗步骤完成后，人工提篮并移动至干燥槽02中进行干燥；干燥步骤完成后，人工将装有片篮03的花篮04移出干燥槽02，并放置到预设位置。然而，上述方式存在人工的参与，增加了人工劳动强度，且清洗效率较低；另外，人工提篮容易引入杂质，影响晶圆的良率。
为了解决上述问题，本申请实施例提供了一种清洗***，用于清洗承载晶圆的片篮，通过对片篮的清洗，可以保证片篮的洁净度，从而可以有效避免片篮上的杂质污染晶圆而影响晶圆良品率。
参考图2至图6，所公开的清洗***包括清洗装置100和花篮200，其中，清洗装置100用于清洗片篮300，花篮200用于承载片篮300，且花篮200与清洗装置100配合使用。可选地，花篮200可拆卸地设置于清洗装置100。此处需要说明的是，上述片篮300也可以理解为片盒(Cassete)，其主要用于承载晶圆。
清洗装置100包括装置本体110、支撑组件120和清洁组件130。其中，装置本体110为基础安装构件，其可以为其他构件提供安装、支撑基础。为了实现对片篮300的清洗，装置本体110具有工艺腔体111，在进行清洗工艺时，片篮300位于工艺腔体111内，以使片篮300能够在工艺腔体111内被清洗干净。可选地，装置本体110可以为壳体，如，呈立方体形状的壳体，壳体的内部用于为清洗片篮300提供清洗环境和清洗空间。当然，装置本体110还可以为其他形状的结构，本申请实施例中对于装置本体110的具体形式不作限制。
支撑组件120用于对片篮300进行安装和支撑，以保证片篮300能够处于工艺腔体111内。为了实现对片篮300的安装和支撑，如图3所示，支撑组件120包括支撑架121，支撑架121设置于工艺腔体111内，花篮200设置于支撑架121。其中，花篮200用于放置片篮300，花篮200设置于支撑架121，以通过支撑架121安装和支撑花篮200。可选地，花篮200可拆卸地设置于支撑架121，以使花篮200可以从支撑架121拆下或安装至支撑架121，从而可以便于放置承载晶圆的片篮200。
可选地，支撑架121可以安装一个花篮200，还可以安装多个花篮200，花篮200的具体数量不受限制；另外，花篮200可以装有一个片篮300，还可以装有多个片篮300，片篮300的具体数量不受限制。为了提高清洗效率，可以在花篮200上放置多个片篮300，并在支撑架121上安装多个花篮200，从而可以一次性清洗多个片篮300，进而可以提高清洗效率和产能。
清洁组件130用于对片篮300进行清洗处理，以清除片篮300表面的杂质，从而保证片篮300的洁净度。如图3所示，清洁组件130可以包括喷臂131，喷臂131设置于工艺腔体111内，并与花篮200对应设置。基于此，可以通过喷臂131向安装于花篮200的片篮300喷射清洗介质或干燥介质，以实现对片篮300的清洗或干燥。可选地，清洗介质可以为清洗液，干燥介质可以为干燥气体。另外，上述对应设置指的是，喷臂131和花篮200处在能够使喷臂131喷出的清洗介质或干燥介质喷到花篮200及片篮300的位置。
本申请实施例中，通过支撑组件120可以使待清洗的片篮300处于工艺腔体111内，从而可以为清洗片篮300提供清洗空间和清洗环境；通过清洁组件130可以对片篮300进行整个清洗工艺(包括清洗步骤和干燥步骤)，以去除片篮300上的杂质并干燥，使片篮300保持洁净，避免片篮300上的杂质影响晶圆的良率。
基于上述设置，本申请实施例通过清洗***可以实现对片篮300的自动清洗，无需人工搬运装有片篮300的花篮200，从而避免了人工提篮引入杂质的风险，保证了晶圆的良率，并且降低了人工劳动强度；与此同时，整个清洗工艺(包括清洗步骤和干燥步骤)位于工艺腔体111内，并通过喷臂131向花篮喷射清洗介质或干燥介质，从而在工艺腔体111内实现清洗步骤和干燥步骤的切换，使整个清洗工艺过程无需人工提篮或通过传送机构传输片篮300，从而减少了工艺时间，提高了清洗效率和产能。
为了进一步提高清洗效率，还可以对片篮300实施旋转清洗，以扩大清洗区域，从而提高清洗效率。如图3所示，支撑组件120可以包括支撑轴122和驱动部件123，其中，支撑轴122与驱动部件123传动连接，通过驱动部件123可以驱动支撑轴122旋转。为了使支撑轴122可以旋转，可以将支撑轴122与装置本体110转动连接，以使支撑轴122相对于装置本体110可旋转，与此同时，通过装置本体110还可以对支撑轴122进行安装。
为了实现对片篮300的旋转清洗，将支撑轴122的至少部分延伸至工艺腔体111内，且支撑架121设置于支撑轴122。考虑到片篮300放置于花篮200，花篮200设置于支撑架121，而支撑架121设置于支撑轴122。如此，在驱动部件123的驱动作用下，支撑轴122可带动支撑架121旋转，并通过支撑架121带动花篮200旋转，通过花篮200带动片篮300旋转，最终实现对片篮300的旋转清洗。
可选地，驱动部件123可以包括驱动件，驱动件可以与支撑轴122传动连接，如，驱动件可以为电机或马达，此时驱动件的输出轴与支撑轴122之间可以通过联轴器连接。
当然，还可以在驱动部件123与支撑轴122之间连接传动部件，通过传动部件实现驱动部件123与支撑轴122的传动连接。其中，传动部件可以是齿轮组、链轮及链条组、皮带及带轮组、蜗轮及蜗杆组等。通过设置传动部件，可以起到减速作用，从而可以降低片篮300的旋转速度，在一定程度上可以保证清洗效果。可选地，片篮300的旋转速度不超过30r/min，包括5r/min、10r/min、20r/min、30r/min等，具体可根据实际工况而选定。
另外，可以在装置本体110的顶壁处设置轴承，在底壁处设置安装孔，并在安装孔处设置轴承，将支撑轴122的一端穿入装置本体110的工艺腔体111，并与顶壁处的轴承连接，支撑轴122的另一端与装置本体110底部的轴承连接，且另一端伸出至工艺腔体111的外部，以便于与位于装置本体110底部的驱动部件123传动连接。
为了将支撑架121设置于支撑轴122，可以在支撑架121的中间区域设置安装套，在安装时，将安装套套设在支撑轴122上，实现传动连接。具体为，可以在安装套与支撑轴122之间设置传动键，以通过传动键将支撑轴122的动力和运动传递至支撑架121，并由支撑架121传递至花篮200，最终通过花篮200带动片篮300围绕支撑轴122的轴线旋转，以实现旋转清洗。当然，还可以直接将支撑架121的中心区域固定于支撑轴122的外壁，如，通过焊接、螺接、铆接等方式实现固定。
如图3和图4所示，一些实施例中，支撑架121可以具有多个容纳区域1211，多个容纳区域1211围绕支撑轴122分布在支撑轴122的周围，且每个容纳区域1211分别设置花篮200。基于此，可以通过多个容纳区域1211在支撑架121上安装多个花篮200，从而可以对多个花篮200所装有的片篮300进行清洗。
此处需要说明的是，在清洗过程中，可以通过支撑轴122和支撑架121带动多个花篮200旋转，以便于同时对多个花篮200所装有的片篮300进行旋转清洗。当然，在清洗过程中，还可以首先针对某一个花篮200所装有的片篮300进行清洗，而后通过支撑轴122和支撑架121旋转，并将下一个花篮200旋转至与清洁组件130相对应的位置，如此，可以顺次清洗每一个花篮200装有的片篮300。
如图4所示，为实现对花篮200的安装，支撑架121可以包括第一围栏1212和第二围栏1213，其中，第一围栏1212与第二围栏1213沿支撑轴122的轴向间隔设置，两者间隔的距离可以根据花篮200的尺寸而选定。由此，通过第一围栏1212和第二围栏1213，可以围设成容纳区域1211，以便于对花篮200进行安装。
在安装花篮200时，第一围栏1212用于支撑花篮200的底部，第二围栏1213用于限位花篮200的侧部。基于此，可以通过第一围栏1212对花篮200起到支撑作用，以防止花篮200掉落；通过第二围栏1213可以对花篮200起到限位作用，以防止旋转的花篮200在离心力作用下脱离支撑架121。如此，通过第一围栏1212和第二围栏1213可以实现对花篮200的安装，并提高了花篮200的安装稳定性，防止花篮200脱离支撑架121。
可选地，如图4所示，第一围栏1212可以包括第一环形梁和多个支撑弯梁，其中，多个支撑弯梁各自的内侧端分别与支撑轴122连接，各自的外侧端分别与第一环形梁连接。如此，通过多个支撑弯梁可以对花篮200起到支撑作用。
如图4所示，第二围栏1213可以包括第二环形梁、左上弯梁、右上弯梁、左下弯梁和右下弯梁，其中，第二环形梁环绕设置在支撑轴122的外侧，左上弯梁、右上弯梁、左下弯梁和右下弯梁各自的内侧端分别与支撑轴122连接，各自的外侧端分别与第二环形梁连接，且左上弯梁与左下弯梁上下对应设置，右上弯梁和右下弯梁上下对应设置，左上弯梁与右上弯梁左右间隔设置，左下弯梁与右下弯梁左右间隔设置。基于此，通过左上弯梁和左下弯梁分别对花篮200的左侧壁进行限位，通过右上弯梁和右下弯梁分别对花篮200的右侧壁进行限位，从而保证了花篮200不会沿第二围栏1213的周向移动。
为保证第二围栏1213的稳定性，还可以使左上弯梁与右上弯梁之间通过连接梁实现连接，以加强左上弯梁和右上弯梁的承载能力，进而提高第二围栏1213的整体强度和稳定性。
考虑到花篮200倾斜时其内不容易出现积液现象，且其装有的片篮300上也不易积液，可以使第一围栏1212的外侧低于内侧，从而可以使设置于支撑架121的花篮200以及放置于花篮200的片篮300呈内侧高，外侧低，以便于清洗介质由内侧向外侧流动，从而可以缓解花篮200及片篮300积存清洗介质的问题。
基于此，本申请实施例中，沿支撑轴122的径向且背离支撑轴122的方向，第一围栏1212朝向背离第二围栏1213的方向倾斜设置，从而可以缓解花篮200及片篮300积液。一些实施例中，支撑弯梁可以呈L形结构，L形结构的长边用于支撑花篮200的底部，L形结构的短边连接长边与第一环形梁，从而可以使L形结构的长边由内向外逐渐向下倾斜，进而可以使花篮200及片篮300倾斜。另外，支撑弯梁在靠近第一环形梁的区域向下凹陷，从而可以使花篮200的侧壁受到第一环形梁的限位作用，以防止花篮200旋转时被甩出。
为了通过花篮200放置片篮300，如图5所示，花篮200可以包括框架210、支撑件220和压紧件230。其中，多个支撑件220间隔设置于框架210的底部，用于支撑片篮300，压紧件230设置于框架210的顶部，用于压紧片篮300，框架210、支撑件220和压紧件230围成用于容纳片篮300的容纳空间。
为了减小框架210对清洗介质或干燥介质的阻挡，以及为了固定片篮300，一些实施例中，可以在框架210的侧面设置开口211，且框架210设置用于限制片篮300的龙骨250。如此，在放置片篮300时，可以将片篮300放置于框架210的内侧，并使片篮300的边缘与龙骨250配合，以通过龙骨250对片篮300进行限位。通过设置开口211，可以使清洗介质或干燥介质容易通过开口211而与片篮300接触，从而防止框架210的侧壁阻挡清洗介质或干燥介质而影响片篮300的清洗、干燥效果。
可选地，支撑件220可以呈菱形结构或梭形结构，为减小对于清洗介质或干燥介质的阻挡作用，可以使菱形结构或梭形结构各自的长对角线对应的两个角分别抵接片篮300和花篮200的底部端面。基于此，通过多个支撑件220可以对片篮300的底端进行支撑，以使片篮300不会掉落；与此同时，多个间隔设置且呈菱形结构或梭形结构的支撑件220，还可以最大限度地减小对清洗介质或干燥介质的阻挡作用，从而可以保证对片篮300的清洗、干燥效果。
另外，通过压紧件230可以限制片篮300移动，从而可以有效防止片篮300从花篮200的顶部甩出。
如图5和图6所示，框架210相对设置的两个侧壁的顶部均可以设置长孔或长槽212，而压紧件230为压杆，压杆的两端分别可移动地设置于相对的长孔或长槽212中，通过压杆的移动可以调节压杆与片篮300的顶端之间的距离。
其中，长孔或长槽212沿花篮200背离底端的方向延伸，使得压杆可以朝向花篮200的底端方向移动或背离花篮200的底端方向移动。当压杆朝向花篮200的底端方向移动时，可以对片篮300的顶端进行压紧，以防止片篮300移动或甩出；当压杆背离花篮200的底端方向移动时，增大间距，从而可以适用于压紧更大尺寸的片篮300。
为了便于拆装片篮300，一些实施例采用设置长槽的方式，长槽的槽口背离花篮200的底端方向，如此，可以方便压杆放入长槽中或从长槽取下，从而在压杆取下时可以拆装片篮300，因此，提高了拆装片篮300的效率。
可选地，压杆可以为一个或多个，具体可根据实际工况而选定。
参考图5和图6，为了实现对压紧件230的锁紧，花篮200还包括锁紧件240，通过锁紧件240可以将压紧件230与框架210相对锁紧，以防止压紧件230相对于框架210移动。可选地，锁紧件240可以为锁紧螺母，相应地，在压紧件230的至少一端设置外螺纹，使锁紧件240与压紧件230螺纹连接。如此，在需要调节压紧件230的位置时，可以旋松锁紧件240，在不需要调节压紧件230的位置时，可以旋紧锁紧件240，从而可以实现对压紧件230的适时调节。
参考图3，为了将清洗介质或干燥介质输送至喷臂131，并经由喷臂131喷向待清洗的片篮300，清洁组件130还可以包括输送管路132，输送管路132的一端延伸至工艺腔体111内，且喷臂131与输送管路132连接。
为了提供清洗介质或干燥介质，可以是输送管路132的另一端与供液装置或供气装置连接；或者，还可以是供液装置和供气装置均与输送管路132连接，并且在供液装置的出口以及供气装置的出口均设置控制阀，以通过控制阀的开启或关闭切换供应的清洗介质或干燥介质。如此，可以通过供液装置经由输送管路132向喷臂131输送清洗介质，从而实现对片篮300的清洗；或者，还可以通过供气装置经由输送管路132向喷臂131输送干燥介质，从而实现对清洗后的片篮300的干燥。
此处需要说明的是，供气装置供应的干燥介质最终由喷臂131喷向片篮300，而无需首先使工艺腔体111内充斥干燥介质，从而可以减少干燥介质的使用量，达到节约干燥介质的目的。
可选地，输送管路132可以为一个或多个，另外，输送管路132可以设置于工艺腔体111的内壁处，以防止对支撑架121的旋转造成干扰。
可选地，供液装置可以为带有液泵的清洗液储罐，供气装置可以为气泵或压力气罐。
参考图3，为了增加片篮300的清洗数量，支撑组件120可以包括多个支撑架121，多个支撑架121沿支撑轴122的轴向间隔设置，如此，通过多个支撑架121可以分别安装花篮200，以增加花篮200的数量，从而可以增加放置于多个花篮200的片篮300的数量。
当然，在另一些实施例中，支撑组件120还可包括一个支撑架121，本申请对于支撑架121的数量不作限制。
继续参考图3，为了扩大清洗区域，清洁组件130可以包括多个喷臂131，且多个喷臂131均与输送管路132连接，如此，可以通过输送管路132向多个喷臂131输送清洗介质或干燥介质，并使多个喷臂131同时向片篮300喷射清洗介质或干燥介质，从而可以同时清洗多个片篮300，扩大了清洗、干燥区域，提高了清洗干燥效率和产能。
为提高清洗效果，可以在每个支撑架121沿支撑轴122轴向的两侧分别设置喷臂131，如此，可以通过两侧的喷臂131从上下两个方向同时喷射清洗介质或同时喷射干燥介质，从而可以提高清洗效果。
一些实施例中，喷臂131上可以设置多个喷头133，通过设置喷头133，可以提高清洗介质或干燥介质的喷出速度，从而提高清洗效果。
当然，还可以在输送管路132上设置多个喷头133，以配合喷臂131上的喷头133共同向片篮300喷射清洗介质或干燥介质，从而可以扩大清洗、干燥区域，提高清洗、干燥效果和产能。
为了收集清洗液，装置本体110可以具有储液腔体112，储液腔体112设置于工艺腔体111的下方，且两者之间设有台面板113，台面板113设有通孔1311，通过通孔1311可以连通储液腔体112和工艺腔体111。基于此，经过喷臂131喷入工艺腔体111的清洗介质落到台面板113上，并经由通孔1311流入储液腔体112，从而可以通过储液腔体112对清洗介质进行收集。
考虑到清洗介质会产生蒸汽，且蒸汽会沿着通孔1311上升并返回至工艺腔体111内，从而再次与片篮300的表面接触，引起二次污染。基于此，一些实施例中，通孔1311可以为小孔径通孔，此时，台面板113上开设通孔1311区域的总面积相对较小，从而可以减少清洗介质蒸汽经过通孔1311上升至工艺腔体111内，进而可以有效缓解片篮300被二次污染的问题。
为了释放储液腔体112内的清洗介质，可以在储液腔体112的底部设置排液阀，以通过排液阀的启闭控制清洗介质的排放。
为了节约清洗介质，可以对清洗介质进行循环使用，基于此，清洁组件130可以包括循环管路(图中未示出)，循环管路的一端与输送管路132连接，循环管路的另一端延伸至储液腔体112内，且循环管路设有泵体。如此，可以通过泵体将储液腔体112内收集的清洗介质依次经由循环管路和输送管路132输送至喷臂131，并由喷臂131喷入工艺腔体111内，而清洗完片篮300后的清洗介质再次经由通孔1311回流至储液腔体112内，如此，实现了清洗介质的循环利用，从而可以达到节约清洗介质的目的。
此处需要说明的是，当储液腔体112内不存在清洗介质时，可以先通过供液装置经由输送管路132向喷臂131输送清洗介质，待储液腔体112内收集一定量的清洗介质后，则可以关闭供液装置，而开启泵体，以使储液腔体112内收集的清洗介质循环利用。
基于上述清洗***，本申请实施例还公开了一种清洗方法，应用于上述清洗***，该清洗方法包括：
将片篮放置于花篮；
将装有片篮的花篮放置于支撑架；
对片篮进行去离子水清洗；
对片篮进行清洗液清洗；
对片篮进行旋转甩干；
对片篮进行吹干；
取下花篮；
取下片篮。
此处需要说明的是，本申请实施例中的清洗方法基于上述清洗***实施。参考图2至图6，清洗工艺具体如下：
首先，将多个片篮300放置于花篮200中，通过花篮200顶部的长孔或长槽212，调节压紧件230与片篮300的间距，并用锁紧件240锁紧压紧件230。
接着，将装有片篮300的花篮200放置于支撑架121，驱动部件123通过支撑轴122带动支撑架121旋转，并由支撑架121带动花篮200及放置于花篮200的片篮300旋转，同时开启DI供液装置(即，Deionized供液装置)和储液腔体112的排液阀，此时，喷头133可以将DI水(即，去离子水)喷向片篮300，从而使片篮300在工艺腔体111内进行预清洗。
一段时间后，切换至清洗液的供液装置，并关掉储液腔体112的排液阀，此时，喷臂131可以将清洗液喷向片篮300，以进行清洗液清洗过程。随着清洗液流入储液腔体112，当储液腔体112内的清洗液达到一定液位时，关掉清洗液的供液装置；同时开启泵体，以使储液腔体112内的清洗液循环利用。待清洗液清洗步骤完成后，驱动部件123通过支撑轴122和支撑架121驱动花篮200及放置于花篮200的片篮300旋转一定时间，以将片篮300、花篮200和支撑架121上的清洗液甩掉。
随后，开启供应干燥气体的供气装置，通过喷头133向片篮300喷射干燥气体，以便于干燥片篮300，与此同时，驱动部件123通过支撑轴122和支撑架121驱动花篮200及放置于花篮200的片篮300进行旋转，从而可以加快干燥速度。
最后，待干燥步骤结束后，驱动部件123关闭，将花篮200从支撑架121取下，锁紧件240解除对压紧件230的锁紧，取下或打开压紧件230，以便于取出片篮300，至此完成片篮300的清洗工艺。
综上所述，本申请实施例可以实现片篮300的自动、全面、彻底的清洗，且清洗效率较高，克服了产能限制，并且可以节省清洗液和干燥气体。
上面结合附图对本申请的实施例进行了描述，但是本申请并不局限于上述的具体实施方式，上述的具体实施方式仅仅是示意性的，而不是限制性的，本领域的普通技术人员在本申请的启示下，在不脱离本申请宗旨和权利要求所保护的范围情况下，还可做出很多形式，均属于本申请的保护之内。
Claims (10)
1.一种清洗***，用于清洗承载晶圆的片篮(300)，其特征在于，所述清洗***包括：清洗装置(100)以及与清洗装置(100)配合使用的多个花篮(200)，每个所述花篮(200)用于装有多个所述片篮(300)；
所述清洗装置(100)包括：装置本体(110)、支撑组件(120)和清洁组件(130)；
所述装置本体(110)具有工艺腔体(111)；
所述支撑组件(120)包括设置于所述工艺腔体(111)内的支撑架(121)，多个所述花篮(200)分别可拆卸地设置于所述支撑架(121)；
所述清洁组件(130)包括喷臂(131)，所述喷臂(131)设置于所述工艺腔体(111)内，并与所述花篮(200)对应设置，所述喷臂(131)用于从所述花篮(200)的上方和下方向所述花篮(200)同时喷射清洗介质或同时喷射干燥介质；
所述支撑组件(120)还包括支撑轴(122)，所述支撑轴(122)与所述装置本体(110)转动连接，且所述支撑轴(122)至少部分延伸至所述工艺腔体(111)内，所述支撑架(121)设置于所述支撑轴(122)，所述每个所述支撑架121沿支撑轴122轴向的两侧分别设置喷臂131；
所述支撑组件(120)包括多个所述支撑架(121)，多个所述支撑架(121)沿所述支撑轴122的轴向间隔设置，各所述支撑架(121)具有多个容纳区域(1211)，每个所述容纳区域(1211)分别放置有所述花篮(200)。
2.根据权利要求1所述的清洗***，其特征在于，所述支撑组件(120)还包括与所述支撑轴(122)传动连接的驱动部件(123)。
3.根据权利要求1所述的清洗***，其特征在于，多个所述容纳区域(1211)围绕所述支撑轴(122)分布在所述支撑轴(122)的周围。
4.根据权利要求3所述的清洗***，其特征在于，所述支撑架(121)包括用于支撑所述花篮(200)底部的第一围栏(1212)和用于限位所述花篮(200)侧部的第二围栏(1213)；
所述第一围栏(1212)与所述第二围栏(1213)沿所述支撑轴(122)的轴向间隔设置；
沿所述支撑轴(122)的径向且背离所述支撑轴(122)的方向，所述第一围栏(1212)朝向背离所述第二围栏(1213)的方向倾斜设置。
5.根据权利要求1所述的清洗***，其特征在于，所述花篮(200)包括框架(210)、支撑件(220)和压紧件(230)；
多个所述支撑件(220)间隔设置于所述框架(210)的底部，用于支撑所述片篮(300)；
所述压紧件(230)设置于所述框架(210)的顶部，用于压紧所述片篮(300)；
所述框架(210)、所述支撑件(220)和所述压紧件(230)围成容纳所述片篮(300)的容纳空间。
6.根据权利要求5所述的清洗***，其特征在于，所述框架(210)相对设置的两个侧壁的顶部均设有长孔或长槽(212)；
所述压紧件(230)为压杆，所述压杆的两端分别可移动地设置于相对的所述长孔或长槽(212)中，以调节所述压杆与所述片篮(300)的顶端之间的距离。
7.根据权利要求2所述的清洗***，其特征在于，所述清洁组件(130)还包括输送管路(132)，所述输送管路(132)的一端延伸至所述工艺腔体(111)内，所述喷臂(131)与所述输送管路(132)连接；
所述输送管路(132)的另一端用于与供液装置或供气装置连接，
或者，所述输送管路(132)的另一端用于与供液装置和供气装置分别连接，且所述供液装置的出口及所述供气装置的出口均设有控制阀。
8.根据权利要求7所述的清洗***，其特征在于，所述支撑组件(120)包括多个所述支撑架(121)，多个所述支撑架(121)沿所述支撑轴(122)的轴向间隔设置；
所述清洁组件(130)包括多个所述喷臂(131)，每个所述支撑架(121)沿所述支撑轴(122)的轴向的两侧分别设有所述喷臂(131)。
9.根据权利要求1、2、7或8所述的清洗***，其特征在于，所述装置本体(110)具有储液腔体(112)，所述储液腔体(112)设置于所述工艺腔体(111)的下方，且两者之间设有台面板(113)，所述台面板(113)设有连通所述储液腔体(112)与所述工艺腔体(111)的通孔(1311)。
10.根据权利要求9所述的清洗***，其特征在于，所述清洁组件(130)还包括输送管路(132)和循环管路；
所述输送管路(132)的一端延伸至所述工艺腔体(111)内，所述喷臂(131)与所述输送管路(132)连接；
所述循环管路的一端与所述输送管路(132)连接，所述循环管路的另一端延伸至所述储液腔体(112)内，所述循环管路设有泵体。
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
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