CN114594447A - 装调设备及其装调方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种装调设备及其装调方法，适用于激光雷达的集成电路板的装调，所述装调设备通过调整三维调节架能够使得集成电路板在第一方向、第二方向、第三方向上移动，通过角度调节机构能够使得集成电路板在所述第一方向和第二方向所在平面内的旋转自由度，可以调整所述夹持部所夹持的集成电路板的装调位置和倾角，提高装调精度，进而可以提高安装完成的激光雷达的光路准确性以及激光雷达距离检测的准确性。且本装调设备中，通过三维调节架限定了第一方向、第二方向以及第三方向的调节，通过角度调节机构，限定了在第一方向和第二方向所在平面内的旋转，避免人工调节自由度过多造成的调节杂乱无章，相应有利于提高集成电路板的装调效率。

Description

装调设备及其装调方法

技术领域

本发明实施例涉及机械设备技术领域，尤其涉及一种装调设备及其装调方法。

背景技术

激光雷达(LIDAR)，激光雷达，是以发射激光束探测目标的位置、速度等特征量的雷达***，在自动驾驶中承担了路沿检测、障碍物识别以及实时定位与绘图(SLAM，simultaneous localization and mapping)等重要任务。

其工作原理是通过发射单元向目标发射探测信号(发射光束)，然后通过接受单元将接收到的从目标反射回来的回波信号(回波光束)与发射信号进行比较，作适当处理后，就可获得目标的有关信息，如目标距离、方位、高度、速度、姿态、甚至形状等参数，从而对汽车、行人等目标进行探测、跟踪和识别。它由激光发射机、光学接收机、转台和信息处理***等组成，激光器将电脉冲变成光脉冲发射出去，光接收机再把从目标反射回来的光脉冲还原成电脉冲。

因此，接收单元接收到与发射单元的探测信号相应的回波信号，是使得激光雷达具有高性能的必要条件，但是现有的传统机械加工的精度难以保证激光雷达中发射单元和接收单元之间收发光学链路的要求，对激光雷达中的发射单元和接收单元进行装调是必要的。

发明内容

本发明解决的问题是提供一种装调设备及其装调方法，提高激光雷达收发光学链路的准确性。

本发明技术方案提供一种装调设备，适用于激光雷达的集成电路板的装调，包括：三维调节架、与所述三维调节架连接的角度调节机构以及与所述角度调节机构连接的夹持部，所述夹持部具有第一目标输出端；所述三维调节架，包括：第一移动台，用于实现对第一目标输出端沿第一方向的位置调整；第二移动台，用于实现对第一目标输出端沿第二方向的位置调整；第三移动台，用于实现对第一目标输出端沿第三方向的位置调整，所述第三方向垂直于所述第二方向和所述第一方向所处的平面；所述第一移动台、第二移动台以及第三移动台串联连接；所述角度调节机构，用于实现所述第一目标输出端在第一方向和第二方向所在平面内的旋转；所述夹持部，用于夹持所述集成电路板。

相应地，本发明技术方案还提供一种装调方法，包括：适用于激光雷达的集成电路板的装调，所述集成电路板内具有相互垂直的第一方向和第二方向，所述装调方法，包括：夹持所述集成电路板；将所述集成电路板在所述第一方向和第二方向构成的平面内转动；将所述集成电路板在所述第一方向、第二方向以及第三方向中的至少一个方向上移动，其中，所述第三方向垂直于所述第一方向和第二方向所在平面；将所述集成电路板在所述第一方向、第二方向以及第三方向的至少一个方向上移动后，将所述集成电路板固定在所述激光雷达上。

与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

本发明实施例所提供的装调设备中，夹持部夹持所述集成电路板，通过调整三维调节架能够使得集成电路板在第一方向、第二方向、第三方向上移动，通过角度调节机构能够使得集成电路板在所述第一方向和第二方向所在平面内的旋转自由度，可以调整所述夹持部所夹持的集成电路板的装调位置和倾角，提高装调精度，进而可以提高安装完成的激光雷达的光路准确性以及激光雷达距离检测的准确性。且本发明装调设备中，通过三维调节架限定了第一方向、第二方向以及第三方向的调节，通过角度调节机构，限定了在第一方向和第二方向所在平面内的旋转，避免人工调节自由度过多造成的调节杂乱无章，相应有利于提高集成电路板的装调效率。

附图说明

图1是本发明装调设备第一实施例装调集成电路板第一视角的结构示意图；

图2是本发明装调设备第一实施例装调集成电路板第二视角的结构示意图；

图3是本发明装调设备第一实施例装调集成电路板第三视角的结构示意图；

图4是本发明装调设备第一实施例集成电路板固定装置的结构示意图；

图5是本发明装调设备第一实施例镜筒支架的结构示意图；

图6是本发明装调方法第一实施例的流程示意图；

图7是本发明装调方法第一实施例夹持所述集成电路板的流程示意图；

图8是本发明装调方法第一实施例将所述集成电路板在所述第一方向和第二方向构成的平面内转动的流程示意图；

图9是本发明装调方法第一实施例将所述集成电路板在所述第一方向、第二方向以及第三方向中的至少一个方向上移动的流程示意图；

图10是本发明装调方法第一实施例采用集成电路板固定装置将所述集成电路板固定在所述激光雷达上的流程示意图；

图11是本发明装调方法第二实施例的流程示意图。

具体实施方式

由背景技术可知，通过激光雷达中的发射单元和接收单元进行装调来使得激光雷达中发射单元和接收单元之间收发光学链路的满足工作要求。

发射单元中的发射板(Tx板)提供发射探测信号，接收单元中的接收板(Rx板)用于接收回波信号，为了使得发射板、接收板能够位于合适的位置上，获得设计所需的视场范围，对发射板、接收板的位置进行装调。当前采用线扫法进行装调，亦即通过发射板依次发射多个点至预定反射板上，并根据接收板端接收到的点来判定当前能够接收到的视场范围是否与接收板的扫描范围一致，当发现不一致时，对发射板或者接收板进行装调，以使其满足设计要求。且当前的装调设备采用的自由度过多，导致需要人工调节的部件较多，装调速度较慢。

为了提高激光雷达的装调精度，本发明实施例提供了一种装调设备，用于激光雷达的装调，包括：三维调节架、与所述三维调节架连接的角度调节机构以及与所述角度调节机构连接的夹持部，所述夹持部具有第一目标输出端；所述三维调节架，包括：第一移动台，用于实现对第一目标输出端沿第一方向的位置调整；第二移动台，用于实现对第一目标输出端沿第二方向的位置调整；第三移动台，用于实现对第一目标输出端沿第三方向的位置调整，所述第三方向垂直于所述第二方向和所述第一方向所处的平面；所述第一移动台、第二移动台以及第三移动台串联连接；所述角度调节机构，用于实现所述第一目标输出端在第一方向和第二方向所在平面内的旋转；所述夹持部，用于夹持所述集成电路板。

本发明实施例所提供的装调设备中，夹持部夹持所述集成电路板，通过调整三维调节架能够使得集成电路板在第一方向、第二方向、第三方向上移动，通过角度调节机构能够使得集成电路板在所述第一方向和第二方向所在平面内的旋转自由度，可以调整所述夹持部所夹持的集成电路板的装调位置和倾角，提高装调精度，进而可以提高安装完成的激光雷达的光路准确性以及激光雷达距离检测的准确性。且本装调设备中，通过三维调节架限定了第一方向、第二方向以及第三方向的调节，通过角度调节机构，限定了在第一方向和第二方向所在平面内的旋转，避免人工调节自由度过多造成的调节杂乱无章，相应有利于提高集成电路板的装调效率。

本发明实施例提供一种装调设备，参考图1至图5，示出了装调设备的第一实施例的结构示意图。

如图1所示，本发明实施例提供的装调设备，适用于激光雷达的集成电路板的装调，包括：三维调节架100、与所述三维调节架100连接的角度调节机构200以及与所述角度调节机构200连接的夹持部300，所述夹持部300具有第一目标输出端；所述三维调节架100，包括：第一移动台101，用于实现对第一目标输出端沿第一方向(Y)的位置调整；第二移动台102，用于实现对第一目标输出端沿第二方向(Z)的位置调整；第三移动台103，用于实现对第一目标输出端沿第三方向(X)的位置调整，所述第三方向X垂直于所述第二方向Z和所述第一方向Y所处的平面；所述第一移动台101、第二移动台102以及第三移动台103串联连接；所述角度调节机构200，用于实现所述第一目标输出端在第二方向Z和第三方向X所在平面内的旋转；所述夹持部300，用于夹持所述集成电路板。

本发明实施例所提供的装调设备中，三维调节架100、与所述三维调节架100连接的角度调节机构200以及与所述角度调节机构200连接的夹持部300，所述夹持部300具有第一目标输出端；所述三维调节架100，包括：第一移动台101，用于实现对第一目标输出端沿第一方向的位置调整；第二移动台102，用于实现对第一目标输出端沿第二方向的位置调整；第三移动台103，用于实现对第一目标输出端沿第三方向的位置调整，所述第三方向垂直于所述第二方向和所述第一方向所处的平面；所述第一移动台101、第二移动台102以及第三移动台103串联连接，所述三维调节架100用于实现第一输出端在第一方向、第二方向以及第三方向上的移动。所述角度调节机构200，用于实现所述第一目标输出端在第二方向和第三方向所在平面内的旋转，从而所述第一目标输出端具有第一方向、第二方向、第三方向的移动以及第二方向和第三方向所在平面内的旋转自由度。

本发明实施例中，装调设备还包括：夹持部300，用于夹持集成电路板，通过调整三维调节架能够使得集成电路板在第一方向、第二方向、第三方向上移动，通过角度调节机构200能够使得集成电路板在所述第一方向和第二方向所在平面内的旋转自由度，可以调整所述夹持部300所夹持的集成电路板的装调位置和倾角，提高装调精度，进而可以提高安装完成的激光雷达的光路准确性以及激光雷达距离检测的准确性。且本装调设备中，通过三维调节架100限定了第一方向、第二方向以及第三方向的调节，通过角度调节机构200，限定了在第一方向和第二方向所在平面内的旋转，避免人工调节自由度过多造成的调节杂乱无章，相应有利于提高集成电路板的装调效率。

本实施例中，激光雷达包括：发射单元(图中未示出)，用于提供发射光束，所述发射光束被目标物反射形成回波光束，所述发射光束的出射方向为第二方向。

相应的，所述集成电路板包括发射板(Tx)，所述发射光束由发射板提供，所述发射板上具有边发射激光二极管(EEL)，相应的在发射单元工作时，所述发射光束位于所述第一方向和第二方向所在的平面，相应的减少了激光雷达中的折转反射镜，有利于满足激光雷达的小型化要求。其他实施例中，所述发射板上具有垂直腔面发射激光器(VCSEL)，相应的，在发射单元工作时，发射光束与所述第一方向和第二方向所在平面相垂直。

本实施例中，接收单元(图中未示出)，用于接收所述回波光束，所述回波光束的入射方向为第二方向。

相应的，所述集成电路板包括接收板(Rx)，所述回波光束由接收板接收，所述接收板上具有探测器。具体的，所述探测器包括雪崩光电二极管(Avalanche Photo Diode，APD)、硅光电倍增管(SiPM)或单光子雪崩二极管(SPAD)。

本实施例中，透镜组(图中未示出)，用于透过发射光束或接收回波光束。透镜组(图中未示出)包括接收镜筒(图中未示出)和发射镜筒(图中未示出)，所述发射镜筒用于透过所述发射光束，所述接收镜筒用于透过接收光束。

所述激光雷达还包括：镜筒支架700，用于放置透镜组，所述镜筒支架包括第一镜孔701和位于所述第一镜孔701上的第二镜孔702，所述接收镜筒位于所述第一镜孔701中，所述发射镜筒位于所述第二镜孔702中，所述第一镜孔701的侧部具有与所述第一镜孔701延伸方向平行的第一面703(如图5所示)，所述第二镜孔702的底部具有与所述第一镜孔701延伸方向平行的第二面704(如图5所示)。

因为所述第一镜孔701的延伸方向与所述第二镜孔702的延伸方向相同，因此，所述接收镜筒的延伸方向与所述发射镜筒的延伸方向相同。

本实施例中，所述集成电路板包括所述发射板或者接收板，相应的，所述装调设备为发射板装调设备或者接收板装调设备。

本实施例中，所述第一方向为图1中的Y方向，所述第二方向为图1中的Z方向，所述第三方向为图1中的X方向。本领域技术人员可以理解，第一、第二、第三方向与实际坐标系的对应关系并不唯一，在一些其他实施例中，当第一方向为X方向时，第二方向和第三方向可以分别为Y方向和Z方向，第一方向为Y方向时，第二方向和第三方向可以分别为X方向和Z方向。

所述三维调节架100用于使得夹持部300中的第一目标输出端沿第一方向、第二方向以及第三方向的位置调整，也可以使所述发射板或接收板沿第一方向、第二方向以及第三方向的位置调整。

本实施例中，所述第一移动台101位于所述第三移动台103上，所述第二移动台102位于所述第一移动台101上。具体的，所述三维调节架100中的所述第一移动台101、第二移动台102以及第三移动台103的连接方式如下：

第二移动台102的输出即为三维调节架100在第二方向的输出，用于实现第一目标输出端沿第二方向的位置调整。

第一移动台101的输出即为三维调节架100在第一方向的输出，用于实现第一目标输出端沿第一方向的位置调整。第一移动台101沿第一方向位置调整的过程中带动第二移动台102在第一方向的位置调整。

第三移动台103的输出即为三维调节架100在第三方向的输出，用于实现第一目标输出端沿第三方向的位置调整。第三移动台103沿第三方向位置调整的过程中带动第一移动台101和第二移动台102在第三方向的位置调整。

在三维调节架100工作时，第一移动台101沿着第一方向的位置调整时，会带动所述第二移动台102沿着第一方向的位置调整；第三移动台103沿着第三方向的位置调整时，会带动所述第一移动台101和第二移动台102沿着第三方向的位置调整。

需要说明的是，本实施例中，所述第二移动台102的顶面位于所述第二方向和第三方向所在的平面内。

本实施例中，三维调节架100用于调节发射板时，三维调节架100在第二方向上能够移动的范围小于1.2mm，作为一种示例，三维调节架100在第二方向上相对于初始位置的调节范围为-0.2mm至1mm。三维调节架100在第一方向上能够移动的范围小于1.4mm，作为一种示例，三维调节架100在第一方向上相对于初始位置的调节范围为-0.7mm至0.7mm。

三维调节架100用于调节接收板时，三维调节架100在第二方向上能够移动的范围小于1.5mm，作为一种示例，三维调节架100在第二方向上相对于初始位置的调节范围为-0.5mm至1mm。且三维调节架100的第一目标输出端，在第二方向和第一方向所在平面内的初始位置，位于以预设的理想位置为中心半径0.9mm的圆中。

所述角度调节机构200，用于实现所述第一目标输出端在第一方向和第二方向所在平面内的旋转，以使得第一目标输出端带动所述接收板或发射板在第一方向和第二方向所在平面内旋转。

本实施例中，所述角度调节机构200包括：啮合传动结构。

本实施例中，所述啮合传动结构包括蜗杆201和与所述蜗杆201相啮合的蜗轮202，所述蜗轮202为所述角度调节机构200的输出端。

优选地，所述蜗杆201和蜗轮202具有低传动比的特性，例如：当蜗杆201转动一圈时，蜗轮202才转动一个齿形所对应的角度。在采用蜗杆201和蜗轮202调节夹持部300在第一方向和第二方向内所在平面内转动的过程中，能够实现对所述蜗轮202的精准转动，易于使得所述加持部300夹持的发射板或接收板在所述第一方向和第二方向所在平面中具有合适的装调位置和倾角。

优选地，所述蜗杆201和蜗轮202具有自锁特性，从而在采用角度调节机构200实现所述第一目标输出端在第一方向和第二方向所在平面内旋转，到达预设的角度位置后，第一目标输出端在所述第一方向和第二方向所在平面内的角度不易发生改变，从而装调设备的稳定性较高，使得装调的各个激光雷达的光学链路均一性较高。

其他实施例中，所述啮合传动结构包括两个垂直啮合的第一锥齿轮和第二锥齿轮，所述第二锥齿轮的齿数大于所述第一锥齿轮的齿数，所述第二锥齿轮为所述角度调节机构的输出端，所述第一锥齿轮和第二锥齿轮的低传动比，易于使得蜗轮的精准转动。

本实施例中，所述角度调节机构200还包括：角度固定架203，用于设置所述啮合传动结构。

所述角度固定架203，为蜗轮202和蜗杆201啮合提供结构支撑，使得所述蜗轮202和蜗杆201能够顺利的完成啮合传动，将所述蜗轮202在第一方向和第二方向平面内的转动传递到所述夹持部300，使得夹持部300具有的第一目标输出端在第一方向和第二方向平面内的转动，带动所述发射板或者接收板在第一方向和第二方向所在平面内转动。

具体的，所述角度固定架203包括：

第一固定板2031，用于与所述第二移动台102固定连接。

从而在装调设备工作时，所述三维调节架100在第一方向、第二方向以及第三方向上的位置调整的过程中，会带动所述啮合传动结构在第一方向、第二方向以及第三方向的位置调整，相应的所述蜗轮202在第一方向、第二方向以及第三方向的位置调整。

第二固定板2032，立于所述第一固定板2031的侧部。

所述第二固定板2032用于设定所述第三固定板2034的位置。

第三固定板2034，与所述第二固定板2032的顶部连接，且延伸至所述第一固定板2031的上方，所述蜗杆201贯穿所述第三固定板2034，且与第三固定板2034转动配合。

所述第三固定板2034限定所述蜗轮202和蜗杆201的啮合传动区域。

参考图2，所述角度调节机构还包括：转动轴2033，所述转动轴2033的一端与所述蜗轮201固定连接，所述转动轴2033的另一端贯穿所述第二固定板2032，与所述夹持部300固定连接。

所述转动轴2033将所述蜗轮202在第一方向和第二方向所在平面内的转动传递到所述夹持部300上，从而在装调结构工作时，带动夹持部300能够在第一方向与第二方向所在平面内转动。

需要说明的是，所述转动轴2033与所述第二固定板2032为转动配合，采用的结构例如轴承。

本实施例中，所述转动轴2033的延伸方向与所述第三方向相同，因为所述第一方向、第二方向以及第三方向相互垂直，从而与所述转动轴2033连接的夹持部300能够在第一方向和第二方向所在平面内转动。

本实施例中，所述第二固定板2032与所述第三固定板2034垂直。

所述转动轴2033与所述第二固定板2032转动配合，所述第二固定板2032限定了所述转动轴2033的空间位置，相应的限定了蜗轮202的空间位置；所述蜗杆201与所述第三固定板2034转动配合，所述第三固定板2034限定了所述蜗杆201的空间位置。所述第二固定板2032与所述第三固定板2033相垂直，使得第二固定板2032限定的所述蜗轮202与第三固定板2033限定的所述蜗杆201能够顺利的啮合，降低角度传动机构200的装配难度，相应也提高了不同的装调设备装调的激光雷达的发射单元和接收单元之间收发光学链路的一致性。

本实施例中，所述第二固定板2032位于所述第一方向和第二方向所在平面内。

具体的，所述第一固定板2031与所述第二移动台102的顶面固定连接，因为所述第二移动台102的顶面位于所述第二方向和第三方向所在的平面内，所述第二固定板2032位于所述第一方向和第二方向所在平面内，相应的所述第二固定板2032与所述第一固定板2031相垂直。

所述角度调节机构200还包括：蜗轮固定螺丝2035，转动设置于所述第二固定板2032中，所述蜗轮固定螺丝2035的延伸方向与所述转动轴2033的延伸方向垂直，用于固定所述转动轴2033。

在装调设备装调的过程中，当所述角度调节机构200使得夹持部300在所述第一方向和第二方向所在平面内处于合适的角度时，为了防止所述夹持部300在第一方向和第二方向所在的平面内发生额外的角度转动误差，使用所述蜗轮固定螺丝2035将所述转动轴2033固定住，从而所述加持部200在第一方向和第二方向所在平面内的角度不发生改变，为将集成电路板安装在所述激光雷达中做准备。

角度调节机构200用于调节集成电路板时，在第一方向和第二方向所在平面内旋转的角度小于10°。作为一种示例，集成电路板相对于初始位置的调节范围的范围为-5°至5°。

本领域技术人员应可理解，通过在前期进行较为精确的误差分析，可以使得初始安装位置与实际优选位置之间的误差在如上所述的合适范围内。亦即属于合理的误差范围。

本实施例中，所述夹持部300包括：第一托件301，所述第一托件301的底部具有向上弯曲的第一延伸部305；第二托件302，位于所述第一托件301上，所述第二托件302具有与所述第一延伸部305相对的第二延伸部304；固定支撑部306，位于所述第二托件302的底部的一端；螺纹固定件303，贯穿所述第二托件302与所述固定支撑部306的顶部接触。

在加持部300夹持所述集成电路板，旋转所述螺纹固定件303，使得所述第一托件301和第二托件302的距离变大，相应的所述第一延伸部305和第二延伸部304之间的距离变大；将所述集成电路板放置在所述第一延伸部305和第二延伸部304之间；旋转所述螺纹固定件303，螺纹固定件303位于所述第一托件301和螺纹固定件303之间的尺寸增大，用于使所述第二延伸部304靠近所述固定支撑部306的一端向上翘曲，使所述第二延伸部304远离所述固定支撑部306的一端向下翘曲，所述第二延伸部304远离所述固定支撑部306的一端与所述第一延伸部305夹持住所述集成电路板。

其他实施例中，所述夹持部还可以为其他能够夹持集成电路板的结构。

需要说明的是，所述激光雷达包括：集成电路板固定装置400，与所述第一镜孔701或第二镜孔702相对设置，所述集成电路板固定装置400包括：定位框架401；定位块402，在所述第一方向分立于所述定位框架401上，所述定位块402的数量为两个；固定块403，位于所述定位块402第二方向侧部的所述定位框架401上，且与所述定位块402间隔设置；压块404，所述压块404在第二方向的侧壁上具有凹槽，所述凹槽与所述固定块403在第二方向上滑动配合，在所述凹槽第一方向的两侧具有在第二方向突出的压紧部405，所述压紧部405用于与所述定位块402相配合；压块固定件406，贯穿所述压块404与所述固定块403螺纹配合，使所述压块404相对于所述固定块403在第二方向上发生位移。

在装调过程中，将通过装调设备将集成电路板调整至合适的位置后，将所述集成电路板设置在所述压块404和所述定位块402之间，所述集成电路板在第一方向上与两个所述定位块402相对应，通过压块固定件406与所述固定块403之间的螺纹配合推动所述压块404向所述定位块402移动，使得所述压紧部405与所述定位块402之间的距离减小，能够固定位于所述压紧部405和所述定位块402之间的集成电路板。

本实施例中，所述固定块403在所述第二方向分立于所述定位块402的两侧。相应的所述定位框架403上能够定位两个所述集成电路板。其他实施例中，所述固定块还可以仅在第二方向位于所述定位块的一侧。

本实施例中，所述装调设备还包括：平台800，位于所述三维调节架100的底部，所述平台800表面法线沿第一方向Y延伸。

所述平台800为装调设备提供装调基础，在装调设备工作时，三维调节架相对于所述平台800发生位移。

本实施例中，所述装调设备还包括：承托台900，用于放置所述镜筒支架700。

本发明还提出了装调设备的第二实施例。

所述第二实施例中的激光雷达与第一实施例中的激光雷达的相同之处在此不再赘述，所述第二实施例中激光雷达与第一实施例中的激光雷达的不同之处在于：

所述激光雷达还包括：折转反射镜支架600，与所述透镜组(图中未示出)相对应，且在第二方向上具有滑动配合。

本实施例中，折转反射镜支架600，用于放置接收板，且所述折转反射镜支架600上放置有折转反射镜。所述滑动配合指代的是所述折转反射镜支架600通过所述第一面703和第二面704与所述镜筒支架700的发射相对滑动，使得折转反射镜支架600上的接收板与透镜组之间的位置发生改变。

所述第二实施例的装调设备与第一实施例的装调设备相同之处在此不再赘述，与第一实施例的装调设备的不同之处在于：

本实施例中，所述装调设备为接收装调设备。

本实施例中，所述装调设备包括：直线驱动结构500，具有第二目标输出端，用于推动所述折转反射镜支架600在第二方向发生移动。

所述接收板位于所述折转反射镜支架600上，直线驱动结构500推动所述折转反射镜支架600在第二方向发生移动的过程中，使得折转反射镜支架600带动接收板和折转反射镜移动，通过调节折转反射镜与接收板部分光路相对于透镜组的距离，使得接收板能够相对于透镜组位于合适距离上，达到调节发射板和接收板之间光学链路的目的，提高激光雷达收发光学链路的准确性。

此外，直线驱动结构500，推动所述折转反射镜支架600在第二方向发生移动的过程中，还有达到调节接收镜筒与折转反射镜距离的作用，使得折转反射镜位于所述接收镜筒的焦平面内，从而回波光束穿过透镜组，经折转反射镜反射后能够更好的在接收板上汇聚。

所述直线驱动结构500驱动所述折转反射镜支架600时，在第二方向上移动的范围小于1.5mm，作为一种示例，所述直线驱动结构500驱动所述折转反射镜支架600在第二方向上相对于初始位置移动的距离为-0.5mm至1mm。

本实施例中，所述直线驱动结构包括微分头。微分头适于微小位移的调节。

需要说明的是，其他实施例中，当发射板上具有垂直腔面发射激光器(VCSEL，Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser)时，所述折转反射镜支架和直线驱动结构还可以配置在发射板上，用于调节所述反射板发出的发射光束的光路。

本发明还提出了一种装调方法，参考图6至图10，示出了装调方法第一实施例的流程示意图。

所述装调方法，适用于激光雷达的集成电路板的装调，所述集成电路板内具有相互垂直的第一方向Y和第二方向Z。

参考图6，所述装调方法，其特征在于，包括：步骤S1，夹持所述集成电路板；步骤S2，将所述集成电路板在所述第一方向和第二方向构成的平面内转动；步骤S3，将所述集成电路板在所述第一方向、第二方向以及第三方向中的至少一个方向上移动，其中，所述第三方向垂直于所述第一方向和第二方向所在平面；步骤S4，将所述集成电路板在所述第一方向、第二方向以及第三方向的至少一个方向上移动后，将所述集成电路板固定在所述激光雷达上。

本发明实施例中，夹持所述集成电路板后，使得集成电路板在第一方向、第二方向、第三方向上移动，从而使得集成电路板在所述第一方向和第二方向所在平面内的旋转自由度，可以调整所述集成电路板的装调位置和倾角，提高了装调精度，进而可以提高安装完成的激光雷达的光路准确性以及激光雷达距离检测的准确性。此外，本实施例限定了在第一方向、第二方向、第三方向上移动，避免人工调节自由度过多造成的调节杂乱无章，相应有利于提高装调效率。

本实施例中，激光雷达包括：发射单元(图中未示出)，用于提供发射光束，所述发射光束被目标物反射形成回波光束，并且，所述发射光束的出射方向为第二方向。

相应的，所述集成电路板包括所述发射板(Tx)，且所述集成电路板包括至少一个发射板，所述发射板用于提供发射光束，所述发射光束被目标物反射形成回波光束，并且，所述发射光束沿第二方向出射。

相应的，针对至少一个发射板的调节方法包括：将所述发射板在所述第一方向和第二方向构成的平面内转动；将所述发射板在所述第一方向、第二方向以及第三方向中的至少一个方向上移动；将所述发射板在所述第一方向、第二方向以及第三方向中的至少一个方向上移动后，将所述发射板固定在所述发射单元上。

本实施例中，所述发射单元包括发射板(Tx)，所述发射光束由发射板提供，所述发射板上具有边发射激光二极管(EEL)，相应的在发射单元工作时，所述发射光束位于所述第一方向和第二方向所在的平面，相应的减少了激光雷达中的折转反射镜，有利于满足激光雷达的小型化要求。其他实施例中，所述发射板上具有垂直腔面发射激光器(VCSEL)，相应的，在发射单元工作时，发射光束与所述第一方向和第二方向所在平面相垂直。

本实施例中，激光雷达包括：接收单元(图中未示出)，用于接收所述回波光束，所述回波光束的入射方向为第二方向。

相应的，所述集成电路板包括接收板(Rx)。所述集成电路板包括接收板，所述接收板用于接收回波光束。

相应的，针对接收板的调节方法包括：将所述接收板在所述第一方向和第二方向构成的平面内转动；将所述接收板在所述第一方向、第二方向以及第三方向的至少一个方向上移动；将所述接收板在所述第一方向、第二方向以及第三方向的至少一个方向上移动后，将所述接收板固定在所述接收单元上。

本实施例中，所述接收单元包括接收板(Rx)，所述回波光束由接收板接收，所述接收板上具有探测器。具体的，所述探测器包括雪崩光电二极管(Avalanche Photo Diode，APD)、硅光电倍增管(SiPM)或单光子雪崩二极管(SPAD)。

所述激光雷达还包括：透镜组(图中未示出)，用于透过发射光束或接收回波光束，所述发射光束的出射方向或回波光束的入射方向为第二方向。

本实施例中，透镜组(图中未示出)包括接收镜筒(图中未示出)和位于所述接收镜筒上方的所述发射镜筒(图中未示出)，且所述接收镜筒的延伸方向与所述发射镜筒的延伸方向相同，所述发射镜筒用于透过所述发射光束，所述接收镜筒用于透过接收光束。

所述激光雷达还包括：镜筒支架700，用于放置透镜组，所述镜筒支架包括第一镜孔701和位于所述第一镜孔701上的第二镜孔702，所述接收镜筒位于所述第一镜孔701中，所述发射镜筒位于所述第二镜孔702中，所述第一镜孔701的侧部具有与所述第一镜孔701延伸方向平行的第一面703(如图5所示)，所述第二镜孔702的底部具有与所述第一镜孔701延伸方向平行的第二面704(如图5所示)。

因为所述第一镜孔701的延伸方向与所述第二镜孔702的延伸方向相同，因此，所述接收镜筒的延伸方向与所述发射镜筒的延伸方向相同。

本实施例中，采用装调设备进行所述装调方法。

具体的，步骤S1，采用所述夹持部300夹持所述集成电路板。

本实施例中，所述夹持部300包括：第一托件301，所述第一托件301的底部具有向上弯曲的第一延伸部305；第二托件302，位于所述第一托件301上，所述第二托件302具有与所述第一延伸部305相对的第二延伸部304；固定支撑部306，位于所述第二托件302的底部的一端；螺纹固定件303，贯穿所述第二托件302与所述固定支撑部306的顶部接触。

其他实施例中，所述夹持部还可以为其他能够夹持集成电路板的结构。

具体的，参考图7，采用所述夹持部300夹持所述集成电路板的步骤包括：

步骤S11，旋转所述螺纹固定件303，使所述第二延伸部304远离所述固定支撑部306的一端与所述第一延伸部305的距离变大。

所述第二延伸部304远离所述固定支撑部306的一端与所述第一延伸部305的距离变大，为后续在所述第二延伸部304远离所述固定支撑部306的一端与所述第一延伸部305之间放置集成电路板做准备。

步骤S12，在所述第一延伸部305和第二延伸部304之间放入所述集成电路板。

步骤S13，旋转所述螺纹固定件303，用于使所述第二延伸部304靠近所述固定支撑部306的一端向上翘曲，使所述第二延伸部304远离所述固定支撑部306的一端向下翘曲，所述第二延伸部304远离所述固定支撑部306的一端与所述第一延伸部305夹持住所述集成电路板。

具体的，采用所述装调设备中的角度调节机构200将所述集成电路板在所述第一方向和第二方向构成的平面内转动。

本装调设备中，通过角度调节机构200，通过集成电路板在所述第一方向和第二方向所在平面内的旋转自由度，可以调整所述集成电路板的装调位置和倾角，提高了装调精度，进而可以提高安装完成的激光雷达的光路准确性以及激光雷达距离检测的准确性。此外，本实施例限定了在第一方向和第二方向所在平面内的旋转，避免人工调节自由度过多造成的调节杂乱无章，相应有利于提高装调效率。

本实施例中，所述角度调节机构200包括：啮合传动结构。所述啮合传动结构包括蜗杆201和与所述蜗杆201相啮合的蜗轮202，所述蜗轮202为所述角度调节机构200的输出端。

所述蜗杆201和蜗轮202具有低传动比的特性，通过调节蜗杆201能够实现蜗轮202在第一方向和第二方向所在平面内的精准转动，易于使得所述加持部300夹持的集成电路板在所述第一方向和第二方向所在平面中具有合适的装调位置和倾角。

所述蜗杆201和蜗轮202具有自锁特性，当夹持部300夹持的集成电路板到达预设的角度位置后，集成电路板在所述第一方向和第二方向所在平面内的角度不易发生改变，从而装调设备的稳定性较高，使得装调的各个激光雷达的光学链路均一性较高。

所述角度调节机构200还包括：角度固定架203，用于设置所述啮合传动结构，所述角度固定架203包括：第一固定板2031，用于与所述三维调节架100的输出端固定连接；第二固定板2032，立于所述第一固定板2031的侧部；第三固定板2032，与所述第二固定板2032的顶部连接，且延伸至所述第一固定板2031的上方，所述蜗杆201贯穿所述第三固定板2032，且与第三固定板2032转动配合；所述角度调节机构200还包括：转动轴2033，所述转动轴2033的一端与所述蜗轮202固定连接，所述转动轴2033的另一端贯穿所述第二固定板2032，与所述夹持部300固定连接。

所述角度调节机构200还包括：蜗轮固定螺丝2035，转动设置于所述第二固定板2032中，所述蜗轮固定螺丝2035的延伸方向与所述转动轴2033的延伸方向垂直，用于固定所述转动轴2033。

需要说明的是，所述转动轴2033与所述第二固定板2032为转动配合，采用的结构例如轴承。

本实施例中，所述转动轴2033的延伸方向与所述第三方向相同，因为所述第一方向、第二方向以及第三方向相互垂直，从而与所述转动轴2033连接的夹持部300能够在第一方向和第二方向所在平面内转动。

本实施例中，所述第二固定板2032与所述第三固定板2034垂直。

具体的，参考图8，步骤S2，采用所述角度调节机构200将所述集成电路板在所述第一方向和第二方向构成的平面内转动的步骤包括：

步骤S21，旋转所述蜗轮固定螺丝2035，使所述蜗轮固定螺丝2035与所述转动轴2033分离。

所述蜗轮固定螺丝2035与所述转动轴2033分离，为后续转动蜗杆201带动蜗杆202转动做准备。

步骤S22，转动所述蜗杆201，所述蜗杆201与蜗轮202相啮合，使所述蜗轮202带动转动轴2033转动。

所述转动轴2033将所述蜗轮202在第一方向和第二方向所在平面内的转动传递到所述夹持部300上，从而在装调结构工作时，带动夹持部300能够在第一方向与第二方向所在平面内转动。

步骤S23，旋转所述蜗轮固定螺丝2035，使所述蜗轮固定螺丝2035将所述转动轴2033固定。

使所述蜗轮固定螺丝2035将所述转动轴2033固定，从而后续在将集成电路板在所述第一方向、第二方向以及第三方向(X)中的至少一个方向上移动的过程中，所述集成电路板在所述第一方向和第二方向所在平面的装调位置和倾角不会发生改变。

作为一种示例，角度调节机构200用于调节集成电路板时，在第一方向和第二方向所在平面内旋转的角度小于10°。作为一种示例，集成电路板相对于初始位置的调节范围的范围为-5°至5°。

具体的，采用三维调节架100将所述集成电路板在所述第一方向、第二方向以及第三方向中的至少一个方向上移动。

本装调设备中，通过集成电路板在第一方向、第二方向、第三方向上移动，以调整所述夹持部所夹持的集成电路板的装调位置和倾角，有利于提高装调精度，进而可以提高安装完成的激光雷达的光路准确性以及激光雷达距离检测的准确性。此外，三维调节架限定了第一方向、第二方向以及第三方向的调节，避免人工调节自由度过多造成的调节杂乱无章，相应有利于提高装调效率。

本实施例中，所述三维调节架100包括：第三移动台103、位于所述第三移动台103上的第一移动台101以及位于所述第一移动台上的第二移动台102。其中，所述三维调节架100的各个部件已在前文详述，此处不再赘述。

具体的，参考图9，步骤S3，采用三维调节架100将所述集成电路板在所述第一方向、第二方向以及第三方向中的至少一个方向上移动的步骤包括：

步骤S31，第二移动台实现所述第一目标输出端沿第二方向的位置调整。

步骤S32，第一移动台实现所述第一目标输出端沿第一方向的位置调整，第一移动台沿第一方向位置调整的过程中带动第二移动台在第一方向的位置调整。

步骤S33，第三移动台实现第一目标输出端沿第三方向的位置调整，第三移动台沿第三方向位置调整的过程中带动第一移动台和第二移动台在第三方向的位置调整。

本发明实施例中，步骤S31、S32和S33在顺序上不分先后。

需要说明的是，所述调节方法中，所述集成电路板在所述第一方向、第二方向以及第三方向(X)中的至少一个方向上移动的步骤，位于所述集成电路板在所述第一方向和第二方向构成的平面内转动之后。

本实施例中，所述集成电路板在第一方向、第二方向以及第三方向上的移动，能够在一定程度上弥补所述集成电路板在所述第一方向和第二方向所在平面内的转动的局限性。

本实施例中，三维调节架100用于调节发射板时，三维调节架100在第二方向上能够移动的范围小于1.2mm，作为一种示例，三维调节架100在第二方向上相对于初始位置的调节范围为-0.2mm至1mm。三维调节架100在第一方向上能够移动的范围小于1.4mm，作为一种示例，三维调节架100在第一方向上相对于初始位置的调节范围为-0.7mm至0.7mm。

三维调节架100用于调节接收板时，三维调节架100在第二方向上能够移动的范围小于1.5mm，作为一种示例，三维调节架100在第二方向上相对于初始位置的调节范围为-0.5mm至1mm。且三维调节架100的第一目标输出端，在第二方向和第一方向所在平面内的初始位置，位于预设的理想位置的半径0.9mm的圆中。

具体的，采用集成电路板固定装置400将所述集成电路板固定在所述激光雷达上。

结合参考图4，所述激光雷达包括：集成电路板固定装置400，与所述第一镜孔701或第二镜孔702相对设置，所述集成电路板固定装置400包括：定位框架401；定位块402，在所述第一方向分立于所述定位框架401上，所述定位块402的数量为两个；固定块403，位于所述定位块402第二方向侧部的所述定位框架401上，且与所述定位块402间隔设置；压块404，所述压块404在第二方向的侧壁上具有凹槽，所述凹槽与所述固定块403在第二方向上滑动配合，在所述凹槽第一方向的两侧具有在第二方向突出的压紧部405，所述压紧部405用于与所述定位块402相配合；压块固定件406，贯穿所述压块404与所述固定块403螺纹配合，使所述压块404相对于所述固定块403在第二方向上发生位移。

具体的，参考图10，步骤S4，集成电路板固定装置400将所述集成电路板固定在所述激光雷达上的步骤包括：

步骤S41，将所述集成电路板设置在所述压块404和所述定位块402之间。

步骤S42，通过压块固定件406与所述固定块403之间的螺纹配合推动所述压块404向所述定位块402移动。使得所述压紧部405与所述定位块402之间的距离减小，能够固定位于所述压紧部405和所述定位块402之间的集成电路板。

参考图11，示出了装调方法第二实施例的流程示意图。

本发明实施例与第一实施例的相同之处在此不再赘述，与第一实施例的不同之处在于，所述激光雷达还包括：折转反射镜支架600，与所述透镜组相对应，且在第二方向上具有滑动配合。

所述装调方法还包括：步骤S5，在将所述集成电路在所述第一方向和第二方向构成的平面内转动前，沿着所述第二方向调节所述折转反射镜支架600，以调节所述折转反射镜支架600相对于所述透镜组的距离。

本实施例中，折转反射镜支架600在第二方向上具有滑动配合指代的是所述折转反射镜支架600通过所述第一面703和第二面704与所述镜筒支架700的发射相对滑动，使得折转反射镜支架600上的接收板与透镜组之间的位置发生改变。

调节接收镜筒与折转反射镜的距离，使得折转反射镜位于所述接收镜筒的焦平面内，从而回波光束穿过透镜组，经折转反射镜反射后能够更好的在接收板上汇聚，进而后续将集成电路板在第一方向和第二方向构成的平面转动的过程中，回波光束仍能够在接收板上汇聚。

本实施例中，所述调节方法采用直线驱动结构500推动所述折转反射镜支架600在第二方向发生移动。

本实施例中，所述直线驱动结构包括微分头。微分头适于微小位移的调节，使得所述折转反射镜和接收板与透镜组之间能够进行微小位移的调节。

所述接收板位于所述折转反射镜支架600上，在直线驱动结构500推动所述折转反射镜支架600在第二方向发生移动的过程中，使得折转反射镜支架600带动接收板和折转反射镜移动，通过调节折转反射镜与接收板部分光路相对于透镜组的距离，使得接收板能够相对于透镜组位于合适距离上，进而达到调节发射板和接收板之间光学链路的目的，提高激光雷达收发光学链路的准确性。

所述直线驱动结构500驱动所述折转反射镜支架600时，在第二方向上移动的范围小于1.5mm，作为一种示例，所述直线驱动结构500驱动所述折转反射镜支架600在第二方向上相对于初始位置移动的距离为-0.5mm至1mm。

所述装调方法还包括：步骤S6，在将所述集成电路在所述第一方向和第二方向构成的平面内转动前，还沿着所述第三方向调节所述折转反射镜支架600，以调节所述折转反射镜支架600相对于所述透镜组的距离。

折转反射镜支架600通过所述第一面703和第二面704与所述镜筒支架700的发生相对滑动，使得折转反射镜支架600上的接收板与透镜组沿着第三方向的位置发生改变。通过调节折转反射镜与接收板部分光路相对于透镜组的距离，使得接收板能够相对于透镜组位于合适距离上，达到调节发射板和接收板之间光学链路的目的，提高激光雷达收发光学链路的准确性。

需要说明的是，其他实施例中，当发射板上具有垂直腔面发射激光器(VCSEL)时，所述折转反射镜支架和直线驱动结构还可以与发射板相匹配，用于调节所述反射板发出的发射光束的光路。

需要说明的是，所述折转反射镜支架600还可以在第二方向的位置调整和在第三方向上的位置调整不论先后。其他实施例中，所述折转反射镜支架还可以在第三方向位置调整后，在第二方向上位置调整。

需要说明的是，在一些实施例中，所述折转反射镜支架还可以仅在第二方向上调整。

在另一些实施例中，所述折转反射镜支架还可以仅在第三方向上调整。

虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。

Claims (24)

1.一种装调设备，适用于激光雷达的集成电路板的装调，其特征在于，包括：

三维调节架、与所述三维调节架连接的角度调节机构以及与所述角度调节机构连接的夹持部，所述夹持部具有第一目标输出端；

所述三维调节架，包括：

第一移动台，用于实现对第一目标输出端沿第一方向的位置调整；

第二移动台，用于实现对第一目标输出端沿第二方向的位置调整；

第三移动台，用于实现对第一目标输出端沿第三方向的位置调整，所述第三方向垂直于所述第二方向和所述第一方向所处的平面；所述第一移动台、第二移动台以及第三移动台串联连接；

所述角度调节机构，用于实现所述第一目标输出端在第一方向和第二方向所在平面内的旋转；

所述夹持部，用于夹持所述集成电路板。

2.如权利要求1所述的装调设备，其特征在于，所述激光雷达包括：

透镜组，用于透过发射光束或接收回波光束，所述发射光束的出射方向或回波光束的入射方向为第二方向；

折转反射镜支架，与所述透镜组相对应，且在第二方向上具有滑动配合；

所述装调设备包括：直线驱动结构，具有第二目标输出端，用于推动所述折转反射镜支架在第二方向发生移动。

3.如权利要求1所述的装调设备，其特征在于，所述激光雷达包括：发射单元，所述集成电路板包括发射板；

所述激光雷达包括：接收单元，所述集成电路板包括接收板；

所述装调设备为发射板装调设备或者接收板装调设备。

4.如权利要求2所述的装调设备，其特征在于，所述激光雷达包括：接收单元，所述集成电路板包括接收板；

所述装调设备为接收板装调设备。

5.如权利要求2或4所述的装调设备，其特征在于，所述直线驱动结构包括微分头。

6.如权利要求1或2所述的装调设备，其特征在于，所述第一移动台位于所述第三移动台上，所述第二移动台位于所述第一移动台上。

7.如权利要求1或2所述的装调设备，其特征在于，所述角度调节机构包括：啮合传动结构。

8.如权利要求7所述的装调设备，其特征在于，所述啮合传动结构包括蜗杆和与所述蜗杆相啮合的蜗轮，所述蜗轮为所述角度调节机构的输出端。

9.如权利要求8所述的装调设备，其特征在于，所述角度调节机构还包括：

角度固定架，用于设置所述啮合传动结构，所述角度固定架包括：

第一固定板；

第二固定板，立于所述第一固定板的侧部；

第三固定板，与所述第二固定板的顶部连接，且延伸至所述第一固定板的上方，所述蜗杆贯穿所述第三固定板，且与所述第三固定板转动配合；

所述角度调节机构还包括：转动轴，所述转动轴的一端与所述蜗轮固定连接，所述转动轴的另一端贯穿所述第二固定板，与所述夹持部固定连接。

10.如权利要求9所述的装调设备，其特征在于，所述转动轴的延伸方向与所述第三方向相同。

11.如权利要求9所述的装调设备，其特征在于，所述第二固定板与所述第三固定板垂直，且所述第二固定板位于所述第一方向和第二方向所在平面内。

12.如权利要求9所述的装调设备，其特征在于，所述角度调节机构还包括：蜗轮固定螺丝，转动设置于所述第二固定板中，所述蜗轮固定螺丝的延伸方向与所述转动轴的延伸方向垂直，用于固定所述转动轴。

13.如权利要求7所述的装调设备，其特征在于，所述啮合传动结构包括两个垂直啮合的第一锥齿轮和第二锥齿轮，所述第二锥齿轮的齿数大于所述第一锥齿轮的齿数，所述第二锥齿轮为所述角度调节机构的输出端。

14.如权利要求1或2所述的装调设备，其特征在于，所述夹持部包括：

第一托件，所述第一托件的底部具有向上弯曲的第一延伸部；

第二托件，位于所述第一托件上，所述第二托件具有与所述第一延伸部相对的第二延伸部；

固定支撑部，位于所述第二托件的底部的一端；

螺纹固定件，贯穿所述第二托件与所述固定支撑部的顶部接触。

15.如权利要求1所述的装调设备，其特征在于，所述装调设备还包括：平台，位于所述三维调节架的底部，所述平台表面法线沿第一方向延伸。

16.一种装调方法，适用于激光雷达的集成电路板的装调，所述集成电路板内具有相互垂直的第一方向和第二方向，所述装调方法，其特征在于，包括：

夹持所述集成电路板；

将所述集成电路板在所述第一方向和第二方向构成的平面内转动；

将所述集成电路板在所述第一方向、第二方向以及第三方向中的至少一个方向上移动，其中，所述第三方向垂直于所述第一方向和第二方向所在平面；

将所述集成电路板在所述第一方向、第二方向以及第三方向的至少一个方向上移动后，将所述集成电路板固定在所述激光雷达上。

17.如权利要求16所述的装调方法，其特征在于，

所述激光雷达包括：透镜组，用于透过发射光束或接收回波光束，所述发射光束或回波光束的方向为第二方向；

所述集成电路板为发射板或接收板；

折转反射镜支架，与所述透镜组相对应，且在第二方向上具有滑动配合；

所述装调方法还包括：

在将所述集成电路在所述第一方向和第二方向构成的平面内转动前，沿着所述第二方向调节所述折转反射镜支架，以调节所述折转反射镜支架相对于所述透镜组的距离。

18.如权利要求16或17所述的装调方法，其特征在于，

所述激光雷达包括发射单元；

所述集成电路板包括至少一个发射板，所述发射板用于提供发射光束，所述发射光束被目标物反射形成回波光束，并且，所述发射光束沿第二方向出射。

19.如权利要求16或17所述的装调方法，其特征在于，

所述激光雷达还包括接收单元；

所述集成电路板包括接收板，所述接收板用于接收回波光束。

20.如权利要求17所述的装调方法，其特征在于，所述装调方法包括：

在将所述集成电路板在所述第一方向和第二方向构成的平面内转动前，还沿着所述第三方向调节所述折转反射镜支架，以调节所述折转反射镜支架相对于所述透镜组的距离。

21.如权利要求16所述的装调方法，其特征在于，

采用如权利要求14所述夹持部夹持所述集成电路板，采用所述夹持部夹持所述集成电路板的步骤包括：

旋转所述螺纹固定件，使所述第二延伸部远离所述固定支撑部的一端与所述第一延伸部的距离变大；

在所述第一延伸部和第二延伸部之间放入所述集成电路板；

旋转所述螺纹固定件，用于使所述第二延伸部靠近所述固定支撑部的一端向上翘曲，使所述第二延伸部远离所述固定支撑部的一端向下翘曲，所述第二延伸部远离所述固定支撑部的一端与所述第一延伸部夹持住所述集成电路板。

22.如权利要求16所述的装调方法，其特征在于，采用如权利要求12所述角度调节机构将所述集成电路板在所述第一方向和第二方向构成的平面内转动的步骤包括：

旋转所述蜗轮固定螺丝，使所述蜗轮固定螺丝与所述转动轴分离；

转动所述蜗杆，所述蜗杆与蜗轮相啮合，使所述蜗轮带动转动轴转动；

旋转所述蜗轮固定螺丝，使所述蜗轮固定螺丝将所述转动轴固定。

23.如权利要求16所述的装调方法，其特征在于，

采用如权利要求6所述三维调节架将所述集成电路板在所述第一方向、第二方向以及第三方向中的至少一个方向上移动的步骤包括：

第二移动台实现所述第一目标输出端沿第二方向的位置调整；

第一移动台实现所述第一目标输出端沿第一方向的位置调整，第一移动台沿第一方向位置调整的过程中带动第二移动台在第一方向的位置调整；

第三移动台实现第一目标输出端沿第三方向的位置调整，第三移动台沿第三方向位置调整的过程中带动第一移动台和第二移动台在第三方向的位置调整。

24.如权利要求16所述的装调方法，其特征在于，所述集成电路板在所述第一方向、第二方向以及第三方向中的至少一个方向上移动的步骤，位于所述集成电路板在所述第一方向和第二方向构成的平面内转动之后。

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