CN114459618B - 用于测量激光的斐索干涉波长计、光学设备 - Google Patents
用于测量激光的斐索干涉波长计、光学设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114459618B CN114459618B CN202111504640.2A CN202111504640A CN114459618B CN 114459618 B CN114459618 B CN 114459618B CN 202111504640 A CN202111504640 A CN 202111504640A CN 114459618 B CN114459618 B CN 114459618B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- plate structure
- wedge plate
- laser
- wedge
- interference
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 14
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims abstract description 21
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 11
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 8
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 11
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 10
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 3
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 claims 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 abstract description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 3
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007123 defense Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
- G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods
- G01J9/0246—Measuring optical wavelength
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A90/00—Technologies having an indirect contribution to adaptation to climate change
- Y02A90/10—Information and communication technologies [ICT] supporting adaptation to climate change, e.g. for weather forecasting or climate simulation
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明涉及激光的测量和光学检测领域。用于测量激光的斐索干涉波长计，平行光束中的一部分光经过由平板后经过第一楔板结构形成密干涉条纹图像；平行光束中的另一部分光经过由平板后经过第二楔板结构形成疏干涉条纹图像；密干涉条纹图像、疏干涉条纹图像经过成像物镜成像在图像摄取装置上，分析装置对密干涉条纹图像数据、疏干涉条纹图像数据，进行分析获得入射激光的波长。光学设备，利用所述的用于测量激光的斐索干涉波长计测量激光源，并根据测量结果校准激光源。本发明提高波长测试精度、***内部无运动部件、结构牢固可靠，稳定性好。
Description
技术领域
本发明涉及激光的测量和光学检测领域，特别是用于测量激光的斐索干涉波长计、光学设备。
背景技术
激光因其优异的特性，在各个领域大放异彩。
激光波长计可以测量激光的波长，可以检验校验激光源，是激光工业的基础，影响包括但不限于国防、军工、工业、高精尖工业、科技研究、环保、食品安全、生物医学、医疗、精准测量、检测分析；具有重要的应用价值和战略价值。
激光波长测量大多都基于干涉原理,目前典型的商品化波长计有迈克尔逊干涉型、斐索干涉型和F-Р干涉型等，其中斐索干涉型波长计相比于迈克尔逊干涉波长计，内部无运动部件，稳定性更好，耐用。
斐索干涉型波长计由于稳定性好、耐用，是全世界范围内使用广泛的波长计，由于知识产权和工业实力的原因，全世界的斐索干涉型波长计一直被美国企业所垄断；且对中国禁运，对中国的激光行业发展速度造成了负面影响。
传统的斐索干涉型波长计采用双平板斐索干涉模块，只有一个楔，该型波长计可以测量激光波长，由于双平板只能构成单个楔角的原因，在计算干涉信号空间频率和初始相位时，空间频率精度提高和干涉信号初始相位精度提高之间存在矛盾，无法同时提升，影响波长计算精度，需要改进。
发明内容
本发明的目的在于提供用于测量激光的斐索干涉波长计，根据斐索干涉原理，采用双契板组件斐索干涉模块，解决空间频率精度提高与干涉信号初始相位精度提高之间的矛盾，提高波长测试精度；***内部无运动部件，结构牢固可靠，稳定性好。
为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案是：
用于测量激光的斐索干涉波长计，用于测量待测激光的波长，优秀之处在于：包括由沿光轴依序设置有准直物镜、干涉模块、成像物镜、图像摄取装置和分析装置相连；其中干涉模块由平板和楔板组件组成；
楔板组件具有第一楔板结构和第二楔板结构；第一楔板结构与平板之间具有第一楔角；第二楔板结构与平板之间具有第二楔角；
第一楔角的角度大于第二楔角的角度；
第一楔板结构具有首端和尾端，第一楔板结构的首端到平板的距离小于第一楔板结构的尾端到平板的距离；
第二楔板结构具有首端和尾端，第二楔板结构的首端到平板的距离小于第二楔板结构的尾端到平板的距离；
第一楔板结构的尾端到平板的距离等于第二楔板结构的首端到平板的距离；
待测激光经过准直物镜后形成平行光束；
平行光束中的一部分光经过由平板后经过第一楔板结构形成密干涉条纹图像；
平行光束中的一部分光经过由平板后经过第二楔板结构形成疏干涉条纹图像；
密干涉条纹图像、疏干涉条纹图像经过成像物镜成像在图像摄取装置上，分析装
置从图像摄取装置获得密干涉条纹图像数据、疏干涉条纹图像数据；分析装置对密干涉条
纹图像数据、疏干涉条纹图像数据，进行‘分析操作’获得入射激光的波长。
进一步的：第一楔板结构的尾端与第二楔板结构的首端相接。
进一步的：待测激光信号发出的光束经过入射光纤导入。
进一步的：入射光纤的光纤头在准直物镜的前焦点位置发出，在准直物镜后形成平行光束。
进一步的：干涉模块与图像摄取装置的靶面关于成像物镜共轭。
进一步的：图像摄取装置为面阵相机。
进一步的：分析装置为计算机或以单片机、FPGA等具有通用运算能力的芯片为核心的分析电路。
进一步的：分析装置（6）进行‘分析获得入射激光的波长’的步骤具体如下：
步骤A1、依据密干涉条纹图像数据获得密干涉条纹的空间频率、条纹间距和条纹
数量，依据空间频率和条纹间距获得干涉信号初始相位；以疏干涉条纹图像数据的
‘与第二楔板结构（322）的首端相对应的外缘位置’作为坐标零点，以垂直于条纹的走向作
为横轴，获取疏干涉条纹图像数据中第一个亮度峰值对应的横坐标作为第一宽度；
步骤A2、依据第二楔板结构（322）的首端到平板（31）的距离、空间频率、初始
相位、第一宽度运算入射激光的波长。
更进一步的：运算入射激光的波长的计算方法中：入射激光的波长、第二楔板
结构（322）的首端到平板（31）的距离、条纹数量、空间频率、初始相位、第一宽度
，它们的关系如以下公式1所示：
公式1:
更进一步的：‘依据密干涉条纹图像数据获得空间频率和条纹间距，依据空间
频率和条纹间距获得干涉信号初始相位；’的数据处理步骤具体如下：
以垂直于条纹的走向作为横轴，以密干涉条纹图像的最外缘作为零点；
步骤B1、对密干涉条纹进行峰值搜索，统计光强度峰值点的数量，光强度峰值点的
数量即为条纹数量，将所有光强度峰值点的横坐标组成一个数列，数列的成员的数量
等于条纹数量；则该数列与空间频率、条纹间距的关系如公式2所示：
公式2:
步骤B2、利用最小二乘法拟合获得空间频率的值和条纹间距的值；
步骤B3、运算出初始相位、条纹间距的关系，如运算公式3所示：
公式3：
结束。
更进一步的：其中所有运算均利用预先设置好的程序调用电路实现。
进一步的：第一楔板结构和第二楔板结构各自位于单独的光学器件上。
进一步的：第一楔板结构和第二楔板结构位于同一个光学器件上。
光学设备，具有激光校准装置，利用所述的用于测量激光的斐索干涉波长计测量激光源，利用测量结果校准激光源。
拉曼光谱仪，具有激光校准装置，利用所述的用于测量激光的斐索干涉波长计测量激光源，并根据测量结果调整和控制激光源。
本发明的有益效果是：
（一）、与现有技术相比，本发明用于测量激光的斐索干涉波长计采用具有两个楔角的干涉模块，利用疏密两种条纹，分开求解初始相位计算所需的参数。提高了空间频率的计算精度，同时也提高了计算速度，使得将空间频率计算与干涉信号初始相位的计算的耦合程度降低；解决空间频率精度提高与干涉信号初始相位精度提高之间的矛盾，提高波长测试精度。
（二）、***内部无运动部件，结构牢固可靠，稳定性好。
（三）、突破了美国的垄断，利于国家发展。
（四）、本发明提供了提高波长测试精度的技术构思不同的技术方案。
综上所述，本发明提高波长测试精度、***内部无运动部件、结构牢固可靠，稳定性好、提供了新的技术方案。
附图说明
图1为实施例1的结构示意图。
图2为实施例1的干涉模块3的结构示意图；图2中X1为平板31的平面，X2为与X1平行的平面，X3为与X2平行的平面。
图3为实施例1的干涉模块3的结构示意图。
图4为实施例1的干涉条纹图像的示意图，其中U密干涉条纹图像M、疏干涉条纹图像S的分界线。
图5为实施例1的干涉条纹图像与条纹图像亮度的示意图。
其中：1-入射光纤；2-准直物镜；3-干涉模块：31-平板；32-契板组件；321-第一楔板结构；322-第二楔板结构；4-成像物镜；5-面阵相机；6-控制器；A1-第一契角；A2-第二契角；J-前焦点；U-分界线。
具体实施方式
实施例1、
如图1-5所示，用于测量激光的斐索干涉波长计，用于测量待测激光的波长，优秀之处在于：包括由沿光轴依序设置有准直物镜2、干涉模块3、成像物镜4、图像摄取装置5和分析装置6相连；其中干涉模块由平板31和楔板组件32组成；
楔板组件32具有第一楔板结构321和第二楔板结构322；第一楔板结构321与平板31之间具有第一楔角A1；第二楔板结构322与平板31之间具有第二楔角A2；
第一楔角A1的角度大于第二楔角A2的角度；
第一楔板结构321具有首端和尾端，第一楔板结构321的首端到平板31的距离小于第一楔板结构321的尾端到平板31的距离；
第二楔板结构322具有首端和尾端，第二楔板结构322的首端到平板31的距离小于第二楔板结构322的尾端到平板31的距离；
第一楔板结构321的尾端到平板31的距离等于第二楔板结构322的首端到平板31的距离；
待测激光经过准直物镜2后形成平行光束；
平行光束中的一部分光经过由平板后经过第一楔板结构321形成密干涉条纹图像M；
平行光束中的一部分光经过由平板后经过第二楔板结构322形成疏干涉条纹图像S；
密干涉条纹图像M、疏干涉条纹图像S经过成像物镜4成像在图像摄取装置上，分析
装置6从图像摄取装置5获得密干涉条纹图像数据、疏干涉条纹图像数据；分析装置6对密干
涉条纹图像数据M、疏干涉条纹图像数据S，进行‘分析操作’获得入射激光的波长。
第一楔板结构321的尾端与第二楔板结构322的首端相接。
待测激光信号发出的光束经过入射光纤1导入。
入射光纤1的光纤头在准直物镜2的前焦点J位置发出，在准直物镜后形成平行光束。
干涉模块3与图像摄取装置的靶面关于成像物镜共轭。
分析装置（6）进行‘分析获得入射激光的波长’的步骤具体如下：
步骤A1、依据密干涉条纹图像数据获得密干涉条纹的空间频率、条纹间距和条纹
数量，依据空间频率和条纹间距获得干涉信号初始相位；以疏干涉条纹图像数据的
‘与第二楔板结构（322）的首端相对应的外缘位置’作为坐标零点，以垂直于条纹的走向作
为横轴，获取疏干涉条纹图像数据中第一个亮度峰值对应的横坐标作为第一宽度；
步骤A2、依据第二楔板结构（322）的首端到平板（31）的距离、空间频率、初始
相位、第一宽度运算入射激光的波长。
‘依据密干涉条纹图像数据获得空间频率和条纹间距，依据空间频率和条
纹间距获得干涉信号初始相位；’的数据处理步骤具体如下：
以垂直于条纹的走向作为横轴，以密干涉条纹图像的最外缘作为零点；
步骤B1、对密干涉条纹进行峰值搜索，统计光强度峰值点的数量，光强度峰值点的数
量即为条纹数量，将所有光强度峰值点的横坐标组成一个数列，数列的成员的数量等于条
纹数量；则该数列与空间频率、条纹间距的关公式2:
步骤B2、利用最小二乘法拟合获得空间频率的值和条纹间距的值；
步骤B3、运算出初始相位，运算公式3所示：
公式3：
结束。
运算入射激光的波长的计算方法如以下公式1所示：
公式1:
所有运算均利用预先设置好的程序调用电路实现。
第一楔板结构321和第二楔板结构322位于同一个光学楔板上。
实施例2、
在实施例1的基础上，图像摄取装置5为面阵相机；分析装置6为计算机。
实施例3、
拉曼光谱仪，将实施例所述的用于测量激光的斐索干涉波长计，用于拉曼光谱仪的激光光源的校准。
实施例4、
高精度工件加工用的激光尺，具有用于测量激光的斐索干涉波长计，将实施例所述的用于测量激光的斐索干涉波长计，用于高精度加工使用的高精度测量的激光光源的校准。
其他说明：本发明的中疏、密是为了区分亮线间隔距离不同的两种干涉条纹图像，而拟定的，是两种干涉条纹图像的相对区别，并非模糊词汇。
Claims (9)
1.用于测量激光的斐索干涉波长计，用于测量待测激光的波长，其特征在于：包括由沿光轴依序设置有准直物镜（2）、干涉模块（3）、成像物镜（4）、图像摄取装置（5）和分析装置（6）相连；其中干涉模块由平板（31）和楔板组件（32）组成；
楔板组件（32）具有第一楔板结构（321）和第二楔板结构（322）；第一楔板结构（321）与平板（31）之间具有第一楔角（A1）；第二楔板结构（322）与平板（31）之间具有第二楔角（A2）；
第一楔角（A1）的角度大于第二楔角（A2）的角度；
第一楔板结构（321）具有首端和尾端，第一楔板结构（321）的首端到平板（31）的距离小于第一楔板结构（321）的尾端到平板（31）的距离；
第二楔板结构（322）具有首端和尾端，第二楔板结构（322）的首端到平板（31）的距离小于第二楔板结构（322）的尾端到平板（31）的距离；
第一楔板结构（321）的尾端到平板（31）的距离等于第二楔板结构（322）的首端到平板（31）的距离；
待测激光经过准直物镜（2）后形成平行光束；
平行光束中的一部分光经过由平板后经过第一楔板结构（321）形成密干涉条纹图像（M）；
平行光束中的一部分光经过由平板后经过第二楔板结构（322）形成疏干涉条纹图像（S）；
密干涉条纹图像（M）、疏干涉条纹图像（S）经过成像物镜（4）成像在图像摄取装置上，分
析装置（6）从图像摄取装置（5）获得密干涉条纹图像数据、疏干涉条纹图像数据；分析装置
（6）对密干涉条纹图像数据（M）、疏干涉条纹图像数据（S），进行分析获得入射激光的波长。
2.如权利要求1所述的用于测量激光的斐索干涉波长计，其特征在于：第一楔板结构（321）的尾端与第二楔板结构（322）的首端相接。
3.如权利要求1或权利要求2所述的用于测量激光的斐索干涉波长计，其特征在于：干涉模块（3）与图像摄取装置的靶面关于成像物镜共轭。
4.如权利要求1所述的用于测量激光的斐索干涉波长计，其特征在于：还包括入射光纤（1），待测激光发出的光束经过入射光纤（1）导入；入射光纤（1）的光纤头在准直物镜（2）的前焦点（J）位置发出，在准直物镜后形成平行光束。
5.如权利要求1所述的用于测量激光的斐索干涉波长计，其特征在于：图像摄取装置（5）为面阵相机。
6.如权利要求1所述的用于测量激光的斐索干涉波长计，其特征在于：分析装置（6）进
行‘分析获得入射激光的波长’的步骤具体如下：
步骤A1、依据密干涉条纹图像数据获得密干涉条纹的空间频率、条纹间距和条纹数量，依据空间频率和条纹间距获得干涉信号初始相位；以疏干涉条纹图像数据的‘与第
二楔板结构（322）的首端相对应的外缘位置’作为坐标零点，以垂直于条纹的走向作为横
轴，获取疏干涉条纹图像数据中第一个亮度峰值对应的横坐标作为第一宽度；
步骤A2、依据第二楔板结构（322）的首端到平板（31）的距离、空间频率、初始相位、
第一宽度运算入射激光的波长。
7.如权利要求6所述的用于测量激光的斐索干涉波长计，其特征在于：运算入射激光的
波长的计算方法中：入射激光的波长、第二楔板结构（322）的首端到平板（31）的距离、
条纹数量、空间频率、初始相位、第一宽度，它们的关系如以下公式1所示：
公式1: 。
8.如权利要求6所述的用于测量激光的斐索干涉波长计，其特征在于：‘依据密干涉条
纹图像数据获得空间频率和条纹间距，依据空间频率和条纹间距获得干涉信号初
始相位；’的数据处理步骤具体如下：
以垂直于条纹的走向作为横轴，以密干涉条纹图像的最外缘作为零点；
步骤B1、对密干涉条纹进行峰值搜索，统计光强度峰值点的数量，光强度峰值点的数量
即为条纹数量，将所有光强度峰值点的横坐标组成一个数列，数列的成员的数量等于
条纹数量；则该数列与空间频率、条纹间距的关系如公式2所示：
公式2:
步骤B2、利用最小二乘法拟合获得空间频率的值和条纹间距的值；
步骤B3、运算出初始相位、条纹间距的关系，如运算公式3所示：
公式3：
结束。
9.光学设备，具有激光校准装置，其特征在于：利用权利要求1所述的用于测量激光的斐索干涉波长计测量激光源，利用测量结果校准激光源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111504640.2A CN114459618B (zh) | 2021-12-10 | 2021-12-10 | 用于测量激光的斐索干涉波长计、光学设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202111504640.2A CN114459618B (zh) | 2021-12-10 | 2021-12-10 | 用于测量激光的斐索干涉波长计、光学设备 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN114459618A CN114459618A (zh) | 2022-05-10 |
| CN114459618B true CN114459618B (zh) | 2023-07-18 |
Family
ID=81405341
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202111504640.2A Active CN114459618B (zh) | 2021-12-10 | 2021-12-10 | 用于测量激光的斐索干涉波长计、光学设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN114459618B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN115077728B (zh) * | 2022-08-22 | 2022-11-08 | 苏州联讯仪器有限公司 | 一种多波长检测方法、装置、*** |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4426155A (en) * | 1981-10-08 | 1984-01-17 | Monchalin Jean Pierre | Method and apparatus for the interferometric wavelength measurement of frequency tunable C.W. lasers |
| JP2002344078A (ja) * | 2001-05-02 | 2002-11-29 | Agilent Technol Inc | レーザーの放射波長を監視するための装置 |
| CN201096526Y (zh) * | 2007-08-22 | 2008-08-06 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 移相横向剪切干涉仪 |
| EP2466254A1 (en) * | 2010-12-17 | 2012-06-20 | Corning Incorporated | Interferometer with paraboloidal collimator and imaging optics with tilted imaging plane |
| CN205120038U (zh) * | 2015-11-27 | 2016-03-30 | 成都信息工程大学 | 一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪 |
| CN111829672A (zh) * | 2020-07-30 | 2020-10-27 | 北京科益虹源光电技术有限公司 | 一种双探测器波长测量装置和方法 |
| WO2021169518A1 (zh) * | 2020-02-29 | 2021-09-02 | 华为技术有限公司 | 波长计、获取波长计的参数的方法以及在线校准的方法 |
-
2021
- 2021-12-10 CN CN202111504640.2A patent/CN114459618B/zh active Active
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4426155A (en) * | 1981-10-08 | 1984-01-17 | Monchalin Jean Pierre | Method and apparatus for the interferometric wavelength measurement of frequency tunable C.W. lasers |
| JP2002344078A (ja) * | 2001-05-02 | 2002-11-29 | Agilent Technol Inc | レーザーの放射波長を監視するための装置 |
| CN201096526Y (zh) * | 2007-08-22 | 2008-08-06 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 移相横向剪切干涉仪 |
| EP2466254A1 (en) * | 2010-12-17 | 2012-06-20 | Corning Incorporated | Interferometer with paraboloidal collimator and imaging optics with tilted imaging plane |
| CN205120038U (zh) * | 2015-11-27 | 2016-03-30 | 成都信息工程大学 | 一种激光波长修正式平面反射镜激光干涉仪 |
| WO2021169518A1 (zh) * | 2020-02-29 | 2021-09-02 | 华为技术有限公司 | 波长计、获取波长计的参数的方法以及在线校准的方法 |
| CN111829672A (zh) * | 2020-07-30 | 2020-10-27 | 北京科益虹源光电技术有限公司 | 一种双探测器波长测量装置和方法 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| 利用斐索干涉测量激光波长;宋建明;《 量子电子学报》;全文 * |
| 斐索式红外干涉仪研制和测试技术研究;袁群;《中国激光》;全文 * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN114459618A (zh) | 2022-05-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN108332708B (zh) | 激光水平仪自动检测***及检测方法 | |
| CN102313642B (zh) | 一种高精度长焦距透镜的焦距检测装置 | |
| CN101251484B (zh) | 基于调制的微型傅里叶变换光谱仪 | |
| CN103983214B (zh) | 一种利用无衍射光测量导轨四自由度运动误差的装置 | |
| CN103063415B (zh) | 一种基于莫尔条纹匹配的长焦距透镜焦距测量方法 | |
| CN107505121B (zh) | 电光晶体通光面法线与晶体光轴的夹角测量装置和方法 | |
| CN109406105B (zh) | 虚像检测方法及检测*** | |
| CN106931888B (zh) | 一种双光路型激光位移传感器 | |
| CN103592108A (zh) | Ccd芯片调制传递函数测试装置及方法 | |
| CN107121079B (zh) | 一种基于单目视觉的曲面高度信息测量装置及方法 | |
| CN104165758B (zh) | 基于斐索干涉仪的透镜焦距测量装置及方法 | |
| CN114459618B (zh) | 用于测量激光的斐索干涉波长计、光学设备 | |
| CN105890529A (zh) | 测量细丝直径的方法及装置 | |
| CN109141273B (zh) | 一种基于dmd的高速运动目标形变测量***及方法 | |
| CN110736721B (zh) | 基于衍射光栅的玻璃平板折射率均匀性检测装置及检测方法 | |
| CN113175894A (zh) | 一种物体表面三维形貌白光干涉测量装置及方法 | |
| CN103615971A (zh) | 用于检测圆柱体外表面的光学干涉仪 | |
| CN117128877B (zh) | 一种薄膜厚度检测方法、计算机及*** | |
| CN110836634A (zh) | 可适应多种光束的四象限探测器标定方法 | |
| CN108398104A (zh) | 可降低随机误差的光电动态角度测量装置及其方法 | |
| CN111220088A (zh) | 测量***和方法 | |
| CN113405538B (zh) | 一种激光散射诊断***空间测量位置标定装置及标定方法 | |
| CN208187381U (zh) | 激光水平仪自动检测*** | |
| CN108318887B (zh) | 激光辅助双目测距*** | |
| CN203310374U (zh) | 一种高精度位移检测装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |