CN114364973A - 表面缺陷判别装置、外观检查装置以及程序 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种表面缺陷判别装置、外观检查装置以及程序。具备：图像获取单元(10)，在一边使被检查物(5)相对于配置于不同位置的照明装置(2a)、(2b)、线传感器(1)相对地移动一边逐个切换来自各照明装置的照明光照射至被检查物时，每当切换来自各照明装置的照明光，就通过线传感器接受来自被检查物的反射光并进行拍摄，从而在分别位置偏移照明光的切换量的状态下获取多个图像；对位单元(10)，将获取到的对应于各照明装置的图像进行对位；以及判别单元(10)，从通过对位单元对位的图像中，判别被检查物的表面缺陷。

Description

表面缺陷判别装置、外观检查装置以及程序

技术领域

本发明涉及用于判别具有正反射性状较强的表面的产品、部件等被检查物的表面缺陷的表面缺陷判别装置、具备该表面缺陷判别装置的外观检查装置以及程序。

背景技术

在产品、部件的表面的划痕破坏外观。而且，在用于制作如膜这样的薄膜的成膜板上存在由划痕等引起的凹凸的情况下，凹凸被转印至制造出的薄膜而成为薄膜的缺陷。

因此，提出了用于检测各种产品、部件、成膜板等的表面缺陷的外观检查装置。

例如，在专利文献1中公开了一种技术，其特征在于，通过一边切换多个方向的光源一边拍摄部件，并解析照明光源的方向及其拍摄图像，来判别图像的阴影是缺陷还是污垢。

专利文献1:日本特开平11－118450号公报

然而，专利文献1所记载的发明是以被检查物静止为前提，例如，无法一边移动传送带一边检查难以静止控制的被滚筒驱动的传送带部件，而判别表面缺陷。

因此，期望能够一边使被检查物相对于照明装置、拍摄图像的线传感器相对移动，一边判别表面缺陷的技术。

发明内容

本发明是鉴于这样的技术背景而完成的，目的在于提供一种能够一边使被检查物相对于照明装置以及线传感器相对移动，一边判别表面缺陷的表面缺陷判别装置、外观检查装置以及程序。

上述目的通过以下的单元来实现。

(1)一种表面缺陷判别装置，具备：图像获取单元，在一边使被检查物相对于配置于不同位置的照明装置以及线传感器相对移动一边逐个切换来自上述各照明装置的照明光照射被检查物时，每当切换来自各照明装置的照明光，就通过线传感器接受来自被检查物的反射光并进行拍摄，从而在分别位置偏移上述照明光的切换量的状态下获取多个图像；对位单元，将由上述图像获取单元获取的对应于各照明装置的图像进行对位；以及判别单元，根据由上述对位单元对位的图像，判别被检查物的表面缺陷。

(2)根据技术方案1所述的表面缺陷判别装置，上述线传感器的各像素的一部分成为由一个上述照明装置的照明光照射被检查物引起的本次拍摄和前一次拍摄中拍摄范围重叠的重叠区域，上述表面缺陷判别装置具备子像素图像创建单元，上述子像素图像创建单元在将一个像素中的除了上述重叠区域以外的部分设为子像素时，通过从本次拍摄中的像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量，来推断本次子像素的受光量并创建子像素图像，上述对位单元将由上述子像素图像创建单元创建的对应于各照明装置的子像素图像进行对位。

(3)一种表面缺陷判别装置，具备图像获取单元，上述图像获取单元在一边使被检查物相对于配置于不同位置的照明装置以及线传感器相对移动一边逐个切换来自上述各照明装置的照明光照射被检查物时，每当切换来自各照明装置的照明光，就通过线传感器接受来自被检查物的反射光并进行拍摄，从而按每个上述照明光获取多个图像，上述线传感器的各像素的一部分成为由一个上述照明装置的照明光照射被检查物引起的本次拍摄和前一次拍摄中拍摄范围重叠的重叠区域，上述表面缺陷判别装置还具备：子像素图像创建单元，在将一个像素中的除了上述重叠区域以外的部分作为子像素时，通过从本次拍摄中的像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量，来推断本次子像素的受光量并创建子像素图像；以及判别单元，基于由子像素图像创建单元创建的子像素图像，来判别被检查物的表面缺陷。

(4)根据前项3所述的表面缺陷判别装置，具备对位单元，将由上述子像素图像创建单元创建的对应于各照明装置的子像素图像进行对位。

(5)根据前项2～4中任一项所述的表面缺陷判别装置，上述子像素图像创建单元在按每个区域修正了上述重叠区域的受光量的状态下，从像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量。

(6)根据前项2～5中任一项所述的表面缺陷判别装置，上述子像素图像创建单元根据在前一次以前推断出的子像素的受光量的和来求出上述重叠区域的受光量，并从像素整体的受光量减去所求出的受光量来推断本次子像素的受光量。

(7)根据前项6所述的表面缺陷判别装置，上述子像素图像创建单元将开始拍摄后的最初的像素整体的受光量除以每个像素的子像素的数量所得的平均值推断为最初的子像素的受光量。

(8)根据前项2～7中任一项所述的表面缺陷判别装置，在像素整体的受光量未超过规定阈值的情况下，上述子像素图像创建单元将像素整体的受光量除以每个像素的子像素的数量所得的平均值推断为本次的子像素的受光量，在像素整体的受光量超过规定阈值的情况下，上述子像素图像创建单元通过从像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量，来推断本次的子像素的受光量。

(9)根据前项2、4～8中任一项所述的表面缺陷判别装置，上述对位单元通过根据下述式子将亮度值Kⁱ _j修正为修正值K’ⁱ _j，来进行由上述子像素图像创建单元创建的对应于各照明装置的子像素图像的对位。

[式1]

其中，i：子像素推断位置的索引

j：点亮的照明装置的识别编号

(10)根据前项1、2、4～9中任一项所述的表面缺陷判别装置，在通过上述对位单元对位的子像素图像中，在对应于各照明装置的亮点不重叠并且各亮点处于预先设定的范围内的情况下，上述判别单元判定为在被检查物的表面存在凹缺陷或凸缺陷。

(11)根据前项10所述的表面缺陷判别装置，在通过上述对位单元对位的子像素图像中，在对应于各照明装置的亮点的位置与照明装置的配置位置相反的情况下，上述判别单元判定为存在凹缺陷，在对应于各照明装置的亮点的位置与照明装置的配置位置不相反的情况下，上述判别单元判定为存在凸缺陷。

(12)根据前项1、2、4～11中任一项所述的表面缺陷判别装置，在通过上述对位单元对位的子像素图像中，在对应于各照明装置的亮点重叠时，上述判别单元判定为在被检查物的表面存在灰尘或污垢。

(13)根据前项1、2、4～12中任一项所述的表面缺陷判别装置，将整体的受光量超过规定阈值的像素检测为缺陷候补像素，对于检测出的缺陷候补像素，通过上述对位单元对位子像素图像，并且通过判定单元来判别被检查物的表面缺陷。

(14)根据前项1～13中任一项所述的表面缺陷判别装置，使用LED或可见光半导体激光器作为上述照明装置的光源。

(15)根据前项1～14中任一项所述的表面缺陷判别装置，上述照明装置为三个以上，配置在以上述线传感器为中心的圆周上，并且以360度÷照明装置的数量的角度差来配置。

(16)一种外观检查装置，具备：多个照明装置，配置于不同位置；线传感器，能够接受从各照明装置对被检查物照射的照明光的反射光；移动单元，使上述被检查物相对于上述照明装置以及线传感器相对地移动；照明控制单元，逐个以规定周期切换来自各照明装置的照明光使其照射被检查物；线传感器控制单元，一边通过上述移动单元使上述被检查物相对于上述照明装置以及线传感器相对移动，一边通过上述照明控制单元以每当切换来自各照明装置的照明光，就接受来自被检查物的反射光并进行拍摄的方式，控制上述线传感器；以及表面缺陷判别装置，是前项1～15中任一项所述的表面缺陷判别装置。

(17)一种程序，用于使计算机执行如下步骤：图像获取步骤，在一边使被检查物相对于配置于不同位置的照明装置以及线传感器相对移动，一边逐个切换来自上述各照明装置的照明光照射被检查物时，每当切换来自各照明装置的照明光，就通过线传感器接受来自被检查物的反射光并进行拍摄，从而在分别位置偏移上述照明光的切换量的状态下获取多个图像；对位步骤，将通过上述图像获取步骤获取的对应于各照明装置的图像进行对位；以及判别步骤，根据通过上述对位步骤对位的图像，判别被检查物的表面缺陷。

(18)根据前项17所述的程序，上述线传感器的各像素的一部分成为由一个上述照明装置的照明光照射被检查物引起的在本次拍摄和前一次拍摄中拍摄范围重叠的重叠区域，使上述计算机执行如下步骤：子像素图像创建步骤，在将一个像素中的除了上述重叠区域以外的部分作为子像素时，通过从本次拍摄中的像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量，来推断本次子像素的受光量并创建子像素图像，在上述对位步骤中，使上述计算机执行对位通过上述子像素图像创建步骤创建的对应于各照明装置的子像素图像。

(19)根据前项17所述的程序，使上述计算机执行如下处理：在上述子像素图像创建步骤中，在按每个区域修正了上述重叠区域的受光量的状态下，从像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量。

(20)根据前项18或19所述的程序，使上述计算机执行如下处理：在上述子像素图像创建步骤中，根据在前一次以前推断出的子像素的受光量的和来求出上述重叠区域的受光量，并从像素整体的受光量减去所求出的受光量来推断本次子像素的受光量。

(21)根据前项20所述的程序，使上述计算机执行如下处理：在上述子像素图像创建步骤中，将开始拍摄后的最初的像素整体的受光量除以每个像素的子像素的数量所得的平均值推断为最初的子像素的受光量。

(22)根据前项18～21中任一项所述的程序，使上述计算机执行如下处理：在上述子像素图像创建步骤中，在像素整体的受光量未超过规定阈值的情况下，将像素整体的受光量除以每个像素的子像素的数量所得的平均值推断为本次的子像素的受光量，在像素整体的受光量超过规定阈值的情况下，通过从像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量，来推断本次的子像素的受光量。

(23)根据前项18～22中任一项所述的程序，使上述计算机执行如下处理：在上述对位步骤中，通过根据下述式子将亮度值Kⁱ _j修正为修正值K’ⁱ _j来进行通过上述子像素图像创建步骤创建的对应于各照明装置的子像素图像的对位。

[式2]

其中，i：子像素推断位置的索引

j：点亮的照明的识别差编号。

(24)根据前项17～23中任一项所述的程序，使上述计算机执行如下处理：在上述判别步骤中，在通过上述对位步骤对位的子像素图像中，在对应于各照明装置的亮点不重叠并且各亮点处于预先设定的范围内的情况下，判定为在被检查物的表面存在凹缺陷或凸缺陷。

(25)根据前项24所述的程序，使上述计算机执行如下处理：在上述判别步骤中，在通过上述对位步骤对位的子像素图像中，在对应于各照明装置的亮点的位置与照明装置的配置位置相反的情况下，判定为存在凹缺陷，在对应于各照明装置的亮点的位置与照明装置的配置位置不相反的情况下，上述判别单元判定为存在凸缺陷。

(26)根据前项17～25中任一项所述的程序，使上述计算机执行如下处理：在上述判别步骤中，在通过上述对位步骤对位的像素图像中，在对应于各照明装置的亮点重叠时，判定为在被检查物的表面存在灰尘或污垢。

(27)根据前项17～26中任一项所述的程序，使上述计算机执行如下处理：将整体的受光量超过规定阈值的像素检测为缺陷候补像素，对于检测出的缺陷候补像素，通过上述对位单元对位子像素图像，并且通过判定步骤判别被检查物的表面缺陷。

(28)根据前项17～27中任一项所述的程序，使用LED或可见光半导体激光器作为上述照明装置的光源。

(29)根据前项17～28中任一项所述的程序，多个上述照明装置配置在以上述线传感器为中心的圆周上并且配置在360度/(照明装置的个数)的位置。

根据前项(1)所述的发明，一边使被检查物相对于配置于不同位置的照明装置以及线传感器相对移动，一边逐个切换来自各照明装置的照明光照射至被检查物。每当切换来自各照明装置的照明光，就通过线传感器接受来自被检查物的反射光并进行拍摄，在分别位置偏移照明光的切换量的状态下获取多个图像。在获取到的对应于各照明装置的图像被对位后，根据对位后的图像判别被检查物的表面缺陷。

像这样，在因为被检查物相对于照明装置以及线传感器相对移动，而分别位置偏移了切换来自各照明装置的照明光时的照明光的切换量的状态下，对位从线传感器获取的对应于各照明装置的多个图像，并在该对位的状态下判别被检查物的表面缺陷，所以能够一边使被检查物相对移动，一边判别被检查物的表面缺陷。

根据前项(2)所述的发明，线传感器的各像素的一部分成为由一个照明装置的照明光照射被检查物引起的本次拍摄和前一次的拍摄中拍摄范围重叠的重叠区域，在将一个像素中的除了重叠区域以外的部分作为子像素时，通过从本次拍摄中的像素整体的受光量减去重叠区域的受光量，来推断本次的子像素的受光量，并创建子像素图像。而且，对位所创建的对应于各照明装置的子像素图像，并从对位后的图像中检测被检查物的表面缺陷。在这里，由于子像素是像素中的除了重叠区域以外的部分，所以小于一个像素，因此外观检查的分辨率提高，能够进行更细致的表面缺陷的检测。

换句话说，在利用线传感器拍摄相对地移动的非检查物的情况下，线传感器与非检查物的拍摄面间的距离不稳定，而需要较深地设定景深，但具有若加深景深则分辨率下降的权衡关系，具有无法检查微小的缺陷的情况，但通过使用小于一个像素的子像素的图像，具有即使不加深景深，分辨率也上升，而能够检查更微小的缺陷的优点。

根据前项(3)所述的发明，由于从小于一个像素的子像素图像判别缺陷，所以外观检查的分辨率提高，能够进行更细致的表面缺陷的检测。

根据前项(4)所述的发明，通过对应于各照明装置的子像素图像的对位，能够进行精度更高的缺陷检测。

根据前项(5)所述的发明，由于在按每个区域修正重叠区域的受光量的状态下，从像素整体的受光量减去重叠区域的受光量，所以能够减去重叠区域的更正确的受光量来推断本次的子像素的受光量，进而能够进行更高精度的缺陷判别。

根据前项(6)所述的发明，由于根据在前一次以前推断出的子像素的受光量的和来求出重叠区域的受光量，并从像素整体的受光量减去所求出的受光量来推断本次子像素的受光量，所以可简化推断处理。

根据前项(7)所述的发明，由于将开始拍摄后的最初的像素整体的受光量除以每个像素的子像素的数量所得的平均值推断为最初的子像素的受光量，所以能够顺畅地进行下次以后的子像素的受光量的推断处理。

根据前项(8)所述的发明，在像素整体的受光量未超过规定阈值的情况下，换言之在不存在表面缺陷的可能性较高的情况下，将像素整体的受光量除以每个像素的子像素的数量所得的平均值，推断为本次的子像素的受光量。另一方面，在像素整体的受光量超过规定阈值的情况下，换言之在存在表面缺陷的可能性较高的情况下，通过从像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量，来推断本次的子像素的受光量。由此，能够集中在存在表面缺陷的可能性较高的区域来执行缺陷判别处理。

根据前项(9)所述的发明，能够准确地进行对应于各照明装置的子像素图像的对位，进而能够进行精度较高的缺陷判别。

根据前项(10)所述的发明，能够判别被检查物的表面的划痕等凹缺陷或凸缺陷。

根据前项(11)所述的发明，能够判别被检查物的表面的凹缺陷、凸缺陷。

根据前项(12)所述的发明，能够判别被检查物的表面的灰尘或污垢。

根据前项(13)所述的发明，由于将整体的受光量超过规定阈值的像素检测为缺陷候补像素，并对检测出的缺陷候补像素对位子像素图像，并且判别被检查物的表面缺陷，所以能够集中在存在表面缺陷的可能性较高的区域来执行缺陷判别处理。

根据前项(14)所述的发明，由于LED或可见光半导体激光器可用作照明装置的光源，所以能够高速地进行各照明装置的切换。

根据前项(15)所述的发明，由于照明装置为三个以上，配置在以线传感器为中心的圆周上，并且以360度÷照明装置的数量的角度差来配置，所以能够一定确保证明光不会与划痕等成为直角的照明装置，且高精度地判别划痕等表面缺陷。

根据前项(16)所述的发明，为一边使被检查物相对于配置于不同位置的照明装置以及线传感器相对移动，一边高精度地进行非检查物的表面缺陷判别的外观检查装置。

根据前项(17)～(29)所述的发明，能够一边使被检查物相对于配置于不同位置的照明装置以及线传感器相对移动，一边使计算机执行非检查物的表面缺陷判别处理。

附图说明

图1是本发明的一个实施方式的外观检查装置的构成图。

图2的(A)(B)是用于说明多个照明装置的配置关系的图。

图3是用于对一边切换多个照明装置一边拍摄时的拍摄范围与像素的相对位置关系进行说明的图。

图4是用于对利用一个照明装置进行第一次～第四次拍摄时的拍摄范围与像素的相对位置关系进行说明的图。

图5是用于对子像素23的受光量的推断方法进行说明的图。

图6是用于对多个照明装置的子像素图像的对位进行说明的图。

图7是表示像素的灵敏度分布的一个例子的图。

图8是表示考虑了有关像素的灵敏度分布的加权而计算出的像素的各区域的修正后的受光量推断值的一个例子的图。

图9是用于对由于多个照明装置的照射光量的分布不同，所以反射光的受光量也因像素的区域而不同的情况进行说明的图。

图10是用于对空隙缺陷的判别方法进行说明的图。

图11是用于对凸缺陷的判别方法进行说明的图。

图12是用于对划痕缺陷的判别方法进行说明的图。

图13是用于对灰尘、污垢的判别方法进行说明的图。

图14是示意性地表示通过组合多个子像素图像而判别为空隙缺陷的图像的图。

图15是示意性地表示通过组合多个子像素图像而判别为凸缺陷的图像的图。

图16是示意性地表示通过组合多个子像素图像而判别为划痕缺陷的图像的图。

图17是示意性地表示通过组合多个子像素图像而判别为灰尘或污垢的图像的图。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明的实施方式进行说明。

[外观检查装置的结构]

图1是表示本发明的一个实施方式的外观检查装置的构成图。如图1所示，外观检查装置具备线传感器1、两个照明装置2a、2b、控制各照明装置2a、2b的照明控制部8、控制线传感器1的线传感器控制部9、输送被检查物5的输送鼓3、3、检测被检查物5的拍摄位置的鼓编码器4、显示装置6、计算机10、以及为了控制被检查物5的输送速度而控制输送鼓3的转速的输送鼓控制部11等。

计算机10处理由线传感器1拍摄到的图像进行缺陷判别，并且同步控制照明装置2a、2b和线传感器1。另外，显示装置6显示由计算机10进行了缺陷判别处理后的图像和处理结果等。

被检查物5呈高反射率的带状，使用输送鼓3设置成辊状，通过输送鼓3、3沿箭头方向的旋转，被沿Y方向输送。通过鼓编码器4检测由线传感器1拍摄的被检查物5的拍摄位置。

线传感器1在与被检查物5的移动方向Y正交的X方向上延伸配置，如图2的(A)所示，从上方观察，两个照明装置2a、2b以180度的角度差配置在以线传感器1为中心的对象位置，能够分别从不同的2个方向照射。照明装置2a、2b的对置方向可以是X方向也可以是Y方向，也可以是其他方向。在本实施方式中，使用两个照明装置2a、2b，但也可以使用3个以上的照明装置。在为3个以上的照明装置的情况下，从必须确保相对于直线状的划痕等表面缺陷不会成直角的照明装置，而能够高精度地判别划痕等表面缺陷的观点考虑，优选如图2的(B)所示，从上方观察，以360度÷照明装置的数量的角度差配置在以线传感器1为中心的圆周上。此外，在图2的(B)中，在为三个照明装置2a、2b、2c的情况下，相互以120度的角度差来配置。

各照明装置2a、2b能够通过照明控制部8下的控制在任意时机切换开关。

在线传感器1的1行的拍摄范围相对于被检查物5较小的情况下，可以为当在Y方向上拍摄被检查物5一周后，通过传感器照明输送部12使照明装置2a、2b和线传感器1一体地在X方向上移动线传感器1的长度的量，并再次在Y方向上拍摄一周，通过依次反复该步骤，来拍摄被检查物5整体的结构。

线传感器1一边使被检查物5在Y方向上移动，一边切换各照明装置2a、2b的开关并接受照射被检查物5时的反射光。线传感器1和各照明装置2a、2b未处于正对位置，来自各照明装置2a、2b的照明光被被检查物5漫反射后的反射光被线传感器1接受。因此，由线传感器1拍摄的图像成为暗场图像。

由于被检查物5的表面为高反射率，所以当在照明位置存在凹缺陷、凸缺陷、划痕状缺陷、灰尘、污垢等的情况下，被这些缺陷、灰尘、污垢等漫反射出的反射光入射至线传感器1。

线传感器控制部9和照明控制部8与计算机10连接，线传感器1与照明装置2a、线传感器1与照明装置2b分别同步发光并被拍摄。

在本实施方式中，根据一般的线传感器的规格将线传感器1的线速率设为100kHz(快门速度0.01ms)。换句话说，作为照明装置2a、照明装置2b，优选使用每隔0.01ms交替地高速地切换的LED光源、LD(可见光半导体激光器)光源等。

[表面缺陷判别处理]

接下来，对由计算机10进行的被检查物5的表面缺陷判别处理进行说明。此外，计算机10具备CPU、RAM、存储装置等，表面缺陷判别处理通过CPU根据存储装置等中储存的动作程序动作来执行。

如上所述，线传感器1的拍摄通过一边使被检查物5移动一边交替地切换多个(在本实施方式中为2个)照明装置2a、2b的开关来进行。计算机10依次获取线传感器1的拍摄图像。

＜子像素图像的创建＞

图3是用于对一边切换照明装置2a、2b一边拍摄时的拍摄范围与像素20的相对位置关系进行说明的图。

如图3所示，将要检测的缺陷30的尺寸设为12A，将线传感器1的分辨率(一个像素20的长度)设为6A，每当将被检查物5输送A，就一边切换照明装置2a、2b一边拍摄。线传感器1的分辨率6A是一个像素中的一次的拍摄区域。因此，如图3所示，第一次拍摄通过照明装置2a的照明光来进行，若将被检查物5输送A则切换到第二次拍摄，通过照明装置2b的照明光来进行拍摄。在第一次拍摄和第二次拍摄中，被检查物5的拍摄区域移动A的量。对于第三次及其以后的拍摄也相同。在图3的例子中，为了便于说明，示出每当进行切换拍摄，像素20就移动A的量的状态。

图4是用于对利用一个照明装置2a进行第一次～第四次拍摄时的拍摄范围与像素20的相对位置关系进行说明的图。

如图4所示，若着眼于照明装置2a，则每当被检查物5移动2A，照明装置2a就开启而开始利用其照明光的对被检查物5的照射，每次都通过线传感器1拍摄。换句话说，每当被检查物5移动2A，就进行对应于来自照明装置2a的照明光的拍摄。照明装置2a的照明光的照射时间，换言之线传感器1的各像素20的受光时间是相当于移动距离A的时间。这些点对于照明装置2b也相同。

另外，如图4所示，在利用照明装置2a的拍摄中，作为传感器分辨率6A的一部分的4A的量是在本次拍摄与前一次拍摄中拍摄被检查物5的相同拍摄范围，而拍摄范围重叠的重叠区域。换句话说，若将像素20沿长度方向依次分割为第一区域21、第二区域22、第三区域23这三个区域，则每一个区域的长度为2A，前一次拍摄中的第二区域22以及第三区域23与本次拍摄的第一区域21以及第二区域22是拍摄范围相同的重叠区域。例如，第四次拍摄的第一区域21和第二区域22分别与第三次拍摄的第二区域22和第三区域23重叠。在图4中，以灰色显示本次拍摄中的与前一次拍摄的重叠区域。

对于本次拍摄的第三区域23而言，与前一次拍摄的拍摄范围不重叠，是作为新的拍摄范围更新的部分，将该区域作为子像素。以下，将第三区域也称为子像素。

图5是用于对子像素23的受光量的推断方法进行说明的图，示出利用照明装置2a进行第i次拍摄及其前后多次的拍摄时的拍摄范围与像素20的相对位置关系。

如图5所示，在第i次拍摄中，子像素23的受光量需要从第i次拍摄时的一个像素20的整体(6A的量)的受光量中减去作为与前一次拍摄的重叠区域的第一区域21以及第二区域22的4A的量的受光量来运算推断。

在第(i－2)次的图像与第(i－3)次的比较中，被更新子像素23的2A的量，每当拍摄次数增加为第(i－1)次、第i次，则依次各更新子像素23的2A的量。被更新后的新的子像素23在下一个拍摄时成为重叠区域，在更下一个的拍摄时也作为重叠区域剩余，在其下一个拍摄时超出重叠区域。换句话说，本次拍摄与前一次拍摄之间的重叠区域是前一次以及更前一次的过去两次拍摄时的子像素23。因此，在第i次拍摄中，子像素23的受光量为从第i次拍摄中的一个像素6A的量的总受光量中减去前一次第(i－1)次的拍摄时的子像素23的推断受光量与更前一次第(i－2)次的拍摄时的子像素23的推断受光量的和所得的值。换句话说，运算为(第i次子像素的受光量的推断值)＝(第i次总受光量)－{(第(i－1)次子像素的受光量的推断值)+(第(i－2)次子像素的受光量的推断值)}。

图5的各像素20的第一区域21～第三区域23的各区域中写入的数值是该区域的推断受光量的一个例子，与前一次或更前一次的子像素23的数值相同。像素20的右侧横向的数值是一个像素的总受光量。在图5的例子中，由于第i次拍摄中的一个像素6A的量的总受光量为3.8，前一次第(i－1)次的拍摄时的子像素23的推断受光量为1.3，更前一次第(i－2)次的拍摄时的子像素23的推断受光量为0.5，所以第i次拍摄时的子像素23的推断受光量为[3.8－(1.3+0.5)}＝2.0。

其中，该子像素23的受光量的推断处理对被检测为存在缺陷的可能性较高的缺陷候补像素的像素20实施即可，基于鼓编码器4的信息将检测出的缺陷候补像素的推断位置设为i，并将此时的子像素23的受光量与位置信息建立关联并存储，创建子像素图像即可。由此，能够集中于存在表面缺陷的可能性较高的部位来执行缺陷判别处理，效率提高。对于缺陷候补像素，将整体的受光量超过规定阈值的像素20检测为缺陷候补像素即可。

此外，对于整体的受光量未超过规定阈值的像素20，由于存在缺陷的可能性较低，所以求出2A的量的像素光量的平均值作为像素整体的受光量的1/3，并推断为子像素23的受光量即可(图5的例如第(i－4)次或者第(i－3)次)。

另外，对于开始检查后的最初的拍摄，由于不存在前一次的子像素23的推断受光量，所以将像素整体的受光量除以每一个像素的子像素23的数量所得的平均值推断为最初的子像素23的受光量，并使用该受光量来推断以后的拍摄中的子像素23的受光量即可。

这样，对于缺陷候补像素周边，创建由1/3像素(2A的量的区域)的受光量构成的子像素图像，而不是像素20的图像。由此，线传感器1的分辨率成为3倍，能够高精度地检测并判别微小的表面缺陷。换句话说，在利用线传感器1拍摄相对于线传感器1以及照明装置2a、2b移动的非检查物5的情况下，线传感器1与非检查物5的拍摄面间的距离不稳定，而需要较深地设定景深，但存在若加深景深则分辨率下降的权衡关系，并存在无法检查到微小的缺陷的情况，然而通过使用比一个像素小的子像素的图像，即使不加深景深，分辨率也提高，而能够检查到更微小的缺陷。

对于照明装置2a生成了子像素图像，但对于照明装置2b也相同地、能够创建1/3像素的子像素图像。

＜对于照明装置2a、2b的子像素图像的对位＞

如图6所示，若将有关对应于照明装置2a的一个像素20的子像素图像的位置设为a1、a2、a3…、将有关对应于照明装置2b的一个像素20的子像素图像的位置设为b1、b2、b3…，则在拍摄时，由于被检查物5相对于线传感器1以及照明装置2a、2b移动，所以有关照明装置2a的子像素图像和有关照明装置2b的子像素图像如a1、b1、a2、b2、a3、b3…那样，成为交替地位置偏移了相当于照明光的切换时间的移动距离A的量的状态。

因此，修正该位置偏移。具体而言，若将对应于照明装置2a的位置a2的照明装置2b的子像素的位置设为b2’，则位置b2’上的受光量(亮度值)＝(位置b1上的受光量+位置b2上的受光量)/2，通过修正受光量(亮度值)来修正位置偏移。对于对应于照明装置2a的位置a3、a4…的照明装置2b的子像素的位置b3’、b4’…也相同。

另外，也可以以将照明装置2a的位置对应于照明装置2b的位置b1、b2、b3…的方式进行对位。

上述修正式是照明装置为两个的情况下的修正式，但无论是两个还是三个以上都可应用的修正式可由下面的式子来表示。

[式3]

其中，i：子像素推断位置的索引

j：点亮的照明装置的识别编号

＜推断子像素的受光量时的修正＞

假设一个像素6A的量的所有区域具有相同的受光灵敏度，进行子像素23的受光量的推断。但是，实际上，如图7的灵敏度分布所示，受光灵敏度根据像素20的各部而不同，中央部相对地受光灵敏度较高，两端部较低。在图7中，示出阴影部分的灵敏度较高，即使是相同的两端部，第三区域的灵敏度也高于第一区域的灵敏度。

如在图5中说明的那样，若本次拍摄是第i次拍摄，则在作为前一次拍摄的第(i－1)次的拍摄中，子像素是一个像素的右端部的第三区域23，受光灵敏度较低。对于该子像素23而言，在本次的第i次拍摄中，与中央的2A的量的第二区域22重叠，该区域的受光灵敏度较高。因此，第i次拍摄中的中央的第二区域22的受光量应该多于第(i－1)次的拍摄中的子像素23的受光量。

另外，第i次拍摄中的第一区域21的受光量为第(i－2)次的拍摄中的子像素23的受光量，但实际上，第i次拍摄中的第一区域21的受光量应该少于第(i－2)次的拍摄中的子像素23的受光量。

因此，为了修正像素20的各区域21～23的受光量，进行与各区域21～23相应的加权，并按区域21～23中的每个区域设定权重系数。具体而言，将一个像素20的左端部的第一区域21的权重系数设为ε1，将中央部的第二区域22的权重系数设为ε2，将右端部的第三区域23的权重系数设为ε3，通过下述式子来运算第i次拍摄中的子像素23的受光量。

(第i次子像素的受光量的推断值)＝(第i次总受光量)－{(第(i－1)次子像素的受光量的推断值)＊ε2/ε3+(第(i－2)次子像素的受光量的推断值)＊ε1/ε3}

作为ε1、ε2、ε3的具体例，在本实施方式中，设定为ε1＝1/3、ε2＝1、ε3＝2/3。在图8中，示出考虑加权计算出的各区域21～23的修正后的受光量推断值的一个例子。

在图8的例子中，在将第(i－2)次的拍摄时的子像素23的受光量设为0.3时，在第(i－1)次的拍摄时的第二区域22中，修正受光量增加到0.5，在第i次拍摄时的第一区域21中，修正受光量减少为0.2。另外，在将第(i－1)次的拍摄时的子像素23的受光量设为0.9时，在第i次拍摄时的第二区域22中，修正受光量增加为1.3。

另外，由于不仅是像素20的受光灵敏度不同，照明装置2a、2b的照射光量的分布也不同，所以如图9所示，存在反射光40的受光量也根据像素20的区域而不同的情况。在图9的例子中，示出对于像素20的端部的第一区域21以及第三区域23而言反射光量为1，相对于此中央的第二区域22的反射光量为2倍。因此，为了修正反射光量的不同，也可以设定基于像素20的各区域21～23的权重系数ε1～ε3。例如，也可以设定ε1＝1/2、ε2＝1、ε3＝1/2。

这样，在按像素20的区域21～23中的每个区域修正了受光量的状态下，由于从一个像素整体的受光量减去重叠区域的受光量，所以能够减去重叠区域的更准确的受光量来推断本次的子像素23的受光量，进而能够进行更高精度的缺陷判别。

＜缺陷判别＞

基于相互对位的子像素图像来判别表面缺陷。

对于凹缺陷中的被称为“空隙缺陷”的球面状的凹痕缺陷51，如图10所示，来自对置配置的照明装置2a以及2b的不同方向的照明光交叉，照明装置2a以及2b的各位置和反射位置的位置关系相反。换句话说，在对位的子像素图像61中，在对应于各照明装置2a、2b的亮点61a、61b不重叠，并且各亮点61a、61b处于预先设定的范围内，并且亮点61a、61b的位置与照明装置2a、2b的配置位置为相反的位置关系的情况下，判定为凹缺陷51。

另一方面，对于“凸缺陷”，如图11所示，从照明装置2a以及2b朝向凸缺陷52的各照明光不交叉，照明装置2a以及2b的各位置与反射位置的位置关系相同。因此，在对位的子像素图像62中，在对应于各照明装置2a、2b的亮点62a、62b不重叠，并且各亮点62a、62b处于预先设定的范围内，并且亮点62a、62b的位置与照明装置2a、2b的配置位置为相同的位置关系的情况下，判定为凸缺陷52。

此外，在图10以及图11中，用双阴影线示出对应于照明装置2a的亮点61a、62a，并用虚线阴影线示出对应于照明装置2b的亮点61b、62b。在图12及其以后也相同。

对于凹缺陷中的被称为“划痕缺陷”的平面的缺陷53，如图12所示，来自对置配置的照明装置2a以及2b的照明光交叉，照明装置2a以及2b的各位置与反射位置的位置关系相反。并且，由于划痕面的方向不齐，所以照明装置2a的照明光的反射与照明装置2b的照明光的反射混合存在。但是，由于平面是高反射率面，所以各照明光不混合反射。因此，在对位的子像素图像63中，在对应于照明装置2a的亮点63a和对应于照明装置2b的亮点63b不重叠，并且各亮点63a、63b混合存在，亮点63a、63b的位置与照明装置2a、2b的配置位置相反的情况下，判定为在被检查物5的表面存在划痕缺陷53。

“灰尘”、“污垢”的表面是漫反射面，所以漫反射照明装置2a、2b的照明光，因此，如图13所示，各照明光被缺陷54混合并反射。因此，在对位的子像素图像64中，在对应于各照明装置2a、2b的亮点64a、64b重叠时，判定为在被检查物5的表面存在灰尘或污垢。

照明装置2a、2b的各子像素图像均为暗场图像，凹凸缺陷、划痕缺陷、灰尘、污垢等以白点出现。图像上的缺陷候补的检测以如下方式进行。

即，在将缺陷候补的尺寸以图像的面积设定为W1以上且W2以下，将亮度设定为B2以上时，将各子像素图像以B2二值化，通过膨胀收缩处理进行离散像素的集结处理。并且，对每个像素集合进行基于颜色区分等的标记。

只剩下集合面积S为W1≤S≤W2的标签的像素集合，从各子像素图像中删除其他像素集合。W1不是仅表示最小的缺陷尺寸，而表示视为“缺陷的部分”的最小尺寸。

而且，在将缺陷的尺寸以像素数定义为X以上时，调查有关照明装置2a的子像素图像中剩余的像素集合的各像素的坐标Vi(i为像素集合的标签)，在有关照明装置2b的子像素图像的坐标Vi±X/2的范围内存在像素集合的情况下视为缺陷，根据上述的缺陷分类方法，分类为“空隙缺陷”、“划痕缺陷”、“凸缺陷”、“灰尘或污垢”这四种。

具体而言，如图14所示，若如右图那样，组合对位的对应于照明装置2a的子像素图像SPb和对应于照明装置2b的子像素图像SPb，则由于对应于各照明装置2a、2b的亮点61a、61b不重叠，并且各亮点61a、61b处于坐标Vi±X/2的范围内，并且亮点61a、61b的位置与照明装置2a、2b的配置位置为相反的位置关系，所以判定为空隙缺陷。

如图15所示，若如右图那样组合对位的对应于照明装置2a的子像素图像SPb和对应于照明装置2b的子像素图像SPb，则对应于各照明装置2a、2b的亮点62a、62b不重叠，并且各亮点62a、62b处于坐标Vi±X/2的范围内，并且亮点62a、62b的位置与照明装置2a、2b的配置位置为相同的位置关系，所以判定为凸缺陷。

如图16所示，若如右图那样组合对位的对应于照明装置2a的子像素图像SPb和对应于照明装置2b的子像素图像SPb，则由于对应于各照明装置2a、2b的各亮点62a、62b处于坐标Vi±X/2的范围内，亮点62a、62b不重叠地混合存在，亮点63a、63b的位置与照明装置2a、2b的配置位置相反，所以判定为划痕缺陷。

如图17所示，若如右图那样组合对位的对应于照明装置2a的子像素图像SPb和对应于照明装置2b的子像素图像SPb，则由于对应于各照明装置2a、2b的亮点64a、64b重叠，所以判定为灰尘或污垢。

如上所述，能够检测判别移动的被检查物5的表面缺陷。

检测结果被显示于显示装置6。显示优选可以与图14～图17的右侧所示的两个子像素图像Spa、SPb的对位后的图像一起一并显示判别出的缺陷的种类、每个缺陷的坐标Vi±X/2的范围。

以上，对本发明的一个实施方式进行了说明，但本发明并不限定于上述实施方式。例如，为固定线传感器1以及照明装置2a、2b，并一边移动被检查物5一边进行拍摄的结构，但也可以固定被检查物5，并一边移动线传感器1以及照明装置2a、2b一边进行拍摄，使被检查物5和线传感器1以及照明装置2a、2b中的至少一方相对于另一方相对移动即可。

另外，示出了每次拍摄非检查物5的相对移动距离为A，子像素23的长度为2A的情况，但对于一个照明装置，能够在本次拍摄和前一次拍摄中产生拍摄范围的重叠形成子像素即可。因此，每次拍摄非检查物5的相对移动距离为1个像素的1/2以下较好。

另外，使用2个照明装置2a、2b，但如上所述依次切换地使用3个以上的照明装置，对对应于各照明装置的3种以上的子像素图像进行比较来检测判别缺陷的照射光的方向是多样的，从能够更高精度地检测判别表面缺陷的点考虑优选。

本发明可在判别具有正反射性状较强的表面的产品、部件等被检查物的表面缺陷时利用。

附图标记说明

1…线传感器；2a、2b…照明装置；4…鼓编码器；5…被检查物；6…照明装置；8…照明控制部；9…线传感器控制部；10…计算机；11…鼓输送控制部；20…像素；21…第一区域；22…第二区域；23…子像素(第三区域)；30…缺陷；51…凹缺陷(空隙缺陷)；52…凸缺陷；53…划痕缺陷；54…灰尘或污垢；61a～64a…照明装置2a的亮点；61b～64b…照明装置2b的亮点。

Claims (29)

1.一种表面缺陷判别装置，具备：

图像获取单元，在一边使被检查物相对于配置于不同位置的照明装置以及线传感器相对移动，一边逐个切换来自上述各照明装置的照明光照射被检查物时，每当切换来自各照明装置的照明光，就通过线传感器接受来自被检查物的反射光并进行拍摄，从而在位置分别偏移上述照明光的切换量的状态下获取多个图像；

对位单元，将由上述图像获取单元获取的对应于各照明装置的图像进行对位；以及

判别单元，根据由上述对位单元对位的图像，判别被检查物的表面缺陷。

2.根据权利要求1所述的表面缺陷判别装置，其中，

上述线传感器的各像素的一部分成为由一个上述照明装置的照明光照射被检查物引起的本次拍摄和前一次拍摄中拍摄范围重叠的重叠区域，

上述表面缺陷判别装置具备子像素图像创建单元，上述子像素图像创建单元在将一个像素中的除了上述重叠区域以外的部分作为子像素时，通过从本次拍摄中的像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量，来推断本次子像素的受光量并创建子像素图像，

上述对位单元将由上述子像素图像创建单元创建的对应于各照明装置的子像素图像进行对位。

3.一种表面缺陷判别装置，具备：

图像获取单元，在一边使被检查物相对于配置于不同位置的照明装置以及线传感器相对移动，一边逐个切换来自上述各照明装置的照明光照射被检查物时，每当切换来自各照明装置的照明光，就通过线传感器接受来自被检查物的反射光并进行拍摄，从而按每个上述照明光获取多个图像，

上述线传感器的各像素的一部分成为由一个上述照明装置的照明光照射被检查物引起的本次拍摄和前一次拍摄中拍摄范围重叠的重叠区域，

上述表面缺陷判别装置还具备：

子像素图像创建单元，在将一个像素中的除了上述重叠区域以外的部分作为子像素时，通过从本次拍摄中的像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量，来推断本次子像素的受光量并创建子像素图像；以及

判别单元，基于由子像素图像创建单元创建的子像素图像，来判别被检查物的表面缺陷。

4.根据权利要求3所述的表面缺陷判别装置，其中，

具备对位单元，上述对位单元将由上述子像素图像创建单元创建的对应于各照明装置的子像素图像进行对位。

5.根据权利要求2～4中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，

上述子像素图像创建单元在按每个区域修正了上述重叠区域的受光量的状态下，从像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量。

6.根据权利要求2～5中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，

上述子像素图像创建单元根据在前一次以前推断出的子像素的受光量的和来求出上述重叠区域的受光量，并从像素整体的受光量减去所求出的受光量来推断本次子像素的受光量。

7.根据权利要求6所述的表面缺陷判别装置，其中，

上述子像素图像创建单元将开始拍摄后的最初的像素整体的受光量除以每个像素的子像素的数量所得的平均值推断为最初的子像素的受光量。

8.根据权利要求2～7中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，

在像素整体的受光量未超过规定阈值的情况下，上述子像素图像创建单元将像素整体的受光量除以每个像素的子像素的数量所得的平均值推断为本次的子像素的受光量，在像素整体的受光量超过规定阈值的情况下，上述子像素图像创建单元通过从像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量，来推断本次的子像素的受光量。

9.根据权利要求2、4～8中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，

上述对位单元通过根据下述式子将亮度值Kⁱ _j修正为修正值K’ⁱ _j，来进行由上述子像素图像创建单元创建的对应于各照明装置的子像素图像的对位，

[式4]

其中，i：子像素推断位置的索引

j：点亮的照明装置的识别编号。

10.根据权利要求1、2、4～9中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，

在通过上述对位单元对位的子像素图像中，在对应于各照明装置的亮点不重叠并且各亮点处于预先设定的范围内的情况下，上述判别单元判定为在被检查物的表面存在凹缺陷或凸缺陷。

11.根据权利要求10所述的表面缺陷判别装置，其中，

在通过上述对位单元对位的子像素图像中，在对应于各照明装置的亮点的位置与照明装置的配置位置相反的情况下，上述判别单元判定为存在凹缺陷，在对应于各照明装置的亮点的位置与照明装置的配置位置不相反的情况下，上述判别单元判定为存在凸缺陷。

12.根据权利要求1、2、4～11中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，

在通过上述对位单元对位的子像素图像中，在对应于各照明装置的亮点重叠时，上述判别单元判定为在被检查物的表面存在灰尘或污垢。

13.根据权利要求1、2、4～12中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，

将整体的受光量超过规定阈值的像素检测为缺陷候补像素，对于检测出的缺陷候补像素，通过上述对位单元对位子像素图像，并且通过判定单元来判别被检查物的表面缺陷。

14.根据权利要求1～13中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，

使用LED或可见光半导体激光器作为上述照明装置的光源。

15.根据权利要求1～14中任一项所述的表面缺陷判别装置，其中，

上述照明装置为三个以上，配置在以上述线传感器为中心的圆周上，并且以360度÷照明装置的数量的角度差来配置。

16.一种外观检查装置，具备：

多个照明装置，配置于不同位置；

线传感器，能够接受从各照明装置对被检查物照射的照明光的反射光；

移动单元，使上述被检查物相对于上述照明装置以及线传感器相对地移动；

照明控制单元，逐个以规定周期切换来自各照明装置的照明光使其照射被检查物；

线传感器控制单元，一边通过上述移动单元使上述被检查物相对于上述照明装置以及线传感器相对移动，一边通过上述照明控制单元以每当切换来自各照明装置的照明光，就接受来自被检查物的反射光并进行拍摄的方式，控制上述线传感器；以及

表面缺陷判别装置，权利要求1～15中任一项所述的表面缺陷判别装置。

17.一种程序，用于使计算机执行如下步骤：

图像获取步骤，在一边使被检查物相对于配置于不同位置的照明装置以及线传感器相对移动，一边逐个切换来自上述各照明装置的照明光照射被检查物时，每当切换来自各照明装置的照明光，就通过线传感器接受来自被检查物的反射光并进行拍摄，从而在位置分别偏移上述照明光的切换量的状态下获取多个图像；

对位步骤，将通过上述图像获取步骤获取的对应于各照明装置的图像进行对位；以及

判别步骤，根据通过上述对位步骤对位的图像，判别被检查物的表面缺陷。

18.根据权利要求17所述的程序，其中，

上述线传感器的各像素的一部分成为由一个上述照明装置的照明光照射被检查物引起的本次拍摄和前一次拍摄中拍摄范围重叠的重叠区域，

使上述计算机执行如下子像素图像创建步骤：在将一个像素中的除了上述重叠区域以外的部分作为子像素时，通过从本次拍摄中的像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量，来推断本次子像素的受光量并创建子像素图像，

使上述计算机执行如下处理：在上述对位步骤中，将通过上述子像素图像创建步骤创建的对应于各照明装置的子像素图像进行对位。

19.根据权利要求17所述的程序，其中，

使上述计算机执行如下处理：在上述子像素图像创建步骤中，在按每个区域修正了上述重叠区域的受光量的状态下，从像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量。

20.根据权利要求18或19所述的程序，其中，

使上述计算机执行如下处理：在上述子像素图像创建步骤中，根据在前一次以前推断出的子像素的受光量的和来求出上述重叠区域的受光量，并从像素整体的受光量减去所求出的受光量来推断本次子像素的受光量。

21.根据权利要求20所述的程序，其中，

使上述计算机执行如下处理：在上述子像素图像创建步骤中，将开始拍摄后的最初的像素整体的受光量除以每个像素的子像素的数量所得的平均值推断为最初的子像素的受光量。

22.根据权利要求18～21中任一项所述的程序，其中，

使上述计算机执行如下处理：在上述子像素图像创建步骤中，在像素整体的受光量未超过规定阈值的情况下，将像素整体的受光量除以每个像素的子像素的数量所得的平均值推断为本次的子像素的受光量，在像素整体的受光量超过规定阈值的情况下，通过从像素整体的受光量减去上述重叠区域的受光量，来推断本次的子像素的受光量。

23.根据权利要求18～22中任一项所述的程序，其中，

使上述计算机执行如下处理：在上述对位步骤中，通过根据下述式子将亮度值Kⁱ _j修正为修正值K’ⁱ _j来进行通过上述子像素图像创建步骤创建的对应于各照明装置的子像素图像的对位，

[式5]

其中，i：子像素推断位置的索引

j：点亮的照明的识别差编号。

24.根据权利要求17～23中任一项所述的程序，其中，

使上述计算机执行如下处理：在上述判别步骤中，在通过上述对位步骤对位的子像素图像中，在对应于各照明装置的亮点不重叠并且各亮点处于预先设定的范围内的情况下，判定为在被检查物的表面存在凹缺陷或凸缺陷。

25.根据权利要求24所述的程序，其中，

使上述计算机执行如下处理：在上述判别步骤中，在通过上述对位步骤对位的子像素图像中，在对应于各照明装置的亮点的位置与照明装置的配置位置相反的情况下，判定为存在凹缺陷，在对应于各照明装置的亮点的位置与照明装置的配置位置不相反的情况下，上述判别单元判定为存在凸缺陷。

26.根据权利要求17～25中任一项所述的程序，其中，

使上述计算机执行如下处理：在上述判别步骤中，在通过上述对位步骤对位的像素图像中，在对应于各照明装置的亮点重叠时，判定为在被检查物的表面存在灰尘或污垢。

27.根据权利要求17～26中任一项所述的程序，其中，

使上述计算机执行如下处理：将整体的受光量超过规定阈值的像素检测为缺陷候补像素，对于检测出的缺陷候补像素，通过上述对位单元对位子像素图像，并且通过判定步骤判别被检查物的表面缺陷。

28.根据权利要求17～27中任一项所述的程序，其中，

使用LED或可见光半导体激光器作为上述照明装置的光源。

29.根据权利要求17～28中任一项所述的程序，其中，

多个上述照明装置配置在以上述线传感器为中心的圆周上并且配置在360度/(照明装置的个数)的位置。

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