CN114352553A - 一种旋涡机构及复合分子泵 - Google Patents

Abstract

本发明涉及分子泵技术领域，具体涉及一种旋涡机构及复合分子泵，旋涡机构包括旋涡转子和旋涡定子，旋涡转子适于与驱动轴连接，旋涡定子适于与壳体本体连接，旋涡定子和旋涡转子围合为适于介质流通的旋涡流道，在旋涡转子和旋涡定子的二者之一上设置有若干叠层设置的旋涡叶片，在旋涡转子和旋涡定子二者中的另一个上相对旋涡叶片设置有导流槽，导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈夹角设置。由于导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈夹角设置，可以实现在夹角部位对介质进行急速压缩分流，增气流压强，提高压缩比，同时使气体流动过程中不会发生气体回流的情况，提高抽真空效率和真空度。

Description

一种旋涡机构及复合分子泵

技术领域

本发明涉及分子泵技术领域，具体涉及一种旋涡机构及复合分子泵。

背景技术

分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子，使之获得定向速度，从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵。半导体的各种生产工艺都需要在分子泵维持的高真空环境下进行，因此对真空***和真空设备的洁净度也有着很高的要求。在半导体生产制造工艺中，分子泵广泛应用于光刻机、薄膜沉积设备、刻蚀设备、离子注入机等关键设备。

在现有的复合分子泵中，通过转动件将气体分子输入，再通过固定件来阻止气体分子的返流，如此将气体分子进行层层压缩，达到抽气效果，但在气体分子输送过程中由于压缩比有限，在气体压缩输送过程中容易沿气体流道返流至进气口，导致抽真空效率低和抽真空度差。

发明内容

因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中气体分子输送过程中由于压缩比有限，在气体压缩输送过程中容易沿气体流道返流至进气口，导致抽真空效率低和抽真空度差的缺陷。

本发明提供了一种旋涡机构，包括：

旋涡转子和旋涡定子；所述旋涡转子适于与驱动轴连接，所述旋涡定子适于与壳体本体连接，所述旋涡定子和所述旋涡转子围合为适于介质流通的旋涡流道；

若干叠层设置的旋涡叶片，设置在所述旋涡转子和所述旋涡定子的二者之一上；

导流槽，相对所述旋涡叶片设置在所述旋涡转子和所述旋涡定子二者中的另一个上，所述导流槽的延伸方向与所述旋涡叶片所在平面呈夹角设置。

可选地，上述旋涡机构，所述导流槽的延伸方向与所述旋涡叶片所在平面呈垂直设置。

可选地，上述旋涡机构，还包括若干安装槽，相对所述旋涡叶片设置在所述旋涡转子和所述旋涡定子二者中的另一个上，所述安装槽适于所述旋涡叶片的安装；

相邻的所述安装槽通过连接部连接，所述导流槽成型在所述连接部上。

可选地，上述旋涡机构，还包括引流槽，所述引流槽成型在所述安装槽的侧壁面上，所述引流槽与所述导流槽连通，所述引流槽与所述导流槽共同构成所述旋涡流道。

可选地，上述旋涡机构，还包括引流叶片，相对所述旋涡叶片设置在靠近所述旋涡流道的入口侧，所述引流叶片安装在所述安装槽内，所述引流叶片的顶面与所述安装槽的槽底之间留有引流间隙。

本发明还提供了一种复合分子泵，包括：

壳体本体，具有安装空腔，所述壳体本体还具有与所述安装空腔连通的进气口与出气口；

驱动机构，所述驱动机构的驱动轴穿设在所述安装空腔内；

以及上述任一项所述的旋涡机构。

可选地，上述复合分子泵，还包括：

涡轮机构，靠近所述进气口一侧设置，所述涡轮机构包括涡轮转子和涡轮定子；所述涡轮机构的涡轮转子与所述驱动轴连接，所述涡轮机构的涡轮定子与所述壳体本体连接，所述涡轮定子和所述涡轮转子围合为适于介质流通的涡流流道；

牵引机构，所述牵引机构包括牵引转子和牵引定子；所述牵引机构的牵引转子与所述驱动轴连接，所述牵引机构的牵引定子与所述壳体本体连接，所述牵引定子和所述牵引转子围合为适于所述介质流通的牵引流道，所述牵引流道与所述涡流流道连通；所述牵引流道与所述旋涡流道连通。

可选地，上述复合分子泵，在所述涡流流道、所述牵引流道和所述旋涡流道中，三者中的至少一个与所述驱动轴同轴设置；或在所述涡流流道、所述牵引流道和所述旋涡流道中，三者中的所有所述流道与所述驱动轴同轴设置。

可选地，上述复合分子泵，在沿所述驱动轴的径向方向上，所述旋涡流道设置在所述牵引流道内。

可选地，上述复合分子泵，所述牵引转子与所述旋涡定子之间设有适于所述介质流通的第一连接通道，所述第一连接通道连通所述牵引流道和所述旋涡流道。

可选地，上述复合分子泵，所述壳体本体上还设有第二连接通道，所述第二连接通道的两端连通所述旋涡流道和所述出气口。

本发明技术方案，具有如下优点：

1.本发明提供的旋涡机构，包括旋涡转子和旋涡定子，旋涡转子适于与驱动轴连接，旋涡定子适于与壳体本体连接，旋涡定子和旋涡转子围合为适于介质流通的旋涡流道，在旋涡转子和旋涡定子的二者之一上设置有若干叠层设置的旋涡叶片，在旋涡转子和旋涡定子二者中的另一个上相对旋涡叶片设置有导流槽，导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈夹角设置。

此结构的旋涡机构，介质在旋涡流道中，由于导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈夹角设置，可以实现在夹角部位对介质进行急速压缩分流，增气流压强，提高压缩比，同时使介质流动过程中不会发生回流的情况，提高抽真空效率和真空度。

2.本发明提供的旋涡机构，导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈垂直设置。

此结构的旋涡机构，气体在旋涡流道中，由于导流槽的延伸方向与旋涡叶片所在平面呈垂直设置可以实现在垂直部位最大限度对气流进行高速压缩分流，增气流压强，提高压缩比，同时导流槽与旋涡叶片垂直设置可使气体分子在反射过程中减少气体分子发生反弹回流的情况，从而提高抽真空效率和真空度。

3.本发明提供的旋涡机构，还包括若干相对旋涡叶片设置在旋涡转子和旋涡定子二者中的另一个上的安装槽，适于旋涡叶片的安装，相邻的安装槽通过连接部连接，在连接部上成型有导流槽。

此结构的旋涡机构，安装槽可将叠层设置的旋涡叶片逐层分开，当旋涡转子转动时各层之间的气体可通过导流槽流动至下一层导流槽中，减少气体发生回流的情况，从而提高抽真空效率和真空度。

4.本发明提供的旋涡机构，还包括成型在安装槽侧壁面上的引流槽，引流槽与导流槽连通共同构成旋涡流道。

此结构的旋涡机构，引流槽可对在安装槽中流动的气体进行导向，便于气体沿着引流槽的方向流入导流槽中，减少气体发生回流的情况，从而提高抽真空效率和真空度。

5.本发明提供的旋涡机构，还包括相对旋涡叶片设置在靠近旋涡流道的入口侧的引流叶片，引流叶片安装在安装槽内，引流叶片的顶面与安装槽的槽底之间留有引流间隙。

此结构的旋涡机构，引流叶片的顶面与安装槽的槽底之间的引流间隙可将更多的气体通过引流叶片引流至导流槽中，增加了引流气体的流量，从而提高了抽真空的效率和真空度。

6.本发明提供的复合分子泵，包括壳体本体、驱动机构和旋涡机构，壳体本体具有安装空腔及与安装空腔连通的进气口与出气口，驱动机构的驱动轴穿设在安装空腔内。

此结构的复合分子泵，通过旋涡机构可将气流进行高速压缩分流，增气流压强，提高压缩比，同时可使气体分子在反射过程中减少气体分子发生反弹回流的情况，无需连接机械泵作为前级泵便可使用，从而提高抽真空效率和真空度。

7.在现有的复合分子泵中，通过转动件将气体分子输入，再通过固定件来阻止气体分子的返流，如此将气体分子进行层层压缩，达到抽气效果，但在气体分子输送过程中由于压缩比有限，在气体压缩输送过程中容易气体流道返流至进气口。本发明提供的复合分子泵，还包括涡轮机构和牵引机构，涡轮机构设置在靠近进气口一侧，包括涡轮转子和涡轮定子，涡轮机构的涡轮转子与驱动轴连接，涡轮机构的涡轮定子与壳体本体连接，涡轮定子和涡轮转子围合为适于介质流通的涡流流道，牵引机构包括牵引转子和牵引定子，牵引机构的牵引转子与驱动轴连接，牵引机构的牵引定子与壳体本体连接，牵引定子和牵引转子围合为适于介质流通的牵引流道，牵引流道连通涡流流道与旋涡流道。

此结构的复合分子泵，涡轮机构将气体压缩比提高后通过涡流流道输送至牵引机构中，牵引机构可再次将气体压缩比提高后通过牵引流道输送至旋涡流道中，通过涡轮机构的涡轮转子和牵引机构的牵引转子的高速转动在进气口与旋涡流道之间形成高压缩比，由于旋涡叶片与导流槽成固定夹角，在气体流动过程中返流回的气体被安装槽间连接部阻挡，使得壳体本体内的真空度提高，无需连接机械泵作为前级泵便可使用，从而提高抽真空效率和真空度，也减少了真空***所占空间和制造成本。

8.本发明提供的复合分子泵，在涡流流道、牵引流道和旋涡流道中，三者中的至少一个与驱动轴同轴设置；或在涡流流道、牵引流道和旋涡流道中，三者中的所有流道与驱动轴同轴设置。

此结构的复合分子泵，通过将涡流流道、牵引流道和旋涡流道连通设置，可增强涡轮机构、牵引机构和旋涡机构的配合将气体排出，减少气体发生回流的情况，从而提高抽真空效率和真空度。

9.本发明提供的复合分子泵，在沿驱动轴的径向方向上，旋涡流道设置在牵引流道内。

此结构的复合分子泵，可增加气体在牵引流道中的流动路径，气体先经过轴向方向的牵引流道后再进入旋涡流道中，进一步增加了气体的压缩比，减少气体发生回流的情况，从而提高抽真空效率和真空度，还可使复合分子泵整体结构更紧凑，减小壳体本体在径向方向的尺寸，在使用中减少所占用的空间。

10.本发明提供的复合分子泵，牵引转子与旋涡定子之间设有适于介质流通的第一连接通道，第一连接通道连通牵引流道和旋涡流道，壳体本体上还设有第二连接通道，第二连接通道的两端连通旋涡流道和出气口。

此结构的复合分子泵，第一连接通道可增加气体在牵引流道中的流动路径，气体先经过轴向方向的牵引流道后再进入旋涡流道中，进一步增加了气体的压缩比，减少气体发生回流的情况，从而提高抽真空效率和真空度，第二连接通道便于将压缩后的气体排出，如此设置还可使复合分子泵整体结构更紧凑，减小壳体本体在径向方向的尺寸，在使用中减少所占用的空间。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的实施例中提供的漩涡机构的剖面图；

图2为本发明的实施例中提供的漩涡定子的剖面图；

图3为本发明的实施例中提供的漩涡转子的结构图；

图4为本发明的实施例中提供的复合分子泵的剖面图；

图5为本发明的实施例中提供的复合分子泵的局部剖面图；

图6为本发明的实施例中提供的复合分子泵中涡轮机构局部剖面图；

图7为本发明的实施例中提供的复合分子泵中牵引机构局部剖面图；

附图标记说明：

11、旋涡转子；12、旋涡定子；13、旋涡流道；14、旋涡叶片；15、引流叶片；16、导流槽；17、引流槽；18、安装槽；19、引流间隙；

21、驱动转子；22、驱动定子；23、驱动轴；

3、壳体本体；4、进气口；5、出气口；

61、涡轮转子；62、涡轮定子；63、涡流流道；

71、牵引转子；72、牵引定子；73、牵引流道；

81、第一连接通道；82、第二连接通道。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

实施例1

如图1至图3所示，为本发明提供的一种旋涡机构，包括旋涡转子11和旋涡定子12，旋涡转子11与驱动轴连接，旋涡定子12与壳体本体3连接，旋涡定子12和旋涡转子11围合为介质流通的旋涡流道13，在旋涡转子11上设置有若干叠层设置的旋涡叶片14，在旋涡定子12上相对旋涡叶片14设置有导流槽16，导流槽16的延伸方向与旋涡叶片14所在平面呈夹角设置。气体在旋涡流道13中，由于导流槽16的延伸方向与旋涡叶片14所在平面呈夹角设置可以实现在夹角部位对气流进行急速压缩分流，增气流压强，提高压缩比，同时使气体流动过程中不会发生气体回流的情况，提高抽真空效率和真空度。

本实施例对导流槽16延伸方向与旋涡叶片14所在平面的夹角不做具体限定，为符合现实情况，本实施例中导流槽16延伸方向与旋涡叶片14所在平面垂直设置，可以实现在垂直部位最大限度对气流进行高速压缩分流，增气流压强，提高压缩比，同时导流槽16与旋涡叶片14垂直设置可使气体分子在反射过程中减少气体分子发生反弹回流的情况，从而提高抽真空效率和真空度。

如图1所示，本实施例中，若干安装槽18相对旋涡叶片14设置在旋涡定子12上，旋涡叶片14安装在安装槽18内，安装槽18可将叠层设置的旋涡叶片14逐层分开，相邻的安装槽18通过连接部连接，在连接部上成型有导流槽16，当旋涡转子11转动时各层之间的气体可通过导流槽16流动至下一层导流槽16中，减少气体发生回流的情况，从而提高抽真空效率和真空度。

如图2所示，本实施例中，引流槽17成型在安装槽18侧壁面上与导流槽16连通共同构成旋涡流道13，引流槽17可对在安装槽18中流动的气体进行导向，便于气体沿着引流槽17的方向流入导流槽16中，减少气体发生回流的情况，从而提高抽真空效率和真空度。

如图1和图3所示，本实施例中，引流叶片15相对旋涡叶片14设置在靠近旋涡流道13的入口侧，引流叶片15安装在安装槽18内，引流叶片15的顶面与安装槽18的槽底之间留有引流间隙19，引流叶片15的顶面与安装槽18的槽底之间的引流间隙19可将更多的气体通过引流叶片15引流至导流槽16中，增加了引流气体的流量，从而提高了抽真空的效率和真空度。

本实施例对旋涡叶片14和引流叶片15的形状不做具体限定，为符合现实情况，本实施例中旋涡叶片14的截面呈梯形，引流叶片15的截面呈三角形，且旋涡叶片14的截面积大于引流叶片15的截面积。

实施例2

本实施例与实施例1的区别在于，在旋涡定子12上设置有若干叠层设置的旋涡叶片14，在旋涡转子11上相对旋涡叶片14设置有导流槽16，导流槽16的延伸方向与旋涡叶片14所在平面呈夹角设置。

在本实施例中，若干安装槽18相对旋涡叶片14设置在旋涡转子11上，旋涡叶片14安装在安装槽18内，安装槽18可将叠层设置的旋涡叶片14逐层分开，相邻的安装槽18通过连接部连接，在连接部上成型有导流槽16。

实施例3

如图4至图7所示，为本发明提供的一种复合分子泵，包括壳体本体3、驱动机构和旋涡机构，壳体本体3具有安装空腔及与安装空腔连通的进气口4与出气口5，驱动机构的驱动轴穿设在安装空腔内。通过旋涡机构可将气流进行高速压缩分流，增气流压强，提高压缩比，同时可使气体分子在反射过程中减少气体分子发生反弹回流的情况，从而提高抽真空效率和真空度。

本实施例中，驱动机构还包括驱动定子22和驱动转子21，驱动定子22安装在壳体本体3上，驱动转子21与驱动轴固定连接。

本实施例提供的复合分子泵还包括支撑机构，支撑机构包括第一轴承和第二轴承，套设在驱动轴上，轴承的外圈与壳体本体3固定连接，轴承的内圈与所述驱动轴固定连接。

如图4所示，本实施例提供的复合分子泵还包括涡轮机构和牵引机构，涡轮机构设置在靠近进气口4一侧，包括涡轮转子61和涡轮定子62，涡轮机构的涡轮转子61与驱动轴连接，涡轮机构的涡轮定子62与壳体本体3连接，涡轮定子62和涡轮转子61围合为适于介质流通的涡流流道63，涡轮机构将气体压缩比提高后通过涡流流道63输送至牵引机构中，牵引机构包括牵引转子71和牵引定子72，牵引机构的牵引转子71与驱动轴连接，牵引机构的牵引定子72与壳体本体3连接，牵引定子72和牵引转子71围合为适于介质流通的牵引流道73，牵引流道73连通涡流流道63与旋涡流道13，牵引机构可再次将气体压缩比提高后通过牵引流道73输送至旋涡流道13中，通过涡轮机构的涡轮转子61和牵引机构的牵引转子71的高速转动在进气口4与旋涡流道13之间形成高压缩比，使得壳体本体3内的真空度提高，无需连接机械泵作为前级泵便可使用，从而提高抽真空效率和真空度，也减少了真空***所占空间和制造成本。

本实施例中，旋涡定子12外侧及牵引定子的内侧开设有呈螺旋装的沟槽，可对在牵引流道73中流动的气体进行导向，便于气体流向旋涡流道13中。

本实施例中，涡流流道63、牵引流道73和旋涡流道13与驱动轴同轴设置，在沿驱动轴的径向方向上，旋涡流道13设置在牵引流道73内。

通过将涡流流道63、牵引流道73和旋涡流道13连通设置，可增强涡轮机构、牵引机构和旋涡机构的配合将气体排出，可增加气体在牵引流道73中的流动路径，气体先经过轴向方向的牵引流道73后再进入旋涡流道13中，进一步增加了气体的压缩比，减少气体发生回流的情况，从而提高抽真空效率和真空度，还可使复合分子泵整体结构更紧凑，减小壳体本体3在径向方向的尺寸，在使用中减少所占用的空间。

如图5所示，本实施例中，牵引转子71与旋涡定子12之间设有适于介质流通的第一连接通道81，第一连接通道81连通牵引流道73和旋涡流道13，第一连接通道81可增加气体在牵引流道73中的流动路径，气体先经过轴向方向的牵引流道73后再进入旋涡流道13中，进一步增加了气体的压缩比，减少气体发生回流的情况，无需连接机械泵作为前级泵便可使用，从而提高抽真空效率和真空度，壳体本体3上还设有第二连接通道82，第二连接通道82的两端连通旋涡流道13和出气口5，如此设置还可使复合分子泵整体结构更紧凑，减小壳体本体3在径向方向的尺寸，在使用中减少所占用的空间。

本实施例提供的复合分子泵工作时，气体由进气口4进入涡轮机构中，经涡轮转子61的转动将气体压缩后通过涡流流道63进入牵引机构中，牵引转子71再次将气体进行压缩通过牵引流道73进入牵引转子71与旋涡定子12之间的第一连接通道81，气体再经第一连接通道81进入旋涡机构中，通过旋涡转子11与旋涡定子12的再次压缩后无需连接机械泵作为前级泵便可通过第二连接通道82直接将气体排出排气口。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (11)

1.一种旋涡机构，其特征在于，包括：

旋涡转子(11)和旋涡定子(12)；所述旋涡转子(11)适于与驱动轴(23)连接，所述旋涡定子(12)适于与壳体本体(3)连接，所述旋涡定子(12)和所述旋涡转子(11)围合为适于介质流通的旋涡流道(13)；

若干叠层设置的旋涡叶片(14)，设置在所述旋涡转子(11)和所述旋涡定子(12)的二者之一上；

导流槽(16)，相对所述旋涡叶片(14)设置在所述旋涡转子(11)和所述旋涡定子(12)二者中的另一个上，所述导流槽(16)的延伸方向与所述旋涡叶片(14)所在平面呈夹角设置。

2.根据权利要求1所述的旋涡机构，其特征在于，所述导流槽(16)的延伸方向与所述旋涡叶片(14)所在平面呈垂直设置。

3.根据权利要求1所述的旋涡机构，其特征在于，还包括若干安装槽(18)，相对所述旋涡叶片(14)设置在所述旋涡转子(11)和所述旋涡定子(12)二者中的另一个上，所述安装槽(18)适于所述旋涡叶片(14)的安装；

相邻的所述安装槽(18)通过连接部连接，所述导流槽(16)成型在所述连接部上。

4.根据权利要求3所述的旋涡机构，其特征在于，还包括引流槽(17)，所述引流槽(17)成型在所述安装槽(18)的侧壁面上，所述引流槽(17)与所述导流槽(16)连通，所述引流槽(17)与所述导流槽(16)共同构成所述旋涡流道(13)。

5.根据权利要求3所述的旋涡机构，其特征在于，还包括引流叶片(15)，相对所述旋涡叶片(14)设置在靠近所述旋涡流道(13)的入口侧，所述引流叶片(15)安装在所述安装槽(18)内，所述引流叶片(15)的顶面与所述安装槽(18)的槽底之间留有引流间隙(19)。

6.一种复合分子泵，其特征在于，包括：

壳体本体(3)，具有安装空腔，所述壳体本体(3)还具有与所述安装空腔连通的进气口(4)与出气口(5)；

驱动机构，所述驱动机构的驱动轴(23)穿设在所述安装空腔内；

以及权利要求1－5中任一项所述的旋涡机构。

7.根据权利要求6所述的复合分子泵，其特征在于，还包括：

涡轮机构，靠近所述进气口(4)一侧设置，所述涡轮机构包括涡轮转子(61)和涡轮定子(62)；所述涡轮机构的涡轮转子(61)与所述驱动轴(23)连接，所述涡轮机构的涡轮定子(62)与所述壳体本体(3)连接，所述涡轮定子(62)和所述涡轮转子(61)围合为适于介质流通的涡流流道(63)；

牵引机构，所述牵引机构包括牵引转子(71)和牵引定子(72)；所述牵引机构的牵引转子(71)与所述驱动轴(23)连接，所述牵引机构的牵引定子(72)与所述壳体本体(3)连接，所述牵引定子(72)和所述牵引转子(71)围合为适于所述介质流通的牵引流道(73)，所述牵引流道(73)与所述涡流流道(63)连通；所述牵引流道(73)与所述旋涡流道(13)连通。

8.根据权利要求7所述的复合分子泵，其特征在于，在所述涡流流道(63)、所述牵引流道(73)和所述旋涡流道(13)中，三者中的至少一个与所述驱动轴(23)同轴设置；或在所述涡流流道(63)、所述牵引流道(73)和所述旋涡流道(13)中，三者中的所有所述流道与所述驱动轴(23)同轴设置。

9.根据权利要求7所述的复合分子泵，其特征在于，

在沿所述驱动轴(23)的径向方向上，所述旋涡流道(13)设置在所述牵引流道(73)内。

10.根据权利要求7所述的复合分子泵，其特征在于，所述牵引转子(71)与所述旋涡定子(12)之间设有适于所述介质流通的第一连接通道(81)，所述第一连接通道(81)连通所述牵引流道(73)和所述旋涡流道(13)。

11.根据权利要求6所述的复合分子泵，其特征在于，所述壳体本体(3)上还设有第二连接通道(82)，所述第二连接通道(82)的两端连通所述旋涡流道(13)和所述出气口(5)。

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