CN114341702A - 光扫描***的制造方法、光扫描装置的制造方法及数据获取方法 - Google Patents

光扫描***的制造方法、光扫描装置的制造方法及数据获取方法 Download PDF

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CN114341702A CN202080061969.3A CN202080061969A CN114341702A CN 114341702 A CN114341702 A CN 114341702A CN 202080061969 A CN202080061969 A CN 202080061969A CN 114341702 A CN114341702 A CN 114341702A
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藁科祯久
北浦隆介
河冈秀宜
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Abstract

本发明的光扫描***的制造方法具备：组装各自具备反射镜器件和磁铁的多个装置结构的工序；针对多个装置结构中的各个，获取第一数据以及第二数据的工序，其中，第一数据用于修正相对于电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离的至少一方；针对多个装置结构中的至少一个装置结构，获取用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化的第三数据的工序；以及将第一数据及第二数据在保持多个装置结构中的各个和第一数据及第二数据的对应关系的状态下保存于存储部，并且将第三数据保存于存储部的工序。

Description

光扫描***的制造方法、光扫描装置的制造方法及数据获取 方法
技术领域
本公开涉及光扫描***的制造方法、光扫描装置的制造方法及数据获取方法。
背景技术
已知有光扫描装置，其具备反射镜器件和磁铁，该反射镜器件具有：第一可动部，其设置有反射镜；第二可动部，其以反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴摆动的方式支撑第一可动部；以及支撑部，其以反射镜能够以沿着Y轴的第二轴为中心轴摆动的方式支撑第二可动部，该磁铁产生对设置于第一可动部的第一驱动用线圈、及设置于第二可动部的第二驱动用线圈发挥作用的磁场(例如，参照专利文献1)。在这种光扫描装置中，有时使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动。此外，对于以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜，线性模式是指，输入第一驱动用线圈的电流信号的频率低于以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜的共振频率，且以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜的摆动角与该电流信号的电流值成比例的模式。另外，对于以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜，线性模式是指：输入第二驱动用线圈的电流信号的频率低于以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜的共振频率，且以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜的摆动角与该电流信号的电流值成比例的模式。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2011-33980号公报
发明内容
发明所要解决的问题
在将上述那样的光扫描装置用于例如3D打印机、光学相干断层扫描仪、激光扫描显微镜等的情况下，需要将相对于目标摆动角的误差抑制在例如±0.1°以下。
因此，本公开的目的在于，提供能够在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下实现高精度的动作的光扫描***的制造方法、光扫描装置的制造方法及数据获取方法。
用于解决问题的手段
本公开的一方面的光扫描***的制造方法，其中，该光扫描***具备：反射镜器件，其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑第一可动部的第二可动部、以及以反射镜能够以沿着与X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴进行摆动的方式支撑第二可动部的支撑部；磁铁，其产生作用于第一驱动用线圈及第二驱动用线圈的磁场；温度传感器，其测量反射镜器件及磁铁的使用温度；运算部，其将用于使反射镜以X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号输入第一驱动用线圈，并且将用于使反射镜以Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号输入第二驱动用线圈；以及存储部，其存储数据，该光扫描***的制造方法具备：组装各自具备反射镜器件和磁铁的多个装置结构的工序；针对多个装置结构中的各个，获取第一数据以及第二数据的工序，其中，第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方；针对多个装置结构中的至少一个装置结构，获取用于修正相对于使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化的第三数据的工序；以及将针对多个装置结构中的各个获取的第一数据及第二数据，在保持多个装置结构中的各个和第一数据及第二数据的对应关系的状态下，保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描***的存储部，并且将针对至少一个装置结构获取的第三数据保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描***的存储部的工序。
本发明人等发现：在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下，相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，对每个个体(即，对每个反射镜器件及磁铁的组合)不一致；以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离，对每个个体不一致；以及相对于反射镜器件及磁铁的使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化主要由于磁铁的温度特性而产生。因此，通过上述那样制造光扫描***，在制造的光扫描***中，能够使反射镜以X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动，并且能够使反射镜以Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动。通过以上，根据该光扫描***的制造方法，能够制造在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下可实现高精度的动作的光扫描***。
在本公开一方面的光扫描***的制造方法中，也可以为，在获取第三数据的工序中，针对多个装置结构中的代表性的装置结构获取第三数据，在保存第一数据、第二数据及第三数据的工序中，将针对多个装置结构中的各个获取的第一数据及第二数据，在保持多个装置结构中的各个和第一数据及第二数据的对应关系的状态下，保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描***的存储部，并且将针对代表性的装置结构获取的第三数据保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描***的存储部。由此，能够高效地制造在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下可实现高精度的动作的光扫描***。此外，针对多个装置结构中的代表性的装置结构，获取用于修正相对于反射镜器件及磁铁的使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化的第三数据，将针对代表性的装置结构获取的第三数据保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描***的存储部，如上述，是由于相对于反射镜器件及磁铁的使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化主要由于磁铁的温度特性而产生。
在本公开一方面的光扫描***的制造方法中，也可以为，在获取第三数据的工序中，针对多个装置结构中的各个获取第三数据，在保存第一数据、第二数据及第三数据的工序中，将针对多个装置结构中的各个获取的第一数据、第二数据及第三数据，在保持多个装置结构中的各个和第一数据、第二数据及第三数据的对应关系的状态下，保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描***的存储部。由此，能够制造在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下可实现更高精度的动作的光扫描***。
本公开的一方面的光扫描***的制造方法也可以为，还具备：以基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、使用温度、以及由存储部存储的第一数据、第二数据及第三数据来生成第一电流信号及第二电流信号的方式，构成运算部的工序。由此，在制造的光扫描***中，能够容易得到精确的第一电流信号及第二电流信号。
本公开的一方面的光扫描装置的制造方法，其中，该光扫描装置具备：反射镜器件，其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑第一可动部的第二可动部、以及以反射镜能够以沿着与X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴进行摆动的方式支撑第二可动部的支撑部；磁铁，其产生作用于第一驱动用线圈及第二驱动用线圈的磁场；运算装置，其将用于使反射镜以X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号输入第一驱动用线圈，并且将用于使反射镜以Y轴为中心轴且并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号输入第二驱动用线圈；以及存储装置，其存储数据，该光扫描装置的制造方法具备：组装各自具备反射镜器件和磁铁的多个装置结构的工序；针对多个装置结构中的各个，获取第二数据的工序，其中，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方；针对多个装置结构中的至少一个装置结构，获取用于修正相对于反射镜器件及磁铁的使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化的第三数据的工序；以及将针对多个装置结构中的各个获取的第二数据，在保持多个装置结构中的各个和第二数据的对应关系的状态下，保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描装置的存储装置，并且将针对至少一个装置结构获取的第三数据保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描装置的存储装置的工序。
根据该光扫描装置的制造方法，由于与上述理由一样的理由，能够制造在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下可实现高精度的动作的光扫描装置。
在本公开一方面的光扫描装置的制造方法中，也可以为，在获取第三数据的工序中，针对多个装置结构中的代表性的装置结构获取第三数据，在保存第二数据及第三数据的工序中，将针对多个装置结构中的各个获取的第二数据，在保持多个装置结构中的各个和第二数据的对应关系的状态下，保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描装置的存储装置中，并且将针对代表性的装置结构获取的第三数据保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描装置的存储装置。由此，能够高效地制造在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下可实现高精度的动作的光扫描装置。
在本公开一方面的光扫描装置的制造方法中，也可以为，在获取第三数据的工序中，针对多个装置结构中的各个获取第三数据，在保存第二数据及第三数据的工序中，将针对多个装置结构中的各个获取的第二数据及第三数据，在保持多个装置结构中的各个和第二数据及第三数据的对应关系的状态下，保存于与多个装置结构中的各个一起构成光扫描装置的存储装置。由此，能够制造在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下可实现更高精度的动作的光扫描装置。
本公开一方面的光扫描装置的制造方法也可以为，还具备：针对多个装置结构中的各个，获取第一数据的工序，其中，第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化；以及以获取基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、以及第一数据的数据，并且基于获取的数据及使用温度、以及由存储装置存储的第二数据及第三数据来生成第一电流信号及第二电流信号的方式，构成运算装置的工序。由此，在制造的光扫描装置中，能够容易得到精确的第一电流信号及第二电流信号。
在本公开一方面的光扫描装置的制造方法中，也可以为，光扫描装置还具备测量使用温度的温度传感器。由此，在制造的光扫描装置中，能够获取适当的使用温度。
本公开的一方面的数据获取方法，其中，光扫描***具备：反射镜器件，其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑第一可动部的第二可动部、以及以反射镜能够以沿着与X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴进行摆动的方式支撑第二可动部的支撑部；磁铁，其产生作用于第一驱动用线圈及第二驱动用线圈的磁场；运算部，其将用于使反射镜以X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号输入第一驱动用线圈，并且将用于使反射镜以Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号输入第二驱动用线圈，该数据获取方法为，用于在光扫描***中，运算部预先获取用于生成第一电流信号及第二电流信号的数据的数据获取方法，该数据获取方法具备：固定反射镜器件相对于磁铁的位置的工序；在将反射镜器件相对于磁铁的位置固定的状态下，获取第一数据以及第二数据的工序，其中，第一数据用于修正相对于输入第一驱动用线圈及第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜的摆动角的变化，第二数据用于修正以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离中的至少一方。
在该数据获取方法中，在将反射镜器件相对于磁铁的位置固定的状态下，获取第一数据及第二数据，因此，能够高精度获取对每个单体中不一致的第一数据及第二数据。
本公开的一方面的数据获取方法也可以为，还具备：在将反射镜器件相对于磁铁的位置固定的状态下，获取用于修正相对于反射镜器件及磁铁的使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化的第三数据的工序。由此，能够高精度获取第三数据。另外，如上述，相对于反射镜器件及磁铁的使用温度的变化的反射镜的摆动角的变化主要由于磁铁的温度特性而产生，因此，能够在其它的光扫描装置、其它的光扫描***等中利用高精度获取的第三数据。
发明效果
根据本公开，可提供能够在使反射镜以第一轴及第二轴中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下实现高精度的动作的光扫描***的制造方法、光扫描装置的制造方法及数据获取方法。
附图说明
图1是一实施方式的光扫描***的结构图。
图2是示出电流信号的频率和反射镜的摆动角的标准值的关系的曲线图。
图3是示出以第一轴为中心轴进行摆动的反射镜从Y轴的偏离及以第二轴为中心轴进行摆动的反射镜从X轴的偏离的图。
图4是示出使用温度和反射镜的摆动角的关系的曲线图。
图5是在图1所示的光扫描***中实施的第一电流信号及第二电流信号的生成方法的流程图。
图6是示出实施例的验证结果的曲线图。
图7是示出实施例的验证结果的曲线图。
图8是示出比较例的验证结果的曲线图。
图9是示出比较例的验证结果的曲线图。
图10是图1所示的光扫描***的制造方法的流程图。
图11是图1所示的光扫描装置的一部分的截面图及俯视图。
具体实施方式
以下，参照附图，对本公开的实施方式进行详细地说明。此外，对各图中相同或相当部分赋予相同符号，并省略重复的部分。
[光扫描***的结构]
图1所示的光扫描***100是例如应用于3D打印机、光学相干断层扫描仪、激光扫描显微镜等的***。如图1所示，光扫描***100具备光扫描装置1、计算机装置10、以及光源20。
计算机装置10例如为PC(Personal Computer)，具有：运算装置(运算部)11、存储装置(存储部)12、以及输入接收部13。运算装置11例如由CPU(Central Processing Unit)等构成。存储装置12例如由HD(Hard Disk)等构成。输入接收部13例如由键盘、鼠标、GUI(Graphical User Interface)等构成。光源20例如由LD(Laser Diode)、LED(LightEmission Diode)等构成。光扫描装置1可与计算机装置10电连接。光扫描装置1可使从光源20出射的激光L沿着平行于X轴的方向及平行于与X轴交叉的Y轴的方向中的各个方向进行扫描。此外，在本实施方式中，X轴及Y轴正交。
[光扫描装置的结构]
光扫描装置1具备：反射镜器件2、磁铁3、温度传感器4、运算装置(运算部)5、以及存储装置(存储部)6。
反射镜器件2例如为通过使用了SOI(Silicon on Insulator)基板的MEMS(MicroElectro Mechanical Systems)技术形成的器件。反射镜器件2具有：第一可动部21、第二可动部22、以及支撑部23。在第一可动部21设置有反射镜24及第一驱动用线圈25。在第二可动部22设置有第二驱动用线圈26。
第二可动部22以反射镜24能够以沿着X轴的第一轴A1为中心轴进行摆动的方式支撑第一可动部21。在本实施方式中，第二可动部22以包围第一可动部21的方式形成为框状，经由配置于第一轴A1上的一对扭杆27与第一可动部21连结。支撑部23以反射镜24能够以沿着Y轴的第二轴A2为中心轴进行摆动的方式支撑第二可动部22。在本实施方式中，支撑部23以包围第二可动部22的方式形成为框状，经由配置于第二轴A2上的一对扭杆28与第二可动部22连结。
反射镜24反射从光源20出射的激光L。反射镜24例如为形成于第一可动部21的表面的金属膜。第一驱动用线圈25例如为埋设于第一可动部21的金属配线，沿着第一可动部21的外缘延伸成螺旋状。第二驱动用线圈26例如为埋设于第二可动部22的金属配线，沿着第二可动部22的外缘延伸成螺旋状。
磁铁3产生作用于第一驱动用线圈25及第二驱动用线圈26发挥的磁场。在本实施方式中，如图11的(a)及(b)所示，通过以海尔贝克(Halbach)阵列排列多个磁铁构件3a来构成磁铁3，并且例如通过包(packet)状的保持构件31来保持磁铁3，由此，构成磁铁单元30。另外，例如反射镜器件2经由由陶瓷构成的基座32固定于磁铁单元30，由此，构成装置结构S。具体而言，以堵塞形成于保持构件31的开口31a的方式，通过例如粘接等将基座32固定于保持构件31，通过例如粘接等将反射镜器件2固定于基座32。在装置结构S中，磁铁3产生的磁场B的方向相对于X轴及Y轴中的各个构成45°的角度。此外，在图11的(a)及(b)所示的装置结构S中，反射镜器件2与磁铁3间接地(经由保持构件31及基座32)固定，但也可以将反射镜器件2直接地固定于磁铁3。
温度传感器4测量反射镜器件2及磁铁3的使用温度(包含与使用温度对应的数据)。反射镜器件2及磁铁3的使用温度(以下，简称为“使用温度”)是在光扫描装置1配置有反射镜器件2及磁铁3的区域的温度，连接有磁铁3的构件的温度、磁铁3的温度等，是光扫描装置1动作的状态下的它们的温度。在本实施方式中，温度传感器4是设置于反射镜器件2的支撑部23的电阻体(配线)。作为一例，该电阻体作为线圈而构成，沿着支撑部23的外缘延伸成螺旋状。该电阻体由电阻值根据温度进行变化的材料(例如，钨、铝、金、银、铜或铝系合金等金属材料)构成。在光扫描装置1中，存储装置6存储温度传感器4的温度和电阻值的关系，运算装置5基于该关系和温度传感器4的电阻值，获取使用温度。即，在该情况下，温度传感器4的电阻值为与使用温度对应的数据。
运算装置5例如由FPGA(field-programmable gate array)等构成。运算装置5例如经由恒流电路(省略图示)将第一电流信号输入第一驱动用线圈25。运算装置5例如经由恒流电路(省略图示)，将第二电流信号输入第二驱动用线圈26。运算装置5例如经由放大器(省略图示)，从温度传感器4获取使用温度(表示使用温度的信号)。存储装置6例如为EEPROM(Electrically Erasable Programmable Read-Only Memory)等非易失性存储器。存储装置6存储各种数据。
输入第一驱动用线圈25的第一电流信号是用于使反射镜24以线性模式的第一目标摆动角及第一目标频率，以X轴为中心轴摆动的电流信号。输入第二驱动用线圈26的第二电流信号是用于使反射镜24以线性模式的第二目标摆动角及第二目标频率，以Y轴为中心轴摆动的电流信号。在本实施方式中，第一目标频率低于以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24的共振频率，第二目标频率低于以第二轴A2为中心轴进行摆动的反射镜24的共振频率。
当将第一电流信号输入第一驱动用线圈25时，通过与磁铁3产生的磁场的相互作用，对第一驱动用线圈25作用洛伦兹力。通过利用该洛伦兹力和一对扭杆27的弹性力的平衡，能够使反射镜24以X轴为中心轴并以线性模式摆动。当将第二电流信号输入第二驱动用线圈26时，通过与磁铁3产生的磁场的相互作用，对第二驱动用线圈26作用洛伦兹力。通过利用该洛伦兹力和一对扭杆28的弹性力的平衡，能够使反射镜24以Y轴为中心轴并以线性模式摆动。
[第一电流信号及第二电流信号的生成方法]
首先，参照图2、图3及图4，对具备反射镜器件2和磁铁3的装置结构S(参照图1及图11)的特性进行说明。在本实施方式中，通过例如粘接等将反射镜器件2固定于包含磁铁3的磁铁单元30(参照图11)，由此，组装装置结构S。
图2的(a)及(b)是示出电流信号的频率和反射镜24的摆动角的标准值的关系的曲线图。在图2的(a)及(b)中，实线示出输入第一驱动用线圈25的电流信号的频率和以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24的摆动角的标准值的关系，虚线示出输入第二驱动用线圈26的电流信号的频率和以第二轴A2为中心轴进行摆动的反射镜24的摆动角的标准值的关系。此外，在图2的(b)中，将图2的(a)中电流信号的频率为100Hz以下的部分放大示出。
这里的反射镜24的摆动角的标准值是在将电流信号的振幅设为恒定而改变电流信号的频率的情况下，将电流信号的频率为基准频率(例如，0Hz)时的反射镜24的摆动角设为1而进行标准化的值。以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24的共振频率为1000Hz程度，以第二轴A2为中心轴进行摆动的反射镜24的共振频率为470Hz程度，因此，在电流信号的频率为100Hz以下时，反射镜24以线性模式摆动(即，反射镜24的摆动角与电流信号的振幅成比例)，理想的是，反射镜24的摆动角的标准值应成为1。但是，如图2的(b)所示，实际上，反射镜24的摆动角的标准值未成为1。例如，在将光扫描***100应用于3D打印机、光学相干断层扫描仪、激光扫描显微镜等的情况下，需要将相对于目标摆动角的误差抑制为例如±0.1°以下，在该情况下，需要修正相对于电流信号的频率的变化的反射镜24的摆动角的标准值的变化。
图3是示出以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24从Y轴的偏离及以第二轴A2为中心轴进行摆动的反射镜24从X轴的偏离的图。在图3中，实线示出以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24从Y轴的偏离，虚线示出以第二轴A2为中心轴进行摆动的反射镜24从X轴的偏离。
当不向第二驱动用线圈26输入电流信号而向第一驱动用线圈25输入电流信号，且沿着与X轴及Y轴垂直的方向使激光L入射于反射镜24时，有时由反射镜24反射的激光L的扫描方向从Y轴偏离。该情况下的激光L的扫描方向从Y轴的偏离相当于以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24从Y轴的偏离。当不向第一驱动用线圈25输入电流信号而向第二驱动用线圈26输入电流信号，且沿着与X轴及Y轴垂直的方向使激光L入射于反射镜24时，有时由反射镜24反射的激光L的扫描方向从X轴偏离。该情况下的激光L的扫描方向从X轴的偏离相当于以第二轴A2为中心轴进行摆动的反射镜24从X轴的偏离。此外，以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24从Y轴的偏离相当于由以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24扫描的激光L的扫描方向从Y轴的偏离，以第二轴A2为中心轴进行摆动的反射镜24从X轴的偏离相当于由以第二轴A2为中心轴进行摆动的反射镜24扫描的激光L的扫描方向从X轴的偏离。
在装置结构S中，理想的是，磁铁3产生的磁场的方向相对于X轴及Y轴中的各个构成45°的角度。因此，如图3所示，当以消除以第二轴A2为中心轴进行摆动的反射镜24从X轴的偏离的方式配置装置结构S时，产生以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24从Y轴的偏离θ。该偏离θ由于反射镜器件2固定于包含磁铁3的磁铁单元30时的错位而不一致。例如，在将光扫描***100应用于3D打印机、光学相干断层扫描仪、激光扫描显微镜等的情况下，需要将相对于目标摆动角的误差抑制为例如±0.1°以下，在该情况下，需要修正以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24从Y轴的偏离θ。
图4是示出使用温度和以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24的摆动角的关系的曲线图。如图4所示，在使用温度为25℃时，即使将反射镜24的摆动角成为10°的电流值输入第一驱动用线圈25，当使用温度变化时，反射镜24的摆动角也发生变化。即，以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24的摆动角根据使用温度的变化而变化。同样，以第二轴A2为中心轴进行摆动的反射镜24的摆动角也根据使用温度的变化而变化。
例如，在将光扫描***100应用于3D打印机、光学相干断层扫描仪、激光扫描显微镜等的情况下，需要将相对于目标摆动角的误差抑制为例如±0.1°以下，在该情况下，需要修正相对于使用温度的变化的反射镜24的摆动角的变化。此外，相对于使用温度的变化的反射镜24的摆动角的变化主要由于磁铁3产生的磁场根据使用温度的变化而变化。摆动的反射镜24的共振频率，该共振频率的Q值等也对相对于使用温度的变化的反射镜24的摆动角的变化造成影响，将相对于使用温度的变化的磁场的变化的影响的程度设为1时，这些的影响的程度例如为1/100程度。
根据以上的关于装置结构S的特性的见解，在光扫描***100中，在光扫描装置1的制造工序中获取第一数据、第二数据及第三数据，将第一数据保存于计算机装置10的存储装置12中，将第二数据及第三数据保存于光扫描装置1的存储装置6中(后面叙述详情)。第一数据是用于修正相对于电流信号的频率的变化的反射镜24的摆动角的标准值的变化的数据。第二数据是用于修正以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24从Y轴的偏离θ的数据。第三数据是用于修正相对于使用温度的变化的反射镜24的摆动角的变化的数据。此外，第一数据也可称为，用于修正以X轴为中心轴进行摆动的反射镜24的第一目标摆动角及以Y轴为中心轴进行摆动的反射镜24的第二目标摆动角中所含的“诱发激振(ringing)的共振频率分量”的数据。另外，第一数据也可称为，用于修正表示以第一轴A1及第二轴A2为中心轴进行摆动的反射镜24的摆动角和频率的关系的“摆动角－频率特性”的数据。
以下，参照图5，对光扫描***100中实施的第一电流信号及第二电流信号的生成方法进行说明。此外，第一电流信号是输入第一驱动用线圈25的电流信号，即，用于以线性模式的第一目标摆动角及第一目标频率，使反射镜24以X轴为中心轴进行摆动的电流信号。另外，第二电流信号是输入第二驱动用线圈26的电流信号，即，以线性模式的第二目标摆动角及第二目标频率，使反射镜24以Y轴为中心轴进行摆动的电流信号。
首先，使用者使用计算机装置10的输入接收部13，输入第一目标摆动角及第一目标频率、以及第二目标摆动角及第二目标频率。即，输入接收部13接收第一目标摆动角及第一目标频率、以及第二目标摆动角及第二目标频率的输入(S01)。
接着，计算机装置10的运算装置11基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、以及第一数据(用于修正相对于电流信号的频率的变化的反射镜24的摆动角的标准值的变化的数据)，运算第一扭矩的标准值及第二扭矩的标准值(基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、以及第一数据的数据)，并生成第一扭矩的标准值及第二扭矩的标准值(S02)。此时，运算装置11从输入接收部13获取第一目标摆动角及第一目标频率、以及第二目标摆动角及第二目标频率，并从存储装置12获取第一数据。
第一扭矩的标准值相当于，在不向第二驱动用线圈26输入电流信号而向第一驱动用线圈25输入电流信号的情况下产生于一对扭杆27的扭矩，根据式(1)运算。第二扭矩的标准值相当于，在不向第一驱动用线圈25输入电流信号而向第二驱动用线圈26输入电流信号的情况下产生于一对扭杆28的扭矩，根据式(2)运算。
[数学式1]
Figure BDA0003528148770000131
[数学式2]
Figure BDA0003528148770000132
在式(1)中为，T′1X：第一扭矩的标准值，θ1X：第一目标摆动角。在式(2)中为，T′2Y：第二扭矩的标准值，θ2Y：第二目标摆动角。此外，“(t)”表示为时间的函数，“(f)”示表示为频率的函数。另外，“F”表示实施傅立叶变换，“F－1”表示实施傅立叶逆变换。
因此，在式(1)中，θ1X(t)相当于由第一目标摆动角及第一目标频率确定的信号，M′1X(f)相当于，在不向第二驱动用线圈26输入电流信号而向第一驱动用线圈25输入电流信号的情况下的“相对于输入第一驱动用线圈25的电流信号的频率的变化的反射镜24的摆动角的标准值的变化”(即，第一数据)。另外，在式(2)中，θ2Y(t)相当于由第二目标摆动角及第二目标频率确定的信号，M′2Y(f)相当于，在不向第一驱动用线圈25输入电流信号而向第二驱动用线圈26输入电流信号的情况下的“相对于输入第二驱动用线圈26的电流信号的频率的变化的反射镜24的摆动角的标准值的变化”(即，第一数据)。
接着，光扫描装置1的运算装置5基于第一扭矩的标准值及第二扭矩的标准值、使用温度、以及第二数据(用于修正以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24从Y轴的偏离θ的数据)及第三数据(用于修正相对于使用温度的变化的反射镜24的摆动角的变化的数据)，运算第一电流信号及第二电流信号，生成第一电流信号及第二电流信号(S03)。此时，运算装置5从计算机装置10的运算装置11获取第一扭矩的标准值及第二扭矩的标准值，从温度传感器4获取使用温度，从存储装置6获取第二数据及第三数据。
作为一例，当着眼于第一可动部21、第一驱动用线圈25、及一对扭杆27时，在输入第一驱动用线圈25的电流信号、及产生于一对扭杆27的扭矩、作用于第一驱动用线圈25的磁场中，式(3)的关系成立。
[数学式3]
Figure BDA0003528148770000141
在式(3)中为，I：电流信号，T：扭矩，L：与Y轴平行的方向上的一对扭杆27和第一驱动用线圈25的距离，B：磁场，B′：磁场的标准值，θ：摆动角。在式(3)中，M(f)相当于，相对于输入第一驱动用线圈25的电流信号的频率的变化的反射镜24的摆动角的变化，M′(f)相当于，相对于输入第一驱动用线圈25的电流信号的频率的变化的反射镜24的摆动角的标准值的变化。此外，“(θ(t))”表示为反射镜24的摆动角的函数。
以式(3)的关系为前提，根据式(4)运算第一电流信号。以式(3)的关系为前提，根据式(5)运算第二电流信号。
[数学式4]
Figure BDA0003528148770000151
[数学式5]
Figure BDA0003528148770000152
在式(4)及式(5)中为，I1：第一电流信号，I2：第二电流信号，ΔT：使用温度和基准温度(例如，25℃)的差(以下，称为“温度差”)。此外，“(t，ΔT)”示出为时间及温度差的函数，“(ΔT)”表示为温度差的函数。另外，“(θ1X(t))”表示为由第一目标摆动角及第一目标频率确定的信号的函数，“(θ2Y(t))”表示为由第二目标摆动角及第二目标频率确定的信号的函数。
在式(4)及式(5)中，B′1Y(θ1X(t))为不向第二驱动用线圈26输入电流信号而向第一驱动用线圈25输入电流的信号的情况下的“沿着Y轴作用于第一驱动用线圈25的磁场的分量的标准值”(相当于第二数据)，例如，以式(6)的3次多项式(a1、a2、a3：常数)表示。在式(5)中，B′2X(θ2Y(t))为不向第一驱动用线圈25输入电流信号而向第二驱动用线圈26输入电流信号的情况下的“沿着X轴作用于第二驱动用线圈26的磁场的分量的标准值”(相当于第二数据)，例如，以式(7)的3次多项式(b1、b2、b3：常数)表示。在式(5)中，B′1X(θ2Y(t))为不向第二驱动用线圈26输入电流信号而向第一驱动用线圈25输入电流信号的情况下的“沿着X轴作用于第一驱动用线圈25的磁场的分量的标准值”(相当于第二数据)，例如，以式(8)的3次多项式(c1、c2、c3：常数)表示。
[数学式6]
Figure BDA0003528148770000153
[数学式7]
Figure BDA0003528148770000161
[数学式8]
Figure BDA0003528148770000162
在式(4)及式(5)中，G1X(ΔT)为用于修正不向第二驱动用线圈26输入电流信号而向第一驱动用线圈25输入电流信号的情况下的“以X轴为中心轴进行摆动的反射镜24的摆动角的标准值”的温度特性的系数(相当于第三数据)，例如以式(9)的二次多项式(d1、d2：常数)表示。在式(5)中，G2Y(ΔT)为用于修正不向第一驱动用线圈25输入电流信号而向第二驱动用线圈26输入电流信号的情况下的“以Y轴为中心轴进行摆动的反射镜24的摆动角的标准值”的温度特性的系数(相当于第三数据)，例如以式(10)的二次多项式(e1、e2：常数)表示。在式(5)中，G1Y(ΔT)为用于修正不向第二驱动用线圈26输入电流信号而向第一驱动用线圈25输入电流信号的情况下的“以Y轴为中心轴进行摆动的反射镜24的摆动角的标准值”的温度特性的系数(相当于第三数据)，例如以式(11)的二次多项式(g1、g2：常数)表示。
[数学式9]
G1X(ΔT)＝d2ΔT2+d1ΔT+1…(9)
[数学式10]
G2Y(ΔT)＝e2ΔT2+e1ΔT+1…(10)
[数学式11]
G1Y(ΔT)＝g2ΔT2+g1ΔT+1…(11)
[光扫描***及光扫描装置的作用及效果]
本发明人等发现：在使反射镜24以第一轴A1及第二轴A2中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下，相对于输入第一驱动用线圈25及第二驱动用线圈26中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜24的摆动角的标准值的变化，对每个个体(即，对每个反射镜器件2及磁铁3的组合)不一致；以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24从Y轴的偏离及以第二轴A2为中心轴进行摆动的反射镜24从X轴的偏离，对每个个体不一致；以及相对于使用温度的变化的反射镜24的摆动角的变化主要由于磁铁3的温度特性而产生。因此，通过上述那样构成光扫描***100，并且上述那样生成第一电流信号及第二电流信号，能够使反射镜24以X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动，并且能够使反射镜24以Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动。因此，根据光扫描***100，能够在使反射镜24以第一轴A1及第二轴A2中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下实现高精度的动作。
另外，在光扫描***100中，计算机装置10的存储装置12存储第一数据，计算机装置10的运算装置11从存储装置12获取第一数据。另外，光扫描装置1的存储装置6存储第二数据及第三数据，光扫描装置1的运算装置5从存储装置6获取第二数据及第三数据。通过这些，能够实现***结构的简化。
另外，在光扫描***100中，计算机装置10的输入接收部13接收第一目标摆动角及第一目标频率、以及第二目标摆动角及第二目标频率的输入，计算机装置10的运算装置11从输入接收部13获取第一目标摆动角及第一目标频率、以及第二目标摆动角及第二目标频率。由此，使用者能够容易地设定第一目标摆动角及第一目标频率、以及第二目标摆动角及第二目标频率。
另外，在光扫描***100中，第二数据是在将第二轴A2看作Y轴的情况下，用于修正以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24从Y轴的偏离的数据，光扫描装置1的运算装置5以修正以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24从Y轴的偏离的方式生成第二电流信号。由此，能够减轻运算装置5生成第一电流信号及第二电流信号时的处理负荷。
另外，根据光扫描装置1，由于与上述的原因一样的原因，能够在使反射镜24以第一轴A1及第二轴A2中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下实现高精度的动作。
另外，在光扫描装置1中，温度传感器4测量使用温度，运算装置5从温度传感器4获取使用温度。由此，能够获取适当的使用温度。
在此，参照图6及图7对实施例进行说明。在图6的(a)中示出以Y轴为中心轴进行摆动的反射镜24的目标动作波形，在图7的(a)中示出以X轴为中心轴进行摆动的反射镜24的目标动作波形。任意目标动作波形均由使用者输入的目标摆动角(±10°)及目标频率(40Hz)确定。在这些情况下，当使用式(4)生成第一电流信号并将该第一电流信号输入第一驱动用线圈25，使用式(5)生成第二电流信号并将该第二电流信号输入第二驱动用线圈26时，以Y轴为中心轴进行摆动的反射镜24的实际的动作波形为如图6的(b)所示，以X轴为中心轴进行摆动的反射镜24的实际的动作波形为如图7的(b)所示。对于任意实际的动作波形，如图6的(c)及图7的(c)所示，相对于目标动作波形的误差(与目标摆动角的误差)均抑制为±0.05°以下(去除各个动作波形中的上升期间(1ms)及下降期间(1ms))。
接着，参照图8及图9，对比较例进行说明。在图8的(a)中示出以Y轴为中心轴进行摆动的反射镜24的目标动作波形，在图9的(a)中示出以X轴为中心轴进行摆动的反射镜24的目标动作波形。任意目标动作波形均由使用者输入的目标摆动角(±10°)及目标频率(40Hz)确定，是与在图6的(a)及图7的(a)各自中示出的目标动作波形相同的动作波形。在这些情况下，当不使用第一数据、第二数据及第三数据生成电流信号并将该电流信号输入第一驱动用线圈25及第二驱动用线圈26中的各个时，以Y轴为中心轴进行摆动的反射镜24的实际的动作波形为如图8的(b)所示，以X轴为中心轴进行摆动的反射镜24的实际的动作波形为如图9的(b)所示。对于任意的实际的动作波形，也如图8的(c)及图9的(c)所示，相对于目标动作波形的误差(与目标摆动角的误差)大幅超过±0.1°(去除各个动作波形中的上升期间(1ms)及下降期间(1ms))。
通过以上的实施例及比较例，证实了上述的光扫描***100的有效性。在光扫描***100中，仅通过使用者输入与目标动作波形相关的数据，就可获得将相对于目标动作波形的误差抑制在±0.1°以下的实际的动作波形。因此，光扫描***100便利性对于使用者来说是非常高。
[光扫描***的制造方法等]
参照图10，对光扫描***100的制造方法进行说明。首先，实施组装各自具备反射镜器件2和磁铁3的多个装置结构S的工序(S11)。在本实施方式中，通过例如粘接等将反射镜器件2固定于包含磁铁3的磁铁单元30，由此，组装多个装置结构S。即，在此，实施固定反射镜器件2相对于磁铁3的位置的工序。在本实施方式中，不可逆地固定反射镜器件2相对于磁铁3的位置(即，以从包含磁铁3的磁铁单元30拆卸反射镜器件2，或调整反射镜器件2相对于包含磁铁3的磁铁单元30的安装状态为不可能的方式)。此外，多个装置结构S中的各个，如果至少具备反射镜器件2及磁铁3，则可以具备温度传感器4、运算装置5及存储装置6的至少一个，也可以不具备温度传感器4、运算装置5及存储装置6的至少一个。
接着，对多个装置结构S中的各个，实施获取第一数据(用于修正相对于电流信号的频率的变化的反射镜24的摆动角的标准值的变化的数据)及第二数据(用于修正以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24从Y轴的偏离θ的数据)的工序(S12)。即，在此，在将反射镜器件2相对于磁铁3的位置固定的状态下，实施获取第一数据及第二数据的工序。第一数据及第二数据，通过在多个装置结构S中的各个，在将反射镜器件2相对于磁铁3的位置固定的状态下，实际上使反射镜器件2动作而获取。
接着，对多个装置结构S中的代表性的装置结构S，实施获取第三数据(用于修正相对于使用温度的变化的反射镜24的摆动角的变化的数据)的工序(S13)。即，在此，在将反射镜器件2相对于磁铁3的位置固定的状态下，实施获取第三数据的工序。第三数据，通过在代表性的装置结构S中，在将反射镜器件2相对于磁铁3的位置固定的状态下，实际上使反射镜器件2动作来获取。此外，S12的工序及S13的工序，也可以先实施任一工序，也可以同时进行并实施。
接着，实施保存第一数据、第二数据及第三数据的工序(S14)。具体而言，针对多个装置结构S中的各个获取的第一数据，在保持多个装置结构S中的各个和第一数据的对应关系的状态下，保存于与多个装置结构S中的各个一起构成光扫描***100的计算机装置10的存储装置12。针对多个装置结构S中的各个获取的第二数据，在保持多个装置结构S中的各个和第二数据的对应关系的状态下，保存于与多个装置结构S中的各个一起构成光扫描***100的光扫描装置1的存储装置6。针对代表性的装置结构S获取的第三数据，保存于与多个装置结构S中的各个一起构成光扫描***100的光扫描装置1的存储装置6。
接着，实施构成计算机装置10的运算装置11及光扫描装置1的运算装置5的工序(S15)。具体而言，计算机装置10的运算装置11以基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、以及第一数据来生成第一扭矩的标准值及第二扭矩的标准值的方式构成。光扫描装置1的运算装置5以获取第一扭矩的标准值及第二扭矩的标准值的方式，且以基于第一扭矩的标准值及第二扭矩的标准值、使用温度、以及第二数据及第三数据来生成第一电流信号及第二电流信号的方式构成。此外，S15的工序为编程的工序，因此，也可以在任意定时实施，也可以在不同于定时实施计算机装置10的运算装置11的构成和光扫描装置1的运算装置5的构成。
通过以上，制造多个光扫描***100。此外，以上的光扫描***100的制造方法包含光扫描装置1的制造方法和用于预先获取第一数据、第二数据及第三数据的数据获取方法。
在本实施方式中，光扫描装置1的制造方法具备：组装多个装置结构S的工序；针对多个装置结构S中的各个，获取第一数据及第二数据的工序；针对多个装置结构S中的代表性的装置结构S，获取第三数据的工序；将针对多个装置结构S中的各个获取的第二数据，在保持多个装置结构S中的各个和第二数据的对应关系的状态下，保存于与多个装置结构S中的各个一起构成光扫描装置1的存储装置6，并且将针对代表性的装置结构S获取的第三数据保存于与多个装置结构S中的各个一起构成光扫描装置1的存储装置6的工序；以及以获取第一扭矩的标准值及第二扭矩的标准值，并且基于第一扭矩的标准值及第二扭矩的标准值、使用温度、以及第二数据及第三数据来生成第一电流信号及第二电流信号的方式，构成运算装置5的工序。
另外，在本实施方式中，数据获取方法还具备：固定反射镜器件2相对于磁铁3的位置的工序；在将反射镜器件2相对于磁铁3的位置固定的状态下，获取第一数据及第二数据的工序；以及在将反射镜器件2相对于磁铁3的位置固定的状态下，获取第三数据的工序。
[光扫描***的制造方法等的作用及效果]
本发明人等发现，在使反射镜24以第一轴A1及第二轴A2中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下，相对于输入第一驱动用线圈25及第二驱动用线圈26中的各个的电流信号的频率的变化的反射镜24的摆动角的标准值的变化，对每个个体(即，对每个反射镜器件2及磁铁3的组合)不一致；以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24从Y轴的偏离及以第二轴A2为中心轴进行摆动的反射镜24从X轴的偏离，对每个个体不一致；以及相对于使用温度的变化的反射镜24的摆动角的变化主要由于磁铁3的温度特性而产生。因此，通过上述那样制造光扫描***100，能够在制造的光扫描***100中，使反射镜24以X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率进行摆动，并且能够使反射镜24以Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率进行摆动。此外，针对多个装置结构S中的代表性的装置结构S获取用于修正相对于使用温度的变化的反射镜24的摆动角的变化的第三数据，并且将针对代表性的装置结构S获取的第三数据保存于与多个装置结构S中的各个一起构成光扫描装置1的存储装置6，如上述，是由于，相对于使用温度的变化的反射镜24的摆动角的变化主要由于磁铁3的温度特性(磁铁3产生的磁场根据使用温度的变化而变化)而产生。通过以上，根据光扫描***100的制造方法，能够制造在使反射镜24以第一轴A1及第二轴A2中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下可实现高精度的动作的光扫描***100。
另外，在光扫描***100的制造方法中，计算机装置10的运算装置11以基于第一目标摆动角及第一目标频率、第二目标摆动角及第二目标频率、以及第一数据来生成第一扭矩的标准值及第二扭矩的标准值的方式构成。另外，光扫描装置1的运算装置5以获取第一扭矩的标准值及第二扭矩的标准值的方式，且以基于第一扭矩的标准值及第二扭矩的标准值、使用温度、以及第二数据及第三数据来生成第一电流信号及第二电流信号的方式构成。通过这些，能够在制造的光扫描***100中容易得到精确的第一电流信号及第二电流信号。
另外，根据光扫描装置1的制造方法，由于与上述的理由一样的理由，能够制造在使反射镜24以第一轴A1及第二轴A2中的各个为中心轴并以线性模式摆动的情况下可实现高精度的动作的光扫描装置1。
另外，在数据获取方法中，在将反射镜器件2相对于磁铁3的位置固定的状态下，获取第一数据及第二数据，因此，能够高精度获取对每个个体不一致的第一数据及第二数据。
另外，在数据获取方法中，在将反射镜器件2相对于磁铁3的位置固定的状态下，获取第三数据。由此，能够高精度获取第三数据。另外，如上述，相对于反射镜器件2及磁铁3的使用温度的变化的反射镜24的摆动角的变化主要由于磁铁3的温度特性而产生，因此，能够在其它的光扫描装置1、其它的光扫描***100等中利用高精度获取的第三数据。
特别地，在将反射镜器件2相对于磁铁3的位置不可逆地固定的状态下，获取第一数据、第二数据及第三数据，因此，即使在光扫描装置1的出厂后，光扫描装置1的特性也不变化，其结果，能够在光扫描装置1中实施高精度的控制。
[变形例]
本公开不限定于上述实施方式。例如，在上述实施方式中，第二数据是在将第二轴A2看作Y轴的情况下，用于修正以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24从Y轴的偏离的数据，第二电流信号以修正以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24从Y轴的偏离的方式生产。但是，第二数据也可以例如是在将第一轴A1看作X轴的情况下，用于修正以第二轴A2为中心轴进行摆动的反射镜24从X轴的偏离的数据，在该情况下，也可以以修正以第二轴A2为中心轴进行摆动的反射镜24从X轴的偏离的方式生成第一电流信号。由此，第二数据只要是用于修正以第一轴A1为中心轴进行摆动的反射镜24从Y轴的偏离及以第二轴A2为中心轴进行摆动的反射镜24从X轴的偏离中的至少一方的数据即可。
另外，如上述，相对于使用温度的变化的反射镜24的摆动角的变化主要由于磁铁3产生的磁场根据使用温度的变化而变化。因此，作为用于修正相对于使用温度的变化的反射镜24的摆动角的变化的第三数据，也可以使用用于修正相对于使用温度的变化的磁铁3的磁场的变化的数据。另外，作为第三数据(用于修正相对于使用温度的变化的反射镜24的摆动角的变化的数据)，也可以着眼于相对于使用温度的变化的反射镜24的摆动角的标准值的变化。这里的反射镜24的摆动角的标准值是指，在将电流值设为恒定的情况下，将使用温度为基准温度(例如，25℃)时的反射镜24的摆动角设为1而进行标准化的值。
另外，在上述实施方式的光扫描***100中，由运算装置5及运算装置11构成运算部，由存储装置6及存储装置12构成存储部。但是，例如，也可以不在光扫描装置1设置运算装置5及存储装置6，仅由计算机装置10的运算装置11构成运算部，并且仅由计算机装置10的存储装置12构成存储部。
另外，在上述实施方式的光扫描***100中，在由存储装置6及存储装置12构成的存储部，存储有第一数据、第二数据及第三数据。但是，第一数据、第二数据及第三数据中的至少一个也可以存储于例如设置于光扫描***100外的服务器，在该情况下，由运算装置5及运算装置11构成的运算部也可以从服务器获取第一数据、第二数据及第三数据的至少一个。
另外，在上述实施方式的光扫描***100中，由运算装置5及运算装置11构成的运算部，从计算机装置10的输入接收部13获取第一目标摆动角及第一目标频率、以及第二目标摆动角及第二目标频率。但是，由运算装置5及运算装置11构成的运算部也可以例如从设置于光扫描***100外的其它的计算机装置，获取第一目标摆动角及第一目标频率、以及第二目标摆动角及第二目标频率。
另外，在上述实施方式中，在反射镜器件2设置有温度传感器4，但也可以与反射镜器件2分体地设置温度传感器4。在该情况下，例如，能够将热敏电阻、热电偶等用作温度传感器4。另外，光扫描装置1也可以不具备温度传感器4，并且将测量使用温度的温度传感器设置于光扫描装置1外。另外，在上述实施方式中，光扫描***100具备光源20，但光源20也可以设置于光扫描***100外。另外，在上述实施方式中，光源20设置于光扫描装置1外，光扫描装置1也可以具备光源20。
另外，由第一目标摆动角及第一目标频率确定的目标驱动波形、以及由第二目标摆动角及第二目标频率确定的目标驱动波形也可以具有矩形波以外的波形。在该情况下，第一电流信号及第二电流信号也可以具有矩形波以外的波形。
另外，在上述实施方式的光扫描***的制造方法中，第一数据(用于修正相对于电流信号的频率的变化的反射镜24的摆动角的标准值的变化的数据)通过实际上使反射镜器件2动作来获取，但第一数据也可以基于反射镜24的共振频率及其Q值而从理论上(通过运算)获取。
另外，第一数据只要是用于修正相对于电流信号的频率的变化的反射镜24的摆动角的变化的数据，则也可以如上述实施方式那样，为用于修正相对于电流信号的频率的变化的“标准化的反射镜24的摆动角(即，反射镜24的摆动角的标准值)”的变化的数据，或者，也可以为用于修正相对于电流信号的频率的变化的“未标准化的反射镜24的摆动角”的变化的数据。但是，如上述实施方式那样，当使用相对于电流信号的频率的变化的反射镜24的摆动角的标准值的变化时，能够实现运算装置11中的运算的容易化。
另外，第三数据只要是用于修正相对于使用温度的变化的反射镜24的摆动角的变化的数据，则也可以如上述实施方式那样，为用于修正相对于使用温度的变化的“未标准化的反射镜24的摆动角”的变化的数据，或者，也可以为用于修正相对于使用温度的变化的“标准化的反射镜24的摆动角(即，反射镜24的摆动角的标准值)”的变化的数据。但是，当使用相对于使用温度的变化的反射镜24的摆动角的标准值的变化时，能够实现运算装置5中的运算的容易化。
另外，在上述实施方式中，针对代表性的装置结构S获取第三数据，但也可以针对多个装置结构S中的各个获取第三数据。在该情况下，也可以将针对多个装置结构S中的各个获取的第二数据及第三数据，在保持多个装置结构S中的各个和第二数据及第三数据的对应关系的状态下，保存于与多个装置结构S中的各个一起构成光扫描装置1的存储装置6。如上述实施方式那样，在针对代表性的装置结构S获取第三数据的情况下，能够在光扫描***的制造方法、光扫描装置的制造方法及数据获取方法中，实现获取第三数据的工序的容易化，作为结果，能够高效地制造可实现高精度的动作的光扫描***100及光扫描装置1。在针对多个装置结构S中的各个获取第三数据的情况下，能够在运算装置5中实施高精度的运算，作为结果，能够制造可实现更高精度的动作的光扫描***100及光扫描装置1。
另外，在上述实施方式中，第一电流信号直接地输入第一驱动用线圈25，第二电流信号直接地输入第二驱动用线圈26，但也可以通过对第一驱动用线圈25及第二驱动用线圈26中的各个施加电压，将第一电流信号输入第一驱动用线圈25，并且将第二电流信号输入第二驱动用线圈26。
另外，光扫描装置1及光扫描***100不限定于二维地扫描激光L的装置，也可以是一维地扫描激光L的装置。例如，也可以，通过使第一可动部21以沿着X轴的第一轴A1为中心轴摆动来沿着Y轴一维地扫描激光L，并且通过使第二可动部22以沿着Y轴的第二轴A2为中心轴摆动来修正激光L从沿着Y轴的方向的偏离的方式，构成光扫描装置1及光扫描***100。此时，输入第一驱动用线圈25的第一电流信号为用于使反射镜24以X轴为中心轴并以“大于0的值的第一目标摆动角”及“大于0的值的第一目标频率”摆动的电流信号，输入第二驱动用线圈26的第二电流信号为用于使反射镜24以Y轴为中心轴并以“0的第二目标摆动角”及“0的第二目标频率”摆动的(即，用于不使反射镜24以Y轴为中心轴摆动的)电流信号。另外，也可以，以通过使第二可动部22以沿着Y轴的第二轴A2为中心轴摆动来沿着X轴一维地扫描激光L，并且通过使第一可动部21以沿着X轴的第一轴A1为中心轴摆动来修正激光L从沿着X轴的方向的偏离的方式，构成光扫描装置1及光扫描***100。此时，输入第二驱动用线圈26的第二电流信号为用于使反射镜24以Y轴为中心轴并以“大于0的值的第二目标摆动角”及“大于0的值的第二目标频率”摆动的电流信号，输入第一驱动用线圈25的第一电流信号是用于使反射镜24以X轴为中心轴并以“0的第一目标摆动角”及“0的第一目标频率”摆动的(即，用于不使反射镜24以X轴为中心轴摆动的)电流信号。如上，在用于使反射镜24以Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号中包含：用于使反射镜24以Y轴为中心轴并以“0的第二目标摆动角”及“0的第二目标频率”摆动的(即，用于不使反射镜24以Y轴为中心轴摆动的)电流信号。另外，在用于使反射镜24以X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号中包含：用于使反射镜24以X轴为中心轴并以“0的第一目标摆动角”及“0的第一目标频率”摆动的(即，用于不使反射镜24以X轴为中心轴摆动的)电流信号。
另外，针对多个装置结构S中的各个获取的第一数据及第二数据、以及针对代表性的装置结构S获取的第三数据，也可以在保持着多个装置结构S中的各个和第一数据及第二数据的对应关系的状态下，保存于对多个装置结构S设置的一个存储部。另外，针对多个装置结构S中的各个获取的第一数据、第二数据及第三数据，也可以在保持着多个装置结构S中的各个和第一数据、第二数据及第三数据的对应关系的状态下，保存于对多个装置结构S设置的一个存储部。
附图标记说明
1…光扫描装置、2…反射镜器件、3…磁铁、4…温度传感器、5…运算装置(运算部)、6…存储装置(存储部)、11…运算装置(运算部)、12…存储装置(存储部)、21…第一可动部、22…第二可动部、23…支撑部、24…反射镜、25…第一驱动用线圈、26…第二驱动用线圈、100…光扫描***、A1…第一轴、A2…第二轴、S…装置结构。

Claims (11)

1.一种光扫描***的制造方法，其中，
所述光扫描***具备：
反射镜器件，其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以所述反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第一可动部的第二可动部、以及以所述反射镜能够以沿着与所述X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第二可动部的支撑部；
磁铁，其产生作用于所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈的磁场；
温度传感器，其测量所述反射镜器件及所述磁铁的使用温度；
运算部，其将用于使所述反射镜以所述X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号输入所述第一驱动用线圈，并且将用于使所述反射镜以所述Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号输入所述第二驱动用线圈；以及
存储部，其存储数据，
所述光扫描***的制造方法具备：
组装各自具备所述反射镜器件和所述磁铁的多个装置结构的工序；
针对所述多个装置结构中的各个，获取第一数据以及第二数据的工序，其中，所述第一数据用于修正相对于输入所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的所述反射镜的摆动角的变化，所述第二数据用于修正以所述第一轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述Y轴的偏离及以所述第二轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述X轴的偏离中的至少一方；
针对所述多个装置结构中的至少一个装置结构，获取用于修正相对于所述使用温度的变化的所述反射镜的摆动角的变化的第三数据的工序；以及
将针对所述多个装置结构中的各个获取的所述第一数据及所述第二数据，在保持所述多个装置结构中的各个和所述第一数据及所述第二数据的对应关系的状态下，保存于与所述多个装置结构中的各个一起构成所述光扫描***的所述存储部，并且将针对所述至少一个装置结构获取的所述第三数据保存于与所述多个装置结构中的各个一起构成所述光扫描***的所述存储部的工序。
2.根据权利要求1所述的光扫描***的制造方法，其中，
在获取所述第三数据的所述工序中，针对所述多个装置结构中的代表性的装置结构获取所述第三数据，
在保存所述第一数据、所述第二数据及所述第三数据的所述工序中，将针对所述多个装置结构中的各个获取的所述第一数据及所述第二数据，在保持所述多个装置结构中的各个和所述第一数据及所述第二数据的对应关系的状态下，保存于与所述多个装置结构中的各个一起构成所述光扫描***的所述存储部，并且将针对所述代表性的装置结构获取的所述第三数据保存于与所述多个装置结构中的各个一起构成所述光扫描***的所述存储部。
3.根据权利要求1所述的光扫描***的制造方法，其中，
在获取所述第三数据的所述工序中，针对所述多个装置结构中的各个获取所述第三数据，
在保存所述第一数据、所述第二数据及所述第三数据的所述工序中，将针对所述多个装置结构中的各个获取的所述第一数据、所述第二数据及所述第三数据，在保持所述多个装置结构中的各个和所述第一数据、所述第二数据及所述第三数据的对应关系的状态下，保存于与所述多个装置结构中的各个一起构成所述光扫描***的所述存储部。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的光扫描***的制造方法，其中，
还具备：以基于所述第一目标摆动角及所述第一目标频率、所述第二目标摆动角及所述第二目标频率、所述使用温度、以及由所述存储部存储的所述第一数据、所述第二数据及所述第三数据来生成所述第一电流信号及所述第二电流信号的方式，构成所述运算部的工序。
5.一种光扫描装置的制造方法，其中：
所述光扫描装置具备：
反射镜器件，其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以所述反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第一可动部的第二可动部、以及以所述反射镜能够以沿着与所述X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第二可动部的支撑部；
磁铁，其产生作用于所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈的磁场；
运算装置，其将用于使所述反射镜以所述X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号输入所述第一驱动用线圈，并且将用于使所述反射镜以所述Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号输入所述第二驱动用线圈；以及
存储装置，其存储数据，
所述光扫描装置的制造方法具备：
组装各自具备所述反射镜器件和所述磁铁的多个装置结构的工序；
针对所述多个装置结构中的各个，获取第二数据的工序，其中，所述第二数据用于修正以所述第一轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述Y轴的偏离及以所述第二轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述X轴的偏离中的至少一方；
针对所述多个装置结构中的至少一个装置结构，获取用于修正相对于所述反射镜器件及所述磁铁的使用温度的变化的所述反射镜的摆动角的变化的第三数据的工序；以及
将针对所述多个装置结构中的各个获取的所述第二数据，在保持所述多个装置结构中的各个和所述第二数据的对应关系的状态下，保存于与所述多个装置结构中的各个一起构成所述光扫描装置的所述存储装置，并且将针对所述至少一个装置结构获取的所述第三数据保存于与所述多个装置结构中的各个一起构成所述光扫描装置的所述存储装置的工序。
6.根据权利要求5所述的光扫描装置的制造方法，其中，
在获取所述第三数据的所述工序中，针对所述多个装置结构中的代表性的装置结构获取所述第三数据，
在保存所述第二数据及所述第三数据的所述工序中，将针对所述多个装置结构中的各个获取的所述第二数据，在保持所述多个装置结构中的各个和所述第二数据的对应关系的状态下，保存于与所述多个装置结构中的各个一起构成所述光扫描装置的所述存储装置，并且将针对所述代表性的装置结构获取的所述第三数据保存于与所述多个装置结构中的各个一起构成所述光扫描装置的所述存储装置。
7.根据权利要求5所述的光扫描装置的制造方法，其中，
在所述获取所述第三数据的工序中，针对所述多个装置结构中的各个获取所述第三数据，
在保存所述第二数据及所述第三数据的所述工序中，将针对所述多个装置结构中的各个获取的所述第二数据及所述第三数据，在保持所述多个装置结构中的各个和所述第二数据及所述第三数据的对应关系的状态下，保存于与所述多个装置结构中的各个一起构成所述光扫描装置的所述存储装置。
8.根据权利要求5～7中任一项所述的光扫描装置的制造方法，其中，
还具备：
针对所述多个装置结构中的各个，获取第一数据的工序，其中，所述第一数据用于修正相对于输入所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈中各个的电流信号的频率的变化的所述反射镜的摆动角的变化；以及
以获取基于所述第一目标摆动角及所述第一目标频率、所述第二目标摆动角及所述第二目标频率、以及所述第一数据的数据，并且基于获取的所述数据及所述使用温度、以及由所述存储装置存储的所述第二数据及所述第三数据来生成所述第一电流信号及所述第二电流信号的方式，构成所述运算装置的工序。
9.根据权利要求5～8中任一项所述的光扫描装置的制造方法，其中，
所述光扫描装置还具备测量所述使用温度的温度传感器。
10.一种数据获取方法，其中，
光扫描***具备：
反射镜器件，其具有设置有反射镜及第一驱动用线圈的第一可动部、设置有第二驱动用线圈且以所述反射镜能够以沿着X轴的第一轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第一可动部的第二可动部、以及以所述反射镜能够以沿着与所述X轴交叉的Y轴的第二轴为中心轴进行摆动的方式支撑所述第二可动部的支撑部；
磁铁，其产生作用于所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈的磁场；以及
运算部，其将用于使所述反射镜以所述X轴为中心轴并以第一目标摆动角及第一目标频率摆动的第一电流信号输入所述第一驱动用线圈，并且将用于使所述反射镜以所述Y轴为中心轴并以第二目标摆动角及第二目标频率摆动的第二电流信号输入所述第二驱动用线圈，
所述数据获取方法为，用于在所述光扫描***中，所述运算部预先获取用于生成所述第一电流信号及所述第二电流信号的数据的数据获取方法，
所述数据获取方法具备：
固定所述反射镜器件相对于所述磁铁的位置的工序；
在将所述反射镜器件相对于所述磁铁的位置固定的状态下，获取第一数据以及第二数据的工序，其中，所述第一数据用于修正相对于输入所述第一驱动用线圈及所述第二驱动用线圈中的各个的电流信号的频率的变化的所述反射镜的摆动角的变化，所述第二数据用于修正以所述第一轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述Y轴的偏离及以所述第二轴为中心轴进行摆动的所述反射镜从所述X轴的偏离中的至少一方。
11.根据权利要求10所述的数据获取方法，其中，
还具备：在将所述反射镜器件相对于所述磁铁的位置固定的状态下，获取用于修正相对于所述反射镜器件及所述磁铁的使用温度的变化的所述反射镜的摆动角的变化的第三数据的工序。
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Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005345904A (ja) * 2004-06-04 2005-12-15 Sony Corp 画像生成装置
JP2006133643A (ja) * 2004-11-09 2006-05-25 Seiko Epson Corp 光走査装置、光走査方法及び画像表示装置
JP2011150055A (ja) * 2010-01-20 2011-08-04 Stanley Electric Co Ltd 光偏向器及びこれを用いた光学装置
JP2012011529A (ja) * 2010-07-05 2012-01-19 Seiko Epson Corp 基板の分断方法、ミラーデバイス体の製造方法、ｍｅｍｓ素子
JP2012068349A (ja) * 2010-09-22 2012-04-05 Nippon Signal Co Ltd:The 光走査装置及びこれを用いた光測距装置
JP2016118603A (ja) * 2014-12-19 2016-06-30 株式会社Ｊｖｃケンウッド 画像表示装置及び画像補正方法
WO2019138964A1 (ja) * 2018-01-09 2019-07-18 パイオニア株式会社 制御装置、走査装置、制御方法、プログラム及び記憶媒体

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5216715B2 (ja) 2009-08-05 2013-06-19 日本信号株式会社 プレーナ型アクチュエータ
JP2014182227A (ja) * 2013-03-18 2014-09-29 Seiko Epson Corp 光スキャナー、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
JP2014182225A (ja) * 2013-03-18 2014-09-29 Seiko Epson Corp 光スキャナー、アクチュエーター、画像表示装置およびヘッドマウントディスプレイ
WO2015051820A1 (en) * 2013-10-07 2015-04-16 Lemoptix Sa A method for controlling the position of a mems mirror
US9464965B2 (en) 2014-11-07 2016-10-11 The Boeing Company Method for creating non-inserted artificial disbonds or delaminations for nondestructive inspection test standards
JP6935254B2 (ja) 2017-07-10 2021-09-15 日本信号株式会社 駆動装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005345904A (ja) * 2004-06-04 2005-12-15 Sony Corp 画像生成装置
JP2006133643A (ja) * 2004-11-09 2006-05-25 Seiko Epson Corp 光走査装置、光走査方法及び画像表示装置
JP2011150055A (ja) * 2010-01-20 2011-08-04 Stanley Electric Co Ltd 光偏向器及びこれを用いた光学装置
JP2012011529A (ja) * 2010-07-05 2012-01-19 Seiko Epson Corp 基板の分断方法、ミラーデバイス体の製造方法、ｍｅｍｓ素子
JP2012068349A (ja) * 2010-09-22 2012-04-05 Nippon Signal Co Ltd:The 光走査装置及びこれを用いた光測距装置
JP2016118603A (ja) * 2014-12-19 2016-06-30 株式会社Ｊｖｃケンウッド 画像表示装置及び画像補正方法
WO2019138964A1 (ja) * 2018-01-09 2019-07-18 パイオニア株式会社 制御装置、走査装置、制御方法、プログラム及び記憶媒体

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