CN114236169A - 一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法 - Google Patents

一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法 Download PDF

Info

Publication number
CN114236169A
CN114236169A CN202111468033.5A CN202111468033A CN114236169A CN 114236169 A CN114236169 A CN 114236169A CN 202111468033 A CN202111468033 A CN 202111468033A CN 114236169 A CN114236169 A CN 114236169A
Authority
CN
China
Prior art keywords
electrodes
rotating speed
stirring
stirring paddle
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN202111468033.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN114236169B (zh
Inventor
王达彤
徐婷
王灏
卢福军
郭鹏
周长海
杨旭
岳涛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Qingdao University of Science and Technology
Original Assignee
Qingdao University of Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Qingdao University of Science and Technology filed Critical Qingdao University of Science and Technology
Priority to CN202111468033.5A priority Critical patent/CN114236169B/zh
Publication of CN114236169A publication Critical patent/CN114236169A/zh
Priority to PCT/CN2022/117531 priority patent/WO2023098204A1/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN114236169B publication Critical patent/CN114236169B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01P—MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P3/00—Measuring linear or angular speed; Measuring differences of linear or angular speeds
    • G01P3/42—Devices characterised by the use of electric or magnetic means
    • G01P3/44—Devices characterised by the use of electric or magnetic means for measuring angular speed

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Mixers Of The Rotary Stirring Type (AREA)

Abstract

本发明公开了一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法，属于临界转速判定技术领域。通过建立测量电极电压与固液悬浮状态的关系，解决了目前依靠经验公式和人眼观察判定临界悬浮转速带来的主观性强，偏差较大的问题，本发明的固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法，具有较好的适应性，是一种量化的的临界悬浮转速判定方法，且作为判定标准的电极电压比只与固体颗粒在液相中的空间密度有关，适用于固液两相宽泛的黏度、固含量范围均可以采用。

Description

一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定 方法
技术领域
本发明涉及临界转速判定技术领域，具体说是固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法。
背景技术
临界悬浮是指在反应中所有固体颗粒在反应釜中刚好达到完全离底悬浮，对应的搅拌器转速即为临界悬浮转速。临界悬浮转速的判定对固液两相搅拌具有重要的意义。没达到临界悬浮转速时，固体颗粒会沉积，搅拌釜内的搅拌死区较多等都影响传质效果，而搅拌的速度超过临界悬浮转速时，继续增大转速，功耗会大大增加，搅拌桨的耐久度会降低，固体表面传质效果并不能成比例的提高，因此，将搅拌器的速度设置为临界悬浮转速为最经济的效果，临界悬浮转速的的判定具有重要的实际意义。
对临界悬浮转速的判定，在实验中通常采用Zwietering准则，即以固体颗粒在搅拌容器底部堆积的时间不超过1～2s为完全离底悬浮的判据。这需要反应罐为透明容器，且结果存在主观性强的天然缺陷。另外，对于颗粒浓度较高的悬浮体系，往往呈现出不透明的状态，影响对悬浮状态的判断。在工业生产中，搅拌釜大多是不透明的，无法直接进行观察，使用经验公式进行临界悬浮转速的判断又普遍受到桨型、尺寸、离底高度以及颗粒直径分布等多种因素的制约，往往与实际情况偏差较大。因此研发一种可量化的、适用范围广的临界悬浮转速判定方法，具有重要的实用意义。
发明内容
为解决上述问题，本发明的目的是提供固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法。
本发明为实现上述目的，通过以下技术方案实现：
一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***，包括搅拌釜，搅拌釜中设置搅拌桨，搅拌桨与电机连接，电机与转速控制器连接，搅拌釜与搅拌桨水平齐平的侧壁上设置第一组电极，搅拌釜的底部中间位置设置第二组电极，所述第一组电极由两个第一激励电极和两个第一测量电极组成，所述第二组电极均由两个第二激励电极和两个第二测量电极组成，第一激励电极和第二激励电极均连接恒流源，第一测量电极和第二测量电极均通过模数转换器和计算机连接。
优选的，所述恒流源为交流恒流源。
优选的，所述第一激励电极在第一测量电极之间等距排布，所述第二激励电极在第二测量电极之间等距排布。
本发明还包括采用上述固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***判定搅拌桨临界悬浮转速的方法，包括以下步骤：
①在搅拌釜与搅拌桨水平齐平的侧壁上安装第一组电极，在搅拌釜的底部中间位置安装第二组电极，搅拌桨通过电机和转速控制器调节转速；所述第一组电极由两个第一激励电极和两个第一测量电极组成，所述第二组电极均由两个第二激励电极和两个第二测量电极组成，由恒流源分别向第一激励电极和第二激励电极通入激励电流，同步通过模数转换器连接计算机分别记录第一测量电极和第二测量电极之间的电压值；
②启动转速控制器，从小到大逐步调节搅拌桨转速，并在两组测量电极电压信号稳定后记录电极电压的数值和对应的转速；
③以第二测量电极电压与第一测量电极电压的比值为纵坐标，以对应的转速为横坐标绘制曲线，曲线上出现拐点时对应的转速即为搅拌桨临界悬浮转速。
本发明相比现有技术具有以下优点：
本发明的固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法，通过建立测量电极电压与固液悬浮状态的关系，解决了目前依靠经验公式和人眼观察判定临界悬浮转速带来的主观性强，偏差较大的问题，本发明的固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法，具有较好的适应性，是一种量化的的临界悬浮转速判定方法，且作为判定标准的电极电压比只与固体颗粒在液相中的空间密度有关，适用于固液两相宽泛的黏度、固含量范围均可以采用。
附图说明
图1为本发明固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***的结构示意图；
图2为实施例2中采用本发明判定搅拌桨临界悬浮转速的方法，以第二测量电极电压与第一测量电极电压的比值为纵坐标，以对应的转速为横坐标绘制的曲线；
图3为实施例3中采用本发明判定搅拌桨临界悬浮转速的方法，以第二测量电极电压与第一测量电极电压的比值为纵坐标，以对应的转速为横坐标绘制的曲线；
图4为实施例4中采用本发明判定搅拌桨临界悬浮转速的方法，以第二测量电极电压与第一测量电极电压的比值为纵坐标，以对应的转速为横坐标绘制的曲线。
具体实施方式
本发明的目的是提供固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法，通过以下技术方案实现：
以下结合具体实施例来对本发明作进一步的描述。
实施例1
一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***，如图1所示，包括搅拌釜1，搅拌釜1中设置搅拌桨11，搅拌桨11与电机12连接，电机12与转速控制器2连接，搅拌釜1与搅拌桨11水平齐平的侧壁上设置第一组电极3，搅拌釜1的底部中间位置设置第二组电极7，所述第一组电极3由两个第一激励电极31和两个第一测量电极32组成，所述第二组电极7均由两个第二激励电极71和两个第二测量电极72组成，第一激励电极31和第二激励电极71均连接恒流源4，第一测量电极32和第二测量电极72均通过模数转换器5和计算机6连接；
所述恒流源4可以为交流恒流源。
所述第一激励电极31在第一测量电极32之间等距排布，所述第二激励电极71 在第二测量电极72之间等距排布。
实施例2
一种判定搅拌桨临界悬浮转速的方法，采用实施例1的固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***，包括以下步骤：
①如图1所示，在搅拌釜1与搅拌桨11水平齐平的侧壁上安装第一组电极3，在搅拌釜1的底部中间位置安装第二组电极7，搅拌桨11通过电机和转速控制器调节转速；所述第一组电极3由两个第一激励电极31和两个第一测量电极32组成，所述第二组电极7均由两个第二激励电极71和两个第二测量电极72组成；采用的搅拌釜高度0.6m，直径0.4m，液位高度0.4m，液相介质为自来水，电导率360μS/cm，密度为998kg/m3，动力粘度为1×10-3Pa·s，固体颗粒为玻璃微珠直径为250-500μm，密度2500kg/m3，固含量10％，搅拌桨为轴流式6片斜叶桨，搅拌桨离底高度0.15m，各组的4片电极均匀布置，间距1cm。
由恒流源分别向第一激励电极31和第二激励电极71通入数值为5mA的激励电流，同步通过模数转换器5连接计算机6分别记录第一测量电极32和第二测量电极 72之间的电压值；
②启动转速控制器2，从小到大逐步调节搅拌桨转速，每次调节增量为30r/min，并在两组测量电极电压信号稳定后，记录第一测量电极32的电压和第二测量电极72 的电压的数值、对应的搅拌桨转速；
③以第二测量电极电压与第一测量电极电压的比值为纵坐标，以对应的转速为横坐标绘制曲线，曲线上出现拐点时对应的转速即为搅拌桨临界悬浮转速。
电压信号之比对应测量空间内固体颗粒的浓度变化，在曲线上斜率为零或负数的点对应测量电极间固相已经完全离开底部测量电极表面底达到临界悬浮状态，再增加转速测量空间内固体颗粒的浓度不会再出现明显变化，该点对应的转速即为该条件下的搅拌临界悬浮转速。如图2所示，当转速为210rpm时，曲线上出现拐点，因此临界离底悬浮转速Njs为210rpm。
实施例3
一种判定搅拌桨临界悬浮转速的方法，采用实施例1的固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***，包括以下步骤：
①如图1所示，在搅拌釜1与搅拌桨11水平齐平的侧壁上安装第一组电极3，在搅拌釜1的底部中间位置安装第二组电极7，搅拌桨11通过电机和转速控制器调节转速；所述第一组电极3由两个第一激励电极31和两个第一测量电极32组成，所述第二组电极7均由两个第二激励电极71和两个第二测量电极72组成；
搅拌釜高度0.6m，搅拌釜直径0.4m，液位高度0.4m，液相介质为添加2％羧甲基纤维素钠的自来水，动力粘度为4000mPa·s，固体颗粒为玻璃微珠直径为250-500μm，密度2500kg/m3，固含量0.5％，搅拌桨为轴流式6片斜叶桨，搅拌桨离底高度0.15m，各组的4片电极均布，间距1cm，第一激励电极31和第二激励电极71均通过恒流源 4通入激励电流交流恒流5mA，向搅拌釜1中加入玻璃微珠，启动搅拌控制器2，从小到大调节搅拌转速，每次调节增量30r/min，并在通过模数转换器5和计算机6记录第一测量电极32的电压和第二测量电极72的电压的数值、对应的搅拌桨转速；
③以第二测量电极电压与第一测量电极电压的比值为纵坐标，以对应的转速为横坐标绘制曲线，曲线上出现拐点时对应的转速即为搅拌桨临界悬浮转速。
电压信号之比对应测量空间内固体颗粒的浓度变化，在曲线上斜率为零或负数的点对应测量电极间固相已经完全离开底部测量电极表面底达到临界悬浮状态，再增加转速测量空间内固体颗粒的浓度不会再出现明显变化，该点对应的转速即为该条件下的搅拌临界悬浮转速。如图3所示，当转速为120rpm时，曲线上出现拐点，因此临界离底悬浮转速Njs为120rpm。
实施例4
一种判定搅拌桨临界悬浮转速的方法，采用实施例1的固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***，包括以下步骤：
①如图1所示，在搅拌釜1与搅拌桨11水平齐平的侧壁上安装第一组电极3，在搅拌釜1的底部中间位置安装第二组电极7，搅拌桨11通过电机和转速控制器调节转速；所述第一组电极3由两个第一激励电极31和两个第一测量电极32组成，所述第二组电极7均由两个第二激励电极71和两个第二测量电极72组成；
搅拌釜高度0.6m，搅拌釜直径0.4m，液位高度0.4m，液相介质为添加2％羟乙基纤维素的自来水，动力粘度为2200mPa·s，固体颗粒为玻璃微珠直径为250-500μm，密度2500kg/m3，固含量30％，搅拌桨为轴流式6片斜叶桨，搅拌桨离底高度0.15m。各组的4片电极均布，间距1cm，第一激励电极31和第二激励电极71均通过恒流源 4通入激励电流交流恒流5mA，向搅拌釜1中加入玻璃微珠，启动搅拌控制器2，从小到大调节搅拌转速，每次调节增量30r/min，并在通过模数转换器5和计算机6记录第一测量电极32的电压和第二测量电极72的电压的数值、对应的搅拌桨转速；
③以第二测量电极电压与第一测量电极电压的比值为纵坐标，以对应的转速为横坐标绘制曲线，曲线上出现拐点时对应的转速即为搅拌桨临界悬浮转速。
电压信号之比对应测量空间内固体颗粒的浓度变化，在曲线上斜率为零或负数的点对应测量电极间固相已经完全离开底部测量电极表面底达到临界悬浮状态，再增加转速测量空间内固体颗粒的浓度不会再出现明显变化，该点对应的转速即为该条件下的搅拌临界悬浮转速。如图4所示，当转速为330rpm时，曲线上出现拐点，因此临界离底悬浮转速Njs为330rpm。
实施例2～4中的搅拌桨转速每次调节增量的数值也可以选择20～40r/min，不影响最后临界离底悬浮转速Njs的确定。

Claims (4)

1.一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***，其特征在于：包括搅拌釜(1)，搅拌釜(1)中设置搅拌桨(11)，搅拌桨(11)与电机(12)连接，电机(12)与转速控制器(2)连接，搅拌釜(1)与搅拌桨(11)水平齐平的侧壁上设置第一组电极(3)，搅拌釜(1)的底部中间位置设置第二组电极(7)，所述第一组电极(3)由两个第一激励电极(31)和两个第一测量电极(32)组成，所述第二组电极(7)均由两个第二激励电极(71)和两个第二测量电极(72)组成，第一激励电极(31)和第二激励电极(71)均连接恒流源(4)，第一测量电极(32)和第二测量电极(72)均通过模数转换器(5)和计算机(6)连接。
2.根据权利要求1所述的一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***，其特征在于：所述恒流源(4)为交流恒流源。
3.根据权利要求1所述的一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***，其特征在于：所述第一激励电极(31)在第一测量电极(32)之间等距排布，所述第二激励电极(71)在第二测量电极(72)之间等距排布。
4.采用权利要求1所述的一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***判定搅拌桨临界悬浮转速的方法，其特征在于：包括以下步骤：
①在搅拌釜与搅拌桨水平齐平的侧壁上安装第一组电极，在搅拌釜的底部中间位置安装第二组电极，搅拌桨通过电机和转速控制器调节转速；所述第一组电极由两个第一激励电极和两个第一测量电极组成，所述第二组电极均由两个第二激励电极和两个第二测量电极组成，由恒流源分别向第一激励电极和第二激励电极通入激励电流，同步通过模数转换器连接计算机分别记录第一测量电极和第二测量电极之间的电压值；
②启动转速控制器，从小到大逐步调节搅拌桨转速，并在两组测量电极电压信号稳定后记录电极电压的数值和对应的转速；
③以第二测量电极电压与第一测量电极电压的比值为纵坐标，以对应的转速为横坐标绘制曲线，曲线上出现拐点时对应的转速即为搅拌桨临界悬浮转速。
CN202111468033.5A 2021-12-04 2021-12-04 一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法 Active CN114236169B (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111468033.5A CN114236169B (zh) 2021-12-04 2021-12-04 一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法
PCT/CN2022/117531 WO2023098204A1 (zh) 2021-12-04 2022-09-07 一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111468033.5A CN114236169B (zh) 2021-12-04 2021-12-04 一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN114236169A true CN114236169A (zh) 2022-03-25
CN114236169B CN114236169B (zh) 2024-01-26

Family

ID=80752998

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202111468033.5A Active CN114236169B (zh) 2021-12-04 2021-12-04 一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN114236169B (zh)
WO (1) WO2023098204A1 (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN115624947A (zh) * 2022-12-21 2023-01-20 广州市凯闻食品发展有限公司 一种高粘度固液混合分散的反应方法及反应釜
WO2023098204A1 (zh) * 2021-12-04 2023-06-08 青岛科技大学 一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN85100356A (zh) * 1985-04-01 1986-08-13 冶金工业部长沙黑色冶金矿山设计研究院 浆体管道输送设计参数的模拟方法及其装置
CN105675902A (zh) * 2016-01-12 2016-06-15 浙江大学 多相搅拌釜中搅拌器临界离底悬浮转速的判定方法
EP3078413A1 (en) * 2015-03-27 2016-10-12 Uniflex Co., Ltd. Mixing capacity measuring device
CN106706951A (zh) * 2016-11-23 2017-05-24 浙江大学 基于釜底压力测量的多相搅拌釜搅拌器气泛转速测量方法
JP2017138123A (ja) * 2016-02-01 2017-08-10 トヨタ自動車株式会社 気液二相流のシミュレーション方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102049208B (zh) * 2009-10-27 2013-10-16 中国科学院过程工程研究所 一种产生向心流动的搅拌桨装置
CN102109455A (zh) * 2009-12-25 2011-06-29 中国科学院过程工程研究所 一种测量液固两相体系局部浓度的新方法
JP2019211354A (ja) * 2018-06-05 2019-12-12 有限会社マグネオ技研 回転数測定方法及びシステム、並びに回転計
CN114236169B (zh) * 2021-12-04 2024-01-26 青岛科技大学 一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN85100356A (zh) * 1985-04-01 1986-08-13 冶金工业部长沙黑色冶金矿山设计研究院 浆体管道输送设计参数的模拟方法及其装置
EP3078413A1 (en) * 2015-03-27 2016-10-12 Uniflex Co., Ltd. Mixing capacity measuring device
CN105675902A (zh) * 2016-01-12 2016-06-15 浙江大学 多相搅拌釜中搅拌器临界离底悬浮转速的判定方法
JP2017138123A (ja) * 2016-02-01 2017-08-10 トヨタ自動車株式会社 気液二相流のシミュレーション方法
CN106706951A (zh) * 2016-11-23 2017-05-24 浙江大学 基于釜底压力测量的多相搅拌釜搅拌器气泛转速测量方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
黄博林: "同心双轴搅拌器固相悬浮特性研究", 中国优秀硕士学位论文全文数据库 工程科技Ⅰ辑, pages 015 - 228 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023098204A1 (zh) * 2021-12-04 2023-06-08 青岛科技大学 一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法
CN115624947A (zh) * 2022-12-21 2023-01-20 广州市凯闻食品发展有限公司 一种高粘度固液混合分散的反应方法及反应釜

Also Published As

Publication number Publication date
WO2023098204A1 (zh) 2023-06-08
CN114236169B (zh) 2024-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN114236169A (zh) 一种固液两相搅拌釜中搅拌桨临界悬浮转速判定***和判定方法
Kouda et al. Effect of agitator configuration on bacterial cellulose productivity in aerated and agitated culture
Dunaway et al. Characterization of changes in viscosity and insoluble solids content during enzymatic saccharification of pretreated corn stover slurries
Kouda et al. Characterization of non-Newtonian behavior during mixing of bacterial cellulose in a bioreactor
JP4081478B2 (ja) 攪拌機
Heilmann et al. Nanoporous aluminum oxide as a novel support material for enzyme biosensors
Crolla et al. Fed-batch production of citric acid by Candida lipolytica grown on n-paraffins
JP4014350B2 (ja) 酵母液貯留用攪拌槽と、その攪拌槽を用いたビール等の発酵食品類の製造方法、並びにその攪拌槽に具備された攪拌翼
Bliatsiou et al. Rheological characteristics of filamentous cultivation broths and suitable model fluids
JP4195250B2 (ja) ビール等の発酵食品類の製造方法
Ju et al. Correlation of cell volume fractions with cell concentrations in fermentation media
CN205046213U (zh) 一种高效电镀缸
CN107384753A (zh) 一种高效厌氧发酵动态膜生物反应器
Liu et al. Optimization and experimental study of variable frequency intermittent stirring strategy for anaerobic digestion based on CFD
Yokoi et al. High density cultivation of plant cells in a new aeration-agitation type fermentor, Maxblend Fermentor®
Waldherr et al. Fragmentation of Aspergillus niger pellets in stirred tank bioreactors due to hydrodynamic stress
WO2000055295A1 (fr) Bac de brassage pour stocker une solution de levure, procede pour produire des aliments fermentes comme de la biere dans ce bac de brassage, et pales de brassage situees dans ce bac de brassage
CN111364058A (zh) 一种用于制备金属锰的电解装置
Leong‐Poi et al. Direct measurement of the yield stress of filamentous fermentation broths with the rotating vane technique
Gavrilescu et al. Performance of airlift bioreactors in the cultivation of some antibiotic producing microorganisms
Mohseni et al. The viscoelastic nature of filamentous fermentation broths and its influence on the directly measured yield stress
CN105675902A (zh) 多相搅拌釜中搅拌器临界离底悬浮转速的判定方法
Belachqer-El Attar et al. Rheology of microalgae concentrates and its influence on the power consumption of enzymatic hydrolysis processing
JP5215010B2 (ja) アルコール連続生産方法
CN1117178C (zh) 一种电沉积坡莫合金薄膜工艺及其实施设备

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant