CN114114585B - 一种镜片六自由度柔顺机构运动台 - Google Patents

一种镜片六自由度柔顺机构运动台 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种镜片六自由度柔顺机构运动台，包括：镜片、XYθZ微动调节机构以及ZθXθY微动调节机构。XYθZ微动调节机构包含柔性铰链，X向、Y1向和Y2向驱动电机，三个电机沿镜片圆周均布，电机轴端连接X向、Y1向及Y2向驱动装置，并在附近分别布置X向、Y1向及Y2向消隙装置。ZθXθY微动调节机构中包含上动板、Z1向电机、Z2向电机、Z3向电机、三个顶杆及镜筒。镜筒上沿圆周均布三处Z向调节柔性铰链，通过同步驱动三个Z向调节柔性铰链实现镜片Z方向调节。通过差动驱动三个Z向调节柔性铰链实现镜片θX、θY方向调节。本发明能够对镜片在六个自由度方向进行调节，以补偿由镜片及其支撑机构的制造及装配引入的误差以及在物镜服役周期内因环境变化引起的误差。

Description

一种镜片六自由度柔顺机构运动台
技术领域
本发明具体涉及一种镜片六自由度柔顺机构运动台，可用于光刻机中物镜镜片的姿态调节，也可用于生产中工件的安装检测与调试。
背景技术
随着大规模集成电路的发展，高精度的投影光刻机需求日益增加。对于高精度的投影光刻机，由于加工和装配能力的限制，不可避免地会在制造及装配过程中产生误差。此外，在高精度投影光刻机的长期使用过程中，温度、压力等环境变化均会引起镜片姿态的改变，进而对像质产生不良影响。因此，需要对镜片的姿态进行调节，保证镜片在X、Y、Z、θX、θY、θZ六个方向可调，释缓因加工、装配及环境变化带来的镜片位置变化，保证镜片在整个光学***中的相对位置，提高成像质量。
发明内容
本发明的目的在于提供一种镜片六自由度柔顺机构运动台，用来调节镜片在X、Y、Z、θX、θY、θZ六个方向的自由度，以补偿制造及装配过程中引入的误差以及长期使用过程中环境变化带来的误差，保证物镜成像质量。
本发明采用的技术方案为：一种镜片六自由度柔顺机构运动台，该装置包括：镜片1、XYθZ微动调节机构以及ZθXθY微动调节机构。XYθZ微动调节机构包含柔性铰链2，X向驱动电机3.1、Y1向驱动电机3.2、Y2向驱动电机3.3，电机轴端采用螺纹连接X向驱动装置4.1、Y1向驱动装置4.2及Y2向驱动装置4.3，并在附近分别布置X向消隙装置5.1、Y1向消隙装置5.2及Y2向消隙装置5.3。ZθXθY微动调节机构中包含上动板6、Z1向电机7.1、Z2向电机7.2、Z3向电机7.3、三个顶杆(即第一顶杆8.1、第二顶杆8.2、第三顶杆8.3)及镜筒9。镜筒9上沿圆周均布三处Z向调节柔性铰链(即第一Z向调节柔性铰链9.1、第二Z向调节柔性铰链9.2、第三Z向调节柔性铰链9.3)。通过同步驱动三个Z向调节柔性铰链(即第一Z向调节柔性铰链9.1、第二Z向调节柔性铰链9.2、第三Z向调节柔性铰链9.3)实现镜片Z方向单向调节。通过差动驱动三个Z向调节柔性铰链(即第一Z向调节柔性铰链9.1、第二Z向调节柔性铰链9.2、第三Z向调节柔性铰链9.3)分别实现镜片θX、θY方向单向调节。柔性铰链2与上动板6间采用螺钉连接，实现XYθZ微动调节机构和ZθXθY微动调节机构的连接。本发明能够对镜片在六个自由度方向进行调节，以补偿由镜片及其支撑机构的制造及装配引入的误差以及在物镜服役周期内因环境变化引起的误差。
所述XYθZ微动调节机构的三个电机(即X向驱动电机3.1、Y1向驱动电机3.2、Y2向驱动电机3.3)沿镜片周向均布，三个电机产生的驱动力方向与镜片中心的力臂相等，通过调整三个电机的驱动力大小及方向实现镜片在X向、Y向、θZ向的三自由度调节。
所述XYθZ微动调节机构的柔性铰链2分两层，最内层2.1为运动层，最外层2.2为固定层，三个电机(即X向驱动电机3.1、Y1向驱动电机3.2、Y2向驱动电机3.3)均安装在最外层2.2上。
所述XYθZ微动调节机构的三个驱动装置(即X向驱动装置4.1、Y1向驱动装置4.2、Y2向驱动装置4.3)均包含一个球头杆(即第一球头杆11.1、第二球头杆11.2、第三球头杆11.3)与球头杆套(即第一球头杆套12.1、第二球头杆套12.2、第三球头杆套12.3)，相互配合的球头杆和球头杆套间存在间隙，且在加工过程中需配做，保证三组配合的间隙量基本相同。
所述XYθZ微动调节机构的三个消隙装置(即X向消隙装置5.1、Y1向消隙装置5.2、Y2向消隙装置5.3)，分别用来消除三个电机(即X向驱动电机3.1、Y1向驱动电机3.2、Y2向驱动电机3.3)的轴收缩时球头杆(即第一球头杆11.1、第二球头杆11.2、第三球头杆11.3)与球头杆套(即第一球头杆套12.1、第二球头杆套12.2、第三球头杆套12.3)之间的间隙。
所述ZθXθY微动调节机构对镜片三自由度姿态调节通过镜筒9上沿圆周均布的三个Z向调节柔性铰链(即第一Z向调节柔性铰链9.1、第二Z向调节柔性铰链9.2、第三Z向调节柔性铰链9.3)实现。通过Z1向电机7.1水平驱动第一顶杆8.1，第一顶杆8.1产生水平直线运动驱动第一Z向调节柔性铰链9.1，第一Z向调节柔性铰链9.1推动上动板6产生单点的Z向运动。通过同步驱动三个Z向调节柔性铰链(即第一Z向调节柔性铰链9.1、第二Z向调节柔性铰链9.2、第三Z向调节柔性铰链9.3)实现上动板6Z方向单向运动，进而实现镜片的Z向调节。通过差动驱动三个Z向调节柔性铰链(即第一Z向调节柔性铰链9.1、第二Z向调节柔性铰链9.2、第三Z向调节柔性铰链9.3)分别实现上动板6在θX、θY方向单向运动，进而实现镜片的θX、θY方向调节。
所述的第一Z向调节柔性铰链9.1、第二Z向调节柔性铰链9.2、第三Z向调节柔性铰链9.3由线切割镜筒加工而成，与镜筒9一体，实现构件高度集成。
本发明的原理是：本发明提供一种镜片六自由度柔顺机构运动台，其作用是对投影物镜中的特定镜片在X、Y、Z、θX、θY、θZ六个方向的姿态进行调节。本发明所涉及的镜片六自由度柔顺机构运动台包括：镜片1、XYθZ微动调节机构以及ZθXθY微动调节机构。XYθZ微动调节机构包含柔性铰链2，X向驱动电机3.1、Y1向驱动电机3.2、Y2向驱动电机3.3，三个电机沿镜片圆周均布，电机轴端采用螺纹连接X向驱动装置4.1、Y1向驱动装置4.2及Y2向驱动装置4.3，并在附近分别布置X向消隙装置5.1、Y1向消隙装置5.2及Y2向消隙装置5.3。ZθXθY微动调节机构中包含上动板6、Z1向电机7.1、Z2向电机7.2、Z3向电机7.3、三个顶杆(即第一顶杆8.1、第二顶杆8.2、第三顶杆8.3)及镜筒9。镜筒9上沿圆周均布三处Z向调节柔性铰链(即第一Z向调节柔性铰链9.1、第二Z向调节柔性铰链9.2、第三Z向调节柔性铰链9.3)，通过同步驱动三个Z向调节柔性铰链(即第一Z向调节柔性铰链9.1、第二Z向调节柔性铰链9.2、第三Z向调节柔性铰链9.3)实现镜片Z方向单向调节。通过差动驱动三个Z向调节柔性铰链(即第一Z向调节柔性铰链9.1、第二Z向调节柔性铰链9.2、第三Z向调节柔性铰链9.3)分别实现镜片θX、θY方向单向调节。柔性铰链2与上动板6间采用螺钉连接，实现XYθZ微动调节机构和ZθXθY微动调节机构的连接。本发明能够对镜片在六个自由度方向进行调节，以补偿由镜片及其支撑机构的制造及装配引入的误差以及在物镜服役周期内因环境变化引起的误差。
本装置运用了柔顺机构原理，XYθZ微动调节机构以及ZθXθY微动调节机构均采用柔性铰链结构，通过改变驱动方式使铰链的不同位置发生弹性变形，经过耦合实现镜片六自由度微量调节的同时，柔顺机构一定程度上可以缓释因温度变化引起的镜片变形。
本发明的有益效果是：本装置采用模块化设计，分为镜片、XYθZ微动调节机构以及ZθXθY微动调节机构三个独立模块，各模块之间相互独立，可分别进行安装调试，最终集成实现镜片的六自由度调节，装调灵活性好、集成度高。由于XYθZ微动调节机构以及ZθXθY微动调节机构均只包含一个整体的铰链来分别实现X、Y、θZ向的调节以及Z、θX、θY方向的调节，且Z向调节柔性铰链通过镜筒切割加工而成，与镜筒为一体，使得结构简单、易于装调；由于X向、Y1向及Y2向的驱动结构完全相同，且沿圆周均布，可根据物镜装配的整体需求进行调整，从而对整体坐标X-Y方向进行调整；同样的，由于三个Z向调节机构的结构及原理完全相同，亦可进行互换，进而使镜片θX-θY的坐标方向灵活可调。
附图说明
本发明所述的镜片六自由度柔顺机构运动台具体结构形式以附图形式作进一步阐述：
图1为本发明一种镜片六自由度柔顺机构运动台示意图，其中，1为镜片，2为柔性铰链，3.1为X向驱动电机，3.2为Y1向驱动电机，3.3为Y2向驱动电机，4.1为X向驱动装置，4.2为Y1向驱动装置，4.3为Y2向驱动装置，5.1为X向消隙装置，5.2为Y1向消隙装置，5.3为Y2向消隙装置，6为上动板，7.2为Z2向电机，9为镜筒。
图2为镜XYθZ微动调节机构示意图，其中，2为柔性铰链，2.1为最内层，2.2为最外层，3.1为X向驱动电机，3.2为Y1向驱动电机，3.3为Y2向驱动电机，5.2为Y1向消隙装置。
图3为XYθZ微动调节机构X向驱动装置示意图，其中，11.1为X向球头杆，12.1为X向球头杆套，21为通孔一，22为通孔二，J为球面，K为圆柱面，I为轴端内螺纹。
图4为XYθZ微动调节机构运动简图，其中，201为第一通孔，202为第二通孔，203为第三通孔，204为第四通孔，205为第五通孔，206为第六通孔，207为第七通孔，208为第八通孔，209为第九通孔，210为第十通孔。
图5为ZθXθY微动调节机构示意图。
图6为ZθXθY微动调节机构侧视图，其中，101为第一支点，102为第二支点，103为第三支点，104为第四支点，105为第五支点，106为第六支点，107为第七支点，108为第八支点，109为第九支点，110为第十支点，2.1为最内层。
图7为ZθXθY微动调节机构示意图，其中，6为上动板，7.2为Z2向电机，7.3为Z3向电机，8.1为第一顶杆，8.2为第二顶杆，8.3为第三顶杆，9为镜筒。
图8为镜筒示意图，其中，9.1为第一Z向调节柔性铰链，9.2为第二Z向调节柔性铰链，9.3为第三Z向调节柔性铰链。
图9为ZθXθY微动调节机构运动简图，其中，13为滑块，14为连杆，D为第1铰链，E为第2铰链，F为第3铰链，G为第4铰链，H为第5铰链，I为第6铰链。
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，参照附图和具体实施例对本发明进行详细说明。
如图1所示，本装置包含三层结构，至上而下依次为镜片1、XYθZ微动调节机构以及ZθXθY微动调节机构。镜片上设有三个台阶，即台阶A、台阶B、台阶C，通过螺钉固定在下方XYθZ微动调节机构上；XYθZ微动调节机构位于ZθXθY微动调节机构上方，通过柔性铰链2与上动板6螺栓连接实现XYθZ微动调节机构、ZθXθY微动调节机构的连接。
如图2所示，XYθZ微动调节机构包含柔性铰链2，三个驱动电机(即X向驱动电机3.1、Y1向驱动电机3.2、Y2向驱动电机3.3)，三个驱动装置(即X向驱动装置4.1、Y1向驱动装置4.2、Y2向驱动装置4.3)，三个消隙装置(即X向消隙装置5.1、Y1向消隙装置5.2、Y2向消隙装置5.3)。柔性铰链2分两层，最内层2.1为运动层，最外层2.2为固定层。三个电机(即X向驱动电机3.1、Y1向驱动电机3.2、Y2向驱动电机3.3)均采用螺钉安装在最外层2.2上，三个电机轴端分别采用螺纹连接三个驱动装置(即X向驱动装置4.1、Y1向驱动装置4.2、Y2向驱动装置4.3)，并在附近分别布置三个消隙装置(即X向消隙装置5.1、Y1向消隙装置5.2、Y2向消隙装置5.3)，三个消隙装置(即X向消隙装置5.1、Y1向消隙装置5.2、Y2向消隙装置5.3)的两端分别连接柔性铰链最内层2.1和最外层2.2。
如图3所示，由于三个驱动装置(即X向驱动装置4.1、Y1向驱动装置4.2、Y2向驱动装置4.3)的结构及安装方式完全相同，以X向驱动装置4.1为例进行描述。X向驱动装置4.1包含X向球头杆11.1和X向球头杆套12.1，X向球头杆11.1的球面J位于X向球头杆套12.1的圆柱面K内，二者之间存在间隙。X向球头杆11.1通过轴端内螺纹I连接在X向电机上，X向球头杆套12.1上有两个通孔(即通孔一20、通孔二21)，通过螺钉连接在柔性铰链2的最内层2.1上。
如图2和3所示，XYθZ微动调节机构的三个电机(即X向驱动电机3.1、Y1向驱动电机3.2、Y2向驱动电机3.3)沿镜片周向均布，三个电机产生的驱动力方向与镜片中心的力臂相等，通过三个驱动电机(即X向驱动电机3.1、Y1向驱动电机3.2、Y2向驱动电机3.3)，分别产生驱动力FX，FY1，FY2，通过调节三个力的大小和方向，实现三自由度调节。X向驱动电机3.1指向X正向，通过X向驱动电机3.1驱动柔性铰链2，同时同步驱动Y1向驱动电机3.2及Y2向驱动电机3.3，实现镜片X方向单向调节。通过差动驱动Y1向驱动电机3.2和Y2向驱动电机3.3，实现镜片Y方向单向调节。通过同步驱动X向驱动电机3.1、Y向驱动电机3.2及Y2向驱动电机3.3，实现镜片θZ方向单向调节。
如图4所示，柔性铰链2上沿圆周均布三处完全相同的柔性铰链结构。因三处结构及尺寸完全相同，以FX向驱动力附近的铰链结构为例，柔性铰链2上设有第一通孔201、第二通孔202、第三通孔203、第四通孔204、第五通孔205、第六通孔206、第七通孔207、第八通孔208、第九通孔209、第十通孔210十处通孔，形成铰链，相当于十个支点，各处的局部放大如图5所示。第一通孔201和第三通孔203、第二通孔202和第四通孔204、第五通孔205和第八通孔208、第六通孔206和第九通孔209、第七通孔207和第十通孔210分别两两对称布置。
如图6所示，根据柔性铰链2结构得到其机构运动简图。以FX向驱动力附近的铰链结构为例，第一支点101和第三支点103、第二支点102和第四支点104、第五支点105和第八支点108、第六支点106和第九支点109、第七支点107和第十支点110分别两两对称布置。对第五支点105和第六支点106之间的连杆进行驱动，带动柔性铰链2最内层2.1运动，第一支点101、第二支点102、第三支点103、第四支点104共同构成平行四边形结构对柔性铰链2最内层2.1的X向运动进行导向。
如图7所示，ZθXθY微动调节机构包括：上动板6、三个电机(即Z1向电机7.1、Z2向电机7.2、Z3向电机7.3)、三个顶杆(即第一顶杆8.1、第二顶杆8.2、第三顶杆8.3)、镜筒9。三个电机(即Z1向电机7.1、Z2向电机7.2、Z3向电机7.3)与三个顶杆(即第一顶杆8.1、第二顶杆8.2、第三顶杆8.3)顶杆沿圆周方向均布。
如图8所示，镜筒9上沿圆周方向均布三个Z向调节柔性铰链(即第一Z向调节柔性铰链9.1、第二Z向调节柔性铰链9.2、第三Z向调节柔性铰链9.3)，三个Z向调节柔性铰链的结构完全相同，第一Z向调节柔性铰链9.1、第二Z向调节柔性铰链9.2、第三Z向调节柔性铰链9.3由切割镜筒加工而成，与镜筒9一体。
如图9所示，第1铰链D、第2铰链E、第3铰链F、第4铰链G对称布置，第5铰链H、第6铰链I行成平行四边形结构对滑块13运动导向，水平驱动连杆14旋转，实现滑块13Z向运动。
如图7、8、9所示，通过第一电机7.1水平驱动第一顶杆8.1，第一顶杆8.1产生水平直线运动驱动第一Z向调节柔性铰链9.1，第一Z向调节柔性铰链9.1推动上动板6产生单点的Z向运动。通过同步驱动三个Z向调节柔性铰链(即第一Z向调节柔性铰链9.1、第二Z向调节柔性铰链9.2、第三Z向调节柔性铰链9.3)实现上动板6在Z方向单向运动，进而实现镜片的Z向调节。通过差动驱动三个Z向调节柔性铰链(即第一Z向调节柔性铰链9.1、第二Z向调节柔性铰链9.2、第三Z向调节柔性铰链9.3)分别实现上动板6在θX、θY方向单向运动，进而实现镜片的θX、θY方向调节。
本发明所详述的设计实例仅用于说明本发明的优势和合理性，凡以本发明技术方案为基础优化设计的实例均属于本发明的范畴。本发明未详细阐述的技术和原理属于本发明领域人员所公知的技术。

Claims (10)

1.一种镜片六自由度柔顺机构运动台，其特征在于：包括：镜片(1)、XYθZ微动调节机构以及ZθXθY微动调节机构；XYθZ微动调节机构包含柔性铰链(2)，X向驱动电机(3.1)、Y1向驱动电机(3.2)、Y2向驱动电机(3.3)，电机轴端采用螺纹连接X向驱动装置(4.1)、Y1向驱动装置(4.2)及Y2向驱动装置(4.3)，并在附近分别布置X向消隙装置(5.1)、Y1向消隙装置(5.2)及Y2向消隙装置(5.3)；ZθXθY微动调节机构中包含上动板(6)、Z1向电机(7.1)、Z2向电机(7.2)、Z3向电机(7.3)、第一顶杆(8.1)、第二顶杆(8.2)、第三顶杆(8.3)及镜筒(9)，镜筒(9)上沿圆周均布三处Z向调节柔性铰链即第一Z向调节柔性铰链(9.1)、第二Z向调节柔性铰链(9.2)、第三Z向调节柔性铰链(9.3)，通过同步驱动三个Z向调节柔性铰链即第一Z向调节柔性铰链(9.1)、第二Z向调节柔性铰链(9.2)、第三Z向调节柔性铰链(9.3)实现镜片Z方向单向调节，通过差动驱动三个Z向调节柔性铰链即第一Z向调节柔性铰链(9.1)、第二Z向调节柔性铰链(9.2)、第三Z向调节柔性铰链(9.3)分别实现镜片θX、θY方向单向调节，柔性铰链(2)与上动板(6)间采用螺钉连接，实现XYθZ微动调节机构和ZθXθY微动调节机构的连接。
2.根据权利要求1所述的一种镜片六自由度柔顺机构运动台，其特征在于：所述XYθZ微动调节机构的X向驱动电机(3.1)、Y1向驱动电机(3.2)、Y2向驱动电机(3.3)沿镜片周向均布，三个电机产生的驱动力方向与镜片中心的力臂相等；X向驱动电机(3.1)指向X正向，通过X向驱动电机(3.1)驱动柔性铰链(2)，同时驱动Y1向驱动电机(3.2)收缩及Y2向驱动电机(3.3)伸长以抵消X向驱动产生的力矩，实现镜片X方向单向调节；X向驱动电机(3.1)不动，通过差动驱动Y1向驱动电机(3.2)和Y2向驱动电机(3.3)，实现镜片Y方向单向调节；通过同步驱动X向驱动电机(3.1)、Y向驱动电机(3.2)及Y2向驱动电机(3.3)，实现镜片θZ方向单向调节。
3.根据权利要求1所述的一种镜片六自由度柔顺机构运动台，其特征在于：所述XYθZ微动调节机构的柔性铰链(2)分两层，最内层(2.1)为运动层，最外层(2.2)为固定层，X向驱动电机(3.1)、Y1向驱动电机(3.2)、Y2向驱动电机(3.3)均安装在最外层(2.2)上。
4.根据权利要求1所述的一种镜片六自由度柔顺机构运动台，其特征在于：所述XYθZ微动调节机构的X向驱动装置(4.1)、Y1向驱动装置(4.2)及Y2向驱动装置(4.3)结构及安装方式完全相同，均包含一个球头杆和一个球头杆套，X向驱动装置(4.1)、Y1向驱动装置(4.2)及Y2向驱动装置(4.3)的三个球头杆—X向球头杆(11.1)、Y向球头杆(11.2)及Y2向球头杆(11.3)分别位于在X向球头杆套(12.1)、Y向球头杆套(12.2)及Y2向球头杆套(12.3)圆柱面内，X向球头杆套(12.1)、Y向球头杆套(12.2)及Y2向球头杆套(12.3)分别采用螺钉连接在柔性铰链(2)的最内层(2.1)上。
5.根据权利要求1所述的一种镜片六自由度柔顺机构运动台，其特征在于：所述XYθZ微动调节机构的X向球头杆(11.1)、Y向球头杆(11.2)及Y2向球头杆(11.3)与X向球头杆套(12.1)、Y向球头杆套(12.2)及Y2向球头杆套(12.3)间均存在间隙，且相互配合的球头杆和球头杆套在加工过程中需配做，保证三组配合的间隙量基本相同。
6.根据权利要求1所述的一种镜片六自由度柔顺机构运动台，其特征在于：所述XYθZ微动调节机构的三个消隙装置即X向消隙装置(5.1)、Y1向消隙装置(5.2)、Y2向消隙装置(5.3)，分别用来消除X向驱动电机(3.1)、Y1向驱动电机(3.2)、Y2向驱动电机(3.3)的轴收缩时X向球头杆(11.1)、Y向球头杆(11.2)及Y2向球头杆(11.3)与X向球头杆套(12.1)、Y向球头杆套(12.2)及Y2向球头杆套(12.3)之间的间隙。
7.根据权利要求1所述的一种镜片六自由度柔顺机构运动台，其特征在于：所述ZθXθY微动调节机构包括：上动板(6)、Z1向电机(7.1)、Z2向电机(7.2)、Z3向电机(7.3)、第一顶杆(8.1)、第二顶杆(8.2)、第三顶杆(8.3)、镜筒(9)，Z1向电机(7.1)、Z2向电机(7.2)、Z3向电机(7.3)与第一顶杆(8.1)、第二顶杆(8.2)、第三顶杆(8.3)均沿圆周方向均布。
8.根据权利要求1所述的一种镜片六自由度柔顺机构运动台，其特征在于：镜筒(9)上沿圆周方向均布三个Z向调节柔性铰链即第一Z向调节柔性铰链(9.1)、第二Z向调节柔性铰链(9.2)、第三Z向调节柔性铰链(9.3)，第一Z向调节柔性铰链(9.1)、第二Z向调节柔性铰链(9.2)、第三Z向调节柔性铰链(9.3)均由切割镜筒加工而成，与镜筒(9)一体，所述镜筒材料采用弹性材料，包括：9Cr18及钛合金。
9.根据权利要求1所述的一种镜片六自由度柔顺机构运动台，其特征在于：第1铰链(D)、第2铰链(E)、第3铰链(F)、第4铰链(G)对称布置，第5铰链(H)、第6铰链(I)行成平行四边形结构对滑块(13)运动导向，水平驱动连杆(14)旋转，实现滑块(13)Z向运动。
10.根据权利要求1所述的一种镜片六自由度柔顺机构运动台，其特征在于：通过Z1向电机(7.1)水平驱动第一顶杆(8.1)，第一顶杆(8.1)产生水平直线运动驱动第一Z向调节柔性铰链(9.1)，第一Z向调节柔性铰链(9.1)推动上动板(6)产生单点的Z向运动，通过同步驱动第一Z向调节柔性铰链(9.1)、第二Z向调节柔性铰链(9.2)、第三Z向调节柔性铰链(9.3)实现上动板(6)Z方向单向运动，进而实现镜片的Z向调节，通过差动驱动第一Z向调节柔性铰链(9.1)、第二Z向调节柔性铰链(9.2)、第三Z向调节柔性铰链(9.3)分别实现上动板(6)在θX、θY方向单向运动，进而实现镜片的θX、θY方向调节。
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