CN114076670B - 一种拼接主镜共相误差检测方法、***及储存介质 - Google Patents
一种拼接主镜共相误差检测方法、***及储存介质 Download PDFInfo
- Publication number
- CN114076670B CN114076670B CN202210061624.9A CN202210061624A CN114076670B CN 114076670 B CN114076670 B CN 114076670B CN 202210061624 A CN202210061624 A CN 202210061624A CN 114076670 B CN114076670 B CN 114076670B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- detected
- sample
- diffraction
- distribution
- splicing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 40
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 64
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 39
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 22
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 19
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 17
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims abstract description 12
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims abstract description 9
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 claims abstract description 7
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims abstract description 5
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims abstract description 4
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 106
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 17
- 238000004590 computer program Methods 0.000 claims description 12
- 230000009466 transformation Effects 0.000 claims description 7
- 230000004075 alteration Effects 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 abstract description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 5
- 238000004422 calculation algorithm Methods 0.000 description 4
- 206010010071 Coma Diseases 0.000 description 1
- 201000009310 astigmatism Diseases 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000012472 biological sample Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000005305 interferometry Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
- G01M11/02—Testing optical properties
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
技术领域
本发明涉及一种拼接主镜共相误差检测方法,具体涉及一种拼接主镜共相误差检测方法、***及储存介质。
背景技术
为了追求更高的集光能力和成像分辨率,近年来望远镜的口径不断增大。拼接主镜的概念提出后,突破了传统单口径望远镜镜面加工技术的局限,有效降低了加工成本与制造难度,使得超大口径望远镜成为可能。为使拼接主镜型望远镜***实现衍射极限成像,达到等同于口径单镜的性能,其关键在于各个拼接子镜之间共相误差的检测与校正问题。
每个拼接子镜包括六个自由度的位置误差,其中对成像质量影响最大的为各拼接子镜之间的piston误差与倾斜误差,即共相误差。现有的共相误差检测方法主要有:四棱锥检测法、宽窄带夏克哈特曼法、干涉法、色散条纹法等。但上述方法在使用过程中均存在一定的局限性,如四棱锥检测法的高精度锥点角加工难度大、顶点对准过程较难实现;宽窄带夏克哈特曼法操作困难,光路复杂,仅适用于piston误差;干涉法需要参考光束;色散条纹法需要较大靶面的探测器,存在条纹抖动问题并且也只能检测piston误差。
发明内容
本发明的目的是提供一种易于操作、光路简单、检测精度高的基于叠层衍射成像的拼接主镜共相误差检测方法、***及存储介质,克服现有检测方法在使用过程中存在的局限性,实现大口径、多子镜之间非连续表面共相误差检测,达到同时对多个子镜间的piston误差和倾斜误差进行高精度检测的目的。
本发明的构思是:
叠层衍射成像(Ptychography)技术(参见J, R, Fienup. Phase retrievalalgorithms: a comparison[J]. Applied Optics, 1982, 21(15)),其基本思路为:记录已知照明光透过待测样品后的远场衍射光斑,通过光斑记录面与待测样品面之间的反复迭代计算,可在已知振幅强度的条件下得到唯一的相位解,从而得到待测样品的相位信息。
2009年,Maiden等对PIE算法(Ptychographic Iterative Engine)算法(参见Rodenburg J M, Faulkner H. A phase retrieval algorithm for shiftingillumination[J]. Applied Physics Letters, 2004, 85(20):4795-4797)方法进行改进,提出了可以同时恢复照明光和待测样品分布的extended-PIE(ePIE)算法(参见MaidenA M, Rodenburg J M. An improved ptychographical phase retrieval algorithm fordiffractive imaging[J]. Ultramicroscopy, 2009, 109(10):1256-1262),可以在照明光与待测样品都未知的情况下,分别赋予照明光与待测样品初始猜测值,并在迭代计算过程中对照明光和待测样品进行同时更新,从而同时恢复照明光与待测样品的复振幅信息。本发明方法将叠层衍射成像技术应用于拼接主镜的共相误差检测,由恢复的待测样品表面处照明光信息精确反演至拼接主镜面,从而获取各个拼接子镜之间的共相误差。
本发明采用的技术解决方案是提供一种拼接主镜共相误差检测方法,其特殊之处在于,包括以下步骤:
步骤2、入射的平行光束经过待检测反射式拼接主镜型望远镜***后形成会聚光束,入射至待测样品表面;
步骤3、控制待测样品进行扫描移动,并由面阵探测器采集待测样品在不同扫描位置的衍射光斑;
步骤4、利用叠层衍射成像技术同时计算出待测样品的复振幅透过率及其表面的照明光场分布;
步骤5、进行光场逆传输计算得出拼接主镜光瞳面的相位分布,获取各拼接子镜之间的共相误差信息。
进一步地,步骤3具体为:
控制待测样品每扫描移动至一个扫描位置,控制面阵探测器采集待测样品在该扫
描位置衍射光斑的光强分布数据;将面阵探测器所采集的待测样品在第个扫描位置衍射
光斑的光强分布数据记为,其中,,为待检测反射式拼接主镜型望远
镜***在面阵探测器面上的坐标;
进一步地,步骤4具体为:
步骤4.3、将待测样品的复振幅和表面的照明光分布做乘法,得到待测样品表面出射光场的复振幅分布:
步骤4.5、更新衍射光场分布:
步骤4.6、将步骤4.5更新后的衍射光场分布逆传输至待测样品表面,得到新的待测样品表面出射光场的复振幅分布:
进一步地,步骤5具体为:
步骤5.1、利用菲涅尔衍射传输将步骤4得到的待测样品表面的照明光分布逆传输至拼接主镜面,得到该平面的光场复振幅分布;
步骤5.2、通过提取拼接主镜面光瞳函数的相位,获取各拼接子镜之间的piston误差和倾斜误差,最终实现拼接主镜共相误差检测。
进一步地,步骤3中相邻两个扫描位置透光部分的重叠率在60%~90%。
进一步地,步骤1中将待测样品固定在二维电动平移台上,步骤3中通过控制二维电动平移台,实现待测样品的扫描移动。
进一步地,步骤4.2中,在实际操作过程中,将面阵探测器移至待测样品所在的平面,采集衍射图样作为振幅猜测,可以更准确及快速地恢复结果。
本发明还提供一种拼接主镜共相误差检测***,其特殊之处在于,包括待测样品、面阵探测器及计算机;
计算机包括处理器及储存器,存储器内存储计算机程序,被执行时,实现上述拼接主镜共相误差检测方法中步骤3-步骤5的过程。
本发明还提供一种计算机可读储存介质,其特殊之处在于,存储计算机程序,被处理器执行时,实现上述拼接主镜共相误差检测方法中步骤3-步骤5的过程。
本发明的有益效果是:
(1)本发明基于叠层衍射成像技术可以同时检测所有拼接子镜之间的共相误差,不需要对每个拼接子镜进行单独检测,检测效率较高。
(2)本发明不仅能检测各个子镜之间的piston误差与倾斜误差,还能同时对每个拼接子镜进行高精度面形检测;
在实际的反射式拼接主镜型望远镜***中,拼接主镜除了有子镜之间的共相误差外,由于受加工、装调、环境等因素的影响,各个子镜本身也存在部分的高阶像差(主要有球差、慧差、像散、场曲、畸变,对应zernike多项式的更高阶项),在一定程度上会影响到拼接主镜的共相检测精度。在本发明方法中,由于直接得到了拼接主镜面的波像差分布,提取主镜面光瞳函数后,采用zernike多项式的更高阶项可以拟合生成各个子镜本身的波像差,从而实现各个拼接子镜的高精度面形检测。
(3)本发明的检测过程不需要参考光,检测光路简单、易于操作。
(4)本发明在检测过程中记录的多幅衍射光斑具有高度的数据冗余度,数据重建过程不受散斑噪声的影响,相比于传统测量方法可获得更高的信噪比。
附图说明
图1是实施例中基于叠层衍射成像的拼接主镜共相误差检测***示意图;
图中附图标记为:1-待检测反射式拼接主镜型望远镜***,2-待测样品,3-面阵探测器,4-二维电动平移台,5-计算机。
具体实施方式
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合说明书附图对本发明的具体实施方式做详细的说明,显然所描述的实施例是本发明的一部分实施例,而不是全部实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本发明的保护的范围。
在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明,但是本发明还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似推广,因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
本实施例基于叠层衍射成像的拼接主镜共相误差检测方法,包括以下步骤:
步骤1、如图1所示,入射的平行光束经过待检测反射式拼接主镜型望远镜***1后
形成会聚光束,最终成像在其焦面上;本实施例在待检测反射式拼接主镜型望远镜***1的
焦点之后的位置放置待测样品2,待测样品2表面垂直于光轴;在待测样品2之后距离焦点的位置处放置面阵探测器3,用于采集待测样品2的衍射光斑;待测样品2与面阵探测器3
均位于待检测反射式拼接主镜型望远镜***1的输出光路中,将光束首先到达的位置定义
为“前”,后到达的位置定义为“后”。待测样品2可以选用如分辨率板、随机相位板、空间光调
制器、生物样品等,本实施例将其固定在二维电动平移台4上,利用二维电动平移台4带动待
测样品2实现扫描移动。面阵探测器3可以选用CCD探测器、CMOS探测器或者其它面阵探测
器,本实施例采用CCD探测器。
步骤2、入射的平行光束经过待检测反射式拼接主镜型望远镜***1后形成会聚光束,入射至待测样品2表面。
步骤3、利用计算机5控制二维电动平移台4,使待测样品2在垂直于光轴方向的平
面内做逐行逐列式的扫描,步长为,相邻两个扫描位置的透光部分必须有重叠,且重叠率
控制在60%~90%,待测样品2所需要移动的位置由行列的矩阵表示,一共个扫描位置,。当扫描至第个位置时,CCD探测器所记录的衍射光斑的光强分布为,其
中,,为***在CCD探测器面上的坐标,所有位置扫描完成后,得到一组衍射
光斑数据,,…,。
步骤4、利用叠层衍射成像技术同时计算出待测样品2的复振幅透过率及其表面的照明光场分布;
步骤4.3、将待测样品2的复振幅和表面的照明光分布做乘法,得到待测样品2表面出射光场的复振幅分布:
步骤4.5、更新衍射光场分布:
步骤4.6、将步骤4.5更新后的衍射光场分布逆传输至待测样品2表面,得到新的待测样品2表面出射光场的复振幅分布:
步骤5、进行光场逆传输计算得出拼接主镜光瞳面的相位分布,获取各拼接子镜之间的共相误差信息。
利用菲涅尔衍射传输将步骤4得到的待测样品2表面的照明光分布逆传输至拼接主镜面,得到该平面的光场复振幅分布,再通过提取拼接主镜面光瞳函数的相位,获取各拼接子镜之间的piston误差和倾斜误差,最终实现拼接主镜共相误差检测。
本实施例还提供一种基于叠层衍射成像的拼接主镜共相误差检测***,如图1所示,包括待测样品2、面阵探测器3及计算机5;
计算机5包括处理器及储存器,存储器内存储计算机程序,被执行时,实现上述基于叠层衍射成像的拼接主镜共相误差检测方法中步骤3-步骤5的过程。
本发明还提供一种计算机可读储存介质,其特殊之处在于,存储计算机程序,被处理器执行时,实现上述基于叠层衍射成像的拼接主镜共相误差检测方法中步骤3-步骤5的过程。
在一些可能的实施方式中,本发明还可以实现为一种程序产品的形式,其包括程序代码,当所述程序产品在终端设备上运行时,所述程序代码用于使所述终端设备执行本说明书上述方法部分中描述的根据本发明各种示例性实施方式的步骤。用于实现上述方法的程序产品,其可以采用便携式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)并包括程序代码,并可以在终端设备,例如个人电脑上运行。然而,本发明的程序产品不限于此,在本发明中,计算机可读存储介质可以是任何包含或存储程序的有形介质,该程序可以被指令执行***、装置或者器件使用或者与其结合使用。
程序产品可以采用一个或多个可读介质的任意组合。可读介质可以是可读信号介质或者可读存储介质。可读存储介质例如可以为但不限于电、磁、光、电磁、红外线、或半导体的***、装置或器件,或者任意以上的组合。可读存储介质的更具体的例子(非穷举的列表)包括:具有一个或多个导线的电连接、便携式盘、硬盘、随机存取存储器(RAM)、只读存储器(ROM)、可擦式可编程只读存储器(EPROM或闪存)、光纤、便携式紧凑盘只读存储器(CD-ROM)、光存储器件、磁存储器件、或者上述的任意合适的组合。
Claims (7)
1.一种拼接主镜共相误差检测方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1、在待检测反射式拼接主镜型望远镜***的焦点之后l1的位置放置待测样品,待测样品表面垂直于光轴;在待测样品之后距离待检测反射式拼接主镜型望远镜***焦点l2的位置处放置面阵探测器;
步骤2、入射的平行光束经过待检测反射式拼接主镜型望远镜***后形成会聚光束,入射至待测样品表面;
步骤3、控制待测样品进行扫描移动,并由面阵探测器采集待测样品在不同扫描位置的衍射光斑;具体为:
控制待测样品在垂直于光轴方向的平面内做逐行逐列式的扫描移动,共扫描移动m行n列,包括T个扫描位置,T=m*n,相邻两个扫描位置的透光部分相互重叠;
待测样品每扫描移动至一个扫描位置,控制面阵探测器采集待测样品在该扫描位置衍射光斑的光强分布数据;将面阵探测器所采集的待测样品在第i个扫描位置衍射光斑的光强分布数据记为Ii(u,ν),其中,i=1,2,…,T,u,v为待检测反射式拼接主镜型望远镜***在面阵探测器面上的坐标;
所有扫描位置扫描完成后,面阵探测器采集得到一组衍射光斑的光强分布数据I1(u,v),I2(u,v),…,IT(u,v);
步骤4、利用叠层衍射成像技术同时计算出待测样品的复振幅透过率及其表面的照明光场分布;
步骤5、进行光场逆传输计算得出拼接主镜光瞳面的相位分布,获取各拼接子镜之间的共相误差信息;具体为:
步骤5.1、利用菲涅尔衍射传输将步骤4得到的待测样品表面的照明光分布逆传输至拼接主镜面,得到该平面的光场复振幅分布;
步骤5.2、通过提取拼接主镜面光瞳函数的相位,获取各拼接子镜之间的piston误差和倾斜误差,最终实现拼接主镜共相误差检测;基于拼接主镜面光瞳函数,采用zernike多项式的更高阶项拟合生成各个拼接子镜本身的波像差的步骤。
2.根据权利要求1所述的拼接主镜共相误差检测方法,其特征在于,步骤4具体为:
步骤4.1、对待测样品的复振幅TestObji(x,y)进行初始猜测:TestObji(x,y)=rand(x,y)*exp(1i*rand(x,y)*2*π),i=1,2,…,T,其中x,y为待检测反射式拼接主镜型望远镜***在待测样品表面上的坐标;
步骤4.2、对待测样品表面的照明光分布probei(x,y)进行初始猜测:probei(x,y)=Ei(x,y)*exp(1i*rand(x,y),i=1,2,…,T,其中Ei(x,y)为振幅猜测;
步骤4.3、将待测样品的复振幅和表面的照明光分布做乘法,得到待测样品表面出射光场的复振幅分布:In1i(x,y)=probei(x,y)*TestObji(x,y),i=1,2,…,T;
步骤4.4、利用菲涅尔衍射变换将步骤4.3获得的待测样品表面出射光场的复振幅分布In1i(x,y)传输至面阵探测器面,得到面阵探测器面的衍射光场分布:Out1i(u,b)=Fr{In1i(x,y)},i=1,2,…,T,其中Fr{·}代表菲涅尔衍射变换;
步骤4.5、更新衍射光场分布:
利用面阵探测器采集到的待测样品在第i个扫描位置衍射光斑的光强分布数据Ii(u,ν)替换经过菲涅尔衍射变换后衍射光场分布的振幅部分,并保持相位部分不变:
步骤4.6、将步骤4.5更新后的衍射光场分布逆传输至待测样品表面,得到新的待测样品表面出射光场的复振幅分布:In2i(x,y)=Fr-1{Out2i(u,ν)},i=1,2,…,T,其中Fr-1{·}代表菲涅尔衍射逆变换;
步骤4.7、由新的待测样品表面出射光场的复振幅分布In2i(x,y)分别更新待测样品的复振幅和待测样品表面的照明光分布;
其中,TestObji *(x,y)和probei+1 *(x,y)分别表示对应函数的共轭,α和β表示更新系数,取范围[0,1]内的常数;TestObji+1(x,y)是为更新后的待测样品的复振幅,probei+1(x,y)为更新后的待测样品表面的照明光分布;
步骤4.8、在以上迭代过程中,将更新后的衍射光场分布与猜测的衍射光场分布之间的误差Eerror=∑u,v(|Out2i(u,v)|-|Out1i(u,v)|)2作为判定标准,若小于阈值,则执行步骤5,否则返回步骤4.3。
3.根据权利要求1-2任一所述的拼接主镜共相误差检测方法,其特征在于:步骤3中相邻两个扫描位置透光部分的重叠率在60%~90%。
4.根据权利要求3所述的拼接主镜共相误差检测方法,其特征在于:步骤1中将待测样品固定在二维电动平移台上,步骤3中通过控制二维电动平移台,实现待测样品的扫描移动。
5.根据权利要求4所述的拼接主镜共相误差检测方法,其特征在于:步骤4.2中,将面阵探测器移至待测样品所在的平面,采集衍射图样作为振幅猜测。
6.一种拼接主镜共相误差检测***,其特征在于:包括待测样品、面阵探测器及计算机;
待测样品位于待检测反射式拼接主镜型望远镜***的焦点之后l1的位置处;
面阵探测器位于待测样品之后距离待检测反射式拼接主镜型望远镜***焦点l2的位置处;
计算机包括处理器及储存器,存储器内存储计算机程序,被执行时,实现权利要求1-5任一所述的拼接主镜共相误差检测方法中步骤3-步骤5的过程。
7.一种储存介质,其特征在于:存储计算机程序,被处理器执行时,实现权利要求1-5任一所述的拼接主镜共相误差检测方法中步骤3-步骤5的过程。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202210061624.9A CN114076670B (zh) | 2022-01-19 | 2022-01-19 | 一种拼接主镜共相误差检测方法、***及储存介质 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202210061624.9A CN114076670B (zh) | 2022-01-19 | 2022-01-19 | 一种拼接主镜共相误差检测方法、***及储存介质 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN114076670A CN114076670A (zh) | 2022-02-22 |
CN114076670B true CN114076670B (zh) | 2022-07-08 |
Family
ID=80284682
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202210061624.9A Active CN114076670B (zh) | 2022-01-19 | 2022-01-19 | 一种拼接主镜共相误差检测方法、***及储存介质 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN114076670B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114739640B (zh) * | 2022-04-12 | 2022-12-30 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种望远镜主次镜实时对准检测*** |
CN115128042B (zh) * | 2022-06-30 | 2024-04-19 | 华中科技大学 | 一种离焦扫描的轴向叠层衍射成像方法和*** |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1025740A (en) * | 1964-12-18 | 1966-04-14 | William Burdette Mclean | Proportional navigation system for a spinning body in free space |
US5249080A (en) * | 1992-07-01 | 1993-09-28 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Square telescope and apodized coronagraph for imaging nonsolar planets and the like |
US6909512B1 (en) * | 2003-05-30 | 2005-06-21 | Lockheed Martin Corporation | Method and apparatus for estimating piston using a grism |
JP2010145184A (ja) * | 2008-12-17 | 2010-07-01 | Canon Inc | 測定方法及び測定装置 |
CN105589210A (zh) * | 2016-03-10 | 2016-05-18 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于光瞳调制的数字化合成孔径成像方法 |
CN105699057A (zh) * | 2016-03-01 | 2016-06-22 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 利用空间光调制器作检测标记的波像差检测***及检测方法 |
CN107450176A (zh) * | 2017-09-21 | 2017-12-08 | 中国科学院上海天文台 | 一种空间稀疏孔径望远镜共相控制装置及控制方法 |
CN107894326A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-04-10 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于多波长相位调制的拼接主镜共相误差探测方法 |
CN111551351A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-08-18 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种相邻拼接镜间piston误差检测*** |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103499429B (zh) * | 2013-08-28 | 2016-09-21 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 透射型大口径元件相位测量方法 |
CN103837325B (zh) * | 2014-02-25 | 2016-06-08 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 透射型光学元件分层相位成像的装置和方法 |
CN104634542B (zh) * | 2015-02-03 | 2017-06-13 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 大口径光学元件二次曝光相位测量装置及测量方法 |
CN110687078B (zh) * | 2019-09-02 | 2022-05-31 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 相位恢复成像装置和成像方法 |
CN110793754A (zh) * | 2019-11-01 | 2020-02-14 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于相移调制的拼接式望远镜***偏心误差探测方法 |
-
2022
- 2022-01-19 CN CN202210061624.9A patent/CN114076670B/zh active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB1025740A (en) * | 1964-12-18 | 1966-04-14 | William Burdette Mclean | Proportional navigation system for a spinning body in free space |
US5249080A (en) * | 1992-07-01 | 1993-09-28 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Square telescope and apodized coronagraph for imaging nonsolar planets and the like |
US6909512B1 (en) * | 2003-05-30 | 2005-06-21 | Lockheed Martin Corporation | Method and apparatus for estimating piston using a grism |
JP2010145184A (ja) * | 2008-12-17 | 2010-07-01 | Canon Inc | 測定方法及び測定装置 |
CN105699057A (zh) * | 2016-03-01 | 2016-06-22 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 利用空间光调制器作检测标记的波像差检测***及检测方法 |
CN105589210A (zh) * | 2016-03-10 | 2016-05-18 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于光瞳调制的数字化合成孔径成像方法 |
CN107450176A (zh) * | 2017-09-21 | 2017-12-08 | 中国科学院上海天文台 | 一种空间稀疏孔径望远镜共相控制装置及控制方法 |
CN107894326A (zh) * | 2017-10-31 | 2018-04-10 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种基于多波长相位调制的拼接主镜共相误差探测方法 |
CN111551351A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-08-18 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 一种相邻拼接镜间piston误差检测*** |
Non-Patent Citations (7)
Title |
---|
Multi-probe ptychographic iterative engine method;Aihui Sun 等;《Optics Communications》;20190430(第436期);第174-179页 * |
Optical design of the visible telescope for the SVOM mission;Fan Xuewu等;《APPLIED OPTICS》;20220429;第59卷(第10期);第3049-3057页 * |
Quantitative aberration measurement with extended ptychographic iterative engine;Bangming Zong等;《Optical Engineering》;20190323(第58期);第054102-1—054102-9页 * |
对地观测合成孔径***的拼接镜检测技术研究;郑彬;《中国优秀博硕士学位论文全文数据库(博士)基础科学辑》;20200315(第03(2020)期);第A007-2页 * |
拼接式反射镜检测技术研究;张凯胜;《中国优秀博硕士学位论文全文数据库(硕士)工程科技Ⅱ辑》;20130615(第6(2013)期);第C030-16页 * |
拼接式望远镜光学共相探测技术研究;张龙;《中国优秀博硕士学位论文全文数据库(硕士)基础科学辑》;20200815(第8(2020)期);第A007-1页 * |
拼接镜新型粗共相检测方法;李斌;《光学精密工程》;20181130;第28卷(第11期);第2647-2653页 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN114076670A (zh) | 2022-02-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN114076670B (zh) | 一种拼接主镜共相误差检测方法、***及储存介质 | |
AU2009323838B2 (en) | Provision of image data | |
AU2005238692B2 (en) | High resolution imaging | |
CN110160751B (zh) | 一种基于相位恢复的宽频段波前误差检测装置及检测方法 | |
AU2011273132B2 (en) | Calibration of a probe in ptychography | |
CN104885187B (zh) | 傅立叶重叠关联成像***、设备和方法 | |
US4309602A (en) | Wavefront sensing by phase retrieval | |
US9448160B2 (en) | Method and apparatus for providing image data for constructing an image of a region of a target object | |
CN106052585B (zh) | 一种面形检测装置与检测方法 | |
AU2010238375B2 (en) | Improvements in imaging | |
CN103499429B (zh) | 透射型大口径元件相位测量方法 | |
CN111694016B (zh) | 一种非干涉合成孔径超分辨成像重构方法 | |
CN110895792B (zh) | 一种图像拼接方法及装置 | |
JP2022520258A (ja) | 波面の定量的測定のための顕微鏡、顕微鏡のためのモジュールおよびキット、波面の計算再構築のための方法およびコンピュータプログラム | |
CN114283093A (zh) | 一种基于波前控制的畸变图像校正方法 | |
CN110702383A (zh) | 一种基于扩展旋转对称结构光照明的波前重建装置及方法 | |
US20150108352A1 (en) | Providing image data | |
CN114241072A (zh) | 一种叠层成像重建方法及*** | |
CN110160663B (zh) | 一种高分辨率的近场波前测量装置和测量方法 | |
CN111829671B (zh) | 一种高分辨波前检测装置及波前复原方法 | |
CN112097923B (zh) | 一种简易的光学件波前测量方法 | |
US20200363315A1 (en) | Method for Calibrating an Analysis Device, and Associated Device | |
Liu et al. | Non-interferometric Quantitative Optical Phase Imaging | |
CN116187395A (zh) | 一种基于卷积神经网络的分块镜平移和倾斜误差检测方法 | |
CN117308813A (zh) | 一种基于光场衍射迭代的球面元件面形重构***及方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |