CN114054104A - 生物芯片结构及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

一种生物芯片结构的制备方法，包括：提供一基板并在所述基板的一表面间隔设置多个生物芯片；在所述基板设置有所述多个生物芯片的表面形成具有多个开口的载体，所述载体的每一个开口与所述基板配合形成使一个生物芯片露出的微流道；以及在所述基板中开设多个通孔并在每一个通孔内填充导电物质连接一个所述生物芯片。本发明还提供一种生物芯片结构。所述生物芯片结构的厚度较薄，体积小巧，不需要在基板上另外设置导线实现生物芯片与外部其他元件的电性连接。

Description

生物芯片结构及其制备方法
技术领域
本发明涉及一种生物芯片结构及该生物芯片结构的制备方法。
背景技术
生物芯片的定义是运用分子生物学、生物化学等原理，以玻璃或高分子为基材，结合微机电技术，设计并制作具有微小化、快速、平行处理能力的生物及医疗用检测组件，因此可在微小面积上进行大量生化检测。而生物芯片上之微流道结构系可用以进行混合、传输或分离检体等程序，因此藉由微流道生物芯片之使用，可降低人为操作实验误差、降低耗能及检体用量，并可节省人力及时间。然而，现有的生物芯片结构的制备和加工工艺繁杂。
发明内容
本发明一方面提供一种生物芯片结构的制备方法，其包括：
提供一基板并在所述基板的一表面间隔设置多个生物芯片；
在所述基板设置有所述多个生物芯片的表面形成具有多个开口的载体，所述载体的每一个开口与所述基板配合形成使一个生物芯片露出的微流道；以及
在所述基板中开设多个通孔并在每一个通孔内填充导电物质连接一个所述生物芯片。
本发明另一方面提供一种生物芯片结构，其包括：
基板；
设置在所述基板一表面的生物芯片；以及
载体，设置在所述基板设置有所述多个生物芯片的表面，所述载体开设有贯穿所述载体的开口，所述开口与所述基板配合形成微流道以使所述生物芯片至少部分露出；
其中，所述基板开设有通孔，所述通孔内设置有导电物质连接所述生物芯片。
本发明实施例的生物芯片结构的制备方法，其工艺简单，可实现同时实现多个生物芯片结构的制备，该方法不需要在硅基板表面上设置导线连接生物芯片，而是通过贯穿硅基板的通孔实现与生物芯片的电性连接，简化了生物芯片结构的结构；此外，通过设置另外的载体配合硅基板形成微流道，避免通过塑料射出成型的微流道常见的漏液问题。
附图说明
图1是本发明较佳实施例的生物芯片结构的制备方法的流程图。
图2是本发明较佳实施例的生物芯片结构的制备方法之步骤S1的剖面示意图。
图3是本发明较佳实施例的生物芯片结构的制备方法之步骤S2的剖面示意图。
图4是本发明较佳实施例的生物芯片结构的制备方法之步骤S3的剖面示意图。
图5是本发明较佳实施例的生物芯片结构的制备方法之步骤S4的剖面示意图。
图6是本发明较佳实施例的生物芯片结构的制备方法之步骤S5的剖面示意图。
图7是本发明较佳实施例的生物芯片结构的制备方法之步骤S6的剖面示意图。
图8是本发明较佳实施例的生物芯片结构的剖面示意图。
主要元件符号说明
生物芯片结构 100
基板 10
生物芯片 20
感测区 21
接触垫 211
载体 30
开口 31
微流道 50
胶粘剂 40
通孔 11
导电物质 60
连接垫 70
具体实施方式将结合上述附图进一步说明本发明。
具体实施方式
附图中示出了本发明的实施例，本发明可以通过多种不同形式实现，而并不应解释为仅局限于这里所阐述的实施例。相反，提供这些实施例是为了使本发明更为全面和完整的公开，并使本领域的技术人员更充分地了解本发明的范围。为了清晰可见，在图中，层和区域的尺寸被放大了。
除非另外定义，这里所使用的所有术语(包括技术和科学术语)具有与本发明所述领域的普通技术人员所通常理解的含义相同的含义。还应当理解，比如在通用的辞典中所定义的那些的术语，应解释为具有与它们在相关领域的环境中的含义相一致的含义，而不应以过度理想化或过度正式的含义来解释，除非在本文中明确地定义。
请参阅图1，本发明较佳实施方式生物芯片结构的制备方法包括如下步骤。
步骤S1：提供一基板并在所述基板的一表面间隔设置多个生物芯片。
步骤S2：在基板设置有生物芯片的表面形成具有多个开口的载体。
步骤S3：将所述基板的厚度减薄。
步骤S4：对所述基板开设多个通孔并在每一个通孔内填充导电物质。
步骤S5：在所述基板上设置多个连接垫连接通孔内的导电物质。
步骤S6：对所述基板进行切割形成多个生物芯片结构。
步骤S1请参图2所示。本实施例中，所述基板10为本领域常规使用的硅基板。所述多个生物芯片20相互间隔设置在所述基板10的同一表面。每一个生物芯片20为本领域常规使用的运用分子生物学、基因资讯、分析化学等原理进行设计，配合微机电自动化、或其他精密加工技术，具有快速、精确、低成本之生物分析检验能力。每一个生物芯片20具有一感测区21，所述感测区21位于所述生物芯片20远离所述基板10的一侧；所述生物芯片20靠近所述基板10的一侧设置有导电的接触垫211，所述导电的接触垫211用于将生物芯片20与外部的元件电性连接。
步骤S2请参图3所示。在所述基板10设置有生物芯片20的表面形成载体30。所述载体30上开设有贯穿载体30的多个开口31，所述多个开口31相互间隔设置。当所述载体30放置在所述基板10上，每一个开口31至少部分对准一个生物芯片20，以使生物芯片20的感测区21通过开口31得以露出，同时每一个开口31与所述基板10配合形成一个微流道50。所述微流道50用以容纳生物检体。
所述载体30的材质可为玻璃、硅基板等材质。所述载体30与所述基板10可通过胶粘剂40实现二者的固定连接，即所述载体30与所述基板10之间还设置有胶粘剂40。
该步骤S2具体包括：
提供一平板状的载体30；
在载体30上开设贯穿其的且相互间隔的多个开口31；
在载体30开设有开口31的一表面涂敷胶粘剂40；
依靠胶粘剂40将所述载体30粘结在所述基板10设置有生物芯片20的表面，每一个开口31至少部分对准一个生物芯片20以使生物芯片20的感测区21通过开口31得以露出；以及
固化所述胶粘剂40。
步骤S3请参图4所示，从所述基板10远离所述生物芯片20的一侧将其厚度减薄。减薄的方式可采用机械研磨的方式。
可以理解的，当步骤S1中的基板10的厚度达到要求时，所述步骤S3也可省略去除。因为通常的基板10的厚度为几百个微米，通常会将基板10的厚度减小到100微米以内，以利于后续步骤S4的进行。
步骤S4请参图5所示，在所述基板10中开设间隔设置的多个通孔11并在每一个通孔11内填充导电物质60。由于步骤S3中已对所述基板10进行减薄处理，因此步骤S4中形成通孔11和在通孔11内填充导电物质60会相对更容易完成。
如图5所示，每一个通孔11贯穿所述基板10并对准一个生物芯片20的接触垫211。所述通孔11的导电物质60将与生物芯片20的接触垫211连接。所述通孔11内的导电物质60可为各种导电金属、导电合金等。所述导电物质60不仅填充通孔11还可延伸到所述基板10远离所述生物芯片20的一侧。
步骤S5请参图6示，在所述基板10上设置多个连接垫70连接通孔11内的导电物质60。所述连接垫70设置在所述基板10远离所述生物芯片20的一侧。本实施例中，每一个连接垫70可为焊锡，可通过点焊锡的方式形成。其他实施例中，连接垫70也可为其他的导电物质。所述连接垫70用于实现生物芯片20与其他元件(图未示)的电性连接。
步骤S6请参图7示，沿所述基板10的厚度方向，对所述基板10和所述载体30进行切割形成相互独立的多个生物芯片结构100，每一个生物芯片结构100包括有一个生物芯片20、一个微流道50、一个通孔11以及一个连接垫70，如图8所示。
本发明实施例的生物芯片结构的制备方法，其工艺简单，可实现同时实现多个生物芯片结构的制备，该方法不需要在基板10表面上设置导线连接生物芯片20，而是通过贯穿基板10的通孔11实现与生物芯片20的电性连接，简化了生物芯片结构的结构；此外，通过设置另外的载体30配合基板10形成微流道50，避免通过塑料射出成型的微流道常见的漏液问题。
请参阅图8所示的生物芯片结构100，其包括基板10、设置在基板10一表面的生物芯片20和载体30。所述基板10可为硅基板。所述载体30的材质不限，例如可为玻璃、硅基板。
所述载体30开设有贯穿载体30的开口31，所述载体30的开口31与所述基板10配合形成微流道50以供容纳生物检体(图未示)。所述生物芯片20远离基板10的一侧形成为感测区21，所述感测区21通过所述微流道50得以露出，以检测时能够直接接触到生物检体。所述生物芯片20靠近基板10的一侧形成有导电的接触垫211，所述基板10开设有通孔11对准所述接触垫211，所述通孔11内设置有导电物质60连接所述接触垫211。所述基板10远离所述生物芯片20的一侧还设置有导电的连接垫70，连接垫70连接通孔中的导电物质60。所述生物芯片20依次通过接触垫211、通孔11内的导电物质60和连接垫70，从而能够实现与外部的其他元件(图未示)的电性连接。
本发明实施例的生物芯片结构100厚度较薄，体积小巧，不需要在基板10上另外设置导线实现生物芯片20与外部其他元件的电性连接。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非限制，图示中出现的上、下、左及右方向仅为了方便理解，尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本发明的技术方案进行修改或等同替换，而不脱离本发明技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种生物芯片结构的制备方法，其特征在于：其包括：
提供一基板并在所述基板的一表面间隔设置多个生物芯片；
在所述基板设置有所述多个生物芯片的表面形成具有多个开口的载体，所述载体的每一个开口与所述基板配合形成使一个生物芯片露出的微流道；以及
在所述基板中开设多个通孔并在每一个通孔内填充导电物质连接一个所述生物芯片。
2.如权利要求1所述的生物芯片结构的制备方法，其特征在于，所述方法还包括在所述基板远离所述多个生物芯片的表面上设置多个连接垫，每一个连接垫连接一个所述通孔内的导电物质。
3.如权利要求1所述的生物芯片结构的制备方法，其特征在于，所述方法还包括在所述基板中开设多个通孔之前，将所述基板的厚度减薄。
4.如权利要求3所述的生物芯片结构的制备方法，其特征在于，所述基板的厚度减薄之100微米以下。
5.如权利要求1所述的生物芯片结构的制备方法，其特征在于，所述方法还包括对所述基板进行切割形成多个生物芯片结构的步骤，每一个生物芯片结构的包括一个所述生物芯片、一个所述微流道、一个所述通孔。
6.一种生物芯片结构，其特征在于：其包括：
基板；
设置在所述基板一表面的生物芯片；以及
载体，设置在所述基板设置有所述多个生物芯片的表面，所述载体开设有贯穿所述载体的开口，所述开口与所述基板配合形成微流道以使所述生物芯片至少部分露出；
其中，所述基板开设有通孔，所述通孔内设置有导电物质连接所述生物芯片。
7.如权利要求6所述的生物芯片结构，其特征在于，所述生物芯片远离所述基板的一侧形成为感测区，所述感测区通过所述微流道得以露出。
8.如权利要求6所述的生物芯片结构，其特征在于，所述生物芯片靠近所述基板的一侧形成有导电的接触垫，所述通孔对准所述接触垫，所述通孔内的导电物质连接所述接触垫。
9.如权利要求6所述的生物芯片结构，其特征在于，所述基板远离所述生物芯片的一侧还设置有导电的连接垫，所述连接垫连接所述通孔中的导电物质。
10.如权利要求6所述的生物芯片结构，其特征在于，所述载体的材质为玻璃或硅基板。
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103589631A (zh) * 2013-11-19 2014-02-19 苏州晶方半导体科技股份有限公司 生物芯片封装结构及其封装方法
US20140357511A1 (en) * 2013-05-31 2014-12-04 Denovo Sciences System and method for isolating and analyzing cells
CN107502534A (zh) * 2017-08-08 2017-12-22 珠海创飞芯科技有限公司 生物芯片的封装结构和封装方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140357511A1 (en) * 2013-05-31 2014-12-04 Denovo Sciences System and method for isolating and analyzing cells
CN103589631A (zh) * 2013-11-19 2014-02-19 苏州晶方半导体科技股份有限公司 生物芯片封装结构及其封装方法
CN107502534A (zh) * 2017-08-08 2017-12-22 珠海创飞芯科技有限公司 生物芯片的封装结构和封装方法

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