CN113912019A

CN113912019A - 一种电子级过氧化氢水溶液的生产方法

Info

Publication number: CN113912019A
Application number: CN202111430784.8A
Authority: CN
Inventors: 赵涸浜; 李卫红; 易颖鹏; 邓青山; 杨云强; 曾翔
Original assignee: Hunan Shuangyang Hi Tech Chemical Co ltd
Current assignee: Hunan Shuangyang Hi Tech Chemical Co ltd
Priority date: 2021-11-29
Filing date: 2021-11-29
Publication date: 2022-01-11

Abstract

一种电子级过氧化氢水溶液的生产方法，将一部分过氧化氢水溶液从蒸发器（1）的顶部进入，经蒸发器（1）加热后进入蒸发器（1）的浓缩液储存区（12），在浓缩液储存区（12）产生的气体进入精馏塔（2）中，余下部分过氧化氢水溶液从精馏塔（2）的第二进料口进入精馏塔（2），经蒸发器（1）和精馏塔（2）浓缩后合并的过氧化氢水溶液一部分泵入换热器（13），冷却至常温后进入第一级反渗透机构（16），经第一级反渗透机构（16）反渗透后获得的反渗透液进入第二级反渗透机构（21），经第二级反渗透机构（21）反渗透后获得的反渗透液经离子交换装置（28）进行离子交换后制得电子级过氧化氢水溶液。

Description

一种电子级过氧化氢水溶液的生产方法

技术领域

本发明涉及过氧化氢生产技术领域，尤其是涉及一种电子级过氧化氢水溶液的生产方法。

背景技术

过氧化氢水溶液又被成为双氧水，是一种生产过氧乙酸、过氧化硫脲等过氧化物的重要原料，并广泛用于医药、纺织印染，造纸漂白等行业。随着电子工业的发展，电子级过氧化氢作为重要的清洗剂和蚀刻剂，其需求量逐渐增大。

电子级过氧化氢直接影响到集成电路性能及其生产的连续性和稳定性。电子级过氧化氢水溶液一般是以工业级过氧化氢水溶液作原料，经一系列精制、净化得到的。常用方法有蒸馏法、吸附法、萃取法、反渗透膜发法、冷冻结晶法、树脂法、超滤法。采用单一单元操作对工业过氧化氢水溶液进行纯化，虽然能够提高过氧化氢水溶液的品质，但单一的方法生产能耗大、成本高且效率低，无法满足电子市场对过氧化氢产品品质的要求。

CN 112062096 A公开了一种电子级过氧化氢水溶液的生产装置及生产方法。电子级过氧化氢水溶液的生产装置包括依次采用管路连接的精馏装置、第一输送泵、反渗透装置、第二输送泵、离子交换装置、第三输送泵、超纯过滤装置、第四输送泵和灌装装置。将工业级过氧化氢通过精馏、反渗透、离子交换，最后通过超滤膜过滤得到电子级过氧化氢水溶液。

目前电子级过氧化氢水溶液的生产，普遍存在高能耗、高成本、生产不灵活等问题。因此，如何提供一种低能耗，灵活适应市场需求，便于生产过程调节的电子级过氧化氢水溶液的生产方法是本领域技术人员亟待解决的问题。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明所要解决的技术问题是如何提供一种能有效降低能耗和冷却水消耗量，灵活适应市场需求，便于生产调节的电子级过氧化氢水溶液的生产方法。

为了解决上述技术问题，本发明提供一种电子级过氧化氢水溶液的生产方法，将工业级过氧化氢经过氧化氢浓缩装置浓缩，换热器冷却，一级反渗透装置、二级反渗透装置反渗透，离子交换装置离子交换后制得；所述过氧化氢浓缩装置包括蒸发器，精馏塔，与所述精馏塔的气相出口连通的冷凝器，与所述冷凝器连接的真空泵，所述蒸发器的浓缩液储存区与所述精馏塔的第一进料口连通，稀过氧化氢进料管与所述蒸发器的进料口和所述精馏塔的第二进料口连通，所述蒸发器的蒸汽进汽管上设有蒸汽喷射器，所述蒸汽喷射器的吸气腔通过管道与所述精馏塔的塔顶连通；所述换热器的第一介质入口与所述蒸发器和精馏塔的浓缩液出口管道连接；所述一级反渗透装置包括若干进口与所述换热器的第一介质出口管道连通的进料控制阀，若干进料口分别通过管道与所述进料控制阀的出口连通的第一级反渗透机构，若干分别与所述第一级反渗透机构的反渗透剩余液出口连通的第一出料控制阀，与所述第一出料控制阀连通的第一反渗透剩余液回收管，第一端通过管道与第一级反渗透机构的进料口连通的第一防爆机构，与所述第一防爆机构的另一端连接的第一排空管；所述二级反渗透装置包括至少一进料口通过管道与所述第一级反渗透机构的渗透液出口连通的第二级反渗透机构，通过管道与所述第二级反渗透机构的反渗透剩余液出口连接的第二出料控制阀，与所述第二出料控制阀连接的第二反渗透剩余液回收管，第一端通过管道与第二级反渗透机构的反渗透剩余液出口连通的第二防爆机构，与所述第二防爆机构的另一端连接的第二排空管，与所述第二级反渗透机构的渗透液出口连通的反渗透液收集管；所述第一介质出口管道与第一反渗透剩余液回收管连通，其连通管道上设有压力控制阀；所述第一反渗透剩余液回收管与所述蒸发器或/和精馏塔的浓缩液收集管道连接；所述离子交换装置的进料口与反渗透液收集管连接；

生产过程包括：将一部分27.5wt%～33wt%的过氧化氢水溶液从蒸发器的顶部进入，经蒸发器加热后进入蒸发器的浓缩液储存区，在浓缩液储存区产生的气体进入精馏塔中，余下部分27.5wt%～33wt%的过氧化氢水溶液从精馏塔的第二进料口进入精馏塔，经蒸发器和精馏塔浓缩后合并的过氧化氢水溶液浓度不低于50wt%，将一部分经蒸发器和精馏塔浓缩得到的过氧化氢水溶液泵入换热器，冷却至常温后进入第一级反渗透机构，经第一级反渗透机构反渗透后获得总有机碳(TOC)浓度低于10 ppm、PO^3- 离子浓度低于10 ppm的反渗透液进入第二级反渗透机构，经第二级反渗透机构反渗透后获得总有机碳(TOC)浓度低于5 ppm、PO^3- 离子浓度低于5 ppm的反渗透液经离子交换装置进行离子交换后制得电子级过氧化氢水溶液；经第一级反渗透机构反渗透后的剩余液与经蒸发器和精馏塔浓缩后余下的那部分过氧化氢水溶液混合后收集贮存；通过控制压力控制阀控制第一级反渗透机构的反渗透压力为恒压。

作为进一步改进技术方案，本发明提供的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，所述精馏塔为填料塔，所述塔顶设有第一液体分布器，还具有与所述第一液体分布器连通的纯水管。

作为进一步改进技术方案，本发明提供的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，所述精馏塔的下部具有提馏段，所述提馏段的上方设有第二液体分布器，稀过氧化氢进料管与所述第二液体分布器连通。

作为进一步改进技术方案，本发明提供的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，所述第一级反渗透机构的数量多于第二级反渗透机构的数量。

作为进一步改进技术方案，本发明提供的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，所述第二反渗透剩余液回收管还通过旁路管道与所述第一反渗透剩余液回收管连通，所述旁路管道和第二反渗透剩余液回收管上均设有控制阀。

作为进一步改进技术方案，本发明提供的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，还具有与第一级反渗透机构的渗透液出口连接管道连通的取样管，设置在所述取样管上的取样控制阀。

作为进一步改进技术方案，本发明提供的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，所述离子交换装置包括圆筒形桶体，与所述圆筒形桶体可拆卸连接的顶盖，与所述顶盖连接的放空管，分别与所述圆筒形桶体的内壁连接的上环形支架和下环形支架，分别位于所述上环形支架和下环形支架上方的多孔板，与所述多孔板连接的滤布，位于所述上环形支架的上方、且与所述圆筒形桶体连接的第一溢流口，位于所述上环形支架和下环形支架之间、且与所述圆筒形桶体连接的第二溢流口和至少一个树脂出口，分别与所述第二溢流口和树脂出口可拆卸连接的盲板，位于所述第二溢流口以上且位于上环形支架以下、与所述圆筒形桶体连接的进液口，与所述圆筒形桶体的底部连接的出液口；所述树脂出口位于第二溢流口以下。

作为进一步改进技术方案，本发明提供的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，还包括与所述顶盖连接的泄压口和备用口。

作为进一步改进技术方案，本发明提供的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，所述上环形支架沿直径方向设有对称的两开口。

在不冲突的情况下，前述改进技术方案可以单独或组合实施。

本发明提供的技术方案，向精馏塔中加入低浓度的过氧化氢水溶液，通过闪蒸和利用蒸发器产生的二次蒸汽热量，来蒸发过氧化氢水溶液的水分，通过蒸汽喷射器吸入精馏塔产生的二次蒸汽掺入到进入蒸发器的加热蒸汽中，达到节能的目的。因减少了二次蒸汽的冷凝量，从而可降低冷凝器的冷却水用量。应用膜分离技术和离子交换技术，采用二级反渗透机构能有效地去除工业级过氧化氢水溶液中的带电离子、无机物、胶体微粒等，得到导电率达到电子级过氧化氢要求的过氧化氢水溶液。对第一级反渗透机构的进料和出料采用大流量方式，使工业级过氧化氢水溶液能对第一级反渗透机构的反渗透膜表面进行冲洗，从而将附着在反渗透膜表面的带电离子、分子量较大的无机物、胶体微粒带走，提高过滤效率，降低维护工作量。能通过压力控制保障第一级反渗透机构的反渗透压力，在稳定的反渗透压力下生产，能提高了生产效率，防止第一级反渗透机构超压运行，通过压力控制，也方便调节***的产量。

附图说明

附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，但并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1是实施例电子级过氧化氢水溶液的生产流程示意图；

图2是实施例中的离子交换装置的结构原理示意图；

图3是图2的A—A向的结构原理示意图；

图4是图2的B—B向的结构原理示意图；

图5是实施例中离子交换装置的上环形支架、多孔板和滤布组合后的结构原理示意图；

图6是实施例中离子交换装置的上环形支架的结构原理示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步详细的说明。

生产电子级过氧化氢水溶液时，将工业级过氧化氢水溶液经过氧化氢浓缩装置浓缩，换热器13冷却，一级反渗透装置、二级反渗透装置反渗透，离子交换装置28离子交换后制得。如图1所示过氧化氢浓缩装置包括蒸发器1，精馏塔2，与精馏塔2的气相出口连通的冷凝器3，与冷凝器3连接的真空泵4，蒸发器1的浓缩液储存区12与精馏塔2的第一进料口连通，稀过氧化氢进料管5与蒸发器1的进料口和精馏塔2的第二进料口连通，蒸发器1的蒸汽进汽管6上设有蒸汽喷射器7，蒸汽喷射器7的吸气腔通过管道与精馏塔2的塔顶连通。换热器13的第一介质入口与蒸发器1和精馏塔2的浓缩液出口管道连接。一级反渗透装置包括若干进口与换热器13的第一介质出口管道14连通的进料控制阀15，若干进料口分别通过管道与进料控制阀15的出口连通的第一级反渗透机构16，若干分别与第一级反渗透机构16的反渗透剩余液出口连通的第一出料控制阀17，与第一出料控制阀17连通的第一反渗透剩余液回收管18，第一端通过管道与第一级反渗透机构16的进料口连通的第一防爆机构19，与第一防爆机构19的另一端连接的第一排空管20；二级反渗透装置包括至少一进料口通过管道与第一级反渗透机构16的渗透液出口连通的第二级反渗透机构21，通过管道与第二级反渗透机构21的反渗透剩余液出口连接的第二出料控制阀22，与第二出料控制阀22连接的第二反渗透剩余液回收管23，第一端通过管道与第二级反渗透机构21的反渗透剩余液出口连通的第二防爆机构24，与第二防爆机构24的另一端连接的第二排空管25，与第二级反渗透机构21的渗透液出口连通的反渗透液收集管26；换热器13的第一介质出口管道14与第一反渗透剩余液回收管18连通，其连通管道上设有压力控制阀27；第一反渗透剩余液回收管18与蒸发器1或/和精馏塔2的浓缩液收集管道连接；离子交换装置28的进料口与反渗透液收集管26连接。

工作原理：生产时将一部分27.5wt%～33wt%的过氧化氢水溶液从蒸发器1的顶部进入，经蒸发器1加热后进入蒸发器1的浓缩液储存区12，在浓缩液储存区12产生的气体进入精馏塔2中，余下部分27.5wt%～33wt%的过氧化氢水溶液从精馏塔2的第二进料口进入精馏塔2，浓缩液储存区12浓缩后的过氧化氢水溶液从蒸发器1的底部取出。向精馏塔2中加入低浓度的过氧化氢水溶液，通过闪蒸和利用蒸发器产生的二次蒸汽热量，来蒸发过氧化氢水溶液的水分，通过蒸汽喷射器7吸入精馏塔2产生的二次蒸汽掺入到进入蒸发器1的加热蒸汽中，达到节能的目的。因减少了二次蒸汽的冷凝量，从而可降低冷凝器3的冷却水用量。在精馏塔2内的气相物料通过填料层时将雾状液滴去除，液相流回精馏塔2的塔底，气相进入冷凝器3，经冷凝器3冷凝，气相的一部分还能经蒸汽喷射器7吸入掺入到蒸汽中，用于蒸发器1的加热热源。经蒸发器1和精馏塔2浓缩后合并的过氧化氢水溶液浓度不低于50wt%，将一部分经蒸发器1和精馏塔2浓缩得到的过氧化氢水溶液泵入换热器13，冷却至常温后进入第一级反渗透机构16，经第一级反渗透机构16反渗透后获得总有机碳(TOC)浓度低于10ppm、PO^3- 离子浓度低于10 ppm的反渗透液进入第二级反渗透机构21，经第二级反渗透机构21反渗透后获得总有机碳(TOC)浓度低于5 ppm、PO^3- 离子浓度低于5 ppm的反渗透液经离子交换装置28进行离子交换后制得电子级过氧化氢水溶液；经第一级反渗透机构16反渗透后的剩余液与经蒸发器1和精馏塔2浓缩后余下的那部分过氧化氢水溶液混合后收集贮存；通过控制压力控制阀27控制第一级反渗透机构16的反渗透压力为恒压。

第一级反渗透机构16和第二级反渗透机构21中的反渗透膜可采用芳香聚酰胺膜、聚酰胺哌嗪膜、聚砜膜、聚氯乙烯膜等，在压力作用下，水和过氧化氢小分子物质能通过反渗透膜，而带电离子、分子量较大的无机物、胶体微粒不能通过反渗透膜，因而从反渗透机构的渗透液出口的过氧化氢水溶液能有效地去除带电离子、分子量较大的无机物、胶体微粒，从而提高过氧化氢水溶液的纯度，降低导电率。在生产过程中，通过改变反渗透膜材质和膜的层数和离子交换树脂种类可以得到不同等级的产品，从第一级反渗透机构16和第二级反渗透机构21的渗透液出口也可得到不同等级的产品。

经第一级反渗透机构16反渗透后剩余的浓缩液经第一反渗透剩余液回收管18收集后得到过氧化氢副产物，可掺入工业级过氧化氢产品中销售，经第二级反渗透机构21反渗透后剩余的浓缩液经第二反渗透剩余液回收管23收集后得到过氧化氢副产物，也可掺入工业级过氧化氢产品中销售。当第一级反渗透机构16内压力超过安全压力时第一防爆机构19的防爆片被冲破，过氧化氢水溶液进入第一排空管20，对第一级反渗透机构16进行泄压；当第二级反渗透机构21内压力超过安全压力时第二防爆机构24的防爆片被冲破，过氧化氢水溶液进入第二排空管25，对第二级反渗透机构21进行泄压，从而保护第一级反渗透机构16、第二级反渗透机构21的反渗透膜。换热器13的第一介质出口管道14与第一反渗透剩余液回收管18连通，其连通管道上设有压力控制阀27，生产过程中，对第一级反渗透机构16的进料和出料采用大流量方式，使过氧化氢水溶液对第一级反渗透机构16的反渗透膜表面进行冲洗，从而能将附着在反渗透膜表面的带电离子、分子量较大的无机物、胶体微粒带走，降低反渗透阻力，提高过滤效率，降低维护工作量。通过控制压力控制阀27控制第一级反渗透机构16的反渗透压力为恒压，从而保障第一级反渗透机构16的反渗透工作压力，在稳定的反渗透压力下生产，能提高生产效率，防止第一级反渗透机构16超压运行。在第一级反渗透机构16的可承载压力范围之内，通过压力控制阀27控制第一级反渗透机构16的反渗透压力，可调节生产过程中的产量。

作为实施例之一，在前述基础上，本发明提供的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，过氧化氢浓缩装置的精馏塔2为填料塔，塔顶设有第一液体分布器8，还具有与第一液体分布器8连通的纯水管9。通过向精馏塔2内注入纯水，可以冷却精馏塔2产生的二次蒸汽和调节出精馏塔2过氧化氢的浓度。使用纯水冷却精馏塔2产生的二次蒸汽，可降低冷凝器3的负荷和冷却水用量。

作为实施例之一，在前述基础上，本发明提供的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，精馏塔2的下部具有提馏段10，提馏段10的上方设有第二液体分布器11，稀过氧化氢进料管5与第二液体分布器11连通。

作为实施例之一，在前述基础上，本发明提供的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，第一级反渗透机构16的数量多于第二级反渗透机构21的数量。例如第一级反渗透机构16与第二级反渗透机构21的数量比为2:1。经第一级反渗透机构16得到的渗透液量较进入第一级反渗透机构16的过氧化氢量少，第二级反渗透机构21采用较少的数量，有利于降低投资成本，维持第二级反渗透机构21的工作压力。

作为实施例之一，在前述基础上，本发明提供的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，第二反渗透剩余液回收管23还通过旁路管道与所述第一反渗透剩余液回收管18连通，旁路管道和第二反渗透剩余液回收管23上均设有控制阀。经第二反渗透剩余液回收管23的浓缩液可掺入工业级过氧化氢产品中销售，第二反渗透剩余液回收管23收集的过氧化氢水溶液可根据需要，进行单独销售或掺入工业级过氧化氢产品中销售。

作为实施例之一，在前述基础上，本发明提供的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，还具有与第一级反渗透机构16的渗透液出口连接管道连通的取样管29，设置在所述取样管29上的取样控制阀30。取样管29可以对第一级反渗透机构16的渗透液进行取样检测，更主要的作用是能从取样管29获取相应质量要求的渗透液，满足不同的需求。

作为实施例之一，如图2至图6所示，本发明所涉及的一种离子交换装置包括圆筒形桶体31，与圆筒形桶体31可拆卸连接的顶盖32，与顶盖32连接的放空管33，分别与圆筒形桶体31的内壁连接的上环形支架35和下环形支架39，分别位于上环形支架35和下环形支架39上方的多孔板36，与多孔板36连接的滤布37，位于上环形支架35的上方、且与圆筒形桶体31连接的第一溢流口38，位于上环形支架35和下环形支架39之间、且与圆筒形桶体31连接的第二溢流口40和至少一个树脂出口41，分别与第二溢流口40和树脂出口41可拆卸连接的盲板，位于第二溢流口40以上且位于上环形支架35以下、与圆筒形桶体31连接的进液口42，与圆筒形桶体31的底部连接的出液口43；树脂出口41位于第二溢流口40以下。还包括与顶盖32连接的泄压口34和备用口44。上环形支架35沿直径方向设有对称的两开口45。

离子交换树脂能从第二溢流口40加入，当加入至与第二溢流口40齐平时，加入量已足够，停止加入。更换或清洗时，拆下树脂出口41的盲板，能将离子交换树脂放出。上环形支架35沿直径方向设有对称的两开口45，方便下层多孔板36的取放。得到的反渗透氧化氢水溶液从进液口42进入圆筒形桶体31内，经离子交换树脂进行离子交换后，从出液口43流出，离子交换树脂位于上下滤布37之间，即使受到进液的扰动，离子交换树脂层也不会大幅浮动，从而避免树脂返混和强化交换传质过程。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不以任何方式限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims

1.一种电子级过氧化氢水溶液的生产方法，将工业级过氧化氢经过氧化氢浓缩装置浓缩，换热器（13）冷却，一级反渗透装置、二级反渗透装置反渗透，离子交换装置（28）离子交换后制得；其特征在于，所述过氧化氢浓缩装置包括蒸发器（1），精馏塔（2），与所述精馏塔（2）的气相出口连通的冷凝器（3），与所述冷凝器（3）连接的真空泵（4），所述蒸发器（1）的浓缩液储存区（12）与所述精馏塔（2）的第一进料口连通，稀过氧化氢进料管（5）与所述蒸发器（1）的进料口和所述精馏塔（2）的第二进料口连通，所述蒸发器（1）的蒸汽进汽管（6）上设有蒸汽喷射器（7），所述蒸汽喷射器（7）的吸气腔通过管道与所述精馏塔（2）的塔顶连通；所述换热器（13）的第一介质入口与所述蒸发器（1）和精馏塔（2）的浓缩液出口管道连接；所述一级反渗透装置包括若干进口与所述换热器（13）的第一介质出口管道（14）连通的进料控制阀（15），若干进料口分别通过管道与所述进料控制阀（15）的出口连通的第一级反渗透机构（16），若干分别与所述第一级反渗透机构（16）的反渗透剩余液出口连通的第一出料控制阀（17），与所述第一出料控制阀（17）连通的第一反渗透剩余液回收管（18），第一端通过管道与第一级反渗透机构（16）的进料口连通的第一防爆机构（19），与所述第一防爆机构（19）的另一端连接的第一排空管（20）；所述二级反渗透装置包括至少一进料口通过管道与所述第一级反渗透机构（16）的渗透液出口连通的第二级反渗透机构（21），通过管道与所述第二级反渗透机构（21）的反渗透剩余液出口连接的第二出料控制阀（22），与所述第二出料控制阀（22）连接的第二反渗透剩余液回收管（23），第一端通过管道与第二级反渗透机构（21）的反渗透剩余液出口连通的第二防爆机构（24），与所述第二防爆机构（24）的另一端连接的第二排空管（25），与所述第二级反渗透机构（21）的渗透液出口连通的反渗透液收集管（26）；所述第一介质出口管道（14）与第一反渗透剩余液回收管（18）连通，其连通管道上设有压力控制阀（27）；所述第一反渗透剩余液回收管（18）与所述蒸发器（1）或/和精馏塔（2）的浓缩液收集管道连接；所述离子交换装置（28）的进料口与反渗透液收集管（26）连接；

生产过程包括：将一部分27.5wt%～33wt%的过氧化氢水溶液从蒸发器（1）的顶部进入，经蒸发器（1）加热后进入蒸发器（1）的浓缩液储存区（12），在浓缩液储存区（12）产生的气体进入精馏塔（2）中，余下部分27.5wt%～33wt%的过氧化氢水溶液从精馏塔（2）的第二进料口进入精馏塔（2），经蒸发器（1）和精馏塔（2）浓缩后合并的过氧化氢水溶液浓度不低于50wt%，将一部分经蒸发器（1）和精馏塔（2）浓缩得到的过氧化氢水溶液泵入换热器（13），冷却至常温后进入第一级反渗透机构（16），经第一级反渗透机构（16）反渗透后获得总有机碳浓度低于10 ppm、PO^3- 离子浓度低于10 ppm的反渗透液进入第二级反渗透机构（21），经第二级反渗透机构（21）反渗透后获得总有机碳浓度低于5 ppm、PO^3- 离子浓度低于5 ppm的反渗透液经离子交换装置（28）进行离子交换后制得电子级过氧化氢水溶液；经第一级反渗透机构（16）反渗透后的剩余液与经蒸发器（1）和精馏塔（2）浓缩后余下的那部分过氧化氢水溶液混合后收集贮存；通过控制压力控制阀（27）控制第一级反渗透机构（16）的反渗透压力为恒压。

2.根据权利要求1所述的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，其特征在于，所述精馏塔（2）为填料塔，所述塔顶设有第一液体分布器（8），还具有与所述第一液体分布器（8）连通的纯水管（9）。

3.根据权利要求2所述的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，其特征在于，所述精馏塔（2）的下部具有提馏段（10），所述提馏段（10）的上方设有第二液体分布器（11），稀过氧化氢进料管（5）与所述第二液体分布器（11）连通。

4.根据权利要求1所述的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，其特征在于，所述第一级反渗透机构（16）的数量多于第二级反渗透机构（21）的数量。

5.根据权利要求1所述的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，其特征在于，所述第二反渗透剩余液回收管（23）还通过旁路管道与所述第一反渗透剩余液回收管（18）连通，所述旁路管道和第二反渗透剩余液回收管（23）上均设有控制阀。

6.根据权利要求1所述的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，其特征在于，还具有与第一级反渗透机构（16）的渗透液出口连接管道连通的取样管（29），设置在所述取样管（29）上的取样控制阀（30）。

7.根据权利要求1所述的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，其特征在于，所述离子交换装置包括圆筒形桶体（31），与所述圆筒形桶体（31）可拆卸连接的顶盖（32），与所述顶盖（32）连接的放空管（33），分别与所述圆筒形桶体（31）的内壁连接的上环形支架（35）和下环形支架（39），分别位于所述上环形支架（35）和下环形支架（39）上方的多孔板（36），与所述多孔板（36）连接的滤布（37），位于所述上环形支架（35）的上方、且与所述圆筒形桶体（31）连接的第一溢流口（38），位于所述上环形支架（35）和下环形支架（39）之间、且与所述圆筒形桶体（31）连接的第二溢流口（40）和至少一个树脂出口（41），分别与所述第二溢流口（40）和树脂出口（41）可拆卸连接的盲板，位于所述第二溢流口（40）以上且位于上环形支架（35）以下、与所述圆筒形桶体（31）连接的进液口（42），与所述圆筒形桶体（31）的底部连接的出液口（43）；所述树脂出口（41）位于第二溢流口（40）以下。

8.根据权利要求7所述的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，其特征在于，还包括与所述顶盖（32）连接的泄压口（34）和备用口（44）。

9.根据权利要求7所述的电子级过氧化氢水溶液的生产方法，其特征在于，所述上环形支架（35）沿直径方向设有对称的两开口（45）。