CN113671656B - 一种fac镜装调***及装调方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种FAC镜装调***及装调方法，FAC镜装调***包括物料组件、转移组件、点胶组件、激光器组件、固化组件、准直透镜和CCD相机；物料组件用于放置托盘和FAC镜，转移组件用于分别对托盘和FAC镜进行转移；固化组件用于对托盘的胶液和FAC镜的胶液进行固化，使托盘通过胶液固化与激光器组件中的热沉进行连接，使FAC镜通过胶液固化与托盘连接；准直透镜用于对巴条发射的光束进行准直形成光斑，光斑映射在CCD相机上，并且CCD相机还显示光斑相较于所述巴条的发光中心轴线的偏移方向以及偏移距离，转移组件根据偏移方向以及偏移距离调整FAC镜，本发明实现对托盘和FAC镜的自动化转移和装调操作，从而替代人工手动装调操作，提高对FAC镜的装调精度和效率。

Description

一种FAC镜装调***及装调方法

技术领域

本发明属于半导体激光技术领域，特别涉及一种FAC镜的装调***及装调方法。

背景技术

激光器巴条的FAC（Fast Axis Collimator 光学元件-快轴准直）镜对于出光的光路具有指向性，光路的指向性即光路的方向性，以发散角作为评价光路发散性的依据，发散角的含义是：在发散角的角度内，均有光路出射，当发射角趋近于零，就可近似将光束称为“平行光”。FAC镜的位置影响激光器光束的发散角以及激光器光斑的均匀性，故激光器巴条的FAC镜的位置是整个光路的基础，影响例如慢轴准直透（SAC,Slow Axis Collimator）镜、体布拉格光栅（VBG）等的光路设计以及激光泵浦效率、激光整形等后续应用。

在现有技术中，FAC镜的装调采用纯手动的FAC镜操作平台，手动FAC镜操作平台在装调托盘和FAC镜的过程中，容易产生位置的误差，导致光斑的上下偏移以及左右高低偏移，这样在批量订单生产过程中，无法达到托盘和FAC镜装调的一致性。另外，在手动调节FAC镜位置的过程中，通过人眼直接识别光斑位置，这样在批量订单生产过程中，采用人眼直接识别会导致光斑的位置指向性出现偏差，而且人眼识别光斑的效率低，不适合对FAC镜进行大批量的高精度装调操作。

发明内容

针对上述问题，本发明公开了一种FAC镜装调***及装调方法，以克服上述问题或者至少部分地解决上述问题。

为了实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种FAC镜的装调***，包括物料组件、转移组件、点胶组件、激光器组件、固化组件和准直透镜和CCD相机；所述物料组件用于放置托盘和FAC镜，所述转移组件用于分别对所述托盘和所述FAC镜进行转移，将所述托盘和所述FAC镜分别转移至所述点胶组件处由所述点胶组件进行点胶，再分别将所述托盘和所述FAC镜由所述点胶组件处转移至所述激光器组件处；所述固化组件用于对所述托盘的胶液和所述FAC镜的胶液进行固化，使所述托盘通过胶液固化与所述激光器组件中的热沉进行连接，使所述FAC镜通过胶液固化与所述托盘连接；所述准直透镜位于所述激光器组件中巴条发射光束的一端，所述CCD相机的镜头与所述准直透镜位于同一水平直线，所述巴条发射的光束经所述准直透镜准直后进入所述CCD相机。

可选的，所述物料组件包括料盘和第一移动单元；所述料盘与所述第一移动单元采用可拆卸式连接，所述第一移动单元驱动所述料盘移动，所述料盘用于放置所述托盘和所述FAC镜。

可选的，所述料盘设有多个插槽，用于插装放置所述托盘和/或所述FAC镜，所述插槽的深度尺寸小于所述托盘和/或所述FAC镜的厚度。

可选的，所述点胶组件包括第二移动单元和气动点胶机，所述第二移动单元与所述气动点胶机连接，所述第二移动单元用于将所述气动点胶机移动至对所述托盘和所述FAC镜进行点胶的位置，所述气动点胶机用于对所述托盘和所述FAC镜进行点胶。

可选的，所述转移组件包括第三移动单元和气动吸头机；所述气动吸头机与所述第三移动单元连接，所述气动吸头机用于对所述托盘和所述FAC镜进行气压吸附固定，所述第三移动单元驱动所述气动吸头机进行往返移动，以转移所述托盘和所述FAC镜。

可选的，所述转移组件还包括滑台；所述气动吸头机通过所述滑台与所述第三移动单元连接，所述滑台能够驱动所述气动吸头机相对于所述第三移动单元进行位置移动。

可选的，所述激光器组件包括第四移动单元；所述第四移动单元上设有多个热沉和多个巴条，所述第四移动单元驱动所述热沉和所述巴条相对于所述准直透镜进行位置移动。

可选的，所述激光器组件还设有监测相机；所述监测相机用于监测所述托盘与所述热沉的装调位置和/或所述FAC镜与所述托盘的装调位置。

可选的，所述固化组件包括移动支架、转接单元和紫外灯；所述紫外灯通过所述转接单元与所述移动支架连接，所述转接单元用于调整所述紫外灯的照射方向，所述紫外灯用于对所述托盘的胶液和所述FAC镜的胶液进行照射固化，所述移动支架带动所述紫外灯进行往复移动。

一种FAC镜装调方法，采用上述FAC镜装调***进行FAC镜的装调操作，包括如下步骤：

步骤S1、对托盘进行点胶：所述转移组件将位于所述物料组件的托盘转移至所述点胶组件所在位置，所述点胶组件对所述托盘进行点胶；

步骤S2、对托盘进行装调固定：所述转移组件将步骤S1中完成点胶的托盘转移至所述激光器组件中所述热沉所在位置，通过所述固化组件对所述托盘上的胶液进行固化，使所述托盘通过胶液固化与所述热沉进行连接；

步骤S3、对FAC镜进行点胶：所述转移组件将位于所述物料组件的FAC镜转移至所述点胶组件所在位置，所述点胶组件对所述FAC镜进行点胶；

步骤S4、对FAC镜进行装调固定：所述转移组件将步骤S3中完成点胶的FAC镜转移至步骤S2中装调固定的所述激光器组件中所述巴条的位置处，所述巴条发射的光束穿过所述FAC镜和所述准直透镜后，形成的光斑显示在CCD相机上，所述CCD相机还显示所述光斑相较于所述巴条的发光中心轴线的偏移方向以及偏移距离，所述转移组件根据偏移方向以及偏移距离调整所述FAC镜，所述固化组件对所述FAC镜上的胶液进行固化，使所述FAC镜通过胶液固化与所述托盘进行连接。

本发明的优点及有益效果是：

在本发明中，通过采用由物料组件、转移组件、点胶组件、激光器组件、固化组件、准直透镜和CCD相机构成的FAC镜装调***对FAC镜进行装调操作，利用物料组件和点胶组件沿X轴方向的直线往复移动、转移组件沿Y轴方向对托盘和FAC镜的直线单向转移以及激光器组件沿Z轴方向对巴条位置的调整，实现对托盘和FAC镜高精度的自动化快速转移和装调操作，从而替代人工手动装调操作，提高对FAC镜的装调精度和效率。利用CCD相机显示巴条发出的光经过FAC镜准直和准直透镜准直后的光斑，并且由CCD相机显示光斑相较于巴条的发光中心轴线的偏移方向以及偏移距离，从而根据CCD相机显示的偏移方向以及偏移距离对FAC镜进行精确调整，由此替代对光斑的人眼识别，增强光路的指向性，提高对FAC镜的装调精度。

附图说明

通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本发明的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：

图1为本发明FAC镜装调***的整体结构示意图；

图2为本发明FAC镜装调***中物料组件的结构示意图；

图3为图2中A的结构放大示意图；

图4为本发明FAC镜装调***中转移组件的结构示意图；

图5为本发明FAC镜装调***中点胶组件的结构示意图；

图6为本发明FAC镜装调***中激光器组件的结构示意图；

图7为图6中B的结构放大示意图；

图8为图7中C的结构放大示意图；

图9为本发明FAC镜装调***中固化组件的结构示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明具体实施例及相应的附图对本发明技术方案进行清楚、完整的描述。显然，所描述的实施例仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

以下结合附图，详细说明本发明各实施例提供的技术方案。

结合图1至图9所示，本实施例的FAC镜装调***包括物料组件1、转移组件2、点胶组件3、激光器组件4、固化组件5、准直透镜6和CCD相机9。物料组件1位于底座10上，用于对托盘7和FAC镜8进行放置。点胶组件3同样位于底座10上，用于对移动至该对应位置的托盘7和FAC镜8进行点胶操作。其中，在本实施例中，物料组件1和点胶组件3并排固定在底座10上。

激光器组件4包括多个巴条44，并且沿转移组件2移动的方向，激光器组件4位于点胶组件3的下游位置，即转移组件2沿直线方向在物料组件1、点胶组件3和激光器组件4之间进行往返移动，用于将托盘7和FAC镜8依次由物料组件1位置转移至点胶组件3位置和激光器组件4位置，并在点胶组件3位置处完成点胶操作，在激光器组件4位置处完成对托盘7和FAC镜8的装调操作。

固化组件5和准直透镜6位于靠近激光器组件4的位置。其中，固化组件5用于分别对托盘7与热沉43以及FAC镜8与托盘7进行固化操作，准直透镜6则用于对由巴条44射出的光束进行准直形成光斑。

CCD相机9的镜头与准直透镜6位于同一水平直线，巴条44发射的光束经FAC镜8以及准直透镜6准直后的光斑进入到CCD相机9中，利用CCD相机9显示光斑相较于巴条44的发光中心轴线的偏移方向以及偏移距离，根据偏移方向以及偏移距离实现对FAC镜8精确调整，增强光路的指向性，提高对FAC镜8的装调精度。

为了便于表述，在图1中设定X轴、Y轴和Z轴。其中，物料组件1、点胶组件3和激光器组件4沿Y轴方向依次排布，并且物料组件1和点胶组件3可以分别沿X轴方向进行往复移动，激光器组件4可以沿Z轴方向进行往复移动。转移组件2能够沿Y轴方向进行往复移动，依次经过物料组件1、点胶组件3和激光器组件4。准直透镜6位于沿X轴方向与激光器组件4对应的位置，并且转移组件2能够移动至激光器组件4和准直透镜6之间。CCD相机9的镜头沿X轴方向与准直透镜6位于同一水平直线。

此时，采用本实施例的FAC镜装调***就可以对FAC镜8进行自动装调操作，具体过程为：

步骤S1、对托盘7进行点胶。

首先，控制转移组件2移动至物料组件1位置处，并且由转移组件2对位于物料组件1的托盘7进行抓取，其中通过控制物料组件1进行X轴方向的位置调整，使托盘7位于靠近转移组件2的位置，以便于转移组件2对托盘7进行准确抓取；接着，物料组件1回归原位，为下一次抓取做准备；同时，控制转移组件2沿Y轴方向转移，将抓取的托盘7转移至点胶组件3所在位置；然后，控制点胶组件3对该托盘7进行点胶操作，其中通过控制点胶组件3沿X轴方向的位置调整，使点胶组件3移动并停在对托盘7进行精准点胶的位置，点胶完成后，点胶组件3回归原位，等待下一次的点胶。此外，在其他实施例中，根据点胶的要求，还可以控制转移组件2沿Y轴方向移动，使点胶组件3对托盘7进行多处点胶。

步骤S2、对托盘7进行装调固定。

首先，控制转移组件2继续沿Y轴方向移动，将步骤S1中完成点胶的托盘7转移至激光器组件4处，并且将托盘7定位在激光器组件4中热沉43所在位置；接着，控制固化组件5对托盘7上的胶液进行固化，使托盘7通过胶液固化与热沉43进行连接，从而完成对托盘7的装调固定操作，固定完成后，固化组件5回归原位，为FAC镜8的固化做准备。

步骤S3、对FAC镜8进行点胶。

首先，完成步骤S2的操作之后，控制转移组件2解除对托盘7的抓取，并且使转移组件2沿Y轴反向移动至物料组件1位置处；接着，控制转移组件2对物料组件1上的FAC镜8进行抓取，接着，物料组件1回归原位，为下一次抓取做准备；同时，通过控制物料组件1进行X轴方向的位置调整，使FAC镜8位于靠近转移组件2的位置，以便于转移组件2对FAC镜8进行准确抓取；然后，控制转移组件2沿Y轴方向转移，将抓取的FAC镜8转移至点胶组件3所在位置，并控制点胶组件3对该FAC镜8进行点胶操作，其中通过控制点胶组件3沿X轴方向的位置调整，使点胶组件3移动并停在对FAC镜8进行精准点胶的位置，点胶完成后，点胶组件3回归原位，等待下一次的点胶。此外，在其他实施例中，根据点胶的要求，还可以控制转移组件2沿Y轴方向移动，使点胶组件3对FAC镜8进行多处点胶。

步骤S4、对FAC镜8进行装调固定。

首先，控制转移组件2继续沿Y轴方向移动，将步骤S3中完成点胶的FAC镜8转移激光器组件4处，并且将FAC镜8移动至步骤S2中装调固定的托盘7所在位置，同时启动与步骤S2中装调固定托盘7对应的巴条44，使巴条44发射的光束穿过该FAC镜8和准直透镜6形成光斑；接着，巴条44发射的光束经FAC镜8以及准直透镜6准直后的光斑进入到CCD相机9中，利用CCD相机9显示光斑，并且由CCD相机9显示光斑相较于巴条44的发光中心轴线的偏移方向以及偏移距离，转移组件2根据偏移方向以及偏移距离实现对FAC镜8精确调整，使光斑与巴条44的发光中心轴线重合；然后，停止转移组件2的移动，并且控制固化组件5对该FAC镜8上的胶液进行固化，使该FAC镜8通过胶液固化与步骤S2中装调固定的托盘7进行固化连接，从而完成对FAC镜8的装调操作。

接下来，就可以控制转移组件2解除对FAC镜8的抓取，固化组件5回归原位，为下一个托盘7的固化做准备，并重复步骤S1至步骤S4，进行下一个FAC镜8的装调操作。其中，在控制转移组件2解除对FAC镜8的抓取之后，就可以控制激光器组件4进行Z轴方向的移动，将下一个与FAC镜8进行装调的巴条44移动至与准直透镜6沿X轴方向对齐的位置。

结合图2至图3所示，在本实施例中，物料组件1包括料盘11和第一移动单元12。料盘11用于放置多个托盘7和FAC镜8，料盘11与第一移动单元12连接，第一移动单元12沿X轴方向与底座10滑动连接，能够驱动料盘11相对于底座10进行X轴方向的往复移动，从而调整托盘7和FAC镜8沿X轴方向的位置，以便于配合转移组件2对托盘7和FAC镜8进行快速精准地抓取操作。

其中，在本实施例中，第一移动单元12由第一电机和第一转接板组成，料盘11与第一转接板连接。这样，通过第一电机驱动第一转接板沿着X轴方向进行直线往返运动，以实现料盘11沿X轴方向的精准移动，进而保证转移组件2对托盘7和FAC镜8的抓取精度。

另外，结合图3所示，料盘11上设有多个插槽111，用于依次插装放置托盘7和FAC镜8。其中，料盘11沿X轴方向开设多列插槽111，一列插槽111包括四个插槽111，四个插槽111沿Y轴方向排列，为了便于描述，将四个插槽111平均分为两组，每组内的两个插槽111相对设置，具体的，每组内的两个插槽111沿Y轴方向平行设置，其中两个插槽111用于插装摆放托盘7，另两个插槽111则用于插装摆放FAC镜8，这样，就可以对托盘7和FAC镜8进行分类依次排放，以便于转移组件2对托盘7和FAC镜8进行准确抓取。并且，对一个FAC镜8装调结束后，该装调***即可直接对下一个托盘7和FAC镜8装调，节约装调时间。同时，借助插槽111可以对托盘7和FAC镜8进行辅助定位，防止料盘11运动的过程中，托盘7和FAC镜8的位置改变而影响转移组件2的抓取操作。

进一步，将插槽111的深度尺寸控制在小于托盘7和FAC镜8的厚度尺寸范围内。这样，可以保证对托盘7和FAC镜8进行定位的同时，便于转移组件2对托盘7和FAC镜8进行快速便捷的抓取转移，提高对托盘7和FAC镜8的抓取转移效率。

此外，在本实施例中，料盘11与第一移动单元12的第一连接板之间采用可拆卸式连接，例如螺栓连接。这样，便于根据不同托盘7尺寸和FAC镜8尺寸实现对料盘11的更换，使该FAC镜装调***适用于不同尺寸FAC镜8的装调操作，提高该FAC镜装调***的使用效率。

结合图5所示，在本实施例中，点胶组件3包括气动点胶机31，利用气动点胶机31对托盘7和FAC镜8进行点胶操作。此时，借助压缩空气可以将胶液从气动点胶机31的出口位置挤出而完成点胶操作，同时还可以利用气动点胶机31的回吸功能，即利用负压将残留在气动点胶机31出口位置的胶液吸回至气动点胶机31。这样，可以防止气动点胶机31出口存在残余胶液而自然滴落导致装调***的污损，从而避免对胶液的浪费，提高对环境的保护。

优选的，点胶组件3还包括第二移动单元32，而气动点胶机31通过夹具34连接在第二移动单元32上，由第二移动单元32驱动气动点胶机31进行X轴方向的往复移动。其中，在本实施例中，第二移动单元32由第二电机和第二转接板组成，夹具34连接在第二转接板上，第二电机通过第二转接板驱动气动点胶机31沿X轴方向往返直线运动，从而调整气动点胶机31的位置。

当需要进行点胶操作的时候，第二电机通过第二转接板驱动气动点胶机31向靠近转移组件2的方向移动至点胶位置，当完成点胶操作之后，第二电机通过第二转接板驱动气动点胶机31反向移动至远离点胶位置。这样，可以使非点胶状态的气动点胶机31保持在远离转移组件2的位置，避免与沿Y轴方向往复移动的转移组件2发生意外碰撞，造成设备的损坏和影响对FAC镜8的正常装调操作，从而保证该FAC镜装调***的运行可靠稳定性。进一步，该点胶组件3中还设有点胶监测摄像头33，并且点胶监测摄像头33通过夹具34固定在气动点胶机31的上方。点胶监测摄像头33可以随气动点胶机31进行X轴方向的同步移动，用于对气动点胶机31的出口位置进行远程实时监测，从而配合第二电机对气动点胶机31的位置进行精准调整，保证点胶操作的精度。

结合图4所示，在本实施例中，转移组件2包括第三移动单元21和气动吸头机22。气动吸头机22与第三移动单元21连接，利用气动吸头机22的气动吸头对托盘7和FAC镜8进行抓取固定，第三移动单元21能够沿Y轴方向往返移动，用于驱动气动吸头机22在物料组件1、点胶组件3以及激光器组件4之间进行往返移动。

具体的，气动吸头机22与吸头开关进行电连接，通过吸头开关控制气动吸头机22对托盘7和FAC镜8进行抓取固定和释放。这样，当第三移动单元21将气动吸头机22移动至物料组件1位置处后，开启吸头开关通过气动吸头机22对托盘7或FAC镜8以吸取的方式进行抓取固定，在后续完成对托盘7或FAC镜8的装调固定之后，再关闭吸头开关就可以解除气动吸头机22对托盘7或FAC镜8的抓取固定。

在本实施例中，第三移动单元21包括第三电机和第三转接板。其中，第三电机通过第三转接板控制气动吸头机22沿着Y轴方向进行往复直线运动，从而使气动吸头机22在物料组件1、点胶组件3和激光器组件4之间进行位置转移，完成对托盘7和FAC镜8的精准快速转移。

此外，在本实施例的转移组件2中还设有滑台23。其中，气动吸头机22通过滑台23与第三转接板连接，并且滑台23可以对气动吸头机22进行相对于第三连接板沿X轴、Y轴和Z轴方向进行空间六维调节，进一步实现气动吸头机22的位置微调，改变气动吸头机22的空间位置，进而对气动吸头机22上的托盘7或FAC镜8的位置进行调整，实现对托盘7和FAC镜8装调位置的精准调节，提高对FAC镜8的装调精度。

其中，在本实施例中，滑台23采用了手动滑台，通过相应的调节手柄分别实现沿X轴、Y轴和Z轴方向进行六维调节。当然，在其他实施例中，完全可以选用其他结构形式的滑台，例如电动滑台，以实现更精准的调节效果。

结合图6至图8所示，在本实施例中，激光器组件4包括第四移动单元41。第四移动单元41与激光器底座45连接，以驱动激光器底座45进行Z轴方向的往复运动。其中，激光器底座45上设有冷却***46、巴条44和热沉43，冷却***46采用气路液路冷却***并且与热沉43连接，而巴条44则烧结在热沉43上，这样通过气路液路冷却***对巴条44进行散热降温。此时，通过第四移动单元41可以驱动热沉43和巴条44进行Z轴方向的往复移动，以调整巴条44与准直透镜6之间沿X轴方向的对齐关系，从而保证待装调FAC镜8的巴条44与准直透镜6处于同一X轴水平直线上，进而使巴条44的发射光束能够通过准直透镜6进行准直。

在本实施例的激光器组件4中，通过设置第四移动单元41，不仅可以调整巴条44沿Z轴方向的位置，而且还可以使该激光器组件4同时设有多个巴条44和热沉43形成巴条阵列47，实现对多个FAC镜8的依次快速装调操作，提高对多个FAC镜8的装调效率。这样，激光器采用巴条阵列47设计，利用多个巴条44可以增加整个激光器的功率，从而可以根据不同的使用目的选择具有不同巴条数目的巴条阵列47，获得具有不同功率的激光器。

另外，气路液路冷却***中气路的进管与液路进管采用同一管路设计，气路的出管与液路的出管也采用同一管路设计。这样，不仅可以提高冷却***46的集成度，将气路和液路进行合并设计，减少空间占用，而且利用液路中冷却液完成对巴条44的散热降温之后，再通过气路对液路冷却***风吹干燥，可以避免残留冷却液对***的腐蚀，提高对FAC镜装调***的保护，提高对巴条44的保护。

此外，本实施例中，第四移动单元41由第四电机和第四转接板组成，并且第四电机与第四转接板连接，第四电机通过第四转接板控制激光器底座45沿着Z轴做往复直线运动，使每个热沉43都与一个托盘7连接，每个托盘7都与一个FAC镜8连接，实现对多个FAC镜8的依次精准装调操作。

结合图6所示，在第四电机的两侧还分别安装有一个监测相机42，而巴条44的出光面与两个监测相机42的相机镜头位于同一水平面上，并且两个监测相机42可以进行水平监测方向的调整改变，以确保两个监测相机42能够对托盘7和FAC镜8的装调位置以及装调效果进行实时监测，进而配合第四电机和第三电机以及滑台23对托盘7和FAC镜8的位置进行精调。

结合图9所示，在本实施例中固化组件5包括移动支架51和紫外灯52。紫外灯52与移动支架51连接，紫外灯52用于对托盘7的胶液和FAC镜8的胶液进行照射固化，以分别实现托盘7与热沉43的固化连接以及FAC镜8与托盘7的固化连接。移动支架51用于紫外灯52的固定和位置转移，当需要紫外灯52的时候，拉动移动支架51至所需照射固化的位置，当不需要紫外灯52的时候，再将移动支架51推到原位置即可。

固化组件5还包括转接单元，并且紫外灯52通过转接单元与移动支架51连接。转接单元由多个转接头54通过小螺杆53固定，再通过螺钉紧固转接头54，固定转接头54沿小螺杆53的轴向位置和沿圆周方向朝向，使不同转接头54之间能够进行空间位置的相对调整，组成万向转接结构。这样，根据需要照射固化的方向以及照射角度，通过对转接单元进行调节就可以改变紫外灯52的位置和角度，从而保证照射固化的效果，提高对托盘7和FAC镜8的装调质量。

具体的，多个转接单元设置在移动支架51上，当使用紫外灯52照射固化的时候，只需要拉动移动支架51即可，且每次移动的位置一致，保证紫外灯52照射固化位置的一致性。

其中，移动支架51可以采用导轨的形式实现该移动支架51的直线移动，从而实现紫外灯52的移动，另外也可采用滑轮的形式实现紫外灯52的移动。

此外，固化组件5中的一个转接单元与监测摄像头55连接。通过调节该转接单元可以使监测摄像头55监测紫外灯52对托盘7和FAC镜8进行照射固化的位置，从而提高照射固化的效果。

在本实施例中，第一移动单元12、第二移动单元32、第三移动单元21以及第四移动单元41均采用电机与转接板的结构形式，利用电机驱动连接板进行直线方向的往复移动，从而借助电机的高定位精度和机电一体化控制实现该FAC镜装调***的精度和自动化。当然，在其他实施例中，根据设计和使用工况的不同，也可以采用气缸结构形式，利用气缸驱动对应连接板进行直线方向的往复移动。

优选的，将调节巴条44的驱动电源的频率与CCD相机9的频率进行相同设置，实现实时显示光斑，从而实时获得光斑较于巴条44的发光中心轴线的偏移方向以及偏移距离，防止CCD相机9中呈现的光斑飘忽不定，提高对光路的指向性，保证对FAC镜8的装调精度和质量。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，在本发明的上述教导下，本领域技术人员可以在上述实施例的基础上进行其他的改进或变形。本领域技术人员应该明白，上述的具体描述只是更好的解释本发明的目的，本发明的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种FAC镜装调***，其特征在于：包括物料组件、转移组件、点胶组件、激光器组件、固化组件、准直透镜和CCD相机；

所述物料组件用于放置托盘和FAC镜，并分别带动待装调的所述托盘和所述FAC镜移动至所述转移组件的位置；

所述转移组件用于分别对所述托盘和所述FAC镜进行转移，将所述托盘和所述FAC镜分别转移至所述点胶组件处由所述点胶组件进行点胶，再分别将所述托盘和所述FAC镜由所述点胶组件处转移至所述激光器组件处；

其中，所述物料组件和所述点胶组件沿X轴方向的直线往复移动；

所述固化组件用于对所述托盘的胶液和所述FAC镜的胶液进行固化，使所述托盘通过胶液固化与所述激光器组件中的热沉进行连接，使所述FAC镜通过胶液固化与所述托盘连接；

所述准直透镜位于所述激光器组件中巴条发射光束的一端，所述CCD相机的镜头与所述准直透镜位于同一水平直线，所述巴条发射的光束经所述FAC镜以及所述准直透镜准直后的光斑进入所述CCD相机；

其中，所述转移组件沿Y轴方向对所述托盘和所述FAC镜的直线单向转移，所述激光器组件沿Z轴方向调整所述巴条的位置；

所述CCD相机显示所述光斑与所述巴条的发光中心轴线之间的偏移方向和偏移距离，并且所述转移组件根据所述偏移方向和所述偏移距离驱动所述FAC镜相较于所述托盘进行位置移动；

其中，所述CCD相机显示所述光斑包括所述CCD相机显示巴条发出的光经过FAC镜准直和准直透镜准直后的光斑。

2.根据权利要求1所述的FAC镜装调***，其特征在于：所述物料组件包括料盘和第一移动单元；所述料盘与所述第一移动单元采用可拆卸式连接，所述第一移动单元驱动所述料盘移动，所述料盘用于放置所述托盘和所述FAC镜。

3.根据权利要求2所述的FAC镜装调***，其特征在于：所述料盘设有多个插槽，用于插装放置所述托盘和/或所述FAC镜，所述插槽的深度尺寸小于所述托盘和/或所述FAC镜的厚度。

4.根据权利要求1所述的FAC镜装调***，其特征在于：所述点胶组件包括第二移动单元和气动点胶机，所述第二移动单元与所述气动点胶机连接，所述第二移动单元用于将所述气动点胶机移动至对所述托盘和所述FAC镜进行点胶的位置，所述气动点胶机用于对所述托盘和所述FAC镜进行点胶。

5.根据权利要求1所述的FAC镜装调***，其特征在于：所述转移组件包括第三移动单元和气动吸头机；所述气动吸头机与所述第三移动单元连接，所述气动吸头机用于对所述托盘和所述FAC镜进行气压吸附固定，所述第三移动单元驱动所述气动吸头机进行往返移动，以转移所述托盘和所述FAC镜。

6.根据权利要求5所述的FAC镜装调***，其特征在于：所述转移组件还包括滑台；所述气动吸头机通过所述滑台与所述第三移动单元连接，所述滑台能够驱动所述气动吸头机相对于所述第三移动单元进行位置移动。

7.根据权利要求1所述的FAC镜装调***，其特征在于：所述激光器组件包括第四移动单元；所述第四移动单元上设有多个热沉和多个巴条，所述第四移动单元驱动所述热沉和所述巴条相对于所述准直透镜进行位置移动。

8.根据权利要求7所述的FAC镜装调***，其特征在于：所述激光器组件还设有监测相机；所述监测相机用于监测所述托盘与所述热沉的装调位置和/或所述FAC镜与所述托盘的装调位置。

9.根据权利要求1所述的FAC镜装调***，其特征在于：所述固化组件包括移动支架、转接单元和紫外灯；所述紫外灯通过所述转接单元与所述移动支架连接，所述转接单元用于调整所述紫外灯的照射方向，所述紫外灯用于对所述托盘的胶液和所述FAC镜的胶液进行照射固化，所述移动支架带动所述紫外灯进行往复移动。

10.一种FAC镜装调方法，其特征在于：采用权利要求1-9中任意一项所述的FAC镜装调***进行FAC镜的装调操作，包括如下步骤：

步骤S1、对托盘进行点胶：所述转移组件将位于所述物料组件的托盘转移至所述点胶组件所在位置，所述点胶组件对所述托盘进行点胶；

步骤S2、对托盘进行装调固定：所述转移组件将步骤S1中完成点胶的托盘转移至所述激光器组件中所述热沉所在位置，通过所述固化组件对所述托盘上的胶液进行固化，使所述托盘通过胶液固化与所述热沉进行连接；

步骤S3、对FAC镜进行点胶：所述转移组件将位于所述物料组件的FAC镜转移至所述点胶组件所在位置，所述点胶组件对所述FAC镜进行点胶；

步骤S4、对FAC镜进行装调固定：所述转移组件将步骤S3中完成点胶的FAC镜转移至步骤S2中装调固定的所述激光器组件中所述巴条的位置处，所述巴条发射的光束穿过所述FAC镜和所述准直透镜后，形成的光斑显示在CCD相机上，由所述CCD相机显示所述光斑相较于所述巴条的发光中心轴线的偏移方向以及偏移距离，所述转移组件根据偏移方向以及偏移距离调整所述FAC镜，所述固化组件对所述FAC镜上的胶液进行固化，使所述FAC镜通过胶液固化与所述托盘进行连接。

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