CN113649868A - 闭式静压导轨及超精密球轴承套圈磨削设备 - Google Patents

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CN113649868A CN202110986841.4A CN202110986841A CN113649868A CN 113649868 A CN113649868 A CN 113649868A CN 202110986841 A CN202110986841 A CN 202110986841A CN 113649868 A CN113649868 A CN 113649868A
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Abstract

本发明公开了一种闭式静压导轨及超精密球轴承套圈磨削设备，所述闭式静压导轨包括滑台和轨体；所述滑台中设有第一配合面、第二配合面、第三配合面、第四配合面、第五配合面以及第六配合面；所述第一配合面上设有第一油腔，所述第二配合面上设有第二油腔，所述第三配合面上设有第三油腔，所述第四配合面上设有第四油腔，所述第五配合面上设有第五油腔，所述第六配合面上设有第六油腔；所述滑台中还设有油路***，所述油路***包括左集油通道、右集油通道、连接通道、至少一个进油口、第一导油通道、第二导油通道、第三导油通道、第四导油通道、第五导油通道以及第六导油通道。本发明能够简化油路***，使油路***布局合理，进而能够节省加工成本。

Description

闭式静压导轨及超精密球轴承套圈磨削设备
技术领域
本发明涉及一种闭式静压导轨及超精密球轴承套圈磨削设备。
背景技术
目前，超精密球轴承是高速机床主轴、航空陀螺***、导航***、航空发动机转子***等的核心支撑部件，其加工精度直接影响到装备的运行精度、工作效率和寿命。想要保证超精密球轴承的尺寸精度，首先必须提高加工其的磨床的加工精度，因此这类磨床中普遍使用静压导轨取代普通的直线导轨，以便提高磨床直线运动的精度。
但是，现有的静压导轨中的油路***设计的非常复杂且不合理，一方面导致加工困难，加工成本高；另一方面导致现有的静压导轨需要连接多根外部输油管来实现供油，导致外部输油管排布复杂混乱。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是克服现有技术的缺陷，提供一种闭式静压导轨，它能够简化油路***，使油路***布局合理，进而能够节省加工成本。
为了解决上述技术问题，本发明的技术方案是：一种闭式静压导轨，它包括滑台和轨体；其中，
所述滑台沿前后方向滑动连接在所述轨体上；
所述滑台中设有至少一个与所述轨体的左侧端的上端面配合抵接的第一配合面、至少一个与所述轨体的左侧端的下端面配合抵接的第二配合面、至少一个与所述轨体的左侧面配合抵接的第三配合面、至少一个与所述轨体的右侧端的上端面配合抵接的第四配合面、至少一个与所述轨体的右侧端的下端面配合抵接的第五配合面以及至少一个与所述轨体的右侧面配合抵接的第六配合面；
所述第一配合面上设有第一油腔，所述第二配合面上设有第二油腔，所述第三配合面上设有第三油腔，所述第四配合面上设有第四油腔，所述第五配合面上设有第五油腔，所述第六配合面上设有第六油腔；
所述滑台中还设有油路***，所述油路***包括左集油通道、右集油通道、连接通道、至少一个进油口、与所述第一油腔对应的第一导油通道、与所述第二油腔对应的第二导油通道、与所述第三油腔对应的第三导油通道、与所述第四油腔对应的第四导油通道、与所述第五油腔对应的第五导油通道以及与所述第六油腔对应的第六导油通道；
所述左集油通道、右集油通道和连接通道中的至少一个与所述进油口相连；
所述连接通道的一端部与所述左集油通道相连，所述连接通道的另一端部与所述右集油通道相连；
所述第一导油通道的一端部与所述左集油通道相连，所述第一导油通道的另一端部与对应的所述第一油腔相连；
所述第二导油通道的一端部与所述左集油通道相连，所述第二导油通道的另一端部与对应的所述第二油腔相连；
所述第三导油通道的一端部与所述左集油通道相连，所述第三导油通道的另一端部与对应的所述第三油腔相连；
所述第四导油通道的一端部与所述右集油通道相连，所述第四导油通道的另一端部与对应的所述第四油腔相连；
所述第五导油通道的一端部与所述右集油通道相连，所述第五导油通道的另一端部与对应的所述第五油腔相连；
所述第六导油通道的一端部与所述右集油通道相连，所述第六导油通道的另一端部与对应的所述第六油腔相连。
进一步提供一种所述左集油通道和所述右集油通道的具体布置方式，所述左集油通道设于所述滑台的左端部中并沿前后方向延伸；
所述右集油通道设于所述滑台的右端部中并沿前后方向延伸；
所述连接通道沿横向延伸；
所述进油口设有四个；
其中第一个进油口位于所述滑台左侧端的前端部并与所述左集油通道的前端部连通；
其中第二个进油口位于所述滑台左侧端的后端部并与所述左集油通道的后端部连通；
其中第三个进油口位于所述滑台右侧端的前端部并与所述右集油通道的前端部连通；
其中第四个进油口位于所述滑台右侧端的后端部并与所述右集油通道的后端部连通。
进一步提供一种所述滑台的具体结构，所述滑台包括主体部、左滑块和右滑块；其中，
所述左滑块连接在所述主体部的左侧端，所述右滑块连接在所述主体部的右侧端；
所述第一配合面、第一油腔、第四配合面和第四油腔均设于所述主体部上；
所述第二配合面、第二油腔、第三配合面和第三油腔均设于所述左滑块上；
所述第五配合面、第五油腔、第六配合面和第六油腔均设于所述右滑块上；
所述左集油通道、右集油通道、连接通道、第一导油通道和第四导油通道均设于所述主体部中；
所述第二导油通道的一部分设于所述主体部中，所述第二导油通道的另一部分设于所述左滑块中；
所述第三导油通道的一部分设于所述主体部中，所述第三导油通道的另一部分设于所述左滑块中；
所述第五导油通道的一部分设于所述主体部中，所述第五导油通道的另一部分设于所述右滑块中；
所述第六导油通道的一部分设于所述主体部中，所述第六导油通道的另一部分设于所述右滑块中。
进一步提供一种所述第一导油通道的具体结构，所述第一导油通道包括第一横向孔和第一竖向孔；其中，
所述第一横向孔和所述第一竖向孔均设于所述主体部中；
所述第一横向孔的一端部与所述左集油通道相连；
所述第一横向孔的另一端部与所述第一竖向孔的上端部相连；
所述第一竖向孔的下端部与对应的所述第一油腔相连；
和/或所述第二导油通道包括第二上横向孔、第二下横向孔、第二上竖向孔、第二下竖向孔和连接孔；其中，
所述第二上横向孔和所述第二上竖向孔均设于所述主体部中；
所述第二下横向孔、第二下竖向孔和连接孔均设于所述左滑块中；
所述第二上横向孔、第二上竖向孔、第二下竖向孔、第二下横向孔和连接孔依次相连；
所述第二上横向孔还与所述左集油通道相连；
所述连接孔还与对应的所述第二油腔相连；
所述主体部与所述左滑块之间还连接有使所述第二上竖向孔和所述第二下竖向孔密封连接的第一密封圈；
和/或所述第三导油通道包括第三上横向孔、第三下横向孔、第三上竖向孔和第三下竖向孔；其中，
所述第三上横向孔和所述第三上竖向孔均设于所述主体部中；
所述第三下横向孔和所述第三下竖向孔均设于所述左滑块中；
所述第三上横向孔、第三上竖向孔、第三下竖向孔和第三下横向孔依次相连；
所述第三上横向孔还与所述左集油通道相连；
所述第三下横向孔还与对应的所述第三油腔相连；
所述主体部与所述左滑块之间还连接有使所述第三上竖向孔和所述第三下竖向孔密封连接的第二密封圈；
和/或所述第四导油通道包括第四横向孔和第四竖向孔；其中，
所述第四横向孔和所述第四竖向孔均设于所述主体部中；
所述第四横向孔的一端部与所述右集油通道相连；
所述第四横向孔的另一端部与所述第四竖向孔的上端部相连；
所述第四竖向孔的下端部与对应的所述第四油腔相连；
和/或所述第五导油通道包括第五上横向孔、第五下横向孔、第五上竖向孔、第五下竖向孔和导通孔；其中，
所述第五上横向孔和所述第五上竖向孔均设于所述主体部中；
所述第五下横向孔、第五下竖向孔和导通孔均设于所述右滑块中；
所述第五上横向孔、第五上竖向孔、第五下竖向孔、第五下横向孔和导通孔依次相连；
所述第五上横向孔还与所述右集油通道相连；
所述导通孔还与对应的所述第五油腔相连；
所述主体部与所述右滑块之间还连接有使所述第五上竖向孔和所述第五下竖向孔密封连接的第三密封圈；
和/或所述第六导油通道包括第六上横向孔、第六下横向孔、第六上竖向孔和第六下竖向孔；其中，
所述第六上横向孔和所述第六上竖向孔均设于所述主体部中；
所述第六下横向孔和所述第六下竖向孔均设于所述右滑块中；
所述第六上横向孔、第六上竖向孔、第六下竖向孔和第六下横向孔依次相连；
所述第六上横向孔还与所述右集油通道相连；
所述第六下横向孔还与对应的所述第六油腔相连；
所述主体部与所述右滑块之间还连接有使所述第六上竖向孔和所述第六下竖向孔密封连接的第四密封圈。
进一步，所述滑台和所述轨体之间还设有适于安装直线电机的安装通道。
进一步为了精确定位所述滑台，所述闭式静压导轨还包括光栅尺，所述光栅尺包括标尺光栅和光栅读数头；其中，
所述标尺光栅连接在所述滑台和所述轨体中的任意一个上；
所述光栅读数头连接在所述滑台和所述轨体中的剩余一个上并与所述标尺光栅配合安装。
进一步为了限制所述滑台的行程，所述轨体上还连接有适于限制所述滑台的行程的限位开关。
进一步为了调节油压，所述第一导油通道、第二导油通道、第三导油通道、第四导油通道、第五导油通道和第六导油通道中的至少一个中设有节流器。
本发明还提供了一种超精密球轴承套圈磨削设备，它包括机架、工件电主轴、打磨轮电主轴和至少两个如上所述的闭式静压导轨；其中，
至少两个所述闭式静压导轨中包括X向闭式静压导轨和Y向闭式静压导轨；
所述X向闭式静压导轨中的轨体和所述Y向闭式静压导轨中的轨体均连接在所述机架上；
所述工件电主轴连接在所述Y向闭式静压导轨中的滑台上并通过所述Y向闭式静压导轨沿Y向滑动连接在所述机架上，所述工件电主轴上适于安装工件并适于带动所述工件旋转；
所述打磨轮电主轴连接在所述X向闭式静压导轨中的滑台上并通过所述X向闭式静压导轨沿X向滑动连接在所述机架上，所述打磨轮电主轴上适于安装打磨轮并适于驱动所述打磨轮旋转以打磨所述工件；
所述X向闭式静压导轨和所述Y向闭式静压导轨中还分别安装有直线电机，所述直线电机安装在所述滑台和所述轨体之间并适于驱动所述滑台相对所述轨体滑动。
进一步提供一种所述机架的具体结构，所述机架包括底部支撑架和大理石台面，所述X向闭式静压导轨中的轨体和所述Y向闭式静压导轨中的轨体均连接在所述大理石台面上；
所述工件电主轴和打磨轮电主轴均为液体静压电主轴。
采用了上述技术方案后，当油液从所述进油口流入所述左集油通道、右集油通道和连接通道中后，油液会从第一导油通道流入所述第一油腔中，从第二导油通道流入所述第二油腔中，从第三导油通道流入所述第三油腔中，从第四导油通道流入所述第四油腔中，从第五导油通道流入所述第五油腔中，从第六导油通道流入所述第六油腔中。然后所述第一油腔中的油液会渗入所述第一配合面和所述轨体之间形成油膜，第二油腔中的油液会渗入所述第二配合面和所述轨体之间形成油膜，第三油腔中的油液会渗入所述第三配合面和所述轨体之间形成油膜，第四油腔中的油液会渗入所述第四配合面和所述轨体之间形成油膜，第五油腔中的油液会渗入所述第五配合面和所述轨体之间形成油膜，第六油腔中的油液会渗入所述第六配合面和所述轨体之间形成油膜，油膜能够起到润滑作用，减少磨损。并且只需要通过一根外部输油管将油液导入所述进油口，油液就能通过所述油路***流动进而为各部位供油；一方面油路***布局简单合理，方便加工，能够节省加工成本；另一方面，油液在所述油路***中流动，不必再连接很多外部输油管，使外部输油管的布置更简单、简洁，提高了使用的方便性。
此外，在所述超精密球轴承套圈磨削设备中，所述工件电主轴和打磨轮电主轴均采用液体静压电主轴，液体静压电主轴与皮带传动式主轴相比具有振动小的优点，进而提高了所述工件和所述打磨轮的旋转精度，进而提高了打磨精度。所述X向闭式静压导轨能够提高所述打磨轮电主轴的滑动精度，所述Y向闭式静压导轨能够提高所述工件电主轴的滑动精度，进而进一步提高了打磨工件的加工精度，而且还提高了支撑刚度、减震性能和疲劳寿命。使用直线电机驱动还能够提高***动态性能、速度范围更广和磨损更小。
附图说明
图1为本发明的闭式静压导轨的结构示意图；
图2为本发明的闭式静压导轨的一个视角的装配***图；
图3为本发明的闭式静压导轨的另一个视角的装配***图；
图4为本发明的闭式静压导轨的俯剖视图；
图5为图4的A-A剖视图；
图6为图4的B-B剖视图；
图7为图4的C-C剖视图；
图8为本发明的超精密球轴承套圈磨削设备的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明。
实施例一
如图1~7所示，一种闭式静压导轨，它包括滑台100和轨体1；其中，
所述滑台100沿前后方向滑动连接在所述轨体1上；
所述滑台100中设有至少一个与所述轨体1的左侧端的上端面配合抵接的第一配合面2、至少一个与所述轨体1的左侧端的下端面配合抵接的第二配合面3、至少一个与所述轨体1的左侧面配合抵接的第三配合面4、至少一个与所述轨体1的右侧端的上端面配合抵接的第四配合面5、至少一个与所述轨体1的右侧端的下端面配合抵接的第五配合面6以及至少一个与所述轨体1的右侧面配合抵接的第六配合面7；
所述第一配合面2上设有第一油腔8，所述第二配合面3上设有第二油腔9，所述第三配合面4上设有第三油腔10，所述第四配合面5上设有第四油腔11，所述第五配合面6上设有第五油腔12，所述第六配合面7上设有第六油腔13；
所述滑台100中还设有油路***，所述油路***包括左集油通道14、右集油通道15、连接通道16、至少一个进油口17、与所述第一油腔8对应的第一导油通道18、与所述第二油腔9对应的第二导油通道19、与所述第三油腔10对应的第三导油通道20、与所述第四油腔11对应的第四导油通道21、与所述第五油腔12对应的第五导油通道22以及与所述第六油腔13对应的第六导油通道23；
所述左集油通道14、右集油通道15和连接通道16中的至少一个与所述进油口17相连；
所述连接通道16的一端部与所述左集油通道14相连，所述连接通道16的另一端部与所述右集油通道15相连，进而使所述左集油通道14和所述右集油通道15相连通；
所述第一导油通道18的一端部与所述左集油通道14相连，所述第一导油通道18的另一端部与对应的所述第一油腔8相连；
所述第二导油通道19的一端部与所述左集油通道14相连，所述第二导油通道19的另一端部与对应的所述第二油腔9相连；
所述第三导油通道20的一端部与所述左集油通道14相连，所述第三导油通道20的另一端部与对应的所述第三油腔10相连；
所述第四导油通道21的一端部与所述右集油通道15相连，所述第四导油通道21的另一端部与对应的所述第四油腔11相连；
所述第五导油通道22的一端部与所述右集油通道15相连，所述第五导油通道22的另一端部与对应的所述第五油腔12相连；
所述第六导油通道23的一端部与所述右集油通道15相连，所述第六导油通道23的另一端部与对应的所述第六油腔13相连；具体的，当油液从所述进油口17流入所述左集油通道14、右集油通道15和连接通道16中后，油液会从第一导油通道18流入所述第一油腔8中，从第二导油通道19流入所述第二油腔9中，从第三导油通道20流入所述第三油腔10中，从第四导油通道21流入所述第四油腔11中，从第五导油通道22流入所述第五油腔12中，从第六导油通道23流入所述第六油腔13中。然后所述第一油腔8中的油液会渗入所述第一配合面2和所述轨体1之间形成油膜，第二油腔9中的油液会渗入所述第二配合面3和所述轨体1之间形成油膜，第三油腔10中的油液会渗入所述第三配合面4和所述轨体1之间形成油膜，第四油腔11中的油液会渗入所述第四配合面5和所述轨体1之间形成油膜，第五油腔12中的油液会渗入所述第五配合面6和所述轨体1之间形成油膜，第六油腔13中的油液会渗入所述第六配合面7和所述轨体1之间形成油膜，油膜能够起到润滑作用，减少磨损。在本实施例中，只需要通过一根外部输油管将油液导入所述进油口17，油液就能通过所述油路***流动进而为各部位供油；一方面油路***布局简单合理，方便加工，能够节省加工成本；另一方面，油液在所述油路***中流动，不必再连接很多外部输油管，使外部输油管的布置更简单、简洁，提高了使用的方便性。
在本实施例中，所述第一配合面2、第二配合面3、第三配合面4、第四配合面5、第五配合面6和第六配合面7分别设有两个；所述第一油腔8与所述第一导油通道18一一对应、所述第二油腔9与第二导油通道19一一对应、所述第三油腔10与第三导油通道20一一对应、所述第四油腔11与第四导油通道21一一对应、所述第五油腔12与第五导油通道22一一对应、所述第六油腔13与第六导油通道23一一对应；所述第一油腔8、第二油腔9、第三油腔10、第四油腔11、第五油腔12和第六油腔13均为凹腔。
如图4所示，所述左集油通道14可以设于所述滑台100的左端部中并沿前后方向延伸；
所述右集油通道15可以设于所述滑台100的右端部中并沿前后方向延伸；
所述连接通道16沿横向延伸，在本实施例中，所述横向即为左右方向；
所述进油口17可以设有四个；
其中第一个进油口17位于所述滑台100左侧端的前端部并与所述左集油通道14的前端部连通；
其中第二个进油口17位于所述滑台100左侧端的后端部并与所述左集油通道14的后端部连通；
其中第三个进油口17位于所述滑台100右侧端的前端部并与所述右集油通道15的前端部连通；
其中第四个进油口17位于所述滑台100右侧端的后端部并与所述右集油通道15的后端部连通；在本实施例中，只有一个进油口17与外部输油管相连，其余三个进油口17均可以用堵头堵住；这样设计的好处在于，可以根据外部输油管和所述滑台100的实际空间布局，选择最靠近所述外部输油管的进油口17与外部输油管相连，进而方便了外部输油管的布置。
如图2~7所示，所述滑台100可以包括主体部24、左滑块25和右滑块26；其中，
所述左滑块25连接在所述主体部24的左侧端，所述右滑块26连接在所述主体部24的右侧端；具体的，所述左滑块25和所述右滑块26均通过连接螺栓锁紧连接在所述主体部24上；
所述第一配合面2、第一油腔8、第四配合面5和第四油腔11均设于所述主体部24上；
所述第二配合面3、第二油腔9、第三配合面4和第三油腔10均设于所述左滑块25上；
所述第五配合面6、第五油腔12、第六配合面7和第六油腔13均设于所述右滑块26上；
所述左集油通道14、右集油通道15、连接通道16、第一导油通道18和第四导油通道21均设于所述主体部24中；
所述第二导油通道19的一部分设于所述主体部24中，所述第二导油通道19的另一部分设于所述左滑块25中；
所述第三导油通道20的一部分设于所述主体部24中，所述第三导油通道20的另一部分设于所述左滑块25中；
所述第五导油通道22的一部分设于所述主体部24中，所述第五导油通道22的另一部分设于所述右滑块26中；
所述第六导油通道23的一部分设于所述主体部24中，所述第六导油通道23的另一部分设于所述右滑块26中。
如图4~7所示，所述第一导油通道18可以包括第一横向孔27和第一竖向孔28；其中，
所述第一横向孔27和所述第一竖向孔28均设于所述主体部24中；
所述第一横向孔27的一端部与所述左集油通道14相连；
所述第一横向孔27的另一端部与所述第一竖向孔28的上端部相连；
所述第一竖向孔28的下端部与对应的所述第一油腔8相连；
所述第二导油通道19可以包括第二上横向孔29、第二下横向孔30、第二上竖向孔31、第二下竖向孔32和连接孔33；其中，
所述第二上横向孔29和所述第二上竖向孔31均设于所述主体部24中；
所述第二下横向孔30、第二下竖向孔32和连接孔33均设于所述左滑块25中；
所述第二上横向孔29、第二上竖向孔31、第二下竖向孔32、第二下横向孔30和连接孔33依次相连；
所述第二上横向孔29还与所述左集油通道14相连；
所述连接孔33还与对应的所述第二油腔9相连；
所述主体部24与所述左滑块25之间还连接有使所述第二上竖向孔31和所述第二下竖向孔32密封连接的第一密封圈；
所述第三导油通道20可以包括第三上横向孔34、第三下横向孔35、第三上竖向孔36和第三下竖向孔37；其中，
所述第三上横向孔34和所述第三上竖向孔36均设于所述主体部24中；
所述第三下横向孔35和所述第三下竖向孔37均设于所述左滑块25中；
所述第三上横向孔34、第三上竖向孔36、第三下竖向孔37和第三下横向孔35依次相连；
所述第三上横向孔34还与所述左集油通道14相连；
所述第三下横向孔35还与对应的所述第三油腔10相连；
所述主体部24与所述左滑块25之间还连接有使所述第三上竖向孔36和所述第三下竖向孔37密封连接的第二密封圈；
所述第四导油通道21可以包括第四横向孔38和第四竖向孔39；其中，
所述第四横向孔38和所述第四竖向孔39均设于所述主体部24中；
所述第四横向孔38的一端部与所述右集油通道15相连；
所述第四横向孔38的另一端部与所述第四竖向孔39的上端部相连；
所述第四竖向孔39的下端部与对应的所述第四油腔11相连；
所述第五导油通道22可以包括第五上横向孔40、第五下横向孔41、第五上竖向孔42、第五下竖向孔43和导通孔44；其中，
所述第五上横向孔40和所述第五上竖向孔42均设于所述主体部24中；
所述第五下横向孔41、第五下竖向孔43和导通孔44均设于所述右滑块26中；
所述第五上横向孔40、第五上竖向孔42、第五下竖向孔43、第五下横向孔41和导通孔44依次相连；
所述第五上横向孔40还与所述右集油通道15相连；
所述导通孔44还与对应的所述第五油腔12相连；
所述主体部24与所述右滑块26之间还连接有使所述第五上竖向孔42和所述第五下竖向孔43密封连接的第三密封圈；
所述第六导油通道23可以包括第六上横向孔45、第六下横向孔46、第六上竖向孔47和第六下竖向孔48；其中，
所述第六上横向孔45和所述第六上竖向孔47均设于所述主体部24中；
所述第六下横向孔46和所述第六下竖向孔48均设于所述右滑块26中；
所述第六上横向孔45、第六上竖向孔47、第六下竖向孔48和第六下横向孔46依次相连；
所述第六上横向孔45还与所述右集油通道15相连；
所述第六下横向孔46还与对应的所述第六油腔13相连；
所述主体部24与所述右滑块26之间还连接有使所述第六上竖向孔47和所述第六下竖向孔48密封连接的第四密封圈。
如图5~7所示，所述滑台100和所述轨体1之间还可以设有适于安装直线电机49的安装通道50；具体的，所述直线电机49适于驱动所述滑台100在所述轨体1上滑动，所述直线电机49的定子连接在所述轨体1上，所述直线电机49的动子连接在所述滑台100上。
如图1所示，所述闭式静压导轨还可以包括光栅尺51，所述光栅尺51包括标尺光栅和光栅读数头；其中，
所述标尺光栅连接在所述滑台100和所述轨体1中的任意一个上；
所述光栅读数头连接在所述滑台100和所述轨体1中的剩余一个上并与所述标尺光栅配合安装；在本实施例中，所述标尺光栅连接在所述滑台100上，所述光栅读数头装在所述轨体1上，所述滑台100上还连接有用于保护所述光栅尺51的防护盒。具体的，所述光栅尺51适于精确定位所述滑台100在所述轨体1上的位置，所述直线电机49和所述光栅尺51的具体结构均为本领域技术人员熟知的现有技术，本实施例中不作具体赘述。
如图1所示，所述轨体1上还连接有适于限制所述滑台100的行程的限位开关52；具体的，所述轨体1的两端部分别设有一个所述限位开关52，当所述滑台100触碰到所述限位开关52时，所述限位开关52向控制器发出控制信号，所述控制器根据接收到的控制信号控制所述直线电机49反向动作，进而驱动所述滑台100在所述轨体1上往复运动。
如图4~7所示，所述第一导油通道18、第二导油通道19、第三导油通道20、第四导油通道21、第五导油通道22和第六导油通道23中的至少一个中设有节流器53；在本实施例中，所述第一导油通道18、第二导油通道19、第三导油通道20、第四导油通道21、第五导油通道22和第六导油通道23中全部设有节流器53，所述节流器53能够调节所述第一油腔8、第二油腔9、第三油腔10、第四油腔11、第五油腔12和第六油腔13中的油压，以使油压能够根据外部载荷的变化而自行调节以平衡外部载荷，具体的，所述节流器53的具体结构为本领域技术人员熟知的现有技术，本实施例中不作具体赘述。
实施例二
如图1、8所示，一种超精密球轴承套圈磨削设备，它包括机架54、工件电主轴55、打磨轮电主轴56和至少两个如实施例一所述的闭式静压导轨；其中，
至少两个所述闭式静压导轨中包括X向闭式静压导轨和Y向闭式静压导轨；
所述X向闭式静压导轨中的轨体1和所述Y向闭式静压导轨中的轨体1均连接在所述机架54上；
所述工件电主轴55连接在所述Y向闭式静压导轨中的滑台100上并通过所述Y向闭式静压导轨沿Y向滑动连接在所述机架54上，所述工件电主轴55上适于安装工件并适于带动所述工件旋转；
所述打磨轮电主轴56连接在所述X向闭式静压导轨中的滑台100上并通过所述X向闭式静压导轨沿X向滑动连接在所述机架54上，所述打磨轮电主轴56上适于安装打磨轮并适于驱动所述打磨轮旋转以打磨所述工件；
所述X向闭式静压导轨和所述Y向闭式静压导轨中还分别安装有直线电机49，所述直线电机49安装在所述滑台100和所述轨体1之间并适于驱动所述滑台100相对所述轨体1滑动；在本实施例中，所述X向与所述Y向垂直，所述工件电主轴55的轴向和所述打磨轮电主轴56的轴向均沿X向设置；具体的，所述工件可以为超精密球轴承的套圈，所述打磨轮可以为砂轮。进一步具体的，所述X向闭式静压导轨能够提高所述打磨轮电主轴56的滑动精度，所述Y向闭式静压导轨能够提高所述工件电主轴55的滑动精度，进而能够提高打磨工件的加工精度。
如图1、8所示，所述机架54可以包括底部支撑架和大理石台面57，所述X向闭式静压导轨中的轨体1和所述Y向闭式静压导轨中的轨体1均连接在所述大理石台面57上；
所述工件电主轴55和打磨轮电主轴56均为液体静压电主轴；在本实施例中，采用所述液体静压电主轴能够提高所述工件和所述打磨轮的旋转精度，能够减小振动，进而能够提高打磨精度；采用大理石台面57与现有的铁质贴面相比能够减少振动，提高稳定性。具体的，所述液体静压电主轴的具体结构为本领域技术人员熟知的现有技术，本实施例中不作具体赘述，所述底部支撑架的底部还连接有防震垫58。具体的，本专利的超精密球轴承套圈磨削设备能够用于加工精密角接触球轴承外圈内钩和内圈外圆。
本发明的工作原理如下：
当油液从所述进油口17流入所述左集油通道14、右集油通道15和连接通道16中后，油液会从第一导油通道18流入所述第一油腔8中，从第二导油通道19流入所述第二油腔9中，从第三导油通道20流入所述第三油腔10中，从第四导油通道21流入所述第四油腔11中，从第五导油通道22流入所述第五油腔12中，从第六导油通道23流入所述第六油腔13中。然后所述第一油腔8中的油液会渗入所述第一配合面2和所述轨体1之间形成油膜，第二油腔9中的油液会渗入所述第二配合面3和所述轨体1之间形成油膜，第三油腔10中的油液会渗入所述第三配合面4和所述轨体1之间形成油膜，第四油腔11中的油液会渗入所述第四配合面5和所述轨体1之间形成油膜，第五油腔12中的油液会渗入所述第五配合面6和所述轨体1之间形成油膜，第六油腔13中的油液会渗入所述第六配合面7和所述轨体1之间形成油膜，油膜能够起到润滑作用，减少磨损。并且只需要通过一根外部输油管将油液导入所述进油口17，油液就能通过所述油路***流动进而为各部位供油；一方面油路***布局简单合理，方便加工，能够节省加工成本；另一方面，油液在所述油路***中流动，不必再连接很多外部输油管，使外部输油管的布置更简单、简洁，提高了使用的方便性。
此外，在所述超精密球轴承套圈磨削设备中，所述工件电主轴55和打磨轮电主轴56均采用液体静压电主轴，液体静压电主轴与皮带传动式主轴相比具有振动小的优点，进而提高了所述工件和所述打磨轮的旋转精度，进而提高了打磨精度。所述X向闭式静压导轨能够提高所述打磨轮电主轴56的滑动精度，所述Y向闭式静压导轨能够提高所述工件电主轴55的滑动精度，进而进一步提高了打磨工件的加工精度，而且还提高了支撑刚度、减震性能和疲劳寿命。使用直线电机49驱动还能够提高***动态性能、速度范围更广和磨损更小。
以上所述的具体实施例，对本发明解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本发明的具体实施例而已，并不用于限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种闭式静压导轨，其特征在于，它包括滑台（100）和轨体（1）；其中，
所述滑台（100）沿前后方向滑动连接在所述轨体（1）上；
所述滑台（100）中设有至少一个与所述轨体（1）的左侧端的上端面配合抵接的第一配合面（2）、至少一个与所述轨体（1）的左侧端的下端面配合抵接的第二配合面（3）、至少一个与所述轨体（1）的左侧面配合抵接的第三配合面（4）、至少一个与所述轨体（1）的右侧端的上端面配合抵接的第四配合面（5）、至少一个与所述轨体（1）的右侧端的下端面配合抵接的第五配合面（6）以及至少一个与所述轨体（1）的右侧面配合抵接的第六配合面（7）；
所述第一配合面（2）上设有第一油腔（8），所述第二配合面（3）上设有第二油腔（9），所述第三配合面（4）上设有第三油腔（10），所述第四配合面（5）上设有第四油腔（11），所述第五配合面（6）上设有第五油腔（12），所述第六配合面（7）上设有第六油腔（13）；
所述滑台（100）中还设有油路***，所述油路***包括左集油通道（14）、右集油通道（15）、连接通道（16）、至少一个进油口（17）、与所述第一油腔（8）对应的第一导油通道（18）、与所述第二油腔（9）对应的第二导油通道（19）、与所述第三油腔（10）对应的第三导油通道（20）、与所述第四油腔（11）对应的第四导油通道（21）、与所述第五油腔（12）对应的第五导油通道（22）以及与所述第六油腔（13）对应的第六导油通道（23）；
所述左集油通道（14）、右集油通道（15）和连接通道（16）中的至少一个与所述进油口（17）相连；
所述连接通道（16）的一端部与所述左集油通道（14）相连，所述连接通道（16）的另一端部与所述右集油通道（15）相连；
所述第一导油通道（18）的一端部与所述左集油通道（14）相连，所述第一导油通道（18）的另一端部与对应的所述第一油腔（8）相连；
所述第二导油通道（19）的一端部与所述左集油通道（14）相连，所述第二导油通道（19）的另一端部与对应的所述第二油腔（9）相连；
所述第三导油通道（20）的一端部与所述左集油通道（14）相连，所述第三导油通道（20）的另一端部与对应的所述第三油腔（10）相连；
所述第四导油通道（21）的一端部与所述右集油通道（15）相连，所述第四导油通道（21）的另一端部与对应的所述第四油腔（11）相连；
所述第五导油通道（22）的一端部与所述右集油通道（15）相连，所述第五导油通道（22）的另一端部与对应的所述第五油腔（12）相连；
所述第六导油通道（23）的一端部与所述右集油通道（15）相连，所述第六导油通道（23）的另一端部与对应的所述第六油腔（13）相连。
2.根据权利要求1所述的闭式静压导轨，其特征在于，
所述左集油通道（14）设于所述滑台（100）的左端部中并沿前后方向延伸；
所述右集油通道（15）设于所述滑台（100）的右端部中并沿前后方向延伸；
所述连接通道（16）沿横向延伸；
所述进油口（17）设有四个；
其中第一个进油口（17）位于所述滑台（100）左侧端的前端部并与所述左集油通道（14）的前端部连通；
其中第二个进油口（17）位于所述滑台（100）左侧端的后端部并与所述左集油通道（14）的后端部连通；
其中第三个进油口（17）位于所述滑台（100）右侧端的前端部并与所述右集油通道（15）的前端部连通；
其中第四个进油口（17）位于所述滑台（100）右侧端的后端部并与所述右集油通道（15）的后端部连通。
3.根据权利要求1所述的闭式静压导轨，其特征在于，所述滑台（100）包括主体部（24）、左滑块（25）和右滑块（26）；其中，
所述左滑块（25）连接在所述主体部（24）的左侧端，所述右滑块（26）连接在所述主体部（24）的右侧端；
所述第一配合面（2）、第一油腔（8）、第四配合面（5）和第四油腔（11）均设于所述主体部（24）上；
所述第二配合面（3）、第二油腔（9）、第三配合面（4）和第三油腔（10）均设于所述左滑块（25）上；
所述第五配合面（6）、第五油腔（12）、第六配合面（7）和第六油腔（13）均设于所述右滑块（26）上；
所述左集油通道（14）、右集油通道（15）、连接通道（16）、第一导油通道（18）和第四导油通道（21）均设于所述主体部（24）中；
所述第二导油通道（19）的一部分设于所述主体部（24）中，所述第二导油通道（19）的另一部分设于所述左滑块（25）中；
所述第三导油通道（20）的一部分设于所述主体部（24）中，所述第三导油通道（20）的另一部分设于所述左滑块（25）中；
所述第五导油通道（22）的一部分设于所述主体部（24）中，所述第五导油通道（22）的另一部分设于所述右滑块（26）中；
所述第六导油通道（23）的一部分设于所述主体部（24）中，所述第六导油通道（23）的另一部分设于所述右滑块（26）中。
4.根据权利要求3所述的闭式静压导轨，其特征在于，
所述第一导油通道（18）包括第一横向孔（27）和第一竖向孔（28）；其中，
所述第一横向孔（27）和所述第一竖向孔（28）均设于所述主体部（24）中；
所述第一横向孔（27）的一端部与所述左集油通道（14）相连；
所述第一横向孔（27）的另一端部与所述第一竖向孔（28）的上端部相连；
所述第一竖向孔（28）的下端部与对应的所述第一油腔（8）相连；
和/或所述第二导油通道（19）包括第二上横向孔（29）、第二下横向孔（30）、第二上竖向孔（31）、第二下竖向孔（32）和连接孔（33）；其中，
所述第二上横向孔（29）和所述第二上竖向孔（31）均设于所述主体部（24）中；
所述第二下横向孔（30）、第二下竖向孔（32）和连接孔（33）均设于所述左滑块（25）中；
所述第二上横向孔（29）、第二上竖向孔（31）、第二下竖向孔（32）、第二下横向孔（30）和连接孔（33）依次相连；
所述第二上横向孔（29）还与所述左集油通道（14）相连；
所述连接孔（33）还与对应的所述第二油腔（9）相连；
所述主体部（24）与所述左滑块（25）之间还连接有使所述第二上竖向孔（31）和所述第二下竖向孔（32）密封连接的第一密封圈；
和/或所述第三导油通道（20）包括第三上横向孔（34）、第三下横向孔（35）、第三上竖向孔（36）和第三下竖向孔（37）；其中，
所述第三上横向孔（34）和所述第三上竖向孔（36）均设于所述主体部（24）中；
所述第三下横向孔（35）和所述第三下竖向孔（37）均设于所述左滑块（25）中；
所述第三上横向孔（34）、第三上竖向孔（36）、第三下竖向孔（37）和第三下横向孔（35）依次相连；
所述第三上横向孔（34）还与所述左集油通道（14）相连；
所述第三下横向孔（35）还与对应的所述第三油腔（10）相连；
所述主体部（24）与所述左滑块（25）之间还连接有使所述第三上竖向孔（36）和所述第三下竖向孔（37）密封连接的第二密封圈；
和/或所述第四导油通道（21）包括第四横向孔（38）和第四竖向孔（39）；其中，
所述第四横向孔（38）和所述第四竖向孔（39）均设于所述主体部（24）中；
所述第四横向孔（38）的一端部与所述右集油通道（15）相连；
所述第四横向孔（38）的另一端部与所述第四竖向孔（39）的上端部相连；
所述第四竖向孔（39）的下端部与对应的所述第四油腔（11）相连；
和/或所述第五导油通道（22）包括第五上横向孔（40）、第五下横向孔（41）、第五上竖向孔（42）、第五下竖向孔（43）和导通孔（44）；其中，
所述第五上横向孔（40）和所述第五上竖向孔（42）均设于所述主体部（24）中；
所述第五下横向孔（41）、第五下竖向孔（43）和导通孔（44）均设于所述右滑块（26）中；
所述第五上横向孔（40）、第五上竖向孔（42）、第五下竖向孔（43）、第五下横向孔（41）和导通孔（44）依次相连；
所述第五上横向孔（40）还与所述右集油通道（15）相连；
所述导通孔（44）还与对应的所述第五油腔（12）相连；
所述主体部（24）与所述右滑块（26）之间还连接有使所述第五上竖向孔（42）和所述第五下竖向孔（43）密封连接的第三密封圈；
和/或所述第六导油通道（23）包括第六上横向孔（45）、第六下横向孔（46）、第六上竖向孔（47）和第六下竖向孔（48）；其中，
所述第六上横向孔（45）和所述第六上竖向孔（47）均设于所述主体部（24）中；
所述第六下横向孔（46）和所述第六下竖向孔（48）均设于所述右滑块（26）中；
所述第六上横向孔（45）、第六上竖向孔（47）、第六下竖向孔（48）和第六下横向孔（46）依次相连；
所述第六上横向孔（45）还与所述右集油通道（15）相连；
所述第六下横向孔（46）还与对应的所述第六油腔（13）相连；
所述主体部（24）与所述右滑块（26）之间还连接有使所述第六上竖向孔（47）和所述第六下竖向孔（48）密封连接的第四密封圈。
5.根据权利要求1所述的闭式静压导轨，其特征在于，所述滑台（100）和所述轨体（1）之间还设有适于安装直线电机（49）的安装通道（50）。
6.根据权利要求1所述的闭式静压导轨，其特征在于，还包括光栅尺（51），所述光栅尺（51）包括标尺光栅和光栅读数头；其中，
所述标尺光栅连接在所述滑台（100）和所述轨体（1）中的任意一个上；
所述光栅读数头连接在所述滑台（100）和所述轨体（1）中的剩余一个上并与所述标尺光栅配合安装。
7.根据权利要求1所述的闭式静压导轨，其特征在于，所述轨体（1）上还连接有适于限制所述滑台（100）的行程的限位开关（52）。
8.根据权利要求1所述的闭式静压导轨，其特征在于，所述第一导油通道（18）、第二导油通道（19）、第三导油通道（20）、第四导油通道（21）、第五导油通道（22）和第六导油通道（23）中的至少一个中设有节流器（53）。
9.一种超精密球轴承套圈磨削设备，其特征在于，它包括机架（54）、工件电主轴（55）、打磨轮电主轴（56）和至少两个如权利要求1~8中任一项所述的闭式静压导轨；其中，
至少两个所述闭式静压导轨中包括X向闭式静压导轨和Y向闭式静压导轨；
所述X向闭式静压导轨中的轨体（1）和所述Y向闭式静压导轨中的轨体（1）均连接在所述机架（54）上；
所述工件电主轴（55）连接在所述Y向闭式静压导轨中的滑台（100）上并通过所述Y向闭式静压导轨沿Y向滑动连接在所述机架（54）上，所述工件电主轴（55）上适于安装工件并适于带动所述工件旋转；
所述打磨轮电主轴（56）连接在所述X向闭式静压导轨中的滑台（100）上并通过所述X向闭式静压导轨沿X向滑动连接在所述机架（54）上，所述打磨轮电主轴（56）上适于安装打磨轮并适于驱动所述打磨轮旋转以打磨所述工件；
所述X向闭式静压导轨和所述Y向闭式静压导轨中还分别安装有直线电机（49），所述直线电机（49）安装在所述滑台（100）和所述轨体（1）之间并适于驱动所述滑台（100）相对所述轨体（1）滑动。
10.根据权利要求9所述的超精密球轴承套圈磨削设备，其特征在于，
所述机架（54）包括底部支撑架和大理石台面（57），所述X向闭式静压导轨中的轨体（1）和所述Y向闭式静压导轨中的轨体（1）均连接在所述大理石台面（57）上；
所述工件电主轴（55）和打磨轮电主轴（56）均为液体静压电主轴。
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