CN113642819A - 连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置和方法 - Google Patents

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CN113642819A CN202010392298.0A CN202010392298A CN113642819A CN 113642819 A CN113642819 A CN 113642819A CN 202010392298 A CN202010392298 A CN 202010392298A CN 113642819 A CN113642819 A CN 113642819A
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徐秋晨
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张赛楠
郑小平
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Abstract

本发明公开了一种连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置,包括用于在站点异常时进行产品调度的风险等级定义模块和风险管控逻辑模块;风险等级定义模块将风险分成多个等级且在每个站点定义对应的站风险等级以及将产品当前站点到异常站点之间的连环许容时间区段分成当前许容时间区段、中间许容时间区段和异常许容时间区段并分别定义对应的第一区段风险等级、第二区段风险等级和第三区段风险等级;风险管控逻辑模块根据第一至第三区段风险等级的逻辑关系形成当前产品调度结果。本发明还公开了一种连环许容时间区段站点异常时产品自动调度方法。本发明能在连环许容时间区段站点异常时根据相关许容时间区段的风险程度进行智能化调度处理。

Description

连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置和方法
技术领域
本发明涉及半导体集成电路制造领域,特别是涉及一种连环许容时间(qtime)区段站点异常时产品自动调度装置。本发明还涉及一种连环许容时间区段站点异常时产品自动调度方法。
背景技术
在半导体集成电路制造中,产品需要进行多个工艺步骤,产品在各个工艺步骤之间的调度通常采用制造执行***(Manufacture Execution System,MES)进行控制。
产品工艺流程中包括连环许容时间区段,连环许容时间区段包括多个首尾相连的许容时间区段,各许容时间区段包括一个以上的许容时间区,各许容时间区包括一个以上的站点。图1A中,各所述站点用标记101所示的圆圈表示,且在圆圈101中分别用站点1、站点2和站点3表示对应编号的站点。
一个所述站点对应于所述产品工艺流程中的一个工艺步骤,一个工艺步骤需要采用一台以上的半导体制造生产线上的机台设备实现。需要在所述产品工艺流程的各站点上进行生产的产品也称为在制品。
所述产品在一个所述站点完成之后,会进入下一个所述站点进行作业。
有些所述站点完成之后,需要在许容时间(qtime,QT)内完成后续对应的工艺,否则所述产品的质量会出现问题,严重的话会报废,轻的话会影响产品性能,如果可以返工的话则需要进行返工。图1A中qtime用QT简称。
所述许容时间区是指一个qtime对应的流程区间,所述许容时间区包括了1个以上的所述站点,其中,第一个站点为QT开始后的第一个站点,当所述许容时间区包括了1个所述站点时,第一个站点即为终止站点;而当所述许容时间区包括了2个所述站点时,第一个站点之后还包括多个站点,最后一个所述站点为终止站点。图1A中,QT1表示站点1完成之后的许容时间,QT1对应的第一个站点为站点2,站点1和站点2为连续站点,站点2也为终止站点,即这个所述许容时间区包括了1个所述站点。例如:站点1为光刻工艺,站点2为刻蚀工艺,站点1的光刻工艺完成后,需要在QT1定义的时间范围内完成站点2的刻蚀工艺,这时所述许容时间区对应于1个站点;而如果在光刻工艺完成后,还需要进行多个测量步骤如尺寸测量和缺陷测量等,则在进行站点2对应的刻蚀工艺之前还包括多个测量步骤对应的站点,这时QT1就包括多个站点。
连环许容时间区段是指两个相邻的所述许容时间区中,上一个所述许容时间区的终止站点为后一个所述许容时间区的起始站点。如图1A中,站点2在作为QT1对应的许容时间区的终止站点同时还作为QT2对应的许容时间区的起始站点。QT2和QT1形成连环许容时间区段。
对于图1A所示的包括3个站点的连环许容时间区段,当站点3出现断线或堆货时,站点2上的产品是否需要向下游放货,则需要同时考虑QT1和QT2两个参数,例如:如果QT1为24小时,QT2为2小时;QT1意味着产品在完成站点1的工艺后需要在24小时内完成站点2的工艺,剩余站点时间为QT1减去产品从完成站点1开始计算得到的时间,例如,产品已完成站点1的时间为7小时,则剩余站点时间为17小时;由于剩余站点时间大于QT2,所以,这时站点2可以不向下游放货,因为如果在站点2放货的话,必须要在QT2对应的两个小时内完成站点3的工艺,而如果站点3不能在两个小时内恢复的话,则势必会对产品产生不利影响;而如果不放货,则如果站点3在19小时内恢复的话,产品不会受到影响。所以,对于连环许容时间区段,当出现站点异常时,各站点的产品调度需要同时考虑不同的QT才能得到较佳的调度结果。
上述图1A对应于现有连环许容时间区段站点异常时对应的第一种情形的流程图,可以看出,第一种情形中,站点2位异常站点3的前一个站点。图1B则是现有连环许容时间区段站点异常时对应的第二种情形的流程图,第二种情形中异常站点为站点4,QT3对应的起始站点为站点3以及终止站点为站点4,由于站点4发生异常,故站点2上的产品的调度需要同时考虑连环许容时间区段上的QT1、QT2和QT3。显然,和图1A相比,图1B对应的站点2的调度更加复杂。
现有技术中,不同产品或同一产品的不同工艺循环(loop)由不同产品所有者(owner)管理,不同owner对于qtime规格(spec)的定义存在偏差,这也使得,当连环许容时间区段出现站点异常时,不同的owner会产生的调度结果可能会有偏差;而且,随着连环许容时间区段的长度增加,现有方法对各站点的调度的复杂性也会增加;现有方法中,调度是采用一刀切的形式:放或不放,进行调度,即通过对应的产品owner进行一刀切的形式进行调度,无法反映相关连环许容时间区段的风险程度以及无法实现智能化管控。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置,能在连环许容时间区段站点异常时根据相关许容时间区段的风险程度进行智能化调度处理,从而能降低产品品质风险。为此,本发明还提供一种连环许容时间区段站点异常时产品自动调度方法。
为解决上述技术问题,本发明提供的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置中设置有产品工艺流程模块,产品工艺流程中包括连环许容时间区段,所述连环许容时间区段包括多个首尾相连的许容时间区段,各所述许容时间区段包括一个以上的许容时间区,各所述许容时间区包括一个以上的站点;
产品自动调度装置包括用于在站点异常时进行产品调度的风险等级定义模块和风险管控逻辑模块。
所述风险等级定义模块将风险分成多个等级且在每个所述站点定义对应的站风险等级。
所述风险等级定义模块将产品当前站点到异常站点之间的连环许容时间区段分成当前许容时间区段、中间许容时间区段和异常许容时间区段并分别定义第一区段风险等级、第二区段风险等级和第三区段风险等级。
所述当前许容时间区段为当前站点所属的许容时间区段,所述异常许容时间区段为异常站点所属的许容时间区段,所述中间许容时间区段为所述当前许容时间区段和所述异常许容时间区段之间的所有许容时间区段。
所述第一区段风险等级为所述当前许容时间区段的风险等级,所述第二区段风险等级为所述中间许容时间区段的风险等级,所述第三区段风险等级为所述异常许容时间区段的风险等级。
所述风险管控逻辑模块根据所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级的逻辑关系形成当前产品调度结果。
进一步的改进是,所述第一区段风险等级取值为所述当前站点的站风险等级。
所述中间许容时间区段中,各所述许容时间区具有区风险等级,将所述许容时间区中最小的站风险等级取为对应的所述许容时间区的区风险等级,将所述中间许容时间区段中最大的区风险等级取为所述第二区段风险等级。
所述异常许容时间区段中,各所述许容时间区具有区风险等级,将所述许容时间区中最小的站风险等级取为对应的所述许容时间区的区风险等级,将所述异常许容时间区段中最小的区风险等级取为所述第三区段风险等级。
进一步的改进是,风险等级采用安全系数表示。
进一步的改进是,所述风险等级分成四个等级,第一等级对应的安全系数为0,第二等级对应的安全系数为1,第三等级对应的安全系数为2,第四等级对应的安全系数为3;从第一等级到第四等级,风险依次降低。
进一步的改进是,所述站风险等级的第一等级到第四等级根据所述站点对产品的许容时间的要求确定且从第一等级到第四等级风险逐步降低。
第一等级对应的产品控制逻辑为禁入和立即放货。
第二等级对应的产品控制逻辑为禁入和条件放货。
第三等级对应的产品控制逻辑为条件入和条件放货。
第四等级对应于的产品控制逻辑为直接入和禁止放货。
进一步的改进是,所述风险管控逻辑模块中,所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级的逻辑关系和对应的当前产品调度结果包括:
当Vm或Ve等于3时,立即放货。
当Vs=3,Vm和Ve都小于3时,禁止放货。
当Vs≤Ve且Vs>0时,条件放货。
当Vs≤Ve且Vs=0时,立即放货。
当Vs>Ve且Ve大于1时,条件放货。
当Vm≥Vs>Ve且Ve等于0或1时,条件放货。
当Vm<Vs>Ve且Ve等于0或1时,禁止放货。
其中,Vs表示所述第一区段风险等级的安全系数。
Vm表示所述第二区段风险等级的安全系数。
Ve表示所述第三区段风险等级的安全系数。
进一步的改进是,所述条件放货对应的条件为:所述当前产品的剩余许容时间和许容时限的比值小于设定值。
进一步的改进是,所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级形成的逻辑关系包括多个并形成有多个对应的所述当前产品调度结果时,按照禁止放货、条件放货和立即放货的优先顺序从多个所述当前产品调度结果选取一个作为最终的所述当前产品调度结果。
进一步的改进是,所述异常站点为发生断线或堆货时的站点。
为解决上述技术问题,本发明提供的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度方法用于对产品工艺流程进行控制,所述产品工艺流程中包括连环许容时间区段,所述连环许容时间区段包括多个首尾相连的许容时间区段,各所述许容时间区段包括一个以上的许容时间区,各所述许容时间区包括一个以上的站点。
在站点异常时,产品自动调度方法包括步骤:进行风险等级定义步骤和进行风险管控逻辑控制步骤。
所述风险等级定义步骤包括:
将风险分成多个等级且在每个所述站点定义对应的站风险等级;
将产品当前站点到异常站点之间的连环许容时间区段分成当前许容时间区段、中间许容时间区段和异常许容时间区段并分别定义第一区段风险等级、第二区段风险等级和第三区段风险等级;
所述当前许容时间区段为当前站点所属的许容时间区段,所述异常许容时间区段为异常站点所属的许容时间区段,所述中间许容时间区段为所述当前许容时间区段和所述异常许容时间区段之间的所有许容时间区段;
所述第一区段风险等级为所述当前许容时间区段的风险等级,所述第二区段风险等级为所述中间许容时间区段的风险等级,所述第三区段风险等级为所述异常许容时间区段的风险等级。
所述风险管控逻辑控制步骤包括:根据所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级的逻辑关系形成当前产品调度结果。
进一步的改进是,所述第一区段风险等级取值为所述当前站点的站风险等级。
所述中间许容时间区段中,各所述许容时间区具有区风险等级,将所述许容时间区中最小的站风险等级取为对应的所述许容时间区的区风险等级,将所述中间许容时间区段中最大的区风险等级取为所述第二区段风险等级。
所述异常许容时间区段中,各所述许容时间区具有区风险等级,将所述许容时间区中最小的站风险等级取为对应的所述许容时间区的区风险等级,将所述异常许容时间区段中最小的区风险等级取为所述第三区段风险等级。
进一步的改进是,风险等级采用安全系数表示。
进一步的改进是,所述风险等级分成四个等级,第一等级对应的安全系数为0,第二等级对应的安全系数为1,第三等级对应的安全系数为2,第四等级对应的安全系数为3;从第一等级到第四等级,风险依次降低。
进一步的改进是,所述站风险等级的第一等级到第四等级根据所述站点对产品的许容时间的要求确定且从第一等级到第四等级风险逐步降低。
第一等级对应的产品控制逻辑为禁入和立即放货。
第二等级对应的产品控制逻辑为禁入和条件放货。
第三等级对应的产品控制逻辑为条件入和条件放货。
第四等级对应于的产品控制逻辑为直接入和禁止放货。
进一步的改进是,所述风险管控逻辑模块中,所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级的逻辑关系和对应的当前产品调度结果包括:
当Vm或Ve等于3时,立即放货。
当Vs=3,Vm和Ve都小于3时,禁止放货。
当Vs≤Ve且Vs>0时,条件放货。
当Vs≤Ve且Vs=0时,立即放货。
当Vs>Ve且Ve大于1时,条件放货。
当Vm≥Vs>Ve且Ve等于0或1时,条件放货。
当Vm<Vs>Ve且Ve等于0或1时,禁止放货。
其中,Vs表示所述第一区段风险等级的安全系数。
Vm表示所述第二区段风险等级的安全系数。
Ve表示所述第三区段风险等级的安全系数。
进一步的改进是,所述条件放货对应的条件为:所述当前产品的剩余许容时间和许容时限的比值小于设定值。
进一步的改进是,所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级形成的逻辑关系包括多个并形成有多个对应的所述当前产品调度结果时,按照禁止放货、条件放货和立即放货的优先顺序从多个所述当前产品调度结果选取一个作为最终的所述当前产品调度结果。
进一步的改进是,所述异常站点为发生断线或堆货时的站点。
本发明能在连环许容时间区段站点异常时将当前站点和异常站点之间的连环许容时间区段分成三个许容时间区段,能通过风险等级定义模块将风险等级预先定义在各站点上,之后根据各站点的风险等级计算出三个许容时间区段,然后再根据三个许容时间区段的风险等级的逻辑关系形成当前产品的调度结果,所以,本发明能在连环许容时间区段站点异常根据相关许容时间区段的风险程度进行智能化调度处理,从而能降低产品品质风险。
附图说明
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明:
图1A是现有连环许容时间区段站点异常时对应的第一种情形的流程图;
图1B是现有连环许容时间区段站点异常时对应的第二种情形的流程图;
图2是本发明实施例连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置的结构框图;
图3是本发明实施例连环许容时间区段站点异常时的流程图。
具体实施方式
如图2所示,是本发明实施例连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置的结构框图;如图3所示,是本发明实施例连环许容时间区段站点异常时的流程图;本发明实施例连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置中设置有产品工艺流程模块,产品工艺流程中包括连环许容时间区段,所述连环许容时间区段包括多个首尾相连的许容时间区段,各所述许容时间区段包括一个以上的许容时间区,各所述许容时间区包括一个以上的站点。
图2中,各所述站点用标记201所示的圆圈表示,且在圆圈201中分别用站点1、站点2、站点3直至站点m和站点m+1对应编号的站点。
一个所述站点对应于所述产品工艺流程中的一个工艺步骤,一个工艺步骤需要采用一台以上的半导体制造生产线上的机台设备实现。需要在所述产品工艺流程的各站点上进行生产的产品也称为在制品。
所述产品在一个所述站点完成之后,会进入下一个所述站点进行作业。
有些所述站点完成之后,需要在许容时间即qtime内完成后续对应的工艺,否则所述产品的质量会出现问题,严重的话会报废,轻的话会影响产品性能,如果可以返工的话则需要进行返工。图3中qtime用QT简称。
所述许容时间区是指一个qtime对应的流程区间,所述许容时间区包括了1个以上的所述站点,其中,第一个站点为QT开始后的第一个站点,当所述许容时间区包括了1个所述站点时,第一个站点即为终止站点;而当所述许容时间区包括了2个所述站点时,第一个站点之后还包括多个站点,最后一个所述站点为终止站点。图3中,QT1表示站点1完成之后的许容时间,QT1对应的第一个站点为站点2,站点1和站点2为连续站点,站点2也为终止站点,即这个所述许容时间区包括了1个所述站点。例如:站点1为光刻工艺,站点2为刻蚀工艺,站点1的光刻工艺完成后,需要在QT1定义的时间范围内完成站点2的刻蚀工艺,这时所述许容时间区对应于1个站点;而如果在光刻工艺完成后,还需要进行多个测量步骤如尺寸测量和缺陷测量等,则在进行站点2对应的刻蚀工艺之前还包括多个测量步骤对应的站点,这时QT1就包括多个站点。
连环许容时间区段是指两个相邻的所述许容时间区中,上一个所述许容时间区的终止站点为后一个所述许容时间区的起始站点。如图3中,站点2在作为QT1对应的许容时间区的终止站点同时还作为QT2对应的许容时间区的起始站点。QT2和QT1形成连环许容时间区段。图3中显示了许容时间QT1、QT2至QTm对应的所述许容时间区组成的所述连环许容时间区段。图3中,各许容时间区都对应于1个所述站点,故共有m个所述站点,最后一个所述站点对应于圆圈内标注为站点m+1的站点。在其他实施例中,当有许容时间区包括3个以上的所述站点时,则m个所述许容时间区包括大于m个所述站点。
产品自动调度装置包括用于在站点异常时进行产品调度的风险等级定义模块301和风险管控逻辑模块302。
所述风险等级定义模块301将风险分成多个等级且在每个所述站点定义对应的站风险等级。
本发明实施例中,风险等级采用安全系数(safety value)表示。
所述风险等级分成四个等级,第一等级对应的安全系数为0,第二等级对应的安全系数为1,第三等级对应的安全系数为2,第四等级对应的安全系数为3;从第一等级到第四等级,风险依次降低。
所述站风险等级的第一等级到第四等级根据所述站点对产品的许容时间的要求确定且从第一等级到第四等级风险逐步降低。
第一等级对应的产品控制逻辑为禁入和立即放货。
第二等级对应的产品控制逻辑为禁入和条件放货。
第三等级对应的产品控制逻辑为条件入和条件放货。
第四等级对应于的产品控制逻辑为直接入和禁止放货。
本发明实施例第一至第四等级对应于:必死货、高风险、中风险、低风险。
第一等级为必死货:“禁入,直接出”即对应的产品控制逻辑为禁入和立即放货,需严格遵从产品许容时间的设定进行作业,不管下游情况,到站即可正常放货。安全系数为0。
第二等级为高风险:“禁入,条件出”即对应的产品控制逻辑为禁入和条件放货,中间层级,尽量不要超许容时间,若产品当前所处站点为该等级,则剩余许容时间达到一定条件后放货;若下游断线站点为该等级,则不进入下游许容时区段。安全系数为1。
第三等级为中风险:“条件入,条件出”即对应的产品控制逻辑为条件入和条件放货,少量超出许容时间影响较轻微。若产品当前所处站点为该等级,则剩余许容时间达到一定条件后放货;若下游断线站点为该等级,则剩余许容时间达到一定条件后放货。安全系数为2。
第四等级为低风险:“直接入,禁止出”即对应于的产品控制逻辑为直接入和禁止放货,可重新加工的许容时区段。若下游断线站点为该等级,则直接放货;若下游非该等级,但产品当前所处站点为该等级,则不放货。安全系数为3。
所述风险等级定义模块301将产品当前站点到异常站点之间的连环许容时间区段分成当前许容时间区段202、中间许容时间区段203和异常许容时间区段204并分别定义第一区段风险等级、第二区段风险等级和第三区段风险等级。
所述异常站点为发生断线或堆货时的站点。通常,完成所述站点的机台设备出现故障如宕机时,会发生断线或堆货。
所述当前许容时间区段202为当前站点所属的许容时间区段,所述异常许容时间区段204为异常站点所属的许容时间区段,所述中间许容时间区段203为所述当前许容时间区段202和所述异常许容时间区段204之间的所有许容时间区段。
所述第一区段风险等级为所述当前许容时间区段202的风险等级,所述第二区段风险等级为所述中间许容时间区段203的风险等级,所述第三区段风险等级为所述异常许容时间区段204的风险等级。
本发明实施例中,所述第一区段风险等级取值为所述当前站点的站风险等级。例如:图3中,所述当前站点对应于圆圈内标注为站点2对应的所述站点,所述站点2还没有开始时,作为QT1的终止站点,所述当前许容时间区段202仅由QT1对应的所述许容时间区组成。所述第一区段风险等级取值用Vs表示,Vs的大小取值公式为:
Vs=CurrentStep(safety value);
CurrentStep表示当前站点,safty value表示安全系数。
图3中,所述中间许容时间区段203由站点2至站点m之间的各许容时间区组成。所述中间许容时间区段203中,各所述许容时间区具有区风险等级,将所述许容时间区中最小的站风险等级取为对应的所述许容时间区的区风险等级,将所述中间许容时间区段203中最大的区风险等级取为所述第二区段风险等级。所述第二区段风险等级取值用Vm表示,Vm的大小取值公式为:
Vm=max{min(safety valuei)}j
i表示一个QT对应的所述许容时间区中的各所述站点的编号,当所述许容时间区中具有两个站点时,i为依次为1和2;j表示所述中间许容时间区段203中各QT对应的编号,如图3中,所述中间许容时间区段203由QT2对应的所述许容时间区对应的j为2,j会依次增加。
safety valuei表示一个所述许容时间区中编号为i的站点的安全系数;
min(safety valuei)表示一个所述许容时间区的安全系数即区风险等级取最小的站点安全系数。
max{min(safety valuei)}j表示取安全系数最大的所述许容时间区作为Vm。
所述异常许容时间区段204中,各所述许容时间区具有区风险等级,将所述许容时间区中最小的站风险等级取为对应的所述许容时间区的区风险等级,将所述异常许容时间区段204中最小的区风险等级取为所述第三区段风险等级。所述第三区段风险等级取值用Ve表示,Ve的大小取值公式为:
Ve=min{min(safety valuei)}j
i表示一个QT对应的所述许容时间区中的各所述站点的编号,当所述许容时间区中具有两个站点时,i为依次为1和2;j表示所述异常许容时间区段204中各QT对应的编号,如图3中,所述异常许容时间区段204中由一个QTm对应的所述许容时间区组成,j仅取1。
safety valuei表示一个所述许容时间区中编号为i的站点的安全系数;
min(safety valuei)表示一个所述许容时间区的安全系数取最小的站点安全系数。
min{min(safety valuei)}j表示取安全系数最小的所述许容时间区作为Ve。
所述风险管控逻辑模块302根据所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级的逻辑关系形成当前产品调度结果。
所述风险管控逻辑模块302中,所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级的逻辑关系和对应的当前产品调度结果包括:
当Vm或Ve等于3时,立即放货。
当Vs=3,Vm和Ve都小于3时,禁止放货。
当Vs≤Ve且Vs>0时,条件放货。
当Vs≤Ve且Vs=0时,立即放货。
当Vs>Ve且Ve大于1时,条件放货。
当Vm≥Vs>Ve且Ve等于0或1时,条件放货。
当Vm<Vs>Ve且Ve等于0或1时,禁止放货。
其中,Vs表示所述第一区段风险等级的安全系数。
Vm表示所述第二区段风险等级的安全系数。
Ve表示所述第三区段风险等级的安全系数。
本发明实施例中,所述条件放货对应的条件为:所述当前产品的剩余许容时间和许容时限的比值小于设定值。
所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级形成的逻辑关系包括多个并形成有多个对应的所述当前产品调度结果时,按照禁止放货、条件放货和立即放货的优先顺序从多个所述当前产品调度结果选取一个作为最终的所述当前产品调度结果。例如,上述逻辑关系中,当同时满足“Vs=3,Vm和Ve都小于3”以及“Vs>Ve且Ve大于1”这两个逻辑关系时,会出现禁止放货和条件放货这两个结果,这时需要按照禁止放货、条件放货和立即放货的优先级选择优先级较大的禁止放货作为最终的所述当前产品调度结果。
本发明实施例能在连环许容时间区段站点异常时将当前站点和异常站点之间的连环许容时间区段分成三个许容时间区段,能通过风险等级定义模块301将风险等级预先定义在各站点上,之后根据各站点的风险等级计算出三个许容时间区段,然后再根据三个许容时间区段的风险等级的逻辑关系形成当前产品的调度结果,所以,本发明实施例能在连环许容时间区段站点异常根据相关许容时间区段的风险程度进行智能化调度处理,从而能降低产品品质风险。
本发明实施例连环许容时间区段站点异常时产品自动调度方法:
本发明实施例连环许容时间区段站点异常时产品自动调度方法用于对产品工艺流程进行控制,所述产品工艺流程中包括连环许容时间区段,所述连环许容时间区段包括多个首尾相连的许容时间区段,各所述许容时间区段包括一个以上的许容时间区,各所述许容时间区包括一个以上的站点。
图2中,各所述站点用标记201所示的圆圈表示,且在圆圈201中分别用站点1、站点2、站点3直至站点m和站点m+1对应编号的站点。
在站点异常时,产品自动调度方法包括步骤:进行风险等级定义步骤和进行风险管控逻辑控制步骤。
所述风险等级定义步骤包括:
将风险分成多个等级且在每个所述站点定义对应的站风险等级。
本发明实施例方法中,风险等级采用安全系数表示。
所述风险等级分成四个等级,第一等级对应的安全系数为0,第二等级对应的安全系数为1,第三等级对应的安全系数为2,第四等级对应的安全系数为3;从第一等级到第四等级,风险依次降低。
所述站风险等级的第一等级到第四等级根据所述站点对产品的许容时间的要求确定且从第一等级到第四等级风险逐步降低。
第一等级对应的产品控制逻辑为禁入和立即放货。
第二等级对应的产品控制逻辑为禁入和条件放货。
第三等级对应的产品控制逻辑为条件入和条件放货。
第四等级对应于的产品控制逻辑为直接入和禁止放货。
本发明实施例方法中的第一至第四等级对应于:必死货、高风险、中风险、低风险。
第一等级为必死货:“禁入,直接出”即对应的产品控制逻辑为禁入和立即放货,需严格遵从产品许容时间的设定进行作业,不管下游情况,到站即可正常放货。安全系数为0。
第二等级为高风险:“禁入,条件出”即对应的产品控制逻辑为禁入和条件放货,中间层级,尽量不要超许容时间,若产品当前所处站点为该等级,则剩余许容时间达到一定条件后放货;若下游断线站点为该等级,则不进入下游许容时区段。安全系数为1。
第三等级为中风险:“条件入,条件出”即对应的产品控制逻辑为条件入和条件放货,少量超出许容时间影响较轻微。若产品当前所处站点为该等级,则剩余许容时间达到一定条件后放货;若下游断线站点为该等级,则剩余许容时间达到一定条件后放货。安全系数为2。
第四等级为低风险:“直接入,禁止出”即对应于的产品控制逻辑为直接入和禁止放货,可重新加工的许容时区段。若下游断线站点为该等级,则直接放货;若下游非该等级,但产品当前所处站点为该等级,则不放货。安全系数为3。
将产品当前站点到异常站点之间的连环许容时间区段分成当前许容时间区段202、中间许容时间区段203和异常许容时间区段204并分别定义第一区段风险等级、第二区段风险等级和第三区段风险等级。
所述异常站点为发生断线或堆货时的站点。通常,完成所述站点的机台设备出现故障如宕机时,会发生断线或堆货。
所述当前许容时间区段202为当前站点所属的许容时间区段,所述异常许容时间区段204为异常站点所属的许容时间区段,所述中间许容时间区段203为所述当前许容时间区段202和所述异常许容时间区段204之间的所有许容时间区段。
所述第一区段风险等级为所述当前许容时间区段202的风险等级,所述第二区段风险等级为所述中间许容时间区段203的风险等级,所述第三区段风险等级为所述异常许容时间区段204的风险等级。
本发明实施例方法中,所述第一区段风险等级取值为所述当前站点的站风险等级。例如:图3中,所述当前站点对应于圆圈内标注为站点2对应的所述站点,所述站点2还没有开始时,作为QT1的终止站点,所述当前许容时间区段202仅由QT1对应的所述许容时间区组成。所述第一区段风险等级取值用Vs表示,Vs的大小取值公式为:
Vs=CurrentStep(safety value);
CurrentStep表示当前站点,safty value表示安全系数。
图3中,所述中间许容时间区段203由站点2至站点m之间的各许容时间区组成。所述中间许容时间区段203中,各所述许容时间区具有区风险等级,将所述许容时间区中最小的站风险等级取为对应的所述许容时间区的区风险等级,将所述中间许容时间区段203中最大的区风险等级取为所述第二区段风险等级。所述第二区段风险等级取值用Vm表示,Vm的大小取值公式为:
Vm=max{min(safety valuei)}j
i表示一个QT对应的所述许容时间区中的各所述站点的编号,当所述许容时间区中具有两个站点时,i为依次为1和2;j表示所述中间许容时间区段203中各QT对应的编号,如图3中,所述中间许容时间区段203由QT2对应的所述许容时间区对应的j为2,j会依次增加。
safety valuei表示一个所述许容时间区中编号为i的站点的安全系数;
min(safety valuei)表示一个所述许容时间区的安全系数即区风险等级取最小的站点安全系数。
max{min(safety valuei)}j表示取安全系数最大的所述许容时间区作为Vm。
所述异常许容时间区段204中,各所述许容时间区具有区风险等级,将所述许容时间区中最小的站风险等级取为对应的所述许容时间区的区风险等级,将所述异常许容时间区段204中最小的区风险等级取为所述第三区段风险等级。所述第三区段风险等级取值用Ve表示,Ve的大小取值公式为:
Ve=min{min(safety valuei)}j
i表示一个QT对应的所述许容时间区中的各所述站点的编号,当所述许容时间区中具有两个站点时,i为依次为1和2;j表示所述异常许容时间区段204中各QT对应的编号,如图3中,所述异常许容时间区段204中由一个QTm对应的所述许容时间区组成,j仅取1。
safety valuei表示一个所述许容时间区中编号为i的站点的安全系数;
min(safety valuei)表示一个所述许容时间区的安全系数取最小的站点安全系数。
min{min(safety valuei)}j表示取安全系数最小的所述许容时间区作为Ve。
所述风险管控逻辑控制步骤包括:根据所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级的逻辑关系形成当前产品调度结果。
所述风险管控逻辑模块302中,所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级的逻辑关系和对应的当前产品调度结果包括:
当Vm或Ve等于3时,立即放货。
当Vs=3,Vm和Ve都小于3时,禁止放货。
当Vs≤Ve且Vs>0时,条件放货。
当Vs≤Ve且Vs=0时,立即放货。
当Vs>Ve且Ve大于1时,条件放货。
当Vm≥Vs>Ve且Ve等于0或1时,条件放货。
当Vm<Vs>Ve且Ve等于0或1时,禁止放货。
其中,Vs表示所述第一区段风险等级的安全系数。
Vm表示所述第二区段风险等级的安全系数。
Ve表示所述第三区段风险等级的安全系数。
本发明实施例方法中,所述条件放货对应的条件为:所述当前产品的剩余许容时间和许容时限的比值小于设定值。
所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级形成的逻辑关系包括多个并形成有多个对应的所述当前产品调度结果时,按照禁止放货、条件放货和立即放货的优先顺序从多个所述当前产品调度结果选取一个作为最终的所述当前产品调度结果。例如,上述逻辑关系中,当同时满足“Vs=3,Vm和Ve都小于3”以及“Vs>Ve且Ve大于1”这两个逻辑关系时,会出现禁止放货和条件放货这两个结果,这时需要按照禁止放货、条件放货和立即放货的优先级选择优先级较大的禁止放货作为最终的所述当前产品调度结果。
以上通过具体实施例对本发明进行了详细的说明,但这些并非构成对本发明的限制。在不脱离本发明原理的情况下,本领域的技术人员还可做出许多变形和改进,这些也应视为本发明的保护范围。

Claims (18)

1.一种连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置,其特征在于:
产品自动调度装置中设置有产品工艺流程模块,产品工艺流程中包括连环许容时间区段,所述连环许容时间区段包括多个首尾相连的许容时间区段,各所述许容时间区段包括一个以上的许容时间区,各所述许容时间区包括一个以上的站点;
产品自动调度装置包括用于在站点异常时进行产品调度的风险等级定义模块和风险管控逻辑模块;
所述风险等级定义模块将风险分成多个等级且在每个所述站点定义对应的站风险等级;
所述风险等级定义模块将产品当前站点到异常站点之间的连环许容时间区段分成当前许容时间区段、中间许容时间区段和异常许容时间区段并分别定义第一区段风险等级、第二区段风险等级和第三区段风险等级;
所述当前许容时间区段为当前站点所属的许容时间区段,所述异常许容时间区段为异常站点所属的许容时间区段,所述中间许容时间区段为所述当前许容时间区段和所述异常许容时间区段之间的所有许容时间区段;
所述第一区段风险等级为所述当前许容时间区段的风险等级,所述第二区段风险等级为所述中间许容时间区段的风险等级,所述第三区段风险等级为所述异常许容时间区段的风险等级;
所述风险管控逻辑模块根据所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级的逻辑关系形成当前产品调度结果。
2.如权利要求1所述的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置,其特征在于:所述第一区段风险等级取值为所述当前站点的站风险等级;
所述中间许容时间区段中,各所述许容时间区具有区风险等级,将所述许容时间区中最小的站风险等级取为对应的所述许容时间区的区风险等级,将所述中间许容时间区段中最大的区风险等级取为所述第二区段风险等级;
所述异常许容时间区段中,各所述许容时间区具有区风险等级,将所述许容时间区中最小的站风险等级取为对应的所述许容时间区的区风险等级,将所述异常许容时间区段中最小的区风险等级取为所述第三区段风险等级。
3.如权利要求2所述的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置,其特征在于:风险等级采用安全系数表示。
4.如权利要求3所述的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置,其特征在于:所述风险等级分成四个等级,第一等级对应的安全系数为0,第二等级对应的安全系数为1,第三等级对应的安全系数为2,第四等级对应的安全系数为3;从第一等级到第四等级,风险依次降低。
5.如权利要求4所述的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置,其特征在于:所述站风险等级的第一等级到第四等级根据所述站点对产品的许容时间的要求确定且从第一等级到第四等级风险逐步降低;
第一等级对应的产品控制逻辑为禁入和立即放货;
第二等级对应的产品控制逻辑为禁入和条件放货;
第三等级对应的产品控制逻辑为条件入和条件放货;
第四等级对应于的产品控制逻辑为直接入和禁止放货。
6.如权利要求5所述的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置,其特征在于:所述风险管控逻辑模块中,所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级的逻辑关系和对应的当前产品调度结果包括:
当Vm或Ve等于3时,立即放货;
当Vs=3,Vm和Ve都小于3时,禁止放货;
当Vs≤Ve且Vs>0时,条件放货;
当Vs≤Ve且Vs=0时,立即放货;
当Vs>Ve且Ve大于1时,条件放货;
当Vm≥Vs>Ve且Ve等于0或1时,条件放货;
当Vm<Vs>Ve且Ve等于0或1时,禁止放货;
其中,Vs表示所述第一区段风险等级的安全系数;
Vm表示所述第二区段风险等级的安全系数;
Ve表示所述第三区段风险等级的安全系数。
7.如权利要求6所述的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置,其特征在于:所述条件放货对应的条件为:所述当前产品的剩余许容时间和许容时限的比值小于设定值。
8.如权利要求7所述的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置,其特征在于:所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级形成的逻辑关系包括多个并形成有多个对应的所述当前产品调度结果时,按照禁止放货、条件放货和立即放货的优先顺序从多个所述当前产品调度结果选取一个作为最终的所述当前产品调度结果。
9.如权利要求1所述的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度装置,其特征在于:所述异常站点为发生断线或堆货时的站点。
10.一种连环许容时间区段站点异常时产品自动调度方法,其特征在于:
产品自动调度方法用于对产品工艺流程进行控制,所述产品工艺流程中包括连环许容时间区段,所述连环许容时间区段包括多个首尾相连的许容时间区段,各所述许容时间区段包括一个以上的许容时间区,各所述许容时间区包括一个以上的站点;
在站点异常时,产品自动调度方法包括步骤:进行风险等级定义步骤和进行风险管控逻辑控制步骤;
所述风险等级定义步骤包括:
将风险分成多个等级且在每个所述站点定义对应的站风险等级;
将产品当前站点到异常站点之间的连环许容时间区段分成当前许容时间区段、中间许容时间区段和异常许容时间区段并分别定义第一区段风险等级、第二区段风险等级和第三区段风险等级;
所述当前许容时间区段为当前站点所属的许容时间区段,所述异常许容时间区段为异常站点所属的许容时间区段,所述中间许容时间区段为所述当前许容时间区段和所述异常许容时间区段之间的所有许容时间区段;
所述第一区段风险等级为所述当前许容时间区段的风险等级,所述第二区段风险等级为所述中间许容时间区段的风险等级,所述第三区段风险等级为所述异常许容时间区段的风险等级;
所述风险管控逻辑控制步骤包括:根据所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级的逻辑关系形成当前产品调度结果。
11.如权利要求10所述的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度方法,其特征在于:所述第一区段风险等级取值为所述当前站点的站风险等级;
所述中间许容时间区段中,各所述许容时间区具有区风险等级,将所述许容时间区中最小的站风险等级取为对应的所述许容时间区的区风险等级,将所述中间许容时间区段中最大的区风险等级取为所述第二区段风险等级;
所述异常许容时间区段中,各所述许容时间区具有区风险等级,将所述许容时间区中最小的站风险等级取为对应的所述许容时间区的区风险等级,将所述异常许容时间区段中最小的区风险等级取为所述第三区段风险等级。
12.如权利要求11所述的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度方法,其特征在于:风险等级采用安全系数表示。
13.如权利要求12所述的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度方法,其特征在于:所述风险等级分成四个等级,第一等级对应的安全系数为0,第二等级对应的安全系数为1,第三等级对应的安全系数为2,第四等级对应的安全系数为3。
14.如权利要求13所述的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度方法,其特征在于:所述站风险等级的第一等级到第四等级根据所述站点对产品的许容时间的要求确定且从第一等级到第四等级风险逐步降低;
第一等级对应的产品控制逻辑为禁入和立即放货;
第二等级对应的产品控制逻辑为禁入和条件放货;
第三等级对应的产品控制逻辑为条件入和条件放货;
第四等级对应于的产品控制逻辑为直接入和禁止放货。
15.如权利要求14所述的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度方法,其特征在于:所述风险管控逻辑模块中,所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级的逻辑关系和对应的当前产品调度结果包括:
当Vm或Ve等于3时,立即放货;
当Vs=3,Vm和Ve都小于3时,禁止放货;
当Vs≤Ve且Vs>0时,条件放货;
当Vs≤Ve且Vs=0时,立即放货;
当Vs>Ve且Ve大于1时,条件放货;
当Vm≥Vs>Ve且Ve等于0或1时,条件放货;
当Vm<Vs>Ve且Ve等于0或1时,禁止放货;
其中,Vs表示所述第一区段风险等级的安全系数;
Vm表示所述第二区段风险等级的安全系数;
Ve表示所述第三区段风险等级的安全系数。
16.如权利要求15所述的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度方法,其特征在于:所述条件放货对应的条件为:所述当前产品的剩余许容时间和许容时限的比值小于设定值。
17.如权利要求16所述的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度方法,其特征在于:所述第一区段风险等级、所述第二区段风险等级和所述第三区段风险等级形成的逻辑关系包括多个并形成有多个对应的所述当前产品调度结果时,按照禁止放货、条件放货和立即放货的优先顺序从多个所述当前产品调度结果选取一个作为最终的所述当前产品调度结果。
18.如权利要求10所述的连环许容时间区段站点异常时产品自动调度方法,其特征在于:所述异常站点为发生断线或堆货时的站点。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114296413A (zh) * 2021-12-28 2022-04-08 上海华力微电子有限公司 基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法及***

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105988443A (zh) * 2015-02-27 2016-10-05 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法及装置
CN107437137A (zh) * 2016-05-25 2017-12-05 达索***美国公司 供应链中的风险识别
CN110648071A (zh) * 2019-09-26 2020-01-03 杭州数梦工场科技有限公司 风险控制方法与装置

Family Cites Families (30)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IES20000820A2 (en) * 2000-10-11 2002-05-29 Nat Univ Ireland A single frequency laser
JP2003022962A (ja) * 2001-07-10 2003-01-24 Canon Inc 露光システム、デバイス製造方法、半導体製造工場および露光装置の保守方法
US6901306B2 (en) * 2002-02-27 2005-05-31 Hitachi High-Technologies Corporation Semiconductor manufacturing apparatus and its diagnosis apparatus and operating system
TWI280603B (en) * 2003-09-08 2007-05-01 Toshiba Corp Manufacturing system of semiconductor device and manufacturing method of semiconductor device
US7085612B2 (en) * 2004-04-14 2006-08-01 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. System and method for identifying semiconductor process steps for queue-time control and abnormality detection
US7463939B1 (en) * 2004-11-18 2008-12-09 Advanced Micro Devices, Inc. Scheduling tools with queue time constraints
US7127317B2 (en) * 2004-11-30 2006-10-24 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. System and method to analyze low yield of wafers caused by abnormal lot events
US7613535B2 (en) * 2006-11-08 2009-11-03 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Independent, self-contained, risk isolated, sectional CIM design for extremely large scale factory operation
US20080140514A1 (en) * 2006-12-11 2008-06-12 Grant Thornton Llp Method and system for risk evaluation and management
US7937177B2 (en) * 2007-06-27 2011-05-03 International Business Machines Corporation Manufacturing work in process management system
JP5325580B2 (ja) * 2009-01-09 2013-10-23 株式会社日立ハイテクノロジーズ Semを用いた欠陥観察方法及びその装置
US9811794B2 (en) * 2009-02-11 2017-11-07 Johnathan Mun Qualitative and quantitative modeling of enterprise risk management and risk registers
US9323234B2 (en) * 2009-06-10 2016-04-26 Fisher-Rosemount Systems, Inc. Predicted fault analysis
US20120254710A1 (en) * 2011-04-01 2012-10-04 Caterpillar Inc. Risk charts for failure mode and effect analysis
JP5460662B2 (ja) * 2011-09-07 2014-04-02 株式会社日立ハイテクノロジーズ 領域決定装置、観察装置または検査装置、領域決定方法および領域決定方法を用いた観察方法または検査方法
US20130080293A1 (en) * 2011-09-28 2013-03-28 Maung (Bob) A. Khin Manufacturing supply chain management
US10026049B2 (en) * 2013-05-09 2018-07-17 Rockwell Automation Technologies, Inc. Risk assessment for industrial systems using big data
US9606532B2 (en) * 2014-01-29 2017-03-28 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Limited Method and manufacturing system
US9577972B1 (en) * 2014-09-09 2017-02-21 Amazon Technologies, Inc. Message inspection in a distributed strict queue
US10705516B2 (en) * 2014-10-10 2020-07-07 Near-Miss Management Llc Dynamic prediction of risk levels for manufacturing operations through leading risk indicators: dynamic risk fault tree method and system
US9846934B2 (en) * 2015-04-13 2017-12-19 Anchor Semiconductor Inc. Pattern weakness and strength detection and tracking during a semiconductor device fabrication process
US20170061538A1 (en) * 2015-08-27 2017-03-02 Trade Compliance Group, LLC Web-based trade compliance assessment tool
WO2017203492A1 (en) * 2016-05-27 2017-11-30 Apotex Inc. Methods for process validation
PT109618A (pt) * 2016-09-14 2017-05-05 4Tune - Consultadoria E Serviços De Engenharia Ind Lda Método para gestão de risco ao longo do ciclo de vida de produtos e processos complexos
US10747210B2 (en) * 2017-09-11 2020-08-18 Lam Research Corporation System and method for automating user interaction for semiconductor manufacturing equipment
US11188859B2 (en) * 2018-08-21 2021-11-30 Agile Business Intelligence, Inc. Integrated business operations efficiency risk management
US11597156B2 (en) * 2018-10-29 2023-03-07 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Monitoring additive manufacturing
KR102168198B1 (ko) * 2018-12-12 2020-10-20 지속가능발전소 주식회사 기업 부도 예측 시스템 및 이의 동작 방법
JP7173702B2 (ja) * 2019-02-27 2022-11-16 トヨタ自動車株式会社 評価装置
US10685310B1 (en) * 2019-05-02 2020-06-16 Capital One Services, Llc Utilizing a machine learning model to determine complexity levels, risks, and recommendations associated with a proposed product

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105988443A (zh) * 2015-02-27 2016-10-05 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 用于具有时间间隔限制的制造流程处理方法及装置
CN107437137A (zh) * 2016-05-25 2017-12-05 达索***美国公司 供应链中的风险识别
CN110648071A (zh) * 2019-09-26 2020-01-03 杭州数梦工场科技有限公司 风险控制方法与装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114296413A (zh) * 2021-12-28 2022-04-08 上海华力微电子有限公司 基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法及***
CN114296413B (zh) * 2021-12-28 2024-02-27 上海华力微电子有限公司 基于Q-time容时区间站点断线的智能调控方法及***

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