CN113611649A - 晶圆运输装置 - Google Patents

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CN113611649A CN202111180210.XA CN202111180210A CN113611649A CN 113611649 A CN113611649 A CN 113611649A CN 202111180210 A CN202111180210 A CN 202111180210A CN 113611649 A CN113611649 A CN 113611649A
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刘晓鹏
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Xian Eswin Silicon Wafer Technology Co Ltd
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Xian Eswin Silicon Wafer Technology Co Ltd
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Abstract

本发明涉及一种晶圆运输装置，包括第一机械手臂和第二机械手臂，第一机械手臂用于将晶圆从第一预设位置运输至第二机械手臂，第二机械手臂用于将晶圆运输至第二预设位置；第一机械手臂包括相对设置的两个第一夹持部，用于夹持晶圆的第一位置，第一位置为晶圆竖直放置时的中间部位；第二机械手臂包括相对设置的两个第二夹持部，用于夹持于待夹持晶圆的第二位置，第二位置为晶圆竖直放置时的下半部分；晶圆运输装置还包括驱动结构，用于控制两个第一夹持部移动，和/或控制两个第二夹持部移动，以使得两个第一夹持部夹持着晶圆移动至两个第二夹持部之间，并使得两个第二夹持部夹持于晶圆的第二位置。分段传输的方式，避免对相关设备造成污染。

Description

晶圆运输装置
技术领域
本发明涉及晶圆运输技术领域，尤其涉及一种晶圆运输装置。
背景技术
晶片经过切片、研磨等机械加工后，其表面因机械加工产生的应力而形成具有一定深度的损伤层，一般机械损伤的晶体区域有几十微米，能吸附大量金属杂质，清洗较难去除。通常采用化学腐蚀（酸腐蚀或碱腐蚀）来减薄和消除表面的损伤层，同时可以使晶圆表面洁净，提高抛光效率，消除晶圆内应力。碱腐蚀常用的化学试剂是KOH或NaOH，其中KOH溶液浓度在30%~40%之间，腐蚀反应温度约在80℃~90℃之间。晶圆进行上述刻蚀工艺前，需要通过机械手臂从上料平台的料盒中进行夹取待处理晶圆，机械手臂将待处理晶圆运输至药液槽，机械手臂与药液接触后，再次夹取待处理晶圆，必定会将水或药液带至上料区，污染上料平台及料盒，不论碱性药液还是酸性药液都具有腐蚀性，导致晶圆边缘污染，降低晶圆的加工品质，同时对操作人员的身体造成影响。
发明内容
为了解决上述技术问题，本发明提供一种晶圆运输装置，解决晶圆运输过程中仅通过一个机械手臂在上料台和待处理工序区来回往返，对污染上料台以及对工作人员产生危害的问题。
为了达到上述目的，本发明实施例采用的技术方案是：一种晶圆运输装置，包括第一机械手臂和第二机械手臂，所述第一机械手臂用于将晶圆从第一预设位置运输至所述第二机械手臂，所述第二机械手臂用于将晶圆运输至第二预设位置；
所述第一机械手臂包括相对设置的两个第一夹持部，用于夹持晶圆的第一位置，所述第一位置为晶圆竖直放置时的中间部位；
所述第二机械手臂包括相对设置的两个第二夹持部，用于夹持于待夹持晶圆的第二位置，所述第二位置为晶圆竖直放置时的下半部分；
所述晶圆运输装置还包括驱动结构，用于控制夹持有晶圆的两个所述第一夹持部移动，和/或控制两个所述第二夹持部移动，以使得两个所述第一夹持部夹持着晶圆移动至两个所述第二夹持部之间，并使得两个所述第二夹持部夹持于晶圆的所述第二位置。
可选的，两个所述第一夹持部包括第一子夹持部和第二子夹持部，所述第一子夹持部包括沿第一方向延伸设置的第一夹持杆，所述第一夹持杆面向所述第二子夹持部的一侧沿所述第一方向开设有多个第一卡槽；
所述第二子夹持部包括沿第一方向延伸设置的第二夹持杆，所述第二夹持杆面向所述第一子夹持部的一侧沿所述第一方向开设有多个第二卡槽；多个所述第一卡槽和多个所述第二卡槽一一对应以夹持多个晶圆。
可选的，所述驱动结构包括第一驱动单元，所述第一驱动单元包括：
平行设置的第一支撑杆和第二支撑杆，所述第一支撑杆和所述第二支撑杆分别设置于所述第一夹持杆的两端，且所述第一支撑杆与第一夹持杆相垂直设置；
平行设置的第三支撑杆和第四支撑杆，所述第三支撑杆和所述第四支撑杆分别设置于所述第二夹持杆的两端，且所述第三支撑杆与第二夹持杆相垂直设置；
平行设置的第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆与所述第一支撑杆相垂直，且所述第一连接杆与所述第一夹持杆相垂直，所述第一连接杆沿其延伸方向具有第一端和第二端，所述第一端与所述第一支撑杆连接，所述第二端与所述第三支撑杆连接，所述第二连接杆沿其延伸方向具有第三端和第四端，所述第三端与所述第二支撑杆连接，所述第四端与所述第四支撑杆连接；
第一传动轴，通过第一连接件将所述第一传动轴的一端的端面与所述第一连接杆的中部固定连接，且所述第一连接件偏离所述第一传动轴的轴向中心设置，且通过第二连接件将所述第二连接杆的中部连接与所述第一传动轴的中部，所述第一连接杆的轴向中心线和所述第二连接杆的轴向中心线位于同一平面；
第一旋转驱动部，用于驱动所述第一传动轴旋转，以带动两个所述第一夹持部相向或背向运动，以夹持晶圆或松开晶圆。
可选的，所述驱动结构还包括第二驱动单元，所述第二驱动单元包括：
第一升降驱动部，与所述第一旋转驱动部连接，用于控制所述第一传动轴升降运动，以带动两个所述第一夹持部进行升降运动；
第一水平驱动部，与所述第一升降驱动部连接，用于控制所述第一旋转驱动部在水平方向移动，以带动两个所述第一夹持部在水平方向移动；
所述第一升降驱动部与所述第一水平驱动部相配合，以控制两个所述第一夹持部移动至两个所述第二夹持部之间。
可选的，还包括第一保护箱，所述第一旋转驱动部和所述第一升降驱动部容纳于所述第一保护箱内。
可选的，还包括第二保护箱，所述第二保护箱的一端开口与所述第一保护箱的一端的开口连通，部分所述第一传动轴容纳于所述第二保护箱内。
可选的，还包括对位结构，所述对位结构设置于所述第一传动轴上，用于检测夹持于两个所述第一夹持部之间的晶圆是否偏移。
可选的，两个所述第二夹持部包括第三子夹持部和第四子夹持部，所述第三子夹持部包括沿第一方向延伸设置的第三夹持杆，所述第三夹持杆面向所述第三子夹持部的一侧沿所述第一方向开设有多个第三卡槽；
所述第四子夹持部包括沿第一方向延伸设置的第四夹持杆，所述第四夹持杆面向所述第四子夹持部的一侧沿所述第一方向开设有多个第四卡槽；多个所述第三卡槽和多个所述第四卡槽一一对应以夹持多个晶圆。
可选的，所述驱动结构还包括第三驱动单元，所述第三驱动单元包括：
平行设置的第五支撑杆和第六支撑杆，所述第五支撑杆和所述第六支撑杆分别设置于所述第三夹持杆的两端，且所述第五支撑杆与第三夹持杆相垂直设置；
平行设置的第七支撑杆和第八支撑杆，所述第七支撑杆和所述第八支撑杆分别设置于所述第四夹持杆的两端，且所述第七支撑杆与第四夹持杆相垂直设置；
平行设置的第三连接杆和第四连接杆，所述第三连接杆与所述第七支撑杆相垂直，且所述第三连接杆与所述第三夹持杆相垂直，所述第三连接杆沿其延伸方向具有第五端和第六端，所述第五端与所述第五支撑杆连接，所述第六端与所述第七支撑杆连接，所述第四连接杆沿其延伸方向具有第七端和第八端，所述第七端与所述第六支撑杆连接，所述第八端与所述第八支撑杆连接；
第二传动轴，通过第三连接件将所述第二传动轴的一端的端面与所述第三连接杆的中部固定连接，且所述第三连接件偏离所述第二传动轴的轴向中心设置，通过第四连接件将所述第四连接杆连接于所述第二传动轴的中部，且所述第三连接杆的轴向中心线和所述第四连接杆的轴向中心线位于同一平面；
第二旋转驱动部，用于驱动所述第二传动轴旋转，以带动两个所述第二夹持部相向或背向运动，以夹持晶圆或松开晶圆。
可选的，所述驱动结构还包括第四驱动单元，所述第四驱动单元包括：
第二升降驱动部，与所述第二旋转驱动部连接，用于控制所述第二传动轴升降运动，以带动两个所述第二夹持部进行升降运动；
第二水平驱动部，与所述第二升降驱动部连接，用于控制所述第二旋转驱动部在水平方向移动，以带动两个所述第二夹持部在水平方向移动；
所述第二升降驱动部与所述第二水平驱动部相配合，以控制两个所述第二夹持部移动至第二预设位置。
可选的，还包括第三保护箱，所述第二旋转驱动部和所述第二升降驱动部容纳于所述第三保护箱内。
可选的，还包括第四保护箱，所述第四保护箱的一端开口与所述第三保护箱的一端的开口连通，部分所述第二传动轴容纳于所述第四保护箱内。
本发明的有益效果是：通过第一机械手臂和第二机械手臂实现待处理晶圆在第一预设位置和第二预设位置之间的移动，第一机械手臂仅夹取位于第一预设位置的晶圆，并将晶圆运输至第二机械手臂，然后由第二机械手臂将晶圆传输至第二预设位置，分段传输的方式，避免机械手臂直接从第二预设位置返回至第一预设位置，而将第二预设位置的残料物带到第一预设位置，避免对第一预设位置的相关设备造成污染，且提高安全性。
附图说明
图1表示本发明实施例中的晶圆运输装置的结构示意图一；
图2表示本发明实施例中的晶圆运输装置结构示意图二；
图3表示本发明实施例中的晶圆运输装置结构示意图三。
100晶圆，11第一夹持部；101第一连接杆；102连接点；103第一支撑杆；104第二支撑杆；105第一夹持杆；106第三支撑杆；107第四支撑杆；108第二夹持杆；12第一传动轴；13第一升降驱动部；14第一保护箱；3第二保护箱；121图像获取部；21第二夹持部； 201第三连接杆； 203第五支撑杆；204第六支撑杆；205第三夹持杆；206第七支撑杆；207第八支撑杆；208第四夹持杆；22第二传动轴；202连接位置；23第二升降驱动部；24第三保护箱；4第四保护箱。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、 “上”、 “下”、 “左”、 “右”、 “竖直”、 “水平”、 “内”、 “外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了 便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、 以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、 “第二”、 “第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
如图1-图3所示，本实施例提供一种晶圆运输装置，包括第一机械手臂和第二机械手臂，所述第一机械手臂用于将晶圆从第一预设位置运输至所述第二机械手臂，所述第二机械手臂用于将晶圆运输至第二预设位置；
所述第一机械手臂包括相对设置的两个第一夹持部11，用于夹持晶圆100的第一位置，所述第一位置为晶圆100竖直放置时的中间部位；
所述第二机械手臂包括相对设置的两个第二夹持部21，用于夹持于待夹持晶圆100的第二位置，所述第二位置为晶圆100竖直放置时的下半部分；
所述晶圆运输装置还包括驱动结构，用于控制夹持有晶圆的两个所述第一夹持部11移动，和/或控制两个所述第二夹持部21移动，以使得两个所述第一夹持部11夹持着晶圆移动至两个所述第二夹持部21之间，并使得两个所述第二夹持部21夹持于晶圆100的所述第二位置。
通过第一机械手臂和第二机械手臂实现待处理晶圆100在第一预设位置和第二预设位置之间的移动，第一机械手臂仅夹取位于第一预设位置的晶圆，并将晶圆运输至第二机械手臂，然后由第二机械手臂将晶圆传输至第二预设位置，分段传输的方式，避免机械手臂直接从第二预设位置返回至第一预设位置，而将第二预设位置的残料物带到第一预设位置，避免对第一预设位置的相关设备造成污染，且提高安全性。
分段式的传输方式，相比单个机械手臂传输的方式，提高了晶圆传输效率。
所述第一预设位置和第二预设位置可以根据实际操作环境进行设定，例如，所述第一预设位置可以为上料台，所述第二预设位置为容纳有腐蚀性药液（酸性或碱性）的药液槽，采用上述技术方案，可以实现干湿分离，所述第一机械手臂在所述第一预设位置和第二机械手臂之间传输，所述第二机械手臂在所述第一机械手臂和第二预设位置之间传输。
需要说明的是，传输过程中，所述第一机械手臂和所述第二机械手臂不接触，以免污染所述第一机械手臂。
所述第一夹持部11的具体结构形式可以有多种，以下介绍本实施例中的第一夹持部11的具体结构形式，且为了便于描述，将两个所述第一夹持部分别命名为第一子夹持部和第二子夹持部。
本实施例的一些实施方式中，两个所述第一夹持部11包括第一子夹持部和第二子夹持部，所述第一子夹持部包括沿第一方向（参考图2中的X方向）延伸设置的第一夹持杆105，所述第一夹持杆105面向所述第二子夹持部的一侧沿所述第一方向开设有多个第一卡槽；
所述第二子夹持部包括沿第一方向延伸设置的第二夹持杆108，所述第二夹持杆108面向所述第一子夹持部的一侧沿所述第一方向开设有多个第二卡槽；多个所述第一卡槽和多个所述第二卡槽一一对应以夹持多个晶圆100。
所述第一方向与晶圆竖直放置时的晶圆表面相垂直，所述第一卡槽与对应的所述第二卡槽共同承载一个晶圆，所述第一夹持杆105上的所述第一卡槽的数量可根据实际需要设定，所述第二卡槽与所述第一卡槽一一对应以夹持晶圆。
本实施例的一些实施方式中，所述驱动结构包括第一驱动单元，所述第一驱动单元包括：
平行设置的第一支撑杆103和第二支撑杆104，所述第一支撑杆103和所述第二支撑杆104分别设置于所述第一夹持杆105的两端，且所述第一支撑杆103与第一夹持杆105相垂直设置；
平行设置的第三支撑杆106和第四支撑杆107，所述第三支撑杆106和所述第四支撑杆107分别设置于所述第二夹持杆108的两端，且所述第三支撑杆106与第二夹持杆108相垂直设置；
平行设置的第一连接杆101和第二连接杆，所述第一连接杆101与所述第一支撑杆103相垂直，且所述第一连接杆101与所述第一夹持杆105相垂直，所述第一连接杆101沿其延伸方向具有第一端和第二端，所述第一端与所述第一支撑杆103连接，所述第二端与所述第三支撑杆106连接，所述第二连接杆沿其延伸方向具有第三端和第四端，所述第三端与所述第二支撑杆104连接，所述第四端与所述第四支撑杆107连接；
第一传动轴12，通过第一连接件将所述第一传动轴12的一端的端面与所述第一连接杆101的中部固定连接，且所述第一连接件偏离所述第一传动轴12的轴向中心设置，且通过第二连接件将所述第二连接杆的中部连接与所述第一传动轴12的中部，所述第一连接杆101的轴向中心线和所述第二连接杆的轴向中心线位于同一平面；第一旋转驱动部，用于驱动所述第一传动轴12旋转，以带动两个所述第一夹持部11相向或背向运动，以夹持晶圆或松开晶圆。
所述第一连接件在所述第一传动轴12上的连接位置偏离所述第一传动轴12的轴向中心，参考图1中的连接点102，连接点102位于所述轴向中心的右侧，所述第一传动轴12顺时针转动时，两个所述第一夹持部11相背运动，所述第一传动轴12逆时针转动时，两个所述第一夹持部11相向运动，以夹持硅片。
所述第一传动轴12的转动角度（顺时针转动或逆时针转动）为15-30度，但并不以此为限。
所述第一连接杆101固定于所述第一传动轴12的一端的端面，所述第二连接杆固定于所述第一传动轴12的中部，在一些实施方式中，所述第一传动轴12的周向面上开槽设置，以容纳所述第二连接杆，且沿所述第一传动轴12的轴向方向，所述开槽的相对的两个侧壁上设置有所述第二连接件。
本实施例中，所述第一传动轴12与所述第一连接杆101之间的连接为点连接，所述第一连接件包括固定螺栓，所述第一传动轴12与所述第二连接杆之间的连接是点连接，所述第二连接件包括固定螺栓，所述第一传动轴12旋转从而使得所述第一夹持杆105和所述第二夹持杆108相向或相背移动，以夹持或松开晶圆。
本实施例的一些实施方式中，所述驱动结构还包括第二驱动单元，所述第二驱动单元包括：
第一升降驱动部13，与所述第一旋转驱动部连接，用于控制所述第一传动轴12升降运动，以带动两个所述第一夹持部11进行升降运动；
第一水平驱动部，与所述第一升降驱动部13连接，用于控制所述第一旋转驱动部在水平方向移动，以带动两个所述第一夹持部11在水平方向移动；
所述第一升降驱动部13与所述第一水平驱动部相配合，以控制两个所述第一夹持部11移动至两个所述第二夹持部21之间。
所述第一机械手臂夹持晶圆100时，两个所述第一夹持部11夹持于晶圆100的第一位置，所述第二机械手臂夹持晶圆时，两个所述第二夹持部21夹持晶圆100的第二位置，所述第一机械手臂和所述第二机械手臂夹持晶圆100，晶圆100是保持于竖直方向设置的，即所述第一机械手臂和所述第二机械手臂均夹持于晶圆100的侧面，且所述第一位置高于所述第二位置，例如所述第一位置位于晶圆100的中部，所述第二位置位于晶圆100的下半部分，这样，夹持晶圆100的两个所述第一夹持部11移动至两个所述第二夹持部21之间，两个所述第一夹持部11向下运动，或者两个所述第二夹持部21相向运动，以夹持于晶圆100的第二位置，此时，两个所述第一夹持部11相背运动松开晶圆100，所述第二机械手臂夹持晶圆100移动至第二预设位置，例如药液槽，进行刻蚀处理。
需要说明的是，所述第一升降驱动部13可以包括气缸，所述第一水平驱动部可以包括滑轨，但并不以此为限。
本实施例的一些实施方式中，所述晶圆运输装置还包括第一保护箱14，所述第一旋转驱动部和所述第一升降驱动部容纳于所述第一保护箱14内。
本实施例的一些实施方式中，所述晶圆运输装置还包括第二保护箱3，所述第二保护箱3的一端开口与所述第一保护箱14的一端的开口连通，部分所述第一传动轴12容纳于所述第二保护箱3内。
本实施例的一些实施方式中，还包括对位结构，所述对位结构设置于所述第一传动轴12上，用于检测夹持于两个所述第一夹持部11之间的晶圆是否偏移。
参考图2，一些实施方式中，所述对位结构包括图像获取部121，用于获取夹持于两个所述第一夹持部11之间的晶圆的图像，分析图像以判断晶圆是否发生偏移，倾斜等问题。
所述第二夹持部21的具体结构形式可以有多种，以下介绍本实施例中的第二夹持部21的结构形式，且为了便于介绍，将两个所述第二夹持部21分别命名为第三子夹持部和第四子夹持部。
本实施例的一些实施方式中，两个所述第二夹持部21包括第三子夹持部和第四子夹持部，所述第三子夹持部包括沿第一方向延伸设置的第三夹持杆205，所述第三夹持杆205面向所述第三子夹持部的一侧沿所述第一方向开设有多个第三卡槽；
所述第四子夹持部包括沿第一方向延伸设置的第四夹持杆208，所述第四夹持杆208面向所述第四子夹持部的一侧沿所述第一方向开设有多个第四卡槽；多个所述第三卡槽和多个所述第四卡槽一一对应以夹持多个晶圆。
本实施例的一些实施方式中，所述驱动结构还包括第三驱动单元，所述第三驱动单元包括：
平行设置的第五支撑杆203和第六支撑杆204，所述第五支撑杆203和所述第六支撑杆204分别设置于所述第三夹持杆205的两端，且所述第五支撑杆203与第三夹持杆205相垂直设置；
平行设置的第七支撑杆206和第八支撑杆207，所述第七支撑杆206和所述第八支撑杆207分别设置于所述第四夹持杆208的两端，且所述第七支撑杆206与第四夹持杆208相垂直设置；
平行设置的第三连接杆201和第四连接杆，所述第三连接杆201与所述第七支撑杆206相垂直，且所述第三连接杆201与所述第三夹持杆205相垂直，所述第三连接杆201沿其延伸方向具有第五端和第六端，所述第五端与所述第五支撑杆203连接，所述第六端与所述第七支撑杆206连接，所述第四连接杆沿其延伸方向具有第七和第八端，所述第七端与所述第六支撑杆204连接，所述第八端与所述第八支撑杆207连接；
第二传动轴22，通过第三连接件将所述第二传动轴22的一端的端面与所述第三连接杆的中部固定连接，且所述第三连接件偏离所述第二传动轴22的轴向中心设置，通过第四连接件将所述第四连接杆连接于所述第二传动轴22的中部，且所述第三连接杆的轴向中心线和所述第四连接杆的轴向中心线位于同一平面； 第二旋转驱动部，用于驱动所述第二传动轴22旋转，以带动两个所述第二夹持部21相向或背向运动，以夹持晶圆或松开晶圆。
需要说明的是，为了保证两个所述第一夹持部11顺利的将晶圆移交至两个所述第二夹持部21上，两个所述第二夹持部21的夹持区域位于远离所述第二传动轴22的一端，在垂直于所述第二传动轴22的方向上，且所述夹持区域与所述第二传动轴22之间的距离大于两个所述第一夹持部11的长度，以保证两个所述第二夹持部21之间的空间能够容纳两个所述第一夹持部11。
所述第三连接件在所述第二传动轴22上的连接位置偏离所述第二传动轴22的轴向中心，参考图1中的连接位置202，连接位置202位于所述轴向中心的右侧，所述第二传动轴22顺时针转动时，两个所述第二夹持部21相背运动，所述第二传动轴22逆时针转动时，两个所述第二夹持部21相向运动，以夹持硅片。
所述第二传动轴22的转动角度（顺时针转动或逆时针转动）为15-30度，但并不以此为限。
所述第三连接杆201固定于所述第二传动轴22的一端的端面，所述第四连接杆固定于所述第二传动轴22的中部，在一些实施方式中，所述第二传动轴22的周向面上开槽设置，以容纳所述第四连接杆，且沿所述第二传动轴22的轴向方向，所述开槽的相对的两个侧壁上设置有所述第四连接件。
本实施例中，所述第二传动轴22与所述第三连接杆201之间的连接为点连接，且是偏心设置，参考图1，连接位置202位于轴向中心右侧，所述第三连接件包括固定螺栓，所述第二传动轴22转动，通过所述固定螺栓以带动所述第三连接杆旋转，所述第二传动轴22与所述第四连接杆之间的连接也是点连接，所述第四连接件包括固定螺栓，所述第二传动轴22旋转，从而使得所述第三夹持杆205和所述第四夹持杆208相向或相背移动，以夹持或松开晶圆。
需要说明的是，所述第一支撑杆103、所述第二支撑杆104、所述第三支撑杆106、所述第四支撑杆107的具体结构形式可以有多种，可以是曲线形或条形结构等，所述第五支撑杆203、所述第六支撑杆204、所述第七支撑杆206、所述第八支撑杆207的具体结构形式可以有多种，可以是曲线形或条形结构等，只要实现两个所述第一夹持部11可以从两个所述第二夹持部21之间穿过，即在所述第一夹持杆105的延伸方向上，所述第一支撑杆103、所述第二支撑杆104、所述第三支撑杆106、所述第四支撑杆107能够从所述第五支撑杆203和所述第六支撑杆204之间、所述第七支撑杆206和所述第八支撑杆207之间穿过即可。
本实施例的一些实施方式中，所述驱动结构还包括第四驱动单元，所述第四驱动单元包括：
第二升降驱动部23，与所述第二旋转驱动部连接，用于控制所述第二传动轴22升降运动，以带动两个所述第二夹持部21进行升降运动；
第二水平驱动部，与所述第二升降驱动部23连接，用于控制所述第二旋转驱动部在水平方向移动，以带动两个所述第二夹持部21在水平方向移动；
所述第二升降驱动部23与所述第二水平驱动部相配合，以控制两个所述第二夹持部21移动至第二预设位置。
所述第二水平驱动部和所述第二升降驱动部23的设置，可以移动晶圆至第二预设位置，以及从第二预设位置中移出晶圆。
所述第二升降驱动部23可以包括气缸，所述第二水平驱动部可以包括滑轨，但并不以此为限。
本实施例的一些实施方式中，晶圆运输装置还包括第三保护箱24，所述第二旋转驱动部和所述第二升降驱动部容纳于所述第三保护箱24内。
本实施例的一些实施方式中，还包括第四保护箱4，所述第四保护箱4的一端开口与所述第三保护箱24的一端的开口连通，部分所述第二传动轴22容纳于所述第四保护箱4内。
所述第四保护箱4和所述第二保护箱3可集成为一体设置，但并不以此为限。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (12)

1.一种晶圆运输装置，其特征在于， 包括第一机械手臂和第二机械手臂，所述第一机械手臂用于将晶圆从第一预设位置运输至所述第二机械手臂，所述第二机械手臂用于将晶圆运输至第二预设位置；
所述第一机械手臂包括相对设置的两个第一夹持部，用于夹持晶圆的第一位置，所述第一位置为晶圆竖直放置时的中间部位；
所述第二机械手臂包括相对设置的两个第二夹持部，用于夹持于待夹持晶圆的第二位置，所述第二位置为晶圆竖直放置时的下半部分；
所述晶圆运输装置还包括驱动结构，用于控制夹持有晶圆的两个所述第一夹持部移动，和/或控制两个所述第二夹持部移动，以使得两个所述第一夹持部夹持着晶圆移动至两个所述第二夹持部之间，并使得两个所述第二夹持部夹持于晶圆的所述第二位置。
2.根据权利要求1所述的晶圆运输装置，其特征在于，两个所述第一夹持部包括第一子夹持部和第二子夹持部，所述第一子夹持部包括沿第一方向延伸设置的第一夹持杆，所述第一夹持杆面向所述第二子夹持部的一侧沿所述第一方向开设有多个第一卡槽；
所述第二子夹持部包括沿第一方向延伸设置的第二夹持杆，所述第二夹持杆面向所述第一子夹持部的一侧沿所述第一方向开设有多个第二卡槽；多个所述第一卡槽和多个所述第二卡槽一一对应以夹持多个晶圆。
3.根据权利要求1所述的晶圆运输装置，其特征在于，所述驱动结构包括第一驱动单元，所述第一驱动单元包括：
平行设置的第一支撑杆和第二支撑杆，所述第一支撑杆和所述第二支撑杆分别设置于所述第一夹持杆的两端，且所述第一支撑杆与第一夹持杆相垂直设置；
平行设置的第三支撑杆和第四支撑杆，所述第三支撑杆和所述第四支撑杆分别设置于所述第二夹持杆的两端，且所述第三支撑杆与第二夹持杆相垂直设置；
平行设置的第一连接杆和第二连接杆，所述第一连接杆与所述第一支撑杆相垂直，且所述第一连接杆与所述第一夹持杆相垂直，所述第一连接杆沿其延伸方向具有第一端和第二端，所述第一端与所述第一支撑杆连接，所述第二端与所述第三支撑杆连接，所述第二连接杆沿其延伸方向具有第三端和第四端，所述第三端与所述第二支撑杆连接，所述第四端与所述第四支撑杆连接；
第一传动轴，通过第一连接件将所述第一传动轴的一端的端面与所述第一连接杆的中部固定连接，且所述第一连接件偏离所述第一传动轴的轴向中心设置，且通过第二连接件将所述第二连接杆的中部连接与所述第一传动轴的中部，所述第一连接杆的轴向中心线和所述第二连接杆的轴向中心线位于同一平面；
第一旋转驱动部，用于驱动所述第一传动轴旋转，以带动两个所述第一夹持部相向或背向运动，以夹持晶圆或松开晶圆。
4.根据权利要求3所述的晶圆运输装置，其特征在于，所述驱动结构还包括第二驱动单元，所述第二驱动单元包括：
第一升降驱动部，与所述第一旋转驱动部连接，用于控制所述第一传动轴升降运动，以带动两个所述第一夹持部进行升降运动；
第一水平驱动部，与所述第一升降驱动部连接，用于控制所述第一旋转驱动部在水平方向移动，以带动两个所述第一夹持部在水平方向移动；
所述第一升降驱动部与所述第一水平驱动部相配合，以控制两个所述第一夹持部移动至两个所述第二夹持部之间。
5.根据权利要求4所述的晶圆运输装置，其特征在于，还包括第一保护箱，所述第一旋转驱动部和所述第一升降驱动部容纳于所述第一保护箱内。
6.根据权利要求5所述的晶圆运输装置，其特征在于，还包括第二保护箱，所述第二保护箱的一端开口与所述第一保护箱的一端的开口连通，部分所述第一传动轴容纳于所述第二保护箱内。
7.根据权利要求4所述的晶圆运输装置，其特征在于，还包括对位结构，所述对位结构设置于所述第一传动轴上，用于检测夹持于两个所述第一夹持部之间的晶圆是否偏移。
8.根据权利要求1所述的晶圆运输装置，其特征在于，两个所述第二夹持部包括第三子夹持部和第四子夹持部，所述第三子夹持部包括沿第一方向延伸设置的第三夹持杆，所述第三夹持杆面向所述第三子夹持部的一侧沿所述第一方向开设有多个第三卡槽；
所述第四子夹持部包括沿第一方向延伸设置的第四夹持杆，所述第四夹持杆面向所述第四子夹持部的一侧沿所述第一方向开设有多个第四卡槽；多个所述第三卡槽和多个所述第四卡槽一一对应以夹持多个晶圆。
9.根据权利要求8所述的晶圆运输装置，其特征在于，所述驱动结构还包括第三驱动单元，所述第三驱动单元包括：
平行设置的第五支撑杆和第六支撑杆，所述第五支撑杆和所述第六支撑杆分别设置于所述第三夹持杆的两端，且所述第五支撑杆与第三夹持杆相垂直设置；
平行设置的第七支撑杆和第八支撑杆，所述第七支撑杆和所述第八支撑杆分别设置于所述第四夹持杆的两端，且所述第七支撑杆与第四夹持杆相垂直设置；
平行设置的第三连接杆和第四连接杆，所述第三连接杆与所述第七支撑杆相垂直，且所述第三连接杆与所述第三夹持杆相垂直，所述第三连接杆沿其延伸方向具有第五端和第六端，所述第五端与所述第五支撑杆连接，所述第六端与所述第七支撑杆连接，所述第四连接杆沿其延伸方向具有第七端和第八端，所述第七端与所述第六支撑杆连接，所述第八端与所述第八支撑杆连接；
第二传动轴，通过第三连接件将所述第二传动轴的一端的端面与所述第三连接杆的中部固定连接，且所述第三连接件偏离所述第二传动轴的轴向中心设置，通过第四连接件将所述第四连接杆连接于所述第二传动轴的中部，且所述第三连接杆的轴向中心线和所述第四连接杆的轴向中心线位于同一平面；
第二旋转驱动部，用于驱动所述第二传动轴旋转，以带动两个所述第二夹持部相向或背向运动，以夹持晶圆或松开晶圆。
10.根据权利要求9所述的晶圆运输装置，其特征在于，所述驱动结构还包括第四驱动单元，所述第四驱动单元包括：
第二升降驱动部，与所述第二旋转驱动部连接，用于控制所述第二传动轴升降运动，以带动两个所述第二夹持部进行升降运动；
第二水平驱动部，与所述第二升降驱动部连接，用于控制所述第二旋转驱动部在水平方向移动，以带动两个所述第二夹持部在水平方向移动；
所述第二升降驱动部与所述第二水平驱动部相配合，以控制两个所述第二夹持部移动至第二预设位置。
11.根据权利要求10所述的晶圆运输装置，其特征在于，还包括第三保护箱，所述第二旋转驱动部和所述第二升降驱动部容纳于所述第三保护箱内。
12.根据权利要求11所述的晶圆运输装置，其特征在于，还包括第四保护箱，所述第四保护箱的一端开口与所述第三保护箱的一端的开口连通，部分所述第二传动轴容纳于所述第四保护箱内。
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