CN113584355A - 一种键合用铝基合金母线及其制备方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种键合用铝基合金母线及其制备方法，具体涉及键合用合金丝技术领域，在铝材中添加有其他元素Fe、Cu、Si、Zn、Au、Ce和In，其中Fe的重量百分含量为2‑3ppm，Cu的重量百分含量为1‑3ppm，Si的重量百分含量为2‑4ppm，Zn的重量百分含量为1‑2ppm，Au的重量百分含量为1‑3ppm，Ce的重量百分含量为3‑5ppm，In的重量百分含量为0.5‑3ppm，在铝材的表面镀层；本发明提出的键合用铝基合金母线以铝作为基材，并结合镀金层，通过特定的制备方法，不仅有效的提高了镀金层与合金母线的结合效果，还提高了铝基合金母线整体的整体的延伸率、断裂载荷性能等，降低了电阻率。

Description

一种键合用铝基合金母线及其制备方法
技术领域
本发明涉及键合用合金丝技术领域，具体为一种键合用铝基合金母线及其制备方法。
背景技术
键合是集成电路生产中的一步重要工序，是把电路芯片与引线框架连接起来的操作。键合丝为键合用合金母线是半导体器件和集成电路组装时为使芯片内电路的输入/输出键合点与引线框架的内接触点之间实现电气链接而使用的微细金属丝内引线。键合效果的好坏直接影响集成电路的性能。
但是传统的键合用合金母线大都以金元素为基材，由于金元素价格过于昂贵，进而导致合金母线的生产成本较高，不仅给企业带来了沉重的经济负担，同时影响合金母线的推广，为此我们提出一种以铝作为基材，并结合镀金层，在降低生产成本的同时不影响性能，减少企业的经济负担，适合推广的键合用铝基合金母线来解决此问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种键合用铝基合金母线及其制备方法，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种键合用铝基合金母线，基材为铝材，在铝材中添加有其他元素Fe、Cu、Si、Zn、Au、Ce和In，其中Fe的重量百分含量为2-3ppm，Cu的重量百分含量为1-3ppm，Si的重量百分含量为2-4ppm，Zn的重量百分含量为1-2ppm，Au的重量百分含量为1-3ppm，Ce的重量百分含量为3-5ppm，In的重量百分含量为0.5-3ppm，在铝材的表面镀层。
优选的，所述铝材的纯度为≥99.99wt％，所述Au的纯度为
≥99.999wt％。
优选的，所述镀层的材质为Au，且基材表面镀有的黄金膜厚为其直径的0.5％-0.7％。
优选的，键合用铝基合金母线的制备方法，其制备方法包括如下步骤：
(S1)：按重量百分比含量Fe为2-3ppm、Cu为1-3ppm、Si为2-4ppm、Zn为1-2ppm、Au为1-3ppm、Ce为3-5ppm和In为0.5-3ppm进行原料称取，余量为铝材，将铝材以及Fe、Cu、Si、Zn、Au、Ce和In放入熔炉中进行熔炼，同时向熔炉的内部充入保护气体，熔炼的温度控制在1600-1800℃，搅拌均匀后引出，制成合金棒材；
(S2)：将步骤(S1)制得的合金棒通过拉丝机，以3-10m/min的速度将棒材拉制成合金母线，合金母线的线径为22-26μm；
(S3)：对合金母线进行退火，退火过程中充入保护气体，退火的温度设定在350-550℃，退火的速度为40-60m/min，退火完成后将所得合金母线走线通过氯气，再进行合金母线表面镀层，得到铝基合金母线，将铝基合金母线缠绕于收线轴，并进行包装。
优选的，所述步骤(S1)中，保护气体为氮气混合气体，且保护气体的注入速度为900～1000Nm3/h。
优选的，所述步骤(S1)中，熔炼炉的搅拌速度设定在300-600r/min，熔炼炉内部的真空度为10-2-10-4Pa。
优选的，所述步骤(S2)中，拉丝加工的流程有粗拉、中拉、细拉、超微细拉伸。
优选的，所述步骤(S3)中，在退火的过程中使用氮气、氢气、氖气的混合气体作为保护气体。
优选的，所述步骤(S3)中，氯气的相对湿度为5～10％。
优选的，所述步骤(S3)中，所述氮气、氢气、氖气占混合气体体积的百分数为氢气1-5％、氖气1-10％、氮气为余量。
与现有技术相比，本发明的有益效果如下：
(1)本发明通过在退火工艺中通过控制不同混合气体体积占比，可有效防止合金母线表面被过度氧化，且通过特定相对湿度的氯气显著提高镀层与表面结合效果，以及提高铝基合金母线整体的延伸率、断裂载荷性能等；
(2)本发明通过特定合金制备的合金母线外镀层，不仅有效的降低成本，且制备得到的合金母线具有良好的机械特性，将镀层很好的结合在合金母线上，能降低铝基合金母线的电阻率，提高基合金母线的断裂载荷等性能；
(3)本发明提出的键合用铝基合金母线以铝作为基材，并结合镀金层，在降低生产成本的同时不影响性能，减少企业的经济负担，适合推广，解决了传统的键合用合金母线大都以金元素为基材，不仅给企业带来了沉重的经济负担，同时影响合金母线推广的问题。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本发明的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
实施例1：
制备本实施例键合用铝基合金母线，包括基材为铝材，铝材的纯度为≥99.99wt％，在铝材中添加有其他元素Fe、Cu、Si、Zn、Au、Ce和In，其中Fe的重量百分含量为2.5ppm，Cu的重量百分含量为2.5ppm，Si的重量百分含量为3ppm，Zn的重量百分含量为2ppm，纯度≥99.999wt％的Au的重量百分含量为2ppm，Ce的重量百分含量为3ppm，In的重量百分含量为3ppm，在铝材的表面镀层。
其中表面镀层的材质为Au，且基材表面镀有的黄金膜厚为其直径的0.7％。
本实施例具体制备键合用铝基合金母线的方法，包括如下步骤：
(S1)：按重量百分比含量进行原料称取，余量为铝材，将铝材以及Fe、Cu、Si、Zn、Au、Ce和In放入熔炉中进行熔炼，同时向熔炉的内部充入保护气体氮气，且保护气体的注入速度为1000Nm3/h，熔炼的温度控制在1800℃，熔炼炉的搅拌速度设定在500r/min，熔炼炉内部的真空度为10-4Pa，搅拌均匀后引出，制成合金棒材；
(S2)：将制得的合金棒通过拉丝机，以4m/min的速度将棒材拉制成合金母线，合金母线的线径为26μm；
(S3)：对合金母线进行退火，退火过程中充入氮气、氢气、氖气的混合气体作为保护气体(体积百分数：氢气4％、氖气10％、氮气86％)，退火的温度设定在400℃，退火的速度为45m/min，退火完成后将所得合金母线走线通过相对湿度为6％的氯气，再进行合金母线表面镀层，得到铝基合金母线，将铝基合金母线缠绕于收线轴，并进行包装。
实施例2：
制备本实施例键合用铝基合金母线，包括基材为铝材，铝材的纯度为≥99.99wt％，在铝材中添加有其他元素Fe、Cu、Si、Zn、Au、Ce和In，其中Fe的重量百分含量为2.4ppm，Cu的重量百分含量为1.8ppm，Si的重量百分含量为2.5ppm，Zn的重量百分含量为1.2ppm，纯度≥99.999wt％的Au的重量百分含量为2ppm，Ce的重量百分含量为3.5ppm，In的重量百分含量为2ppm，在铝材的表面镀层。
其中表面镀层的材质为Au，且基材表面镀有的黄金膜厚为其直径的0.5％-0.7％。
本实施例具体制备键合用铝基合金母线的方法，包括如下步骤：
(S1)：按重量百分比含量进行原料称取，余量为铝材，将铝材以及Fe、Cu、Si、Zn、Au、Ce和In放入熔炉中进行熔炼，同时向熔炉的内部充入保护气体氮气，且保护气体的注入速度为900Nm3/h，熔炼的温度控制在1750℃，熔炼炉的搅拌速度设定在400r/min，熔炼炉内部的真空度为10-4Pa，搅拌均匀后引出，制成合金棒材；
(S2)：将制得的合金棒通过拉丝机，以6m/min的速度将棒材拉制成合金母线，合金母线的线径为23μm；
(S3)：对合金母线进行退火，退火过程中充入氮气、氢气、氖气的混合气体作为保护气体(体积百分数：氢气2％、氖气8％、氮气为90％)，退火的温度设定在300℃，退火的速度为40-60m/min，退火完成后将所得合金母线走线通过相对湿度为6％的氯气，再进行合金母线表面镀层，得到铝基合金母线，将铝基合金母线缠绕于收线轴，并进行包装。
实施例3：
制备本实施例键合用铝基合金母线，包括基材为铝材，铝材的纯度为≥99.99wt％，在铝材中添加有其他元素Fe、Cu、Si、Zn、Au、Ce和In，其中Fe的重量百分含量为2ppm，Cu的重量百分含量为1ppm，Si的重量百分含量为2ppm，Zn的重量百分含量为1ppm，纯度≥99.999wt％的Au的重量百分含量为1ppm，Ce的重量百分含量为3ppm，In的重量百分含量为0.5ppm，在铝材的表面镀层。
其中表面镀层的材质为Au，且基材表面镀有的黄金膜厚为其直径的0.5％。
本实施例具体制备键合用铝基合金母线的方法，包括如下步骤：
(S1)：按重量百分比含量进行原料称取，余量为铝材，将铝材以及Fe、Cu、Si、Zn、Au、Ce和In放入熔炉中进行熔炼，同时向熔炉的内部充入保护气体氮气，且保护气体的注入速度为900Nm3/h，熔炼的温度控制在1600℃，熔炼炉的搅拌速度设定在300r/min，熔炼炉内部的真空度为10-4Pa，搅拌均匀后引出，制成合金棒材；
(S2)：将制得的合金棒通过拉丝机，以3-10m/min的速度将棒材拉制成合金母线，合金母线的线径为22-26μm；
(S3)：对合金母线进行退火，退火过程中充入氮气、氢气、氖气的混合气体作为保护气体(体积百分数：氢气1％、氖气1％、氮气为98％)，退火的温度设定在350℃，退火的速度为40m/min，退火完成后将所得合金母线走线通过相对湿度为5％的氯气，再进行合金母线表面镀层，得到铝基合金母线，将铝基合金母线缠绕于收线轴，并进行包装。
实施例4：
制备本实施例键合用铝基合金母线，包括基材为铝材，铝材的纯度为≥99.99wt％，在铝材中添加有其他元素Fe、Cu、Si、Zn、Au、Ce和In，其中Fe的重量百分含量为3ppm，Cu的重量百分含量为3ppm，Si的重量百分含量为4ppm，Zn的重量百分含量为2ppm，纯度≥99.999wt％的Au的重量百分含量为3ppm，Ce的重量百分含量为5ppm，In的重量百分含量为3ppm，在铝材的表面镀层。
其中表面镀层的材质为Au，且基材表面镀有的黄金膜厚为其直径的0.7％。
本实施例具体制备键合用铝基合金母线的方法，包括如下步骤：
(S1)：按重量百分比含量进行原料称取，余量为铝材，将铝材以及Fe、Cu、Si、Zn、Au、Ce和In放入熔炉中进行熔炼，同时向熔炉的内部充入保护气体氮气，且保护气体的注入速度为1000Nm3/h，熔炼的温度控制在1800℃，熔炼炉的搅拌速度设定在600r/min，熔炼炉内部的真空度为10-4Pa，搅拌均匀后引出，制成合金棒材；
(S2)：将制得的合金棒通过拉丝机，以10m/min的速度将棒材拉制成合金母线，合金母线的线径为26μm；
(S3)：对合金母线进行退火，退火过程中充入氮气、氢气、氖气的混合气体作为保护气体(体积百分数：氢气5％、氖气10％、氮气85％)，退火的温度设定在550℃，退火的速度为60m/min，退火完成后将所得合金母线走线通过相对湿度为10％的氯气，再进行合金母线表面镀层，得到铝基合金母线，将铝基合金母线缠绕于收线轴，并进行包装。
实施例5：
制备本实施例键合用铝基合金母线，包括基材为铝材，铝材的纯度为≥99.99wt％，在铝材中添加有其他元素Fe、Cu、Si、Zn、Au、Ce和In，其中Fe的重量百分含量为2.5ppm，Cu的重量百分含量为2ppm，Si的重量百分含量为3ppm，Zn的重量百分含量为1.5ppm，纯度≥99.999wt％的Au的重量百分含量为2ppm，Ce的重量百分含量为4ppm，In的重量百分含量为1.5ppm，在铝材的表面镀层。
其中表面镀层的材质为Au，且基材表面镀有的黄金膜厚为其直径的0.6％。
本实施例5具体制备键合用铝基合金母线的方法，包括如下步骤：
(S1)：按重量百分比含量进行原料称取，余量为铝材，将铝材以及Fe、Cu、Si、Zn、Au、Ce和In放入熔炉中进行熔炼，同时向熔炉的内部充入保护气体氮气，且保护气体的注入速度为800Nm3/h，熔炼的温度控制在1700℃，熔炼炉的搅拌速度设定在450r/min，熔炼炉内部的真空度为10-4Pa，搅拌均匀后引出，制成合金棒材；
(S2)：将制得的合金棒通过拉丝机，以6m/min的速度将棒材拉制成合金母线，合金母线的线径为25μm；
(S3)：对合金母线进行退火，退火过程中充入氮气、氢气、氖气的混合气体作为保护气体(体积百分数：氢气2.5％、氖气5％、氮气92.5％)，退火的温度设定在450℃，退火的速度为50m/min，退火完成后将所得合金母线走线通过相对湿度为8％的氯气，再进行合金母线表面镀层，得到铝基合金母线，将铝基合金母线缠绕于收线轴，并进行包装。
实施例6：
本实施6例制备键合用铝基合金母线的组分和具体步骤与实施例5相同，仅在步骤S3中存在区别，具体为：
(S3)：对合金母线进行退火，退火过程中充入氮气、氢气、氖气的混合气体作为保护气体，退火的温度设定在450℃，退火的速度为50m/min，退火完成后将所得合金母线走线通过相对湿度为8％的二氧化硫气体，再进行合金母线表面镀层，得到铝基合金母线，将铝基合金母线缠绕于收线轴，并进行包装。
实施例7：
本实施7例制备键合用铝基合金母线的组分和具体步骤与实施例5相同，仅在步骤S3中存在区别，具体为：
(S3)：对合金母线进行退火，退火过程中充入氮气、氢气、氖气的混合气体作为保护气体，退火的温度设定在450℃，退火的速度为50m/min，退火完成后将所得合金母线走线通过相对湿度为8％的二氧化碳气体，再进行合金母线表面镀层，得到铝基合金母线，将铝基合金母线缠绕于收线轴，并进行包装。
实施例8：
本实施8例制备键合用铝基合金母线的组分和具体步骤与实施例5相同，仅在步骤S3中存在区别，具体为：
(S3)：对合金母线进行退火，退火过程中充入氮气、氢气、氖气的混合气体作为保护气体，退火的温度设定在450℃，退火的速度为50m/min，退火完成后将所得合金母线直接进行合金母线表面镀层，得到铝基合金母线，将铝基合金母线缠绕于收线轴，并进行包装。
对比例1～6：
本对比例1～6制备键合用铝基合金母线的组分和具体步骤与实施例5相同，仅在步骤S3中退火完成后将所得合金母线走线通过氯气，再进行合金母线表面镀层，得到铝基合金母线的步骤中有所区别。
其中：
对比例1：“退火完成后将所得合金母线走线通过相对湿度相1％氯气，再进行合金母线表面镀层”。
对比例2：“退火完成后将所得合金母线走线通过相对湿度相3％氯气，再进行合金母线表面镀层”。
对比例3：“退火完成后将所得合金母线走线通过相对湿度相5％氯气，再进行合金母线表面镀层”。
对比例4：“退火完成后将所得合金母线走线通过相对湿度相10％氯气，再进行合金母线表面镀层”。
对比例5：“退火完成后将所得合金母线走线通过相对湿度相12％氯气，再进行合金母线表面镀层”。
对比例6：“退火完成后将所得合金母线走线通过相对湿度相15％氯气，再进行合金母线表面镀层”。
对比例7～11：
本对比例7～11制备键合用铝基合金母线的组分和具体步骤与实施例5相同，仅在步骤S3中退火过程中充入保护气体氮气、氢气、氖气的体积占比不同；
其中：
对比例7：氢气、氖气、氮气占混合气体体积的百分数为氢气1％、氖气5％、氮气94％。
对比例8：氢气、氖气、氮气占混合气体体积的百分数为氢气2％、氖气5％、氮气93％。
对比例9：氢气、氖气、氮气占混合气体体积的百分数为氢气3％、氖气5％、氮气92％。
对比例10：氢气、氖气、氮气占混合气体体积的百分数为氢气4％、氖气5％、氮气91％。
对比例11：氢气、氖气、氮气占混合气体体积的百分数为氢气5％、氖气5％、氮气90％。
数据统计及总结：
1、下表为实施例1～5和实施例6～8制备得到的25μm的铝基合金母线的性能参数，包括延伸率、导电率以及断裂载荷，其中镀层与基材结合程度通过对铝基合金母线截面的观察，观察镀层与合金母线层间的结合情况。
表1：
延伸率/％ 电阻率μΩ·cm 断裂载荷/N 结合强度
实施例1 11.93 2.08 29.65 较强
实施例2 12.11 2.36 30.59 较强
实施例3 11.98 2.56 30.12 较强
实施例4 11.65 1.99 29.56 较强
实施例5 12.35 1.85 31.55 较强
现有技术 7.05 4.56 18.50 较弱
实施例6 10.36 2.56 27.22 弱
实施例7 8.65 2.78 24.36 弱
实施例8 7.23 2.02 20.43 较弱
综合上述表1：
(1)实施例1～5可得出，通过本发明的制备方法制备得到的铝基合金母线与现有铝基合金线相比，具有优良的延伸率、导电率以及断裂载荷。
(2)通过实施例5～8可以得出，通过本发明在退火工艺过程在采用氯气处理后在进行表面镀层，能有效的增强表面镀层与合金母线间的结合强度，提高铝基合金母线整体的延伸率和断裂载荷性能。
2、下表为在对比例1～6退火步骤中制得25μm的合金母线，其表面被相对湿度为1％、3％、5％、10％、12％、15％的氯气所腐蚀程度；合金母线与表面镀层间的间隙率；以及在被氯气处理后的制备得到的铝基合金母线的延伸率和断裂载荷的数据统计。
其中，腐蚀程度为合金母线表面被腐蚀形成的微小坑槽的密度，分为A、B、C、D、E以及F级，A级为坑槽密度占合金母线表面面积的80～90％；B级为坑槽密度占合金母线表面面积的70～80％；C级为坑槽密度占合金母线表面面积的60～70％；D级为坑槽密度占合金母线表面面积的50～60％；E级为坑槽密度占合金母线表面面积的40～50％；F级为坑槽密度占合金母线表面面积小于40％。
间隙率表示为镀层附着在合金母线上，与合金母线表面被氯气氧化腐蚀形成的微小坑槽之间的空隙率，间隙率越大表示镀层没有有效的镀进微小坑槽中，间隙率越小表示镀层与合金母线表面有效的接触结合。
表2：
Figure BDA0003194606340000111
Figure BDA0003194606340000121
综合上述表1和表2：
(1)当按照实施例5的具体步骤，仅采用不同相对湿度的氯气作为变量时，相对湿度越大的氯气处理对合金母线腐蚀程度越大，合金母线与表面镀层间的间隙率也越大，铝基合金母线的断裂载荷却显著下降；
(2)当氯气的相对湿度为8％时，制备得到的铝基合金母线的延伸率28.36％，断裂载荷均可达到31.55N。
3、对比例7～11通过不同体积占比的混合气体下处理得到25μm的合金母线，其合金母线表面被不同程度的氧化，被氧化后的合金母线表面通过不同湿度的氯气进行不同程度的腐蚀，被腐蚀的合金母线表面进行镀层，合金母线与表面镀层之间的结合力不同。
其中，镀层结合效果为镀层与合金母线表面结合的情况，通过截面铝基合金母线来观察表面结合情况，镀层结合效果分为结合较强、强、中、弱、较弱五个级别。
其中，腐蚀程度为合金母线表面被腐蚀形成的微小坑槽的密度，分为A、B、C、D、E以及F级，A级为坑槽密度占合金母线表面面积的80～90％；B级为坑槽密度占合金母线表面面积的70～80％；C级为坑槽密度占合金母线表面面积的60～70％；D级为坑槽密度占合金母线表面面积的50～60％；E级为坑槽密度占合金母线表面面积的40～50％；F级为坑槽密度占合金母线表面面积小于40％。
表3：
Figure BDA0003194606340000122
Figure BDA0003194606340000131
综合上述表1～3：
(1)通过不同混合气体体积占比，可有效防止合金母线表面被过度氧化，当氮气、氢气、氖气占混合气体体积的百分数为氢气2.5％、氖气5％、氮气92.5％(实施例5)时，通过相对湿度为8％的氯气处理合金母线表面，再镀层，这时铝基合金母线的延伸率、断裂载荷最佳，且镀层和合金母线表面结合效果最佳。
(2)当氢气体积占比越低时，合金母线表面的氧化层越薄，被相对湿度为8％的氯气腐蚀效果越明显，镀层和合金母线表面的结合效果也越好，但铝基合金母线的延伸率和断裂载荷性能明显下降；
当氢气体积占比越高时，合金母线表面的氧化层越后，被相对湿度为8％的氯气腐蚀效果越差，镀层和合金母线表面的结合效果也越差，铝基合金母线的延伸率和断裂载荷性能也明显下降；
当氢气体积占比为2.5％被相对湿度为8％的氯气处理后镀层，得到的铝基合金母线的延伸率最佳可达到28.36，其断裂载荷性能可达31.55。
本发明提出的键合用铝基合金母线以铝作为基材，并结合镀金层，在降低生产成本的同时不影响性能，减少企业的经济负担，适合推广，解决了传统的键合用合金母线大都以金元素为基材，由于金元素价格过于昂贵，进而导致合金母线的生产成本较高，不仅给企业带来了沉重的经济负担，同时影响合金母线推广的问题；本发明还创造性的通过特定的制备方法，通过实验验证得到了制备最佳铝基合金母线的制备方法明，制备的得到的铝基合金母线具有优良的机械特性等。
以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。

Claims (10)

1.一种键合用铝基合金母线，其特征在于：基材为铝材，在铝材中添加有其他元素Fe、Cu、Si、Zn、Au、Ce和In，其中Fe的重量百分含量为2-3ppm，Cu的重量百分含量为1-3ppm，Si的重量百分含量为2-4ppm，Zn的重量百分含量为1-2ppm，Au的重量百分含量为1-3ppm，Ce的重量百分含量为3-5ppm，In的重量百分含量为0.5-3ppm，在铝材的表面镀层。
2.根据权利要求1所述的一种键合用铝基合金母线，其特征在于：所述铝材的纯度为≥99.99wt％，所述Au的纯度为≥99.999wt％。
3.根据权利要求1所述的一种键合用铝基合金母线，其特征在于：所述镀层的材质为Au，且基材表面镀有的黄金膜厚为其直径的0.5％-0.7％。
4.根据权利要求1-3所述的一种键合用铝基合金母线的制备方法，其特征在于：其制备方法包括如下步骤：
(S1)：按重量百分比含量Fe为2-3ppm、Cu为1-3ppm、Si为2-4ppm、Zn为1-2ppm、Au为1-3ppm、Ce为3-5ppm和In为0.5-3ppm进行原料称取，余量为铝材，将铝材以及Fe、Cu、Si、Zn、Au、Ce和In放入熔炉中进行熔炼，同时向熔炉的内部充入保护气体，熔炼的温度控制在1600-1800℃，搅拌均匀后引出，制成合金棒材；
(S2)：将步骤(S1)制得的合金棒通过拉丝机，以3-10m/min的速度将棒材拉制成合金母线，合金母线的线径为22-26μm；
(S3)：对合金母线进行退火，退火过程中充入保护气体，退火的温度设定在350-550℃，退火的速度为40-60m/min，退火完成后将所得合金母线走线通过氯气，再进行合金母线表面镀层，得到铝基合金母线，将铝基合金母线缠绕于收线轴，并进行包装。
5.根据权利要求4所述的一种键合用铝基合金母线的制备方法，其特征在于：所述步骤(S1)中，保护气体为氮气混合气体，且保护气体的注入速度为900～1000Nm3/h。
6.根据权利要求4所述的一种键合用铝基合金母线的制备方法，其特征在于：所述步骤(S1)中，熔炼炉的搅拌速度设定在300-600r/min，熔炼炉内部的真空度为10-2-10-4Pa。
7.根据权利要求4所述的一种键合用铝基合金母线的制备方法，其特征在于：所述步骤(S2)中，拉丝加工的流程有粗拉、中拉、细拉、超微细拉伸。
8.根据权利要求4所述的一种键合用铝基合金母线的制备方法，其特征在于：所述步骤(S3)中，在退火的过程中使用氮气、氢气、氖气的混合气体作为保护气体。
9.所述根据权利要求4所述的一种键合用铝基合金母线的制备方法，其特征在于：所述步骤(S3)中，氯气的相对湿度为5～10％。
10.所述根据权利要求8所述的一种键合用铝基合金母线的制备方法，其特征在于：所述步骤(S3)中，所述氮气、氢气、氖气占混合气体体积的百分数为氢气1-5％、氖气1-10％、氮气为余量。
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