CN113564543A - 一种银钯铟靶材及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种银钯铟靶材及其制备方法,包括以下步骤:向中频炉中投入银、铟和钯金进行熔炼;待原料全部熔融且液面呈镜面时进行浇铸,冷却后获得铸锭;对铸锭进行轧制,获得半成品;对半成品进行热处理;后处理获得银钯铟靶材成品。本发明提供的银钯铟靶材及其制备方法,操作简单,所制备的银钯铟靶材抗盐雾和抗氧化能力强,材料晶粒细化程度高。
Description
技术领域
本发明属于靶材技术领域,具体涉及一种银钯铟靶材及其制备方法。
背景技术
随着电子工业的飞速发展,银钯材因其优异的性能,在电子元器件领域具有很高的使用价值和经济价值。但是现有的银钯材抗盐雾能力差、易氧化、晶粒尺寸大,影响靶材的使用寿命和使用效果。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中的不足,提供一种银钯铟靶材及其制备方法,操作简单,所制备的银钯铟靶材抗氧化能力强,材料晶粒细化程度高。
本发明提供了如下的技术方案:
一种银钯铟靶材的制备方法,包括以下步骤:
向中频炉中投入银、铟和钯金进行熔炼;
待原料全部熔融且液面呈镜面时进行浇铸,冷却后获得铸锭;
对铸锭进行轧制,获得半成品;
对半成品进行热处理;
后处理获得银钯铟靶材成品。
进一步的,所述银含量为99.99%以上,所述铟和钯金的含量均为99.95%以上。
进一步的,所述银、铟和钯金的投料质量比为(80.5-99.4):(0.1-9.5):(0.5-10)。
进一步的,熔炼时,先投入一半质量的银,银熔融后投入铟,铟熔融后快速投入钯金,待钯金熔融后投入剩下的银,采用石墨搅拌直到合金全部熔融,加入木炭保温10分钟。
进一步的,浇筑时采用石墨浇铸模具,浇筑前将石墨浇铸模具置于280℃恒温预热15分钟。
进一步的,轧制时,将铸锭置于冷轧机平台上,轧辊开口开到铸锭厚度后下降3mm,每次轧制的延压方向一致,每次轧制均下降3mm-4mm,轧制到成品厚度基础上预留2-3mm作为加工余量。
进一步的,热处理时,半成品放置于加热炉中,温度调节到400℃,保温时间为1h。
进一步的,后处理包括:去头尾、铣削加工、清洗和干燥。
进一步的,熔炼和轧制后均需取样进行样品质量检测。
一种银钯铟靶材,采用所述的银钯铟靶材的制备方法制备获得。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:
(1)本发明所提供的银钯铟靶材的制备方法,操作简单,制备效率高;
(2)本发明所制备的银钯铟靶材成品,因钯材料的添加提高了惰性和抗氧化性,因铟材料的添加提高了材料晶粒细化,弥补了现有银靶材抗盐雾和抗氧化性能差的不足。
具体实施方式
以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案,而不能以此来限制本发明的保护范围。
实施例1
一种银钯铟靶材的制备方法,包括以下步骤:
步骤一、备料,准备含量为99.99%以上的银、99.95%以上的铟和钯金。
步骤二、熔炼,启动水循环冷却***,依据70KW中频炉操作说明书,完成前置作业,按银:铟:钯金=94.5:5:0.5的质量比进行投料;先投入一半质量的银,银熔融后投入铟,铟熔融后快速投入钯金(因为钯比重大容易下沉),待钯金熔融后投入剩下的银,采用石墨搅拌直到合金全部熔融,加入木炭保温10分钟。
步骤三、浇筑,待原料的熔融液面呈镜面时进行浇铸,冷却后获得铸锭。浇筑时采用石墨浇铸模具,浇筑前将石墨浇铸模具置于280℃恒温预热15分钟。另外,原料的熔融液面呈镜面时,取真空棒夹住***熔液中取出进行质量检测和分析。
步骤四、对铸锭进行轧制,获得半成品,具体的,将铸锭置于冷轧机平台上,轧辊开口开到铸锭厚度后下降3mm,每次轧制的延压方向一致,每次轧制均下降3mm-4mm,轧制到成品厚度基础上预留2-3mm作为加工余量。轧制时候需要注意防止材料开裂。
步骤五、将半成品置于检验台用游标卡尺量测量其外径与内径,用卷尺测量长度,检测合格后进行下一步。
步骤六、热处理,将检测合格的半成品放置于加热炉(本实施例中为无氧化退火炉)中,温度调节到400℃,保温时间为1h。
步骤七、后处理,包括去头尾、铣削加工、清洗和干燥。具体的,将挤型好的半成品放置于带锯机上,先将一端锯切好(尽量锯切到壁厚看起来一样的位置),用卷尺测量好需要尺寸,将另一端去除,操作过程尽量保证两端壁厚一致,误差在0.5mm以内;将锯切好的靶材半成品夹于铣床台签上,依铣床床操作说明书,完成切削作业,完成后需再于车床和钻床作铣切和钻孔作业;然后将靶材置于清洗篮,依超音波清洗机操作说明书,完成清洗作业;最后用烘箱烘干,获得银钯铟靶材银钯铟靶材。
步骤八、根据需要在银钯铟靶材成品上雕刻,然后包装,抽检,最后入库储存。
实施例2
一种银钯铟靶材的制备方法,包括以下步骤:
步骤一、备料,准备含量为99.99%以上的银、99.95%以上的铟和钯金。
步骤二、熔炼,启动水循环冷却***,依据70KW中频炉操作说明书,完成前置作业,按银:铟:钯金=96.5:3:0.5的质量比进行投料;先投入一半质量的银,银熔融后投入铟,铟熔融后快速投入钯金,待钯金熔融后投入剩下的银,采用石墨搅拌直到合金全部熔融,加入木炭保温10分钟。
步骤三、浇筑,待原料的熔融液面呈镜面时进行浇铸,冷却后获得铸锭。浇筑时采用石墨浇铸模具,浇筑前将石墨浇铸模具置于280℃恒温预热15分钟。另外,原料的熔融液面呈镜面时,取真空棒夹住***熔液中取出进行质量检测和分析。
步骤四、对铸锭进行轧制,获得半成品,具体的,将铸锭置于冷轧机平台上,轧辊开口开到铸锭厚度后下降3mm,每次轧制的延压方向一致,每次轧制均下降3mm-4mm,轧制到成品厚度基础上预留2-3mm作为加工余量。轧制时候需要注意防止材料开裂。
步骤五、将半成品置于检验台用游标卡尺量测量其外径与内径,用卷尺测量长度,检测合格后进行下一步。
步骤六、热处理,将检测合格的半成品放置于加热炉(本实施例中为无氧化退火炉)中,温度调节到400℃,保温时间为1h。
步骤七、后处理,包括去头尾、铣削加工、清洗和干燥。具体的,将挤型好的半成品放置于带锯机上,先将一端锯切好(尽量锯切到壁厚看起来一样的位置),用卷尺测量好需要尺寸,将另一端去除,操作过程尽量保证两端壁厚一致,误差在0.5mm以内;将锯切好的靶材半成品夹于铣床台签上,依铣床床操作说明书,完成切削作业,完成后需再于车床和钻床作铣切和钻孔作业;然后将靶材置于清洗篮,依超音波清洗机操作说明书,完成清洗作业;最后用烘箱烘干,获得银钯铟靶材银钯铟靶材。
步骤八、根据需要在银钯铟靶材成品上雕刻,然后包装,抽检,最后入库储存。
实施例3
一种银钯铟靶材的制备方法,包括以下步骤:
步骤一、备料,准备含量为99.99%以上的银、99.95%以上的铟和钯金。
步骤二、熔炼,启动水循环冷却***,依据70KW中频炉操作说明书,完成前置作业,按银:铟:钯金=90:9.5:0.5的质量比进行投料;先投入一半质量的银,银熔融后投入铟,铟熔融后快速投入钯金,待钯金熔融后投入剩下的银,采用石墨搅拌直到合金全部熔融,加入木炭保温10分钟。
步骤三、浇筑,待原料的熔融液面呈镜面时进行浇铸,冷却后获得铸锭。浇筑时采用石墨浇铸模具,浇筑前将石墨浇铸模具置于280℃恒温预热15分钟。另外,原料的熔融液面呈镜面时,取真空棒夹住***熔液中取出进行质量检测和分析。
步骤四、对铸锭进行轧制,获得半成品,具体的,将铸锭置于冷轧机平台上,轧辊开口开到铸锭厚度后下降3mm,每次轧制的延压方向一致,每次轧制均下降3mm-4mm,轧制到成品厚度基础上预留2-3mm作为加工余量。轧制时候需要注意防止材料开裂。
步骤五、将半成品置于检验台用游标卡尺量测量其外径与内径,用卷尺测量长度,检测合格后进行下一步。
步骤六、热处理,将检测合格的半成品放置于加热炉(本实施例中为无氧化退火炉)中,温度调节到400℃,保温时间为1h。
步骤七、后处理,包括去头尾、铣削加工、清洗和干燥。具体的,将挤型好的半成品放置于带锯机上,先将一端锯切好(尽量锯切到壁厚看起来一样的位置),用卷尺测量好需要尺寸,将另一端去除,操作过程尽量保证两端壁厚一致,误差在0.5mm以内;将锯切好的靶材半成品夹于铣床台签上,依铣床床操作说明书,完成切削作业,完成后需再于车床和钻床作铣切和钻孔作业;然后将靶材置于清洗篮,依超音波清洗机操作说明书,完成清洗作业;最后用烘箱烘干,获得银钯铟靶材银钯铟靶材。
步骤八、根据需要在银钯铟靶材成品上雕刻,然后包装,抽检,最后入库储存。
取实施例1~3中所制备获得的银钯铟靶材进行中性盐水喷雾试验,试验温度为35±2℃,喷雾压力为0.7-1.7Kgf/cm2,喷雾沉淀量为1-2ml/80cm2/H,喷雾进行24H(小时),观察样品表面形貌变化并判断腐蚀级别(9.9级表示腐蚀面积率<0.01%,9.8级表示腐蚀面积率为0.01~0.02%),结果如下表1:
表1
由表1可知,实施例1-3所制备获得的银钯铟靶材,中性盐水喷雾试验进行到8H时样品表面无变化,进行至24H后,腐蚀级别在9.8级以上,即中性盐水喷雾试验结果优异(判定标准依据QB/T3832-1999),证明本发明所制备的银钯铟靶材抗盐雾和抗氧化性能优异。
以上所述仅是本发明的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明技术原理的前提下,还可以做出若干改进和变形,这些改进和变形也应视为本发明的保护范围。
Claims (10)
1.一种银钯铟靶材的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
向中频炉中投入银、铟和钯金进行熔炼;
待原料全部熔融且液面呈镜面时进行浇铸,冷却后获得铸锭;
对铸锭进行轧制,获得半成品;
对半成品进行热处理;
后处理获得银钯铟靶材成品。
2.根据权利要求1所述的银钯铟靶材的制备方法,其特征在于,所述银含量为99.99%以上,所述铟和钯金的含量均为99.95%以上。
3.根据权利要求1所述的银钯铟靶材的制备方法,其特征在于,所述银、铟和钯金的投料质量比为(80.5-99.4):(0.1-9.5):(0.5-10)。
4.根据权利要求1所述的银钯铟靶材的制备方法,其特征在于,熔炼时,先投入一半质量的银,银熔融后投入铟,铟熔融后快速投入钯金,待钯金熔融后投入剩下的银,采用石墨搅拌直到合金全部熔融,加入木炭保温10分钟。
5.根据权利要求1所述的银钯铟靶材的制备方法,其特征在于,浇筑时采用石墨浇铸模具,浇筑前将石墨浇铸模具置于280℃恒温预热15分钟。
6.根据权利要求1所述的银钯铟靶材的制备方法,其特征在于,轧制时,将铸锭置于冷轧机平台上,轧辊开口开到铸锭厚度后下降3mm,每次轧制的延压方向一致,每次轧制均下降3mm-4mm,轧制到成品厚度基础上预留2-3mm作为加工余量。
7.根据权利要求1所述的银钯铟靶材的制备方法,其特征在于,热处理时,半成品放置于加热炉中,温度调节到400℃,保温时间为1h。
8.根据权利要求1所述的银钯铟靶材的制备方法,其特征在于,后处理包括:去头尾、铣削加工、清洗和干燥。
9.根据权利要求1所述的银钯铟靶材的制备方法,其特征在于,熔炼和轧制后均需取样进行样品质量检测。
10.一种银钯铟靶材,其特征在于,采用权利要求1~9中任一项所述的银钯铟靶材的制备方法制备获得。
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