CN113536988A - 超声波指纹识别模组及其检测方法、显示模组 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种超声波指纹识别模组及其检测方法、显示模组，超声波指纹识别模组包括衬底基板、驱动电路层、超声波传感器层，超声波传感器层位于驱动电路层远离衬底基板的一侧，其包括依次堆叠的第一电极层、压电材料层和第二电极层，第一电极层包括多个第一电极和检测电极，第一电极和检测电极相互绝缘，第一电极与驱动电路层电连接；引脚与检测电极电连接；超声波指纹识别模组包括指纹识别区和周边区，检测电极位于指纹识别区，引脚位于周边区。本发明通过在指纹识别区设置与第一电极同层的检测电极，检测电极与周边区的引脚电连接，可以准确反映第一电极处的压电材料的特性，检测结果可用性较高，结果更准确。

Description

超声波指纹识别模组及其检测方法、显示模组

技术领域

本发明涉及显示技术领域，更具体地，涉及一种超声波指纹识别模组及其检测方法、显示模组。

背景技术

近年来，随着显示技术的高速发展，具有生物识别功能的显示装置逐渐进入人们的生活工作中，指纹识别技术凭借指纹具有唯一身份的特性，在解锁、安全支付等应用中得到了广泛应用。其中超声波指纹识别技术为目前一种新兴的指纹识别技术，即使在手指表面存在水渍、污渍的情况下，仍能对指纹进行准确识别，因而备受关注。

超声波指纹识别技术中压电材料的压电性能直接影响了将超声信号转换为电信号的能力，对后期指纹信号的采集更具参考价值，所以通常在制作超声波指纹识别模块时需要对压电材料的压电性能进行检测。

如何提高压电材料的检测精度成为亟需解决的技术问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种超声波指纹识别模组及其检测方法、显示模组，用以提高压电材料的检测精度。

一方面，本发明提供了一种超声波指纹识别模组，包括：

衬底基板；

驱动电路层，位于衬底基板上；

超声波传感器层，位于驱动电路层远离衬底基板的一侧，包括依次堆叠的第一电极层、压电材料层和第二电极层，第一电极层位于第二电极层与驱动电路层之间；第一电极层包括多个第一电极和检测电极，第一电极和检测电极相互绝缘，第一电极与驱动电路层电连接；

引脚，与检测电极电连接；

超声波指纹识别模组包括指纹识别区和周边区，检测电极位于指纹识别区，引脚位于周边区。

基于同一发明思想，本发明还提供了一种应用于上述超声波指纹识别模组的检测方法，超声波指纹识别模组包括指纹识别区和周边区，检测方法包括：

提供检测装置；

提供衬底基板；

在衬底基板上形成驱动电路层；

在驱动电路层远离衬底基板的一侧形成第一电极层，对第一电极层进行图案化形成多个第一电极和检测电极，第一电极和检测电极相互绝缘，第一电极与驱动电路层电连接；检测电极位于指纹识别区；

在第一电极层远离衬底基板的一侧形成压电材料层；

在压电材料层远离衬底基板的一侧形成第二电极层；

形成引脚，引脚与检测电极电连接，引脚位于周边区；

检测装置的一端电连接引脚，另一端电连接第二电极层，用以检测位于检测电极与第二电极层之间的压电材料层的压电特性。

基于同一发明思想，本发明还提供了一种显示模组，包括显示面板以及位于显示面板远离出光面一侧的超声波指纹识别模组，指纹识别模组为上述超声波指纹识别模组。

与现有技术相比，本发明提供的超声波指纹识别模组及其检测方法、显示模组，至少实现了如下的有益效果：

现有技术中通常检测的是周边区中的压电材料的特性，由于周边区的压电材料并不一定能够非常准确地反映出指纹识别区的压电材料的特性，因此，检测结果的可用性较差。本发明超声波指纹识别模组包括位于驱动电路层远离衬底基板一侧的超声波传感器层，其中超声波传感器层包括依次堆叠的第一电极层、压电材料层和第二电极层，第一电极层位于第二电极层与驱动电路之间，对于第一电极层包括多个第一电极和检测电极，即检测电极与第一电极同层同工艺形成，检测电极位于指纹识别区，周边区包括与检测电极电连接的引脚，在对压电材料层进行检测时，只要将检测装置的一端与引脚电连接、另一端连接第二电极层构成回路，向检测电路中输入电信号后即可对检测电极和第二电极层之间的压电材料层进行测试，由于检测电极与第一电极临近，所以可以检测指纹识别区中与第一电极相邻区域的压电材料的特性，则可以准确反映第一电极处的压电材料的特性，检测结果的可用性较高，结果准确。

当然，实施本发明的任一产品必不特定需要同时达到以上所述的所有技术效果。

通过以下参照附图对本发明的示例性实施例的详细描述，本发明的其它特征及其优点将会变得清楚。

附图说明

被结合在说明书中并构成说明书的一部分的附图示出了本发明的实施例，并且连同其说明一起用于解释本发明的原理。

图1是现有技术中提供的一种超声波指纹识别模组的平面结构示意图；

图2是图1中A-A’向的一种剖面图；

图3是本发明提供的超声波指纹识别模组的一种平面结构示意图；

图4是图3中B-B’向的一种剖面图；

图5是本发明提供的超声波指纹识别模组的一种平面结构示意图；

图6是图5中C-C’向的一种剖面图；

图7是本发明提供的又一种超声波指纹识别模组的平面结构示意图；

图8是本发明提供的又一种超声波指纹识别模组的平面结构示意图；

图9是本发明提供的又一种超声波指纹识别模组的平面结构示意图；

图10是本发明提供的一种超声波指纹识别模组的检测方法流程图；

图11是本发明提供的又一种超声波指纹识别模组的检测方法流程图；

图12为本发明提供的一种显示模组的平面结构示意图；

图13为图12中D-D’向的一种剖面图。

具体实施方式

现在将参照附图来详细描述本发明的各种示例性实施例。应注意到：除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本发明的范围。

以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本发明及其应用或使用的任何限制。

对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为说明书的一部分。

在这里示出和讨论的所有例子中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它例子可以具有不同的值。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。

针对现有技术中的超声波指纹识别模组只能对边缘区域的压电材料进行检测，发明人对现有技术中的超声波指纹识别模组进行了以下研究：参照图1和图2，图1是现有技术中提供的一种超声波指纹识别模组的平面结构示意图，图2是图1中A-A’向的一种剖面图。图1中的超声波指纹识别模组包括指纹识别区和围绕指纹识别区AA’的周边区BB’，在周边区BB’中设有引脚07，图2中超声波指纹识别模组包括衬底基板01、位于衬底基板01上的驱动电路层02、位于驱动电路层02上的超声波传感器层03，超声波传感器层03包括依次堆叠的第一电极04、压电材料层05和第二电极06，第一电极04与驱动电路层02电连接，从图2中可以看出驱动电路层02中包括晶体管T’，晶体管T’包括位于第二金属层的源极S’和漏极D’，漏极D’与第一电极04电连接，引脚07由第二金属层制作而成，在进行检测时，将检测装置的两个测试探头分别连接在引脚07和第二电极06上，因为引脚07设置在周边区BB’，所以测试的是周边区BB’中压电材料层05的压电性能，不能够测试指纹识别区AA’中的压电材料层05的压电性能，所以不能反映出指纹识别区中指纹识别精度。

为了解决上述问题，本发明提供了一种超声波指纹识别模组及其检测方法、显示模组，具体实施例下文将详述。

参照图3、图4、图5和图6，图3是本发明提供的超声波指纹识别模组的一种平面结构示意图，图4是图3中B-B’向的一种剖面图，图5是本发明提供的超声波指纹识别模组的一种平面结构示意图，图6是图5中C-C’向的一种剖面图。

本实施例中的超声波指纹识别模组100包括：

衬底基板1；

驱动电路层2，位于衬底基板1上；

超声波传感器层3，位于驱动电路层2远离衬底基板1的一侧，包括依次堆叠的第一电极7层4、压电材料层5和第二电极层6，第一电极7层4位于第二电极层6与驱动电路层2之间；第一电极7层4包括多个第一电极7和检测电极8，第一电极7和检测电极8相互绝缘，第一电极7与驱动电路层2电连接；

引脚9，与检测电极8电连接；

超声波指纹识别模组100包括指纹识别区AA和周边区BB，检测电极8位于指纹识别区AA，引脚9位于周边区BB。

具体的，在本实施例提供的超声波指纹识别模组100中具有指纹识别区AA和围绕所述指纹识别区AA的周边区BB，指纹识别区AA中具有多个指纹识别单元用于通过压电材料产生超声波来识别指纹脊或指纹谷，周边区BB中可以用于设置驱动电路、扇出走线和绑定驱动芯片等，例如驱动电路可以为栅极驱动电路VSR，用于驱动指纹识别的扫描线，扇出走线为指纹识别的数据线，与绑定的驱动芯片电连接，驱动芯片为指纹识别的数据线提供电信号和读取电信号。

参照图4和图6中，超声波指纹识别模组100包括衬底基板1、位于衬底基板1上的驱动电路层2、以及位于驱动电路层2远离衬底基板1一侧的超声波传感器层3，超声波传感器层3包括依次堆叠的第一电极7层4、压电材料层5和第二电极层6，第一电极7层4位于第二电极层6与驱动电路层2之间；第一电极7与驱动电路层2电连接；如图所示驱动电路层2中可以包括晶体管T，第一电极7与驱动电路层2中的晶体管T电连接，以便从第一电极7给入压电材料层5高频信号，对应的第二电极可以接入固定电位，使得压电材料层5在第一电极7和第二电极两端电压震荡下根据逆压电效应产生超声波。可以理解的是压电材料层5可以选用：聚偏氟乙烯、聚氯乙烯、聚偏氟乙烯共聚物中的一种或者几种的组合。

可以理解的是，压电材料层5可以为两层，其中一层用于发生超声波信号，另一层用于接收反射回来的超声波信号，当手指接触到超声波指纹识别模组100时，压电材料层5先发射超声波信号至接触面，由于手指的指纹脊和指纹谷与超声波指纹识别模组100的接触面之间填充的空气不同，指纹脊和指纹谷对应处的声阻抗值不同，所以从接触面反射到压电材料层5的超声波信号也不同，压电材料层5将接接收的超声波信号转换为电信号传送至驱动电路层2，形成指纹识别图像。当然压电材料层5也可以为一层，分时段控制压电层发生和接收超声波信号，这里不对压电材料层5的具体层数做具体限定。

需要说明的是为了实现指纹识别区AA能够更精准的识别指纹，所以第一电极7需要阵列排布在指纹识别区AA中，每个第一电极7对应一个指纹识别单元，图3和图5中仅示意性的示出了10行10列第一电极7，当然这并不代表实际产品中第一电极7的数量。

图3和图5中仅示意性的示出了检测电极8为一个，且检测电极8围绕多个阵列排布的第一电极7的情况，当然检测电极8也可以设置为多个，这里未示出，图3和图5中示出了在第一电极7与检测电极8之间具有间隔由此实现第一电极7与检测电极8相互绝缘，在一些可选的实施例中，也可以在指纹识别区AA中单独设置检测电极8，而且检测电极8与第一电极7之间无交叠，同样能够实现相互绝缘，这里不做具体限定。

第一电极层4中包括多个第一电极7和检测电极8，制作时可以通过对第一电极层4图案化的方法，在同一制作工艺中同时形成第一电极7和检测电极8，如此不但不会增加超声波指纹识别模组100的厚度，还能够简化制作工艺。

图5中仅示出了检测电极8布满指纹识别区AA的情况，图3中仅示出了检测电极8位于指纹识别区AA的一部分，这里不做具体限定。

另外，通常第二电极接入的是固定电位，所以第二电极整面设置即可。

引脚9可以不与检测电极8同层设置(参照图4)，也可以与检测电极8同层设置(参照图6)，当然只要引脚9与检测电极8电连接即可。

可以理解的是当引脚9与检测电极8同层设置时，可以减少制作工艺，另外当引脚9与检测电极8跨层电连接时会产生接触电阻，同时引脚9与检测电极8跨层电连接时也会产生寄生电容，引脚9与检测电极8同层可以避免产生接触电阻及引入寄生电容。

在检测时，将检测装置可通过引脚9和第二电极层6输入电信号，由于引脚9与检测电极8电连接，而检测电极8是位于指纹识别区AA的，所以当施加信号至引脚9和第二电极层6时，检测的是指纹识别区AA中检测电极8与第二电极层6之间的压电材料层5的压电性能，更能体现指纹识别的性能。由于检测电极8与第一电极7距离较近，所以可以检测指纹识别区AA中与第一电极7相邻区域的压电材料的特性，则可以准确反映第一电极7处的压电材料的特性，检测结果的可参考性较高，结果准确。

与现有技术相比，本实施例的超声波指纹识别模组100至少具有以下有益效果：

现有技术中通常检测的是周边区中的压电材料的特性，由于周边区的压电材料并不一定能够非常准确地反映出指纹识别区的压电材料的特性，因此，检测结果的可用性较差。本发明超声波指纹识别模组100包括位于驱动电路层2远离衬底基板1一侧的超声波传感器层3，其中超声波传感器层3包括依次堆叠的第一电极层4、压电材料层5和第二电极层6，第一电极层4位于第二电极层6与驱动电路之间，对于第一电极层4包括多个第一电极7和检测电极8，即检测电极8与第一电极7同层同工艺形成，检测电极8位于指纹识别区AA，周边区BB包括与检测电极8电连接的引脚9，一方面，本发明中的检测电极8与第一电极7同层设置，不会增加超声波指纹识别模组100的厚度，还能够简化制作工艺；另一方面，由于引脚9与检测电极8电连接，而检测电极8是位于指纹识别区AA的，所以当施加信号至引脚9和第二电极层6时，检测的是指纹识别区AA中检测电极8与第二电极层6之间的压电材料层5的压电性能，由于检测电极8与第一电极7距离较近，所以可以检测指纹识别区AA中与第一电极7相邻区域的压电材料的特性，则可以准确反映第一电极7处的压电材料的特性，检测结果的可用性较高，结果准确。

在一些可选的实施例中，继续参照图3和图5，多个第一电极7阵列排布。

为了实现指纹识别区AA能够更精准的识别指纹，所以第一电极7可以阵列排布在指纹识别区AA中，每个第一电极7对应一个指纹识别单元，由此提高指纹识别的精度，当然第一电极7的数量越多指纹识别精度越高。

本实施例中，多个第一电极7阵列排布，可以提高指纹识别的精度。

在一些可选的实施例中，继续参照图3和图5，检测电极8包括多个开口10，第一电极7位于开口10内。

具体的，检测电极8和第一电极7均位于指纹识别区AA中，第一电极7阵列排布在指纹识别区AA中，检测电极8中具有多个开口10，第一电极7位于开口10内，第一电极7与检测电极8之间具有间隔，如此实现第一电极7与检测电极8之间绝缘。

由于引脚9与检测电极8电连接，而检测电极8是位于指纹识别区AA的，所以当施加信号至引脚9和第二电极层6时，检测的是指纹识别区AA中检测电极8与第二电极层6之间的压电材料层5的压电性能。由于检测电极8与第一电极7距离较近，所以可以检测指纹识别区AA中与第一电极7相邻区域的压电材料的特性，则可以准确反映第一电极7处的压电材料的特性，检测结果的可用性较高，结果准确。

在一些可选的实施例中，继续参照图3和图5，检测电极8的数量为一个，引脚9的数量为一个。

可以理解的是，图3中仅示出了一个检测电极8位于指纹识别区AA的一部分，图5中仅示出了一个检测电极8布满指纹识别区AA的情况，检测电极8与引脚9对应电连接，由于引脚9与检测电极8电连接，而检测电极8是位于指纹识别区AA的，所以当施加信号至引脚9和第二电极层6时，检测的是指纹识别区AA中检测电极8与第二电极层6之间的压电材料层5的压电性能，由于检测电极8与第一电极7距离较近，所以可以检测指纹识别区AA中与第一电极7相邻区域的压电材料的特性，则可以准确反映第一电极7处的压电材料的特性，检测结果的可用性较高，结果准确。

当然设置一个检测电极8的制作工艺比较简单，对第一电极层4整面设置，然后对其图案化即可形成检测电极8和第一电极7，制作工艺更简单。

在一些可选的实施例中，参照图7，图7是本发明提供的又一种超声波指纹识别模组100的平面结构示意图。检测电极8的数量为多个，引脚9的数量为多个，检测电极8与引脚9一一对应电连接。

图7中仅示出了引脚9与检测电极8同层设置的情况。图7中仅示意性的示出了具有5个检测电极8且检测电极8为条状电极，对应设置5个引脚9，当然这里不对检测电极8的数量和形状做具体限定。

本实施例中检测电极8的数量为多个，引脚9的数量为多个，检测电极8与引脚9一一对应电连接，这样能够检测出指纹识别区AA中不同位置的压电材料的压电性能，能够更准确的反映压电材料的压电性能，由于检测电极8与第一电极7距离较近，所以可以检测指纹识别区AA中与第一电极7相邻区域的压电材料的特性，则可以准确反映第一电极7处的压电材料的特性，检测结果的可用性较高，结果准确。当然，检测电极8的数量越多，检测越准确。

在一些可选的实施例中，继续参照图7、以及参照图8和图9，图8是本发明提供的又一种超声波指纹识别模组100的平面结构示意图，图9是本发明提供的又一种超声波指纹识别模组100的平面结构示意图。检测电极8为条状，多个检测电极8排列为一行；或者，检测电极8为块状，多个检测电极8呈阵列排布；或者，多个检测电极8包括第1至n个检测电极8，n为大于或者等于2的正整数，第1个检测电极8为矩形，第2至第n个检测电极8均为L型结构，L型结构的两个分支分别沿第一方向和第二方向延伸；第1至第n个检测电极8依序排列，且L型结构的检测电极8在第一方向和第二方向上均覆盖前一个检测电极8，第一方向与第二方向相交。

图7中示出了5个检测电极8为条状电极，对应在周边区BB设置了5个引脚9，引脚9与条状的检测电极8一一对应电连接，引脚9与检测电极8同层设置，当然检测电极8的数量不做具体限定；图8中示出了4个检测电极8为块状电极，呈阵列排布，对应在周边区BB设置了4个引脚9，引脚9与块状检测电极8一一对应电连接，引脚9与块状检测电极8同层设置，当然检测电极8的数量不做具体限定；图9中示出了多个检测电极8包括第1至5个检测电极8，当然这里不对n的数值做具体限定，只要n为大于等于2的正整数即可，图9中第1个检测电极8为矩形，第2至第5个检测电极8均为L型结构，L型结构的两个分支分别沿第一方向和第二方向延伸；第1至第5个检测电极8依序排列，且L型结构的检测电极8在第一方向和第二方向上均覆盖前一个检测电极8，当然这里的第一方向与第二方向垂直相交，可以的引脚9与检测电极8同层设置。

图7至图9中的结构，均使多个检测电极8均匀的排布在指纹识别区AA中，这样能够检测出指纹识别区AA中不同位置的压电材料的压电性能，能够更准确的反映指纹识别区AA各处压电材料的压电性能，由于检测电极8与第一电极7距离较近，所以可以检测指纹识别区AA中与第一电极7相邻区域的压电材料的特性，则可以准确反映第一电极7处的压电材料的特性，检测结果的可用性较高，结果准确。当然，检测电极8的数量越多，检测越准确。

另外，图7至图9仅示意了检测电极分布的三种设计方案，需要说明的是，在指纹识别区AA，检测电极可以根据所需要进行检测的压电材料的位置进行对应排列，引脚的排列方式也可以根据需求调整。

在一些可选的实施例中，继续参照图4和图6，驱动层包括驱动电路，驱动电路包括晶体管T，晶体管T包括位于衬底基板1一侧的有源层11、位于有源层11远离衬底基板1一侧的第一金属层、位于第一金属层远离衬底基板1一侧的第二金属层，在有源层11、第一金属层和第二金属层之间均包括绝缘层12，第二金属层通过过孔与第一子电极电连接。

具体的，参照图4和图6中，衬底基板1的一侧设有缓冲层13，缓冲层13远离衬底基板1的一侧为有源层11，有源层11为晶体管T的半导体，有源层11远离衬底基板1的一侧为第一金属层，第一金属层为晶体管T的栅极G，第一金属层远离衬底基板1的一侧为第二金属层，第二金属层为晶体管T的源极S和漏极D，在有源层11、第一金属层和第二金属层之间均包括绝缘层12，图中未对缓冲层13和绝缘层12进行图案填充，第一电极7通过过孔与第二金属层的漏极D电连接，如此实现了通过晶体管T对第一电极7进行驱动，以便从第一电极7给入压电材料层5高频信号，同时对应的第二电极可以接入固定电位，使得压电材料层5在第一电极7和第二电极两端电压震荡下根据逆压电效应产生超声波。

在一些可选的实施例中，继续参照图3至图9，第一电极层4的材料包括氧化铟锡，第二电极层6的材料包括银、镍、或钛。

可以理解的是第一电极层4需要就有导电性，为驱动电极层，材料可以选用氧化铟锡，而第二电极层6同样具有导电性，由于第二电极层6位于最上层，所以需要具有一定的抗氧化性，防止第二电极层6被氧化后影响产生超声波信号，这里第二电极层6的可以选用银、镍或钛这些抗氧化性金属，当然可选的在制作时可以选用导电银浆来制作。

本实施例中通过第一电极7材料包括氧化铟锡，第二电极层6的材料包括银、镍、或钛，如此第一电极层4和第二电极层6通入电压后使第一电极层4和第二电极层6之间的压电材料层5上传超声波信号，实现指纹识别。

基于同一发明思想，本发明还提供了应用于图3至图9中任意一种超声波指纹识别模组100的检测方法，当然超声波指纹识别模组包括指纹识别区和周边区，参照图10，图10是本发明提供的一种超声波指纹识别模组的检测方法流程图，图10中的检测方法包括：

S1，提供检测装置；

S2，提供衬底基板；

S3，在衬底基板上形成驱动电路层；

S4，在驱动电路层远离衬底基板的一侧形成第一电极层，对第一电极层进行图案化形成多个第一电极和检测电极，第一电极和检测电极相互绝缘，第一电极与驱动电路层电连接；检测电极位于指纹识别区；

S5，形成引脚，引脚与检测电极电连接，引脚位于周边区；

S6，在第一电极层远离衬底基板的一侧形成压电材料层；

S7，在压电材料层远离衬底基板的一侧形成第二电极层；

S8，检测装置的一端电连接引脚，另一端电连接第二电极层，用以检测位于检测电极与第二电极层之间的压电材料层的压电特性。

压电材料具有压电性、介电性和热电性。本发明主要对压电材料层5进行压电特性的检测，例如检测共振频率、阻抗性能、电流-电压特征、电阻、电容、电感等，这里不做具体限定，以检测指纹识别区AA中压电材料层5的共振频率为例，向第一电极7(如10V)和第二电极8(0V)输入的电压一定，从低频到高频依次输入电信号，当压电材料层5输出的超声波信号最强时对应的频率即为共振频率。

结合图3至图9，本发明中由于引脚9与检测电极8电连接，而检测电极8是位于指纹识别区的，所以当施加信号至引脚9和第二电极层6时，检测的是指纹识别区中检测电极8与第二电极层6之间的压电材料层5的压电性能，由于检测电极8与第一电极7距离较近，所以可以检测指纹识别区AA中与第一电极7相邻区域的压电材料的特性，则可以准确反映第一电极7处的压电材料的特性，检测结果的可用性较高，结果准确。

在一些可选的实施例中，参照图11，图11是本发明提供的又一种超声波指纹识别模组的检测方法流程图，图11中S5之前在第一电极层远离衬底基板的一侧形成压电材料层之后，还包括S9：检测装置的两端分别电连接任意两个引脚，用以检测位于两个检测电极之间的压电材料层的压电特性。

在形成压电材料层5之后且形成第二电极层6之前，检测装置的两端分别电连接任意两个引脚9，这两个引脚9输入的电压不等时，那么可以检测与引脚9对应电连接的任意两个检测电极8之间的压电材料层5的压电特性，由于检测电极8与第一电极7距离较近，所以可以检测指纹识别区AA中与第一电极7相邻区域的压电材料的特性，则可以准确反映两个第一电极7之间的压电材料的特性，检测结果的可用性较高，结果准确。

本实施例中的检测方法，通过检测装置的两端分别电连接任意两个引脚9，对应可以检测出指纹识别区AA中任意两个检测电极8之间的压电材料层5的压电特性，可以准确反映两个第一电极7之间的压电材料的特性，检测结果的可用性较高，结果准确。

参照图12和图13，图12为本发明提供的一种显示模组的平面结构示意图，图13为图12中D-D’向的一种剖面图。显示模组1000包括显示面板200以及位于显示面板200远离出光面OU一侧的超声波指纹识别模组100，当然这里的指纹识别模组100为上述图3至图9中任一实施例的超声波指纹识别模组100，图13中仅示意性的示出了指纹识别区复用为显示面板的显示区中的一部分，当然指纹识别区也可以复用为全部显示面板200的显示区，用以实现指纹识别，当然这里的显示模组具有以上任意实施例的超声波指纹识别模组的有益效果，这里不做赘述。这里的显示面板可以为液晶显示面板也可以为有机致电自发光显示面板。

通过上述实施例可知，本发明提供的超声波指纹识别模组及其检测方法、显示模组，至少实现了如下的有益效果：

现有技术中通常检测的是周边区中的压电材料的特性，由于周边区的压电材料并不一定能够非常准确地反映出指纹识别区的压电材料的特性，因此，检测结果的可用性较差。本发明超声波指纹识别模组包括位于驱动电路层远离衬底基板一侧的超声波传感器层，其中超声波传感器层包括依次堆叠的第一电极层、压电材料层和第二电极层，第一电极层位于第二电极层与驱动电路之间，对于第一电极层包括多个第一电极和检测电极，即检测电极与第一电极同层同工艺形成，检测电极位于指纹识别区，周边区包括与检测电极电连接的引脚，在对压电材料层进行检测时，只要将检测装置的一端与引脚电连接、另一端连接第二电极层构成回路，向检测电路中输入电信号后即可对检测电极和第二电极层之间的压电材料层进行测试，由此精准的对指纹识别区中压电材料层的压电特性进行测试，由于检测电极与第一电极临近，所以可以检测指纹识别区中与第一电极相邻区域的压电材料的特性，则可以准确反映第一电极处的压电材料的特性，检测结果的可用性较高，结果准确。

虽然已经通过例子对本发明的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上例子仅是为了进行说明，而不是为了限制本发明的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本发明的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本发明的范围由所附权利要求来限定。

Claims (11)

1.一种超声波指纹识别模组，其特征在于，包括：

衬底基板；

驱动电路层，位于所述衬底基板上；

超声波传感器层，位于所述驱动电路层远离所述衬底基板的一侧，包括依次堆叠的第一电极层、压电材料层和第二电极层，所述第一电极层位于所述第二电极层与所述驱动电路层之间；所述第一电极层包括多个第一电极和检测电极，所述第一电极和所述检测电极相互绝缘，所述第一电极与所述驱动电路层电连接；

引脚，与所述检测电极电连接；

所述超声波指纹识别模组包括指纹识别区和周边区，所述检测电极位于所述指纹识别区，所述引脚位于所述周边区。

2.根据权利要求1所述的超声波指纹识别模组，其特征在于，

多个所述第一电极阵列排布。

3.根据权利要求1所述的超声指纹识别模组，其特征在于，

所述检测电极包括多个开口，所述第一电极位于所述开口内。

4.根据权利要求1所述的超声指纹识别模组，其特征在于，

所述检测电极的数量为一个，所述引脚的数量为一个。

5.根据权利要求1所述的超声指纹识别模组，其特征在于，

所述检测电极的数量为多个，所述引脚的数量为多个，所述检测电极与所述引脚一一对应电连接。

6.根据权利要求5所述的超声指纹识别模组，其特征在于，

所述检测电极为条状，多个所述检测电极排列为一行；

或者，所述检测电极为块状，多个所述检测电极呈阵列排布；

或者，多个所述检测电极包括第1至n个所述检测电极，n为大于或者等于2的正整数，第1个所述检测电极为矩形，第2至第n个所述检测电极均为L型结构，所述L型结构的两个分支分别沿第一方向和第二方向延伸；所述第1至第n个所述检测电极依序排列，且所述L型结构的检测电极在所述第一方向和所述第二方向上均覆盖前一个所述检测电极，所述第一方向与所述第二方向相交。

7.根据权利要求1所述的超声波指纹识别模组，其特征在于，所述驱动层包括驱动电路，所述驱动电路包括晶体管，所述晶体管包括位于所述衬底基板一侧的有源层、位于所述有源层远离所述衬底基板一侧的第一金属层、位于所述第一金属层远离所述衬底基板一侧的第二金属层，在所述有源层、第一金属层和所述第二金属层之间均包括绝缘层，所述第二金属层通过过孔与所述第一子电极电连接。

8.根据权利要求1所述的超声波指纹识别模组，其特征在于，所述第一电极层的材料包括氧化铟锡，所述第二电极层的材料包括银、镍、或钛。

9.一种应用于如权利要求1至8任一所述的超声波指纹识别模组的检测方法，其特征在于，所述超声波指纹识别模组包括指纹识别区和周边区，所述检测方法包括：

提供检测装置；

提供衬底基板；

在所述衬底基板上形成驱动电路层；

在所述驱动电路层远离所述衬底基板的一侧形成第一电极层，对所述第一电极层进行图案化形成多个第一电极和检测电极，所述第一电极和所述检测电极相互绝缘，所述第一电极与所述驱动电路层电连接；所述检测电极位于所述指纹识别区；

形成引脚，所述引脚与所述检测电极电连接，所述引脚位于所述周边区；

在所述第一电极层远离所述衬底基板的一侧形成压电材料层；

在所述压电材料层远离所述衬底基板的一侧形成第二电极层；

所述检测装置的一端电连接所述引脚，另一端电连接所述第二电极层，用以检测位于所述检测电极与所述第二电极层之间的压电材料层的压电特性。

10.根据权利要求9所述的超声波指纹识别模组的检测方法，其特征在于，在所述第一电极层远离所述衬底基板的一侧形成压电材料层之后，还包括：所述检测装置的两端分别电连接任意两个所述引脚，用以检测位于两个所述检测电极之间的所述压电材料层的压电特性。

11.一种显示模组，其特征在于，包括显示面板以及位于所述显示面板远离出光面一侧的超声波指纹识别模组，所述指纹识别模组为权利要求1至8任一所述的超声波指纹识别模组。

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