CN113483159A - 管道支架及溅镀真空管路 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种管道支架及使用该管道支架对真空管道进行支撑固定的溅镀真空管路，所述管道支架通过设置底座和固定座，底座与固定座之间通过支杆连接，支杆靠近底座一端可伸入底座内侧且伸入长度可通过调节件调节，从而实现支杆的升降设计，进而调节底座与固定座之间的间距，调节管道支架的整体高度，固定环的设计，可对管道进行限制、固定，避免管道因剧烈振动出现裂管。

Description

管道支架及溅镀真空管路
技术领域
本发明涉及管道支撑技术领域，特别涉及一种管道支架及使用该管道支架进行固定的溅镀真空管路。
背景技术
溅镀是在真空环境下，通入适当的惰性气体作为媒介，靠惰性气体加速撞击靶材，使靶材表面原子被撞击出来，并在表面形成镀膜。真空环境的形成，需要真空泵通过管路抽真空来实现。现有的管路固定支架，结构简单，固定支架在地面或工作面的固定方式是胶水粘附，经长时间使用，胶水风干脱胶，导致固定支架不稳固，形同虚设。而且，真空泵在抽真空时，管路振动较大，价值固定支架不稳固，存在裂管风险，造成溅镀设备宕机。
发明内容
本发明目的在于，解决现有管路固定支架不稳固的问题。
为实现上述目的，本发明提供一种管道支架，包括：相对设置的底座和固定座，所述固定座用于支撑管道；至少一根支杆，设置于所述底座与所述固定座之间，所述支杆的一端伸入所述底座内侧且伸入长度可调，所述支杆的另一端与所述固定座连接以支撑所述固定座；以及调节件，与所述支杆连接以调节所述支杆伸入所述底座内侧的长度，调节所述底座与所述固定座之间的间距。
可选的，所述支杆的数量为两根或两根以上，间隔排布于所述底座与所述固定座之间，一根所述支杆对应一根所述调节件。
可选的，所述底座包括底板及凸出设置于所述底板朝向所述固定座一面的块体，所述块体表面开设有与所述支杆相对应的槽孔；所述支杆为螺杆，所述调节件为螺母，所述支杆伸入所述槽孔，所述调节件套设于所述支杆并设置于所述底座表面。
可选的，所述底座包括底板及凸出设置于所述底板朝向所述固定座一面的箱体，所述箱体朝向所述固定座一面开设有与所述支杆相对应的通孔；所述支杆为螺杆，所述调节件为螺母，所述支杆由所述通孔伸入所述箱体内侧，所述调节件套设于所述支杆并设置于开设所述通孔的箱体表面。
可选的，所述底板表面开设固定孔，所述固定孔内插设有固定件。
可选的，所述固定座远离所述底座一面设置有用于固定管道的固定环。
可选的，所述固定座远离所述底座一面开设有一槽体，所述固定环的一部分位于所述槽体内，所述固定环的另一部分与位于所述固定环内侧的所述固定座的上表面形成用于固定所述管道的固定腔。
可选的，所述槽体的两侧壁的上端面分别内弯形成限位部。
可选的，所述固定环远离所述槽体一端开设开口，对应所述开口两端的所述固定环分别弯折形成弯折部，两所述弯折部通过锁定件连接。
为实现上述目的，本发明还提供一种溅镀真空管路，所述溅镀真空管路包括前所述的管道支架。
本发明的有益效果在于，本发明提供一种管道支架及使用该管道支架进行支撑固定的溅镀真空管路，所述管道支架通过底座、支杆、固定座以及固定环的配合对管道进行支撑和固定，降低管道振动强度，避免管道出现裂管风险，保障溅镀设备平稳运行，不会出现宕机风险；底座、支杆以及调节件的配合设计，可实现支杆的上升或下降，继而调节底座与固定座之间的间距，调节管道支架的整体高度。
附图说明
下面结合附图，通过对本发明的具体实施方式详细描述，将使本发明的技术方案及其它有益效果显而易见。
图1是本发明一示例性实施例中的管道支架的结构示意图；
图2是本发明一示例性实施例中的管道支架中底座的结构示意图；
图3是本发明另一示例性实施例中的管道支架中底座的结构示意图。
图中部件编号如下：
100、管道支架，110、底座，111、底板，112、凸块，1121、槽孔，113、固定孔，1131、固定件，114、箱体，1141、通孔，120、固定座，121、槽体，1211、限位部，130、支杆，140、调节件，150、固定环，151、固定腔，152、开口，153、弯折部，1531、锁定件。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
所述管道支架通过设置底座和固定座，底座与固定座之间通过支杆连接，支杆靠近底座一端可伸入底座内侧且伸入长度可通过调节件调节，从而实现支杆的升降设计，进而调节底座与固定座之间的间距，调节管道支架的整体高度，固定环的设计，可对管道进行限制、固定，避免管道因剧烈振动出现裂管。作为典型应用，所述管道支架可被用于溅镀设备用真空管路，形成对溅镀真空管道的支撑、固定。
在本发明的一个实施例中，参照图1和图2，管道支架100包括底座110、固定座120、支杆130和调节件140。在本实施例中，底座110与固定座120相对设置，底座110在下，固定座120在上，固定座120远离底座110一面为支撑面，用于支撑管道200，支杆130竖直设置于底座110与固定座120之间，支杆130朝向底座110一端伸入底座110内侧且伸入长度可调，支杆130伸入底座110内侧的长度通过调节件140调节。
具体地，在本实施例中，参照图1和图2，底座110包括底板111及凸出设置于底板111朝向固定座120一面的凸块112，凸块112朝向固定座120一面开设槽孔1121，支杆130为螺杆，支杆130朝向底座110一端(即支杆130下端)插设于槽孔1121，调节件140为螺母，调节件140套设于支杆130上且调节件140的底面设置于底座110开设槽孔1121一面，在使用时，如果需要调节底座110与固定座120之间的间距，可旋转调节件140，由于调节件140套设在支杆130上，形成螺母(调节件140)与螺杆(支杆130)之间的螺纹连接，且调节件140设置在底座110上表面(朝向固定座120一面)，因此，旋转调节件140，会使得所述支杆130上升(例如顺时针旋转调节件140)或下降(逆时针旋转调节件140)，即调节支杆130伸入槽孔1121内侧的长度，从而调节底座110与固定座120之间的间距，调节管道支架100的整体高度，在本实施例中，固定座120的上表面与底座110的下表面之间的间距为60～100mm。
其中，槽孔1121的内壁可设置内螺纹，与支杆130形成螺纹连接，以保证支杆130与底座110装配的稳定性，提升管道支架100的整体稳定性。
支杆130的数量为两根或两根以上，在本实施例中，支杆130的数量为3根，平行间隔排布于底座110与固定座120之间，槽孔1121的数量与支杆130的数量相对应，一根支杆130对应一个槽孔1121。
在本实施例中，位于凸块112外侧的底板111表面开设有固定孔113，固定孔113内插设固定件1131，形成底座110在地面上的固定。其中，固定件1131为膨胀螺丝。固定件1131的设计，可保证底座110的稳定性，避免因振动导致底座110出现位移、摇晃。
在另一个实施例中，支杆130表面间隔开设有若干定位孔，调节件140为插杆，调节件140插设于支杆130上的定位孔并设置于底座110朝向固定座120一面，调节支杆130伸入底座110内侧的长度，同时，调节件140还可对支杆130进行支撑。
在本发明的另一个实施中，参照图3，底座110包括底板111及凸出设置于底板111朝向固定座120一面的箱体114，箱体114朝向固定座120一面开设通孔1141，支杆130为螺杆，支杆130朝向底座110一端(即支杆130下端)插设于通孔1141并伸入箱体114内侧，调节件140为螺母，调节件140套设于支杆130上且调节件140的底面设置于底座110开设通孔1141一面，在使用时，如果需要调节底座110与固定座120之间的间距，可旋转调节件140，由于调节件140套设在支杆130上，形成螺母(调节件140)与螺杆(支杆130)之间的螺纹连接，且调节件140设置在底座110上表面(朝向固定座120一面)，因此，旋转调节件140，会使得所述支杆130上升(例如顺时针旋转调节件140)或下降(逆时针旋转调节件140)，即调节支杆130伸入箱体114内侧的长度，从而调节底座110与固定座120之间的间距，调节管道支架100的整体高度，在本实施例中，固定座120的上表面与底座110的下表面之间的间距为60～100mm。
在本发明的另一个实施例中，参照图1，固定座120远离底座110一面设置有一固定环150，用以固定管道200。在本实施例中，固定座120远离底座110一面开设有一槽体121，固定环150的一部分位于槽体121内，固定环150的另一部分(即固定环150位于槽体121外侧的部分)与位于固定环150内侧的固定座120的上表面构成一固定腔151，管道200插设于固定腔151内，固定腔151形成对管道200支撑、固定。避免管道200因出现振动而破裂，例如在溅镀设备中，避免真空管道因真空泵抽真空导致的管道振动而破裂，从而保证溅镀设备正常运转，不会宕机。在本实施例中，所述槽体121为通槽。
在本发明的另一个实施例中，参照图1，靠近槽体121的开口的槽体121的两侧壁的上端面分别内弯形成限位部1211，两所述限位部1211配合形成对固定环150在槽体121内的限位、固定，以保证固定环150的稳定性。此外，限位部1211由于上表面为平面，可对位于固定腔151内的管道200进行支撑，减小限位部1211与管道200外壁接触部位之间的压强，避免管道200外壁出现划痕。
其中，固定环150与固定座120之间通过焊接连接形成一体式结构。
在本发明的另一个实施例中，参照图1，固定环150远离所述槽体121一端开设开口152，对应所述开口152两端的所述固定环150分别弯折形成弯折部153，两所述弯折部153通过锁定件1531连接。在本实施例中，锁定件1531为螺栓。开口152、弯折部153以及锁定件1531的配合设计，可实现固定环150开口度的调节，从而使得所述固定环150与不同尺寸的管道200相配合，提升适用范围。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种管道支架，其特征在于，包括：
相对设置的底座和固定座，所述固定座用于支撑管道；
至少一根支杆，设置于所述底座与所述固定座之间，所述支杆的一端伸入所述底座内侧且伸入长度可调，所述支杆的另一端与所述固定座连接以支撑所述固定座；以及
调节件，与所述支杆连接以调节所述支杆伸入所述底座内侧的长度，调节所述底座与所述固定座之间的间距。
2.如权利要求1所述的管道支架，其特征在于，所述支杆的数量为两根或两根以上，间隔排布于所述底座与所述固定座之间，一根所述支杆对应一根所述调节件。
3.如权利要求2所述的管道支架，其特征在于，
所述底座包括底板及凸出设置于所述底板朝向所述固定座一面的块体，所述块体表面开设有与所述支杆相对应的槽孔；
所述支杆为螺杆，所述调节件为螺母，所述支杆伸入所述槽孔，所述调节件套设于所述支杆并设置于所述底座表面。
4.如权利要求3所述的管道支架，其特征在于，
所述底座包括底板及凸出设置于所述底板朝向所述固定座一面的箱体，所述箱体朝向所述固定座一面开设有与所述支杆相对应的通孔；
所述支杆为螺杆，所述调节件为螺母，所述支杆由所述通孔伸入所述箱体内侧，所述调节件套设于所述支杆并设置于开设所述通孔的箱体表面。
5.如权利要求4所述的管道支架，其特征在于，所述底板表面开设固定孔，所述固定孔内插设有固定件。
6.如权利要求4所述的管道支架，其特征在于，所述固定座远离所述底座一面设置有用于固定管道的固定环。
7.如权利要求6所述的管道支架，其特征在于，所述固定座远离所述底座一面开设有一槽体，所述固定环的一部分位于所述槽体内，所述固定环的另一部分与位于所述固定环内侧的所述固定座的上表面形成用于固定所述管道的固定腔。
8.如权利要求7所述的管道支架，其特征在于，所述槽体的两侧壁的上端面分别内弯形成限位部。
9.如权利要求7所述的管道支架，其特征在于，所述固定环远离所述槽体一端开设开口，对应所述开口两端的所述固定环分别弯折形成弯折部，两所述弯折部通过锁定件连接。
10.一种溅镀真空管路，其特征在于，所述溅镀真空管路包括如权利要求1～9中任一项所述的管道支架。
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