CN113376820A - 一种大倍率显微成像光学***及光学装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种大倍率显微成像光学***及光学装置，其技术方案要点是：包括沿光轴从物侧到像侧依次排列的：第一镜组，第一镜组沿光轴从物侧到像侧依次排列有具有正光焦度的第一透镜、具有正光焦度的第二透镜、具有正光焦度的第三透镜、具有正光焦度的第四透镜、具有正光焦度的第五透镜、具有负光焦度的第六透镜、具有正光焦度的第七透镜；第二镜组，第二镜组包括具有负光焦度的第八透镜；第一镜组的光焦度φA与整个光学***的光焦度φ的比值满足：0.055≤φA/φ≤0.075；第二镜组的光焦度φB与整个光学***的光焦度φ的比值满足：‑0.5≤φB/φ≤‑0.3。本申请提供的一种大倍率显微成像光学***及光学装置具有大倍率、分辨率高、工作距离长的优点。

Description

一种大倍率显微成像光学***及光学装置

技术领域

本申请涉及光学技术领域，具体而言，涉及一种大倍率显微成像光学***及光学装置。

背景技术

在水环境中，微型生物如细菌、藻类以及生物碎屑形成的颗粒性有机碳是水环境中食物链以及碳循环过程的主要参与者与承担者。研究上述微小生物或微小颗粒在食物链维持或碳循环过程中的作用，是从微观层面探索与分析水环境中物质循环及变化机理的重要手段。尤其是水环境中微型生物的动态变化过程，由于种类繁多，尺度很小，精确检测与分类的难度较大，需要采用显微观测技术进行研究。

在微观成像领域，显微光学***作为核心组件发挥了极其重要的作用，可实现对微型生物的微米级甚至亚微米级的观测成像。显微光学***的主要技术指标包括工作距离、分辨率、放大倍率、焦深、成像视场等，这些指标相互之间是互相制约，互相影响。在大倍率显微成像中，由于数值孔径较大，成像分辨率较高，显微光学***难以实现长工作距离的观测，需要贴近物面进行观测以降低设计难度。

为了实现对水环境中细菌、藻类等微型生物的活体、原位观测，被检测物体需要与显微光学***保持一定距离，当前大数值孔径高倍率显微物镜难以满足长工作距离下的高分辨率观测。大倍率高分辨率及长工作距离显微光学***成为解决此类需求的关键部件。

针对上述问题，亟需提供一种解决方案。

发明内容

本申请实施例的目的在于提供一种大倍率显微成像光学***及光学装置，具有大倍率、分辨率高、工作距离长的优点。

第一方面，本申请实施例提供了一种大倍率显微成像光学***，技术方案如下：

包括：沿光轴从物侧到像侧依次排列的：

第一镜组，所述第一镜组沿光轴从物侧到像侧依次排列有：

具有正光焦度的第一透镜，所述第一透镜靠近物侧的一面为平面、靠近像侧的一面为凸面，所述第一透镜靠近像侧一面的曲率半径为25.48mm，所述第一透镜靠近物侧的通光孔径为33.4mm、靠近像侧的通光孔径为36mm；

具有正光焦度的第二透镜，所述第二透镜靠近物侧的一面为凹面、靠近像侧的一面为凸面，所述第二透镜靠近物侧一面的曲率半径为25.48mm、靠近像侧曲率半径为24.12mm，所述第二透镜靠近物侧的通光孔径为36mm，靠近像侧的通光孔径为45.6mm；

具有正光焦度的第三透镜，所述第三透镜靠近物侧的一面为凹面、靠近像侧的一面为凸面，所述第三透镜靠近像侧一面的曲率半径为45.38mm、通光孔径为62.2mm，靠近物侧一面的曲率半径为64.78mm、通光孔径为56.8mm；

具有正光焦度的第四透镜，所述第四透镜靠近物侧的一面为凹面、靠近像侧的一面为凸面，所述第四透镜靠近像侧一面的曲率半径为118.38mm，通光孔径为70mm，靠近物侧一面的曲率半径为4582mm、通光孔径为68.6mm；

具有正光焦度的第五透镜，所述第五透镜靠近物侧的一面为凸面、靠近像侧的一面为凸面，所述第五透镜靠近像侧的一面的曲率半径为69.09mm、通光孔径为69.8mm，靠近物侧的一面的曲率半径为-1348mm、通过孔径为70mm；

具有负光焦度的第六透镜，所述第六透镜靠近物侧的一面为凹面、靠近像侧的一面为凸面，所述第六透镜靠近像侧的一面的曲率半径为184.93mm、通光孔径为72.5mm，靠近物侧的一面的曲率半径为57.28mm、通光孔径为68.8mm；

具有正光焦度的第七透镜，所述第七透镜靠近物侧的一面为凸面、靠近像侧的一面为凹面，所述第七透镜靠近像侧的一面的曲率半径为-201.97mm、通光孔径为60.8mm，靠近物侧的一面的曲率半径为-63.58mm、通光孔径为73.6mm；

第二镜组，所述第二镜组包括具有：

负光焦度的第八透镜，所述第八透镜靠近物侧的一面为凹面、靠近像侧的一面为凸面，所述第八透镜靠近像侧的一面的曲率半径为6477mm、通光孔径为3.7mm，靠近物侧的一面的曲率半径为4.75mm、通光孔径为3.7mm；

所述第一镜组的光焦度φA与整个光学***的光焦度φ的比值满足：

0.055≤φA/φ≤0.075；

所述第二镜组的光焦度φB与整个光学***的光焦度φ的比值满足：

-0.5≤φB/φ≤-0.3。

进一步地，在本申请实施例中，所述第四透镜与所述第五透镜之间设置有孔径光阑。

进一步地，在本申请实施例中，所述第三透镜与所述第二透镜在中轴线上的间隔为0.1mm，所述第四透镜与所述第三透镜在中轴线上的间隔为0.2mm，所述孔径光阑与所述第四透镜在中轴线上的间隔为0.1mm，所述第五透镜与所述孔径光阑在中轴线上的间隔为0.1mm，所述第六透镜与所述第五透镜在中轴线上的间隔为2.5mm，所述第七透镜与所述第六透镜在中轴线上的间隔为0.1mm，所述第八透镜与所述第七透镜在中轴线上的间隔为61.5mm，所述第一透镜在中轴线上的厚度为12.4mm，所述第二透镜在中轴线上的厚度为12.7mm，所述第三透镜在中轴线上的厚度为10.8mm，所述第四透镜在中轴线上的厚度为10.3mm，所述第五透镜在中轴线上的厚度为14.9mm，所述第六透镜在中轴线上的厚度为8.3mm，所述第七透镜在中轴线上的厚度为29.9mm，所述第八透镜在中轴线上的厚度为6mm。

进一步地，在本申请实施例中，所述第一透镜与所述第二透镜组成双胶合透镜。

进一步地，在本申请实施例中，所述第五透镜与所述第六透镜之间设有空气层。

进一步地，在本申请实施例中，物面到所述第一透镜的距离L与光学***焦距f满足：L≥3f。

进一步地，在本申请实施例中，所述第一透镜的材料为H-K9L、所述第二透镜的材料为H-ZF52。

进一步地，在本申请实施例中，所述第五透镜的材料为H-ZF52，所述第六透镜的材料为H-ZF88。

进一步地，在本申请实施例中，所述第三透镜的材料为H-ZF52，所述第四透镜的材料为H-ZF52，所述第七透镜的材料为H-ZF88，所述第八透镜的材料为H-ZF88。

进一步地，在本申请还提供一种光学装置，所述光学装置搭载有如上所述的大倍率显微成像光学***。

由上可知，本申请实施例提供的一种大倍率显微成像光学***及光学装置，利用第一透镜和第二透镜将大数值孔径的光线进行准直，在获得大光焦度的同时降低了***的球差与彗差，然后通过第三透镜与第四透镜将光线进一步准直，并使用第五透镜和第六透镜产生正高级球差用于校正***中剩余负球差，使用第七透镜来校正***的场曲从而获得平场成像的效果并缩短***的长度，最后通过第八透镜获得质量良好的平行光束，具有大倍率、分辨率高、工作距离长的有益效果。

本申请的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本申请实施例了解。本申请的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

图1为本申请实施例提供的一种大倍率显微成像光学系结构示意图。

图2为本申请实施例提供的光学***的光学传递函数曲线分布图。

图3为本申请实施例提供的光学***的波像差分布图。

图中：100、第一透镜；200、第二透镜；300、第三透镜；400、第四透镜；500、第五透镜；600、第六透镜；700、第七透镜；800、第八透镜；900、孔径光阑。

具体实施方式

下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

请参照图1至图3，一种大倍率显微成像光学***，其技术方案具体包括：沿光轴从物侧到像侧依次排列的：

第一镜组，第一镜组沿光轴从物侧到像侧依次排列有具有正光焦度的第一透镜100、具有正光焦度的第二透镜200、具有正光焦度的第三透镜300、具有正光焦度的第四透镜400、具有正光焦度的第五透镜500、具有负光焦度的第六透镜600、具有正光焦度的第七透镜700；

第二镜组，第二镜组包括具有负光焦度的第八透镜800；

第一镜组的光焦度φA与整个光学***的光焦度φ的比值满足：

0.055≤φA/φ≤0.075；

第二镜组的光焦度φB与整个光学***的光焦度φ的比值满足：

-0.5≤φB/φ≤-0.3。

通过上述技术方案，在满足上述光焦度约束的条件下，利用第一透镜100和第二透镜200可以将大数值孔径的光线进行准直，在获得大光焦度的同时降低了***的球差与彗差，然后通过第三透镜300与第四透镜400将光线进一步准直，并使用第五透镜500和第六透镜600产生正高级球差用于校正***中剩余负球差，使用第七透镜700来校正***的场曲从而获得平场成像的效果并缩短***的长度，最后通过第八透镜800获得质量良好的平行光束，具有大倍率、分辨率高、工作距离长的有益效果。

其中，在本申请所记载的技术方案中，采用了摄远型结构，即由一个前正透镜组和一个后负透镜组组成，同时，第一镜组的光焦度φA与整个光学***的光焦度φ的比值满足：

0.055≤φA/φ≤0.075；

第二镜组的光焦度φB与整个光学***的光焦度φ的比值满足：

-0.5≤φB/φ≤-0.3；

物面到第一透镜100的距离L与光学***焦距f满足：L≥3f。在满足该条件下的光学***在保证成像质量的同时使整体结构更紧凑，仅仅使用八枚镜片就能实现100倍的光学变焦，在实现大倍率的同时保持非常小巧紧凑的结构，有利于实现光学***的小型化以及降低成本，这是目前市场现有手段所无法达到的。

在其中一些实施例中，第四透镜400与第五透镜500之间设置有孔径孔径光阑900。

通过上述技术方案，在第四透镜400与第五透镜500之间设置有孔径孔径光阑900用于调节光束的强弱，孔径光阑900设置在第四透镜400与第五透镜500之间可以保证近轴条件，改善成像质量，校正像差。

在其中一些实施例中，第一透镜100与第二透镜200之间组成双胶合透镜，第一透镜100靠近物侧的一面为平面、靠近像侧的一面为凸面，第二透镜200靠近物侧的一面为凹面、靠近像侧的一面为凸面。并且，第一透镜100的材料为H-K9L、第二透镜200的材料为H-ZF52。

通过上述技术方案，将第一透镜100与第二透镜200设置成双胶合透镜，通过胶合透镜来承担光焦度，降低像差的引入，其中，第二透镜200处于不晕点的位置。同时第一透镜100的材料为H-K9L、第二透镜200的材料为H-ZF52，使用两种不同的材料用于消除色差，提高成像质量。

具体的，在一些具体实施方式中，第一透镜100靠近物侧的一面与物面在中轴线上的间隔为6mm，第一透镜100的凸面曲率半径为25.48mm，第二透镜200的凹面曲率半径为25.48mm、凸面曲率半径为24.12mm，第一透镜100靠近物侧的通光孔径为33.4mm、靠近像侧的通光孔径为36mm，第二透镜200靠近物侧的通光孔径为36mm，靠近像侧的通光孔径为45.6mm。并且，第一透镜100在中轴线上的厚度为12.4mm，第二透镜200在中轴线上的厚度为12.7mm。

通光上述参数设置，入射光以不低于120°的孔径角入射到双胶合透镜中，第一透镜100和第二透镜200组成的双胶合透镜将大数值孔径的光线进行准直，并且第二透镜200处于不晕位置，可以在获得大光焦度的同时降低球差与彗差。

进一步的，第三透镜300和第四透镜400对光线进行进一步准直，在一些具体实施方式中，第三透镜300的凸面的曲率半径为45.38mm、通光孔径为62.2mm，凹面的曲率半径为64.78mm、通光孔径为56.8mm，第四透镜400的凸面的曲率半径为118.38mm，通光孔径为70mm，凹面的曲率半径为4582mm、通光孔径为68.6mm。并且，第三透镜300与第二透镜200在中轴线上的间隔为0.1mm，第三透镜300在中轴线上的厚度为10.8mm，第四透镜400与第三透镜300在中轴线上的间隔为0.2mm，第四透镜400在中轴线上的厚度为10.3mm。

通过上述参数设置，将光线完成初步准直，使光线变成大口径的近似平行光，同时在保证成像质量的同时缩小尺寸。

在其中一些实施例中，第五透镜500与第六透镜600组成分离透镜，第五透镜500与第六透镜600之间形成有空气层，第五透镜500为双凸透镜，第六透镜600靠近物侧的一面为凹面、靠近像侧的一面为凸面。第五透镜500的材料为H-ZF52，第六透镜600的材料为H-ZF88。

具体的，在一些具体实施方式中，第五透镜500靠近像侧的一面的曲率半径为69.09mm、通光孔径为69.8mm，靠近物侧的一面的曲率半径为-1348mm、通过孔径为70mm，第六透镜600靠近像侧的一面的曲率半径为184.93mm、通光孔径为72.5mm，靠近物侧的一面的曲率半径为57.28mm、通光孔径为68.8mm。并且孔径光阑900与第四透镜400在中轴线上的间隔为0.1mm，第五透镜500与孔径光阑900在中轴线上的间隔为0.1mm，第五透镜500在中轴线上的厚度为14.9mm，第六透镜600与第五透镜500在中轴线上的间隔为2.5mm，第六透镜600在中轴线上的厚度为8.3mm。

通过上述技术方案以及参数设置，在第五透镜500与第六透镜600之间设置空气层引入高级球差，用引入的高级球差来校正该光学***内的剩余像差，进而提高成像质量并且缩小尺寸。

进一步地，在一些具体实施方式中，第七透镜700为厚透镜，第七透镜700靠近像侧的一面的曲率半径为-201.97mm、通光孔径为60.8mm，靠近物侧的一面的曲率半径为-63.58mm、通光孔径为73.6mm。并且，第七透镜700与第六透镜600在中轴线上的间隔为0.1mm，第七透镜700在中轴线上的厚度为29.9mm

通过上述参数设置，使用第七透镜700来校正***的场曲，获得平场成像效果，在保证成像质量的同时缩小尺寸。

进一步地，在一些具体实施方式中，第八透镜800靠近像侧的一面的曲率半径为6477mm、通光孔径为3.7mm，靠近物侧的一面的曲率半径为4.75mm、通光孔径为3.7mm。并且，第八透镜800与第七透镜700在中轴线上的间隔为61.5mm，第八透镜800在中轴线上的厚度为6mm。

其中，中轴线与光轴重合。

通光上述参数设置，使用第八透镜800完成对光线的准直，获得质量良好的平行光束，在保证成像质量的同时缩短尺寸。

作为最优选的方案之一，该光学***的参数设置如下表所示：

面序号	名称	曲率半径	间隔mm	材料	通光孔径mm
						1	第八透镜	6477	6	H-ZF88	Φ3.7
2		4.75	61.5		Φ3.7
						3	第七透镜	-201.97	29.9	H-ZF88	Φ60.8
4		-63.58	0.1		Φ73.6
						5	第六透镜	184.93	8.3	H-ZF88	Φ72.5
6		57.28	2.5		Φ68.8
						7	第五透镜	69.09	14.9	H-ZF52	Φ69.8
8		-1348	0.1		Φ70.0
						9	光阑	∞	0.1		Φ69.5
10	第四透镜	118.38	10.3	H-ZF52	Φ70.0
						11		4582	0.2		Φ68.6
12	第三透镜	45.38	10.8	H-ZF52	Φ62.2
						13		64.78	0.1		Φ56.8
14	第二透镜	24.12	12.7	H-ZF52	Φ45.6
						15	第一透镜	25.48	12.4	H-K9L	Φ36.0
16		∞	6		Φ33.4
						17	物面	∞	/	水或生物浸液	Φ0.025

值得注意的是，面序号所代表的镜面按照顺序对应为沿光轴从像侧到物侧依次排列的各透镜的镜面，并且，上述曲率半径的正负只代表透镜的凹凸情况。

通过上述参数设置，该光学***所达到的技术指标如下：

物方数值孔径：1.2；

物方成像尺寸：0.025mm；

物方工作距离：6mm；

成像波长：532nm；

倍率：100X；

光学总长：≤170mm。

使用该光学***主要解决长工作距离下大数值孔径成像引起的高级像差校正难题。为了实现优于270nm的高分辨率，显微光学***的数值孔径达到1.2以上；由于工作距离达到6mm，光学透镜的口径迅速增加，球差以及正弦差等孔径相关的高级像差急剧增加，包括五级、七级高阶像差。为解决高级像差校正难题，采用复杂化的摄远型结构，主要对靠近物面一侧的透镜组进行复杂化设计，采用了近乎不晕的胶合透镜承担光焦度，降低像差的引入；采用双分离透镜引入高级正球差，校正***剩余像差；采用厚透镜校正场曲以及缩短***长度。从像差校正结果来看，本设计较完善的校正了球差及正弦差等单色像差；获得了接近衍射极限的成像质量，在工作距离达到6mm的条件下，成像分辨率优于270nm，物镜焦距2mm，与标准筒镜组合后可以实现100倍的高倍率成像，这是市面上现有产品无法实现的。本发明光学***的总长仅170mm，且只采用了8片透镜达到近衍射极限成像质量，具有***紧凑，制造成本低的优点，有利于推广。

图2表征了本发明上述实例中整个光学***的光学传递函数曲线分布，光学***平均光学传递函数值在1850lp/mm时达到了0.4，接近了衍射极限，成像质量良好。

图3表征了本发明上述实例中整个光学***的波像差分布图，最小均方根波像差为0.012λ，最大为0.08λ，平均值为0.049λ，剩余像差较小，基本达到了衍射极限。

进一步地，在本申请还提供一种光学装置，光学装置搭载有上述的大倍率显微成像光学***。

通过上述技术方案，将上述光学***设置在光学装置上，只采用了8片透镜达到近衍射极限成像质量，具有***紧凑，制造成本低的优点，有利于推广。

以上所述仅为本申请的实施例而已，并不用于限制本申请的保护范围，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种大倍率显微成像光学***，其特征在于，包括：沿光轴从物侧到像侧依次排列的：

第一镜组，所述第一镜组沿光轴从物侧到像侧依次排列有：

具有正光焦度的第一透镜，所述第一透镜靠近物侧的一面为平面、靠近像侧的一面为凸面，所述第一透镜靠近像侧一面的曲率半径为25.48mm，所述第一透镜靠近物侧的通光孔径为33.4mm、靠近像侧的通光孔径为36mm；

具有正光焦度的第二透镜，所述第二透镜靠近物侧的一面为凹面、靠近像侧的一面为凸面，所述第二透镜靠近物侧一面的曲率半径为25.48mm、靠近像侧曲率半径为24.12mm，所述第二透镜靠近物侧的通光孔径为36mm，靠近像侧的通光孔径为45.6mm；

具有正光焦度的第三透镜，所述第三透镜靠近物侧的一面为凹面、靠近像侧的一面为凸面，所述第三透镜靠近像侧一面的曲率半径为45.38mm、通光孔径为62.2mm，靠近物侧一面的曲率半径为64.78mm、通光孔径为56.8mm；

具有正光焦度的第四透镜，所述第四透镜靠近物侧的一面为凹面、靠近像侧的一面为凸面，所述第四透镜靠近像侧一面的曲率半径为118.38mm，通光孔径为70mm，靠近物侧一面的曲率半径为4582mm、通光孔径为68.6mm；

具有正光焦度的第五透镜，所述第五透镜靠近物侧的一面为凸面、靠近像侧的一面为凸面，所述第五透镜靠近像侧的一面的曲率半径为69.09mm、通光孔径为69.8mm，靠近物侧的一面的曲率半径为-1348mm、通过孔径为70mm；

具有负光焦度的第六透镜，所述第六透镜靠近物侧的一面为凹面、靠近像侧的一面为凸面，所述第六透镜靠近像侧的一面的曲率半径为184.93mm、通光孔径为72.5mm，靠近物侧的一面的曲率半径为57.28mm、通光孔径为68.8mm；

具有正光焦度的第七透镜，所述第七透镜靠近物侧的一面为凸面、靠近像侧的一面为凹面，所述第七透镜靠近像侧的一面的曲率半径为-201.97mm、通光孔径为60.8mm，靠近物侧的一面的曲率半径为-63.58mm、通光孔径为73.6mm；

第二镜组，所述第二镜组包括具有：

负光焦度的第八透镜，所述第八透镜靠近物侧的一面为凹面、靠近像侧的一面为凸面，所述第八透镜靠近像侧的一面的曲率半径为6477mm、通光孔径为3.7mm，靠近物侧的一面的曲率半径为4.75mm、通光孔径为3.7mm；

所述第一镜组的光焦度φA与整个光学***的光焦度φ的比值满足：

0.055≤φA/φ≤0.075；

所述第二镜组的光焦度φB与整个光学***的光焦度φ的比值满足：

-0.5≤φB/φ≤-0.3。

2.根据权利要求1所述的一种大倍率显微成像光学***，其特征在于，所述第四透镜与所述第五透镜之间设置有孔径光阑。

3.根据权利要求2所述的一种大倍率显微成像光学***，其特征在于，所述第三透镜与所述第二透镜在中轴线上的间隔为0.1mm，所述第四透镜与所述第三透镜在中轴线上的间隔为0.2mm，所述孔径光阑与所述第四透镜在中轴线上的间隔为0.1mm，所述第五透镜与所述孔径光阑在中轴线上的间隔为0.1mm，所述第六透镜与所述第五透镜在中轴线上的间隔为2.5mm，所述第七透镜与所述第六透镜在中轴线上的间隔为0.1mm，所述第八透镜与所述第七透镜在中轴线上的间隔为61.5mm，所述第一透镜在中轴线上的厚度为12.4mm，所述第二透镜在中轴线上的厚度为12.7mm，所述第三透镜在中轴线上的厚度为10.8mm，所述第四透镜在中轴线上的厚度为10.3mm，所述第五透镜在中轴线上的厚度为14.9mm，所述第六透镜在中轴线上的厚度为8.3mm，所述第七透镜在中轴线上的厚度为29.9mm，所述第八透镜在中轴线上的厚度为6mm。

4.根据权利要求3所述的一种大倍率显微成像光学***，其特征在于，所述第一透镜与所述第二透镜组成双胶合透镜。

5.根据权利要求1所述的一种大倍率显微成像光学***，其特征在于，所述第五透镜与所述第六透镜之间设有空气层。

6.根据权利要求1所述的一种大倍率显微成像光学***，其特征在于，物面到所述第一透镜的距离L与光学***焦距f满足：L≥3f。

7.根据权利要求4所述的一种大倍率显微成像光学***，其特征在于，所述第一透镜的材料为H-K9L、所述第二透镜的材料为H-ZF52。

8.根据权利要求5所述的一种大倍率显微成像光学***，其特征在于，所述第五透镜的材料为H-ZF52，所述第六透镜的材料为H-ZF88。

9.根据权利要求1所述的一种大倍率显微成像光学***，其特征在于，所述第三透镜的材料为H-ZF52，所述第四透镜的材料为H-ZF52，所述第七透镜的材料为H-ZF88，所述第八透镜的材料为H-ZF88。

10.一种光学装置，其特征在于，所述光学装置搭载有如权利要求1至9任一项所述的大倍率显微成像光学***。

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