CN113369193A - 用于油嘴针阀体中孔的清洗装置及其清洗工艺 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及用于油嘴针阀体中孔的清洗装置,所述清洗装置包括至少一输送机构,所述输送装置用于输送料盘;抓料机构,所述抓料机构用于抓取或放开所述料盘;第一清洗机构,所述第一清洗机构用于将料盘一次清洗;第二清洗机构,所述第二清洗机构用于清洁油嘴针阀体中孔;干燥机构,所述干燥机构用于油嘴针阀体外表面及中孔的干燥。本发明通过第一清洗机构、第二清洗机构可实现油嘴针阀体表面洁净,避免其存在结晶以及水斑的问题,有效提高了油嘴针阀体整体的清洁度,并且保证油嘴针阀体中孔无异物残留,使得后续中孔分级精度好。
Description
技术领域
本发明涉及喷油嘴技术领域,尤其涉及用于油嘴针阀体中孔的清洗装置及其清洗工艺。
背景技术
目前,针阀体与针阀组合的工艺称为油嘴偶配工艺,具体是针阀体的中孔及针阀外圆分级后进行偶配,由于针阀体中孔孔径根据每0.5um一级进行分级,分级精度高,因此对于针阀体中孔表面的零件清洁状态就非常重要,但是目前对于油嘴针阀体中孔的清洁存在以下问题:
(一)针阀体中孔表面具有白色结晶部分以及部分点状砂轮灰粘结,使得针阀体中孔的清洁度不佳,容易对后续的分级工艺产生影响,使偶件在测量过程中的测量结果不稳定。
(二)针阀体外表面针具有清洗剂洁净残留并且具有水斑,无法满足客户要求。
发明内容
针对上述现有技术的缺点,本发明的目的是提供用于油嘴针阀体中孔的清洗装置及其清洗工艺,以解决现有技术中的一个或多个问题。
为实现上述目的,本发明的技术方案如下:
用于油嘴针阀体中孔的清洗装置,所述清洗装置包括
至少一输送机构,所述输送装置用于输送料盘;
抓料机构,所述抓料机构用于抓取或放开所述料盘;
第一清洗机构,所述第一清洗机构用于将料盘一次清洗;
第二清洗机构,所述第二清洗机构用于清洁油嘴针阀体中孔;
干燥机构,所述干燥机构用于油嘴针阀体外表面及中孔的干燥。
进一步的,所述抓料机构包括气缸,所述气缸的输出端连接第二支架,所述第二支架的一部分连接至少一导向杆,所述导向杆依次与第一导向套、第二导向套配合,所述第一导向套、第二导向套设置于第一支架;所述第二支架的另一部分连接至少一悬臂,所述悬臂上具有开口。
进一步的,所述清洗装置还包括伺服滑台,所述伺服滑台包括伺服电机,所述伺服电机的输出端连接滑台,所述滑台的一部分与所述滑轨连接,所述滑台的另一部分连接第一支架。
进一步的,所述第一清洗机构包括具有溢流腔的第一箱体,所述第一箱体的外侧设置至少一超声波发生器,在所述第一箱体内分别开设至少一第一放液孔及至少一第一注液孔,在所述溢流腔中开设至少一回液孔。
进一步的,所述第一箱体内还设置至少一第一加热管。
进一步的,所述第二清洗机构包括具有至少一第二注液孔以及具有至少一第二放液孔的第二箱体,所述第二箱体的内部具有至少一第二加热管、至少一清洗毛刷以及至少一限位传感器,所述清洗毛刷的一部分与水下动力机构的输出端连接。
进一步的,所述干燥机构包括具有盖体的第三箱体,至少两根支撑杆以及至少一第三加热管连接于所述第三箱体的内部,在所述第三箱体上分别开设至少一吸风口及至少一进风口。
进一步的,在所述第三箱体上还开设至少一清洗口。
进一步的,所述料盘包括料盘底板以及围合于所述料盘底板的若干侧板,所述若干侧板围合的空间通过料盖板封闭,在所述侧板的外侧具有至少一凸台,至少一进液孔开设于所述侧板上,在所述料盘底板上开设若干通孔。
利用用于油嘴针阀体中孔的清洗装置进行清洗的工艺,包括以下步骤:
通过一部分输送机构将料盘输送至待抓取工位;
抓料机构从所述待抓取工位抓取料盘至第一清洗机构,所述第一清洗机构的第一箱体中注入第一清洗液,所述料盘浸没于所述第一清洗液,所述第一清洗液的温度为70℃~85℃,所述料盘的清洗时间为2min30s~3min20s;
抓料机构从第一清洗机构中取出料盘并输送至第二清洗机构,所述第二清洗机构的第二箱体中注入第二清洗液,所述料盘通过抓料机构下沉,使油嘴针阀体的中孔被清洗毛刷伸入,所述清洗毛刷清洗中孔的时间为1min30s~2min,所述第二清洗液的温度为60℃~75℃,所述油嘴针阀体相对于清洗毛刷的位移量为4~7mm;
抓料机构从第二清洗机构中取出料盘并通过干燥机构干燥,料盘在所述干燥机构中的干燥时间为2min~4min,所述干燥机构的烘干温度为120℃~200℃;
抓料机构从干燥机构中取出料盘并通过另一部分输送机构输出。
与现有技术相比,本发明的有益技术效果如下:
(一)本发明通过第一清洗机构、第二清洗机构可实现油嘴针阀体表面洁净,避免其存在结晶以及水斑的问题,有效提高了油嘴针阀体整体的清洁度,并且保证油嘴针阀体中孔无异物残留,使得后续中孔分级精度好。
(二)进一步的,干燥机构的设置可以实现油嘴针阀体中孔以及外表面的干燥,喷头的设置可实现油嘴针阀体的进一步降温,使得分级工序可快速开展,进而提高了生产效率。
附图说明
图1示出了本发明实施例用于油嘴针阀体中孔的清洗装置及其清洗工艺中清洗装置的结构示意图。
图2示出了本发明实施例用于油嘴针阀体中孔的清洗装置及其清洗工艺中抓料机构的结构示意图。
图3示出了本发明实施例用于油嘴针阀体中孔的清洗装置及其清洗工艺中抓料机构的部分结构示意图。
图4示出了本发明实施例用于油嘴针阀体中孔的清洗装置及其清洗工艺中第一清洗部分的主视图。
图5示出了本发明实施例用于油嘴针阀体中孔的清洗装置及其清洗工艺中第一清洗部分的侧视图。
图6示出了本发明实施例用于油嘴针阀体中孔的清洗装置及其清洗工艺中第二清洗部分的主视图。
图7示出了本发明实施例用于油嘴针阀体中孔的清洗装置及其清洗工艺中料盘的部分结构示意图。
图8示出了本发明实施例用于油嘴针阀体中孔的清洗装置及其清洗工艺中第三清洗部分的主视图。
图9示出了本发明实施例用于油嘴针阀体中孔的清洗装置及其清洗工艺中输送机构的结构示意图。
附图中标记:1、第一输送机构;2、第二输送机构;3、第三输送机构;301、喷头;41、机架;420、第一循环泵;421、第二循环泵;422、第三循环泵;430、第一储液箱;431、第二储液箱;440、第一过滤桶;441、第二过滤桶;442、第三过滤桶;50、抓料机构;501、气缸;502、导向杆;503、第一导向套;504、第二导向套;505、第一支架;506、第二支架;507、悬臂;5071、开口;51、伺服滑台;510、滑台;511、滑轨;512、第三支架;513、伺服电机;600、料盘;601、凸台;602、料盘底板;6021、通孔;603、侧板;604、盖板;605、进液孔;7、第一清洗机构;700、第一箱体;701、超声波发生器;702、第一放液孔;703、第一注液孔;704、隔板;705、回液孔;706、溢流腔;707、第一加热管;8、第二清洗机构;800、第二箱体;801、第二加热管;802、清洗毛刷;803、第二注液孔;804、水下动力机构;805、第二放液孔;806、限位传感器;900、中孔;10、干燥机构;1000、第三箱体;1001、盖体;1002、吸风口;1003、进风口;1004、支撑杆;1005、清洗口;1006、第三加热管;1007、放水口;1100、电机;1101、第一同步轮;1102、第二同步轮;1103、输送支架;1104、主动辊;1105、皮带;1105、被动辊。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图和具体实施方式对本发明提出的用于油嘴针阀体中孔的清洗装置及其清洗工艺作进一步详细说明。根据下面说明,本发明的优点和特征将更清楚。需要说明的是,附图采用非常简化的形式且均使用非精准的比例,仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施方式的目的。为了使本发明的目的、特征和优点能够更加明显易懂,请参阅附图。须知,本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等,均仅用以配合说明书所揭示的内容,以供熟悉此技术的人士了解与阅读,并非用以限定本发明实施的限定条件,故不具技术上的实质意义,任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整,在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下,均应仍落在本发明所揭示的技术内容能涵盖的范围内。
本发明所述的清洗装置的具体结构如下:
请参考图1,上述清洗装置包括至少一输送机构,具体的,在本实施例所述清洗装置中,输送机构具体为三台分别为第一输送机构1、第二输送机构2以及第三输送机构3,其中第一输送机构1横向布置,所述第二输送机构2沿纵向设置于第一输送机构1的前端,所述第三输送机构3沿纵向设置于所述第一输送机构1的后端。
具体的,所述第一输送机构1、第二输送机构2以及第三输送机构3的结构相同,下面以第一输送机构1为例详细描述具体结构如下:
请参考图9,所述第一输送机构1包括电机1100,所述电机1100的输出端连接第一同步轮1101,所述第一同步轮1101通过同步带与第二同步轮1102连接,所述第二同步轮1102与主动辊1104的轴端连接,所述主动辊1104同构皮带1105与若干被动辊1105连接,其中主动辊1104未连接第一同步轮1101的另一轴端与轴承连接,并且剩余被动辊1105的轴端也与轴承连接,各轴承均安装于输送支架1103中。
进一步的,在第三输送支架3的皮带1105的左右两侧还可设置若干喷头301,各喷头301通过气管可与外接风机连接,以便于对第三输送支架3上的料盘601进行吹干。
请参考图1、图2、图3,下面具体描述抓料机构的具体结构如下:
请参考图1,所述抓料机构用于抓取或放开所述料盘601,具体的,在本实施例所述清洗装置中,所述抓料机构可将料盘601从第一输送支架2上抓取并放入第一清洗机构7、从第一清洗机构7中取出并放入第二清洗机构8,从第二清洗机构8取出并放入干燥机构10内,最后再从干燥机构10中取出并放入第三输送机构3中。
进一步的,请参考图2和图3,所述抓料机构包括气缸501,所述气缸501固定于第一支架505上,在所述第一支架505上分别安装多个第一导向套503以及第二导向套504,第一导向套503与第二导向套504自上而下同轴设置,在所述同轴的第一导向套503以及第二导向套504中贯穿导向杆502,所述导向杆502的一端与第二支架506固定,所述第二支架506还与气缸501的输出端连接。
进一步的,亲参考图2和图3,在所述第二支架506上还连接一对悬臂507,所述悬臂507的一端具有开口5071,所述开口5071在本实施例所述清洗装置中为“V”形开口。
进一步的,请参考图2,为了实现所述抓料机构在X方向上作移动,所述清洗装置还具有伺服滑台51,所述伺服滑台51包括伺服电机513,所述伺服电机513固定在第三支架512上,所述第三支架512被固定于机架41中,所述伺服电机513通过丝杆螺母机构中的螺母与滑台510连接,所述滑台510与滑轨511滑动连接,所述滑轨511被固定于第三支架512上。通过所述伺服电机联动丝杆螺母并带动滑台510沿滑轨511滑动,由此实现了第一支架505以及与第一支架505连接的气缸501、导向杆502、悬臂507联动,以实现抓料机构可沿X方向移动至第二清洗机构8、干燥机构10以及第二输送机构2、第三输送机构3。
请参考图1、图4和图5,下面描述第一清洗机构7的具体结构如下:
第一清洗机构,第一清洗机构位于抓料机构的下方,第一清洗机构用于将料盘600一次清洗。第一清洗机构7包括具有溢流腔706的第一箱体700,第一箱体700的外侧设置至少一超声波发生器701,所述外侧包括第一箱体700的前后两侧以及底部,通过超声波在液体中的空化作用、加速度作用及直进流作用对液体和油嘴针阀体中污物直接、间接的作用,使污物层被分散、乳化、剥离而达到清洗目的。目前所用的超声波清洗机中,空化作用和直进流作用应用得更多。在第一箱体700内分别开设两个第一放液孔702及一个第一注液孔703,在溢流腔706中开设两个回液孔705,回液孔705通过管路与第一储液箱430连通。其中第一注液孔703通过管路与第一循环泵420的出口连接,各第一放液孔通过管路与第一循环泵420的一部分入口连接,所述第一循环泵420还具有另一部分入口连接第一储液箱430,所述第一储液箱430中的清洗液进入第一循环泵420时还需要经过第一过滤桶440中过滤杂质,在所述第一过滤桶440中具有过滤袋,所述过滤袋的过滤精度为50um。
请继续参考图1、图4和图5,第一箱体700内还设置第一加热管707,所述第一加热管707用于将注入第一箱体700的清洗液加热至所需温度。
请参考图6,下面描述第二清洗机构8的具体结构如下:
第二清洗机构8包括具有一第二注液孔803以及两个第二放液孔805的第二箱体800,所述第二箱体800的内部具有第二加热管801用于将注入第二加热管的清洗液加热至需求温度。
若干清洗毛刷802设置于所述第二箱体800的内部,各清洗毛刷802的一端与水下动力机构连接,该水下动力机构具体可以为防水电机,其驱动清洗毛刷802可以一定转速旋转。
为了保证抓料机构将料盘600放入第二箱体800之后可以准确的将料盘600中的油嘴针阀体的中孔与清洗毛刷802对接,在第二箱体800中可设置限位传感器806,从而实现抓料机构将料盘下沉的行程固定,避免超行程。
进一步的,上述第二注液孔803通过管路与第二循环泵421的出口连接,各第二放液孔805通过管路与第二循环泵421的一部分入口连接,所述第二循环泵421还具有另一部分入口连接第二储液箱431,所第二储液箱431中的清洗液进入第二循环泵421时还需要经过第二过滤桶441以及第三过滤桶442中过滤杂质,所述第二过滤桶421的过滤精度为50um,所述第三过滤桶442的过滤精度为10um。上述第二循环泵421、第二储液箱431、第二过滤桶441、第三过滤桶442均设置于机架4中。
请参考图8,下面描述干燥机构10的具体结构如下:
干燥机构用于油嘴针阀体外表面及中孔的干燥。干燥机构10包括具有盖体1001的第三箱体1000,四根支撑杆1004以及两根第三加热管1006连接于第三箱体1000的内部,四根支撑杆1004沿横向和纵向交错布置形成于第三箱体1000内,在第三箱体1000上分别开设一吸风口1002及一进风口1003,该吸风口1002以及进风口1003也分别与真空发生器连接。
进一步的,请继续参考图8,在第三箱体1000上还开设两个清洗口1005,由于料盘600被支承于支撑杆1004上,因此未吹干的水会从支撑杆1004之间的间隙处落入第三箱体1000的底部,久而久之会在第三箱体1000的内部形成水垢等污染物,通过给清洗口1005注水之后可将漂浮于水中的污染物通过该清洗口1005排出。
进一步的,料盘600包括料盘底板602以及围合于料盘底板602的若干侧板603,若干侧板603围合的空间通过料盖板604封闭,在侧板603的外侧具有若干凸台601,四个进液孔605开设于侧板603上,通过该进液孔605可供清洗液流入并充盈于侧板603围合的空间内,以达到清洗油嘴针阀体的目的。为了保证第二清洗机构8中的毛刷802可顺利***油嘴针阀体的中孔内,在料盘底板602上开设若干通孔6021。
下面描述上述清洗装置的清洗步骤如下:
S1:请参考图1,作业人员将料盘600放置于第一输送机构1中,第一输送机构1上的料盘600沿箭头方向进入第二输送机构2并沿箭头方向输送至第二输送机构2的尾部即待抓取工位。
S2:请参考图3,抓料机构从抓取工位抓取料盘,具体是伺服滑台51中伺服电机513通过丝杆螺母机构带动滑台510移动,使抓料机构50移动至料盘600的正上方。气缸501启动,气缸501的活塞带动第二支架506以及导向杆502沿Z方向下降,直至悬臂507下降至料盘600外侧的凸台601的下方,然后再次通过伺服滑台51沿X方向移动至凸台601的正下方,最后他能够过气缸501控制悬臂507上升使卡口5071与凸台601卡接,即可实现控制料盘600移动。
S3:请参考图1和图4,抓料机构控制料盘600移动至第一清洗机构7的正上方,在第一清洗机构7的第一箱体700中通过第一注液孔703注入第一清洗液,本实施例所述清洗装置中,第一清洗液采用纯水混合2%~4%含量的防锈型清洗剂,优选的,所述防锈性清洗剂的含量可为可占纯水总量的3%。抓料机构50控制料盘600浸没于第一清洗液中,第一清洗液通过料盘600中侧板603上的进液孔605进入料盘600内部并将料盘600内部的若干油嘴针阀体浸没,第一加热管707采用电加热的方式将第一清洗液加热至70℃~90℃,优选的可以加热至85℃。启动超声波发生器701清洗油嘴针阀体,清洗时间优选为2min30s~3min20s,优选为3min。利用第一清洗液可对油嘴针阀体达到基本清洗要求,使油嘴针阀体的表面无结晶残留。
S4:请参考图6和图7,将一次清洗后的装有油嘴针阀体的料盘600通过抓料机构从第一箱体700中沿Z向向上取出,然后再沿X方向移动至第二清洗机构8,在继续沿Z方向放入第二箱体800中。
第二箱体800通过第二注液孔803注入第二清洗液,该第二清洗液包括纯水配合占纯水总量2%的防锈剂,其中防锈剂的含量可占纯水总量的1%~2.5%,该含量的防锈剂可使油嘴针阀体达到防锈周期30~40天,并且其表面不会因第二清洗液浓度过高造成表面结晶。
具体的,抓料机构控制料盘600下降,直至限位传感器806感应到料盘600之后停止下降,此时由于料盘600中料盘底板602上具有通孔6021,并且油嘴针阀体的中孔900与该通孔6021同轴,同时第二箱体800内部的清洗毛刷802也与中孔900同轴,因此当抓料机构停止下降时油嘴针阀体的中孔900与清洗毛刷802头部的一部分接触,然后通过水下动力机构804控制各清洗毛刷802上下位移,以实现对中孔的进一步刷洗,该清洗毛刷802自上而下刷洗的位移量为4~7mm,优选为6mm(其中中孔长度为10mm),并且在该过程中,第二清洗液的水温需要通过第二加热管801加热至60℃~75℃,优选为65℃,若低于60℃会导致油嘴针阀体表面烘干后又有结晶残留,温度超过75℃会导致清洗毛刷802的寿命缩短。
刷洗过后清洗毛刷802复位,抓料机构控制料盘600上升,当上升一段距离并还浸没于第二清洗液中,此时依靠抓料机构控制料盘600在第二清洗液中往复上下位移,以实现对料盘600内部各油嘴针阀体的漂洗,其中抓料机构50中悬臂507的上升的最高点与下降的最低点之间的位移距离为2~5mm,优选为2mm
S5:抓料机构50将第二箱体800中取出料盘600并放入干燥机构10的第三箱体1000,通过真空发生器使第三箱体1000处于真空负压,以在第三箱体1000中形成一干燥空间,带有若干油嘴针阀体的料盘600在该干燥空间中干燥2~4min,优选为3min。然后再通过第三加热管1006将第三箱体1000中温度升温至200℃烘干1min,然后再降温至120℃之后烘干2min即可实现对油嘴针阀体的干燥。
S6:干燥后的料盘600继续通过抓料机构50从第三箱体1000中抓取后放入第三输送机构3,在第三输送机构3的左右两侧设置喷头301,利用喷头301补充吹风以及加速抓料机构中油嘴针阀体温度的降温,最后由作业人员取料即可。
以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简洁,未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,都应当认为是本说明书记载的范围。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.用于油嘴针阀体中孔的清洗装置,其特征在于:所述清洗装置包括至少一输送机构,所述输送装置用于输送料盘;
抓料机构,所述抓料机构用于抓取或放开所述料盘;
第一清洗机构,所述第一清洗机构用于将料盘一次清洗;
第二清洗机构,所述第二清洗机构用于清洁油嘴针阀体中孔;
干燥机构,所述干燥机构用于油嘴针阀体外表面及中孔的干燥。
2.如权利要求1所述的用于油嘴针阀体中孔的清洗装置,其特征在于:所述抓料机构包括气缸,所述气缸的输出端连接第二支架,所述第二支架的一部分连接至少一导向杆,所述导向杆依次与第一导向套、第二导向套配合,所述第一导向套、第二导向套设置于第一支架;所述第二支架的另一部分连接至少一悬臂,所述悬臂上具有开口。
3.如权利要求2所述的用于油嘴针阀体中孔的清洗装置,其特征在于:所述清洗装置还包括伺服滑台,所述伺服滑台包括伺服电机,所述伺服电机的输出端连接滑台,所述滑台的一部分与所述滑轨连接,所述滑台的另一部分连接第一支架。
4.如权利要求1所述的用于油嘴针阀体中孔的清洗装置,其特征在于:所述第一清洗机构包括具有溢流腔的第一箱体,所述第一箱体的外侧设置至少一超声波发生器,在所述第一箱体内分别开设至少一第一放液孔及至少一第一注液孔,在所述溢流腔中开设至少一回液孔。
5.如权利要求4所述的用于油嘴针阀体中孔的清洗装置,其特征在于:所述第一箱体内还设置至少一第一加热管。
6.如权利要求1所述的用于油嘴针阀体中孔的清洗装置,其特征在于:所述第二清洗机构包括具有至少一第二注液孔以及具有至少一第二放液孔的第二箱体,所述第二箱体的内部具有至少一第二加热管、至少一清洗毛刷以及至少一限位传感器,所述清洗毛刷的一部分与水下动力机构的输出端连接。
7.如权利要求1所述的用于油嘴针阀体中孔的清洗装置,其特征在于:所述干燥机构包括具有盖体的第三箱体,至少两根支撑杆以及至少一第三加热管连接于所述第三箱体的内部,在所述第三箱体上分别开设至少一吸风口及至少一进风口。
8.如权利要求7所述的用于油嘴针阀体中孔的清洗装置,其特征在于:在所述第三箱体上还开设至少一清洗口。
9.如权利要求1所述的用于油嘴针阀体中孔的清洗装置,其特征在于:所述料盘包括料盘底板以及围合于所述料盘底板的若干侧板,所述若干侧板围合的空间通过料盖板封闭,在所述侧板的外侧具有至少一凸台,至少一进液孔开设于所述侧板上,在所述料盘底板上开设若干通孔。
10.利用权利要求1~9任意一项所述用于油嘴针阀体中孔的清洗装置进行清洗的方法,其特征在于包括以下步骤:
通过一部分输送机构将料盘输送至待抓取工位;
抓料机构从所述待抓取工位抓取料盘至第一清洗机构,所述第一清洗机构的第一箱体中注入第一清洗液,所述料盘浸没于所述第一清洗液,所述第一清洗液的温度为70℃~85℃,所述料盘的清洗时间为2min30s~3min20s;
抓料机构从第一清洗机构中取出料盘并输送至第二清洗机构,所述第二清洗机构的第二箱体中注入第二清洗液,所述料盘通过抓料机构下沉,使油嘴针阀体的中孔被清洗毛刷伸入,所述清洗毛刷清洗中孔的时间为1min30s~2min,所述第二清洗液的温度为60℃~75℃,所述油嘴针阀体相对于清洗毛刷的位移量为4~7mm;
抓料机构从第二清洗机构中取出料盘并通过干燥机构干燥,料盘在所述干燥机构中的干燥时间为2min~4min,所述干燥机构的烘干温度为120℃~200℃;
抓料机构从干燥机构中取出料盘并通过另一部分输送机构输出。
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CN116140318A (zh) * | 2023-01-18 | 2023-05-23 | 河北光兴半导体技术有限公司 | 清洗装置 |
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