CN113341660A - 一种精密光刻机的震荡抑制承接座 - Google Patents

一种精密光刻机的震荡抑制承接座 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种精密光刻机的震荡抑制承接座，包括呈一字形顺次排开的前端分座、中部主体座、末端维护座；前端光源分座，固定设置于工作场地，所述前端光源分座的上表面用于安装固定光源媒介；中部主体座，固定设置于工作场地；末端维护座，固定设置于工作场地，所述末端维护座的侧边紧贴所述中部主体座的侧边，且所述末端维护座与前端光源分座分列在所述中部主体座的两侧，所述末端维护座的上表面用于固定晶圆处理装置。本发明提供的一种精密光刻机的震荡抑制承接座，针对性的采用双固定结构，提供能够满足光刻机固定安装的配套承接座，以确保光刻机能够稳定精密的生产。

Description

一种精密光刻机的震荡抑制承接座
技术领域
本发明涉及光刻机固定设备技术领域，特别是涉及一种精密光刻机的震荡抑制承接座。
背景技术
在半导体行业中，光刻机作为其中至关重要的生产设备，其生产的精度直接决定着产品的基本性能，而光刻机对于所在生产环境极为严苛。
为了保证光刻机的安装环境，用于将其固定在工作场地的承接座就显得尤为关键。然而目前还没有满足光刻机固定安装的配套承接座，以确保光刻机能够稳定精密的生产。
发明内容
本发明的目的在于提供一种精密光刻机的震荡抑制承接座，以解决上述问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种精密光刻机的震荡抑制承接座，包括呈一字形顺次排开的前端分座、中部主体座、末端维护座；
前端光源分座，固定设置于工作场地，所述前端光源分座的上表面用于安装固定光源媒介；
中部主体座，固定设置于工作场地，所述中部主体座的侧边紧贴所述前端光源分座的侧边，所述中部主体座的上表面用于固定光刻机主体；
末端维护座，固定设置于工作场地，所述末端维护座的侧边紧贴所述中部主体座的侧边，且所述末端维护座与前端光源分座分列在所述中部主体座的两侧，所述末端维护座的上表面用于固定晶圆处理装置。
作为本发明的一种改进，所述前端光源分座包括：
安装工作台面，所述安装工作台面呈板状结构，所述安装工作台面上嵌接有若干用于安装光源媒介的活动板；
固定支柱，固定设置于所述安装工作台面的下表面，所述固定支柱为长方体块状结构；
防震支柱，固定设置于所述安装工作台面的下表面；
所述防震支柱设置于靠近所述中部主体座的部位。
作为本发明的一种改进，所述防震支柱包括：
固定底板，为板状结构；
工型加固架，固定设置于所述固定底板的上端面；
上固板，与所述工型加固架的上端固定连接；
所述防震支柱上设置有下锚定装置和上顶接装置。
作为本发明的一种改进，其特征在于，
所述下锚定装置包括：
第一支管，上端与所述安装工作台面的下表面固定连接，下端通过锁固板与所述固定底板的上表面固接；
锚定杆，同轴设置于所述第一支管内部，所述锚定杆依次贯穿锁固板、固定底板***工作场地，所述锚定杆位于固定底板下方的部位分别设有抵接卡翅和倒爪；
所述上顶接装置包括：
第二防护管，上端贴近所述安装工作台面的下表面，下端固定于所述上固板的上表面；
套管，所述上固板与固定底板之间还设置有套管；
螺杆，同轴内置于所述第二防护管的内部，且与所述套管螺纹套接，所述螺杆的上端面与所述安装工作台面下表面固接。
本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
下面通过附图和实施例，对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的正视图；
图3为本发明防震支柱的结构示意图；
图4为本发明防震支柱的内部剖视图。
图中各构件为：
1、前端分座，11、安装工作台面，12、活动板，13、固定支柱，14、防震支柱，15、固定底板，16、工型加固架，17、上固板，
2、中部主体座，
3、末端维护座，
4、下锚定装置，41、第一支管，42、锁固板，43、锚定杆，44、抵接卡翅，45、倒爪，
5、上顶接装置，51、第二防护管，52、套管，53、螺杆。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
请参阅图1，一种精密光刻机的震荡抑制承接座，包括呈一字形顺次排开的前端分座1、中部主体座2、末端维护座3；
前端光源分座，固定设置于工作场地，所述前端光源分座的上表面用于安装固定光源媒介；
中部主体座2，固定设置于工作场地，所述中部主体座2的侧边紧贴所述前端光源分座的侧边，所述中部主体座2的上表面用于固定光刻机主体；
末端维护座3，固定设置于工作场地，所述末端维护座3的侧边紧贴所述中部主体座2的侧边，且所述末端维护座3与前端光源分座分列在所述中部主体座2的两侧，所述末端维护座3的上表面用于固定晶圆处理装置。
作为本发明的一个实施例，所述前端光源分座包括：
安装工作台面11，所述安装工作台面11呈板状结构，所述安装工作台面11上嵌接有若干用于安装光源媒介的活动板12；
固定支柱13，固定设置于所述安装工作台面11的下表面，所述固定支柱13为长方体块状结构；
防震支柱14，固定设置于所述安装工作台面11的下表面；
所述防震支柱14设置于靠近所述中部主体座2的部位。
作为本发明的一个实施例，所述防震支柱14包括：
固定底板15，为板状结构；
工型加固架16，固定设置于所述固定底板15的上端面；
上固板17，与所述工型加固架16的上端固定连接；
所述防震支柱14上设置有下锚定装置4和上顶接装置5。
作为本发明的一个实施例，
所述下锚定装置4包括：
第一支管41，上端与所述安装工作台面11的下表面固定连接，下端通过锁固板42与所述固定底板15的上表面固接；
锚定杆43，同轴设置于所述第一支管41内部，所述锚定杆43依次贯穿锁固板42、固定底板15***工作场地，所述锚定杆43位于固定底板15下方的部位分别设有抵接卡翅44和倒爪45；
所述上顶接装置5包括：
第二防护管51，上端贴近所述安装工作台面11的下表面，下端固定于所述上固板17的上表面；
套管52，所述上固板17与固定底板15之间还设置有套管52；
螺杆53，同轴内置于所述第二防护管51的内部，且与所述套管52螺纹套接，所述螺杆53的上端面与所述安装工作台面11下表面固接。
上述技术方案的工作原理及有益效果：用于精密光刻机的承接座，为确保能够提供稳定可靠的工作环境，本实施例公开一种精密光刻机的震荡抑制承接座。一般光刻机在安装工作时具有光源介质部分，光刻主体部分和晶圆处理部分，其中光源介质部分的稳定性尤为重要。因此对于前端光源分座而言，其固定在工作场地的稳定性显得尤为重要。为实现前端光源分座的稳定，采取一侧固定支柱13，另一侧防震支柱14的支撑方式实现固定。其中防震支柱14置于靠近中部主体座2的一侧，防震支柱14的防震功能主要通过下锚定装置4和上顶接装置5来实现。当前端光源分座发生震动时，下锚定装置4可以避免其向上抬起、上顶接装置5可以避免其向下压，即通过下锚定装置4、上顶接装置5的双结构使前端光源分座能够贴合地面。
对于下锚定装置4，通过第一支管41将其与前端光源分座固定连接，同时第一支管41内部同轴设置的锚定杆43***地面，其下方设置的抵接卡翅44抵接固定底板15从而与之具有弹性抵接力，倒爪45提供地面抓取力。
对于上顶接装置5，螺杆53和套管52的配合一方面可以进行与前端光源分座的间距调节，另一方面可以避免上顶接装置5在受力时发生弯曲形变。从而避免前端光源分座受力发生位移。
本发明提供的一种精密光刻机的震荡抑制承接座，针对性的采用双固定结构，提供能够满足光刻机固定安装的配套承接座，以确保光刻机能够稳定精密的生产。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内中。

Claims (4)

1.一种精密光刻机的震荡抑制承接座，其特征在于，包括呈一字形顺次排开的前端分座（1）、中部主体座（2）、末端维护座（3）；
前端光源分座，固定设置于工作场地，所述前端光源分座的上表面用于安装固定光源媒介；
中部主体座（2），固定设置于工作场地，所述中部主体座（2）的侧边紧贴所述前端光源分座的侧边，所述中部主体座（2）的上表面用于固定光刻机主体；
末端维护座（3），固定设置于工作场地，所述末端维护座（3）的侧边紧贴所述中部主体座（2）的侧边，且所述末端维护座（3）与前端光源分座分列在所述中部主体座（2）的两侧，所述末端维护座（3）的上表面用于固定晶圆处理装置。
2.根据权利要求1所述的一种精密光刻机的震荡抑制承接座，其特征在于，所述前端光源分座包括：
安装工作台面（11），所述安装工作台面（11）呈板状结构，所述安装工作台面（11）上嵌接有若干用于安装光源媒介的活动板（12）；
固定支柱（13），固定设置于所述安装工作台面（11）的下表面，所述固定支柱（13）为长方体块状结构；
防震支柱（14），固定设置于所述安装工作台面（11）的下表面；
所述防震支柱（14）设置于靠近所述中部主体座（2）的部位。
3.根据权利要求2所述的一种精密光刻机的震荡抑制承接座，其特征在于，所述防震支柱（14）包括：
固定底板（15），为板状结构；
工型加固架（16），固定设置于所述固定底板（15）的上端面；
上固板（17），与所述工型加固架（16）的上端固定连接；
所述防震支柱（14）上设置有下锚定装置（4）和上顶接装置（5）。
4.根据权利要求3所述的一种精密光刻机的震荡抑制承接座，其特征在于，
所述下锚定装置（4）包括：
第一支管（41），上端与所述安装工作台面（11）的下表面固定连接，下端通过锁固板（42）与所述固定底板（15）的上表面固接；
锚定杆（43），同轴设置于所述第一支管（41）内部，所述锚定杆（43）依次贯穿锁固板（42）、固定底板（15）***工作场地，所述锚定杆（43）位于固定底板（15）下方的部位分别设有抵接卡翅（44）和倒爪（45）；
所述上顶接装置（5）包括：
第二防护管（51），上端贴近所述安装工作台面（11）的下表面，下端固定于所述上固板（17）的上表面；
套管（52），所述上固板（17）与固定底板（15）之间还设置有套管（52）；
螺杆（53），同轴内置于所述第二防护管（51）的内部，且与所述套管（52）螺纹套接，所述螺杆（53）的上端面与所述安装工作台面（11）下表面固接。
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