CN113341660A - 一种精密光刻机的震荡抑制承接座 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种精密光刻机的震荡抑制承接座,包括呈一字形顺次排开的前端分座、中部主体座、末端维护座;前端光源分座,固定设置于工作场地,所述前端光源分座的上表面用于安装固定光源媒介;中部主体座,固定设置于工作场地;末端维护座,固定设置于工作场地,所述末端维护座的侧边紧贴所述中部主体座的侧边,且所述末端维护座与前端光源分座分列在所述中部主体座的两侧,所述末端维护座的上表面用于固定晶圆处理装置。本发明提供的一种精密光刻机的震荡抑制承接座,针对性的采用双固定结构,提供能够满足光刻机固定安装的配套承接座,以确保光刻机能够稳定精密的生产。
Description
技术领域
本发明涉及光刻机固定设备技术领域,特别是涉及一种精密光刻机的震荡抑制承接座。
背景技术
在半导体行业中,光刻机作为其中至关重要的生产设备,其生产的精度直接决定着产品的基本性能,而光刻机对于所在生产环境极为严苛。
为了保证光刻机的安装环境,用于将其固定在工作场地的承接座就显得尤为关键。然而目前还没有满足光刻机固定安装的配套承接座,以确保光刻机能够稳定精密的生产。
发明内容
本发明的目的在于提供一种精密光刻机的震荡抑制承接座,以解决上述问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种精密光刻机的震荡抑制承接座,包括呈一字形顺次排开的前端分座、中部主体座、末端维护座;
前端光源分座,固定设置于工作场地,所述前端光源分座的上表面用于安装固定光源媒介;
中部主体座,固定设置于工作场地,所述中部主体座的侧边紧贴所述前端光源分座的侧边,所述中部主体座的上表面用于固定光刻机主体;
末端维护座,固定设置于工作场地,所述末端维护座的侧边紧贴所述中部主体座的侧边,且所述末端维护座与前端光源分座分列在所述中部主体座的两侧,所述末端维护座的上表面用于固定晶圆处理装置。
作为本发明的一种改进,所述前端光源分座包括:
安装工作台面,所述安装工作台面呈板状结构,所述安装工作台面上嵌接有若干用于安装光源媒介的活动板;
固定支柱,固定设置于所述安装工作台面的下表面,所述固定支柱为长方体块状结构;
防震支柱,固定设置于所述安装工作台面的下表面;
所述防震支柱设置于靠近所述中部主体座的部位。
作为本发明的一种改进,所述防震支柱包括:
固定底板,为板状结构;
工型加固架,固定设置于所述固定底板的上端面;
上固板,与所述工型加固架的上端固定连接;
所述防震支柱上设置有下锚定装置和上顶接装置。
作为本发明的一种改进,其特征在于,
所述下锚定装置包括:
第一支管,上端与所述安装工作台面的下表面固定连接,下端通过锁固板与所述固定底板的上表面固接;
锚定杆,同轴设置于所述第一支管内部,所述锚定杆依次贯穿锁固板、固定底板***工作场地,所述锚定杆位于固定底板下方的部位分别设有抵接卡翅和倒爪;
所述上顶接装置包括:
第二防护管,上端贴近所述安装工作台面的下表面,下端固定于所述上固板的上表面;
套管,所述上固板与固定底板之间还设置有套管;
螺杆,同轴内置于所述第二防护管的内部,且与所述套管螺纹套接,所述螺杆的上端面与所述安装工作台面下表面固接。
本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分地从说明书中变得显而易见,或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。
下面通过附图和实施例,对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
附图说明
图1为本发明的结构示意图;
图2为本发明的正视图;
图3为本发明防震支柱的结构示意图;
图4为本发明防震支柱的内部剖视图。
图中各构件为:
1、前端分座,11、安装工作台面,12、活动板,13、固定支柱,14、防震支柱,15、固定底板,16、工型加固架,17、上固板,
2、中部主体座,
3、末端维护座,
4、下锚定装置,41、第一支管,42、锁固板,43、锚定杆,44、抵接卡翅,45、倒爪,
5、上顶接装置,51、第二防护管,52、套管,53、螺杆。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明,并不用于限定本发明。
请参阅图1,一种精密光刻机的震荡抑制承接座,包括呈一字形顺次排开的前端分座1、中部主体座2、末端维护座3;
前端光源分座,固定设置于工作场地,所述前端光源分座的上表面用于安装固定光源媒介;
中部主体座2,固定设置于工作场地,所述中部主体座2的侧边紧贴所述前端光源分座的侧边,所述中部主体座2的上表面用于固定光刻机主体;
末端维护座3,固定设置于工作场地,所述末端维护座3的侧边紧贴所述中部主体座2的侧边,且所述末端维护座3与前端光源分座分列在所述中部主体座2的两侧,所述末端维护座3的上表面用于固定晶圆处理装置。
作为本发明的一个实施例,所述前端光源分座包括:
安装工作台面11,所述安装工作台面11呈板状结构,所述安装工作台面11上嵌接有若干用于安装光源媒介的活动板12;
固定支柱13,固定设置于所述安装工作台面11的下表面,所述固定支柱13为长方体块状结构;
防震支柱14,固定设置于所述安装工作台面11的下表面;
所述防震支柱14设置于靠近所述中部主体座2的部位。
作为本发明的一个实施例,所述防震支柱14包括:
固定底板15,为板状结构;
工型加固架16,固定设置于所述固定底板15的上端面;
上固板17,与所述工型加固架16的上端固定连接;
所述防震支柱14上设置有下锚定装置4和上顶接装置5。
作为本发明的一个实施例,
所述下锚定装置4包括:
第一支管41,上端与所述安装工作台面11的下表面固定连接,下端通过锁固板42与所述固定底板15的上表面固接;
锚定杆43,同轴设置于所述第一支管41内部,所述锚定杆43依次贯穿锁固板42、固定底板15***工作场地,所述锚定杆43位于固定底板15下方的部位分别设有抵接卡翅44和倒爪45;
所述上顶接装置5包括:
第二防护管51,上端贴近所述安装工作台面11的下表面,下端固定于所述上固板17的上表面;
套管52,所述上固板17与固定底板15之间还设置有套管52;
螺杆53,同轴内置于所述第二防护管51的内部,且与所述套管52螺纹套接,所述螺杆53的上端面与所述安装工作台面11下表面固接。
上述技术方案的工作原理及有益效果:用于精密光刻机的承接座,为确保能够提供稳定可靠的工作环境,本实施例公开一种精密光刻机的震荡抑制承接座。一般光刻机在安装工作时具有光源介质部分,光刻主体部分和晶圆处理部分,其中光源介质部分的稳定性尤为重要。因此对于前端光源分座而言,其固定在工作场地的稳定性显得尤为重要。为实现前端光源分座的稳定,采取一侧固定支柱13,另一侧防震支柱14的支撑方式实现固定。其中防震支柱14置于靠近中部主体座2的一侧,防震支柱14的防震功能主要通过下锚定装置4和上顶接装置5来实现。当前端光源分座发生震动时,下锚定装置4可以避免其向上抬起、上顶接装置5可以避免其向下压,即通过下锚定装置4、上顶接装置5的双结构使前端光源分座能够贴合地面。
对于下锚定装置4,通过第一支管41将其与前端光源分座固定连接,同时第一支管41内部同轴设置的锚定杆43***地面,其下方设置的抵接卡翅44抵接固定底板15从而与之具有弹性抵接力,倒爪45提供地面抓取力。
对于上顶接装置5,螺杆53和套管52的配合一方面可以进行与前端光源分座的间距调节,另一方面可以避免上顶接装置5在受力时发生弯曲形变。从而避免前端光源分座受力发生位移。
本发明提供的一种精密光刻机的震荡抑制承接座,针对性的采用双固定结构,提供能够满足光刻机固定安装的配套承接座,以确保光刻机能够稳定精密的生产。
最后应说明的是:以上所述仅为本发明的优选实施例而已,并不用于限制本发明,尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内中。
Claims (4)
1.一种精密光刻机的震荡抑制承接座,其特征在于,包括呈一字形顺次排开的前端分座(1)、中部主体座(2)、末端维护座(3);
前端光源分座,固定设置于工作场地,所述前端光源分座的上表面用于安装固定光源媒介;
中部主体座(2),固定设置于工作场地,所述中部主体座(2)的侧边紧贴所述前端光源分座的侧边,所述中部主体座(2)的上表面用于固定光刻机主体;
末端维护座(3),固定设置于工作场地,所述末端维护座(3)的侧边紧贴所述中部主体座(2)的侧边,且所述末端维护座(3)与前端光源分座分列在所述中部主体座(2)的两侧,所述末端维护座(3)的上表面用于固定晶圆处理装置。
2.根据权利要求1所述的一种精密光刻机的震荡抑制承接座,其特征在于,所述前端光源分座包括:
安装工作台面(11),所述安装工作台面(11)呈板状结构,所述安装工作台面(11)上嵌接有若干用于安装光源媒介的活动板(12);
固定支柱(13),固定设置于所述安装工作台面(11)的下表面,所述固定支柱(13)为长方体块状结构;
防震支柱(14),固定设置于所述安装工作台面(11)的下表面;
所述防震支柱(14)设置于靠近所述中部主体座(2)的部位。
3.根据权利要求2所述的一种精密光刻机的震荡抑制承接座,其特征在于,所述防震支柱(14)包括:
固定底板(15),为板状结构;
工型加固架(16),固定设置于所述固定底板(15)的上端面;
上固板(17),与所述工型加固架(16)的上端固定连接;
所述防震支柱(14)上设置有下锚定装置(4)和上顶接装置(5)。
4.根据权利要求3所述的一种精密光刻机的震荡抑制承接座,其特征在于,
所述下锚定装置(4)包括:
第一支管(41),上端与所述安装工作台面(11)的下表面固定连接,下端通过锁固板(42)与所述固定底板(15)的上表面固接;
锚定杆(43),同轴设置于所述第一支管(41)内部,所述锚定杆(43)依次贯穿锁固板(42)、固定底板(15)***工作场地,所述锚定杆(43)位于固定底板(15)下方的部位分别设有抵接卡翅(44)和倒爪(45);
所述上顶接装置(5)包括:
第二防护管(51),上端贴近所述安装工作台面(11)的下表面,下端固定于所述上固板(17)的上表面;
套管(52),所述上固板(17)与固定底板(15)之间还设置有套管(52);
螺杆(53),同轴内置于所述第二防护管(51)的内部,且与所述套管(52)螺纹套接,所述螺杆(53)的上端面与所述安装工作台面(11)下表面固接。
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