CN113300194A - 一种自循环液冷***及脉冲激光器 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种自循环液冷***及脉冲激光器，自循环液冷***包括安装箱、流体循环***和检测单元，安装箱包括泵浦面冷板，泵浦面冷板上设置有发热元器件，安装箱具有容纳腔；流体循环***包括连通形成回路的冷却流道、循环驱动机构和流体降温机构，回路内循环流通有流体；循环驱动机构设置于所述容纳腔内，并用于驱动所述流体在所述回路中流动；所述冷却流道设置于所述泵浦面冷板上；所述流体降温机构设置于所述容纳腔内，用于降低所述流体的温度；检测单元包括第一温度检测单元，所述第一温度检测单元用于检测由所述冷却流道流出的所述流体的温度。本发明提供的自循环液冷***体积较小，便于搬运和携带，价格低，且对泵浦源的温度控制准确。

Description

一种自循环液冷***及脉冲激光器

技术领域

本发明涉及脉冲激光器技术领域，尤其涉及一种自循环液冷***及脉冲激光器。

背景技术

脉冲激光器广泛应用于标刻、深雕、清洗除锈、表面预处理等多工业领域，热效应是脉冲激光器***稳定性的一个重要指标，若热量积累过多会导致泵浦LD损坏、有源光纤损坏等，因此在脉冲激光器***中，有必要对关键器件的功率器件进行热设计研究，采取有效的散热措施，不断地提高脉冲激光器的热可靠性，延长其工作寿命。特别需要注意的是脉冲激光器中的泵浦源对温度反应敏感，对温度的要求非常苛刻。因此，控制脉冲激光器泵浦源的温度非常重要。

由于脉冲激光器的出光效率较低，通常只有20%~30%，剩余功耗以热能的方式输出，低功率的脉冲激光器通常使用风冷方式散热，而对于高功率脉冲激光器，风冷方式已经不能满足核心光学器件的温控要求，目前一般采用水冷方式散热，客户端需配置相应制冷量的水冷式自循环液冷***才能正常使用。但现有技术中自循环液冷***体积较大，不便于搬运携带，价格昂贵，且对泵浦源的温度控制不准确。

因此亟需发明一种自循环液冷***及脉冲激光器，以解决上述技术问题。

发明内容

本发明的一个目的在于提出一种自循环液冷***，以减小其体积，使其便于搬运和携带，降低其价格，提高对泵浦源的温度控制的准确性。

为实现上述目的，本发明第一方面提供了一种自循环液冷***，包括：

安装箱，包括泵浦面冷板，所述泵浦面冷板上设置有发热元器件，所述安装箱具有容纳腔；

流体循环***，包括连通形成回路的冷却流道、循环驱动机构和流体降温机构，所述回路内循环流通有流体；所述循环驱动机构设置于所述容纳腔内，并用于驱动所述流体在所述回路中流动；所述冷却流道设置于所述泵浦面冷板上；所述流体降温机构设置于所述容纳腔内，用于降低所述流体的温度；

检测单元，包括第一温度检测单元，所述第一温度检测单元用于检测由所述冷却流道流出的所述流体的温度。

可选的，所述流体降温机构包括干冷器，所述干冷器包括：

散热鳍片，呈L型结构、U型结构或环形结构，并位于所述安装箱的侧壁与所述循环驱动机构之间的空间中；

散热管，连接于所述散热鳍片上，所述散热管的两端分别与所述冷却流道和所述循环驱动机构连通。

可选的，所述泵浦面冷板包括低温区和高温区，所述高温区上连接有所述发热元器件，所述低温区的所述冷却流道的分布密度大于所述低温区的所述冷却流道的分布密度。

可选的，所述循环驱动机构包括：

第一管路组件，所述第一管路组件的一端与所述冷却流道的出口连接；

水泵，所述水泵的入口端与所述第一管路组件的另一端连接；

第二管路组件，所述第二管路组件的一端与所述水泵的出口端连通，另一端与所述流体降温机构连通；

膨胀罐，与所述第一管路组件的中部连通。

可选的，所述第一管路组件还包括过滤器。

可选的，所述第一管路组件上还连接有注水接头，所述注水接头能够与外部流体源连通。

可选的，所述自循环液冷***还包括：

气流驱动件，设置于所述安装箱的侧壁上，并与所述流体降温机构相对设置。

可选的，所述安装箱的侧壁开设有散热孔，所述散热孔与所述流体降温机构相对设置。

可选的，所述流体循环***还包括：

支撑机构，所述支撑机构与所述安装箱的侧壁连接，所述流体循环***设置于所述支撑机构上。

本发明的另一个目的在于提供一种脉冲激光器，以减小其体积，使其便于搬运和携带，降低其价格，提高其稳定性。

为达此目的，本发明第二方面采用以下技术方案：

一种脉冲激光器，包括上述的自循环液冷***。

由上可见，本发明提供的技术方案的自循环液冷***包括安装箱、流体循环***和检测单元。安装箱用于安装和容纳发热元器件、流体循环***和检测单元，从而使得自循环液冷***结构紧凑，减小自循环液冷***的体积，同时使得自循环液冷***便于搬运和携带。流体循环***用于为发热元器件降温，检测单元用于间接反馈发热元器件的温度，从而准确地通过流体循环***准确地控制发热元器件的温度。

流体循环***包括连通形成回路的冷却流道、循环驱动机构和流体降温机构，回路内循环流通有流体。由于冷却流道内流动有所述流体，因此发热元器件产生的热量传递给泵浦面冷板后，泵浦面冷板可以将热量传递给流体，即通过流体带走发热元件产生的热量。流体降温机构均用于降低所述流体的温度，由于流体为发热元器件降温后，流体的热量升高，流体降温机构为流体降温，从而使得流体在循环过程中再次为泵浦面冷板降温，自循环液冷***依靠自循环实现发热元器件的降温，不必接通外部的流体源，进而使得自循环液冷***便于携带。

附图说明

图1是本发明实施例提供的自循环液冷***的分解图；

图2是本发明实施例提供的自循环液冷***移除安装箱后的结构示意图；

图3是图1中A处的局部放大图；

图4是本发明实施例提供的循环驱动机构和部分支撑机构的结构示意图；

图5是本发明实施例提供的泵浦面冷板的结构示意图；

图6是本发明实施例提供的泵浦面冷板的剖视图。

图中：

1、安装箱；11、泵浦面冷板；111、低温区；112、高温区；12、底壁；13、第一侧壁；14、第二侧壁；15、第三侧壁；16、第四侧壁；

2、流体降温机构；21、散热鳍片；211、第一部；212、第二部；22、散热管；221、总进水管；222、支路水管；223、总出水管；

3、冷却流道；31、出口；32、进口；33、半管；

4、循环驱动机构；41、第一管路组件；411、第一出水接头；412、第一金属软管；413、第一不锈钢管；414、第一橡胶管；415、过滤器；42、水泵；43、第二管路组件；431、第二出水管；432、第二橡胶管；44、膨胀罐；45、第三管路组件；451、第一出水管；452、第二不锈钢管；453、第二金属软管；454、进水接头；46、注水接头；

51、第一温度检测单元；52、第一压力检测单元；53、第二压力检测单元；54、第二温度检测单元；

6、气流驱动件；7、散热孔；

8、支撑机构；81、主安装板；82、第二水管支撑架；83、第一水管支撑架；84、膨胀罐固定架；85、水泵固定架；87、电源支撑架；88、电源固定架；89、电源隔板；

9、电源机构；91、24V电源；92、48V电源；

200、泵浦源。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本发明相关的部分而非全部。

本发明中限定了一些方位词，在未作出相反说明的情况下，所使用的方位词如“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”这些方位词是为了便于理解而采用的，因而不构成对本发明保护范围的限制。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

在本发明的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

本实施例提供了一种脉冲激光器包括自循环液冷***。本实施例提供的自循环液冷***主要用于为高功率激光器散热，尤其是高功率脉冲激光器的泵浦源200散热，但不限于此，也可以为有源光纤等其他的发热器件散热，或为其他类型的激光器散热。本实施例提供的自循环液冷***体积较小，便于搬运和携带，价格低，且对泵浦源200的温度控制准确。

如图1-图4所示，具体而言，本实施例提供的自循环液冷***包括安装箱1、流体循环***和检测单元。安装箱1用于安装和容纳发热元器件、流体循环***和检测单元，从而使得自循环液冷***结构紧凑，减小自循环液冷***的体积，同时使得自循环液冷***便于搬运和携带。流体循环***用于为发热元器件降温，检测单元用于间接反馈发热元器件的温度，从而准确地通过流体循环***准确地控制发热元器件的温度。

如图1所示，具体地，安装箱1包括泵浦面冷板11，泵浦面冷板11上设置有泵浦源200等发热元器件，安装箱1具有容纳腔。

如图1-图5所示，流体循环***包括连通形成回路的冷却流道3、循环驱动机构4和流体降温机构2，回路内循环流通有流体。如图5所示，冷却流道3设置于泵浦面冷板11上，如图1和图2所示，循环驱动机构4和流体降温机构2均设置于容纳腔内，并位于泵浦面冷板11的下方，循环驱动机构4用于驱动流体在回路中流动，从而保证流体在回路中的流速。

由于冷却流道3内流动有流体，因此发热元器件产生的热量传递给泵浦面冷板11后，泵浦面冷板11可以将热量传递给流体，即通过流体带走发热元件产生的热量。流体降温机构2均用于降低流体的温度，由于流体为发热元器件降温后，流体的热量升高，流体降温机构2为流体降温，从而使得流体在循环过程中再次为泵浦面冷板11降温，自循环液冷***依靠自循环实现发热元器件的降温，不必接通外部的流体源，进而使得自循环液冷***便于携带。

如图4所示，检测单元包括第一温度检测单元51，第一温度检测单元51用于检测由冷却流道3流出的流体的温度，当流体的温度超过预设温度时，说明发热元器件温度过高，流体循环***可以加速流体的循环，从而达到精确地控制发热元器件的温度的目的。

在本实施例中，冷却流道3、循环驱动机构4和流体降温机构2依次连通，即流体依次流经冷却流道3、循环驱动机构4和流体降温机构2，以使冷却流道3和流体降温机构2均距离循环驱动机构4较近，进而使循环驱动机构4在较小的功率下便可以驱动流体在回路中循环。但是，不限于此，在其他可选地实施例中，还可以是循环驱动机构4、冷却流道3和流体降温机构2依次连通，流体依次流经循环驱动机构4、冷却流道3和流体降温机构2。

如图5所示，泵浦面冷板11包括低温区111和高温区112，高温区112上连接有发热元器件，低温区111的冷却流道3的分布密度大于低温区111的冷却流道3的分布密度。泵浦面冷板11的散热流道根据热量分布“因地制宜”，实现了冷却的最大化设计。优选地，高温区112的冷却流道3为蛇形流道，以提高高温区112的冷却流道3的分布密度。冷却流道3的两端别为进口32和出口31，冷却流道3的进口32与流体降温机构2连通，出口31与循环驱动机构4连通。泵浦面冷板11可以采用铝型材，铝型材导热性好，成本低，且可加工性强。

需要说明的是，本发明不对该冷却流道3的具体结构作任何限制，技术人员可以根据实际使用需求自行设定，例如，通过在泵浦面冷板11上开孔形成冷却流道3；又如通过焊接等方式，将管道连接在泵浦面冷板11上；再如，如图6所示，在泵浦面冷板11上通过焊接等方式设置半管33，半管33与泵浦面冷板11共同形成冷却流道3，其中半管33的横截面可以为弧形或一侧开口的长方形、六边形等多边形。这些有关冷却流道3的具体结构的改变均不偏离本发明的基本原理。另外，需要说明的是本发明中的流体可以为蒸馏水、自来水或其他能够流动的、能够为泵浦面冷板11降温的液体。

继续参考图1，安装箱1优选为长方体结构，安装箱1还可以包括底壁12和侧壁，其中底壁12与泵浦面冷板11相对设置，侧壁形成长方形的环形结构，底壁12和泵浦面冷板11分别连接于侧壁的上下两端，以围合形成上述的容纳腔。

更近一步地，侧壁包括依次连接的底壁12、第一侧壁13、第二侧壁14、第三侧壁15和第四侧壁16。第一侧壁13、第二侧壁14、第三侧壁15、第四侧壁16和泵浦面冷板11可以通过螺钉组装成一个整体。需要说明的是，本发明不对该安装箱1的具体结构作任何限制，技术人员可以根据实际使用需求自行设定，有关安装箱1的具体结构的改变均不偏离本发明的基本原理。

优选地，为了将循环驱动机构4和流体降温机构2稳定地设置在容纳腔内，请参阅图1和图2，流体循环***还包括支撑机构8，支撑机构8与安装箱1的侧壁连接，流体循环***设置于支撑机构8上。具体地，支撑机构8包括主安装板81，主安装板81与安装箱1的底壁12间隔设置，主安装板81的周边通过螺钉固定在侧壁上，循环驱动机构4和流体降温机构2均设置在主安装板81上。

为了加速流体降温机构2内的流体的降温速度，优选地，自循环液冷***还包括气流驱动件6，气流驱动件6设置于安装箱1的侧壁上，并与流体降温机构2相对设置，用于使容纳腔内外的空气交换。

具体而言，气流驱动件6可以为风扇，风扇可以使容纳腔内产生强迫气流，加速容纳腔内外的空气流通速度，气流可以将流体降温机构2的热量及时带走，进而加快流体的降温速度。在本实施例中，气流驱动件6可以通过螺钉等安装在第一侧壁13上，气流驱动件6的数量可以为一个、两个、三个或四个，本发明不对该气流驱动件6的具体结构、安装位置和数量作任何限制，技术人员可以根据实际使用需求自行设定，只要能够加速容纳腔内外的空气流通速度，达到加快流体降温速度的目的即可，有关安装箱1的具体结构、安装位置和数量的改变均不偏离本发明的基本原理。

优选地，安装箱1的侧壁开设有散热孔7，并与流体降温机构2相对设置，散热孔7用于连通容纳腔内外环境，以进一步加快容纳腔内外的空气流通速度。

具体地，散热孔7可以开设于第二侧壁14上。散热孔7可以为长条状结构，多个散热孔7平行开设。需要说明的是，散热孔7不限于开设在第二侧壁14上，还可以开设于第三侧壁15和/或第四侧壁16上。另外，需要说明的是，本发明不对该散热孔7的具体结构作任何限制，技术人员可以根据实际使用需求自行设定，例如，散热孔7还可以为圆形或多边形；这些有散热孔7的具体结构的改变均不偏离本发明的基本原理。

请参阅图2，流体降温机构2包括干冷器，干冷器包括散热鳍片21和散热管22。其中，散热管22通过焊接等方式连接于散热鳍片21上，散热管22用于供流体流动，流体中的热量能够传递至散热管22中，散热鳍片21用于将散热管22的热量传导至空气中。散热管22优选为铜管。散热鳍片21通过螺钉连接于主安装板81上。

如图2所示，散热鳍片21呈L型结构，散热鳍片21位于安装箱1的侧壁与循环驱动机构4之间的空间中，即散热鳍片21填充了侧壁与循环驱动机构4之间的空间，提高了自循环液冷***的紧凑性。优选地，散热鳍片21与侧壁平行设置。

在本实施例中，L型结构的散热鳍片21包括第一部211和第二部212，第一部211和第一侧壁13正对设置，第二部212和第二侧壁14正对设置。循环驱动机构4位于第一部211远离第一侧壁13的一侧，并位于第二部212远离第二侧壁14的一侧，即第三侧壁15、循环驱动机构4、第一部211和第一侧壁13依次设置，且第四侧壁16、循环驱动机构4、第二部212和第二侧壁14依次设置，这样由风扇进入容纳腔内的气流可以沿着散热鳍片21流动，最终从散热孔7排出；或气流由散热孔7进入容纳腔内，气流沿着散热鳍片21流动，最终从风扇排出。

当然，在其他可选的实施例中，还可以是循环驱动机构4位于第一部211靠近第一侧壁13的一侧，并位于第二部212远离第二侧壁14的一侧，即第三侧壁15、第一部211、循环驱动机构4和第一侧壁13依次设置，且第四侧壁16、第二部212、循环驱动机构4和第二侧壁14依次设置。

需要说明的是，在其他可选的实施例中，散热鳍片21还可以为U型结构或环形结构，此时循环驱动机构4设置在U型结构或环形结构围成的空间内。

当散热鳍片21为U型结构时，散热鳍片21包括依次连接的第一部211、第二部212和第三部，第二部212与第一部211和第三部的一端分别连接。第一部211与第一侧壁13相对设置，第二部212与第二侧壁14相对设置，第三部与第三侧壁15相对设置。

当散热鳍片21为环型结构时，散热鳍片21包括依次连接的第一部211、第二部212、第三部和第四部。第一部211与第一侧壁13相对设置，第二部212与第二侧壁14相对设置，第三部与第三侧壁15相对设置，第四部与第四侧壁16相对设置。

如图2和图3所示，散热管22的两端分别与冷却流道3和循环驱动机构4连通，从而使得流体在散热管22、冷却流道3和循环驱动机构4之间循环流动。

更近一步地，散热管22包括总进水管221、多个支路水管222和总出水管223，即流体由一条总进水管221分成若干条支路进入之路水管中，最后再汇集到总出水管223中流出。多个支路水管222经过若干次折弯，与散热鳍片21进行密集型拼焊。

如图3和图4所示，冷却流道3的总出水管223与散热管22通过第三管路组件45连接。第三管路组件45包括依次连接的第一出水管451、第二不锈钢管452、第二金属软管453、进水接头454，第一出水管451与散热管22连接，进水接头454位于泵浦面冷板11底面，与散热管22连接。

如图4所示，支撑机构8还包括第二水管支撑架82，第二不锈钢管452通过卡箍固定在第二水管支撑架82上，进而实现第三管路组件45的固定。

在本实施例中，检测单元还可以包括第二压力检测单元53和第二温度检测单元54，第二压力检测单元53和第二温度检测单元54均设置于第三管路组件45上。具体地，第二压力检测单元53和第二温度检测单元54均设置于第二不锈钢管452上，以监测干冷器流出的冷却水的压力及温度，从而进一步保证对泵浦源200的冷却效果。

如图4所示，循环驱动机构4包括第一管路组件41、水泵42、第二管路组件43和膨胀罐44。第一管路组件41的一端与冷却流道3的出口31连接，水泵42的入口端与第一管路组件41的另一端连接，第二管路组件43的一端与水泵42的出口端连通，另一端与流体降温机构2连通。第一管路组件41用于将冷却流道3流出的高温的流体送入水泵42，水泵42将高温的流体泵入干冷器，干冷器将高温的流体降温为低温的流体，低温的流体通过第三管路组件45再次流入冷却流道3，以为设置在泵浦面冷板11上的泵浦源200降温。

膨胀罐44与第一管路组件41的中部连通。膨胀罐44用于调节第一管路组件41的压力，当流体进入膨胀罐44的气囊内时，密封在膨胀罐44内的氮气被压缩，根据波义耳气体定律，气体受到压缩后体积变小压力升高，直到膨胀罐44内气体压力与流体的压力达到一致时停止进水。当流体流失压力减低时膨胀罐44内气体压力大于流体的压力，此时气体膨胀将气囊内的水挤出补到第一管路组件41中。

优选地，第一管路组件41包括依次连接的第一出水接头411、第一金属软管412、第一不锈钢管413和第一橡胶管414。其中，第一出水接头411位于泵浦面冷板11的底面，以与冷却流道3的出口31连通，第一橡胶管414与水泵42的进口端连接，以将高温的流体送入水泵42。

优选地，为了使流体过滤流体中的杂质，第一管路组件41还可以包括过滤器415，更近一步地，过滤器415可以连接于第一不锈钢管413和第一橡胶管414之间。由于过滤器415为现有技术，因此在此不再赘述其具体结构。

优选地，第二管路组件43包括相连接的第二出水管431和第二橡胶管432，其中，第二出水管431与散热管22的总进水管221连接，第二橡胶管432与水泵42的出口端连接。

流体在长期循环后可能会减少，因此为了给回路中补充流体，在第一管路组件41上还可以连接注水接头46，注水接头46能够与外部流体源连通，从而为回路注水。具体而言，注水接头46连接于第一不锈钢管413上。第一不锈钢管413一端与膨胀罐44相连接。

支撑机构8还包括第一水管支撑架83、膨胀罐固定架84和水泵固定架85。第一不锈钢管413通过第一水管支撑架83连接于主安装板81上，膨胀罐44通过膨胀罐固定架84固定于主安装板81上，水泵42通过水泵固定架85固定于主安装板81上。第二水管支撑架82、第一水管支撑架83、膨胀罐固定架84和水泵固定架85分别通过螺钉固定在主安装板81上。

优选地，第一温度检测单元51安装于第一管路组件41上，以监测泵浦面冷板11流出的高温流体的温度。第一管路组件41上还连接有第一压力检测单元52，以监测泵浦面冷板11流出的高温流体的压力。更进一步地，第一温度检测单元51和第一压力检测单元52均连接于第一不锈钢管413上。

继续参阅图2，为了能够为脉冲激光器供电，本实施例中的自循环液冷***还可以包括电源机构9。电源机构9设置于容纳腔内，电源机构9优选与第四侧壁16相对设置，循环驱动机构4位于电源机构9和流体降温机构2围成的空间中。

电源机构9包括电源线、24V电源91、48V电源92。支撑机构8还包括电源支撑架87、电源固定架88、电源隔板89。优选地，电源支撑架87、电源固定架88、电源隔板89均通过螺钉安装在主安装板81上。

电源线通过电缆接头装配在主安装板81上，电源线外接220V电源。48V电源92通过螺钉固定在电源支撑架87上，并通过电源固定架88锁紧，用于将电源线引入的220V电压转换成48V电压，为激光器光源***供电。

24V电源91通过螺钉固定在电源支撑架87上，用于将电源线引入的220V电压转换成24V电压，为流体循环***供电。

电源机构9通过电源隔板89与循环驱动机构4和流体降温机构2隔离开，避免因流体循环***的流体泄漏水引起的电源短路的风险。

激光器出光工作过程中，泵浦源200等光学器件产生的热量由泵浦面冷板11发散并传导至冷却流道3，冷却流道3内的高压流体将热量迅速带走。驱动流体高速流动的压力来自于循环驱动机构4，且循环驱动机构4的水泵42为流体循环***的核心驱动，水泵42将泵浦面冷板11中流体流道内的高温的流体通过过滤器415过滤，经干冷器的总进水管221分成若干支路压入支路水管222，流体所承载的热量经过若干支路水管222与散热鳍片21的不断地发散与传导，经风扇强迫风冷后得到冷却，随即汇总成一路经总出水管223再次被压入泵浦面冷板11的冷却流道3内，重新吸收泵浦源200等光学器件产生的热量，如此反复循环，从而实现对核心光学器件的散热。该自循环液冷***结构紧凑，与光源结构集成到安装箱1内，有效地降低了发热器件的最高温度，泵浦面冷板11的散热流道根据热量分布“因地制宜”，实现了冷却的最大化设计，提高了脉冲激光器使用的便携性，也提升了脉冲激光器的稳定性和安全性。

本发明实施例中，自循环液冷***的部件之间通过螺钉连接，因此各个部件均可以拆卸、更换，便于自循环液冷***的维修和保养。

虽然，上文中已经用一般性说明、具体实施方式及试验，对本发明作了详尽的描述，但在本发明基础上，可以对之作一些修改或改进，这对本领域技术人员而言是显而易见的。因此，在不偏离本发明精神的基础上所做的这些修改或改进，均属于本发明要求保护的范围。

Claims (10)

1.一种自循环液冷***，其特征在于，包括：

安装箱（1），包括泵浦面冷板（11），所述泵浦面冷板（11）上设置有发热元器件，所述安装箱（1）具有容纳腔；

流体循环***，包括连通形成回路的冷却流道（3）、循环驱动机构（4）和流体降温机构（2），所述回路内循环流通有流体；所述循环驱动机构（4）设置于所述容纳腔内，并用于驱动所述流体在所述回路中流动；所述冷却流道（3）设置于所述泵浦面冷板（11）上；所述流体降温机构（2）设置于所述容纳腔内，用于降低所述流体的温度；

检测单元，包括第一温度检测单元（51），所述第一温度检测单元（51）用于检测由所述冷却流道（3）流出的所述流体的温度。

2.根据权利要求1所述的自循环液冷***，其特征在于，所述流体降温机构（2）包括干冷器，所述干冷器包括：

散热鳍片（21），呈L型结构、U型结构或环形结构，并位于所述安装箱（1）的侧壁与所述循环驱动机构（4）之间的空间中；

散热管（22），连接于所述散热鳍片（21）上，所述散热管（22）的两端分别与所述冷却流道（3）和所述循环驱动机构（4）连通。

3.根据权利要求1所述的自循环液冷***，其特征在于，所述泵浦面冷板（11）包括低温区（111）和高温区（112），所述高温区（112）上连接有所述发热元器件，所述低温区（111）的所述冷却流道（3）的分布密度大于所述低温区（111）的所述冷却流道（3）的分布密度。

4.根据权利要求1所述的自循环液冷***，其特征在于，所述循环驱动机构（4）包括：

第一管路组件（41），所述第一管路组件（41）的一端与所述冷却流道（3）的出口（31）连接；

水泵（42），所述水泵（42）的入口端与所述第一管路组件（41）的另一端连接；

第二管路组件（43），所述第二管路组件（43）的一端与所述水泵（42）的出口端连通，另一端与所述流体降温机构（2）连通；

膨胀罐（44），与所述第一管路组件（41）的中部连通。

5.根据权利要求4所述的自循环液冷***，其特征在于，所述第一管路组件（41）还包括过滤器（415）。

6.根据权利要求4所述的自循环液冷***，其特征在于，所述第一管路组件（41）上还连接有注水接头（46），所述注水接头（46）能够与外部流体源连通。

7.根据权利要求1所述的自循环液冷***，其特征在于，所述自循环液冷***还包括：

气流驱动件（6），设置于所述安装箱（1）的侧壁上，并与所述流体降温机构（2）相对设置。

8.根据权利要求1所述的自循环液冷***，其特征在于，所述安装箱（1）的侧壁开设有散热孔（7），所述散热孔（7）与所述流体降温机构（2）相对设置。

9.根据权利要求1-8任意一项所述的自循环液冷***，其特征在于，所述流体循环***还包括：

支撑机构（8），所述支撑机构（8）与所述安装箱（1）的侧壁连接，所述流体循环***设置于所述支撑机构（8）上。

10.一种脉冲激光器，其特征在于，包括权利要求1-9任意一项所述的自循环液冷***。

Images