CN113265622A - 一种真空蒸镀机的修正板*** - Google Patents

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Abstract

本申请提供一种真空蒸镀机的修正板***，包括分别设置在真空蒸镀机的主腔室的四个边角的四个修正板结构，所述修正板结构包括：竖杆、与竖杆的下部连接并水平设置的横杆、位于横杆的前部并水平设置的柳叶形的修正叶，所述修正叶与横杆固定，横杆与竖杆固定，所述横杆位于真空蒸镀机的坩埚与镀锅之间，起到修正膜层的均匀性和厚度的作用，所述竖杆的顶端通过驱动轴与提供动能的部件连接，使得竖杆能够进行旋转和/或上下运动，从而竖杆带动横杆和修正叶以竖杆为中心水平旋转和/或上下运动。

Description

一种真空蒸镀机的修正板***
技术领域
本发明涉及真空蒸镀机技术领域，更具体地，涉及一种真空蒸镀机的修正板***。
背景技术
真空蒸镀机为在真空条件下，通过电流加热、电子束轰击加热和离子源轰击等方式，蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，再使气化后的粒子飞至基片表面而凝结，最后形成薄膜。真空蒸镀具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点，因此得到广泛的应用。在真空蒸镀的加工工艺中，在真空条件下采用坩埚气化镀膜材料，坩埚包括：蒸镀腔室、设置在蒸镀腔室内的蒸镀源(source)，加热蒸镀源使蒸镀源蒸内的蒸镀材料经过加热发生汽化，以扇形的结构向上蒸发，坩埚上方具有用来承载被镀膜工件的伞状结构的镀锅，镀锅上固定有被镀膜工件，因此使得蒸镀材料分子沉积到被镀膜工件上形成镀膜。
在镀膜时，由于蒸镀源正上方的蒸发物浓度较高，导致蒸镀源正对的承载架的中间层圈的工件上的膜层较厚，而位于上层圈(靠近镀锅中心)的被镀膜工件与位于下层圈(靠近镀锅边缘)的被镀件上的膜层较薄。因此，现有技术在坩埚与镀锅之间的修正板，修正板上设置有柳叶形的修正叶，修正叶用于遮挡蒸镀源正上方的蒸发物，以减少蒸镀源正对的被镀件上的膜层的厚度，从而修正镀锅上位于不同层圈的被镀件上的膜层厚度的差异。但是，由于各种被镀件采用的蒸镀源的蒸发速率、蒸镀的沉积速率及被镀件的形状不同，各种被镀件对修正板的形状的要求也不同，通常一种膜料对应一种具有固定形状的修正板，这种修正板不能适用多种膜料，通用性差，蒸镀不同的膜料需要更换不同的修改板，加工效率低、成本高。
有鉴于此，本发明提供一种真空蒸镀机的修正板***，所述修正板***的通用性强，能够满足各种膜料及被镀膜工件，不用更换修正板，提高加工效率并且降低成本。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种真空蒸镀机的修正板***，所述修正板***的通用性强，能够满足各种膜料及被镀膜工件，不用更换修正板，提高加工效率并且降低成本。
本申请的真空蒸镀机的修正板***，由分别设置在真空蒸镀机的主腔室的四个边角的四个修正板结构组成，每个修正板结构的结构相同，均具有竖杆、与竖杆的末端连接并水平设置的横杆、位于横杆的前端并水平设置的柳叶形的修正叶，横杆位于坩埚与镀锅之间起到修正的作用，一个修正板结构通过一个驱动轴和一个提供动能的部件进行旋转和/或上下运动。其中四个横杆的打开个数可调，从横杆的打开个数进行排列组合即有13种排列组合的方式，即有13种修正模式，并且，横杆打开的角度也可调，并且，横杆还能搞上下运动，因此具有很多很多种修正模式，能够满足各种膜料及被镀膜工件的修正需求，从此不再需要更换修正板结构，提高了加工效率并且降低了成本。本申请人在此基础上完成了本申请。
一种真空蒸镀机的修正板***，包括分别设置在真空蒸镀机的主腔室的四个边角的四个修正板结构1，所述修正板结构1包括：竖杆11、与竖杆11的下部连接并水平设置的横杆12、位于横杆12的前部并水平设置的柳叶形的修正叶13，所述修正叶13与横杆12固定，横杆12与竖杆11固定，所述横杆11位于真空蒸镀机的坩埚与镀锅之间，起到修正膜层的均匀性和厚度的作用，所述竖杆11的顶端通过驱动轴与提供动能的部件连接，使得竖杆11能够进行旋转和/或上下运动，从而竖杆11带动横杆12和修正叶13以竖杆11为中心水平旋转和/或上下运动。
在一些实施方式中，所述竖杆11能够进行旋转或者竖杆11能够进行旋转和上下运动。
进一步优选的，所述竖杆11能够进行旋转和上下运动，并且竖杆11的旋转和上下运动不同时进行。
在一些实施方式中，在不镀膜时，所述四个修正板结构1的横杆12与真空蒸镀机的主腔体的侧壁平行，在镀膜时，所述四个修正板结构1的部分或者全部的横杆12打开，横杆12打开则修正叶13靠近主腔室的中心。
进一步的，所述四个修正板结构1的部分的横杆12打开，为其中的一个、二个、三个横杆12打开。
进一步的，多个横杆12能够同步打开或者交替打开。
进一步的，真空蒸镀机的主腔体为中空的正方形、长方形或者圆柱体中的一种。
在一些实施方式中，所述四个修正板结构1打开时的角度相同或者不相同。
进一步的，所述四个修正板结构1打开时的角度固定或者不固定。
进一步的，所述修正板结构1的竖杆11、横杆12和修正叶13均为不锈钢材质。
在一些实施方式中，所述竖杆11的长度大于镀锅的高度，所述竖杆11的长度为镀锅高度的1.2倍-3倍。
进一步的，竖杆11的下端与横杆12固定，竖杆11为圆柱体，竖杆11的下端具有两个相对设置的切面以及一个水平设置的螺丝孔，通过螺丝穿过螺丝孔将竖杆11与横杆12固定。
在一些实施方式中，所述横杆12为长方体，修正叶13设置在横杆12的上表面上，修正叶13通过两个螺钉与横杆12的上表面固定。
进一步的，横杆12的后端具有一个竖直设置的通孔并且通孔内具有两个切面，用于放置竖杆11的下端，横杆12的后端还设置有一个水平的螺丝孔，该螺丝孔与竖杆11的下端的水平设置的螺丝孔位置相对应。
在一些实施方式中，所述竖杆11的顶端与磁流体密封驱动轴2连接，所述磁流体密封驱动轴2设置在真空蒸镀机的主腔体的上面板上，所述磁流体密封驱动轴2与电机或者气缸连接，电机或者气缸提供动能使得磁流体密封驱动轴2的旋转轴旋转和/或上下运动，从而带动竖杆11、横杆12和修正叶13转动和/或上下运动。
进一步的，所述磁流体密封驱动轴2的旋转轴穿过真空镀膜机的主腔体的上面板，磁流体密封驱动轴2的上部分在所述上面板上，磁流体密封驱动轴2的下部分在所述上面板下，并且磁流体密封驱动轴2的末端与所述修正板结构1的竖杆11的顶端固定。
进一步的，所述磁流体密封驱动轴2的旋转轴外套设有磁流体密封套，磁流体密封套底部套设有法兰，法兰与主腔体的上面板固定，旋转轴的顶端通过齿轮与电机或者气缸连接。
附图说明
结合以下附图一起阅读时，将会更加充分地描述本申请内容的上述和其他特征。可以理解，这些附图仅描绘了本申请内容的若干实施方式，因此不应认为是对本申请内容范围的限定。通过采用附图，本申请内容将会得到更加明确和详细地说明。
图1为本申请的真空蒸镀机的修正板***及主腔室的结构示意图。
图2为本申请的真空蒸镀机的修正板***的不镀膜时的立体图。
图3为本申请的真空蒸镀机的修正板***的修正板结构和磁流体密封驱动轴的结构的主视图。
图4为本申请的真空蒸镀机的修正板***的横杆和修正叶的结构示意图。
主要元件符号说明：
修正板结构1、竖杆11、横杆12、修正叶13、磁流体密封驱动轴2。
具体实施方式
描述以下实施例以辅助对本申请的理解，实施例不是也不应当以任何方式解释为限制本申请的保护范围。
在以下描述中，本领域的技术人员将认识到，在本论述的全文中，组件可描述为单独的功能单元(可包括子单元)，但是本领域的技术人员将认识到，各种组件或其部分可划分成单独组件，或者可整合在一起(包括整合在单个的***或组件内)。
同时，组件或***之间的连接并不旨在限于直接连接。相反，在这些组件之间的数据可由中间组件修改、重格式化、或以其它方式改变。另外，可使用另外或更少的连接。还应注意，术语“联接”、“连接”、或“输入”“固定”应理解为包括直接连接、通过一个或多个中间媒介来进行的间接的连接或固定。
在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“侧面”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该申请产品使用时或惯常认知的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
实施例1：
一种真空蒸镀机的修正板***，如图1-图4所示，包括分别设置在真空蒸镀机的主腔室的四个边角的四个修正板结构1，所述修正板结构1包括：竖杆11、与竖杆11的下部连接并水平设置的横杆12、位于横杆12的前部并水平设置的柳叶形的修正叶13，所述修正叶13与横杆12固定，横杆12与竖杆11固定，所述横杆11位于真空蒸镀机的坩埚与镀锅之间，起到修正膜层的均匀性和厚度的作用，所述竖杆11的顶端通过驱动轴与提供动能的部件连接，使得竖杆11能够进行旋转，从而竖杆11带动横杆12和修正叶13以竖杆11为中心水平旋转。
所述竖杆11能够进行旋转，在不镀膜时，所述四个修正板结构1的横杆12与真空蒸镀机的主腔体的侧壁平行，在镀膜时，所述四个修正板结构1的两个对称的横杆12打开，横杆12打开则修正叶13靠近主腔室的中心，两个横杆12同步打开，真空蒸镀机的主腔体为中空的正方形，所述修正板结构1打开时的角度相同，均为45度，所述修正板结构1的竖杆11、横杆12和修正叶13均为不锈钢材质。所述竖杆11的长度大于镀锅的高度，所述竖杆11的长度为镀锅高度的1.5倍。竖杆11的下端与横杆12固定，竖杆11为圆柱体，竖杆11的下端具有两个相对设置的切面以及一个水平设置的螺丝孔，通过螺丝穿过螺丝孔将竖杆11与横杆12固定。所述横杆12为长方体，修正叶13设置在横杆12的上表面上，修正叶13通过两个螺钉与横杆12的上表面固定。横杆12的后端具有一个竖直设置的通孔并且通孔内具有两个切面，用于放置竖杆11的下端，横杆12的后端还设置有一个水平的螺丝孔，该螺丝孔与竖杆11的下端的水平设置的螺丝孔位置相对应。所述竖杆11的顶端与磁流体密封驱动轴2连接，所述磁流体密封驱动轴2设置在真空蒸镀机的主腔体的上面板上，所述磁流体密封驱动轴2与电机或者气缸连接，电机或者气缸提供动能使得磁流体密封驱动轴2的旋转轴旋转，从而带动竖杆11、横杆12和修正叶13转动。所述磁流体密封驱动轴2的旋转轴穿过真空镀膜机的主腔体的上面板，磁流体密封驱动轴2的上部分在所述上面板上，磁流体密封驱动轴2的下部分在所述上面板下，并且磁流体密封驱动轴2的末端与所述修正板结构1的竖杆11的顶端固定。所述磁流体密封驱动轴2的旋转轴外套设有磁流体密封套，磁流体密封套底部套设有法兰，法兰与主腔体的上面板固定，旋转轴的顶端通过齿轮与电机或者气缸连接。
实施例2：
一种真空蒸镀机的修正板***，如图1-图4所示，包括分别设置在真空蒸镀机的主腔室的四个边角的四个修正板结构1，所述修正板结构1包括：竖杆11、与竖杆11的下部连接并水平设置的横杆12、位于横杆12的前部并水平设置的柳叶形的修正叶13，所述修正叶13与横杆12固定，横杆12与竖杆11固定，所述横杆11位于真空蒸镀机的坩埚与镀锅之间，起到修正膜层的均匀性和厚度的作用，所述竖杆11的顶端通过驱动轴与提供动能的部件连接，使得竖杆11能够进行旋转和上下运动，从而竖杆11带动横杆12和修正叶13以竖杆11为中心水平旋转和上下运动。
所述竖杆11的旋转和上下运动不同时进行，在不镀膜时，所述四个修正板结构1的横杆12与真空蒸镀机的主腔体的侧壁平行，在镀膜时，所述四个修正板结构1的全部的横杆12打开，横杆12打开则修正叶13靠近主腔室的中心，四个横杆12同步打开，真空蒸镀机的主腔体为中空的圆柱体。所述四个修正板结构1打开时的角度不相同，所述修正板结构1的竖杆11、横杆12和修正叶13均为不锈钢材质。所述竖杆11的长度大于镀锅的高度，所述竖杆11的长度为镀锅高度的2倍。竖杆11的下端与横杆12固定，竖杆11为圆柱体，竖杆11的下端具有两个相对设置的切面以及一个水平设置的螺丝孔，通过螺丝穿过螺丝孔将竖杆11与横杆12固定。所述横杆12为长方体，修正叶13设置在横杆12的上表面上，修正叶13通过两个螺钉与横杆12的上表面固定。横杆12的后端具有一个竖直设置的通孔并且通孔内具有两个切面，用于放置竖杆11的下端，横杆12的后端还设置有一个水平的螺丝孔，该螺丝孔与竖杆11的下端的水平设置的螺丝孔位置相对应。所述竖杆11的顶端与磁流体密封驱动轴2连接，所述磁流体密封驱动轴2设置在真空蒸镀机的主腔体的上面板上，所述磁流体密封驱动轴2与电机或者气缸连接，电机或者气缸提供动能使得磁流体密封驱动轴2的旋转轴旋转和上下运动，从而带动竖杆11、横杆12和修正叶13转动和上下运动。所述磁流体密封驱动轴2的旋转轴穿过真空镀膜机的主腔体的上面板，磁流体密封驱动轴2的上部分在所述上面板上，磁流体密封驱动轴2的下部分在所述上面板下，并且磁流体密封驱动轴2的末端与所述修正板结构1的竖杆11的顶端固定。所述磁流体密封驱动轴2的旋转轴外套设有磁流体密封套，磁流体密封套底部套设有法兰，法兰与主腔体的上面板固定，旋转轴的顶端通过齿轮与电机或者气缸连接。
尽管本申请已公开了多个方面和实施方式，但是其它方面和实施方式对本领域技术人员而言将是显而易见的，在不脱离本申请构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本申请的保护范围。本申请公开的多个方面和实施方式仅用于举例说明，其并非旨在限制本申请，本申请的实际保护范围以权利要求为准。

Claims (10)

1.一种真空蒸镀机的修正板***，其特征在于，包括分别设置在真空蒸镀机的主腔室的四个边角的四个修正板结构(1)，所述修正板结构(1)包括：竖杆(11)、与竖杆(11)的下部连接并水平设置的横杆(12)、位于横杆(12)的前部并水平设置的柳叶形的修正叶(13)，所述修正叶(13)与横杆(12)固定，横杆(12)与竖杆(11)固定，所述横杆(12)位于真空蒸镀机的坩埚与镀锅之间，起到修正膜层的均匀性和厚度的作用，所述竖杆(11)的顶端通过驱动轴与提供动能的部件连接，使得竖杆(11)能够进行旋转和/或上下运动，从而竖杆(11)带动横杆(12)和修正叶(13)以竖杆(11)为中心水平旋转和/或上下运动。
2.如权利要求1所述的真空蒸镀机的修正板***，其特征在于，所述竖杆(11)能够进行旋转或者竖杆(11)能够进行旋转和上下运动。
3.如权利要求2所述的真空蒸镀机的修正板***，其特征在于，所述竖杆(11)能够进行旋转和上下运动，并且竖杆(11)的旋转和上下运动不同时进行。
4.如权利要求1所述的真空蒸镀机的修正板***，其特征在于，在不镀膜时，所述四个修正板结构(1)的横杆(12)与真空蒸镀机的主腔体的侧壁平行，在镀膜时，所述四个修正板结构(1)的部分或者全部的横杆(12)打开，横杆(12)打开则修正叶(13)靠近主腔室的中心。
5.如权利要求4所述的真空蒸镀机的修正板***，其特征在于，多个横杆(12)能够同步打开或者交替打开。
6.如权利要求1所述的真空蒸镀机的修正板***，其特征在于，所述四个修正板结构(1)打开时的角度相同或者不相同。
7.如权利要求6所述的真空蒸镀机的修正板***，其特征在于，所述四个修正板结构(1)打开时的角度固定或者不固定。
8.如权利要求1所述的真空蒸镀机的修正板***，其特征在于，所述竖杆(11)的长度大于镀锅的高度，所述竖杆(11)的长度为镀锅高度的1.2倍-3倍。
9.如权利要求1所述的真空蒸镀机的修正板***，其特征在于，所述横杆(12)为长方体，修正叶(13)设置在横杆(12)的上表面上，修正叶(13)通过两个螺钉与横杆(12)的上表面固定。
10.如权利要求1所述的真空蒸镀机的修正板***，其特征在于，所述竖杆(11)的顶端与磁流体密封驱动轴(2)连接，所述磁流体密封驱动轴(2)设置在真空蒸镀机的主腔体的上面板上，所述磁流体密封驱动轴(2)与电机或者气缸连接，电机或者气缸提供动能使得磁流体密封驱动轴(2)的旋转轴旋转和/或上下运动，从而带动竖杆(11)、横杆(12)和修正叶(13)转动和/或上下运动。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117127160A (zh) * 2023-08-30 2023-11-28 苏州佑伦真空设备科技有限公司 一种可大面积镀膜基板装置
CN117127160B (zh) * 2023-08-30 2024-05-28 苏州佑伦真空设备科技有限公司 一种可大面积镀膜基板装置

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