CN113256700B - 图层厚度检测方法及装置、电子设备、可读存储介质 - Google Patents

图层厚度检测方法及装置、电子设备、可读存储介质 Download PDF

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Abstract

本申请实施例提供了一种图层厚度检测方法及装置、电子设备、可读存储介质，该图层厚度检测方法包括：获取目标图像；对所述目标图像进行预处理，得到对应于所述目标图像的多个检测区域；获取所述多个检测区域中每个检测区域的第一平均图像强度，其中所述每个检测区域包括多个第一平均图像强度；根据所述每个检测区域的多个第一平均图像强度确定所述每个检测区域对应的部分图像的图层边界；根据与所述多个检测区域一一对应的多个图层边界确定所述目标图像的图层厚度。这样，可以提高获得的图层厚度结果的准确性，且由于检测过程不依赖用户的手动测量，可以保证检测结果的再现性重复性和再现性。

Description

图层厚度检测方法及装置、电子设备、可读存储介质
技术领域
本申请涉及图像处理技术领域，具体涉及一种图层厚度检测方法及装置、电子设备、可读存储介质。
背景技术
当前，对ONOP（O代表氧化物，N代表氮化物，P代表多晶硅）通道孔结构中的氧化块层的厚度检测依赖于使用计算机视觉边缘检测技术来大致确定层边界，然后手动计算具有粗糙边界的图像厚度。通过手动绘制粗略边界之间的距离测量线并在图像的各个部分中采样层厚度来完成厚度测量。但计算机视觉边缘检测技术仅在图像足够清晰时才能可靠地工作，而ONOP通道孔结构微小，使得显微镜图像非常嘈杂，且用户在对厚度进行测量时，总是通过选择图像的最清晰部分来手动检测厚度，这样又会出现对显微镜图像的清晰部分过度采样，而对噪点区域却采样不足的问题，造成测量误差大，且使得测量值不可再现。
发明内容
本申请实施例提供了一种图层厚度检测方法及装置、电子设备、可读存储介质，以期减少测量误差，提高厚度检测的准确性。
第一方面，本申请实施例提供了一种图层厚度检测方法，包括：
获取目标图像，所述目标图像包括目标图层；
对所述目标图像进行预处理，得到多个检测区域，所述多个检测区域中的每个检测区域对应所述目标图层的一部分，且所述每个检测区域均包括所述目标图层的两个边界；
获取所述多个检测区域中每个检测区域的第一平均图像强度，其中所述每个检测区域包括多个第一平均图像强度；
根据所述每个检测区域中的多个第一平均图像强度确定所述每个检测区域对应的部分目标图层的图层边界；
根据与所述多个检测区域一一对应的多个图层边界确定所述目标图层的图层厚度。
第二方面，本申请实施例提供了一种图层厚度检测装置，包括：
第一获取单元，用于获取目标图像，所述目标图像包括目标图层；
处理单元，用于对所述目标图像进行预处理，得到多个检测区域，所述多个检测区域中的每个检测区域对应所述目标图层的一部分，且所述每个检测区域均包括所述目标图层的两个边界；
第二获取单元，用于获取所述多个检测区域中每个检测区域的第一平均图像强度，其中所述每个检测区域包括多个第一平均图像强度；
第一确定单元，用于根据所述每个检测区域中的多个第一平均图像强度确定所述每个检测区域对应的部分目标图层的图层边界；
第二确定单元，用于根据与所述多个检测区域一一对应的多个图层边界确定所述目标图层的图层厚度。
第三方面，本申请实施例提供一种电子设备，其特征在于，包括处理器、存储器，以及一个或多个程序，所述一个或多个程序被存储在所述存储器中，并且被配置由所述处理器执行，所述程序包括用于执行如上述第一方面或第二方面所述的任一方法中的步骤的指令。
第四方面，本申请实施例提供了一种计算机可读存储介质，其中，所述计算机可读存储介质存储用于电子数据交换的计算机程序，其中，所述计算机程序使得计算机执行如本申请实施例第一方面或第二方面任一方法中所描述的部分或全部步骤。
可以看出，本申请实施例中，首先获取目标图像，然后对所述目标图像进行预处理，得到多个检测区域，然后获取所述多个检测区域中每个检测区域的第一平均图像强度，其中所述每个检测区域包括多个第一平均图像强度，再然后根据所述每个检测区域中的多个第一平均图像强度确定所述每个检测区域对应的部分目标图层的图层边界，最后根据与所述多个检测区域一一对应的多个图层边界确定所述目标图层的图层厚度。这样，可以提高获得的图层厚度结果的准确性，且由于检测过程不依赖用户的手动测量，可以保证检测结果的再现性重复性和再现性。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1a是本申请实施例提供的一种电子设备的结构示意图；
图1b是本申请实施例提供的另一种电子设备的结构示意图；
图1c是本申请实施例提供的一种ONOP通道孔结构示意图；
图1d是本申请实施例提供的一种氧化块显微图像示意图；
图2a是本申请实施例提供的一种图层厚度检测方法的流程示意图；
图2b是本申请实施例提供的一种图层厚度检测方法的法线获取示意图；
图2c是本申请实施例提供的一种图层厚度检测方法的初始标记点示意图；
图2d是本申请实施例提供的一种图层厚度检测方法的标记线获取示意图；
图2e是本申请实施例提供的一种图层厚度检测方法的图层边界确定示意图；
图2f是本申请实施例提供的一种图层厚度检测方法的图层厚度确定示意图；
图3是本申请实施例提供的另一种图层厚度检测方法的流程示意图；
图4是本申请实施例提供的一种图层厚度检测装置的结构示意图；
图5是本申请实施例提供的另一种图层厚度检测装置的结构示意图。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别不同对象，而不是用于描述特定顺序。此外，术语“包括”和“具有”以及它们任何变形，意图在于覆盖不排他的包含。例如包含了一系列步骤或单元的过程、方法、***、产品或设备没有限定于已列出的步骤或单元，而是可选地还包括没有列出的步骤或单元，或可选地还包括对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
在本文中提及“实施例”意味着，结合实施例描述的特定特征、结构或特性可以包含在本申请的至少一个实施例中。在说明书中的各个位置出现该短语并不一定均是指相同的实施例，也不是与其它实施例互斥的独立的或备选的实施例。本领域技术人员显式地和隐式地理解的是，本文所描述的实施例可以与其它实施例相结合。
为了更好地理解本申请实施例的技术方案，下面先对本申请实施例可能涉及的电子设备及图层厚度检测***进行介绍。
请参阅图1a，图1a是本申请实施例提供的一种电子设备的结构示意图，所述电子设备101包括图层厚度检测装置102，所述图层厚度检测装置102用于对图像中的图层厚度进行检测。所述图层厚度检测装置102对通过电子设备101获取的目标图像进行预处理，并基于预处理后的目标图像对该目标图像的图层厚度进行检测。所述电子设备101在获取了图层厚度检测装置102确定出的图层厚度后，可以将该检测结果发送给对应的其他电子设备，或直接在所述电子设备101的屏幕上显示该检测结果。
具体的，如上述图1a所述的电子设备还可能包括如下结构，请参阅图1b，图1b是本申请实施例提供的另一种电子设备的结构示意图。如图所示，所述电子设备可以实现本图层厚度检测方法中的步骤，所述电子设备100包括应用处理器120、存储器130、通信接口140以及一个或多个程序131，其中，所述一个或多个程序131被存储在上述存储器130中，且被配置由上述应用处理器120执行，所述一个或多个程序131包括用于执行下述方法实施例中任一步骤的指令。
通信单元用于支持第一电子设备与其他设备的通信。终端还可以包括存储单元用于存储终端的程序代码和数据。
其中，处理单元可以是应用处理器120或控制器，例如可以是中央处理器（CentralProcessing Unit，CPU），通用处理器，数字信号处理器（DigitalSignalProcessor，DSP），专用集成电路（Application-SpecificIntegrated Circuit，ASIC），现场可编程门阵列（FieldProgrammable Gate Array，FPGA）或者其他可编程逻辑器件、晶体管逻辑器件、硬件部件或者其任意组合。其可以实现或执行结合本申请公开内容所描述的各种示例性的逻辑方框，单元和电路。所述处理器也可以是实现计算功能的组合，例如包含一个或多个微处理器组合，DSP和微处理器的组合等等。通信单元可以是通信接口140、收发器、收发电路等，存储单元可以是存储器130。
所述存储器130可以是易失性存储器或非易失性存储器，或可包括易失性和非易失性存储器两者。其中，非易失性存储器可以是只读存储器（read-onlymemory，ROM）、可编程只读存储器（programmableROM，PROM）、可擦除可编程只读存储器（erasablePROM，EPROM）、电可擦除可编程只读存储器（electricallyEPROM，EEPROM）或闪存。易失性存储器可以是随机存取存储器（randomaccess memory，RAM），其用作外部高速缓存。通过示例性但不是限制性说明，许多形式的随机存取存储器（randomaccess memory，RAM）可用，例如静态随机存取存储器（staticRAM，SRAM）、动态随机存取存储器（DRAM）、同步动态随机存取存储器（synchronousDRAM，SDRAM）、双倍数据速率同步动态随机存取存储器（doubledata rateSDRAM，DDRSDRAM）、增强型同步动态随机存取存储器（enhancedSDRAM，ESDRAM）、同步连接动态随机存取存储器（synchlinkDRAM，SLDRAM）和直接内存总线随机存取存储器（directrambus RAM，DRRAM）。
具体实现中，所述应用处理器120用于执行如下述方法实施例中由电子设备执行的任一步骤，且在执行诸如发送等数据传输时，可选择的调用所述通信接口140来完成相应操作。
请参阅图1c，图1c是本申请实施例提供的一种ONOP通道孔结构示意图，图1c中的（a）为该ONOP通道孔结构的立体图，图1c中的（b）为该ONOP通道孔结构的截面图，从图中可以看出，该ONOP通道孔结构中包括多层结构，每一层可以看做是一个近似圆环。请参阅图1d，图1d是本申请实施例提供的一种氧化块显微图像示意图，图1d中箭头所指的近似圆环就是氧化块层，可以看出，该ONOP通道孔结构中的通道孔的半径小，显微图像也十分嘈杂。而目前对ONOP通道孔结构中的氧化块层的厚度检测依赖于使用计算机视觉边缘检测技术来大致确定层边界，然后手动计算具有粗糙边界的图像厚度，但由于通道孔的半径小显微图像不清晰，且主要依赖人工操作进行厚度检测，这样使得检测出的结果存在较大的误差，且也无法实现测量结果的再现性。
结合上述描述，下面将从方法实例的角度介绍图层厚度检测方法的执行步骤，请参阅图2a，图2a是本申请实施例提供的一种图层厚度检测方法的流程示意图。如图所示，所述图层厚度检测方法包括：
S201，获取目标图像。
其中，所述目标图像包括目标图层，也就是说所述目标图像可以是包括有需要测量厚度的图层的图像，所述目标图像还可以是需要检测厚度的图层对应的图像。该目标图像可以是通过显微镜获取的显微图像，例如通过透射电子显微镜(TransmissionElectronMicroscope，TEM)和扫描电子显微镜(scanningelectron microscope，SEM)等获取的目标图像。
S202，对所述目标图像进行预处理，得到多个检测区域。
其中，所述多个检测区域中的每个检测区域对应所述目标图层的一部分，且所述每个检测区域均包括所述目标图层的两个边界。目标图像中包含有需要检测厚度的氧化块图层，该氧化块图层在目标图像中是一个类似于圆环的形状，因此，该检测区域与该氧化块图层对应，且也是呈圆环排布的。也就是说，氧化块图层被全部的检测区域覆盖。
在一个可能的实例中，所述对所述目标图像进行预处理，得到对应于所述目标图像的多个检测区域，包括：根据所述目标图像获取多个标记点，所述多个标记点位于所述目标图层内；获取所述多个标记点中每个标记点对应的法线；根据所述法线获取多个检测区域，其中，每个标记点对应一个检测区域。
其中，所述标记点位于氧化块层内，可以通过该标记点将氧化块层划分为多段，也就是说该多个标记点相连也是一个类似于圆环的形状。每个标记点有一条对应于该标记点的法线，一个检测区域可以是这多条法线中的其中两条组成的区域。如图2b所述，图2b是本申请实施例提供的一种图层厚度检测方法的法线获取示意图，如图所示，图2b中的（a）中包括3个标记点，分别为A（x1,y1），B（x2,y2），C（x3,y3），此时若要获取标记点B的法线，则可以先获取标记点A和标记点C的连线，然后确定该连线的平行线中与标记点B有交点的平行线为标记点B的切线，然后过标记点B做该切线的垂线，就可以得到标记点B的法线，以此类推，可以得到每个标记点的法线，如图2b中的（b）所示。
可见，根据标记点确定法线，并根据法线确定检测区域，根据每个检测区域分别确定图层厚度，可以提高检测结果的准确性，且能提高检测结果的数据精度，还可以减少检测过程中的人为误差，确保图层厚度检测结果的可再现性。
在一个可能的实例中，所述根据所述法线获取多个检测区域，包括：确定当前标记点相邻的两个标记点分别为上个标记点和下个标记点；确定所述上个标记点对应的法线与所述下个标记点对应的法线组成的区域为所述当前标记点对应的检测区域，所述当前标记点对应的检测区域包括所述当前标记点；重复上述步骤，直到所述上个标记点为所述当前标记点。
其中，由于氧化块层是一个形状类型于圆环的图层，因此，在确定检测区域的过程中，该目标图像中的每一个标记点都会成为上标记点和下标记点。具体实现中，可以将与当前标记点相邻的两个标记点的法线组成的包括当前标记点的区域确定为一个检测区域，例如，标记点2相邻的两个标记点分别为标记点1和标记点3，标记点1对应的法线为法线a，标记点3对应的法线为法线b，此时法线a与法线b所构成的包含有标记点2的图像区域就可以是标记点2对应的检测区域，以此类推，直至所有的标记点都有一个对应的检测区域，也就是说该氧化块图层的图像区域被所有的检测区域覆盖，当然该检测区域要贯穿氧化块图层。也可以将不相邻的多条法线对应的包括有当前标记点的图像区域作为当前标记点对应的一个检测区域，例如标记点1对应法线a，标记点2对应法线b，标记点3对应法线c，标记点4对应法线d，则将法线a与法线d所对应的图像区域确定为标记点2与标记点3共同对应的检测区域，以此类推。
可见，本实例中，根据法线确定检测区域，可以提高检测结果的准确性，且能提高检测结果的数据精度，还可以减少检测过程中的人为误差，确保图层厚度检测结果的可再现性。
在一个可能的实例中，所述根据所述目标图像获取多个标记点，包括：根据所述目标图像获取多个初始标记点，所述多个初始标记点位于所述目标图层内；根据所述多个初始标记点获取标记线；根据所述标记线获取多个标记点，所述多个标记点均匀分布在所述标记线上。
其中，所述初始标记点可是人为在目标图像中标记的，如图2c所示，图2c是本申请实施例提供的一种图层厚度检测方法的初始标记点示意图。可以人为的在需要检测厚度的图层上沿着该图层的方向依次标注多个初始标记点。所述多个初始标记点的连线就可以是标记线，或者可以对初始标记点先处理再进行连线得到标记线，或者可以将所述多个初始标记点的连线确定为初始标记线，然后再对所述初始标记线进行平滑处理得到标记线。在得到标记线后，可将标记线进行等分，也就是基于标记线的弧长进行插值，这样就可以获得多个间隔相同的标记点。所述标记点的个数可以根据图像的状态来确定，例如要获取更清晰的图像时，可以使用较小的宽度进行插值，也就是说标记点间的间隔短，标记点的数量相对较多，若是图像的状态为高噪点的图像，则需要选择较大的宽度进行插值，也就是说标记点间的间隔大，标记点的数量相对较少。在具体实现中，对于标记点的数量或者说标记点间的间隔距离可以根据图像像素的大小进行设置。
可见，本实例中，首先获取人工标记的初始标记点，然后再根据初始标记点获取标记线，并根据标记线获取标记点，这样可以使得标记点的分布更均匀，可以减少人工标记时产生的误差，以提高检测结果的准确性，且能提高检测结果的数据精度。
在一个可能的实例中，所述根据所述多个初始标记点获取标记线，包括：获取所述目标图层的质心；获取所述多个初始标记点分别相对于所述质心的距离；根据所述距离对所述初始标记点进行平滑处理，得到标记线。
其中，所述质心可以根据用户需求由用户自行设定，所述获取所述目标图层的质心还可以包括：确定第一初始标记点和第二初始标记点，所述第一初始标记点为所述多个初始标记点中的任意一个初始标记点，所述第二初始标记点为所述多个初始标记点中除所述第一初始标记点外的其他初始标记点中，距离所述第一初始标记点最远的初始标记点；获取所述第一初始标记点和所述第二初始标记点的连线；重复上述步骤，直到获取所述多个初始标记点中的每一个初始标记点与其对应的距离最远的初始标记点的连线；根据所述多条连线获取多个交点；确定所述多个交点中经过的连线最多的交点为质心。例如初始标记点a与初始标记点b的连续的交点为O，初始标记点c与初始标记点d的连续的交点为P，初始标记点e与初始标记点f的连续的交点为O，则可以确定交点O为质心。
具体实现中，在对所述初始标记点进行平滑处理时，可以获取每个初始标记点相对于所述质心的距离，根据所述距离确定平均距离，根据所述平均距离确定标记线，即所述标记线上的每个点到所述质心的距离相等。或者可以获取每个初始标记点相对于所述质心的距离，根据所述距离获取距离区间，所述距离区间中包含预设数量个距离，确定所述距离区间的平均值，根据所述平均值确定标记线。即，若质心与初始标记点1的距离为4nm，初始标记点2的距离为5nm，初始标记点3的距离为3nm，初始标记点4的距离为7nm，则距离区间在3nm-5nm之间的初始标记点数量有三个，满足预设数量，则可以确定距离区间为3nm-5nm，因此，此时标记线上的每个点到质心的距离为4nm。当有多个满足预设数量的距离区间是，根据包含初始标记点数量最多的距离区间确定标记线，所述标记线就是平滑处理后的初始标记点的连线。在对初始标记点进行平滑处理时，还可以通过sagvol滤波器实现。如图2d所示，图2d是本申请实施例提供的一种图层厚度检测方法的标记线获取示意图，图2d中的（a）中显示有初始标记点的位置，以及图2d中的（a）中的五角星的位置为质心的位置。找到质心后，在获取每个初始标记点与质心的距离，如图2d中的（b）所示，图2d中的（b）中虚线上对应的点就是每个初始标记点，可以对每个初始标记点进行标号，然后在坐标系中标记出初始标记点对应的距离，而图2d中的（b）中实线上对应的点表示的含义就为平滑处理后的每个初始标记点对应平滑后的距离，然后可以根据该平滑处理后的距离确定出标记线，如图2d中的（c）所述，该图2d中的（c）中的白色虚线就是标记线。
可见，本实例中，根据每个初始标记点到质心的距离对初始标记点进行平滑处理，最后得到标记线，这样可以后续获取的标记点的位置更合理，可以减少人工标记时产生的误差，以提高检测结果的准确性，且能提高检测结果的数据精度。
在一个可能的实例中，所述根据所述每个检测区域中的多个第一平均图像强度确定所述每个检测区域对应的部分目标图层的图层边界之前，所述方法还包括：确定所述每个检测区域对应的部分图像的图像噪声；删除所述多个检测区域中所述图像噪声高于预设噪声的检测区域。
其中，一个目标图像中包括多个检测区域，可以对每个检测区域内对应的图像的状态进行确定，在当前检测区域对应的图像的图像噪声过高时，可以删除该检测区域，也就是后续不会对该检测区域内的图像进行处理，也不会获取该检测区域对应的图层边界。
可见，本实例中，当图像噪声高于预设值时拒绝采样，这样可以保证数据处理的准确度与精度，还可以提高处理效率。
S203，获取所述多个检测区域中每个检测区域的第一平均图像强度。
其中，所述每个检测区域包括多个第一平均图像强度。以多个检测区域中的任意一个检测区域为例，如图2e所述，图2e是本申请实施例提供的一种图层厚度检测方法的图层边界确定示意图，如图2e中的（a）所示，图2e中的（a）中的两条黑线组成的图像区域可以看做是一个检测区域，可以设置该检测区域中包括一个标记点，该标记点的位置为原点0，然后基于法线分别确定出该标记点两边各80像素的距离。这样就可以在该-80到80像素的距离内获取多个第一平均强度。
在一个可能的实例中，所述获取所述多个检测区域中每个检测区域的第一平均图像强度，包括：确定所述每个检测区域中包含的检测子区域，所述检测子区域包括多个，多个检测子区域沿每个检测区域对应的法线方向分布；确定每个检测子区域对应的平均图像强度为一个第一平均图像强度。
其中，如图2e中的（a）所示，检测子区域可以看做是图2e中的（a）中的白色线条对应的图像区域。在获取检测子区域时，可以划分所述检测区域中与所述原点的距离相同的点的集合为一个检测子区域。例如，可以确定当前检测区域中与原点距离均为30像素的点的集合为一个检测子区域，然后可以依次再确定距离原点20像素、15像素、-20像素等距离的点的集合为一个检测子区域，以此得到一个检测区域内的多个检测子区域。每个检测子区域中包含的所有的点对应的图像强度的平均值可以看做是每个检测子区域的第一平均图像强度。
可见，本实例中，划分多个检测子区域，然后确定每个检测子区域的第一平均图像强度，以此获取一个检测区域对应的目标图层的图层边界，这样可以增强确定出的图层边界的准确性。
S204，根据所述每个检测区域中的多个第一平均图像强度确定所述每个检测区域对应的部分目标图层的图层边界。
其中，每个检测区域对应的图像中包括有需要检测图层厚度的图层的部分图像，这样就可以以一个检测区域为单位，获取每个检测区域内的需要检测图层厚度的部分图层区域的边界。
在一个可能的实例中，所述根据所述每个检测区域中的多个第一平均图像强度确定所述每个检测区域对应的部分目标图层的图层边界，包括：根据所述多个检测子区域的位置对所述每个检测区域内的多个检测子区域进行划分，得到第一集合和第二集合；根据所述第一集合中包含的多个检测子区域的第一平均图像强度以及位置获取第一图层边界；根据所述第二集合中包含的多个检测子区域的第一平均图像强度以及位置获取第二图层边界；确定所述每个检测区域对应的第一集合的第一图层边界和第二集合的第二图层边界分别为所述每个检测区域对应的部分目标图层的两个图层边界。
其中，有图2e中的（a）所述，因为与原点的距离包括有正向距离和反向距离，因此可以根据每个检测子区域的位置获得两个集合，检测子区域的位置可以是当前检测子区域到原点的距离。一个集合中包括有全部与原点的距离为正向距离的检测子区域，另一个集合中包括有全部与原点的距离为反向距离的检测子区域。例如将与原点的距离在0到80像素的检测子区域均划分为第一集合，将与原点的距离在-80到0像素的检测子区均划分为第二集合。分别根据第一集合和第二集合中的各个检测子区域的第一平均图像强度和位置，确定第一集合对应的第一图层边界，和第二集合对应的第二图层边界。因为第一集合与第二集合均对应同同一个检测区域，因此第一图层边界和第二图层边界就为该检测区域的两个图层边界。
可见，本实例中，分别确定两个图层边界，这样可以提高检测结果的准确性，且能提高检测结果的数据精度，还可以减少检测过程中的人为误差，确保图层厚度检测结果的可再现性。
在一个可能的实例中，所述根据所述第一集合中包含的多个检测子区域的第一平均图像强度以及位置获取第一图层边界，包括：根据所述第一集合中包括的多个检测子区域对应的第一平均图像强度和位置在坐标系中确定多个坐标点，所述坐标系为关于位置与图像强度的坐标系；对所述多个坐标点进行平滑处理，得到平滑线；根据所述多个坐标点对应的第一平均图像强度获取第二平均图像强度；根据所述多个坐标点对应的第一平均图像强度中强度值大于所述第二平均图像强度的第一平均图像强度获取第三平均图像强度；根据所述多个坐标点对应的第一平均图像强度中强度值不大于所述第二平均图像强度的第一平均图像强度获取第四平均图像强度；确定所述第三平均图像强度与所述第四平均图像强度的平均值为目标平均强度；根据所述目标平均强度和所述平滑线确定第一图层边界。
其中，如图2e所示，如图2e中的（a）所示，图2e中的（a）中的两条黑线分别为法线，这两个法线组成的包括当前标记点的区域可以看做是一个检测区域，可以设置该检测区域中标记点的位置为原点，然后基于法线分别确定出该标记点两边各80像素的距离。然后根据上述实施例所述获取第一集合与第二集合，如图2e中的（b）和图2e中的（c）所示，图2e中的（b）所示的坐标系中的点为第一集合中包括的检测子区域对应的坐标点，该坐标系中的横坐标为强度线到原点的像素距离，可以指示出检测子区域的位置，纵坐标为图像强度的值，可以指示第一平均图像强度。同理，图2e中的（c）所示的坐标系中的点为第二集合中包括的检测子区域对应的坐标点。分别对图2e中的（b）和图2e中的（c）中的点进行平滑处理，可以分别得到一条平滑的曲线。
在确定第一图层边界时，首先可以对坐标系中的所有坐标点对应的第一平均图像强度求均值，得到第二平均图像强度，如图2e中的（b）所示，图中虚线对应的强度值就为第二平均图像强度，在该图中第二平均图像强度值为4030。得到第二平均图像强度后，就可以把所有的第一平均图像强度值对应的坐标点分为两个部分，第一部分是第一平均图像强度高于第二平均图像强度的坐标点，第二部分是第一平均图像强度低于第二平均图像强度的坐标点。此时可以获取第一部分中的坐标点对应的第一平均图像强度的平均值为第二平均图像强度，第二部分中的坐标点对应的第一平均图像强度的平均值为第三平均图像强度。如图2e中的（b）所示，图中的点划线对应的强度值为第二平均图像强度，图中的双点划线对应的图像强度值为第三平均图像强度，也就是分别为4300和3800。此时可以再次获取第二平均图像强度与第三平均图像强度的平均值为目标平均图像强度，也就是图中的横线，此时对应的目标平均强度的值为4050。最后可以确定该目标强度值对应的横线与平滑线的交点对应的距离就为边界所在的距离。如图2e中的（b）所示，图中的竖线就是对应的横坐标就是边界距离原点的位置，即边界距离原点也就是标记点为-30像素。此时就可以在图2e中的（a）的确定出边界的具***置，此时求出的边界可以看做是该图层的上边界。同理，如图2e中的（c）所示，对于第二集合对应的第二图层边界，可以通过上述相同的方式获取。
具体实现中，根据所述多个坐标点对应的第一平均图像强度中强度值大于所述第二平均图像强度的第一平均图像强度获取第三平均图像强度，包括：根据所述第一平均图像强度高于所述第二平均图像强度的坐标点对应的第一平均图像强度，获取置信度大于预设值的置信区间，确定该置信区间内对应的所有第一平均图像强度的平均值为为第二平均图像强度。例如，第一平均图像强度高于所述第二平均图像强度的坐标点包括5个，这5个坐标点中有90%的坐标点的第一平均强度都在置信区间[4250,4350]之间，则此时的第一图像强度就是4250和4350的均值，也就是4300。第二图像强度的值也可以按照上述步骤计算，在此不再赘述。
可见，本实例中，根据第一平均图像强度确定图层边界，这样可以提高检测结果的准确性，且能提高检测结果的数据精度，还可以减少检测过程中的人为误差，确保图层厚度检测结果的可再现性。
S205，根据与所述多个检测区域一一对应的多个图层边界确定所述目标图层的图层厚度。
其中，由于一个目标图像包括有多个检测区域，每个检测区域只对应部分目标图像，也就是说一个检测区域也只包含有部分需要检测厚度的图层。在获取了每一个检测区域包含的图层的图层边界后，可以将所有的图层边界组合起来就可以确定出该目标图像中目标图层的图层边界。在根据图层边界获取图层厚度时，可以通过对每个检测区域内的图层厚度进行计算，也可以在获取目标图层的图层边界后，再对图层边界进行抽样，根据抽样得到的图层边界获取图层厚度。所述根据与所述多个检测区域一一对应的多个图层边界确定所述目标图层的图层厚度，包括：根据图层边界获取所述图层的第一边界线和第二边界线；确定所述第一边界线和所述第二边界线分别与所述每个标记点对应的法线的上交点和下交点；确定同一个标记点对应的上交点与下交点的距离为所述图层的厚度。
具体实现中，获取每个检测区域对应的部分图像的图层厚度后，获取厚度密度分配比例，确定厚度密度分配比例最大的厚度为最终需要检测图层厚度的图层的厚度。如图2f所示，图2f是本申请实施例提供的一种图层厚度检测方法的图层厚度确定示意图，如图2f中的（a）所示，根据每个检测区域都获取了一个对应的部分目标图层的图层边界，如图2f中的（b）所示，对获取的所有图层边界分别求图层厚度，然后确定所有图层厚度的厚度密度分配比例，以确定出厚度区间，然后根据厚度区间确定最终的图层厚度，如图中所示，图层厚度在6.0-6.5这个厚度区间的厚度分配比例最高，则可以确定最终图层厚度在6.0-6.5之间，此时可以对该确定出的厚度区间求平均值，或者求所述厚度区间的中值，就可以得出最终图层厚度。
在一个可能的实例中，所述根据与所述多个检测区域一一对应的多个图层边界确定所述目标图层的图层厚度，包括：确定所述每个检测区域一一对应的多个图层边界中每个图层边界的强度分离率；根据所述每个图层边界的强度分离率从所述多个图层边界中确定多个目标图层边界；根据所述多个目标图层边界确定所述目标图像的图层厚度。
其中，在确定出每个检测区域对应的部分目标图层的图层边界后，可以对确定出的图层边界进行验证，以确定该图层边界是否可用。在获取了一个检测区域对应的两个图层边界后，以一个图层边界为例，该图层边界的外面的像素点对应的图像强度值要低于图层边界内的像素点对应的图像强度值，可以先确定每个图层边界处的图像区域的平均图像强度，然后根据第一平均图像强度分别确定出位于所述目标图层对应的图层边界外的所有检测子区域对应的第一平均图像强度低于或高于图层边界处对应的平均图像强度的值的比例，该比例就为强度分离率，若所述强度分离率高于预设分离率，则确定该图层边界为可用图层边界，若同一个检测区域对应的两个图层边界均为可用图层边界，则这两个图层边界可以用来确定图层厚度。例如，位于图层边界外的检测子区域中有90%的检测子区域对应的第一平均图像强度都低于图层边界处的平均图像强度，则该图层边界就为可用图层边界。
可见，本实例中，根据强度分离率确定目标图层，仅根据目标图层获取图层边界，这样可以提高检测结果的准确性，且能提高检测结果的数据精度，还可以减少检测过程中的人为误差，确保图层厚度检测结果的可再现性。
可以看出，本申请实施例中，首先获取目标图像，然后对所述目标图像进行预处理，得到多个检测区域，然后获取所述多个检测区域中每个检测区域的第一平均图像强度，其中所述每个检测区域包括多个第一平均图像强度，再然后根据所述每个检测区域中的多个第一平均图像强度确定所述每个检测区域对应的部分目标图层的图层边界，最后根据与所述多个检测区域一一对应的多个图层边界确定所述目标图层的图层厚度。这样，可以提高获得的图层厚度结果的准确性，且由于检测过程不依赖用户的手动测量，可以保证检测结果的再现性重复性和再现性。
请参阅图3，图3是本申请实施例提供的另一种图层厚度检测方法的流程示意图，如图所示，本图层厚度检测方法包括以下步骤：
S301，获取目标图像；
S302，根据所述目标图像获取多个标记点；
S303，获取所述多个标记点中每个标记点对应的法线；
S304，根据所述法线获取多个检测区域；
S305，获取所述多个检测区域中每个检测区域的第一平均图像强度；
S306，根据所述每个检测区域中的多个第一平均图像强度确定所述每个检测区域对应的部分目标图层的图层边界；
S307，根据与所述多个检测区域一一对应的多个图层边界确定所述目标图层的图层厚度。
可见，本实例中，首先获取目标图像，然后确定目标图像中的标记点，再然后根据标记点确定其对应的法线，以此获得对应于目标图像的多个检测区域，最后获取检测区域对应的多个第一平均图像强度，并最终确定出图层边界，这样，可以提高获得的图层厚度结果的准确性，且由于检测过程不依赖用户的手动测量，可以保证检测结果的再现性重复性和再现性。
与上述图2a和图3所示的实施例一致的，请参阅图4，图4是本申请实施例提供的一种图层厚度检测装置的结构示意图，所述图层厚度检测装置400包括第一获取单元401，用于获取目标图像，所述目标图像包括目标图层；预处理单元402，用于对所述目标图像进行预处理，得到多个检测区域，所述多个检测区域中的每个检测区域对应所述目标图层的一部分，且所述每个检测区域均包括所述目标图层的两个边界；第二获取单元403，用于获取所述多个检测区域中每个检测区域的第一平均图像强度，其中所述每个检测区域包括多个第一平均图像强度；第一确定单元404，用于根据所述每个检测区域中的多个第一平均图像强度确定所述每个检测区域对应的部分目标图层的图层边界；第二确定单元405，用于根据与所述多个检测区域一一对应的多个图层边界确定所述目标图像的图层厚度。
在一个可能的实例中，在所述对所述目标图像进行预处理，得到多个检测区域方面，所述预处理单元402具体用于：根据所述目标图像获取多个标记点，所述多个标记点位于所述目标图层内；获取所述多个标记点中每个标记点对应的法线；根据所述法线获取多个检测区域，其中，每个标记点对应一个检测区域。
在一个可能的实例中，在所述根据所述法线获取多个检测区域方面，所述预处理单元402具体用于：确定当前标记点相邻的两个标记点分别为上个标记点和下个标记点；确定所述上个标记点对应的法线与所述下个标记点对应的法线组成的区域为所述当前标记点对应的检测区域，所述当前标记点对应的检测区域包括所述当前标记点；确定所述下个标记点为所述当前标记点；重复上述步骤，直到所述上个标记点为所述当前标记点。
在一个可能的实例中，在所述根据所述目标图像获取多个标记点方面，所述预处理单元402具体用于：根据所述目标图像获取多个初始标记点，所述多个初始标记点位于所述目标图层内；根据所述多个初始标记点获取标记线；根据所述标记线获取多个标记点，所述多个标记点均匀分布在所述标记线上。
在一个可能的实例中，在所述根据所述多个初始标记点获取标记线方面，所述预处理单元402具体用于：获取所述目标图层的质心；获取所述多个初始标记点分别相对于所述质心的距离；根据所述距离对所述初始标记点进行平滑处理，得到标记线。
在一个可能的实例中，在所述根据所述每个检测区域中的多个第一平均图像强度确定所述每个检测区域对应的部分目标图层的图层边界之前，所述图层厚度检测装置400还用于：确定所述每个检测区域的图像噪声；删除所述多个检测区域中所述图像噪声高于预设噪声的检测区域。
在一个可能的实例中，在所述获取所述多个检测区域中每个检测区域的第一平均图像强度方面，所述第二获取单元403具体用于：确定所述每个检测区域中包含的检测子区域，所述检测子区域包括多个，多个检测子区域沿每个检测区域对应的法线方向分布；确定每个检测子区域对应的平均图像强度为一个第一平均图像强度。
在一个可能的实例中，在根据所述每个检测区域中的多个第一平均图像强度确定所述每个检测区域对应的部分目标图层的图层边界方面，所述第一确定单元404具体用于：根据所述多个检测子区域的位置对所述每个检测区域内的多个检测子区域进行划分，得到第一集合和第二集合；根据所述第一集合中包含的多个检测子区域的第一平均图像强度以及位置获取第一图层边界；根据所述第二集合中包含的多个检测子区域的第一平均图像强度以及位置获取第二图层边界；确定所述每个检测区域对应的第一集合的第一图层边界和第二集合的第二图层边界分别为所述每个检测区域对应的部分目标图层的两个图层边界。
在一个可能的实例中，在所述根据所述第一集合中包含的多个检测子区域的第一平均图像强度以及位置获取第一图层边界方面，所述第一确定单元404具体用于：根据所述第一集合中包括的多个检测子区域对应的第一平均图像强度和位置在坐标系中确定多个坐标点，所述坐标系为关于位置与图像强度的坐标系；对所述多个坐标点进行平滑处理，得到平滑线；根据所述多个坐标点对应的第一平均图像强度获取第二平均图像强度；根据所述多个坐标点对应的第一平均图像强度中强度值大于所述第二平均图像强度的第一平均图像强度获取第三平均图像强度；根据所述多个坐标点对应的第一平均图像强度中强度值不大于所述第二平均图像强度的第一平均图像强度获取第四平均图像强度；确定所述第三平均图像强度与所述第四平均图像强度的平均值为目标平均强度；根据所述目标平均强度和所述平滑线确定第一图层边界。
在一个可能的实例中，在所述根据与所述多个检测区域一一对应的多个图层边界确定所述目标图层的图层厚度方面，所述第二确定单元405具体用于：确定所述每个检测区域一一对应的多个图层边界中每个图层边界的强度分离率；根据所述每个图层边界的强度分离率从所述多个图层边界中确定多个目标图层边界；根据所述多个目标图层边界确定所述目标图像的图层厚度。
可以理解的是，由于方法实施例与装置实施例为相同技术构思的不同呈现形式，因此，本申请中方法实施例部分的内容应同步适配于装置实施例部分，此处不再赘述。
在采用集成的单元的情况下，如图5所示，图5是本申请实施例提供的另一种图层厚度检测装置的结构示意图。在图5中，图层厚度检测装置500包括：处理模块502和通信模块501。处理模块502用于对图层厚度检测装置的动作进行控制管理，例如，对第一获取单元401、预处理单元402、第二获取单元403、第一确定单元404和第二确定单元405在执行相关命令时的控制管理，和/或用于执行本文所描述的技术的其它过程。通信模块501用于支持图层厚度检测装置与其他设备之间的交互。如图5所示，图层厚度检测装置还可以包括存储模块503，存储模块503用于存储图层厚度检测装置的程序代码和数据。
其中，处理模块502可以是处理器或控制器，例如可以是中央处理器(CentralProcessing Unit，CPU)，通用处理器，数字信号处理器(DigitalSignalProcessor，DSP)，ASIC，FPGA或者其他可编程逻辑器件、晶体管逻辑器件、硬件部件或者其任意组合。其可以实现或执行结合本申请公开内容所描述的各种示例性的逻辑方框，模块和电路。所述处理器也可以是实现计算功能的组合，例如包含一个或多个微处理器组合，DSP和微处理器的组合等等。通信模块501可以是收发器、RF电路或通信接口等。存储模块503可以是存储器。
其中，上述方法实施例涉及的各场景的所有相关内容均可以援引到对应功能模块的功能描述，在此不再赘述。上述图层厚度检测装置400和图层厚度检测装置500均可执行上述图2a和图3所示的图层厚度检测方法。
上述实施例，可以全部或部分地通过软件、硬件、固件或其他任意组合来实现。当使用软件实现时，上述实施例可以全部或部分地以计算机程序产品的形式实现。所述计算机程序产品包括一个或多个计算机指令或计算机程序。在计算机上加载或执行所述计算机指令或计算机程序时，全部或部分地产生按照本申请实施例所述的流程或功能。所述计算机可以为通用计算机、专用计算机、计算机网络、或者其他可编程装置。所述计算机指令可以存储在计算机可读存储介质中，或者从一个计算机可读存储介质向另一个计算机可读存储介质传输，例如，所述计算机指令可以从一个网站站点、计算机、服务器或数据中心通过有线或无线方式向另一个网站站点、计算机、服务器或数据中心进行传输。所述计算机可读存储介质可以是计算机能够存取的任何可用介质或者是包含一个或多个可用介质集合的服务器、数据中心等数据存储设备。所述可用介质可以是磁性介质（例如，软盘、硬盘、磁带）、光介质（例如，DVD）、或者半导体介质。半导体介质可以是固态硬盘。
本申请实施例还提供一种计算机存储介质，其中，该计算机存储介质存储用于电子数据交换的计算机程序，该计算机程序使得计算机执行如上述方法实施例中记载的任一方法的部分或全部步骤，上述计算机包括电子设备。
本申请实施例还提供一种计算机程序产品，上述计算机程序产品包括存储了计算机程序的非瞬时性计算机可读存储介质，上述计算机程序可操作来使计算机执行如上述方法实施例中记载的任一方法的部分或全部步骤。该计算机程序产品可以为一个软件安装包，上述计算机包括电子设备。
应理解，在本申请的各种实施例中，上述各过程的序号的大小并不意味着执行顺序的先后，各过程的执行顺序应以其功能和内在逻辑确定，而不应对本申请实施例的实施过程构成任何限定。
在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的方法、装置和***，可以通过其它的方式实现。例如，以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的；例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式；例如多个单元或组件可以结合或者可以集成到另一个***，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些接口，装置或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。
所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部单元来实现本实施例方案的目的。
另外，在本发明各个实施例中的各功能单元可以集成在一个处理单元中，也可以是各个单元单独物理包括，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中。上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用硬件加软件功能单元的形式实现。
上述以软件功能单元的形式实现的集成的单元，可以存储在一个计算机可读取存储介质中。上述软件功能单元存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得一台计算机设备（可以是个人计算机，服务器，或者网络设备等）执行本发明各个实施例所述方法的部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器（Read-OnlyMemory，简称ROM）、随机存取存储器（RandomAccess Memory，简称RAM）、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。
虽然本发明披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，可轻易想到变化或替换，均可作各种更动与修改，包含上述不同功能、实施步骤的组合，包含软件和硬件的实施方式，均在本发明的保护范围。

Claims (12)

1.一种图层厚度检测方法，其特征在于，包括：
获取目标图像，所述目标图像包括目标图层，所述目标图像为圆环形状，所述目标图层包括需要检测厚度的氧化块图层；
对所述目标图像进行预处理，得到多个检测区域，所述多个检测区域中的每个检测区域对应所述目标图层的一部分，且所述每个检测区域均包括所述目标图层的两个边界；
获取所述多个检测区域中每个检测区域的第一平均图像强度，其中所述每个检测区域包括多个第一平均图像强度；
根据所述每个检测区域中的多个第一平均图像强度确定所述每个检测区域对应的部分目标图层的图层边界，所述图层边界包括第一图层边界和第二图层边界，所述第一图层边界为根据第一集合中的各个检测子区域的第一平均图像强度和位置确定，所述第二图层边界为根据第二集合中的各个检测子区域的第一平均图像强度和位置确定，所述第一集合中包括的检测子区域与原点的距离为正向距离，所述第二集合中包括的检测子区域与所述原点的距离为反向距离，所述原点为标记点；
根据与所述多个检测区域一一对应的多个图层边界确定所述目标图层的图层厚度；
所述对所述目标图像进行预处理，得到多个检测区域，包括：
根据所述目标图像获取多个标记点，所述多个标记点位于所述目标图层内；
获取所述多个标记点中每个标记点对应的法线；
根据所述法线获取多个检测区域，其中，每个标记点对应一个检测区域。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述法线获取多个检测区域，包括：
确定当前标记点相邻的两个标记点分别为上个标记点和下个标记点；
确定所述上个标记点对应的法线与所述下个标记点对应的法线组成的区域为所述当前标记点对应的检测区域，所述当前标记点对应的检测区域包括所述当前标记点；
确定所述下个标记点为所述当前标记点；
重复上述步骤，直到所述上个标记点为所述当前标记点。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述目标图像获取多个标记点，包括：
根据所述目标图像获取多个初始标记点，所述多个初始标记点位于所述目标图层内；
根据所述多个初始标记点获取标记线；
根据所述标记线获取多个标记点，所述多个标记点均匀分布在所述标记线上。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述根据所述多个初始标记点获取标记线，包括：
获取所述目标图层的质心；
获取所述多个初始标记点分别相对于所述质心的距离；
根据所述距离对所述初始标记点进行平滑处理，得到标记线。
5.根据权利要求1-4任一项所述的方法，其特征在于，所述根据所述每个检测区域中的多个第一平均图像强度确定所述每个检测区域对应的部分目标图层的图层边界之前，所述方法还包括：
确定所述每个检测区域的图像噪声；
删除所述多个检测区域中所述图像噪声高于预设噪声的检测区域。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取所述多个检测区域中每个检测区域的第一平均图像强度，包括：
确定所述每个检测区域中包含的检测子区域，所述检测子区域包括多个，多个检测子区域沿每个检测区域对应的法线方向分布；
确定每个检测子区域对应的平均图像强度为一个第一平均图像强度。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，根据所述每个检测区域中的多个第一平均图像强度确定所述每个检测区域对应的部分目标图层的图层边界，包括：
根据所述多个检测子区域的位置对所述每个检测区域内的多个检测子区域进行划分，得到第一集合和第二集合；
根据所述第一集合中包含的多个检测子区域的第一平均图像强度以及位置获取第一图层边界；
根据所述第二集合中包含的多个检测子区域的第一平均图像强度以及位置获取第二图层边界；
确定所述每个检测区域对应的第一集合的第一图层边界和第二集合的第二图层边界分别为所述每个检测区域对应的部分目标图层的两个图层边界。
8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一集合中包含的多个检测子区域的第一平均图像强度以及位置获取第一图层边界，包括：
根据所述第一集合中包括的多个检测子区域对应的第一平均图像强度和位置在坐标系中确定多个坐标点，所述坐标系为关于位置与图像强度的坐标系；
对所述多个坐标点进行平滑处理，得到平滑线；
根据所述多个坐标点对应的第一平均图像强度获取第二平均图像强度；
根据所述多个坐标点对应的第一平均图像强度中强度值大于所述第二平均图像强度的第一平均图像强度获取第三平均图像强度；
根据所述多个坐标点对应的第一平均图像强度中强度值不大于所述第二平均图像强度的第一平均图像强度获取第四平均图像强度；
确定所述第三平均图像强度与所述第四平均图像强度的平均值为目标平均强度；
根据所述目标平均强度和所述平滑线确定第一图层边界。
9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据与所述多个检测区域一一对应的多个图层边界确定所述目标图层的图层厚度，包括：
确定所述每个检测区域一一对应的多个图层边界中每个图层边界的强度分离率；
根据所述每个图层边界的强度分离率从所述多个图层边界中确定多个目标图层边界；
根据所述多个目标图层边界确定所述目标图像的图层厚度。
10.一种图层厚度检测装置，其特征在于，包括：
第一获取单元，用于获取目标图像，所述目标图像包括目标图层，所述目标图像为圆环形状，所述目标图层包括需要检测厚度的氧化块图层；
处理单元，用于对所述目标图像进行预处理，得到多个检测区域，所述多个检测区域中的每个检测区域对应所述目标图层的一部分，且所述每个检测区域均包括所述目标图层的两个边界；
第二获取单元，用于获取所述多个检测区域中每个检测区域的第一平均图像强度，其中所述每个检测区域包括多个第一平均图像强度；
第一确定单元，用于根据所述每个检测区域中的多个第一平均图像强度确定所述每个检测区域对应的部分目标图层的图层边界，所述图层边界包括第一图层边界和第二图层边界，所述第一图层边界为根据第一集合中的各个检测子区域的第一平均图像强度和位置确定，所述第二图层边界为根据第二集合中的各个检测子区域的第一平均图像强度和位置确定，所述第一集合中包括的检测子区域与原点的距离为正向距离，所述第二集合中包括的检测子区域与所述原点的距离为反向距离，所述原点为标记点；
第二确定单元，用于根据与所述多个检测区域一一对应的多个图层边界确定所述目标图层的图层厚度；
在所述对所述目标图像进行预处理，得到多个检测区域方面，所述处理单元还用于：根据所述目标图像获取多个标记点，所述多个标记点位于所述目标图层内；获取所述多个标记点中每个标记点对应的法线；根据所述法线获取多个检测区域，其中，每个标记点对应一个检测区域。
11.一种电子设备，其特征在于，包括处理器、存储器和通信接口，所述处理器和所述通信接口分别与所述存储器通信连接，所述存储器存储有一个或多个程序，并且所述一个或多个程序由所述处理器执行，所述一个或多个程序包括用于执行如权利要求1-9任一项所述的方法中的步骤的指令。
12.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质存储用于电子数据交换的计算机程序，其中，所述计算机程序可操作来使得计算机执行如权利要求1-9任一项所述的方法。
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