CN113218864B - 纳米材料改性金属有机框架薄膜制备方法及其在传感器上的应用 - Google Patents
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- 239000012621 metal-organic framework Substances 0.000 title claims abstract description 75
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 title abstract description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 claims abstract 6
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract 2
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 48
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 46
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 42
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 30
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 28
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 15
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 13
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 13
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 11
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 claims description 9
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 claims description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 8
- 238000003756 stirring Methods 0.000 claims description 8
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N Ammonium hydroxide Chemical compound [NH4+].[OH-] VHUUQVKOLVNVRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000000908 ammonium hydroxide Substances 0.000 claims description 6
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 claims description 6
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims description 6
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 6
- VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N titanium(IV) isopropoxide Chemical compound CC(C)O[Ti](OC(C)C)(OC(C)C)OC(C)C VXUYXOFXAQZZMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 claims description 5
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 5
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 5
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 4
- VHKFFPOTSWQHPK-UHFFFAOYSA-N C(C)O.C1(=CC(=CC(=C1)C(=O)O)C(=O)O)C(=O)O Chemical compound C(C)O.C1(=CC(=CC(=C1)C(=O)O)C(=O)O)C(=O)O VHKFFPOTSWQHPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 3
- 239000000376 reactant Substances 0.000 claims description 3
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 claims description 2
- GZTBKEOTCAVWNJ-UHFFFAOYSA-L C(C)O.C(C)(=O)[O-].[Cu+2].C(C)(=O)[O-] Chemical compound C(C)O.C(C)(=O)[O-].[Cu+2].C(C)(=O)[O-] GZTBKEOTCAVWNJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 claims 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 11
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 abstract description 7
- 238000000707 layer-by-layer assembly Methods 0.000 abstract description 4
- 230000004048 modification Effects 0.000 abstract 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 abstract 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 31
- 239000000463 material Substances 0.000 description 24
- 239000013148 Cu-BTC MOF Substances 0.000 description 18
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 14
- QMKYBPDZANOJGF-UHFFFAOYSA-N benzene-1,3,5-tricarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(C(O)=O)=CC(C(O)=O)=C1 QMKYBPDZANOJGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 239000013110 organic ligand Substances 0.000 description 9
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 7
- 238000011161 development Methods 0.000 description 6
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 6
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L copper(ii) acetate Chemical compound [Cu+2].CC([O-])=O.CC([O-])=O OPQARKPSCNTWTJ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 5
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- 230000004044 response Effects 0.000 description 4
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 3
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 3
- 239000012491 analyte Substances 0.000 description 2
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 2
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 230000007123 defense Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Chemical group 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- -1 mass Substances 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 239000007783 nanoporous material Substances 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 2
- 150000003384 small molecules Chemical class 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- 238000012876 topography Methods 0.000 description 2
- ONDPHDOFVYQSGI-UHFFFAOYSA-N zinc nitrate Chemical compound [Zn+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O ONDPHDOFVYQSGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021536 Zeolite Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOIORXHNWRGPMV-UHFFFAOYSA-N acetic acid;zinc Chemical compound [Zn].CC(O)=O.CC(O)=O ZOIORXHNWRGPMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 238000013473 artificial intelligence Methods 0.000 description 1
- 238000013528 artificial neural network Methods 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- XTVVROIMIGLXTD-UHFFFAOYSA-N copper(II) nitrate Chemical compound [Cu+2].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O XTVVROIMIGLXTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 201000010099 disease Diseases 0.000 description 1
- 208000037265 diseases, disorders, signs and symptoms Diseases 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000009776 industrial production Methods 0.000 description 1
- 239000008204 material by function Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 235000013372 meat Nutrition 0.000 description 1
- 238000004377 microelectronic Methods 0.000 description 1
- 239000002808 molecular sieve Substances 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000000877 morphologic effect Effects 0.000 description 1
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N sodium aluminosilicate Chemical compound [Na+].[Al+3].[O-][Si]([O-])=O.[O-][Si]([O-])=O URGAHOPLAPQHLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 239000002341 toxic gas Substances 0.000 description 1
- 239000003039 volatile agent Substances 0.000 description 1
- 239000010457 zeolite Substances 0.000 description 1
- 239000004246 zinc acetate Substances 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
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Abstract
本发明涉及纳米材料改性金属有机框架薄膜制备方法及其在传感器上的应用,实现基于MOFs薄膜Fabry‑Pérot谐振腔对气体的选择性传感识别及高传感灵敏度。首先合成结构尺寸可控的纳米材料,利用层层组装法将其加入MOFs薄膜中,实现MOFs薄膜的功能改性,提高MOFs@Nanomaterials薄膜的光学性质以及特异性吸附能力,实现传感器的高灵敏性和选择性。总之,此方法具有简单稳定、功能多样、适用性广等特点,通过该方法获得的MOFs基Fabry‑Pérot薄膜传感器具有良好的气体灵敏度与选择性。
Description
技术领域
本发明属于光通信技术以及传感领域,特别涉及纳米材料改性金属有机框架薄膜制备方法及其在传感器上的应用。
背景技术
传感技术同计算机技术与通信技术并称为信息技术的三大支柱,是涉及微机械与微电子技术、计算机技术、信号处理技术、电路与***、神经网络技术以及模糊控制理论等多种学科的综合性技术,其应用涉及国民经济及国防科研的各个领域(如智能家居、农业、医疗、军事、太空探索等领域),是国民经济基础性、战略性产业之一。传感器是传感技术的载体,通过探测、感知外界的信号、物理条件(如光、热、温度、湿度等)或化学刺激,并将探知的信息转化为电子信号在输出端呈现。经过数十年的发展,传感器早已渗透到诸如工业生产、环境保护、医学诊断、生物工程等极其广泛的领域。据数据显示,2019年中国传感市场依然保持增长,整体市场规模达到2188.8亿元,同比增长12.7%。未来随着工业互联网、智能制造、人工智能等战略的实施,预计2021年市场规模将达2951.8亿元,增速达17.6%。
气体传感器作为传感器应用方向中的一个重要分支,已经广泛地应用于监测各种气体及小分子挥发物。气体传感器主要由气敏元件与转化元件组成,其中气敏元件是传感器中能直接感受或相应被测量的部分,转换元件是指传感器中能将敏感元件感受或响应的被测量装换成适于传输或测量的电信号部分。近年来,随着国防技术武器的电子化发展、环境污染的加剧、安全事故的频发、食品安全的重视,以及医疗诊断的进步等,为气体传感器的发展提供了广阔的发展空间和机遇。气体传感器可以预防和检查有毒气体并进行报警,检测氮、硫等温室效应气体,检测驾驶员呼气中乙醇气浓度,检测肉类等易腐败食物的新鲜度,以及通过检查呼出气体成分及浓度来诊断一些疾病。然而,面对越来越多的特殊信号和环境,传统气体传感器面临气敏元件传感种类少、选择性小、灵敏度低、工作环境要求高等问题。因此,开发高性能气敏材料、先进制备工艺和新型传感器件具有重要意义。
金属有机框架材料(Metal-Organic Frameworks,MOFs)是由金属离子和有机配体通过配位键自组装形成的一类纳米多孔材料,MOFs不仅具有类似沸石分子筛规则的孔道结构,而且具有比传统多孔材料更高的比表面积和孔隙率,同时兼具可设计性的组成结构和孔道尺寸等特点。MOFs纳米多孔材料可在一定范围内分析检测物的成分和浓度,利用其孔道结构、尺寸和化学环境等特征差异对有机小分子和气体检测物进行快速、选择性吸附。值得注意的是,MOFs在吸附检测物后自身性质会发生变化,如质量、晶体结构、电学性能、光学性质等。因此,利用MOFs自身特定的物化性质,将其作为气敏元件构建新型气体传感器,可实现高的气体监测灵敏度和选择性。
基于MOFs的Fabry-Pérot谐振腔是利用MOFs薄膜作为反射层,外界光入射至MOFs薄膜后,经薄膜内部吸收、透射以及多次往返反射作用,最后构成多束平行的反射光,经平行光的相干干涉,实现对光的谐调。然而,现有文献报道关于MOFs的Fabry-Pérot气体传感器对分析物的检测灵敏度低,且很难实现选择性传感。因此,需要气敏材料与其他功能材料进行复合以协同增强传感性能。
发明内容
本发明解决的技术问题是:为了解决现有气体传感器对分析物的检测灵敏度低,且很难实现选择性传感的问题,本发明涉及纳米材料改性金属有机框架薄膜制备方法及其在传感器上的应用。
本发明的技术方案是:纳米材料改性金属有机框架薄膜制备方法,包括以下步骤:
步骤1:纳米材料制备:包括以下子步骤:
步骤1.1:将前驱体化合物和去离子水混合搅拌得到固体,之后进行过滤和洗涤,其中前驱体化合物和去离子水的体积分别为10-20mL,90-180mL;
步骤1.2:将步骤1中过滤洗涤后的固体与氢氧化铵搅拌混合,混合后转移到水热釜中,恒温加热,得到纳米材料;所得纳米材料在13000-17000rpm下离心去除较大的颗粒和团聚体;其中加热温度为恒温加热氢氧化铵水溶液体积为2.5-4mL;
步骤2:根据需要选择特定基底材料并进行表面处理;
步骤3:利用层层组装法,将1-10mM的金属盐(醋酸铜、硝酸铜、醋酸锌、硝酸锌等)、0.1-1mM的有机配体(均苯三酸)乙醇溶液、按金属、有机溶液的顺序循环喷涂在基底材料表面,金属溶液、有机溶液的喷涂时间分别为10-20s,每个循环间隙用乙醇溶剂冲洗样品,得到MOFs薄膜。
本发明进一步的技术方案是:所述步骤1中的基底材料为硅片、石英、玻璃或柔性材料。
本发明进一步的技术方案是:所述步骤1中的表面处理是指基底依次在20-50mL的异丙醇、丙酮、异丙醇中分别超声清洗10-30min,氮气吹干后用氧离子体处理3-5min。
本发明进一步的技术方案是:通过控制喷涂次数,得到特定厚度与折射率的MOFs薄膜。
本发明进一步的技术方案是:纳米材料改性的金属有机框架薄膜气体传感器的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1:根据布拉格衍射公式:mλ=2nd,其中,n代表MOFs@Nanomaterials薄膜的折射率,d代表MOFs@Nanomaterials薄膜的厚度;得到不同反射波长所对应的薄膜厚度以及折射率;
步骤2:根据需要选择特定基底材料并进行表面处理;
步骤3:利用层层组装法,将1-10mM的金属盐、0.1-1mM的有机配体、0.0125-1.25mM的功能纳米材料乙醇溶液、按金属、有机、纳米材料溶液的顺序循环喷涂在基底材料表面,每个循环间隙用乙醇溶剂冲洗样品,得到MOFs@nanomaterials薄膜,其中金属溶液、有机溶液、纳米材料溶液的喷涂时间分别为10-20s。
本发明进一步的技术方案是:所述步骤2中的基底材料为硅片、石英、玻璃或柔性材料。
本发明进一步的技术方案是:所述步骤2中的表面处理是指基底依次在20-50mL的异丙醇、丙酮、异丙醇中分别超声清洗10-30min,氮气吹干后用氧等离子体处理3-5min。
本发明进一步的技术方案是:通过控制喷涂次数,得到特定厚度与折射率的纳米材料改性的MOFs薄膜,利用原子力显微镜(AFM)以及椭圆偏振光谱仪表征薄膜的表面粗糙度与厚度。
本发明进一步的技术方案是:重复步骤3过程100次,得到MOFs@Nanomaterials结构传感器。
发明效果
本发明的技术效果在于:本发明涉及的这种方法制备简单,适用性强,与未改性的金属有机框架薄膜相比,该方法获得的气体传感器具有更好的传感灵敏度与选择性。通过在MOFs薄膜中加入均匀分散的功能纳米材料,利用MOFs多孔薄膜自身的特点并结合纳米材料的表面物理化学性能提高与待检测物之间的特异性相互作用,构筑纳米材料改性的MOFs(MOFs@Nanomaterials)基Fabry-Pérot气体传感器,可有效提高气体检测物的检测灵敏度和选择性。此方法制备的MOFs@Nanomaterials基气敏材料作为Fabry-Pérot谐振腔的光反馈材料可以为先进纳米传感器的发展提供理论依据和技术支持。
附图说明
图1.功能纳米材料改性MOFs基Fabry-Pérot传感器对气体检测物的传感示意图
图2.MOFs@TiO2薄膜厚度与折射率随循环次数的变化曲线
图3.功能纳米粒子添加前后对MOFs薄膜的形貌影响:(a)40层MOFs的AFM形貌图(b)40层MOFs@TiO2的AFM形貌图
图4.MOFs基Fabry-Pérot谐振腔SEM截面厚度分析:(a)40次循环的MOFs薄膜与(b)40次循环的MOFs@TiO2薄膜
图5.HKUST-1基Fabry-Pérot传感器(a)与MOFs@TiO2基Fabry-Pérot传感器(b)对甲醇的传感曲线
具体实施方式
参见图1-图5,本发明技术方案包括以下内容:
一、制备在乙醇溶液中分散性良好的纳米材料,以TiO2为例,包括以下步骤:
步骤1:将异丙醇和去离子水混合搅拌1小时得到白色固体,之后进行用去离子水过滤和洗涤,其中异丙醇钛和去离子水的体积分别为10-20mL,90-180mL;
步骤2:将步骤1中过滤洗涤后的固体与0.6mol/L的氢氧化铵搅拌混合,混合后转移到水热釜中,恒温加热,得到纳米材料。所得纳米材料在13000-17000rpm下离心去除较大的颗粒和团聚体;其中加热温度为120℃,恒温时间3小时,氢氧化铵水溶液体积为2.5-4mL。
二、金属有机框架薄膜的制备,包括以下步骤:
步骤1:选择特定的基底材料(例如硅片、石英、玻璃、柔性材料),并进行表面处理;
步骤2:利用层层组装法,通过喷涂设备,将金属盐、有机配体溶液依次循环喷涂在基底材料表面,每个循环间隙用溶剂冲洗样品,除去未配位的金属离子或有机配体,得到均匀致密、表面平整、厚度可控的MOFs薄膜。
其中需要说明的是,基底硅片依次在异丙醇、丙酮、异丙醇中分别超声清洗10-30min,氮气吹干后用氧等离子体处理3-5min。
所述的MOFs薄膜的制备方法中:以经典的MOFs材料HKUST-1为例,首先配置1-10mM的醋酸铜(Cu(OAc)2)、0.1-1mM的均苯三酸(BTC)乙醇溶液,按金属、有机溶液的顺序循环喷涂在基底材料表面10-20s,每个循环间隙用乙醇溶剂冲洗样品,除去未配位的金属离子、有机配体。
三、纳米材料改性金属有机框架薄膜气体传感器的制备,包括以下步骤:
步骤1:根据布拉格衍射公式:mλ=2nd,其中,n代表MOFs@Nanomaterials薄膜的折射率,d代表MOFs@Nanomaterials薄膜的厚度。得到不同反射波长所对应的薄膜厚度以及折射率;
步骤2:选择特定的基底材料(例如硅片、石英、玻璃、柔性材料),并进行表面处理;其中需要说明的是,基底硅片依次在异丙醇、丙酮、异丙醇中分别超声清洗10-30min,氮气吹干后用氧等离子体处理3-5min。
步骤3:利用层层组装法,通过喷涂设备,将金属盐、有机配体、纳米材料溶液依次循环喷涂在基底材料表面,每个循环间隙用溶剂冲洗样品,除去未配位的金属离子、有机配体以及纳米材料。通过控制喷涂次数,得到特定厚度与折射率的纳米材料改性的MOFs薄膜。
其中需要说明的是,所述的MOFs@Nanomaterials薄膜的制备方法中:首先,配置1-10mM的醋酸铜(Cu(OAc)2)、0.1-1mM的均苯三酸(BTC)、0.10125-1.25mM的功能纳米材料乙醇溶液,按金属、有机、纳米材料溶液的顺序喷涂上述三种溶液并持续10-20s,每个喷涂间隙用乙醇冲洗,除去未配位的金属离子、有机配体以及多余的纳米颗粒。
所述的MOFs@Nanomaterials薄膜传感器的制备方法中MOFs@Nanomaterials薄膜的喷涂循环次数为100次。
为验证纳米材料改性后对传感灵敏度与选择性的提升,以经典的MOFs材料HKUST-1为例,制备具有MOFs@TiO2结构的多组分Fabry-Pérot传感器:
实施例1:
一种MOFs基Fabry-Pérot气体传感器的制备方法,具体步骤如下:
步骤1:基于MOFs材料HKUST-1的Fabry-Pérot谐振腔根据布拉格衍射公式:mλ=2nd概括,其中,n代表HKUST-1薄膜的折射率,d代表HKUST-1薄膜的厚度。得到不同反射波长所对应的薄膜的厚度以及折射率,为后续实验提供理论依据。
步骤2:首先,基底硅片依次在异丙醇、丙酮、异丙醇中分别超声清洗10-30min,氮气吹干后用氧等离子体处理3-5min,增加表面羟基官能团的数量,提高硅表面的亲水性。
步骤3:首先,配置500mL,1-10mM的醋酸铜(Cu(OAc)2)乙醇溶液、500mL,0.1-1mM的均苯三酸(BTC)乙醇溶液,按金属、有机溶液的顺序喷涂上述两种溶液并持续10-20s,每个喷涂间隙用乙醇冲洗确保反应物之间能够充分配位。重复该组装步骤10-100次,制备特定厚度的HKUST-1薄膜(如图3a所示,AFM测试表明MOFs薄膜表面平整致密,粗糙度较低)。
步骤4:在HKUST-1基Fabry-Pérot传感器的制备中,按照上述基于布拉格公式的计算结果,在处理后的基底上,将相应的厚度以及折射率的HKUST-1薄膜进行层层组装(如图4a所示,SEM截面图表明40个喷涂循环后MOFs薄膜的厚度)得到基于功能纳米材料改性HKUST-1基Fabry-Pérot传感器。
步骤5:通过搭建液体蒸发装置、设计并定制传感腔室,最后通过光纤等器件将传感信号转变成可视化的光学信号,实现不同气体的传感检测。将10μL的被测溶剂(甲醇、乙醇等)放入液体蒸发装置,利用100sccm氮气将检测气体送入传感器腔室,实现高精度气体分子的检测。
实施例2:
一种TiO2改性的MOFs@TiO2基Fabry-Pérot气体传感器的制备方法,具体步骤如下:
步骤1:在剧烈搅拌下,将20mL异丙醇钛滴加到36mL去离子水中。溶液搅拌1小时,得到的白色固体用去离子水过滤和洗涤。剩余的固体与3.9mL 0.6M的氢氧化铵混合,并转移到水热釜中在120℃下加热3小时。在17000rpm的转速下去除较大的颗粒和团聚体,并分散于乙醇溶液中待用。
步骤2:HKUST-1@TiO2基Fabry-Pérot谐振腔根据布拉格衍射公式:mλ=2nd概括,其中,n代表HKUST-1薄膜的折射率,d代表HKUST-1@TiO2薄膜的厚度。得到不同反射波长所对应的薄膜的厚度以及折射率,为后续实验提供理论依据。其中,如图2所示,横坐标代表喷涂循环次数,纵坐标表示用椭偏仪测得的MOFs薄膜厚度,结果表明,随着喷涂次数的改变,MOFs薄膜的厚度与折射率均增加。即可通过控制MOFs薄膜的喷涂次数控制MOFs薄膜的厚度与折射率。
步骤3:首先,基底硅片依次在异丙醇、丙酮、异丙醇中分别超声清洗10-30min,氮气吹干后用氧等离子体处理3-5min,增加表面羟基官能团的数量,提高硅表面上的亲水性。
步骤4:首先,配置500mL,1-10mM的醋酸铜(Cu(OAc)2)乙醇溶液、500mL,0.1-1mM的均苯三酸(BTC)乙醇溶液,500mL,0.0125-1.25mM的TiO2乙醇溶液,按金属、有机、纳米材料溶液的顺序喷涂上述三种溶液并持续10-20s,每个喷涂间隙用乙醇冲洗确保反应物之间能够充分配位。重复该组装步骤10-100次,制备特定厚度的HKUST-1@TiO2薄膜(如图3b所示,AFM测试表明MOFs@TiO2薄膜表面平整致密,粗糙度较低)。
步骤4:在HKUST-1@TiO2基Fabry-Pérot传感器的制备中,按照上述基于布拉格公式的计算结果,在处理后的基底上,将相应的厚度以及折射率的HKUST-1@TiO2薄膜进行层层组装(如图4b所示,SEM截面图表明40个喷涂循环后MOFs@HKUST-1薄膜的厚度)得到基于功能纳米材料改性HKUST-1@TiO2基Fabry-Pérot传感器。
步骤5:通过搭建液体蒸发装置、设计并定制传感腔室,最后通过光纤等器件将传感信号转变成可视化的光学信号,实现不同气体的传感检测。将10μL的被测溶剂(甲醇、乙醇等)放入液体蒸发装置,利用100sccm氮气将检测气体送入传感器腔室,实现高精度气体分子的检测。
实例1,2得到的基于MOFs材料HKUST-1的Fabry-Pérot传感器与其对甲醇的传感曲线如图5所示。其中,横坐标代表波长,纵坐标代表反射峰强度,黑色曲线为传感前的曲线,灰色曲线为甲醇吸附后的变化曲线。结果表明,实施例1与实施例2中基于MOFs的Fabry-Pérot传感器均对甲醇具有较高的传感灵敏度,其中实施例1中的甲醇传感曲线的开始响应时间为9.8s,而实施例2的甲醇传感开始响应时间为2.0s,说明实施例2的传感速度更快。此外,对比二者传感性能发现,实施例1中峰位的红移距离较短,即对甲醇的响应性能较弱,但加入功能纳米粒子TiO2后,由于氧化钛表面有大量的羟基基团,可与甲醇直接产生氢键相互作用,具有传感气体的特异性吸附,增加甲醇的预吸附量,实现对分析物的选择性传感。因此对甲醇的响应大幅度增加,光谱上表现为曲线红移距离增加。原因是由于氧化钛表面有大量的羟基基团,可与甲醇直接产生氢键相互作用,具有传感气体的特异性吸附,增加甲醇的预吸附量,实现对分析物的选择性传感。
Claims (1)
1.一种TiO2改性的MOFs@TiO2基Fabry-Pérot气体传感器对甲醇的选择性传感应用,其特征在于:首先制备所述TiO2改性的MOFs@TiO2基Fabry-Pérot气体传感器;其次搭建液体蒸发装置、设计并定制传感腔室,将10 μL的甲醇放入液体蒸发装置,利用100 sccm氮气将检测气体送入传感器腔室;最后通过光纤器件将传感信号转变成可视化的光学信号,实现高精度气体分子的检测;
所述TiO2改性的MOFs@TiO2基Fabry-Pérot气体传感器通过以下方法制备得到:
步骤1:在剧烈搅拌下,将异丙醇钛滴加到去离子水中,搅拌得到白色固体用去离子水过滤和洗涤,过滤洗涤后的固体与氢氧化铵搅拌混合,混合后转移到水热釜中,恒温加热,然后离心去除较大的颗粒和团聚体,得到TiO2纳米材料,将TiO2纳米材料分散于乙醇溶液中,得到TiO2乙醇溶液;
步骤2:将基底硅片依次在异丙醇、丙酮、异丙醇中分别超声清洗10-30 min,氮气吹干后用氧等离子体处理3-5 min,增加表面羟基官能团的数量,提高硅表面上的亲水性;
步骤3:配置1-10 mM的醋酸铜乙醇溶液、0.1-1 mM的均苯三酸乙醇溶液以及步骤1得到的0.0125-1.25 mM的TiO2乙醇溶液;按醋酸铜乙醇溶液、均苯三酸乙醇溶液以及TiO2乙醇溶液的顺序在处理后的基底上喷涂上述三种溶液并持续10-20s,每个喷涂间隙用乙醇冲洗确保反应物之间能够充分配位;重复喷涂组装步骤10-100次,制备特定厚度的MOFs@TiO2薄膜,并按照基于布拉格公式的计算结果,将相应的厚度以及折射率的MOFs@TiO2薄膜进行层层组装,得到TiO2改性的MOFs@TiO2基Fabry-Pérot气体传感器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110413446.7A CN113218864B (zh) | 2021-04-16 | 2021-04-16 | 纳米材料改性金属有机框架薄膜制备方法及其在传感器上的应用 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110413446.7A CN113218864B (zh) | 2021-04-16 | 2021-04-16 | 纳米材料改性金属有机框架薄膜制备方法及其在传感器上的应用 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN113218864A CN113218864A (zh) | 2021-08-06 |
CN113218864B true CN113218864B (zh) | 2024-01-19 |
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ID=77087657
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202110413446.7A Active CN113218864B (zh) | 2021-04-16 | 2021-04-16 | 纳米材料改性金属有机框架薄膜制备方法及其在传感器上的应用 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN113218864B (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114166901B (zh) * | 2021-12-06 | 2024-04-26 | 吉林大学 | 一种金纳米粒子负载的金属有机框架材料、以其为传感材料的低湿度传感器及制备方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030084174A (ko) * | 2002-04-25 | 2003-11-01 | 한국화학연구원 | 기재에 광촉매를 직접 고정시키는 방법 |
JP2004108929A (ja) * | 2002-09-18 | 2004-04-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスセンサ、ガスセンサの製造方法、冷蔵庫 |
JP2010094583A (ja) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Nippon Soda Co Ltd | 有機薄膜の製造方法 |
WO2010110729A1 (en) * | 2009-03-24 | 2010-09-30 | Oesterlund Lars | Highly reactive photocatalytic material and manufacturing thereof |
CN104091883A (zh) * | 2014-07-15 | 2014-10-08 | 中国科学院上海微***与信息技术研究所 | 一种基于介质薄膜反射镜的超导纳米线单光子探测器 |
CN105597833A (zh) * | 2015-11-18 | 2016-05-25 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 纳米簇负载型金属有机框架薄膜及其制备方法和应用 |
CN106053413A (zh) * | 2016-06-13 | 2016-10-26 | 华东师范大学 | 一种金属有机荧光甲醇传感薄膜及其制备方法 |
CN106596656A (zh) * | 2016-12-15 | 2017-04-26 | 福州大学 | 一种基于mof模板法合成的二氧化钛负载三氧化二铁纳米异质结构的气敏元件 |
CN108535893A (zh) * | 2018-03-26 | 2018-09-14 | 北京科技大学 | 一种利用光学谐振腔增强磁光克尔效应的方法 |
CN112295866A (zh) * | 2019-07-26 | 2021-02-02 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种全金属有机框架范德华异质结层薄膜的制备方法及其所制备的薄膜和用途 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9983183B2 (en) * | 2012-04-13 | 2018-05-29 | University Of Maryland, College Park | Highly selective nanostructure sensors and methods of detecting target analytes |
WO2016014963A1 (en) * | 2014-07-24 | 2016-01-28 | King Abdullah University Of Science And Technology | Fabrication of highly co2 selective metal organic framework membrane using liquid phase epitaxy approach |
EP3254755B1 (en) * | 2016-06-10 | 2021-04-14 | Centre National de la Recherche Scientifique CNRS | High degree of condensation titanium-based inorganic-organic hybrid solid material, method for preparing same and uses thereof |
-
2021
- 2021-04-16 CN CN202110413446.7A patent/CN113218864B/zh active Active
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20030084174A (ko) * | 2002-04-25 | 2003-11-01 | 한국화학연구원 | 기재에 광촉매를 직접 고정시키는 방법 |
JP2004108929A (ja) * | 2002-09-18 | 2004-04-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ガスセンサ、ガスセンサの製造方法、冷蔵庫 |
JP2010094583A (ja) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Nippon Soda Co Ltd | 有機薄膜の製造方法 |
WO2010110729A1 (en) * | 2009-03-24 | 2010-09-30 | Oesterlund Lars | Highly reactive photocatalytic material and manufacturing thereof |
CN104091883A (zh) * | 2014-07-15 | 2014-10-08 | 中国科学院上海微***与信息技术研究所 | 一种基于介质薄膜反射镜的超导纳米线单光子探测器 |
CN105597833A (zh) * | 2015-11-18 | 2016-05-25 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 纳米簇负载型金属有机框架薄膜及其制备方法和应用 |
CN106053413A (zh) * | 2016-06-13 | 2016-10-26 | 华东师范大学 | 一种金属有机荧光甲醇传感薄膜及其制备方法 |
CN106596656A (zh) * | 2016-12-15 | 2017-04-26 | 福州大学 | 一种基于mof模板法合成的二氧化钛负载三氧化二铁纳米异质结构的气敏元件 |
CN108535893A (zh) * | 2018-03-26 | 2018-09-14 | 北京科技大学 | 一种利用光学谐振腔增强磁光克尔效应的方法 |
CN112295866A (zh) * | 2019-07-26 | 2021-02-02 | 中国科学院福建物质结构研究所 | 一种全金属有机框架范德华异质结层薄膜的制备方法及其所制备的薄膜和用途 |
Non-Patent Citations (6)
Title |
---|
Chiral Porous Metacrystals: Employing Liquid-Phase Epitaxy to Assemble Enantiopure Meta-Organic Nanoclusters into Molecular Framework Pores;Zhi-Gang Gu等;《ACS Nano》;20151207(第10期);981-982页Conclusion,Experimental Section * |
Facile fabrication of photonic MOF films through stepwise deposition on a colloid crystal substrate;Yi-nan Wu等;《ChemComm》;第10094-10096页 * |
one-dimensional metal–organic framework photonic crystals used as platforms for vapor sorption;Florian M. Hinterholzinger等;《J. Mater. Chem.》;20120419(第22期);第10356、10357-10358页 Experimental Route B、10359页Vapor adsorption and optical sensing * |
基于Ti02纳米管气体传感器的研究;崔志伟;《工程技术》(第40期);第76页 * |
戴春爱等.《工科化学》.北京交通大学出版社,2018,第182页. * |
钴基有机框架薄膜的可控制备及在乙二胺气体检测中的应用;帕提曼·尼扎木丁等;《第二十三届二氧化硫、氮氧化物和颗粒物污染防治技术研讨会论文集》;20190430;第167-171页 * |
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PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant |