CN113203474A - 一种光斑光强度分布测量装置及方法 - Google Patents

一种光斑光强度分布测量装置及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN113203474A
CN113203474A CN202110390188.5A CN202110390188A CN113203474A CN 113203474 A CN113203474 A CN 113203474A CN 202110390188 A CN202110390188 A CN 202110390188A CN 113203474 A CN113203474 A CN 113203474A
Authority
CN
China
Prior art keywords
light
power meter
light intensity
light spot
intensity distribution
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202110390188.5A
Other languages
English (en)
Inventor
张帅宇
胡国行
汪琳
祖继锋
邵建达
刘永江
左旭超
杨文涛
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Original Assignee
Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS filed Critical Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics of CAS
Priority to CN202110390188.5A priority Critical patent/CN113203474A/zh
Publication of CN113203474A publication Critical patent/CN113203474A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/42Photometry, e.g. photographic exposure meter using electric radiation detectors
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01JMEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J1/00Photometry, e.g. photographic exposure meter
    • G01J1/02Details
    • G01J1/04Optical or mechanical part supplementary adjustable parts

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)

Abstract

本发明涉及一种光斑光强度分布测量装置及方法,其主要组成元件为:功率计、带透过孔径的遮挡屏、XZ轴平动机械装置、机械控制***和计算机。所述的功率计与计算机相连,导轨与控制***相连。利用上述装置,通过透过孔径确定光斑内待测位置,光束透过遮挡板上的后进入功率计,测定相应位置的光强度。在XZ轴不断移动遮挡屏和功率计,得到整体光斑位置与光强度的关系,从而实现光斑内部的光强度分布测量的目的。本发明具有透射孔径尺寸可调从而控制测量精度的优点,能够有效地测量高功率、大面积光斑内部的光强度分布。

Description

一种光斑光强度分布测量装置及方法
技术领域
本发明涉及激光大气传输领域,特别是适用于高功率、大面积光斑的光强度分布测定。
背景技术
光斑光强度分布,是指光强度在二维平面上的分布情况,测量光斑光强度分布有着广泛的应用。例如,随着激光技术的不断发展地对空、地对地、空对地、空对空的激光无线能量传输技术越来越受到重视。由于其不需要铺设光缆、准直性好、能量高且集中,在能量输运领域有其独特的优势。激光束在大气中传输时,受到大气分子的散射、大气中各种成分对光束的吸收、以及湍流、热晕引起的闪烁、光斑漂移等大气效应,使得能量损失严重,分布也不再呈高斯分布。另外,对于一些高功率激光器产生的光斑,由于热效应,其光束空间分布与低功率下的是不同的。为了得到光强度分布均匀的远场光斑,需要对这些效应产生的光束畸变进行补偿。自适应光学技术按照补偿原理可以分为两种:一种是校正式自适应光学技术,即利用电光器件、声光器件和可变形反射镜进行补偿的***;另一种是非线性相位共轭技术,不需要其他设备,利用激光与某些介质的非线性互相作用产生畸变光波的相位共轭波。这两种补偿技术的前提都是需要测定远场光斑的光强度分布,因此对光斑内部强度分布的测定具有重要的意义。
在现有的光强探测技术中,主要基于不同的探测原理。例如通过功率计测定光斑的整体功率,不同类型的功率计基于不同原理将接收到的光信号转换为电信号经CPU处理输出光功率数据,其优势在于可测量光功率的范围比较广,可达到百瓦甚至千瓦级别。但功率计无法得到光斑内部的强度分布,仅仅能够测定光斑整体的光强度;另一种常用的方法是采用阵列探测器,基于探测器阵列技术和CCD探测技术对需要探测的光斑直接测量。例如构造8×8阵列式探测器,但这种探测器造价昂贵,阵列单元数量随着光斑尺寸的增大呈平方增长。光电探测器探头测量功率阈值仅为毫瓦级,若用于高功率激光测量需要对激光进行大倍率衰减,带来较大误差。且由于探测器数量过多,每个光电探测器的光电响应特性不相同。因此对于不同光源需要对阵列整体的响应非线性、响应非均一性进行标定,技术难度复杂,给高功率、大面积光斑测量造成了极大的限制。
发明内容
针对上述存在的各种问题,本发明通过比较上述两种方式各自的优势及缺点,提出一种光斑光强度分布的测量装置及测量方法,适用于高功率、大面积的光斑。
本发明的技术解决方案如下:
一种光斑光强度分布测量装置,其特点在于:包括带有透过小孔且孔径可调的光束遮挡板、功率计、供光束遮挡板及功率计移动的滑轨和机械控制***,该机械控制***控制滑轨带动光束遮挡板和功率计移动;所述的功率计用于显示并记录接收的光强度;
入射光通过光束遮挡板上的小孔射入置于滑轨上的功率计,通过滑轨调整功率计及光束遮挡板的位置,在确定的移动范围内,按照预先设定的移动顺序扫描整个被测光斑,并记录各个位置实时的光强度,最终得到光斑内部的光强度分布。
被测光斑平均功率在一百瓦以上、光斑尺寸在数十厘米到数米之间。
所述的光束遮挡板与滑轨连接,光束遮挡板的孔径尺寸可调,可调范围在2mm~20mm,最小孔径尺寸应远大于光波长;遮挡板的尺寸应遮挡住光束入射到功率计上除感光区以外的区域;遮挡板透过孔径中心应与待测位置及功率计中心同轴。
所述的功率计的测量阈值大于被测光斑的峰值功率。
利用上述光斑光强度分布测量装置测量光斑光强度分布的方法,其特点在于,该方法包括以下步骤:
1)根据光束空间分布,确定滑轨移动范围:以光斑中心为圆心,光斑半径为半径的圆形区域内;
2)设定滑轨移动顺序,使功率计及光束遮挡板的透过小孔遍历被测光斑的所有范围;
3)设定空间测量精度,并根据空间测量精度调整光束遮挡孔径的孔径尺寸;
4)移动XZ轴滑轨将光束遮挡孔和功率计移动至待测量位置,待测位置由计算机显示并记录;
5)功率计测量通过光束遮挡孔至功率计上的光强度,由计算机显示并记录;
6)根据步骤1)所设定的移动顺序,移动至下一个待测量位置,重复步骤4)至步骤5),扫描整体光斑,直至记录得到光斑内部整体光强度分布。
优选的,设定滑轨移动顺序,指从左到右或从上到下。
与先前技术相比,本发明具有以下技术效果:
1、光束经过透过孔径直接射入功率计,无需增加能量衰减片,减小了光强度的测定误差。
2、遮挡板的透过孔径尺寸可调,可以根据空间分辨率需求实现光斑内部光强度分布不同精度的测量。
3、单个功率计的光电响应特性唯一,不需要像阵列式探测器方法进行标定,装置结构简单、成本低廉。
4、可调孔径—功率计—滑轨的组合装置,能够在测量平均功率在一百瓦以上的高功率光斑的同时,实现几十厘米到米级别的大面积光斑内部光强度分布的测定。
附图说明
图1是本发明光斑光强度分布测量装置结构示意图。
图2为光束遮挡板遮挡后的测量部分结构示意图。
图3为光束遮挡板上可调孔径的结构示意图。
具体实施方式
下面结合实施例和附图对本发明作进一步说明,但不应以此限制本发明的保护范围。
首先参阅图1,图1是光斑光强度分布测量装置结构示意图,由图可见,本发明光斑光强度分布测量装置结构示意图,包括:包括带有透过小孔且孔径可调的光束遮挡板2、功率计4、供光束遮挡板2及功率计4移动的滑轨3和机械控制***5,该机械控制***5控制滑轨3带动光束遮挡板2和功率计4移动;所述的功率计4用于显示并记录接收的光强度。利用上述装置,入射光1通过光束遮挡板2上的小孔射入置于导轨3上的功率计4,通过调整功率计4及光束遮挡板2的位置,按照预先设定的移动顺序,在确定的移动范围内扫描整个光斑并记录各个位置实时的光强度,最终得到光斑内部的光强度分布。
一种光斑光强度分布的测量方法,步骤如下:
1)根据光束空间分布,确定滑轨3移动范围:以光斑中心为圆心,光斑半径为半径的圆形区域内;
2)设定移动顺序:从上之下或从左至右但不限于上述两种顺序,移动顺序能使功率计及透过孔径移动至光斑内部所有位置即可;
3)设定空间测量精度,并根据空间测量精度调整遮挡孔2的孔径尺寸;
4)移动XZ轴滑轨3将光束遮挡孔2和功率计4移动至待测量位置,待测位置由计算机6显示并记录;
5)功率计4测量通过光束遮挡孔2至功率计上的光强度,由计算机6显示并记录当前位置及光强度;
6)根据步骤1)所设定的移动顺序,移动至下一个待测量位置,重复步骤4)至步骤5),扫描整体光斑,直至记录得到光斑内部整体光强度分布。

Claims (6)

1.一种光斑光强度分布测量装置,其特征在于:包括带有透过小孔且孔径可调的光束遮挡板(2)、功率计(4)、供光束遮挡板(2)及功率计(4)移动的滑轨(3)和机械控制***(5),该机械控制***(5)控制滑轨(3)带动光束遮挡板(2)和功率计(4)移动;所述的功率计(4)用于显示并记录接收的光强度;
入射光(1)通过光束遮挡板(2)上的小孔射入置于滑轨(3)上的功率计(4),通过滑轨(3)调整功率计(4)及光束遮挡板(2)的位置,在确定的移动范围内,按照预先设定的移动顺序扫描整个被测光斑,并记录各个位置实时的光强度,最终得到光斑内部的光强度分布。
2.根据权利要求1所述的光斑光强度分布测量装置,其特征在于,被测光斑平均功率在一百瓦以上、光斑尺寸在数十厘米到数米之间。
3.根据权利要求1所述的光斑光强度分布测量装置,其特征在于,所述的光束遮挡板与滑轨连接,光束遮挡板的孔径尺寸可调,可调范围在2mm~20mm,最小孔径尺寸应远大于光波长;遮挡板的尺寸应遮挡住光束入射到功率计上除感光区以外的区域;遮挡板透过孔径中心应与待测位置及功率计中心同轴。
4.根据权利要求1所述的光斑光强度分布测量装置,其特征在于,所述的功率计的测量阈值大于被测光斑的峰值功率。
5.利用权利要求1-4任一所述的光斑光强度分布测量装置测量光斑光强度分布的方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:
1)根据光束空间分布,确定滑轨(3)移动范围:以光斑中心为圆心,光斑半径为半径的圆形区域内;
2)设定滑轨(3)移动顺序,使功率计(4)及光束遮挡板(2)的透过小孔遍历被测光斑的所有范围;
3)设定空间测量精度,并根据空间测量精度调整光束遮挡孔径(2)的孔径尺寸;
4)移动XZ轴滑轨(3)将光束遮挡孔(2)和功率计(4)移动至待测量位置,待测位置由计算机(6)显示并记录;
5)功率计(4)测量通过光束遮挡孔(2)至功率计上的光强度,由计算机(6)显示并记录;
6)根据步骤1)所设定的移动顺序,移动至下一个待测量位置,重复步骤4)至步骤5),扫描整体光斑,直至记录得到光斑内部整体光强度分布。
6.根据权利要求5所述的测量光斑光强度分布的方法,其特征在于,设定滑轨(3)移动顺序,指从左到右或从上到下。
CN202110390188.5A 2021-04-12 2021-04-12 一种光斑光强度分布测量装置及方法 Pending CN113203474A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110390188.5A CN113203474A (zh) 2021-04-12 2021-04-12 一种光斑光强度分布测量装置及方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110390188.5A CN113203474A (zh) 2021-04-12 2021-04-12 一种光斑光强度分布测量装置及方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN113203474A true CN113203474A (zh) 2021-08-03

Family

ID=77026531

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110390188.5A Pending CN113203474A (zh) 2021-04-12 2021-04-12 一种光斑光强度分布测量装置及方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN113203474A (zh)

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4848902A (en) * 1987-02-26 1989-07-18 Erwin Strigl Device for measuring the intensity profile of a laser beam
GB9905955D0 (en) * 1999-03-16 1999-05-05 Litron Optical Limited Method and apparatus for measuring the intensity of a beam of light
CN101839761A (zh) * 2009-03-19 2010-09-22 中国科学院物理研究所 一种测量激光束径的***和方法
CN104198054A (zh) * 2014-08-27 2014-12-10 中国科学院上海光学精密机械研究所 可移动式高功率激光光束波前测量装置及其测量方法
CN104833418A (zh) * 2015-05-13 2015-08-12 西安交通大学 一种小量程能量计测量激光能量密度及总能量的方法
CN105446086A (zh) * 2015-12-21 2016-03-30 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光刻***中照明均匀性测量方法
CN106768399A (zh) * 2016-12-07 2017-05-31 武汉纺织大学 矩形激光光斑能量分布快速检测***和方法
CN107036710A (zh) * 2017-03-10 2017-08-11 中国科学院上海光学精密机械研究所 采用多探测器的光场光强分布测量方法
CN112595259A (zh) * 2020-11-30 2021-04-02 湖州师范学院 一种大光束光功率轮廓分析仪

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4848902A (en) * 1987-02-26 1989-07-18 Erwin Strigl Device for measuring the intensity profile of a laser beam
GB9905955D0 (en) * 1999-03-16 1999-05-05 Litron Optical Limited Method and apparatus for measuring the intensity of a beam of light
CN101839761A (zh) * 2009-03-19 2010-09-22 中国科学院物理研究所 一种测量激光束径的***和方法
CN104198054A (zh) * 2014-08-27 2014-12-10 中国科学院上海光学精密机械研究所 可移动式高功率激光光束波前测量装置及其测量方法
CN104833418A (zh) * 2015-05-13 2015-08-12 西安交通大学 一种小量程能量计测量激光能量密度及总能量的方法
CN105446086A (zh) * 2015-12-21 2016-03-30 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光刻***中照明均匀性测量方法
CN106768399A (zh) * 2016-12-07 2017-05-31 武汉纺织大学 矩形激光光斑能量分布快速检测***和方法
CN107036710A (zh) * 2017-03-10 2017-08-11 中国科学院上海光学精密机械研究所 采用多探测器的光场光强分布测量方法
CN112595259A (zh) * 2020-11-30 2021-04-02 湖州师范学院 一种大光束光功率轮廓分析仪

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105784334B (zh) 基于光电探测器和ccd相机的光纤激光光束质量测量方法
US7064817B1 (en) Method to determine and adjust the alignment of the transmitter and receiver fields of view of a LIDAR system
CN104914445A (zh) 用于激光雷达的复合式扫描***
CN101782432B (zh) 通用太赫兹光谱光电测试***
CN106501793B (zh) 校准平板定标体与太赫兹光束夹角的装置和方法
CN107462849B (zh) 一种基于原子能级的射频线传输因子的测量装置及方法
CN113092070B (zh) 一种光束质量因子m2快速测量装置及方法
Maslov et al. Status of the JET LIDAR Thomson scattering diagnostic
CN110296756A (zh) 一种探测器阵列靶标定***及方法
CN113029341A (zh) 一种高精度激光偏振特性测量校准装置
CN116499709A (zh) 一种激光光束指向误差高精度检测装置及检测方法
CN109029718B (zh) 具备自校准功能的太赫兹源发散角测量装置及测量方法
Cattini et al. Optical characterization of the beams generated by 3-D LiDARs: Proposed procedure and preliminary results on MRS1000
CN109060317B (zh) 激光光束远距离传输的特性参数试验***及其工作过程
CN116908135A (zh) 一种宽带太赫兹贝塞尔光束传输检测装置及检测成像方法
CN113203474A (zh) 一种光斑光强度分布测量装置及方法
CN108225554B (zh) 一种阵列太赫兹探测器响应度参数的标定方法和装置
CN107886820B (zh) 一种集成式双光路激光电离效应模拟***
CN114088200B (zh) 一种强激光远场功率衰减取样方法
Xiao et al. Design of locating system on EAST horizontal Thomson scattering diagnostic
CN205049865U (zh) 一种电控变焦透镜变焦时间的自动检测装置
CN107833511B (zh) 一种优化集成式双光路激光电离效应模拟***
US20230028596A1 (en) Lidar system calibration
CN110186568B (zh) 一种光子混频太赫兹波探测装置
US7649622B1 (en) Multi-site optical power calibration system and method

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20210803

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication