CN113182941A - 一种含铜靶材的自动抛光工艺方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种含铜靶材的自动抛光工艺方法,所述工艺方法包括以下步骤:采用自动抛光设备对含铜靶材的溅射面进行自动抛光,所述自动抛光过程包括四道抛光工序,抛光所用砂带的粒度依次递减,得到抛光后的含铜靶材。本发明所述工艺方法根据靶材材质的选择,采用不同型号的砂带对靶材溅射面进行自动抛光,所用砂带的粒度依次减小,并通过抛光工艺参数的控制,以保证溅射面抛光后的粗糙度的可控性,使含铜靶材溅射面的粗糙度可达到0.2~0.3μm,满足后续的使用要求;所述抛光工艺自动化进行,稳定性好,减少了人工操作,提高了生产效率,也能够提高靶材生产的合格率。
Description
技术领域
本发明属于靶材制备技术领域,涉及一种含铜靶材的自动抛光工艺方法。
背景技术
随着半导体行业的快速发展,镀膜材料作为半导体电子器件制造的重要材料,其需求量也日益增加。靶材作为一种重要的镀膜材料,在集成电路、平面显示、太阳能、光学器件等领域具有广泛的应用,由靶材制备薄膜最常用的方法包括溅射镀膜法,为保证薄膜产品的优异性能,对靶材的结构等特征均有要求,因而需要对靶材的制备工艺进行控制,以得到符合溅射要求的靶材。
抛光处理是靶材制备过程中的重要操作步骤之一,对于靶材的表面性能,例如粗糙度、平整度等参数有重要影响,然而目前的抛光工艺,往往会造成表面粗糙度不稳定以及色泽不均匀,且人工操作或半自动操作时的抛光效率较低,且根据靶材材质的不同,抛光参数也需要调整,然而人工操作难以精确调节参数,造成工艺稳定性较差,产品的合格率降低,因而需要针对不同的靶材选择合适的自动抛光工艺,提高生产效率及产品品质。
CN 111975465A公开了一种钼靶材溅射面的抛光工艺,所述抛光工艺包括依次进行的第一机械抛光、第二机械抛光、第三机械抛光及第四机械抛光;所述第一机械抛光中的进给速度为2~3m/min;所述第二机械抛光中的进给速度为4~5m/min;所述第三机械抛光中的进给速度为6~8m/min;所述第四机械抛光中的进给速度为7~9m/min,该抛光工艺主要是对钼靶材的溅射面进行抛光,主要控制参数为各级抛光的进给速度,对于加工高度的选择并未公开,且未公开采用的抛光设备。
CN 107866721A公开了一种靶材组件的加工方法,包括:提供具有待加工面的靶坯;采用砂带对待加工面进行自动抛光处理以形成溅射面;该加工方法中虽然包括自动抛光处理,但并未明确处理的靶材种类,其公开的粗抛光、精抛光等工艺并未明确加工高度及进给速度,且加工时间较长,该工艺较为简略,难以实现精确加工。
综上所述,对于某些特定种类的靶材,还需要根据材料特性选择合适的自动抛光工艺,配合抛光设备的运行,达到更好的抛光效果。
发明内容
针对现有技术存在的问题,本发明的目的在于提供一种含铜靶材的自动抛光工艺方法,所述工艺方法根据靶材材质的选择,采用不同型号的砂带对靶材溅射面进行自动抛光,所用砂带的粒度依次减小,并通过抛光工艺参数的控制,以保证抛光后靶材的粗糙度,使其满足后续的使用要求。
为达此目的,本发明采用以下技术方案:
本发明提供了一种含铜靶材的自动抛光工艺方法,所述工艺方法包括以下步骤:
采用自动抛光设备对含铜靶材的溅射面进行自动抛光,所述自动抛光过程包括四道抛光工序,抛光所用砂带的粒度依次递减,得到抛光后的含铜靶材。
本发明中,对于靶材的自动抛光工艺,根据靶材材质的不同,相应的抛光工艺也会不同,根据自动抛光设备的结构,砂带与靶材溅射面接触,通过选择不同的砂带,根据其磨料粒度的不同选择多道抛光工序,并依次减小粒度,由抛光粗处理过渡到抛光细处理,再到抛光精处理,以保证溅射面抛光后的平整性,得到符合溅射要求的靶材;所述抛光工艺自动化进行,稳定性好,减少了人工操作,提高生产效率,并提高靶材合格率。
以下作为本发明优选的技术方案,但不作为本发明提供的技术方案的限制,通过以下技术方案,可以更好地达到和实现本发明的技术目的和有益效果。
作为本发明优选的技术方案,所述含铜靶材自动抛光前,先与背板结合,形成靶材组件。
优选地,所述含铜靶材包括铜靶材或铜合金靶材。
优选地,所述背板包括铜背板或不锈钢背板。
本发明中,所述靶材通常为长条形靶材,其长度一般可达到1000~5000mm,人工抛光所需时间较长,且抛光均匀性较差,因而本发明采用自动抛光工艺;所述含铜靶材是以铜为主元素的单质靶材或合金靶材。
作为本发明优选的技术方案,所述自动抛光过程中,靶材随自动抛光设备的传送带运动,所述靶材的溅射面朝上。
优选地,所述砂带绕于自动抛光设备的砂轮上转动,所述砂轮位于靶材上方。
优选地,所述靶材和砂带的接触位置,砂带的线速度方向与靶材运动方向平行。
本发明中,所述自动抛光设备中的砂轮设有2~3个,所述砂带绕在两个砂轮外侧,由砂轮带动砂带转动,根据砂轮和传送带的位置关系,砂带的底部位置与靶材溅射面接触摩擦;同时沿传送带运动方向,在传送带上方、砂轮的前后位置均设有压辊,例如选择双夹头压辊,压辊不与靶材直接接触,但两者间距较小,以防止靶材工件加工结束后,砂带传动惯性使得靶材跳动弹出,压辊的高度可进行调节,以适应不同厚度的靶材组件的加工。
作为本发明优选的技术方案,所述自动抛光过程中所述砂带为超涂层砂带。
本发明中,所述超涂层砂带是在普通砂带的基础上增加一层超涂层,所述超涂层由超涂层浆料涂覆在砂带表面而形成,所述超涂层浆料由多种原料复配而成,包括吸热粉体、润滑粉体、粘合成分等,而砂带的材质可选择碳化硅、氧化铝等,选择超涂层砂带的作用主要在于降低工作时靶材表面温度,防止烧伤靶材工件,同时具有润滑、除静电、防堵、耐磨及寿命长等优点。
优选地,所述砂带的粒度为砂带中磨料的粒度。
优选地,所述自动抛光过程的四道工序中所用砂带的粒度号依次为320#砂带、400#砂带、600#砂带和800#砂带。
本发明中,所述砂带的型号是指砂带磨料的目数,目数越大,所述磨料的粒度越小,抛光过程越精细。
优选地,所述自动抛光过程完成后,再采用百洁布进行人工抛光。
优选地,所述人工抛光包括一道工序,所用百洁布为2000#百洁布。
作为本发明优选的技术方案,第一道抛光工序中,靶材传送速度为3.6~4m/min,例如3.6m/min、3.7m/min、3.8m/min、3.9m/min或4m/min等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用;砂带转速为8~12m/min,例如8m/min、9m/min、10m/min、11m/min或12m/min等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地,第一道抛光工序的加工高度在靶材初始厚度的基础上下调0.2~0.3mm,例如0.2mm、0.22mm、0.24mm、0.25mm、0.27mm、0.28mm或0.3mm等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地,第一道抛光工序对靶材溅射面加工两次。
优选地,所述靶材加工一次后,靶材随传送带退回到初始位置,然后再次抛光。
本发明中,第一道工序所用砂带的粒度较大,主要进行粗抛光,同时可起到验证自动抛光机加工效果及确定加工精度的作用。
作为本发明优选的技术方案,第二道抛光工序中,靶材传送速度为3.4~3.8m/min,例如3.4m/min、3.5m/min、3.6m/min、3.7m/min或3.8m/min等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用;砂带转速为8~12m/min,例如8m/min、9m/min、10m/min、11m/min或12m/min等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地,第二道抛光工序的加工高度在第一道抛光工序的基础上下调0.12~0.18mm,例如0.12mm、0.13mm、0.14mm、0.15mm、0.16mm或0.18mm等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地,第二道抛光工序对靶材溅射面加工两次。
优选地,所述靶材加工一次后,靶材随传送带退回到初始位置,然后再次抛光。
作为本发明优选的技术方案,第三道抛光工序中,靶材传送速度为3.3~3.7m/min,例如3.3m/min、3.4m/min、3.5m/min、3.6m/min或3.7m/min等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用;砂带转速为8~12m/min,例如8m/min、9m/min、10m/min、11m/min或12m/min等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地,第三道抛光工序的加工高度在第二道抛光工序的基础上下调0.07~0.12mm,例如0.07mm、0.08mm、0.09mm、0.1mm、0.11mm或0.12mm等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地,第三道抛光工序对靶材溅射面加工一次。
作为本发明优选的技术方案,第四道抛光工序中,靶材传送速度为3.3~3.7m/min,例如3.3m/min、3.4m/min、3.5m/min、3.6m/min或3.7m/min等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用;砂带转速为8~12m/min,例如8m/min、9m/min、10m/min、11m/min或12m/min等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地,第四道抛光工序的加工高度在第三道抛光工序的基础上下调0.05~0.08mm,例如0.05mm、0.055mm、0.06mm、0.065mm、0.07mm、0.075mm或0.08mm等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
优选地,第四道抛光工序对靶材溅射面加工一次。
本发明中,采用各型号砂带进行自动抛光前,需要先测量靶材的厚度,以调整自动抛光设备,并设定靶材抛光的参数,多次加工时靶材的移动速率可适当调整,砂带的移动速率基本保持一致,根据靶材的厚度以及所用砂带的不同,调整每次的加工高度,控制加工后靶材厚度的减小量,保证抛光后表面粗糙度的可控性。
作为本发明优选的技术方案,所述人工抛光工序的抛光次数至少为一次,例如一次、两次、三次或四次等。
优选地,所述抛光后的含铜靶材溅射面的粗糙度为0.2~0.3μm,例如0.2μm、0.22μm、0.24μm、0.26μm、0.28μm或0.3μm等,但并不仅限于所列举的数值,该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
本发明中,最后一道抛光工序采用百洁布进行精抛光处理,人工操作即可完成,将靶材溅射面打磨均匀。
作为本发明优选的技术方案,所述工艺方法包括以下步骤:
采用自动抛光设备对含铜靶材的溅射面进行自动抛光,所述自动抛光过程包括四道抛光工序,均使用超涂层砂带进行抛光,所用砂带的粒度号依次为320#砂带、400#砂带、600#砂带和800#砂带,然后采用百洁布进行一道人工抛光工序,所用百洁布为2000#百洁布,得到抛光后的含铜靶材;
其中,第一道抛光工序中,靶材传送速度为3.6~4m/min,砂带转速为8~12m/min,加工高度为在靶材初始厚度的基础上下调0.2~0.3mm,加工次数为两次;
第二道抛光工序中,靶材传送速度为3.4~3.8m/min,砂带转速为8~12m/min,加工高度在第一道抛光工序的基础上下调0.12~0.18mm,加工次数为两次;
第三道抛光工序中,靶材传送速度为3.3~3.7m/min,砂带转速为8~12m/min,加工高度在第二道抛光工序的基础上下调0.07~0.12mm,加工次数为一次;
第四道抛光工序中,靶材传送速度为3.3~3.7m/min,砂带转速为8~12m/min,加工高度在第三道抛光工序的基础上下调0.05~0.08mm,加工次数为一次;
所述人工抛光工序的加工次数至少为一次,抛光后的含铜靶材溅射面的粗糙度为0.2~0.3μm。
与现有技术相比,本发明具有以下有益效果:
(1)本发明所述工艺方法根据靶材材质的选择,采用不同型号的砂带对靶材溅射面进行自动抛光,所用砂带的粒度依次减小,并通过抛光工艺参数的控制,以保证溅射面抛光后的粗糙度的可控性,使含铜靶材溅射面的粗糙度可达到0.2~0.3μm,满足后续的使用要求;
(2)本发明所述抛光工艺自动化进行,稳定性好,减少了人工操作,提高了生产效率,也能够提高靶材生产的合格率,达到99.5%以上。
具体实施方式
为更好地说明本发明,便于理解本发明的技术方案,下面对本发明进一步详细说明。但下述的实施例仅是本发明的简易例子,并不代表或限制本发明的权利保护范围,本发明保护范围以权利要求书为准。
本发明具体实施方式部分提供了一种含铜靶材的自动抛光工艺方法,所述工艺方法包括以下步骤:
采用自动抛光设备对含铜靶材的溅射面进行自动抛光,所述自动抛光过程包括四道抛光工序,抛光所用砂带的粒度依次递减,得到抛光后的含铜靶材。
以下为本发明典型但非限制性实施例:
实施例1:
本实施例提供了一种铜靶材的自动抛光工艺方法,所述工艺方法包括以下步骤:
采用自动抛光机对铜靶材的溅射面进行自动抛光,所述铜靶材已与铜背板焊接形成靶材组件,所述自动抛光过程包括四道抛光工序,均使用超涂层砂带进行抛光,所述四道工序所用砂带的粒度号依次为320#砂带、400#砂带、600#砂带和800#砂带,然后采用2000#百洁布进行一道人工抛光工序;
其中,第一道抛光工序中,靶材传送速度为3.8m/min,砂带转速为10m/min,加工次数为两次,靶材高度的下降量为0.25mm;
第二道抛光工序中,靶材传送速度为3.6m/min,砂带转速为10m/min,加工次数为两次,靶材高度的下降量为0.15mm;
第三道抛光工序中,靶材传送速度为3.5m/min,砂带转速为10m/min,加工次数为一次,靶材高度的下降量为0.1mm;
第四道抛光工序中,靶材传送速度为3.5m/min,砂带转速为10m/min,加工次数为一次,靶材高度的下降量为0.06mm;
前四道工序中每两道工序之间以及同一道工序的两次加工之间,均将前次加工后的靶材退回到初始位置,使靶材的各次加工均为同一运动方向;
所述人工抛光工序的加工次数为一次,采用百洁布均匀打磨,得到抛光后的铜靶材。
本实施例中,抛光后的铜靶材溅射面的粗糙度为0.25μm,所述工艺方法自动化程度高,加工效率高,加工后靶材的合格率达到99.8%。
实施例2:
本实施例提供了一种铜靶材的自动抛光工艺方法,所述工艺方法包括以下步骤:
采用自动抛光机对铜靶材的溅射面进行自动抛光,所述铜靶材已与不锈钢背板焊接形成靶材组件,所述自动抛光过程包括四道抛光工序,均使用超涂层砂带进行抛光,所述四道工序所用砂带的粒度号依次为320#砂带、400#砂带、600#砂带和800#砂带,然后采用2000#百洁布进行一道人工抛光工序;
其中,第一道抛光工序中,靶材传送速度为3.6m/min,砂带转速为8m/min,加工次数为两次,靶材高度的下降量为0.3mm;
第二道抛光工序中,靶材传送速度为3.4m/min,砂带转速为8m/min,加工次数为两次,靶材高度的下降量为0.18mm;
第三道抛光工序中,靶材传送速度为3.3m/min,砂带转速为8m/min,加工次数为一次,靶材高度的下降量为0.12mm;
第四道抛光工序中,靶材传送速度为3.3m/min,砂带转速为8m/min,加工次数为一次,靶材高度的下降量为0.08mm;
前四道工序中每两道工序之间以及同一道工序的两次加工之间,均将前次加工后的靶材退回到初始位置,使靶材的各次加工均为同一运动方向;
所述人工抛光工序的加工次数为两次,采用百洁布来回均匀打磨,得到抛光后的铜靶材。
本实施例中,抛光后的铜靶材溅射面的粗糙度为0.22μm,所述工艺方法自动化程度高,加工效率高,加工后靶材的合格率达到99.7%。
实施例3:
本实施例提供了一种铜靶材的自动抛光工艺方法,所述工艺方法包括以下步骤:
采用自动抛光机对铜靶材的溅射面进行自动抛光,所述铜靶材已与铜背板焊接形成靶材组件,所述自动抛光过程包括四道抛光工序,均使用超涂层砂带进行抛光,所述四道工序所用砂带的粒度号依次为320#砂带、400#砂带、600#砂带和800#砂带,然后采用2000#百洁布进行一道人工抛光工序;
其中,第一道抛光工序中,靶材传送速度为4m/min,砂带转速为12m/min,加工次数为两次,靶材高度的下降量为0.2mm;
第二道抛光工序中,靶材传送速度为3.8m/min,砂带转速为12m/min,加工次数为两次,靶材高度的下降量为0.12mm;
第三道抛光工序中,靶材传送速度为3.7m/min,砂带转速为12m/min,加工次数为一次,靶材高度的下降量为0.07mm;
第四道抛光工序中,靶材传送速度为3.7m/min,砂带转速为12m/min,加工次数为一次,靶材高度的下降量为0.05mm;
前四道工序中每两道工序之间以及同一道工序的两次加工之间,均将前次加工后的靶材退回到初始位置,使靶材的各次加工均为同一运动方向;
所述人工抛光工序的加工次数为一次,采用百洁布均匀打磨,得到抛光后的铜靶材。
本实施例中,抛光后的铜靶材溅射面的粗糙度为0.28μm,所述工艺方法自动化程度高,加工效率高,加工后靶材的合格率达到99.5%。
实施例4:
本实施例提供了一种铜靶材的自动抛光工艺方法,所述工艺方法包括以下步骤:
采用自动抛光机对铜靶材的溅射面进行自动抛光,所述铜靶材已与不锈钢背板焊接形成靶材组件,所述自动抛光过程包括四道抛光工序,均使用超涂层砂带进行抛光,所述四道工序所用砂带的粒度号依次为320#砂带、400#砂带、600#砂带和800#砂带,然后采用2000#百洁布进行一道人工抛光工序;
其中,第一道抛光工序中,靶材传送速度为3.7m/min,砂带转速为9m/min,加工次数为两次,靶材高度的下降量为0.27mm;
第二道抛光工序中,靶材传送速度为3.7m/min,砂带转速为9m/min,加工次数为两次,靶材高度的下降量为0.14mm;
第三道抛光工序中,靶材传送速度为3.4m/min,砂带转速为11m/min,加工次数为一次,靶材高度的下降量为0.08mm;
第四道抛光工序中,靶材传送速度为3.4m/min,砂带转速为11m/min,加工次数为一次,靶材高度的下降量为0.055mm;
前四道工序中每两道工序之间以及同一道工序的两次加工之间,均将前次加工后的靶材退回到初始位置,使靶材的各次加工均为同一运动方向;
所述人工抛光工序的加工次数为两次,采用百洁布来回均匀打磨,得到抛光后的铜靶材。
本实施例中,抛光后的铜靶材溅射面的粗糙度为0.24μm,所述工艺方法自动化程度高,加工效率高,加工后靶材的合格率达到99.6%。
实施例5:
本实施例提供了一种铜合金靶材的自动抛光工艺方法,所述工艺方法包括以下步骤:
采用自动抛光机对铜合金靶材的溅射面进行自动抛光,所述铜合金靶材已与不锈钢背板焊接形成靶材组件,所述自动抛光过程包括四道抛光工序,均使用超涂层砂带进行抛光,所述四道工序所用砂带的粒度号依次为320#砂带、400#砂带、600#砂带和800#砂带,然后采用2000#百洁布进行一道人工抛光工序;
其中,第一道抛光工序中,靶材传送速度为3.9m/min,砂带转速为10m/min,加工次数为两次,靶材高度的下降量为0.22mm;
第二道抛光工序中,靶材传送速度为3.5m/min,砂带转速为10m/min,加工次数为两次,靶材高度的下降量为0.16mm;
第三道抛光工序中,靶材传送速度为3.6m/min,砂带转速为9m/min,加工次数为一次,靶材高度的下降量为0.1mm;
第四道抛光工序中,靶材传送速度为3.6m/min,砂带转速为9m/min,加工次数为一次,靶材高度的下降量为0.07mm;
前四道工序中每两道工序之间以及同一道工序的两次加工之间,均将前次加工后的靶材退回到初始位置,使靶材的各次加工均为同一运动方向;
所述人工抛光工序的加工次数为一次,采用百洁布均匀打磨,得到抛光后的铜靶材。
本实施例中,抛光后的铜靶材溅射面的粗糙度为0.3μm,所述工艺方法自动化程度高,加工效率高,加工后靶材的合格率达到99.5%。
对比例1:
本对比例提供了一种铜靶材的自动抛光工艺方法,所述工艺方法参照实施例1中的方法,区别仅在于:不包括第四道抛光工序。
本对比例中,由于未采用第四道工序的800#砂带进行机械抛光,难以对靶材进行精细抛光,靶材表面应力分布不均匀,粗糙度不合格,靶材在溅射镀膜过程中出现异常放电,造成靶材镀膜不均匀。
对比例2:
本对比例提供了一种铜靶材的自动抛光工艺方法,所述工艺方法参照实施例1中的方法,区别仅在于:前四道抛光工序中未按照砂带粒度逐渐减小的顺序。
本对比例中,由于砂带的型号按照数字的增大,磨料的粒径逐渐减小,逐次抛光有助于靶材溅射面粗糙度的控制,而先使用小粒度的砂带,后使用大粒度的砂带,会造成靶材表面不平整,粗糙度难以控制,无法满足后续溅射的使用要求。
综合上述实施例和对比例可以看出,本发明所述工艺方法根据靶材材质的选择,采用不同型号的砂带对靶材溅射面进行自动抛光,所用砂带的粒度依次减小,并通过抛光工艺参数的控制,以保证溅射面抛光后的粗糙度的可控性,使含铜靶材溅射面的粗糙度可达到0.2~0.3μm,满足后续的使用要求;所述抛光工艺自动化进行,稳定性好,减少了人工操作,提高了生产效率,也能够提高靶材生产的合格率,达到99.5%以上。
申请人声明,本发明通过上述实施例来说明本发明的详细方法,但本发明并不局限于上述详细方法,即不意味着本发明必须依赖上述详细方法才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了,对本发明的任何改进,对本发明方法的等效替换及辅助操作的添加、具体方式的选择等,均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
Claims (10)
1.一种含铜靶材的自动抛光工艺方法,其特征在于,所述自动抛光工艺方法包括以下步骤:
采用自动抛光设备对含铜靶材的溅射面进行自动抛光,所述自动抛光过程包括四道抛光工序,抛光所用砂带的粒度依次递减,得到抛光后的含铜靶材。
2.根据权利要求1所述的工艺方法,其特征在于,所述含铜靶材自动抛光前,先与背板结合,形成靶材组件;
优选地,所述含铜靶材包括铜靶材或铜合金靶材;
优选地,所述背板包括铜背板或不锈钢背板。
3.根据权利要求1或2所述的工艺方法,其特征在于,所述自动抛光过程中,靶材随自动抛光设备的传送带运动,所述靶材的溅射面朝上;
优选地,所述砂带绕于自动抛光设备的砂轮上转动,所述砂轮位于靶材上方;
优选地,所述靶材和砂带的接触位置,砂带的线速度方向与靶材运动方向平行。
4.根据权利要求1-3任一项所述的工艺方法,其特征在于,所述自动抛光过程中所述砂带为超涂层砂带;
优选地,所述砂带的粒度为砂带中磨料的粒度;
优选地,所述自动抛光过程的四道工序中所用砂带的粒度号依次为320#砂带、400#砂带、600#砂带和800#砂带;
优选地,所述自动抛光过程完成后,再采用百洁布进行人工抛光;
优选地,所述人工抛光包括一道工序,所用百洁布为2000#百洁布。
5.根据权利要求1-4任一项所述的工艺方法,其特征在于,第一道抛光工序中,靶材传送速度为3.6~4m/min,砂带转速为8~12m/min;
优选地,第一道抛光工序的加工高度在靶材初始厚度的基础上下调0.2~0.3mm;
优选地,第一道抛光工序对靶材溅射面加工两次;
优选地,所述靶材加工一次后,靶材随传送带退回到初始位置,然后再次抛光。
6.根据权利要求1-5任一项所述的工艺方法,其特征在于,第二道抛光工序中,靶材传送速度为3.4~3.8m/min,砂带转速为8~12m/min;
优选地,第二道抛光工序的加工高度在第一道抛光工序的基础上下调0.12~0.18mm;
优选地,第二道抛光工序对靶材溅射面加工两次;
优选地,所述靶材加工一次后,靶材随传送带退回到初始位置,然后再次抛光。
7.根据权利要求1-6任一项所述的工艺方法,其特征在于,第三道抛光工序中,靶材传送速度为3.3~3.7m/min,砂带转速为8~12m/min;
优选地,第三道抛光工序的加工高度在第二道抛光工序的基础上下调0.07~0.12mm;
优选地,第三道抛光工序对靶材溅射面加工一次。
8.根据权利要求1-7任一项所述的工艺方法,其特征在于,第四道抛光工序中,靶材传送速度为3.3~3.7m/min,砂带转速为8~12m/min;
优选地,第四道抛光工序的加工高度在第三道抛光工序的基础上下调0.05~0.08mm;
优选地,第四道抛光工序对靶材溅射面加工一次。
9.根据权利要求4-8任一项所述的工艺方法,其特征在于,所述人工道抛光工序的抛光次数至少为一次;
优选地,所述抛光后的含铜靶材溅射面的粗糙度为0.2~0.3μm。
10.根据权利要求1-9任一项所述的工艺方法,其特征在于,所述工艺方法包括以下步骤:
采用自动抛光设备对含铜靶材的溅射面进行自动抛光,所述自动抛光过程包括四道抛光工序,均使用超涂层砂带进行抛光,所用砂带的粒度号依次为320#砂带、400#砂带、600#砂带和800#砂带,然后采用百洁布进行一道人工抛光工序,所用百洁布为2000#百洁布,得到抛光后的含铜靶材;
其中,第一道抛光工序中,靶材传送速度为3.6~4m/min,砂带转速为8~12m/min,加工高度在靶材初始厚度的基础上下调0.2~0.3mm,加工次数为两次;
第二道抛光工序中,靶材传送速度为3.4~3.8m/min,砂带转速为8~12m/min,加工高度在第一道抛光工序的基础上下调0.12~0.18mm,加工次数为两次;
第三道抛光工序中,靶材传送速度为3.3~3.7m/min,砂带转速为8~12m/min,加工高度在第二道抛光工序的基础上下调0.07~0.12mm,加工次数为一次;
第四道抛光工序中,靶材传送速度为3.3~3.7m/min,砂带转速为8~12m/min,加工高度在第三道抛光工序的基础上下调0.05~0.08mm,加工次数为一次;
所述人工抛光工序的加工次数至少为一次,抛光后的含铜靶材溅射面的粗糙度为0.2~0.3μm。
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