CN113155023B - 液晶基板玻璃翘曲度测量方法及*** - Google Patents

Abstract

本发明提供一种液晶基板玻璃翘曲度测量方法及***，属于液晶基板玻璃领域。所述翘曲度测量方法包括：在承载平台上划定工作区域，并在工作区域内划定测量区域；获取工作区域面的三维坐标，所述工作区域面为零面I；基于零面I的三维坐标，确定测量镜头在测量区域面运动的轨迹面的三维坐标，所述轨迹面为零面III；其中所述零面III在三维空间中与零面I平行，且零面III在测量镜头景深H毫米范围内，H>0毫米；样片测量过程中，规划测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动，实时采集样片上采样点的三维坐标；计算每一采样点到零面III的垂直距离，根据所述垂直距离计算样片的翘曲度值。所述方法可消除零面I的机械误差，使测量结果更准确。

Description

液晶基板玻璃翘曲度测量方法及***

技术领域

本发明涉及液晶基板玻璃领域，具体地涉及一种液晶基板玻璃翘曲度测量方法及一种液晶基板玻璃翘曲度测量***。

背景技术

翘曲度是评价基板玻璃的一项重要指标，翘曲度的优劣直接反映了生产制程是否稳定可靠，对客户制程工艺也有较大影响。

现有的液晶基板玻璃翘曲度测量方法不能完全排除液晶基板测量装置00级大理石平台面的机械误差，不利于对翘曲度日益严格的要求。且实施一次翘曲度测量，需要将整板样品测量完成后，通过对各测量点进行云计算得到翘曲度值，最后再输出翘曲度值，而不能实时输出翘曲度数值。

发明内容

为解决上述问题，本发明实施方式的目的是提供一种液晶基板玻璃翘曲度测量方法及***。

为了实现上述目的，本发明第一方面提供一种液晶基板玻璃翘曲度测量方法，基于翘曲度测量装置，所述翘曲度测量装置包括承载平台和激光测量镜头，所述翘曲度测量方法包括：

在承载平台上划定工作区域，并在工作区域内划定测量区域；

获取工作区域面的三维坐标，所述工作区域面为零面I；

基于零面I的三维坐标，确定测量镜头在测量区域面运动的轨迹面的三维坐标，所述轨迹面为零面III；其中所述零面III在三维空间中与零面I平行，且零面III在测量镜头景深H毫米范围内，H>0毫米；

样片测量过程中，规划测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动，实时采集样片上采样点的三维坐标；

计算每一采样点到零面III的垂直距离，根据所述垂直距离计算样片的翘曲度值。

可选的，所述基于零面I的三维坐标，确定测量镜头在测量区域面运动的轨迹面的三维坐标，所述轨迹面为零面III，包括：

以测量装置的机械原点作为机械零点，建立机械坐标系；

以机械坐标系为基准，建立第一坐标系和第二坐标系，所述第一坐标系和第二坐标系为相对坐标系；

根据所述第一坐标系和第二坐标系在机械坐标系中的位置，建立第一坐标系与第二坐标系的对应关系；

以第一坐标系为测量坐标系，获取零面I在第一坐标系中的三维坐标；

以所述零面I的三维坐标及第一坐标系与第二坐标系的对应关系，计算零面I在第二坐标系中的三维坐标；

将所述零面I在第二坐标系中的所有坐标点，在Z轴方向上增加e毫米，得到零面III在第二坐标系中的三维坐标，其中e>0毫米。

可选的，所述机械坐标系、第一坐标系和第二坐标系的对应关系包括：

将所述机械坐标系定义为(x,y,z)，第一坐标系定义为(x1,y1,z1)，第二坐标系定义为(X,Y,Z)，所述第一坐标系与机械坐标系的对应关系为：(x1,y1,z1)＝(x-a,y-b,z-f)，

所述第二坐标系与机械坐标系的对应关系为(X,Y,Z)＝(x-c,y-d,z-f)；

根据第一坐标系与机械坐标系的对应关系和第二坐标系与机械坐标系的对应关系，计算第一坐标系与第二坐标系的对应关系：(X,Y,Z)＝(x1-c+a,y1-d+b,z1)；

计算零面III在第二坐标系中的三维坐标与零面I在第一坐标系中的三维坐标的对应关系为：(X_III,Y_III,Z_III)＝(x1-c+a,y1-d+b,z1+e)；

其中，c≥a，d≥b，f≥0。

可选的，所述规划测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动，实时采集样片上采样点的三维坐标，包括：

在测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动过程中，以第二坐标系为测量坐标系，分别以X轴和Y轴L毫米为间距，拾取样片上采样点的三维坐标；

所述计算每一采样点到零面III的垂直距离，包括：

对于每一采样点，根据该采样点的三维坐标和零面III对应点的三维坐标，计算该采样点与对应点在Z轴方向的距离W_i，其中，L≥1毫米。

可选的，所述根据垂直距离计算样片的翘曲度值，包括：

在样片测量完成后，根据样片上所有采样点到零面III的垂直距离，计算样片的翘曲度值；或

在样片测量过程中，根据样片上已测区域内的采样点到零面III的垂直距离，实时计算样片上已测区域的翘曲度值，将样片测量完成时计算得到的翘曲度值作为样片的翘曲度值。

可选的，所述在样片测量过程中，根据样片上已测区域内的采样点到零面III的垂直距离，实时计算样片上已测区域的翘曲度值，包括以下步骤：

定义样片到零面III的最大距离W_max和最小距离W_min；

实时采集采样点在第二坐标系中的三维坐标，根据该采样点对应的零面III在第二坐标系中的三维坐标，计算该采样点到零面III的垂直距离W_i；

比较初始采集的N个采样点对应的W_i值，将N个W_i值中的最大值与最小值作为最大距离W_max和最小距离W_min，计算样片上已测区域的翘曲度值w：w＝W_max-W_min；其中N≥2；

在后续采集过程中，每次拾取M个采样点对应的W_i值，将W_i值分别与最大距离W_max和最小距离W_min比较，将比较得出的最大值与最小值更新为最大距离W_max和最小距离W_min，根据更新后的最大距离W_max和最小距离W_min计算样片上已测区域的翘曲度值w：w＝W_max-W_min，其中M≥1；

所述将样片测量完成时计算得到的翘曲度值作为样片的翘曲度值，包括：

在样片测量完成后，将最后一次计算得出的已测区域的翘曲度值w作为样片的翘曲度值。

可选的，所述翘曲度测量方法还包括：

实时输出样片上已测区域的翘曲度值信息，所述翘曲度值信息包括：已测区域的翘曲度值w、最大距离W_max、最小距离W_min，及最大距离W_max和最小距离W_min对应的采样点的坐标点信息。

可选的，所述翘曲度测量方法还包括：对零面I的三维坐标信息进行实时更新。

本发明第二方面提供一种液晶基板玻璃翘曲度测量***，所述***包括存储器和处理器，所述存储器上存储有计算机程序指令，所述计算机程序指令被处理器执行时实现所述液晶基板玻璃翘曲度测量方法。

本发明第三方面提供一种液晶基板玻璃翘曲度测量装置，所述测量装置设置所述液晶基板玻璃翘曲度测量***。。

通过上述技术方案，基于零面I的三维坐标信息，建立与零面I平行三维零面III，通过规划测量镜头按零面III轨迹运行，可解决测量装置大理石承载平台带入的机械误差，使测量结果更加精准。

通过实时采集被测样片采样点的坐标信息，计算距离零面III的距离，并使用最大距离与最小距离实时计算两者之差，可实时输出被测样片的翘曲度值，提高了测量效率。

本发明实施方式的其它特征和优点将在随后的具体实施方式部分予以详细说明。

附图说明

附图是用来提供对本发明实施方式的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本发明实施方式，但并不构成对本发明实施方式的限制。附图中图示的零面I的形变是为了更清楚的说明大理石平所带的机械形变，并不代表大理石平台的真实形变，如附图所示。在附图中：

图1是现有测量***测量机械误差示意图；

图2是现有测量***零面I与零面II三维空间关系图；

图3是本发明一种实施方式提供的液晶基板玻璃翘曲度测量方法机械坐标与相对坐标关系图；

图4是本发明一种实施方式提供的液晶基板玻璃翘曲度测量方法零面III与零面I的垂直坐标关系图；

图5是本发明一种实施方式提供的液晶基板玻璃翘曲度测量方法被测样片与零面III和零面I的垂直坐标关系图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。

图1是现有测量***测量机械误差示意图。由于翘曲度值为被测样片平面在高度方向上距离最远的两点间的距离，如果被测样片为绝对平面，则翘曲度为0。如图1所示，由于大理石承载台存在机械误差，表面并非理想的水平二维平面，测量液晶基板玻璃样片的翘曲度值时，把样片放入大理石承载平台上，样片与大理石承台平台贴合，此时样片与大理石承载平台存在相同的形变，从而导致测量液晶基板玻璃样片的翘曲度值时引入了大理石承载台的机械误差。

图2是现有测量***零面I与零面II三维空间关系图。所述零面I为测量装置大理石承载台工作区域的表面。所述零面II为镜头景深H毫米范围内，现有测量装置测量镜头在测量区域范围内运动所形成的轨迹面，所述零面II为水平平面，其中，H>0毫米。所述测量区域在所述工作区域内划定，其大小及位置由放入零面I上的样片大小及位置决定。

以测量装置机械原点作为机械零点，结合长短轴形成机械坐标系(x,y,z)，如图2所示，为零面I和零面II在机械坐标系中的对应关系。由图2(A)和(B)所示，零面I在机械坐标系左下角的起点坐标为(a,b,f),零面II在机械坐标系左下角的起点坐标为(c,d,f)，其中，c≥a，d≥b，f≥0。

图3是本发明一种实施方式提供的液晶基板玻璃翘曲度测量方法机械坐标与相对坐标关系图。如图3所示，以所述零面I在机械坐标系中左下角的起点坐标(a,b,f)为相对原点，建立第一坐标系，所述第一坐标系为相对坐标系。以所述零面II在机械坐标系中左下角的起点坐标(c,d,f)为相对原点，建立第二坐标系，所述第二坐标系为相对坐标系。所述第一坐标系用(x1,y1,z1)表示，所述第二坐标系用(X,Y,Z)表示。所述第一坐标系为采集零面I三维坐标时的测量坐标系，所述第二坐标系为测量被测样片翘曲度时的测量坐标系。

如图3所示，所述第一坐标系在机械坐标系中的位置关系，满足式(1)。所述第二坐标系在机械坐标系中的位置关系，满足式(2)。由式(1)和(2)可以推算出第一坐标系与第二坐标系的坐标点对应关系,如式(3)所示。

(x1,y1,z1)＝(x-a,y-b,z-f) (1)

(X,Y,Z)＝(x-c,y-d,z-f) (2)

(X,Y,Z)＝(x1-c+a,y1-d+b,z1) (3)

其中，c≥a，d≥b，f≥0。

图4是本发明一种实施方式提供的液晶基板玻璃翘曲度测量方法零面III与零面I的垂直坐标关系图。所述零面III为本实施例提供的基于零面I的形变对零面II修正后的轨迹面，所述零面III在镜头景深H毫米范围内。且所述零面III与零面I平行，即，零面III任意一点到零面I的距离相等。

所述基于零面I的形变对零面II的修正方法包括：

所述测量***以第一坐标系(x1,y1,z1)为测量坐标，扫描零面I的完整三维空间坐标，并保存到测量***；

根据零面I在第一坐标系中的完整三维空间坐标及上述式(3)第一坐标系与第二坐标系的坐标点对应关系，即可推导出零面I在第二坐标系中的完整坐标；

在第二坐标系中由于需要修正后使得零面III与零面I完全平行，即零面III上任意一点到零面I的距离W相等，都为e毫米。所以，将所述零面I在第二坐标系中的完整坐标在第二坐标系Z轴方向上增加e毫米，即可得出零面III在第二坐标系中的坐标，零面III在第二坐标系中的坐标表示为(X_III,Y_III,Z_III)，所述(X_III,Y_III,Z_III)与零面I在第一坐标系中的坐标(x1,y1,z1)满足下式(4)，其中e>0毫米。

(X_III,Y_III,Z_III)＝(x1-c+a,y1-d+b,z1+e) (4)

如图4所示，修正后的零面III与零面I在第二坐标系中的对应关系完全平行，测量时以第二坐标系为测量坐标，测量镜头以所述零面III的三维坐标轨迹运行，从而可以实现消除零面I带来的机械误差，使测量结果更加精准。

可选的，在测量装置使用一段时间后，为防止测量装置大理石承台平台在使用过程中引入的新的机械误差，可再次以第一坐标系(x1,y1,z1)为测量坐标，扫描零面I的完整三维空间坐标更新到测量***。

图5是本发明一种实施方式提供的液晶基板玻璃翘曲度测量方法被测样片与零面III和零面I的垂直坐标关系图。如图5所示，将被测样片放入零面I上，样片与零面I贴合，产生与零面I相同的形变。测量时根据样片大小建立上述第二坐标系(X,Y,Z)为测量坐标系，根据测量***中保存的零面I在第一坐标系中的完整坐标信息和上述式(4)，可得出测量镜头的运行轨迹零面III的坐标，测量时测量镜头按照零面III的坐标位置运行。

如图5(A)所示，当被测样片翘曲度值为0(绝对平面)时，被测样片可以与零面I完全贴合，此时被测样片上任意点与零面III对应点在Z轴坐标方向距离相等。如图5(A)所示，距离Wi＝W_j＝e，由此可知最大距离W_max＝e,最小距离W_min＝e，翘曲度值w＝W_max-W_min＝0。

如图5(B)所示，当被测样片翘曲度值不为0(非绝对平面)时，被测样片形变的地方不能与零面I完全贴合，被测样片翘曲形变位置处采样点与零面III对应点在Z轴坐标方向距离为W_i。被测样片没有翘曲形变位置处采样点与零面III对应点在Z轴坐标方向距离为W_j。如图5(B)所示，Wi＝o,W_j＝e，o≠e。由此可知最大距离W_max＝W_j＝e,最小距离W_min＝Wi＝o，翘曲度值w＝W_max-W_min＝e-o。

可选的，本发明一种实施方式提供的液晶基板玻璃翘曲度测量方法可以在样片采集过程中保存采样点坐标，在完成整个样片采集工作后，通过保存的所有采样点坐标计算采样点到零面III的垂直距离，获取最大垂直距离和最小垂直距离，再计算最大垂直距离与最小垂直距离之差，得出翘曲度值。

可选的，本发明一种实施方式提供的液晶基板玻璃翘曲度测量方法可以实时计算被测样片翘曲度值。所述方法包括：

以样片所放位置建立所述第二坐标系(X,Y,Z)为测量坐标系；

测量***基于零面I在所述第一坐标系(x1,y1,z1)的完整坐标，根据上述坐标对应关系式(4)推算出测量镜头在所述第二坐标系(即，测量坐标系)运行轨迹(即，零面III)；

测量镜头根据零面III的坐标信息确定运行轨迹，采集被测样片测量点在测量坐标系中的坐标信息(X_i,Y_i,Z_i)；

根据样片采样点的坐标(X_i,Y_i,Z_i)和该点对应的零面III坐标(X_III-i,Y_III-i,Z_III-i)，计算两点之间的距离W_i＝Z_III-i–Z_i，其中，X_i＝X_III-i，Y_i＝Y_III-i；

定义采样点距离零面III的最大距离为为W_max，最小距离为W_min，比较初始采集的N个采样点对应的W_i值，将比较得出的最大距离与最小距离作为最大距离W_max和最小距离W_min，W_max满足下式(5)，W_min满足下式(6)，计算样片上已测区域的翘曲度值w：w＝W_max-W_min，其中N≥2；

W_max＝MAX{W₁,W_2,…,W_N} (5)

W_min＝MIN{W₁,W_2,…,W_N} (6)

在后续采集过程中，拾取M个采样点对应的W_i值，并分别与最大距离W_max和最小距离W_min比较，将比较的最大值与最小值更新到最大距离W_max和最小距离W_min，W_max满足下式(7)，W_min满足下式(8)，计算样片上已测区域的翘曲度值w：w＝W_max-W_min，重复此过程，直至样片测量完成，其中M≥1。

W_max＝MAX{W_max,W₁,…,W_M} (7)

W_min＝MIN{W_min,W₁,…,W_M} (8)

可选的，样片测量完成时，最后计算得出的翘曲度值为整片样片的翘曲度值。

可选的，在实时计算被测样片已测区域翘曲度值时，保存最大距离W_max和最小距离W_min对应的样片采样点的坐标信息。

可选的，在样片测量过程中，可以实时输出被测样片已测区域的翘曲度信息，所述信息包括：被测样片已测区域的翘曲度值w、最大距离W_max、最小距离W_min、W_max对应的样片采样点坐标和W_min对应的样片采样点坐标。

可选的，预设一个第一翘曲度阈值，当计算的被测样片已测区域的翘曲度值大于所述第一翘曲度阈值时，才输出被测样片已测区域的翘曲度信息。

可选的，所述第一翘曲度阈值用于控制翘曲度信息输出频率。

可选的，预设一个第二翘曲度阈值，当计算的被测样片已测区域的翘曲度值大于所述第二翘曲度阈值时，停止测量被测样片翘曲度。

可选的，所述第二翘曲度阈值为能接受的最大翘曲度值，在被测样片测量完成前，如果发现实时计算的已测区域的翘曲度值已经大于第二翘曲度阈值，可判断样片形变严重不合规，则可以停止测量，以此提高测量效率。

可选的，所述Z坐标数据采集方法，激光测量镜头按零面III测量规划运行，并进行实时采样，在测量过程中，由光源发出的一束多色光(白色光)，通过测量镜头中一系列光学镜片后产生光谱色散，由于每一种单色光波长不同，因而在空间形成一组连续的焦点。被聚焦于被测物体表面的单色光，反射后经光纤电缆回传到控制器中的单色仪，从而确定此单色光的波长，每一个波长都对应着一个Z坐标。

可选的，测量时测量***在X轴和Y轴方向分别按L毫米为间距，拾取采样点的Z坐标数据，用拾取的采样点的坐标进行前述的翘曲度值计算，其中L≥1毫米，优选10毫米。

可选的，本发明实施例还提供一种液晶基板玻璃翘曲度测量***，在所述***中使用上述液晶基板玻璃翘曲度测量方法。所述***包括存储器和处理器所述存储器上存储有计算机程序指令，所述计算机程序指令被处理器执行时实现上述的液晶基板玻璃翘曲度测量方法。

可选的，本发明实施例还提供一种液晶基板玻璃翘曲度测量仪器，其特征在于，所述测量仪器设置有所述的液晶基板玻璃翘曲度测量***。

本领域技术人员可以理解实现上述实施方式的方法中的全部或部分步骤是可以通过程序来指令相关的硬件来完成，该程序存储在一个存储介质中，包括若干指令用以使得单片机、芯片或处理器(processor)执行本发明各个实施方式所述方法的全部或部分步骤。而前述的存储介质包括：U盘、移动硬盘、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

以上结合附图详细描述了本发明的可选实施方式，但是，本发明实施方式并不限于上述实施方式中的具体细节，在本发明实施方式的技术构思范围内，可以对本发明实施方式的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本发明实施方式的保护范围。另外需要说明的是，在上述具体实施方式中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本发明实施方式对各种可能的组合方式不再另行说明。

此外，本发明的各种不同的实施方式之间也可以进行任意组合，只要其不违背本发明实施方式的思想，其同样应当视为本发明实施方式所公开的内容。

Claims (9)

1.一种液晶基板玻璃翘曲度测量方法，基于翘曲度测量装置，所述翘曲度测量装置包括承载平台和激光测量镜头，其特征在于，所述翘曲度测量方法包括：

在承载平台上划定工作区域，并在工作区域内划定测量区域；

获取工作区域面的三维坐标，所述工作区域面为零面I；

基于零面I的三维坐标，确定测量镜头在测量区域面运动的轨迹面的三维坐标，所述轨迹面为零面III；其中所述零面III在三维空间中与零面I平行，且零面III在测量镜头景深H毫米范围内，H>0毫米；

样片测量过程中，规划测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动，实时采集样片上采样点的三维坐标；

计算每一采样点到零面III的垂直距离，根据所述垂直距离计算样片的翘曲度值；

所述基于零面I的三维坐标，确定测量镜头在测量区域面运动的轨迹面的三维坐标，所述轨迹面为零面III，包括：

以测量装置的机械原点作为机械零点，建立机械坐标系；

以机械坐标系为基准，建立第一坐标系和第二坐标系，所述第一坐标系和第二坐标系为相对坐标系；

根据所述第一坐标系和第二坐标系在机械坐标系中的位置，建立第一坐标系与第二坐标系的对应关系；

以第一坐标系为测量坐标系，获取零面I在第一坐标系中的三维坐标；

以所述零面I的三维坐标及第一坐标系与第二坐标系的对应关系，计算零面I在第二坐标系中的三维坐标；

将所述零面I在第二坐标系中的所有坐标点，在Z轴方向上增加e毫米，得到零面III在第二坐标系中的三维坐标，其中e>0毫米。

2.根据权利要求1所述的翘曲度测量方法，其特征在于，所述机械坐标系、第一坐标系和第二坐标系的对应关系包括：

将所述机械坐标系定义为(x,y,z)，第一坐标系定义为(x1,y1,z1)，第二坐标系定义为(X,Y,Z)，所述第一坐标系与机械坐标系的对应关系为：(x1,y1,z1)＝(x-a,y-b,z-f)，

所述第二坐标系与机械坐标系的对应关系为(X,Y,Z)＝(x-c,y-d,z-f)；

根据第一坐标系与机械坐标系的对应关系和第二坐标系与机械坐标系的对应关系，计算第一坐标系与第二坐标系的对应关系：(X,Y,Z)＝(x1-c+a,y1-d+b,z1)；

计算零面III在第二坐标系中的三维坐标与零面I在第一坐标系中的三维坐标的对应关系为：(X_III,Y_III,Z_III)＝(x1-c+a,y1-d+b,z1+e)；

其中，c≥a，d≥b，f≥0。

3.根据权利要求2所述的翘曲度测量方法，其特征在于，所述规划测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动，实时采集样片上采样点的三维坐标，包括：

在测量镜头按所述零面III的三维坐标点运动过程中，以第二坐标系为测量坐标系，分别以X轴和Y轴L毫米为间距，拾取样片上采样点的三维坐标；

所述计算每一采样点到零面III的垂直距离，包括：

对于每一采样点，根据该采样点的三维坐标和零面III对应点的三维坐标，计算该采样点与对应点在Z轴方向的距离W_i，其中，L≥1毫米。

4.根据权利要求3所述的翘曲度测量方法，其特征在于，所述根据垂直距离计算样片的翘曲度值，包括：

在样片测量完成后，根据样片上所有采样点到零面III的垂直距离，计算样片的翘曲度值；或

在样片测量过程中，根据样片上已测区域内的采样点到零面III的垂直距离，实时计算样片上已测区域的翘曲度值，将样片测量完成时计算得到的翘曲度值作为样片的翘曲度值。

5.根据权利要求4所述的翘曲度测量方法，其特征在于，所述在样片测量过程中，根据样片上已测区域内的采样点到零面III的垂直距离，实时计算样片上已测区域的翘曲度值，包括以下步骤：

定义样片到零面III的最大距离W_max和最小距离W_min；

实时采集采样点在第二坐标系中的三维坐标，根据该采样点对应的零面III在第二坐标系中的三维坐标，计算该采样点到零面III的垂直距离W_i；

比较初始采集的N个采样点对应的W_i值，将N个W_i值中的最大值与最小值作为最大距离W_max和最小距离W_min，计算样片上已测区域的翘曲度值w：w＝W_max-W_min；其中N≥2；

在后续采集过程中，每次拾取M个采样点对应的W_i值，将W_i值分别与最大距离W_max和最小距离W_min比较，将比较得出的最大值与最小值更新为最大距离W_max和最小距离W_min，根据更新后的最大距离W_max和最小距离W_min计算样片上已测区域的翘曲度值w：w＝W_max-W_min，其中M≥1；

所述将样片测量完成时计算得到的翘曲度值作为样片的翘曲度值，包括：

在样片测量完成后，将最后一次计算得出的已测区域的翘曲度值w作为样片的翘曲度值。

6.根据权利要求5所述的翘曲度测量方法，其特征在于，所述翘曲度测量方法还包括：

实时输出样片上已测区域的翘曲度值信息，所述翘曲度值信息包括：已测区域的翘曲度值w、最大距离W_max、最小距离W_min，及最大距离W_max和最小距离W_min对应的采样点的坐标点信息。

7.根据权利要求1-6中任一项权利要求所述的翘曲度测量方法，其特征在于，所述翘曲度测量方法还包括：对零面I的三维坐标信息进行实时更新。

8.一种液晶基板玻璃翘曲度测量***，其特征在于，所述***包括存储器和处理器，所述存储器上存储有计算机程序指令，所述计算机程序指令被处理器执行时实现权利要求1-7中任一项权利要求所述的液晶基板玻璃翘曲度测量方法。

9.一种液晶基板玻璃翘曲度测量装置，其特征在于，该测量装置设置有权利要求8所述的液晶基板玻璃翘曲度测量***。

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