CN113130288A

CN113130288A - 一种气箱外壳及其加工工艺

Info

Publication number: CN113130288A
Application number: CN202110310692.XA
Authority: CN
Inventors: 陆洪飞; 王林; 王星驰
Original assignee: Suzhou Huaya Intelligent Technology Co ltd
Current assignee: Suzhou Huaya Intelligent Technology Co ltd
Priority date: 2021-03-23
Filing date: 2021-03-23
Publication date: 2021-07-16

Abstract

本申请涉及金属材料的镀覆设备的领域，尤其是涉及一种气箱外壳及其加工工艺，其包括机壳以及设置在机壳上的箱门，机壳侧壁上开设有进出口，进出口上设有封口板。本申请具有方便管线进入气箱外壳与气箱连接和拆卸，提升管线拆装灵活性，提升管线与气箱的连接效率的效果。

Description

一种气箱外壳及其加工工艺

技术领域

本申请涉及金属材料的镀覆设备的领域，尤其是涉及一种气箱外壳及其加工工艺。

背景技术

气箱(Gas Box)，是一种半导体设备内的核心组成部分之一，是一种将各路工艺气体集成在一个空间环境内，并按工艺需求对不同气体进行传输、分配和混合的装置。气箱对个别关键工艺气体进行精确的流量控制，根据工艺不同步骤的设定实现对工艺气体进行开关控制等功能。

目前，为了应对技术升级，在诸如刻蚀、薄膜沉积等关键半导体设备内的气箱上需要增加一定数量的气体管路、微型焊接接头、隔膜阀门等流体元件。

针对上述中的相关技术，发明人认为现有的气箱外壳管线的进出口较为单一，进行管线的连接时，大量管线从同一开口进入或穿出，管线拆卸整理过程较为繁琐。

发明内容

为了方便管线进入气箱外壳与气箱连接和拆卸，提升管线拆装灵活性，提升管线与气箱的连接效率，本申请提供一种气箱外壳及其加工工艺。

一方面，本申请提供的一种气箱外壳，采用如下的技术方案：

一种气箱外壳，包括机壳以及设置在机壳上的箱门，所述机壳侧壁上开设有进出口，所述进出口上设有封口板。

通过采用上述技术方案，从进出口将管线接入或引出，通过增设管线进出口的方式，方便管线与气箱外壳内的气箱连接，提升管线拆装的灵活性，提升管线与气箱的连接效率。

可选的，所述箱门上开设有若干个走线窗，每个所述走线窗内均设有挡板。

通过采用上述技术方案，多个走线窗将大量的管线进行分组并分隔，进行管线的拆装时，在对应的走线窗内寻找即可，大大缩减管线拆装过程，提升管线的拆装效率，进一步提升管线与气箱的连接效率。

可选的，所述机壳的顶面上开设有多个排线孔，所述机壳的底面上开设有多个走线孔。

通过采用上述技术方案，根据管道和线路的走向，对应机壳上的排线孔和走线孔，将不同走向的管道和线路从不同方向与气箱连接，对管线进行更好的区分，进一步提升管线与气箱的拆装效率，进一步提升管线与气箱的连接效率。

可选的，所述机壳内设有安装板，所述安装板的底端设有分隔板，所述分隔板远离安装板一端设有底板。

通过采用上述技术方案，将气箱设置在安装板上，气箱外壳辅助进行支撑，提升气箱在机壳内的稳定性，分隔板将气箱外壳内部空间分隔成相互连通的两部分，方便气箱与控制***分开设置，将大量的管线分成两部分，方便区分不同的管线，进一步提升管线与气箱的连接效率。

可选的，所述机壳的侧壁上开设有联络口，所述联络口内设有盖板，所述盖板上开设有若干通孔。

通过采用上述技术方案，在联络口内设置相关的仪表，方便快速读数，方便对气箱内的气体进行实时的控制。

另一方面，本申请还提供一种气箱外壳机加工工艺，采用如下的技术方案：

一种气箱外壳的加工工艺，用于加工上述的气箱外壳；Step1，在三维软件中进行气箱外壳的模型设计，依照设计图纸，采用冲压的方式成型气箱外壳的各部件，将气箱外壳各部件按照图纸要求进行摆放，并通过焊接将各部件相互连接固定；

Step2，采用打磨设备对气箱外壳各面之间的焊缝进行打磨，气箱外壳内外表面无毛刺，部件之间的焊缝过渡平滑无毛刺和明显起伏感；

Step3，对气箱外壳进行抛光，消除打磨过程中的造成的气箱外壳表面纹理不均匀；

Step4，清洗焊缝处的焊疤，消除焊缝处的黄斑；

Step5，对气箱外壳进行清洗，并通过烘烤的方式将气箱外壳表面的水分烤干。

通过采用上述技术方案，打磨和抛光大幅提升气箱表面的粗糙度，避免出现明显的毛刺和锋利的边缘，在气箱上连接管道时，减少管道与气箱外壳摩擦产生的磨损以及气箱外壳对管道的切割，提升对管道的保护效果。同时打磨和抛光减少气箱外壳表面不均匀的纹理以及一些肉眼难以察觉的划痕，提升气箱外壳的质量。

可选的，在Step1中，进行箱体外壳的外形设计时，在箱体外壳上的棱角处设置圆弧过渡结构，圆弧过渡结构的半径均相同。

通过采用上述技术方案，通过调整圆弧过渡结构的半径，消除气箱外壳内的卫生死角，方便对气箱外壳进行清洁。圆弧过渡结构在打磨过程中，方便对面与面之间的缝隙进行打磨和抛光，提升加工效率。

可选的，在Step1中，将气箱外壳的各部件通过氩弧焊的方式焊接固定，焊接过程中的焊缝沿焊接方向间隔排布有多条。

通过采用上述技术方案，通过提升焊接频率、减少连续焊接时间，减少氩弧焊焊接过程中释放的大量热量，减少金属热变形，提升气箱外壳的加工精度。

可选的，在Step5中，进行清洗前先对气箱外壳进行除油，完成除油后对气箱外壳表面进行钝化。

通过采用上述技术方案，除油对气箱外壳进行清洁，减少气箱表面的杂质残留，方便进行钝化。对气箱外壳表面进行钝化，使气箱外壳不易被氧化，大大延长气箱外壳的使用寿命。

可选的，在Step5中，气箱外壳烤干后对气箱外壳表面喷涂聚氨酯涂料，完成气箱外壳表面的喷涂后，再次对气箱外壳进行抛光。

通过采用上述技术方案，聚氨酯涂料粘附在气箱外壳的表面，提升气箱外壳的耐腐蚀性，延长气箱外壳的使用寿命。对气箱外壳的外表面进行抛光，使气箱外壳表面更光滑，更美观的同时更加方便使用。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.设置进出口，必要时可以从进出口将管道和线路接入或者引出，管线连接灵活性更高，提升管线拆装效率；

2.机壳内设置安装板，安装板将机壳内空间分隔，使气箱与控制装置设置在独立的空间内，减少出现管线相互缠绕的情况，进一步提升管线拆装效率。

附图说明

图1是本申请实施例的整体结构示意图。

图2是体现安装板结构的示意图。

附图标记说明：1、机壳；2、箱门；3、封口板；4、进出口；5、排线孔；6、走线孔；7、挡板；8、走线窗；9、联络口；10、盖板；11、通孔；12、安装板；13、分隔板；14、底板。

具体实施方式

以下结合附图1-2对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种气箱外壳。参照图1和图2，一种气箱外壳机壳1以及铰接在机壳1侧壁上的箱门2，机壳1顶面长度方向一端的侧壁上，开设有进出口4，进出口4的内壁上铰接有封口板3。转动封口板3实现进出口4的打开和关闭，常时，封口板3将进出口4封闭，进出口4处于封闭状态。当需要增设管道或者线路时，打开进出口4，管道和线路能够从进出口4进入气箱外壳内，与气箱外壳内的气箱连接。

参照图1和图2，封口板3上开设有多个散热孔，多个散热孔呈网状排布。散热孔方便气箱运转时产生的热量散出，辅助气箱外壳进行散热，并能够有效阻挡空气中的灰尘进入气箱外壳内。

参照图1和图2，机壳1远离进出口4一端开设有联络口9，联络口9底端的内壁上铰接有盖板10。盖板10上开设有若干个通孔11，本实施例中具体为两个。将仪表卡接在通孔11内，方便直观地进行仪表数据的实时检测。通过联络口9可以便捷更换仪表或者对气箱进行调试。

参照图1和图2，机壳1的顶面上开设有若干个排线孔5，本实施例中具体为两个。机壳1的底面上开设有多个走线孔6，走线孔6和排线孔5用于不同方向管线进入机壳1，方便将不同线路分隔，缩短管线拆装时梳理管线的时间，提升管线的拆装效率。

参照图1和图2，箱门2上开设有若干个走线窗8，本实施例中具体为三个，每个走线窗8内均设有挡板7，走线窗8方便在气箱上增设线路，多个走线窗8将线路隔开，减少出现大量线路相互缠绕的情况，提升线路拆装效率。

参照图1和图2，机壳1内壁上竖直固定有安装板12，安装板12的底端水平一体成型有分隔板13，分隔板13背离安装板12一端一体成型有底板14。安装板12、分隔板13和底板14将气箱外壳的内部空间分隔为安装腔和容纳腔，以供气箱设置在安装腔内，供气箱的控制装置设置在容纳腔内。通过划分不同的功能区域，使进行管线连接前能够更快确定连接位置，实现管线连接的快速定位，进一步提升管线的拆装效率。

本申请实施例一种气箱外壳的实施原理为：在安装腔内设置气箱，在容纳腔内设置气箱的控制装置，需要调整管线的排布时，根据具体的功能，定位至机壳1不同的功能区域，通过机壳1和箱门2上的不同开口与气箱和控制装置连接。

本申请实施例还公开一种气箱外壳的加工工艺，用于加工上述的气箱外壳；

Step1，在三维软件中进行气箱外壳的模型设计，进行箱体外壳的外形设计时，在箱体外壳上的棱角处设置圆弧过渡结构，圆弧过渡结构的半径均相等，机壳1和箱门2的角上设置为1/8球面。通过设置圆弧过渡结构，减少加工死角和清洁死角，方便型材加工成型，方便对机壳1和箱盖进行清洁。

依照设计图纸，采用冲压的方式成型机壳1、安装板12、箱门2等部件，将气箱外壳各部件按照图纸要求进行摆放，并通过氩弧焊的方式将各部件相互连接固定。焊接过程中的焊缝沿焊接方向间隔排布有多条。氩弧焊导致的热变形小，且适用性强，有效提升气箱外壳的加工精度和加工质量。通过间歇性焊接的方式，方便焊接过程中的热量快速逸散到周围的空气中，减少材料表面的温度以及高温导致的热变形，进一步提升加工精度。

Step2，使用打磨设备对气箱外壳的内外表面进行打磨，使气箱外壳内外表面无毛刺，部件之间的焊缝过渡平滑无毛刺和明显起伏感。起伏感即肉眼难以察觉但依靠触摸能够感觉到的、明显的凹凸不平的感觉。

Step3，选用颗粒度大于或等于180的砂纸安装在气动抛光机上，使用气动抛光机对气箱外壳的内表面和外表面进行抛光，消除气箱内表面与外表面在打磨过程中产生的不均匀的纹理，以及一些肉眼难以察觉的划痕，使气箱表面纹理均匀。

Step4，采用局部化学腐蚀的方式对焊疤处进行清洗，通过化学反应消除附着在气箱外壳表面的杂质，消除由于杂质导致的黄斑。

Step5，对气箱外壳进行除油，取出吸附在气箱外壳表面的油污。对除油后的气箱外壳进行清洗，完成清洗后，对气箱外壳表面进行钝化，使气箱外壳不易被氧化，大大延长气箱外壳的使用寿命。完成钝化后，再次清洗气箱外壳，并使用烘干设备将气箱外壳烘干。

将气箱外壳送入喷涂车间，进行聚氨酯涂料的喷涂，聚氨酯涂料在气箱外壳表面形成一层耐腐蚀层，大大增强了气箱外壳的耐腐蚀性，延长气箱的使用寿命。

待聚氨酯涂料干燥凝固后，再次对气箱外壳进行抛光。选用颗粒度大于或等于180的砂纸安装在气动抛光机上，对气箱外壳进行抛光，提升气箱外壳表面的光滑度。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims

1.一种气箱外壳，包括机壳(1)以及设置在机壳(1)上的箱门(2)，其特征在于：所述机壳(1)侧壁上开设有进出口(4)，所述进出口(4)上设有封口板(3)。

2.根据权利要求1所述的一种气箱外壳，其特征在于：所述箱门(2)上开设有若干个走线窗(8)，每个所述走线窗(8)内均设有挡板(7)。

3.根据权利要求1所述的一种气箱外壳，其特征在于：所述机壳(1)的顶面上开设有多个排线孔(5)，所述机壳(1)的底面上开设有多个走线孔(6)。

4.根据权利要求1所述的一种气箱外壳，其特征在于：所述机壳(1)内设有安装板(12)，所述安装板(12)的底端设有分隔板(13)，所述分隔板(13)远离安装板(12)一端设有底板(14)。

5.根据权利要求1所述的一种气箱外壳，其特征在于：所述机壳(1)的侧壁上开设有联络口(9)，所述联络口(9)内设有盖板(10)，所述盖板(10)上开设有若干通孔(11)。

6.一种气箱外壳的加工工艺，用于加工权利要求1到5任一所述的气箱外壳，其特征在于：Step1，在三维软件中进行气箱外壳的模型设计，依照设计图纸，采用冲压的方式成型气箱外壳的各部件，将气箱外壳各部件按照图纸要求进行摆放，并通过焊接将各部件相互连接固定；

Step4，清洗焊缝处的焊疤，消除焊缝处的黄斑；

7.根据权利要求6所述的一种气箱外壳的加工工艺，其特征在于：在Step1中，进行箱体外壳的外形设计时，在箱体外壳上的棱角处设置圆弧过渡结构，圆弧过渡结构的半径均相同。

8.根据权利要求6所述的一种气箱外壳的加工工艺，其特征在于：在Step1中，将气箱外壳的各部件通过氩弧焊的方式焊接固定，焊接过程中的焊缝沿焊接方向间隔排布有多条。

9.根据权利要求6所述的一种气箱外壳的加工工艺，其特征在于：在Step5中，进行清洗前先对气箱外壳进行除油，完成除油后对气箱外壳表面进行钝化。

10.根据权利要求6所述的一种气箱外壳的加工工艺，其特征在于：在Step5中，气箱外壳烤干后对气箱外壳表面喷涂聚氨酯涂料，完成气箱外壳表面的喷涂后，再次对气箱外壳进行抛光。