CN112981318A - 掩膜版及掩膜版的精度检测方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种掩膜版及掩膜版的精度检测方法，掩膜版包括：通用掩膜版，包括具有通用蒸镀开口的框式主体，框式主体具有沿各通用蒸镀开口周向延伸的内边缘区域，内边缘区域具有异形区段；异形段定位组件，包括沿异形区段分布的多个点状定位件，各点状定位件到相邻的通用蒸镀开口边缘的最小距离相等。各点状定位件到相邻的通用蒸镀开口边缘的最小距离相等，各点状定位件的位置间接表征通用蒸镀开口的异形边缘的位置，因而可以通过检测确定各点状定位件的位置来确定通用蒸镀开口的异形边缘的位置精度，提高了通用蒸镀开口的检测效率以及检测精度，并可以统一掩膜版供应商和使用方的检测方式，有效管控通用蒸镀开口的制作精度。

Description

掩膜版及掩膜版的精度检测方法

技术领域

本发明属于电子产品技术领域，尤其涉及一种掩膜版及掩膜版的精度检测方法。

背景技术

目前对于一些显示装置的膜层或者车辆配件等部件需要通过掩膜版进行蒸镀成型，但由于待蒸镀成型的部件的形状多变，存在不规则的边缘，在对掩膜版对应的蒸镀开口精度检测时存在检测困难，检测精度不能保证，供应商和使用方存在双方检测结果不一致的现象，制约了对掩膜版精度的管控。

因此，亟需一种新的掩膜版及掩膜版的精度检测方法。

发明内容

本发明实施例提供了一种掩膜版及掩膜版的精度检测方法，各点状定位件的位置间接表征通用蒸镀开口的异形边缘的位置，因而可以通过检测确定各点状定位件的位置来确定通用蒸镀开口的异形边缘的位置精度，提高了通用蒸镀开口的检测效率以及检测精度。

本发明实施例一方面提供了一种掩膜版，包括：通用掩膜版，包括具有通用蒸镀开口的框式主体，所述框式主体具有沿各所述通用蒸镀开口周向延伸的内边缘区域，所述内边缘区域具有异形区段；异形段定位组件，包括沿所述异形区段分布的多个点状定位件，各所述点状定位件到相邻的所述通用蒸镀开口边缘的最小距离相等。

根据本发明的一个方面，各所述点状定位件到相邻的所述通用蒸镀开口的最小距离为100μm～150μm。

根据本发明的一个方面，相邻各所述点状定位件之间的最小距离均相等；优选的，所述相邻各所述点状定位件之间的最小距离为30μm～50μm。

根据本发明的一个方面，各所述点状定位件在所述框式主体上的正投影轮廓边缘上两点之间的最大距离为50μm～100μm。

根据本发明的一个方面，各所述点状定位件在所述框式主体上的正投影为矩形、十字形、椭圆形、圆形中的至少一种。

根据本发明的一个方面，所述框式主体具有相对的第一表面和第二表面，所述点状定位件设于所述第一表面和所述第二表面中的至少一者。

根据本发明的一个方面，各所述点状定位件的延伸轨迹为弧形、折线形中的至少一种。

根据本发明的一个方面，还包括边框部，所述边框具有中心开口，所述框式主体固定于所述中心开口内，所述边框上设有基准对位孔。

本发明实施例另一方面还提供了一种掩膜版的精度检测方法，包括：提供掩膜版，所述掩膜版为上述任一实施例中的掩膜版；获取所述掩膜版的各所述点状定位件的实际位置参数；比较已知的所述点状定位件的预设位置参数和所述实际位置参数以获取所述点状定位件的位置精度参数。

根据本发明的另一个方面，在所述获取所述掩膜版的各所述点状定位件的实际位置参数的步骤中：采用图像获取部获取所述掩膜版的各所述点状定位件的图像，根据所述图像获取所述点状定位件的实际位置参数。

根据本发明的另一个方面，在所述提供掩膜版和所述获取所述掩膜版的各所述点状定位件的实际位置参数的步骤之间，还包括：获取边框上的基准对位孔的位置参数以确定基准坐标系，其中，所述边框具有中心开口，所述框式主体固定于所述中心开口内，所述边框上设有所述基准对位孔；采用图像获取部获取所述掩膜版的各所述点状定位件的图像，根据所述图像获取所述点状定位件在所述基准坐标系上的实际位置参数。

与现有技术相比，本发明实施例提供的掩膜版包括通用掩膜版，通用掩膜版包括框式主体和异形段定位组件，框式主体具有通用蒸镀开口，框式主体具有沿各通用蒸镀开口周向延伸的内边缘区域，即内边缘区域即靠近内边缘区域开口边缘的区域，内边缘区域的延伸方向和通用蒸镀开口的边缘延伸方向相同，而内边缘区域的异形区段和通用蒸镀开口的异形边缘相匹配，通过将异形段定位组件的各点状定位件沿异形区段分布，并使各点状定位件到相邻的通用蒸镀开口的最小距离相等，各点状定位件的位置间接表征通用蒸镀开口的异形边缘的位置，因而可以通过检测确定各点状定位件的位置来确定通用蒸镀开口的异形边缘的位置精度，提高了通用蒸镀开口的检测效率以及检测效率，并可以统一掩膜版供应商和使用方的检测方式，有效管控通用蒸镀开口的制作精度。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对本发明实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本发明实施例提供的一种掩膜版的结构示意图；

图2是图1中A处的一种实施例中的局部放大图；

图3是图1中A处的另一种实施例中的局部放大图；

图4是本发明实施例提供的另一种掩膜版的结构示意图；

图5是本发明实施例提供的又一种掩膜版的结构示意图；

图6是本发明实施例提供的掩膜版的精度检测方法的流程图。

附图中：

1-框式主体；11-通用蒸镀开口；2-异形段定位组件；21-点状定位件；3-边框部；31-中心开口；32-基准对位孔；Y-异形区段。

具体实施方式

下面将详细描述本发明的各个方面的特征和示例性实施例。在下面的详细描述中，提出了许多具体细节，以便提供对本发明的全面理解。但是，对于本领域技术人员来说很明显的是，本发明可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本发明的示例来提供对本发明的更好的理解。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括……”限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

为了更好地理解本发明，下面结合图1至图6根据本发明实施例的掩膜版及掩膜版的精度检测方法进行详细描述。

请参阅图1至图3，本发明实施例提供了一种掩膜版，包括：通用掩膜版，包括具有通用蒸镀开口11的框式主体1，框式主体1具有沿各通用蒸镀开口11周向延伸的内边缘区域，内边缘区域具有异形区段Y；异形段定位组件2，包括沿异形区段Y分布的多个点状定位件21，各点状定位件21到相邻的通用蒸镀开口11边缘的最小距离相等。

本发明实施例提供的掩膜版包括通用掩膜版，通用掩膜版包括框式主体1和异形段定位组件2，框式主体1具有通用蒸镀开口11，框式主体1具有沿各通用蒸镀开口11周向延伸的内边缘区域，即内边缘区域即靠近内边缘区域开口边缘的区域。内边缘区域的延伸方向和通用蒸镀开口11的边缘延伸方向相同，通过将异形段定位组件2的各点状定位件21沿异形区段Y分布，并使各点状定位件21到相邻的通用蒸镀开口11的最小距离相等，最小距离即点状定位件21到通用蒸镀开口11的垂直距离。最小距离相等时，各点状定位件21的延伸轨迹平行于通用蒸镀开口11的边缘延伸轨迹，即各点状定位件21的延伸轨迹和对应的通用蒸镀开口11的边缘延伸轨迹相同，各点状定位件21的位置间接表征通用蒸镀开口11的异形边缘的位置。

因而可以通过检测确定各点状定位件21的位置来确定通用蒸镀开口11的异形边缘的位置精度，提高了通用蒸镀开口11的检测效率以及检测精度，并可以统一掩膜版供应商和使用方的检测方式，有效管控通用蒸镀开口11的制作精度。

可以理解的是，框式主体1通常采用金属等不易变形且耐腐蚀性能好的材料，框式主体1上通用蒸镀开口11的形状并无特殊限定，可以根据实际需要进行设置。具体的，当掩膜版用于显示装置的制备时，通用蒸镀开口11具体可以采用对应于刘海屏、水滴屏等异形屏的形状，如图1所示。当然，本发明实施例所提供的掩膜版并不仅限于应用在显示装置的制备，还可以应用于其他任何需要掩膜版进行蒸镀等工艺成型的部件中。例如，本发明实施例提供的掩膜版还可以用于成型车辆的车灯壳体等部件，如图4所示。

需要说明的是，异形段定位组件2的点状定位件21具体可以采用外凸的立柱或者内凹的凹槽等便于识别检测的结构形式，各个点状定位件21的延伸轨迹与异形区段Y的延伸轨迹相匹配，具体是指各个点状定位件21中点的连线轨迹和异形区段Y的延伸轨迹相同，各个点状定位件21中点的连线轨迹的位置即可代表和异形区段Y的延伸轨迹相对应的通用蒸镀开口11的位置精度。

可选的，各点状定位件21到相邻的通用蒸镀开口11的最小距离为100μm～150μm。可以理解的是，点状定位件21不宜离通用蒸镀开口11过近，过近则可能会影响蒸镀效果，点状定位件21也不宜离通用蒸镀开口11过远，过远则会相应点状定位件21和通用蒸镀开口11之间的相对位置精度，点状定位件21不能准确的表征通用蒸镀开口11的位置精度。

在一些可选的实施例中，相邻各点状定位件21之间的最小距离均相等，可选的，相邻各点状定位件21之间的最小距离为30μm～50μm，且各点状定位件21在框式主体1上的正投影轮廓边缘上两点之间的最大距离为50μm～100μm。

可以理解的是，相邻各点状定位件21之间的最小距离均相等能够更准确定表征通用蒸镀开口11的边缘各个不同位置的位置精度，且各点状定位件21之间的距离越小，各点状定位件21分布的越密集，能够更加准确的表征通用蒸镀开口11的位置精度。而点状定位的尺寸也不宜过大，过大则会影响位置精度，各点状定位件21在框式主体1上的正投影轮廓边缘上两点之间的最大距离，即点状定位件21的最大尺寸，例如当点状定位件21为圆形时，点状定位件21在框式主体1上的正投影轮廓边缘上两点之间的最大距离即圆形的直径。

请参阅图2和图3，在一些可选的实施例中，各点状定位件21在框式主体1上的正投影为矩形、十字形、椭圆形、圆形中的至少一种。

可以理解的是，点状定位件21用于外部检测装置检测定位，因而其形状只需便于检测即可，可以采用矩形、十字形、椭圆形、圆形等规则图形，便于确定中心点。具体的，点状定位件21采用半刻蚀的工艺形成于框式主体1，即点状定位件21为盲孔的形式。

为了避免点状定位件21影响蒸镀效果，在一些可选的实施例中，框式主体1具有相对的第一表面和第二表面，点状定位件21设于第一表面和第二表面中的至少一者。

需要说明的是，点状定位件21通常采用盲孔的形式，即点状定位件21不会贯穿框式主体1，以避免蒸镀时蒸镀材料透过点状定位件21，影响蒸镀成型图案，由于采用盲孔的形式。因而，点状定位件21可以设置在框式主体1相对的第一表面和/或第二表面，只要便于检测即可。

在一些可选的实施例中，各点状定位件21的延伸轨迹为弧形、折线形中的至少一种。可以理解的是，各点状定位件21的延伸轨迹需要和通用蒸镀开口11的边缘形状相匹配，具体可以包括弧形、折线形。

请参阅图5，在一些可选的实施例中，还包括边框部3，边框具有中心开口31，框式主体1固定于中心开口31内，边框上设有32。

可以理解的是，边框部3用于固定安装框式主体1，而边框上的32用于便于框式主体1和中心开口31进行对位，提高框式主体1的安装精度。

请参阅图6，本发明实施例还提供了一种掩膜版的精度检测方法，包括：

S110：提供掩膜版，掩膜版为上述任一实施例中的掩膜版；

S120：获取掩膜版的各点状定位件21的实际位置参数；

S130：比较已知的点状定位件21的预设位置参数和实际位置参数以获取点状定位件21的位置精度参数。

本发明实施例提供的掩膜版的精度检测方法，通过获取掩膜版的各点状定位件21的实际位置参数，并和已知的点状定位件21的预设位置参数进行比较以获取点状定位件21的位置精度参数，由于掩膜版的各点状定位件21各点状定位件21沿框型主体的异形区段Y分布，并使各点状定位件21的延伸轨迹与异形区段Y的延伸轨迹相匹配，各点状定位件21的位置能够间接表征通用蒸镀开口11的异形边缘的位置，因而可以通过所检测出的各点状定位件21的位置精度参数来确定通用蒸镀开口11的异形边缘的位置精度，提高了通用蒸镀开口11的精度检测效率以及检测效率。

需要说明的是，已知的点状定位件21的预设位置参数具体可以为设计图纸中的点状定位件21的位置参数。

在步骤S120即在获取掩膜版的各点状定位件21的实际位置参数的步骤中：具体可以采用图像获取部获取掩膜版的各点状定位件21的图像，根据图像获取点状定位件21的实际位置参数。图像获取部可以为CCD(Charge-coupled Device，电荷耦合器件)相机等图像传感器。

在一些可选的实施例中，在提供掩膜版和获取掩膜版的各点状定位件21的实际位置参数的步骤之间，还包括：获取边框上的32的位置参数以确定基准坐标系，其中，边框具有中心开口31，框式主体1固定于中心开口31内，边框上设有32；采用图像获取部获取掩膜版的各点状定位件21的图像，根据图像获取点状定位件21在基准坐标系上的实际位置参数。

可以理解的是，由于框式主体1固定于边框的中心开口31内，通过32确定一基准坐标系，即可以确定零点坐标，以便于确定各点状定位件21的实际位置参数，即相对于零点坐标的实际坐标值，保证通用蒸镀开口11位置检测的精度。

以上，仅为本发明的具体实施方式，所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为了描述的方便和简洁，上述描述的***、模块和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。应理解，本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到各种等效的修改或替换，这些修改或替换都应涵盖在本发明的保护范围之内。

还需要说明的是，本发明中提及的示例性实施例，基于一系列的步骤或者装置描述一些方法或***。但是，本发明不局限于上述步骤的顺序，也就是说，可以按照实施例中提及的顺序执行步骤，也可以不同于实施例中的顺序，或者若干步骤同时执行。

Claims (10)

1.一种掩膜版，其特征在于，包括：

通用掩膜版，包括具有通用蒸镀开口的框式主体，所述框式主体具有沿各所述通用蒸镀开口周向延伸的内边缘区域，所述内边缘区域具有异形区段；

异形段定位组件，包括沿所述异形区段分布的多个点状定位件，各所述点状定位件到相邻的所述通用蒸镀开口边缘的最小距离相等。

2.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，各所述点状定位件到相邻的所述通用蒸镀开口的最小距离为100μm～150μm。

3.根据权利要求2所述的掩膜版，其特征在于，相邻各所述点状定位件之间的最小距离均相等；

优选的，所述相邻各所述点状定位件之间的最小距离为30μm～50μm。

4.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，各所述点状定位件在所述框式主体上的正投影轮廓边缘上两点之间的最大距离为50μm～100μm。

5.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，各所述点状定位件在所述框式主体上的正投影为矩形、十字形、椭圆形、圆形中的至少一种。

6.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，所述框式主体具有相对的第一表面和第二表面，所述点状定位件设于所述第一表面和所述第二表面中的至少一者。

7.根据权利要求1所述的掩膜版，其特征在于，还包括边框部，所述边框具有中心开口，所述框式主体固定于所述中心开口内，所述边框上设有基准对位孔。

8.一种掩膜版的精度检测方法，其特征在于，包括：

提供掩膜版，所述掩膜版为权利要求1至7任一项所述的掩膜版；

获取所述掩膜版的各所述点状定位件的实际位置参数；

比较已知的所述点状定位件的预设位置参数和所述实际位置参数以获取所述点状定位件的位置精度参数。

9.根据权利要求8所述的掩膜版的精度检测方法，其特征在于，在所述获取所述掩膜版的各所述点状定位件的实际位置参数的步骤中：

采用图像获取部获取所述掩膜版的各所述点状定位件的图像，根据所述图像获取所述点状定位件的实际位置参数。

10.根据权利要求9所述的掩膜版的精度检测方法，其特征在于，在所述提供掩膜版和所述获取所述掩膜版的各所述点状定位件的实际位置参数的步骤之间，还包括：

获取边框上的基准对位孔的位置参数以确定基准坐标系，其中，所述边框具有中心开口，所述框式主体固定于所述中心开口内，所述边框上设有所述基准对位孔；

采用图像获取部获取所述掩膜版的各所述点状定位件的图像，根据所述图像获取所述点状定位件在所述基准坐标系上的实际位置参数。

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