CN112925052B - 基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及景深3D成像、变焦成像、机器人视觉***等技术领域，特别涉及一种基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜。其包括透镜本体，介电弹性体驱动器包括介电弹性体环形膜，柔性电极，以及环形框架；透镜本体包括设于介电弹性体环形膜中心位置且与介电弹性体环形膜一体固化成型的下层透明硅橡胶膜体，下层透明硅橡胶膜体通过真空抽吸装置形成有向上开口的半球形空腔，半球形空腔内填充有透明液体介质，在透明液体介质上方设有用于对透明液体介质覆盖密封的上层透明硅橡胶膜体。还包括一种制备焦距可调式透镜的方法。本发明能够可实现变焦成像效果好，机电性能高，响应速度快，使用寿命长，自动化程度高，制备效率高，流程简单，成本低。

Description

基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜及其制备方法

技术领域

本发明涉及景深3D成像、变焦成像、机器人视觉***等技术领域，特别涉及一种基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜及其制备方法。

背景技术

软体机器人是一类由软体驱动材料构成的新型仿生连续体机器人。相对于传统的刚体机器人，软体机器人具有结构柔软度高，环境适应性好，亲和性强，功能多样，可以大幅度改变身体形状等特点，在非结构化环境中有着广阔的研究和应用前景。研发能实现更复杂形变及运动，同时还能被重新编程来适应环境变化的软体机器人是未来发展的一个趋势。

对于软体机器人来说，嵌入式柔性驱动器是最重要的组件之一，在它的驱动下，软体机器人可以完成人类能够进行的运动。例如，软体机器人的眼睛能够模仿人眼流畅，准确，快速响应地调节焦距。不同的是，人类眼睛调节焦距的能力是通过睫状肌的收缩和松弛改变晶状体形状实现的，而当前大多数机器人眼睛调节焦距的能力都是基于机械移动刚性部件的数码相机实现的。数码相机的刚性部件会受到体积和惯性速度的限制。为了克服上述这些缺点，研究人员提出了许多基于软体驱动器的方法，例如液压/气压，电磁波，电化学，电润湿，介电泳力和刺激响应，虽然这些方法可以通过控制液体透镜的曲率半径来调节透镜的焦距。但是，这些软体驱动器也具有很多的弊端，例如响应速度慢，使用寿命短，或者必须将它们固定在无法集成的大型控制器上。

介电弹性体是一种电致伸缩聚合物，它可实现高达380％的电致应变以及高达3.4MJ/m³的机电能量密度，并且响应速度快，重量轻，成本低，没有噪音污染。介电弹性体驱动器也可以应用在焦距可调节透镜的领域，当施加电压时，环形介电弹性体驱动器在麦克斯韦应力的作用下发生面积上的扩展，此时，环形介电弹性体会对镜头进行挤压，使其直径变小而曲率变大，则焦距会变短。断开电压后，介电弹性体驱动器会恢复其形状，并且镜头将保持其原始尺寸，焦距也会恢复到之前的长度。可以看出，透镜聚焦可调节的范围与介电弹性体电致面积应变的程度有着很大的关系。

众所周知，通过向介电弹性体中添加高介电粒子可以提高介电弹性体的介电常数，从而提高其电致应变性能。然而，这样的方法往往会降低介电弹性体的透明度，因此，制造具有高介电常数，高透明性和高机电性能的介电弹性体驱动的焦距可调节透镜仍然是一个挑战。

专利CN 111948777 A，公开了一种基于介电弹性体的可变焦腔型镜头，其包括镜头驱动器，由预拉伸后的第一介电弹性体膜、第二介电弹性体膜和柔性电极组成，第一介电弹性体膜和第二介电弹性体膜固定粘贴在环形支撑框架上，第一介电弹性体膜和第二介电弹性体膜对称设置且相互贴合，第一介电弹性体膜和第二介电弹性体膜上均设有弧形凹槽，两组弧形凹槽相互对应且两者之间形成空腔，空腔内填充有透明液体介质，第一介电弹性体膜和第二介电弹性体膜的弧形凹槽***至环形支撑框架的环形部分均涂覆有柔性电极。该专利由介电弹性体膜、柔性电极、透明液体介质制成，通过其本身的腔体形状改变即可实现变焦成像效果，该镜头具有结构轻便、体积小等优点。但是，还存在以下问题：首先，该专利的镜头驱动器是由第一介电弹性体膜和第二介电弹性体膜粘合制备得到的，即其采用了两层介电弹性体膜粘合成的镜头驱动器，当柔性电极接通电源后，存在第一介电弹性体膜1上柔性电极5区域面积和第二介电弹性体膜2上柔性电极5区域面积变大不一致的情况。其次，第一介电弹性体膜和第二介电弹性体膜上的凹槽是软塑料水瓶手工抽吸得到的，一是不能保证两个凹槽体积大小相同，二是费事费力，效率低。上述两因素均会导致其制得的可变焦腔型镜头在使用时，出现变焦成像效果差，成像不清晰、变形的问题。

发明内容

针对现有技术存在的不足，本发明所要解决的技术问题是，提供一种可实现变焦成像效果好，机电性能高，响应速度快，使用寿命长，自动化程度高，效率高的基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜及其制备方法。

本发明为实现上述目的采用的技术方案是：一种基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜，包括透镜本体，所述介电弹性体驱动器包括沿透镜本体周向设置的用于通过控制透镜本体的曲率半径来调节透镜焦距的介电弹性体环形膜，设置于介电弹性体环形膜上下两表面的柔性电极，以及在预拉伸后的介电弹性体环形膜的上下两表面沿介电弹性体环形膜边缘对称设置的用于固定、支撑的环形框架；所述透镜本体包括设置于介电弹性体环形膜中心位置且与介电弹性体环形膜一体固化成型的下层透明硅橡胶膜体，所述下层透明硅橡胶膜体通过真空抽吸装置形成有向上开口的半球形空腔，所述半球形空腔内填充有透明液体介质，在所述透明液体介质的上方设置有用于对透明液体介质进行覆盖密封的上层透明硅橡胶膜体。

上述的基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜，所述介电弹性体环形膜的材料为硅橡胶墨水，所述硅橡胶墨水的配置如下：先将铜酞菁粒子加入到正庚烷中，超声分散5-8分钟，然后将两种组分硅橡胶以1:1的重量百分比混合，并溶解在铜酞菁-正庚烷混合体系中，得到硅橡胶质量分数为30％、铜酞菁质量分数为3％的硅橡胶墨水。

上述的基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜，所述真空抽吸装置包括中间带有圆孔的吸盘，在吸盘的下方设置有支撑架体，所述支撑架体上设置有真空吸嘴，所述圆孔、支撑架体、真空吸嘴均连通设置。

上述的基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜，所述柔性电极涂覆于半球形空腔***至环形框架的环形部分内侧。

上述的基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜，所述上层透明硅橡胶膜体、下层透明硅橡胶膜体均由透明硅橡胶溶液通过电喷印技术打印制备得到，所述透明液体介质包括硅树脂；所述透明硅橡胶溶液的配置：将两种组分硅橡胶以1:1的重量比混合，然后溶解在正庚烷中，从而制得质量分数为30％的透明硅橡胶溶液。

一种制备基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜的方法，包括如下步骤：

(1)将铜酞菁粒子分散到正庚烷中并超声处理，得到铜酞菁-正庚烷混合物，然后将所述混合物加入到双组分硅橡胶溶液中，搅拌，得到硅橡胶墨水，备用；

(2)采用电喷印技术，先打印得到下层透明硅橡胶膜体，然后利用步骤(1)得到的硅橡胶墨水沿下层透明硅橡胶膜体周向打印得到介电弹性体环形膜，然后移至烘箱，烘干固化，得到介电弹性体；

(3)将步骤(2)得到的介电弹性体放置于吸盘上，在真空的作用下，介电弹性体中心位置的下层透明硅橡胶膜体形成开口向上的半球形空腔，然后向半球形空腔中滴加透明液体介质，最后再用上层透明硅橡胶膜体覆盖在半球形空腔上，对透明液体介质进行封装；

(4)在步骤(3)得到的介电弹性体的介电弹性体环形膜上方再次打印一层介电弹性体环形膜层，然后在100-120℃温度下加热，使介电弹性体环形膜固化；

(5)采用等轴拉伸装置将步骤(4)得到的介电弹性体进行预拉伸，然后采用两个环形框架作为支撑，对预拉伸的介电弹性体进行固定，得到预拉伸透镜体；

(6)使用塑料喷嘴，沿着设定的轨迹将柔性电极打印在预拉伸透镜体上，预拉伸透镜体的上下两面都按照相同的工艺重复打印柔性电极，最后得到焦距可调式透镜，在打印柔性电极的过程中不再开启电压。

上述的基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜的制备方法，在所述步骤(1)中，超声处理时间为5-8min，搅拌的方式为磁力搅拌，搅拌时间为10-15min。

上述的基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜的制备方法，在所述步骤(2)中，烘箱的温度设置为100-120℃，烘干时间为1-2h，直至介电弹性体环形膜完全固化。

上述的基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜的制备方法，在步骤(3)中，所述上层透明硅橡胶膜体的直径大于半球形空腔的直径设置，所述上层透明硅橡胶膜体也是采用电喷印技术打印制备得到。

上述的基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜的制备方法，所述介电弹性体的预拉伸倍数为1.8-2.5倍。

本发明基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜及其制备方法的有益效果是：首先，本发明首次采用电喷印技术，将一透明且可拉伸的弹性体球面作为透镜本体，以及一介电弹性体环形膜作为驱动器，实现两结构的复合，而且在制备复合时不会影响焦距可调式透镜整体结构的均匀性，并避免了缺陷的形成。最终制得具有高介电常数，高透明性和高机电性能的介电弹性体驱动的焦距可调式透镜。其次，现通过将介电弹性体环形膜与下层透明硅橡胶膜体一体固化成型，然后再利用真空抽吸装置向下抽吸下层透明硅橡胶膜体，形成开口向上的半球形空腔，再进行填充透明液体介质，最后打印一层上层透明硅橡胶膜体密封。半球形空腔的形成不仅简单，且保证了透镜本体成型质量，变焦成像效果好。然后通过采用电喷印技术打印自动化程度，效率高。第三，将具有高介电常数的铜酞菁粒子，以及用于调节粘稠度的正庚烷加入到双组分硅橡胶溶液中，制备硅橡胶墨水，使得制备得到的介电弹性体驱动器机电性能高，响应速度快；铜酞菁粒子的加入提高了介电常数，使得响应速度大大提高，且正庚烷的加入使得下层透明硅橡胶膜体不与介电弹性体环形膜之间相互扩散，使制备得到的透镜整体透明性好。然后，通过采用透明的纯硅橡胶溶液制备上层透明硅橡胶膜体、下层透明硅橡胶膜体来封装透镜，也使得到的透镜本体的透明性好。

本发明能够可实现变焦成像效果好，机电性能高，响应速度快，使用寿命长，自动化程度高，制备效率高，流程简单，成本低，值得被广泛推广应用。

附图说明

图1为实施例1透镜不施加电压时，介电弹性体驱动器示意图；

图2为实施例1透镜施加电压时，介电弹性体驱动器扩展示意图；

图3为介电弹性体驱动器柔性电机打印示意图；

图4为A-A部剖视结构示意图；

图5为半球形空腔形成示意图；

图6为介电弹性体环形膜层的打印示意图；

图7为介电弹性体进行预拉伸示意图；

图8为焦距可调式透镜的实物图。

具体实施方式

下面结合附图及具体实施例对本发明做进一步详细说明；

实施例1

如图1、2、3、4、5、6、7、8所示，一种基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜，包括透镜本体11，介电弹性体驱动器包括沿透镜本体11周向设置的用于通过控制透镜本体11的曲率半径来调节透镜焦距的介电弹性体环形膜1，设置于介电弹性体环形膜1上下两表面的柔性电极2，以及在预拉伸后的介电弹性体环形膜1的上下两表面沿介电弹性体环形膜1边缘对称设置的用于固定、支撑的环形框架3。其中，电极材料可以为石墨粉、碳纳米管、纳米银，本实施例中柔性电极采用导电碳脂，环形框架3的材质为有机玻璃，环形框架3通过粘贴的方式固定在介电弹性体环形膜上。

透镜本体包括设置于介电弹性体环形膜1中心位置且与介电弹性体环形膜1一体固化成型的下层透明硅橡胶膜体4，下层透明硅橡胶膜体通过真空抽吸装置形成有向上开口的半球形空腔13，半球形空腔13内填充有透明液体介质5，在透明液体介质的上方设置有用于对透明液体介质进行覆盖密封的上层透明硅橡胶膜体6。本实施例中透明液体介质采用硅树脂，将柔性电极2涂覆于半球形空腔***至环形框架3的环形部分内侧。

为了提高介电弹性体环形膜的介电常数，透明性以及机电性能，本实施例中的介电弹性体环形膜的材料为硅橡胶墨水，其中，硅橡胶墨水的配置如下：先将铜酞菁粒子加入到正庚烷中，超声分散5分钟，然后将两种组分硅橡胶以1:1的重量百分比混合，并溶解在铜酞菁-正庚烷混合体系中，得到硅橡胶质量分数为30％、铜酞菁质量分数为3％的硅橡胶墨水。

通过采用真空抽吸装置，可保证半球形空腔的形成质量，成形效率高，具体的本实施例中的真空抽吸装置包括中间带有圆孔7的吸盘8，在吸盘8的下方设置有支撑架体9，所述支撑架体9上设置有真空吸嘴10，圆孔7、支撑架体9、真空吸嘴10均连通设置，以便采用现有抽吸工具将下层透明硅橡胶膜体4向下抽吸，以形成半球形空腔。

上层透明硅橡胶膜体6、下层透明硅橡胶膜体4均由透明硅橡胶溶液通过电喷印技术打印制备得到。透明硅橡胶溶液的配置：将两种组分硅橡胶以1:1的重量比混合，然后溶解在正庚烷中，从而制得质量分数为30％的透明硅橡胶溶液。

一种制备基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜的方法，包括如下步骤：

(1)将铜酞菁粒子分散到正庚烷中并超声处理，得到铜酞菁-正庚烷混合物，然后将所述混合物加入到双组分硅橡胶溶液中，搅拌，得到硅橡胶墨水，备用；其中，超声处理时间为5min，搅拌的方式为磁力搅拌，搅拌时间为10min。

(2)采用电喷印技术，先打印得到下层透明硅橡胶膜体，然后利用步骤(1)得到的硅橡胶墨水沿下层透明硅橡胶膜体周向打印得到介电弹性体环形膜，然后移至烘箱，烘干固化，得到介电弹性体；将烘箱的温度设置为120℃，烘干时间为1h，直至介电弹性体环形膜完全固化。

(3)将步骤(2)得到的介电弹性体放置于吸盘上，在真空的作用下，介电弹性体中心位置的下层透明硅橡胶膜体形成开口向上的半球形空腔，然后向半球形空腔中滴加透明液体介质，最后再用上层透明硅橡胶膜体覆盖在半球形空腔上，对透明液体介质进行封装；为了保证质量，将上层透明硅橡胶膜体的直径大于半球形空腔的直径设置。本实施例中上层透明硅橡胶膜体也是采用电喷印技术打印制备得到。

(4)在步骤(3)得到的介电弹性体的介电弹性体环形膜上方再次打印一层介电弹性体环形膜层12，然后在120℃温度下加热，使介电弹性体环形膜固化。

(5)采用等轴拉伸装置将步骤(4)得到的介电弹性体进行预拉伸，然后采用两个环形框架作为支撑，对预拉伸的介电弹性体进行固定，得到预拉伸透镜体；其中，介电弹性体的预拉伸倍数为1.8倍。

(6)使用塑料喷嘴，沿着设定的轨迹将柔性电极打印在预拉伸透镜体上，预拉伸透镜体的上下两面都按照相同的工艺重复打印柔性电极，最后得到焦距可调式透镜，在打印柔性电极的过程中不再开启电压。

电流体动力喷墨打印(电喷印)是一种引人注目的高分辨率(低至100nm)直写技术，该技术是借助电场力的作用将喷头中挤出的液滴牵伸成极细的射流，从而可以将墨水精确打印在基材上。该技术制造效率高，不需要模具，可以采用编程方式创建复杂的结构，而且它还不受材料参数(例如粘度，表面张力)的制约，即便是打印含有较高浓度粒子的复合材料，也不会堵塞喷头。因此，可用于制造具有各种形状和尺寸的聚合物复合材料，同时也可以用来制备混合结构焦距可调节透镜，打印精度高。

本发明制备方法制得的透镜是将透镜本体与介电弹性体驱动器复合在一起，而且还保证了制备过程中不影响透镜整体结构的均匀性。而采用原始的手工复合很难不产生透明性差等缺陷，因此采用自动化程度高的增材制备技术更具有优势。原始的喷墨打印制备技术虽然具有自动化程度高，制备效率高且可以通过编程的方式制备具有复杂结构的膜材料。但是，该技术会被材料的参数，如粘度，表面张力等因素限制。因此，也不适合于制备混合结构透镜。本发明通过在传统的电喷印上添加超声装置制备混合结构透镜，该技术在具有原始喷墨打印各项优点的基础上，还具有不受材料参数制约，不易堵塞喷头等优势。采用电喷印技术可以成功复合上述混合结构透镜的两个组件，同时能够保证制备过程中无缺陷。此外，相比于原始的手工复合，该技术自动化程度高，效率高。

本发明制得的焦距可调式透镜可以在景深3D成像、变焦成像、机器人视觉***、仿生医学中进行应用。

实施例2

一种制备基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜的方法，包括如下步骤：

(1)将铜酞菁粒子分散到正庚烷中并超声处理，得到铜酞菁-正庚烷混合物，然后将所述混合物加入到双组分硅橡胶溶液中，搅拌，得到硅橡胶墨水，备用；其中，超声处理时间为6min，搅拌的方式为磁力搅拌，搅拌时间为12min。

(2)采用电喷印技术，先打印得到下层透明硅橡胶膜体，然后利用步骤(1)得到的硅橡胶墨水沿下层透明硅橡胶膜体周向打印得到介电弹性体环形膜，然后移至烘箱，烘干固化，得到介电弹性体；将烘箱的温度设置为110℃，烘干时间为1.5h，直至介电弹性体环形膜完全固化。

(3)将步骤(2)得到的介电弹性体放置于吸盘上，在真空的作用下，介电弹性体中心位置的下层透明硅橡胶膜体形成开口向上的半球形空腔，然后向半球形空腔中滴加透明液体介质，最后再用上层透明硅橡胶膜体覆盖在半球形空腔上，对透明液体介质进行封装；为了保证质量，将上层透明硅橡胶膜体的直径大于半球形空腔的直径设置。本实施例中上层透明硅橡胶膜体也是采用电喷印技术打印制备得到。

(4)在步骤(3)得到的介电弹性体的介电弹性体环形膜上方再次打印一层介电弹性体环形膜层12，然后在110℃温度下加热，使介电弹性体环形膜固化。

(5)采用等轴拉伸装置将步骤(4)得到的介电弹性体进行预拉伸，然后采用两个环形框架作为支撑，对预拉伸的介电弹性体进行固定，得到预拉伸透镜体；其中，介电弹性体的预拉伸倍数为2倍。

(6)使用塑料喷嘴，沿着设定的轨迹将柔性电极打印在预拉伸透镜体上，预拉伸透镜体的上下两面都按照相同的工艺重复打印柔性电极，最后得到焦距可调式透镜，在打印柔性电极的过程中不再开启电压。

实施例3

一种制备基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜的方法，包括如下步骤：

(1)将铜酞菁粒子分散到正庚烷中并超声处理，得到铜酞菁-正庚烷混合物，然后将所述混合物加入到双组分硅橡胶溶液中，搅拌，得到硅橡胶墨水，备用；其中，超声处理时间为8min，搅拌的方式为磁力搅拌，搅拌时间为15min。

(2)采用电喷印技术，先打印得到下层透明硅橡胶膜体，然后利用步骤(1)得到的硅橡胶墨水沿下层透明硅橡胶膜体周向打印得到介电弹性体环形膜，然后移至烘箱，烘干固化，得到介电弹性体；将烘箱的温度设置为120℃，烘干时间为1h，直至介电弹性体环形膜完全固化。

(3)将步骤(2)得到的介电弹性体放置于吸盘上，在真空的作用下，介电弹性体中心位置的下层透明硅橡胶膜体形成开口向上的半球形空腔，然后向半球形空腔中滴加透明液体介质，最后再用上层透明硅橡胶膜体覆盖在半球形空腔上，对透明液体介质进行封装；为了保证质量，将上层透明硅橡胶膜体的直径大于半球形空腔的直径设置。本实施例中上层透明硅橡胶膜体也是采用电喷印技术打印制备得到。

(4)在步骤(3)得到的介电弹性体的介电弹性体环形膜上方再次打印一层介电弹性体环形膜层12，然后在120℃温度下加热，使介电弹性体环形膜固化。

(5)采用等轴拉伸装置将步骤(4)得到的介电弹性体进行预拉伸，然后采用两个环形框架作为支撑，对预拉伸的介电弹性体进行固定，得到预拉伸透镜体；其中，介电弹性体的预拉伸倍数为2.5倍。

(6)使用塑料喷嘴，沿着设定的轨迹将柔性电极打印在预拉伸透镜体上，预拉伸透镜体的上下两面都按照相同的工艺重复打印柔性电极，最后得到焦距可调式透镜，在打印柔性电极的过程中不再开启电压。

上述实施例只是为了说明本发明的技术构思及特点，其目的是在于让本领域内的普通技术人员能够了解本发明的内容并据以实施，并不能以此限制本发明的保护范围。凡是根据本发明内容的实质所做出的等效的变化或修改，都应涵盖在本发明的保护范围内。

Claims (5)

1.一种基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)将铜酞菁粒子分散到正庚烷中并超声处理，得到铜酞菁-正庚烷混合物，然后将所述混合物加入到双组分硅橡胶溶液中，搅拌，得到硅橡胶墨水，备用；

(2)采用电喷印技术，先打印得到下层透明硅橡胶膜体，然后利用步骤(1)得到的硅橡胶墨水沿下层透明硅橡胶膜体周向打印得到介电弹性体环形膜，然后移至烘箱，烘干固化，得到介电弹性体；

(3)将步骤(2)得到的介电弹性体放置于吸盘上，在真空的作用下，介电弹性体中心位置的下层透明硅橡胶膜体形成开口向上的半球形空腔，然后向半球形空腔中滴加透明液体介质，最后再用上层透明硅橡胶膜体覆盖在半球形空腔上，对透明液体介质进行封装；

(4)在步骤(3)得到的介电弹性体的介电弹性体环形膜上方再次打印一层介电弹性体环形膜层，然后在100-120℃温度下加热，使介电弹性体环形膜固化；

(5)采用等轴拉伸装置将步骤(4)得到的介电弹性体进行预拉伸，然后采用两个环形框架作为支撑，对预拉伸的介电弹性体进行固定，得到预拉伸透镜体；

(6)使用塑料喷嘴，沿着设定的轨迹将柔性电极打印在预拉伸透镜体上，预拉伸透镜体的上下两面都按照相同的工艺重复打印柔性电极，最后得到焦距可调式透镜。

2.根据权利要求1所述的基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜的制备方法，其特征是：在所述步骤(1)中，超声处理时间为5-8min，搅拌的方式为磁力搅拌，搅拌时间为10-15min。

3.根据权利要求2所述的基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜的制备方法，其特征是：在所述步骤(2)中，烘箱的温度设置为100-120℃，烘干时间为1-2h，直至介电弹性体环形膜完全固化。

4.根据权利要求3所述的基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜的制备方法，其特征是：在步骤(3)中，所述上层透明硅橡胶膜体的直径大于半球形空腔的直径设置，所述上层透明硅橡胶膜体也是采用电喷印技术打印制备得到。

5.根据权利要求4所述的基于介电弹性体驱动器的焦距可调式透镜的制备方法，其特征是：在步骤(5)中，所述介电弹性体的预拉伸倍数为1.8-2.5倍。

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