CN112883972A - 校准方法、校准装置、校准***及计算机可读存储介质 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种校准方法、校准装置、校准***及非易失性计算机可读存储介质。校准方法包括：获取承载在运动平台上的工件的图像；识别图像中，工件的多个边缘点；基于预设的坐标轴和边缘点的坐标计算工件相对坐标轴的偏移信息；及根据偏移信息调整运动平台的运动参数，以使得工件位于预设位置，预设位置与预设的坐标轴对应。本申请实施方式的校准方法、校准装置、校准***及非易失性计算机可读存储介质中，由于预设的坐标轴是根据运动平台的中心建立的，则处理器或计算模块通过计算工件相对坐标轴的偏移信息，以使处理器或调整模块根据偏移信息调整运动平台的运动参数，从而使得工件位于预设位置，以保证工件加工的准确性。

Description

校准方法、校准装置、校准***及计算机可读存储介质

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，更具体而言，涉及一种校准方法、校准***、校准装置及非易失性计算机可读存储介质。

背景技术

在工件制造过程中，如晶圆，会经过切片、圆边、研磨、蚀刻等多道工序以加工完成。当晶圆转变工序后，晶圆在放置在下道工序时，其位置可能并不在预设的用于加工的位置，导致后续进行加工时出现偏差，影响加工效果。因此，如何保证准确的将工件放置在加工的位置是亟需解决的问题。

发明内容

本申请实施方式提供一种校准方法、校准装置、校准***及非易失性计算机可读存储介质。

本申请实施方式的校准方法包括：获取承载在运动平台上的工件的图像；识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。

本申请实施方式的校准装置包括获取模块、识别模块、计算模块及调整模块，所述获取模块用于获取承载在运动平台上的工件的图像；所述识别模块用于识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；所述计算模块基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及所述调整模块用于根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。

本申请实施方式的校准***包括运动平台、成像装置及处理器。所述运动平台用于承载工件。所述成像装置用于采集承载在所述运动平台上的所述工件的图像。所述处理器用于获取承载在所述运动平台上的所述工件的图像；识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。

本申请实施方式的校准方法、校准装置、校准***及非易失性计算机可读存储介质中，由于预设的坐标轴是根据运动平台的中心建立的，则处理器或计算模块通过计算工件相对坐标轴的偏移信息，以使处理器或调整模块根据偏移信息调整运动平台的运动参数，从而使得工件位于预设位置，以保证工件加工的准确性。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的校准方法的流程示意图；

图2是本申请某些实施方式的校准***的结构示意图；

图3是本申请某些实施方式的校准装置的结构示意图；

图4是本申请某些实施方式的校准方法的流程示意图；

图5是本申请某些实施方式的拟合图像和预设坐标系存在偏移距离的示意图；

图6是本申请某些实施方式的校准方法的流程示意图；

图7是本申请某些实施方式的拟合图像与预设的坐标系存在偏移角度的示意图；

图8是本申请某些实施方式的校准方法的流程示意图；

图9是本申请某些实施方式的拟合图像偏移和旋转后的示意图；

图10是本申请某些实施方式的校准方法的流程示意图；

图11是本申请某些实施方式的计算机可读存储介质和处理器的连接状态示意图。

具体实施方式

下面详细描述本申请的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中，相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的实施方式的限制。

请参阅图1和图2，本申请实施方式提供一种校准方法。该校准方法包括步骤：

01：获取承载在运动平台10上的工件20的图像；

03：识别图像中，工件20的多个边缘点；

05：基于预设的坐标轴和边缘点的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移信息；及

07：根据偏移信息调整运动平台10的运动参数，以使得工件20位于预设位置，预设位置与预设的坐标轴对应。

请结合图3，本申请实施方式提供一种校准装置200。校准装置200包括获取模块201、识别模块202、计算模块203和调整模块204。本申请实施方式的校准方法可应用于本申请实施方式的校准装置200。其中，获取模块201用于执行步骤01中的方法，识别模块202用于执行步骤03中的方法，计算模块203用于执行步骤05中的方法，调整模块204用于执行步骤07中的方法。即，获取模块201用于获取承载在运动平台10上的工件20的图像，识别模块202用于识别图像中，工件20的多个边缘点。计算模块203用于基于预设的坐标轴和边缘点的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移信息，调整模块204用于根据偏移信息调整运动平台10的运动参数，以使得工件20位于预设位置，预设位置与预设的坐标轴对应。

本申请实施方式还提供一种校准***100。校准***100包括运动平台10、成像装置30及处理器40。本申请实施方式的校准方法可应用于本申请实施方式的校准***100。运动平台10用于承载工件20。成像装置30用于采集承载在运动平台10上的工件20的图像。处理器40用于执行步骤01、步骤03、步骤05和步骤07中的方法。即，处理器40用于获取承载在运动平台10上的工件20的图像；识别图像中，工件20的多个边缘点；基于预设的坐标轴和边缘点的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移信息；及根据偏移信息调整运动平台10的运动参数，以使得工件20位于预设位置，预设位置与预设的坐标轴对应。

具体地，预设的坐标轴的中心为运动平台10的中心，预设的坐标轴则为以运动平台10的中心为坐标原点建立的坐标轴。工件20承载在运动平台10上，成像装置30与运动平台10相对设置，以拍摄承载在运动平台10上的工件20的图像。当成像装置30或获取模块201获取工件20的图像后，处理器40或识别模块202识别图像以获取工件20的多个边缘点，则处理器40或计算模块203可得出工件20的多个边缘点在预设的坐标轴内的坐标值，并通过多个边缘点的坐标值则可得到工件20的中心的坐标值。

例如，当工件20为圆形时，则处理器40或识别模块202可获取工件20的圆形图像上的3个边缘点，并分别记作边缘点1、边缘点2、边缘点3，处理器40或计算模块203通过边缘点1和边缘点2连线的中垂线L1，边缘点2和边缘点3连线的中垂线L2，则可得到中垂线L1和中垂线L2的交点W，则交点W为工件20的中点，处理器40或计算模块203通过计算交点W的坐标和预设的坐标轴的原点的坐标的差值，以得到差值坐标，即偏移信息。其中，差值坐标的X坐标即为工件相对预设的坐标轴的X轴的偏移值，差值坐标的Y坐标即为工件相对预设的坐标轴的Y轴的偏移值。

预设位置与预设的坐标轴对应。具体地，预设位置为预设的坐标轴上的一点，例如预设位置可以是预设的坐标轴的原点、坐标为(1，1)的点、坐标为(-1，1)的点。当预设位置为预设的坐标轴的原点时，则预设位置为预设的坐标轴的原点对应在运动平台10上的位置，即运动平台10的中心；当预设位置为预设的坐标轴上的坐标为(1，1)的点时，则预设位置为预设的坐标轴上的坐标为(1，1)的点对应在运动平台10上的位置；当预设位置为预设的坐标轴上的坐标为(-1,1)的点时，则预设位置为预设的坐标轴上坐标为(-1,1)的点对应在运动平台10上的位置。

当工件20放置到运动平台10时，需要保证工件20的待处理点位于预设位置，以保证对工件20加工的准确性。例如，预设位置为预设的坐标轴的原点，当工件20放置在运动平台10后，若工件20的待处理点未与预设的坐标轴的原点重合，则说明工件20未放置到运动平台10的预设位置。此时，处理器40或计算模块203需计算工件20的待处理点与预设的坐标系的偏移信息，以使处理器40或调整模块204调整运动平台10的运动参数，从而控制运动平台10运动，直至工件20的待处理点与预设的坐标轴的原点重合，则工件20位于预设位置，从而保证对工件20处理的准确性。

运动参数包括并不限于运动平台10的运动数值、运动方向和旋转角度等，可以理解，运动参数并不局限于具体地一个数值，而是处理器40通过偏移信息以得到的多组数据进行组合得到的集合。

其中，成像装置30可以是电荷耦合相机(Charge-coupled Device，CCD)、红外成像仪、声波成像仪等能够采集图像的成像装置30。

工件20包括但不限于为晶圆、芯片、显示屏面板、手机前盖、手机后盖、VR眼镜、AR眼镜、智能手表盖板、玻璃、透镜、木材、铁板、任何装置的壳体(例如手机壳)等元件。本申请以工件20为晶圆为例，可以理解，工件20并不局限于为晶圆一种。

目前，在工件20制造过程中，如晶圆，会经过切片、圆边、研磨、蚀刻等多道工序以加工完成。然而，当工件20转变工序时，工件20的位置往往不能位于预设的用于加工位置，从而导致后续工序操作出现误差或是工件20报废的情况。

在本申请实施方式的校准方法、校准装置200和校准***100中，由于预设的坐标轴是根据运动平台10的中心建立的，则处理器40或计算模块203通过计算工件相对坐标轴的偏移信息，以使处理器40或调整模块204根据偏移信息调整运动平台20的运动参数，从而使得工件40位于预设位置，以保证处理工件40的准确性。

请参阅图4，在某些实施方式中，05：基于预设的坐标轴和边缘点的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移信息，包括步骤：

051：根据多个边缘点的坐标绘制拟合图形50；

053：根据拟合图形50获取拟合图形50的特征点；及

055：基于预设的坐标轴和特征点的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移信息。

请结合图3，在某些实施方式中，计算模块203用于执行步骤051、步骤053和步骤055中的方法。即计算模块203用于根据多个边缘点的坐标绘制拟合图形50；根据拟合图形50获取拟合图形50的特征点；及基于预设的坐标轴和特征点的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移信息。

请结合图2，在某些实施方式中，处理器40用于执行步骤051、步骤053和步骤055中的方法。即处理器40用于根据多个边缘点的坐标绘制拟合图形50；根据拟合图形50获取拟合图形50的特征点；及基于预设的坐标轴和特征点的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移信息。

具体地，特征点可以是拟合图形50的中心，特征点还可以是拟合图形50的角点。例如，当拟合图形50是圆形时，则特征点可以是拟合图形50的圆心。又例如，当拟合图像为矩形时，则特征点可以是拟合图形50的中心，特征点还可以是矩形的四个角点的任意一个角点。需要说明的是，拟合图形50的特征点，即为工件20的特征点。

请参阅图5，当工件20是晶圆时，则处理器40或识别模块202需要识别工件20的图像以得到工件20上至少3个边缘点，即P点、Q点和M点，处理器40或计算模块203则可通过3个边缘点的坐标绘制拟合圆，并通过P点和Q点的连线的中垂线PQ，Q点和M点的连线的中垂线QM，从而得到中垂线PQ和中垂线QM的交点，此交点即为拟合图形50的圆心N点，即拟合图形50的特征点。

当处理器40或计算模块203获取拟合图形50的特征点的坐标后，处理器40或计算模块203则可通过特征点的坐标与预设的坐标轴，从而计算工件20相对坐标轴的偏移信息。

其中，偏移信息还与预设位置的坐标有关，例如，当拟合图形50的特征点坐标为(2，2)时，若预设位置的坐标为(1，1)，则说明工件20在预设的坐标轴上，同时向X轴和Y轴的正方向偏移了1个单位，则处理器40或调整模块204需要调整运动平台10的运动参数，以使得工件20位于预设位置，从而保证处理工件20的准确性。

本申请实施方式的校准方法、校准装置200和校准***100中，处理器40可根据多个拟合点以得到拟合图形50，从而得到拟合图形50的特征点的坐标，以计算得出工件20上坐标轴上具体偏移的数值，以便于确定需要调整运动平台10的运动参数。

请参阅图6，在某些实施方式中，偏移信息包括偏移距离，特征点包括拟合图形50的中心，055：基于预设的坐标轴和特征点的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移信息，包括步骤：

0551：基于预设的坐标轴的原点的坐标与中心的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移距离。

请结合图3，在某些实施方式中，计算模块203用于步骤0551中的方法，即计算模块203用于基于预设的坐标轴的原点的坐标与中心的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移距离。

请结合图2，在某些实施方式中，处理器40用于执行步骤0511中的方法，即处理器40用于基于预设的坐标轴的原点的坐标与中心的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移距离。

请参阅图5，偏移信息包括偏移距离，当特征点为拟合图形50的中心时，处理器40或计算模块203则可通过P点、Q点和M点以绘制拟合圆，从而得到拟合圆的圆心N点，即拟合图形50的特征点。处理器40或计算模块203则可通过计算拟合圆的圆心N点的坐标和预设的坐标轴的原点O的差值，从而得出工件20相对预设的坐标轴的偏移坐标，并通过偏移坐标从而得出偏移距离。

例如，当圆心N点的坐标为(-6，8)时，则原点O的坐标与圆心N点的坐标的差值坐标(6，-8)，则说明工件20相对预设的坐标轴在X坐标轴的方向上的偏移距离为6，工件20相对预设的坐标轴在Y坐标轴的方向上的偏移距离为-8，其中，偏移距离的正负表示移动方向，偏移距离为正数，表示向X坐标轴正方向移动，偏移距离为负数，表示向X坐标轴负方向移动，处理器40则可调整运动平台10的运动参数，以使圆心N点运动至原点O处(如图7所示)，使得工件20位于预设位置，从而保证处理工件20的准确性。

在一个实施方式中，当运动平台10运动时，运动平台10会带动工件20运动，当运动平台10将特征点运动至预设的坐标轴的原点时，工件20的特征点只是与预设的坐标轴的原点重合，而实际工件20的特征点并未与运动平台10的中心重合，且当运动平台10带动工件20运动以使特征点运动至预设的坐标轴原点时，则表明工件20位于预设位置。

在另一个实施方式中，运动平台20可控制工件20在运动平台10的表面运动，当处理器40控制工件20运动以将特征点运动至预设的坐标轴的原点时，则工件20的特征点与预设的坐标轴的原点、及运动平台10的中心同时重合，则表明工件20运动至预设位置。

本申请实施方式的校准方法、校准装置200和校准***100中，处理器40或计算模块203通过拟合图形50的中心坐标与预设的坐标轴的原点坐标，从而得到工件20相对预定的坐标轴的X轴的偏移距离及Y轴的偏移距离，以使处理器40或调整模块204可调整偏移距离以使工件20位于预设位置，从而保证处理工件20的准确性。

请参阅图8，在某些实施方式中，偏移信息包括偏移角度，特征点包括拟合图形50的中心和拟合图形50的标识点，055：基于预设的坐标轴和特征点的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移信息，包括步骤：

0553：根据中心的坐标及标识点的坐标，计算中心与标识点的连线相对预设的坐标轴的纵轴的夹角；及

0555：根据夹角、中心的坐标及标识点的坐标计算偏转角度。

请结合图3，在某些实施方式中，计算模块203用于执行步骤0553和步骤0555中的方法，即计算模块203用于根据中心的坐标及标识点的坐标，计算中心与标识点的连线相对预设的坐标轴的纵轴的夹角；及根据夹角、中心的坐标及标识点的坐标计算偏转角度。

请结合图2，处理器40用于执行步骤0553和步骤0555中的方法，即处理器40用于根据中心的坐标及标识点的坐标，计算中心与标识点的连线相对预设的坐标轴的纵轴的夹角；及根据夹角、中心的坐标及标识点的坐标计算偏转角度。

请参阅图7，工件20在放置到运动平台10后，工件20的放置方向也会出现偏移，因此，工件20开设有标识缺口21，当处理器40或计算模块203根据拟合图形50获取标识点时，则可通过拟合图形50上对应标识缺口21的多个边缘点从而确定标识点。例如，处理器40或计算模块203根据多个边缘点中任意两个边缘点的中点作为标识点，或处理器40根据多个边缘点中任意一个边缘点作为标识点。

其中，当工件20位于预设位置时，则标识点位于预设的坐标轴的纵轴对应在运动平台10的位置上，例如，当工件20位于预设位置时，标识点在预设的坐标轴上的坐标为(0，5)，则标识点位于坐标(0，5)对应在运动平台10的位置。

如图7所示，标识缺口21对应的多个边缘点分别为A点、B点和C点，拟合图形50的中心为N点。则标识点可以是A点、B点或C点，标识点还可以是A点和C点连线的中点，即D点。在一个实施方式中，以标识点为B点为例，处理器40或计算模块203可通过N点的坐标与B点的坐标，从而计算N点与B点的连线与预设的坐标轴的纵轴的夹角。例如，N点的坐标为(0，0)，B点的坐标为(-2，2)，若工件20位于预设位置时，标识点需要位于预设的坐标轴的Y轴的正半轴，由于在N点的坐标与B点的坐标中，X坐标的差值的绝对值与Y坐标的差值的绝对值相同，则可得到N点和B点连线相对预设的坐标轴的纵轴的夹角为45度。处理器40根据夹角、中点的坐标和B点的坐标即可计算偏转角度。由于，工件20位于预设位置时，标识点B点需在预设的坐标轴的Y轴的正半轴，而标识点B点的坐标为(-2，2)，则需要顺时针旋转以使标识点B点位于坐标轴的Y轴的正半轴，则偏转角度为45度。若夹角为45度，而标识点B点的坐标为(2，-2)时，则需要逆时针旋转以使标识点B点位于坐标轴的Y轴的正半轴，则偏转角度为-135度。偏转角度的正负与旋转方向对应，偏转角度为正时，旋转方向为顺时针方向，偏转角度为负时，旋转方向为逆时针方向。

在另一个实施方式中，以标识点为D点为例，处理器40或计算模块203可通过D点的坐标与N点的坐标，从而确定D点与N点的连线相对预设的坐标轴的纵轴的夹角。例如，A点的坐标为(-2，4)，B点的坐标为(-4，2)，则D点的坐标(-3，3)，而N点坐标为(0，0)，由于在N点的坐标与D点的坐标中，X坐标的差值的绝对值与Y坐标的差值的绝对值相同，则可得到N点和B点连线相对预设的坐标轴的纵轴的夹角为45度。同样地，处理器40或计算模块203根据夹角、N点的坐标、及D点的坐标即可计算偏转角度，处理器40或调整模块204则可根据偏转角度以调整运动平台10，以使工件20旋转，从而保证处理工件20的准确性。

在一个实施方式中，运动平台10旋转可带动工件20旋转，以使标识点位于预设的坐标轴的纵轴对应的运动平台10的位置上，从而保证工件20的放置角度准确。在另一个实施方式中，运动平台10可控制工件20在运动平台10的表面旋转，以使标识点位于预设的坐标轴的纵轴对应的运动平台10的位置上，以保证工件20的放置角度准确。

在本申请实施方式的校准方法、校准装置200和校准***100中，处理器40或甲酸模块203根据拟合图形50的中心的坐标、标识点的坐标及夹角以计算偏转角度，从而确定工件20的偏转角度，以便于运动平台10将工件20旋转，以使工件20放置角度准确，从而保证处理工件20的准确性。

请参阅图10，在某些实施方式中，偏移信息包括偏移距离和偏移角度，运动参数包括运动坐标和旋转角度，07：根据偏移信息调整运动平台10的运动参数，以使得工件20位于预设位置，预设位置与预设的坐标轴对应，包括步骤：

071：根据偏移距离及预设的坐标轴的原点坐标计算运动坐标；及

073：根据偏移角度计算旋转角度。

请结合图3，在某些实施方式中，调整模块204用于执行步骤071和步骤073，即调整模块204用于根据偏移距离和预设的坐标轴的原点坐标计算运动坐标；及根据偏移角度计算旋转角度。

请结合图2，处理器40用于执行步骤071和步骤073中的方法，即处理器40用于根据偏移距离和预设的坐标轴的原点坐标计算运动坐标；及根据偏移角度计算旋转角度。

运动参数包括运动坐标和旋转角度。其中，运动坐标为运动平台10需要移动的坐标，旋转角度为运动平台10需要旋转的角度。当处理器40计算得出偏移距离和偏移角度后，处理器40或调整装置204则可根据偏移距离和偏移角度调整运动平台10的运动参数，从而控制运动平台10运动，以使工件20位于预设位置。

具体地，处理器40或计算模块203可根据特征点的坐标和预设的坐标轴从而计算工件20相对坐标轴的偏移距离，处理器40或调整装置204则可通过偏移距离从而计算运动平台10的运动坐标。例如，当特征点的坐标为(5，-5)时，若预设位置的坐标为(1，-1)，则说明工件20相对预设的坐标轴在X坐标轴的方向上的偏移距离为-4，工件20相对预设的坐标轴在Y坐标轴方向上的偏移距离为4。若成像装置30拍摄的工件20的图像尺寸0.1mm，则表示工件20的图像中每个像素在实际场景中对应的长度为0.1mm，则实际场景中，运动平台10需要沿X坐标轴负方向移动0.4mm，沿Y坐标轴正方向移动0.4mm，即可使得工件20的特征点和预设位置重合，从而完成工件20的校准。

处理器40还可根据偏移角度计算旋转角度。例如，将偏移角度作为旋转角度，若偏移角度为45度时，则说明运动平台10需沿顺时针方向旋转45度，当偏转角度为-45度时，则运动平台10的旋转角度为-45度，则说明运动平台10需沿逆时针方向旋转45度，以使工件20位于预设位置时，标识点位于预设的坐标轴的纵轴对应在运动平台10的位置上，从而保证工件20的放置角度准确。

在本申请实施方式的校准方法、校准装置200和校准***100中，处理器40根据偏移距离和偏移角度，从而调整运动平台10的运动坐标和旋转角度，以使运动平台10运动并旋转以带动工件20运动并旋转，以保证工件20位于预设位置且放置角度准确，从而保证加工工件20的准确性。

请参阅图10，本申请实施方式还提供一种包含计算机程序301的非易失性拟计算机可读存储介质300。当计算机程序301被一个或多个处理器40执行时，使得一个或多个处理器40执行上述任一实施方式的校准方法。

例如，计算机程序301被一个或多个处理器40执行时，使得处理器40执行以下校准方法：

01：获取承载在运动平台10上的工件20的图像；

03：识别图像中，工件20的多个边缘点；

05：基于预设的坐标轴和边缘点的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移信息；及

07：根据偏移信息调整运动平台10的运动参数，以使得工件20位于预设位置，预设位置与预设的坐标轴对应。

又例如，计算机程序301被一个或多个处理器40执行时，使得处理器40执行以下校准方法：

051：根据多个边缘点的坐标绘制拟合图形50；

053：根据拟合图形50获取拟合图形50的特征点；及

055：基于预设的坐标轴和特征点的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移信息。

又例如，计算机程序301被一个或多个处理器40执行时，使得处理器40执行以下校准方法：

0551：基于预设的坐标轴的原点的坐标与中心的坐标计算工件20相对坐标轴的偏移距离。

再例如，计算机程序301被一个或多个处理器40执行时，使得处理器40执行以下校准方法：

0553：根据中心的坐标及标识点的坐标，计算中心与标识点的连线相对预设的坐标轴的纵轴的夹角；及

0555：根据夹角、中心的坐标及标识点的坐标计算偏转角度。

还例如，计算机程序301被一个或多个处理器40执行时，使得处理器40执行以下校准方法：

071：根据偏移距离和预设的坐标轴的原点坐标计算运动坐标；及

073：根据偏移角度计算旋转角度。

在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个例子中”、“示例地”等的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本申请的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本申请的实施例所属技术领域的技术人员所理解。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施方式，可以理解的是，上述实施方式是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施方式进行变化、修改、替换和变型。

Claims (15)

1.一种校准方法，其特征在于，包括：

获取承载在运动平台上的工件的图像；

识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；

基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及

根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。

2.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，所述基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息，包括：

根据多个所述边缘点的坐标绘制拟合图形；

根据所述拟合图形获取所述拟合图形的特征点；及

基于预设的所述坐标轴和所述特征点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息。

3.根据权利要求2所述的校准方法，其特征在于，所述偏移信息包括偏移距离，所述特征点包括所述拟合图形的中心，所述基于预设的所述坐标轴和所述特征点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息，包括：

基于预设的所述坐标轴的原点的坐标与所述中心的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的所述偏移距离。

4.根据权利要求2所述的校准方法，其特征在于，所述偏移信息包括偏移角度，所述特征点包括所述拟合图形的中心和所述拟合图形的标识点，所述基于预设的所述坐标轴和所述特征点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息，包括：

根据所述中心的坐标及所述标识点的坐标，计算所述中心与所述标识点的连线相对所述预设的坐标轴的纵轴的夹角；及

根据所述夹角、所述中心的坐标及所述标识点的坐标计算所述偏转角度。

5.根据权利要求4所述的校准方法，其特征在于，所述工件包括标识缺口，所述标识点根据所述标识缺口对应的多个边缘点确定。

6.根据权利要求1或2所述的校准方法，其特征在于，所述偏移信息包括偏移距离和偏移角度，所述运动参数包括运动坐标和旋转角度，所述根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，包括：

根据所述偏移距离和所述预设的坐标轴的原点坐标计算所述运动坐标；及

根据所述偏移角度计算所述旋转角度。

7.一种校准装置，其特征在于，包括：

获取模块，所述获取模块用于获取承载在运动平台上的工件的图像；

识别模块，所述识别模块用于识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；

计算模块，所述计算模块基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及

调整模块，所述调整模块用于根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。

8.一种校准***，其特征在于，包括：

运动平台，所述运动平台用于承载工件；

成像装置，所述成像装置用于采集承载在所述运动平台上的所述工件的图像；

处理器，所述处理器用于：获取承载在所述运动平台上的所述工件的图像；识别所述图像中，所述工件的多个边缘点；基于预设的坐标轴和所述边缘点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息；及根据所述偏移信息调整所述运动平台的运动参数，以使得所述工件位于预设位置，所述预设位置与所述预设的坐标轴对应。

9.根据权利要求8所述的校准***，其特征在于，所述成像装置包括电荷耦合相机、红外成像仪及声波成像仪。

10.根据权利要求8所述的校准***，其特征在于，所述处理器用于：

根据多个所述边缘点的坐标绘制拟合图形；

根据所述拟合图形获取所述拟合图形的特征点；及

基于预设的所述坐标轴和所述特征点的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的偏移信息。

11.根据权利要求10所述的校准***，其特征在于，所述偏移信息包括偏移距离，所述特征点包括所述拟合图形的中心，所述处理器用于：

基于预设的所述坐标轴的原点的坐标与所述中心的坐标计算所述工件相对所述坐标轴的所述偏移距离。

12.根据权利要求10所述的校准***，其特征在于，所述偏移信息包括偏移角度，所述特征点包括所述拟合图形的中心和所述拟合图形的标识点，所述处理器用于：

根据所述中心的坐标及所述标识点的坐标，计算所述中心与所述标识点的连线相对所述预设的坐标轴的纵轴的夹角；及

根据所述夹角、所述中心的坐标及所述标识点的坐标计算所述偏转角度。

13.根据权利要求12所述的校准***，其特征在于，所述工件包括标识缺口，所述标识点根据所述标识缺口对应的多个边缘点确定。

14.根据权利要求8或10所述的校准***，其特征在于，所述偏移信息包括偏移距离和偏移角度，所述运动参数包括运动坐标和旋转角度，所述处理器用于：

根据所述偏移距离和所述预设的坐标轴的原点坐标计算所述运动坐标；及

根据所述偏移角度计算所述旋转角度。

15.一种存储有计算机程序的非易失性计算机可读存储介质，当所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，使得所述处理器执行权利要求1至6任意一项所述的校准方法。

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