CN112830670A - 一种石英玻璃管棒生产炉及石英玻璃管棒的生产方法 - Google Patents

一种石英玻璃管棒生产炉及石英玻璃管棒的生产方法 Download PDF

Info

Publication number
CN112830670A
CN112830670A CN202110084062.5A CN202110084062A CN112830670A CN 112830670 A CN112830670 A CN 112830670A CN 202110084062 A CN202110084062 A CN 202110084062A CN 112830670 A CN112830670 A CN 112830670A
Authority
CN
China
Prior art keywords
quartz
furnace
glass tube
base material
tube rod
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN202110084062.5A
Other languages
English (en)
Inventor
陈富伦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Priority to CN202110084062.5A priority Critical patent/CN112830670A/zh
Publication of CN112830670A publication Critical patent/CN112830670A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B23/00—Re-forming shaped glass
    • C03B23/04—Re-forming tubes or rods
    • C03B23/047—Re-forming tubes or rods by drawing
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B20/00—Processes specially adapted for the production of quartz or fused silica articles, not otherwise provided for
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B23/00—Re-forming shaped glass
    • C03B23/04—Re-forming tubes or rods
    • C03B23/043—Heating devices specially adapted for re-forming tubes or rods in general, e.g. burners

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)

Abstract

本发明提供了一种石英玻璃管棒生产炉及石英玻璃管棒的生产方法，该生产炉包括：石英熔炉，石英熔炉上方安装有升降装置；母材固定组件，能够在与石英母材连接后，被安装到升降装置上，以将石英母材吊装在石英熔炉上方，母材固定组件包括能够根据待连接的石英母材规格进行更换的可更换连接件；承接机构，位于石英熔炉下方，用于承接由石英熔炉输出的石英玻璃管棒并将石英玻璃管棒缓慢匀速拉出；中心定位***，安装在石英熔炉下方，用于对成型的石英玻璃管棒进行定位。该种结构，通过更换可更换连接件，可实现多品种的石英玻璃管棒生产。而石英母材与坩埚不接触既使得石英熔炉可以间断、小批量生产，又提高了石英玻璃管棒的纯度和性能。

Description

一种石英玻璃管棒生产炉及石英玻璃管棒的生产方法
技术领域
本发明涉及石英玻璃管棒生产领域，更具体地，涉及一种石英玻璃管棒生产炉及石英玻璃管棒的生产方法。
背景技术
现有半导体、光纤用石英玻璃管棒等石英玻璃管棒的需求量相对于普通光源用石英玻璃产品的需求量少但规格品种多，且产品外径、壁厚规格的跨度范围大，利用现行生产用连熔炉生产时存在以下问题：炉内使用的金属坩埚、料台及成型装置在生产过程中，会与生产石英的原材料直接接触，因此，通过原材料拉制的产品存在金属污染，不能满足高端光源、半导体、光纤等产品纯度指标的需求。同时，现有的连熔炉在生产石英玻璃管棒时，石英原料与炉体直接接触，为了避免炉体对石英原料的污染，因而在连熔炉每次停止生产后，都需要花费大量的人力物力对连熔炉进行大工作量的清洗和维护，因此，连熔炉每停止一次，所需的成本都非常巨大，而为了避免因间断生产带来的成本，都要求现有的连熔炉连续，不间断生产，但现有半导体、光纤用石英玻璃管棒的产品需求量少，外径、壁厚规格的跨度范围大，并不适合通过现有的连熔炉生产方法进行长时间的连续生产。同时，现有的连熔炉生产不同类型的多种规格产品及类型需要用至多台连熔炉，难以做到多种产品兼容生产，造成转型过渡生产浪费大，且部分规格为熔炉的极限规格，生产的产品公差难以控制。
因此，如何设计出一种不要求连续生产，金属污染少且能够生产多种规格的石英玻璃管棒的生产方法及对应的***就成为目前亟待解决的问题。
发明内容
为解决上述背景技术中提出的技术问题，根据本发明的实施例，提供了一种石英玻璃管棒生产炉及石英玻璃管棒的生产方法。
本发明的第一方面提出了一种石英玻璃管棒生产炉，包括：
石英熔炉；
升降装置，能够升降地安装在所述石英熔炉的上方；
母材固定组件，能够在与石英母材连接后，被安装到所述升降装置上，以将石英母材沿竖直方向吊装在所述石英熔炉的上方，所述母材固定组件包括用于与石英母材连接的可更换连接件，所述可更换连接件能够根据所述石英母材的规格进行对应更换；
承接机构，位于所述石英熔炉的下方，用于承接由所述石英熔炉底部输出的石英玻璃管棒，并将所述石英玻璃管棒缓慢匀速拉出；
中心定位***，安装在所述石英熔炉和所述承接机构之间，所述中心定位***的中心与所述石英熔炉的出料通道的中心对齐。
在上述技术方案中，优选地，所述可更换连接件与石英母材的上端通过插装方式连接，并在插装连接后由石墨销固定。
进一步优选地，所述可更换连接件上设置有与所述石墨销适配的第一插销孔，所述石英母材与所述可更换连接件插装的一端上设置有与所述石墨销适配的第二插销孔，所述石英母材与所述可更换连接件插装并由所述石墨销固定后，所述石墨销与所述第一插销孔的内壁、所述石墨销与所述第二插销孔的内壁之间均填充有高温浇注的材料。
进一步优选地，所述可更换连接件包括用于封闭石英熔炉的进料通道的封闭盖，通过该封闭盖能够在石英母材材伸入到石英熔炉内后，对石英熔炉的进料通道进密封，以避免石英熔炉内的气体外露。封闭盖的大小可根据石英熔炉的进料通道和可更换管的尺寸进行合理设置。
在上述任一技术方案中，优选地，所述母材固定组件还包括固定座，所述固定座能够放置或固定安装到所述升降装置上，所述可更换连接件的一端安装到所述固定座上，所述可更换连接件的另一端与石英母材连接，所述固定座上设置有进气通道，所述石英母材为实心结构或空心结构，所述石英母材为空心结构时，所述石英母材的一端为开口结构并通过所述可更换连接件与所述进气通道密封连通，所述石英母材的另一端为封闭结构。
进一步地，所述固定座包括支架和连接杆，所述支架能够放置或固定安装到所述升降装置上，所述连接杆的一端固定安装到所述支架上，所述可更换连接件能够拆卸地安装在所述连接杆的另一端上，所述连接杆为下端开口的空心管，所述可更换连接件包括与所述连接杆密封连通的可更换管和安装在所述可更换管和所述连接杆的连接处的封闭盖，所述进气通道包括设置在所述支架上或所述连接杆上的进气孔。所述石英母材为空心结构时，所述石英母材的一端为开口结构并通过所述可更换管与所述连接杆密封连通，所述石英母材的另一端为封闭结构。
在上述任一技术方案中，优选地，所述石英熔炉包括：炉体，所述炉体包括炉身和炉盖，所述炉身内安装有坩埚，所述坩埚的埚口处安装有保温盖，所述炉体的顶部设置有贯穿所述炉盖和所述保温盖的进料通道，所述炉体的底部设置有贯穿所述炉身底部和所述坩埚底部的出料通道；加热装置，安装在所述炉身内、所述坩埚外，用于加热所述坩埚。
进一步优选地，所述石英熔炉还包括保温装置，围设在所述坩埚周围，包括对应设置在坩埚的埚口的保温盖、对应坩埚侧壁设置的保温侧部结构和设置在坩埚底部的保温底部结构。
进一步优选地，所述石英玻璃管棒生产炉还包括：
温控***，与所述加热装置连接，通过控制所述加热装置的加热功率来控制所述坩埚内的温度；
压力控制***，包括与所述坩埚内连接的充气口和放气口，通过所述压力控制***能够调节所述坩埚内的压力；
冷却***，安装在所述炉身和所述坩埚之间，用于对所述炉体内进行冷却。
进一步优选地，所述石墨销和所述加热装置均由高纯石墨材料制成。
进一步优选地，所述保温盖由氧化铝和石英砂的混合物制成。
进一步优选地，所述加热装置为感应式加热装置或电阻式加热装置。
进一步优选地，所述温控***的温度控制精度为±0.5℃。
本发明的第二方面提出了一种石英玻璃管棒的生产方法，包括：
根据所需规格的石英玻璃管棒确定适配的石英母材，根据确定的石英母材选择可更换连接件，将石英母材通过选择好的可更换连接件安装到母材固定组件上后，将母材固定组件安装到石英熔炉上方的升降装置上，以将石英母材沿竖直方向吊装在石英熔炉的上方；
将石英熔炉内的温度加热至与确定的石英母材相适配的预设温度范围然后保持，向石英熔炉内通入气体，以将石英熔炉内的压力调节至与确定的石英母材相适配的预设压力条件然后保持；
在石英熔炉内的温度和压力调节好后，石英母材下降并由石英熔炉的进料通道进入石英熔炉内，然后经过所述石英熔炉的加热区域并充分熔化，石英母材充分熔化后在重力作用下由所述石英熔炉的出料通道输出；
由所述石英熔炉的出料通道输出的石英玻璃管棒靠重力下移，进入设置于所述石英熔炉下方的承接机构，所述承接机构通过挤压摩擦力，使所述石英玻璃管棒被缓慢匀速拉出；
通过调整所述承接机构与石英玻璃管棒之间的挤压摩擦力，改变所述石英玻璃管棒的拉出速率，获得所需规格的石英玻璃管棒。
在上述技术方案中，优选地，在确定出的石英母材为内部中空、上端开口且下端封闭的结构时，所述生产方法还包括：
在石英母材开始加热熔化或在石英玻璃管棒开始拉制后，从石英母材上端的开口向所述石英母材内输入气体，以调节所述石英母材内的压力，直到石英玻璃管棒拉制结束。
在上述技术方案中，优选地，石英玻璃管棒的生产方法还包括：
在石英母材的下端下降至石英熔炉的出料通道之前，将石英母材的轴线与石英熔炉下方的中心定位***的中轴线对齐。
在上述任一技术方案中，优选地，石英玻璃管棒的生产方法还包括：在调整所述承接机构与石英玻璃管棒之间的挤压摩擦力，改变所述石英玻璃管棒的拉出速率时，根据所需规格的石英玻璃管棒调整所述承接机构的牵引轮的转速为500-9780转/分，进一步地，可将牵引轮转速控制为1600-9780转/分。
在上述任一技术方案中，优选地，所述预设压力条件包括：石英熔炉内的压力为0.1-0.6MPa，气体流量为0.8-1.5m3/hr。
在上述任一技术方案中，优选地，在石英熔炉加热的过程中，按15-70KW/10min的速度使所述石英熔炉的温度升温至1950℃～2100℃，然后将石英熔炉内的温度维持在1950℃～2100℃。该种设置可实现石英熔炉内的差别式精准控温，从而能够将各种规格的石英母材加工出不同规格的石英玻璃管棒。
在上述任一技术方案中，优选地，石英母材的下降速度为2-10mm/分。
在上述任一技术方案中，优选地，所需规格的石英玻璃管棒的外径为2mm-100mm，所需规格的石英玻璃管棒的壁厚为0.5mm-14mm，所述石英母材的直径为50mm-350mm，重量为10KG-200KG。
在上述任一技术方案中，优选地，在石英母材为内部中空、上端开口且下端封闭的结构时，在加热石英母材的过程中，将石英母材内的压力控制在0.01Mpa至0.7Mpa之间。
在上述任一技术方案中，优选地，所需规格的石英玻璃管棒的长度为0.5米-3.5米。石英玻璃管棒包括石英棒或石英管，因此所需规格的石英棒或石英管的长度为0.5米-3.5米。
在上述任一技术方案中，优选地，石英玻璃管棒的生产方法还包括在吊装石英母材之前，进行准备工作，该准备工作具体包括：
检查清扫炉体：检查炉内部件是否完好，打扫炉腔，清除加热体沉积的挥发物，保证炉底石墨门关闭和炉盖到位，清扫炉体周围；
检测冷却***：打开冷却***的循环冷却水管，并检查循环水压力，保证各水管流通和无渗水现象；
保证炉门和盖子关闭，供气吹扫炉腔，吹扫时间30分钟以上。其中，吹扫过程中，调整炉内压力为0.2-0.5MPa，气体流量1-3m3/hr。通过该步骤可确保炉内洁净度。
根据本发明的实施例提供的石英玻璃管棒生产炉及石英玻璃管棒的生产方法，在加工不同规格的石英玻璃管棒时，可先选择好适配的石英母材，然后根据石英母材而选择不同规格的可更换连接件，然后可通过选择好的可更换连接件实现对应规格的石英母材与母材固定组件之间的连接。此后可通过母材固定组件将石英母材吊装到升降装置上，并使石英母材沿竖直方向吊装在石英熔炉的上方，此后便可启动石英玻璃管棒生产炉，以利用吊装的石英母材加工成相应规格的石英玻璃管棒。在本申请的方案中，由于母材固定组件上的可更换连接件能够根据石英母材的规格不同而进行更换，这样通过母材固定组件便能够对不同规格的石英母材进行安装，这样通过不同规格的石英母材便可加工出多种规格的石英玻璃管棒，从而可实现多品种的石英玻璃管棒的生产。同时，本申请中，由于石英母材在下料过程中，并没有和坩埚的内壁接触，因而避免了坩埚对石英玻璃管棒的污染，从而提高了生产出来的石英玻璃管棒的纯度，进而能够获得无污染的产品及内部和外观质量更高、性能更好的产品。另一方面，由于石英玻璃管棒的生产加工过程中，生产石英玻璃管棒的原材料，即石英母材没有和坩埚的内壁接触，因此，在石英玻璃管棒生产炉停止生产后，不需要对石英熔炉进行大工作量的清洗和维护，便可进行下一次的生产，这样就使得石英玻璃管棒生产炉在生产过程中，可以随时间断生产，而不一定非要连续生产，这样便可实现石英玻璃管棒的小批量间断生产及快速转型。此外，可根据石英玻璃管、棒等产品的数量需求，选取相应重量的石英母材，这样便可实现石英玻璃管、棒等精准数量的生产。
另外，由于石英玻璃管棒生产炉的测温***精度高(可控制±0.5℃)且能够实现温度从1950℃到2100℃的调节，从而使得控温区间大，因此，本申请提供的石英玻璃管棒生产炉及生石英玻璃管棒的生产方法可处理直径50-350mm，重10-200KG的石英母材，使得生产的石英玻璃管的生产规格范围广，适用性强，从而能够满足现有半导体、光纤用石英玻璃管棒的需求。
应当理解，发明内容部分中所描述的内容并非旨在限定本发明的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本发明的范围。本发明的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
附图说明
结合附图并参考以下详细说明，本发明各实施例的上述和其他特征、优点及方面将变得更加明显。在附图中，相同或相似的附图标记表示相同或相似的元素，其中：
图1示出了本发明的实施例提供的石英玻璃管棒生产炉的结构示意图；
图2示出了本发明的实施例提供的母材固定组件和石英母材的组装结构示意图；
图3示出了本发明的实施例提供的石英玻璃管棒的生产方法的流程示意图；
图4示出了本发明的另一实施例提供的石英玻璃管棒的生产方法的流程示意图。
图5示出了本发明的一个具体实施例中的石英玻璃管棒的生产方法的流程示意图。
其中，图1和图2中的附图标记与部件名称之间的对应关系为：
1石英熔炉，12炉身，14炉盖，16坩埚，18保温装置，19加热装置，2升降装置，3母材固定组件，32可更换连接件，322封闭盖，324可更换管，34支架，36连接杆，38石墨销，39进气孔，4承接机构，5中心定位***，6石英母材，7石英玻璃管棒。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、实施例和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的实施例进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的全部其他实施例，都属于本发明保护的范围。
下面参照图1至图5来描述本发明的实施例提供的石英玻璃管棒生产炉及石英玻璃管棒7的生产方法。
如图1所示，本发明的第一方面提出了一种石英玻璃管棒生产炉，包括石英熔炉1、升降装置2，母材固定组件3、承接机构4和中心定位***5，其中：
升降装置2可升降地安装在石英熔炉1的上方，用于驱动石英母材6下降。
母材固定组件3能够在与石英母材6连接后，被安装到升降装置2上，以将石英母材6沿竖直方向吊装在石英熔炉1的上方，母材固定组件3包括用于与石英母材6连接的可更换连接件32，可更换连接件32能够根据石英母材6的规格进行对应更换，这样就使得生产炉能够根据实际需要更换不同规格的石英母材6进行加工。
承接机构4位于石英熔炉1的下方，用于承接由石英熔炉1底部输出的石英玻璃管棒7，并将石英玻璃管棒7缓慢匀速拉出。在拉制石英玻璃管棒7时，可改变承接机构4与石英玻璃管棒7之间的摩擦力，从而调节石英玻璃管棒7的规格。具体而言，可通过改变承接机构4的牵引轮的转速，以改变承接机构4与石英玻璃管棒7之间的摩擦力。
中心定位***5安装在石英熔炉1和承接机构4之间，中心定位***5的中心与石英熔炉1的出料通道的中心对齐。通过该中心定位***5能够对成型的石英玻璃管棒7进行精准定位，从而确保生产出来的石英玻璃管棒7的尺寸精度。
根据本发明的实施例提供的石英玻璃管棒生产炉，在加工不同规格的石英玻璃管棒7时，可先选择好适配的石英母材6，然后根据石英母材6而选择不同规格的可更换连接件32，然后可通过选择好的可更换连接件32实现对应规格的石英母材6与母材固定组件3之间的连接。此后可通过母材固定组件3将石英母材6吊装到升降装置2上，并使石英母材6沿竖直方向吊装在石英熔炉1的上方，此后便可启动石英玻璃管棒生产炉，以利用吊装的石英母材6加工成相应规格的石英玻璃管棒。在本申请的方案中，由于母材固定组件3上的可更换连接件32能够根据石英母材6的规格不同而进行更换，这样通过母材固定组件3便能够对不同规格的石英母材6进行安装，这样通过不同规格的石英母材6便可加工出多种规格的石英玻璃管棒7，从而可实现多品种的石英玻璃管棒7的生产。同时，本申请中，由于石英母材6在下料过程中，并没有和坩埚16的内壁接触，因而避免了坩埚16对石英玻璃管棒7的污染，从而提高了生产出来的石英玻璃管棒7的纯度，进而能够获得无污染的产品及内部和外观质量更高、性能更好的产品。另一方面，由于石英玻璃管棒的生产加工过程中，生产石英玻璃管棒的原材料，即石英母材6没有和坩埚16的内壁接触，因此，在石英玻璃管棒生产炉停止生产后，不需要对石英熔炉1进行大工作量的清洗和维护，便可进行下一次的生产，这样就使得石英玻璃管棒生产炉在生产过程中，可以随时间断生产，而不一定非要连续生产，这样便可实现石英玻璃管棒7的小批量间断生产及快速转型。此外，可根据石英玻璃管、棒等产品的数量需求，选取相应重量的石英母材6，这样便可实现石英玻璃管、棒等精准数量的生产。
其中，本申请提供的石英玻璃管棒生产炉与现有炉子技术的石英玻璃管棒的规格生产能力对比如表一所示。其中，表一中各个尺寸的单位为mm。
表一
Figure BDA0002910290780000081
从表一可以看出本发明一台石英玻璃管棒生产炉的规格生产范围更广且公差尺寸控制能力更高，可以进行多种产品兼容生产，避免现有炉子需多台炉子才能满足上表的规格范围，而造成转型过渡生产浪费。
其中，本申请生产的石英玻璃管棒与现有方案生产的石英玻璃管棒的极限纯度对比表如表二所示。其中，表二中各种杂质含量的单位为ppb。
表二
Figure BDA0002910290780000091
从表二可以看出通过本申请提供的石英玻璃管棒生产炉以及石英玻璃管棒的生产方法生产出来的石英玻璃管棒的纯度更高，可以满足高端石英玻璃应用领域。
在上述实施例中，优选地，如图2所示，可更换连接件32与石英母材6的上端通过插装方式连接，并在插装连接后由石墨销38固定。具体地，可更换连接件32与石英母材6相互插接的部位上分别设置有插销孔，可更换连接件32与石英母材6的上端插装连接后，可将石墨销38***到插销孔内，以实现可更换连接件32与石英母材6之间的固定。
在该实施例中，通过石墨销38实现可更换连接件32与石英母材6之间的固定，这样可降低金属销等其他固定件对石英玻璃管棒7的金属污染。
进一步优选地，如图2所示，可更换连接件32上设置有与石墨销38适配的第一插销孔，石英母材6与可更换连接件32插装的一端上设置有与石墨销38适配的第二插销孔，石英母材6与可更换连接件32插装并由石墨销38固定后，石墨销38与第一插销孔的内壁、石墨销38与第二插销孔的内壁之间均填充有高温浇注的材料。优选地，石墨销38由高纯石墨材料制成。
在该实施例中，通过高温浇注的材料可以将可更换连接件32和石英母材6之间固定的更加牢靠，这样可以确保石英母材6和母材固定组件3连接后，石英母材6不易晃动，这样使得石英母材6安装后的中心定位更准确，从而能够使石英母材6加热熔化时熔化效果更加均匀，进而使得成型的石英玻璃管棒7的质量更好。
在上述任一实施例中，优选地，如图2所示，母材固定组件3还包括：支架34和连接杆36，支架34能够放置或固定安装到升降装置2上，连接杆36的一端固定安装到支架34上，可更换连接件32能够拆卸地安装在连接杆36的另一端上，连接杆36为下端开口的空心管，可更换连接件32包括与连接杆36密封连通的可更换管324和安装在可更换管324和连接杆36的连接处的封闭盖322；进气孔39，设置在支架34上或连接杆36上，与连接杆36内密封连通；石英母材6为实心结构或空心结构，石英母材6为空心结构时，石英母材6的一端为开口结构并通过可更换管324与连接杆36密封连通，石英母材6的另一端为封闭结构。
在该实施例中，母材固定组件3包括支架34、连接杆36和可更换连接件32以及进气孔39，支架34用于与升降装置2进行安装固定。而连接杆36用于实现可更换连接件32在支架34上的安装。可更换连接件32包括封闭盖322和可更换管324，连接杆36和可更换管324之间为贯通的气体通道，可更换管324下端与空心的石英母材连接，可通过连接杆36的顶部向空心的石英母材内通入气体，以调节空心的石英母材内的压力。而封闭盖322用于在石英母材6下降过程中，对石英熔炉的进料通道进行密封，以防止炉内压力外泄。进气孔39用于将外部气体直接通入到连接杆36内或通过支架34间接通入到连接杆36内。在石英母材6为空心结构时，可打开与进气孔39连接的气源，以向空心的石英母材6内通入气体，而通过合理控制石英母材6内的压力以及气体流速，可控制石英母材6的熔化速率，从而结合石英玻璃管棒7的拉制速度就可以控制成型的石英玻璃管棒7的直径。而在石英母材6为实心结构时，可不开启与进气孔39连接的气源，或将进气孔39不与气源连接。
优选地，连接杆36与可更换连接件32通过螺纹连接。连接杆36的上端设置有螺纹，连接杆36通过螺纹安装在支架34上的螺纹孔内。
优选地，如图2所示，连接杆36为上细下粗的阶梯管。
在上述任一实施例中，优选地，如图1所示，石英熔炉1包括：炉体，炉体包括炉身12和炉盖14，炉身12内安装有坩埚16，坩埚16的埚口处安装有保温盖，炉体的顶部设置有贯穿炉盖14和保温盖的进料通道，炉体的底部设置有贯穿炉身12底部和坩埚16底部的出料通道；加热装置19，安装在炉身12内、坩埚16外，用于加热坩埚16。
进一步优选地，石英熔炉1还包括保温装置18，围设在坩埚16周围，包括对应设置在坩埚16的埚口的保温盖、对应坩埚16侧壁设置的保温侧部结构和设置在坩埚16底部的保温底部结构。通过保温装置18可防止坩埚16内的热量散失，从而可提高石英生产炉的加热效率。
进一步优选地，石墨销38和加热装置19均由高纯石墨材料制成。这样可以避免对石英母材6的污染，从而避免对石英玻璃管棒7的污染。
进一步优选地，保温盖由氧化铝和石英砂的混合物制成。这样既能够增强保温性能，又能够降低成本。
进一步优选地，加热装置19为感应式加热装置或电阻式加热装置。当然，加热装置19也可根据实际需要设置成红外加热等。
进一步优选地，石英玻璃管棒生产炉还包括：温控***，与加热装置19连接，通过控制加热装置19的加热功率来控制坩埚16内的温度。温控***的温度控制精度为±0.5℃，这样可以实现非常精确地控温，从而可以处理直径跨度更大、重量差距更大的石英母材。具体而言，本申请的石英生产炉可以处理直径50-350mm，重10-200KG的石英母材，这就使得生产的石英玻璃管的生产规格范围非常广了，适用性非常强了。
进一步优选地，石英玻璃管棒生产炉还包括：压力控制***，包括与坩埚16内连接的充气口和放气口，通过压力控制***能够调节坩埚16内的压力。通过压力控制***能够调节炉内压力和炉内气体流量，也即坩埚16内压力和坩埚16内气体流量，而通过合理控制炉内压力和炉内气体流量，能够控制石英母材6的加热熔化过程，这样就能够调整生产出来的石英玻璃管棒7的直径或壁厚。
进一步优选地，石英玻璃管棒生产炉还包括：冷却***，安装在炉身12和坩埚16之间，用于对炉内进行冷却，以增强炉内的散热。
在上述实施例中，优选地，中心定位***5为高精度伺服牵引***。石英玻璃管棒生产炉还包括向空心的石英母材内输入气体的稳压***，稳压***的气源为氮气或氦气气源。
如图3所示，本发明的第二方面提出了一种石英玻璃管棒的生产方法，包括：
S302，根据所需规格的石英玻璃管棒确定适配的石英母材，根据确定的石英母材选择可更换连接件，将石英母材通过选择好的可更换连接件安装到母材固定组件上后，将母材固定组件安装到石英熔炉上方的升降装置上，以将石英母材沿竖直方向吊装在石英熔炉的上方；
S304，将石英熔炉内的温度加热至与确定的石英母材相适配的预设温度范围然后保持，向石英熔炉内通入气体，以将石英熔炉内的压力调节至与确定的石英母材相适配的预设压力条件然后保持；
S306，在石英熔炉内的温度和压力调节好后，石英母材下降并由石英熔炉的进料通道进入石英熔炉内，然后经过石英熔炉的加热区域并充分熔化，石英母材充分熔化后在重力作用下由石英熔炉的出料通道输出；
S308，由石英熔炉的出料通道输出的石英玻璃管棒靠重力下移，进入设置于石英熔炉下方的承接机构，承接机构通过挤压摩擦力，使石英玻璃管棒被缓慢匀速拉出；
S310，通过调整承接机构与石英玻璃管棒之间的挤压摩擦力，改变石英玻璃管棒的拉出速率，获得所需规格的石英玻璃管棒。
在上述实施例中，优选地，在石英熔炉加热的过程中，按15-70KW/10min的速度使石英熔炉的温度升温至1950℃～2100℃，然后将石英熔炉内的温度维持在1950℃～2100℃。该种设置可实现石英熔炉内的差别式精准控温，从而能够将各种规格的石英母材加工出不同规格的石英玻璃管棒。
在上述实施例中，优选地，石英玻璃管棒的生产方法还包括：在调整承接机构与石英玻璃管棒之间的挤压摩擦力，改变石英玻璃管棒的拉出速率时，根据所需规格的石英玻璃管棒调整承接机构的牵引轮的转速为500-9780转/分，进一步地，可将牵引轮转速控制为1600-9780转/分。
在上述实施例中，优选地，所需规格的石英玻璃管棒的外径为2mm-100mm，所需规格的石英玻璃管棒的壁厚为0.5mm-14mm，石英母材的直径为50mm-350mm，重量为10KG-200KG。
预设压力条件包括：石英熔炉内的压力为0.1-0.6MPa，气体流量为0.8-1.5m3/hr。
在上述实施例中，优选地，石英母材的下降速度为2-10mm/分。
根据本发明的上述多个实施例提供的石英玻璃管棒的生产方法，在加工不同规格的石英玻璃管棒时，可先选择好适配的石英母材，然后根据石英母材而选择不同规格的可更换连接件，然后可通过选择好的可更换连接件实现对应规格的石英母材与母材固定组件之间的连接。此后可通过母材固定组件将石英母材吊装到升降装置上，并使石英母材沿竖直方向吊装在石英熔炉的上方，此后便可启动石英玻璃管棒生产炉，并依次完成加热增压-石英玻璃管棒成型-拉制石英玻璃管棒-石英玻璃管棒尺寸调节这个流程。而通过该流程便可将吊装的石英母材加工成相应规格的石英玻璃管棒。而生产石英玻璃管棒的过程中，可合理控制炉内压力、气体流量和炉内温度，以使石英母材熔化后能够成型成所需规格的石英玻璃管棒。而在本申请的方案中，由于母材固定组件上的可更换连接件能够根据石英母材的规格不同而进行更换，这样通过母材固定组件便能够将不同规格的石英母材吊装到升降装置上，这样在后续结合温度和压力控制后便可通过不同规格的石英母材加工成多种规格的石英玻璃管棒，从而可实现多品种的石英玻璃管棒的生产。同时，本申请中，由于石英母材在下料过程中，并没有和坩埚的内壁接触，因而避免了坩埚对石英玻璃管棒的污染，从而提高了生产出来的石英玻璃管棒的纯度，进而能够获得无污染的产品及内部和外观质量更高、性能更好的产品。另一方面，由于石英玻璃管棒的生产加工过程中，生产石英玻璃管棒的原材料，即石英母材没有和坩埚的内壁接触，因此，在石英玻璃管棒生产炉停止生产后，不需要对石英熔炉进行大工作量的清洗和维护，便可进行下一次的生产，这样就使得石英玻璃管棒生产炉在生产过程中，可以随时间断生产，而不一定非要连续生产，这样便可实现石英玻璃管棒的小批量间断生产及快速转型。此外，可根据石英玻璃管、棒等产品的数量需求，选取相应重量的石英母材，这样便可实现石英玻璃管、棒等精准数量的生产。
在上述任一实施例中，优选地，所需规格的石英玻璃管棒的长度为0.5米-3.5米。石英玻璃管棒包括石英棒或石英管，因此所需规格的石英棒或石英管的长度为0.5米-3.5米。
在上述任一实施例中，优选地，上述实施例中的生产方法还包括：在空心石英母材的下端下降至石英熔炉的出料通道之前，将空心石英母材的轴线与石英熔炉下方的中心定位***的中轴线对齐。
在上述任一实施例中，优选地，石英玻璃管棒的生产方法还包括在吊装石英母材之前，进行准备工作，该准备工作具体包括：
检查清扫炉体：检查炉内部件是否完好，打扫炉腔，清除加热体沉积的挥发物，保证炉底石墨门关闭和炉盖到位，清扫炉体周围；
检测冷却***：打开冷却***的循环冷却水管，并检查循环水压力，保证各水管流通和无渗水现象；
保证炉门和盖子关闭，供气吹扫炉腔，吹扫时间30分钟以上。其中，吹扫过程中，调整炉内压力为0.2-0.5MPa，流量1-3m3/hr。通过该步骤可确保炉内洁净度。同时，为保护测温探头，在吹扫过程中，使测温孔周围的压力为0.1-0.3MPa，测温孔周围的流量为1-3m3/hr。
其中，在准备工作完成后，调整气体压力和流量到正常状态，以进行石英熔炉的加热增压，而加热增压后，测温孔周围的压力为0.01-0.1MPa，流量0.1-0.8Nm3/hr，炉内的压力为0.2-0.6MPa，流量为0.8-1.5m3/hr。
下面以空心石英母材加工石英玻璃管棒为例，来进一步说明本申请中的石英玻璃管棒的生产方法，如图4所示，该生产方法具体包括以下步骤：
S402，根据所需规格的石英玻璃管棒确定适配的空心石英母材，根据确定的空心石英母材选择可更换连接件，将空心石英母材通过选择好的可更换连接件安装到母材固定组件上后，将母材固定组件安装到石英熔炉上方的升降装置上，以将空心石英母材沿竖直方向吊装在石英熔炉的上方；
S404，将石英熔炉内的温度加热至与确定的空心石英母材相适配的预设温度范围然后保持，向石英熔炉内通入气体，以将石英熔炉内的压力调节至与确定的空心石英母材相适配的预设压力条件然后保持；
S406，从空心石英母材上端的开口向空心石英母材内输入气体，以调节空心石英母材内的压力，直到石英玻璃管棒拉制结束，空心石英母材内的压力可根据空心石英母材的规格控制在0.01Mpa至0.7Mpa之间；
S408，在石英熔炉内的温度和压力调节好后，空心石英母材下降并由石英熔炉的进料通道进入石英熔炉内，在空心石英母材的下端下降至石英熔炉的出料通道之前，将空心石英母材的轴线与石英熔炉下方的中心定位***的中轴线对齐，空心石英母材经过石英熔炉的加热区域并充分熔化，空心石英母材充分熔化后在重力作用下由石英熔炉的出料通道输出；
S410，由石英熔炉的出料通道输出的石英玻璃管棒靠重力下移，进入设置于石英熔炉下方的承接机构，承接机构通过挤压摩擦力，使石英玻璃管棒被缓慢匀速拉出；
S412，通过调整承接机构与石英玻璃管棒之间的挤压摩擦力，改变石英玻璃管棒的拉出速率，获得所需规格的石英玻璃管棒。
下面结合具体参数来更进一步地介绍本申请提供的石英玻璃管棒的生产方法，如图5所示，该方法包括：
S502，检查炉内部件是否完好，打扫炉腔，清除加热体沉积的挥发物，保证炉底石墨门关闭和炉盖到位，清扫炉体周围；打开冷却***的循环冷却水管，并检查循环水压力，保证各水管流通和无渗水现象；保证炉门和盖子关闭，供气吹扫炉腔，吹扫时间30分钟以上，吹扫过程中，炉内压力为0.2-0.5MPa，流量为1-3m3/hr，在吹扫结束后，石英熔炉内的压力为0.1-0.6MPa，气体流量为0.8-1.5m3/hr。
通过吹扫过程中的压力和气体流量控制，能够确保炉内吹扫效果，而在吹扫过程中控制测温孔周围的压力和气体流量能够对测温装置进行保护，防止测温装置在清扫过程中移动位或变形。而在吹扫完成后，石英加热过程中，控制测温孔周围的压力和气体流量可以避免气体流动对温度的影响，从而能够使测温更加准确。
S504，以15-70KW/10min的速度将石英熔炉的温度加热至1950℃～2100℃然后保持。
S506，在加热过程中，根据所需规格的石英玻璃管棒确定适配的石英母材，根据确定的石英母材选择可更换连接件，将石英母材通过选择好的可更换连接件安装到母材固定组件上后，将母材固定组件安装到石英熔炉上方的升降装置上，以将石英母材竖直地吊装在石英熔炉上方，并使石英母材底部距离石英熔炉顶部100-700mm。
S508，在石英熔炉内的温度和压力调节好后，使石英母材按照2-10mm/分的速度下降并由石英熔炉的进料通道进入石英熔炉内，然后经过石英熔炉的加热区域并充分熔化，石英母材充分熔化后在重力作用下由石英熔炉的出料通道输出。
S510，由石英熔炉的出料通道输出的石英玻璃管棒靠重力下移，进入设置于石英熔炉下方的承接机构，将承接机构的牵引轮的转速设置为500-9780转/分，使石英玻璃管棒被缓慢匀速拉出，以获得所需规格的石英玻璃管棒。
S512，将石英玻璃管棒切割成0.5米-3.5米的石英玻璃管棒。
其中，在生产其他规格的石英玻璃管棒时，可根据石英玻璃管棒的规格合理将上述步骤中的各个参数设置在上述参数对应的范围内。具体地，表三示出了多个具体实施例中的部分参数设置。其中，表三中的压力单位均为MPa，流量单位均为m3/hr，外径以及壁厚的单位均为mm，温度单位均为℃，温度加热速度为KW/10min，转速单位为转/分。
Figure BDA0002910290780000161
其中，在不同的实施例中，炉内的升温速度可根据实际需要设置，一般地，温度越大，升温速度也相对越大，石英母材管径越大，炉内压力越大。石英母材底部距离石英熔炉顶部的高度可根据需要设置在100-700mm之间。在不同的实施例中，步骤502中的各个参数可与步骤502中的参数大致保持一致。
以上仅为本申请的优选实施例而已并不用于限制本申请对于本领域的技术人员来说本申请可以有各种更改和变化凡在本申请的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种石英玻璃管棒生产炉，其特征在于，包括：
石英熔炉；
升降装置，能够升降地安装在所述石英熔炉的上方；
母材固定组件，能够在与石英母材连接后，被安装到所述升降装置上，以将石英母材沿竖直方向吊装在所述石英熔炉的上方，所述母材固定组件包括用于与石英母材连接的可更换连接件，所述可更换连接件能够根据所述石英母材的规格进行对应更换；
承接机构，位于所述石英熔炉的下方，用于承接由所述石英熔炉底部输出的石英玻璃管棒，并将所述石英玻璃管棒缓慢匀速拉出；
中心定位***，安装在所述石英熔炉和所述承接机构之间，所述中心定位***的中心与所述石英熔炉的出料通道的中心对齐。
2.根据权利要求1所述的石英玻璃管棒生产炉，其特征在于，
所述可更换连接件与石英母材的上端通过插装方式连接，并在插装连接后由石墨销固定；和/或
所述母材固定组件还包括固定座，所述固定座能够放置或固定安装到所述升降装置上，所述可更换连接件的一端安装到所述固定座上，所述可更换连接件的另一端与石英母材连接，所述固定座上设置有进气通道，所述石英母材为实心结构或空心结构，所述石英母材为空心结构时，所述石英母材的一端为开口结构并通过所述可更换连接件与所述进气通道密封连通，所述石英母材的另一端为封闭结构；和/或
所述可更换连接件包括用于封闭石英熔炉的进料通道的封闭盖。
3.根据权利要求2所述的石英玻璃管棒生产炉，其特征在于，
所述可更换连接件与石英母材的上端通过插装方式连接，并在插装连接后由石墨销固定，所述可更换连接件上设置有与所述石墨销适配的第一插销孔，所述石英母材与所述可更换连接件插装的一端上设置有与所述石墨销适配的第二插销孔，所述石英母材与所述可更换连接件插装并由所述石墨销固定后，所述石墨销与所述第一插销孔的内壁、所述石墨销与所述第二插销孔的内壁之间均填充有高温浇注的材料。
4.根据权利要求2所述的石英玻璃管棒生产炉，其特征在于，
所述固定座包括支架和连接杆，所述支架能够放置或固定安装到所述升降装置上，所述连接杆的一端固定安装到所述支架上，所述可更换连接件能够拆卸地安装在所述连接杆的另一端上，所述连接杆为下端开口的空心管，所述可更换连接件包括与所述连接杆密封连通的可更换管和安装在所述可更换管和所述连接杆的连接处的封闭盖，所述进气通道包括设置在所述支架上或所述连接杆上的进气孔。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的石英玻璃管棒生产炉，其特征在于，所述石英熔炉包括：
炉体，所述炉体包括炉身和炉盖，所述炉身内安装有坩埚，所述坩埚的埚口处安装有保温盖，所述炉体的顶部设置有贯穿所述炉盖和所述保温盖的进料通道，所述炉体的底部设置有贯穿所述炉身底部和所述坩埚底部的出料通道；
加热装置，安装在所述炉身内、所述坩埚外，用于加热所述坩埚；
其中，所述石英玻璃管棒生产炉还包括：
温控***，与所述加热装置连接，通过控制所述加热装置的加热功率来控制所述坩埚内的温度；
压力控制***，包括与所述坩埚内连接的充气口和放气口，通过所述压力控制***能够调节所述坩埚内的压力；
冷却***，安装在所述炉身和所述坩埚之间，用于对所述炉体内进行冷却。
6.根据权利要求5所述的石英玻璃管棒生产炉，其特征在于，
所述石墨销和所述加热装置均由高纯石墨材料制成；和/或
所述保温盖由氧化铝和石英砂的混合物制成；和/或
所述加热装置为感应式加热装置或电阻式加热装置；和/或
所述温控***的温度控制精度为±0.5℃。
7.一种石英玻璃管棒的生产方法，其特征在于，包括：
根据所需规格的石英玻璃管棒确定适配的石英母材，根据确定的石英母材选择可更换连接件，将石英母材通过选择好的可更换连接件安装到母材固定组件上后，将母材固定组件安装到石英熔炉上方的升降装置上，以将石英母材沿竖直方向吊装在石英熔炉的上方；
将石英熔炉内的温度加热至与确定的石英母材相适配的预设温度范围然后保持，向石英熔炉内通入气体，以将石英熔炉内的压力调节至与确定的石英母材相适配的预设压力条件然后保持；
在石英熔炉内的温度和压力调节好后，石英母材下降并由石英熔炉的进料通道进入石英熔炉内，然后经过所述石英熔炉的加热区域并充分熔化，石英母材充分熔化后在重力作用下由所述石英熔炉的出料通道输出；
由所述石英熔炉的出料通道输出的石英玻璃管棒靠重力下移，进入设置于所述石英熔炉下方的承接机构，所述承接机构通过挤压摩擦力，使所述石英玻璃管棒被缓慢匀速拉出；
通过调整所述承接机构与石英玻璃管棒之间的挤压摩擦力，改变所述石英玻璃管棒的拉出速率，获得所需规格的石英玻璃管棒。
8.根据权利要求7所述的石英玻璃管棒的生产方法，其特征在于，在确定出的石英母材为内部中空、上端开口且下端封闭的结构时，所述生产方法还包括：
在石英母材开始加热熔化或在石英玻璃管棒开始拉制后，从石英母材上端的开口向所述石英母材内输入气体，以调节所述石英母材内的压力，直到石英玻璃管棒拉制结束。
9.根据权利要求7所述的石英玻璃管棒的生产方法，其特征在于，还包括：
在石英母材的下端下降至石英熔炉的出料通道之前，将石英母材的轴线与石英熔炉下方的中心定位***的中轴线对齐。
10.根据权利要求7至9中任一项所述的石英玻璃管棒的生产方法，其特征在于，
在调整所述承接机构与石英玻璃管棒之间的挤压摩擦力，改变所述石英玻璃管棒的拉出速率时，根据所需规格的石英玻璃管棒调整所述承接机构的牵引轮的转速为500-9780转/分；
所述预设压力条件包括：石英熔炉内的压力为0.1-0.6MPa，气体流量为0.8-1.5m3/hr；
在石英熔炉加热的过程中，按15-70KW/10min的速度使所述石英熔炉的温度升温至1950℃～2100℃，然后将石英熔炉内的温度维持在1950℃～2100℃；
石英母材的下降速度为2-10mm/分；
所需规格的石英玻璃管棒的外径为2mm-100mm，所需规格的石英玻璃管棒的壁厚为0.5mm-14mm，所述石英母材的直径为50mm-350mm，重量为10KG-200KG；
在石英母材为内部中空、上端开口且下端封闭的结构时，在加热石英母材的过程中，将石英母材内的压力控制在0.01Mpa至0.7Mpa之间。
所需规格的石英玻璃管棒的长度为0.5米-3.5米。
CN202110084062.5A 2021-01-21 2021-01-21 一种石英玻璃管棒生产炉及石英玻璃管棒的生产方法 Pending CN112830670A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110084062.5A CN112830670A (zh) 2021-01-21 2021-01-21 一种石英玻璃管棒生产炉及石英玻璃管棒的生产方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202110084062.5A CN112830670A (zh) 2021-01-21 2021-01-21 一种石英玻璃管棒生产炉及石英玻璃管棒的生产方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN112830670A true CN112830670A (zh) 2021-05-25

Family

ID=75929342

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202110084062.5A Pending CN112830670A (zh) 2021-01-21 2021-01-21 一种石英玻璃管棒生产炉及石英玻璃管棒的生产方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112830670A (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114195368A (zh) * 2021-12-17 2022-03-18 上海大学 一种高温熔铸法制备熔融石英制品的控压装置
CN115321792A (zh) * 2022-07-28 2022-11-11 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 一种玻璃管制备装置及其使用方法
CN115974397A (zh) * 2022-12-16 2023-04-18 江苏太平洋石英股份有限公司 一种石英玻璃管棒母材的装载装置及方法

Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004339024A (ja) * 2003-05-16 2004-12-02 Shin Etsu Chem Co Ltd 光ファイバ用母材の製造方法及び垂下に用いる母材吊具
CN1594155A (zh) * 2004-06-30 2005-03-16 西安交通大学 一种适用于石英玻璃或聚合物的光纤拉丝机
JP2005219853A (ja) * 2004-02-04 2005-08-18 Sumitomo Electric Ind Ltd 線条体の線掛け方法及び線掛け装置並びに光ファイバの製造方法
CN102838275A (zh) * 2012-08-28 2012-12-26 长飞光纤光缆有限公司 外径波动光纤预制棒的拉丝方法及装置
CN102887626A (zh) * 2012-03-30 2013-01-23 连云港市东海县宏伟石英制品有限公司 一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法
CN206375813U (zh) * 2017-01-18 2017-08-04 锦州新世纪石英玻璃有限公司 无接触式石英棒、石英管拉制装置
CN108017271A (zh) * 2017-12-29 2018-05-11 江苏通鼎光棒有限公司 Ovd带状喷灯装置和ovd制棒***及其使用方法
CN108129012A (zh) * 2018-01-25 2018-06-08 江苏通鼎光棒有限公司 一种用于光纤预制棒退火设备的挂棒机构
CN109485251A (zh) * 2018-12-13 2019-03-19 中天科技光纤有限公司 一种光纤预制棒自动换棒运转***
CN109516685A (zh) * 2018-12-19 2019-03-26 通鼎互联信息股份有限公司 悬挂器、光纤拉丝生产***及光纤生产方法
CN109553293A (zh) * 2019-01-29 2019-04-02 江苏通鼎光棒有限公司 一种光纤预制棒拉锥装置及相应的拉锥方法
WO2019223255A1 (zh) * 2018-05-21 2019-11-28 江苏亨通光纤科技有限公司 挂棒装置及光纤拉丝生产***
CN111470763A (zh) * 2020-05-21 2020-07-31 新沂市东方石英玻璃有限公司 一种高效高精度的石英玻璃管成形工艺
CN211712963U (zh) * 2019-12-10 2020-10-20 江苏奥维信亨通光学科技有限公司 一种光纤芯棒疏松体制备用牵引棒结构

Patent Citations (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004339024A (ja) * 2003-05-16 2004-12-02 Shin Etsu Chem Co Ltd 光ファイバ用母材の製造方法及び垂下に用いる母材吊具
JP2005219853A (ja) * 2004-02-04 2005-08-18 Sumitomo Electric Ind Ltd 線条体の線掛け方法及び線掛け装置並びに光ファイバの製造方法
CN1594155A (zh) * 2004-06-30 2005-03-16 西安交通大学 一种适用于石英玻璃或聚合物的光纤拉丝机
CN102887626A (zh) * 2012-03-30 2013-01-23 连云港市东海县宏伟石英制品有限公司 一种生产大口径石英玻璃管的扩管方法
CN102838275A (zh) * 2012-08-28 2012-12-26 长飞光纤光缆有限公司 外径波动光纤预制棒的拉丝方法及装置
CN206375813U (zh) * 2017-01-18 2017-08-04 锦州新世纪石英玻璃有限公司 无接触式石英棒、石英管拉制装置
CN108017271A (zh) * 2017-12-29 2018-05-11 江苏通鼎光棒有限公司 Ovd带状喷灯装置和ovd制棒***及其使用方法
CN108129012A (zh) * 2018-01-25 2018-06-08 江苏通鼎光棒有限公司 一种用于光纤预制棒退火设备的挂棒机构
WO2019223255A1 (zh) * 2018-05-21 2019-11-28 江苏亨通光纤科技有限公司 挂棒装置及光纤拉丝生产***
CN109485251A (zh) * 2018-12-13 2019-03-19 中天科技光纤有限公司 一种光纤预制棒自动换棒运转***
CN109516685A (zh) * 2018-12-19 2019-03-26 通鼎互联信息股份有限公司 悬挂器、光纤拉丝生产***及光纤生产方法
CN109553293A (zh) * 2019-01-29 2019-04-02 江苏通鼎光棒有限公司 一种光纤预制棒拉锥装置及相应的拉锥方法
CN211712963U (zh) * 2019-12-10 2020-10-20 江苏奥维信亨通光学科技有限公司 一种光纤芯棒疏松体制备用牵引棒结构
CN111470763A (zh) * 2020-05-21 2020-07-31 新沂市东方石英玻璃有限公司 一种高效高精度的石英玻璃管成形工艺

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114195368A (zh) * 2021-12-17 2022-03-18 上海大学 一种高温熔铸法制备熔融石英制品的控压装置
CN114195368B (zh) * 2021-12-17 2024-03-19 上海大学 一种高温熔铸法制备熔融石英制品的控压装置
CN115321792A (zh) * 2022-07-28 2022-11-11 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 一种玻璃管制备装置及其使用方法
CN115321792B (zh) * 2022-07-28 2024-03-12 中建材玻璃新材料研究院集团有限公司 一种玻璃管制备装置及其使用方法
CN115974397A (zh) * 2022-12-16 2023-04-18 江苏太平洋石英股份有限公司 一种石英玻璃管棒母材的装载装置及方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN112830670A (zh) 一种石英玻璃管棒生产炉及石英玻璃管棒的生产方法
US8123855B2 (en) Device and process for growing Ga-doped single silicon crystals suitable for making solar cells
JP2004514634A (ja) 石英融解炉及び石英製品の製造方法
US8172945B2 (en) High-purity vitreous silica crucible for pulling large-diameter single-crystal silicon ingot
CN1932085B (zh) 制造硅单晶的方法
CN110952138A (zh) 一种单晶炉的二次加料装置及加料方法
CN111977940A (zh) 多功能石英玻璃连熔炉
JP2017014073A (ja) シリコン融液供給装置及び方法並びにシリコン単結晶製造装置
JP2008297154A (ja) シリコン単結晶引上用石英ガラスルツボおよびその製造方法
WO1999046433A1 (fr) Appareil auxiliaire destine a faire fondre une matiere premiere monocristalline et procede de fusion de cette matiere premiere monocristalline
CN103147119A (zh) 一种氟化镁晶体的制备方法及生长设备
TWI752378B (zh) 大型熔融石英錠的線上退火
CN114411238B (zh) 一种金属晶体生长方法及装置
CN110820043A (zh) 晶体生长装置及生长方法
TWI761956B (zh) 一種半導體晶體生長裝置
CN210856408U (zh) 一种设置有炉体升降机构的晶体生长炉
CN103266346B (zh) 一种引上法生长yvo4晶体的生长设备及基于该生长设备的生长方法
KR20100071526A (ko) 실리콘 단결정 냉각장치 및 이를 구비하는 실리콘 단결정 성장장치
CN107417074B (zh) 一种石英锭的制备方法、装置及***
JPS60231421A (ja) 石英ガラスを製造する方法及び装置
CN216107318U (zh) 一种用于晶体生长的坩埚装置
CN220245898U (zh) 一种基板玻璃引出量控制及玻璃液均化供料装置
KR101383956B1 (ko) 단결정 성장장치
KR100872806B1 (ko) 실리콘 단결정 잉곳 생산장치
JP4762776B2 (ja) 固体溶融装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination