CN112775543A - 一种超高速激光加工用多边形扫描振镜装置 - Google Patents
一种超高速激光加工用多边形扫描振镜装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112775543A CN112775543A CN202110233321.6A CN202110233321A CN112775543A CN 112775543 A CN112775543 A CN 112775543A CN 202110233321 A CN202110233321 A CN 202110233321A CN 112775543 A CN112775543 A CN 112775543A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- galvanometer
- polygonal
- reflection
- controller
- polygon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/082—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head
- B23K26/0821—Scanning systems, i.e. devices involving movement of the laser beam relative to the laser head using multifaceted mirrors, e.g. polygonal mirror
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
本发明涉及一种超高速激光加工用多边形扫描振镜装置,包括控制器,以及分别由控制器控制的超短脉冲激光器、二维振镜组件和f‑θ透镜,还包括多边形振镜,以及与控制器连接的多边形振镜转动装置,多边形振镜设有两个上下对称的多面反射基台,且两个多面反射基台之间的反射面夹角为90°。本发明可将超短脉冲发出的光束经多边形振镜、二维振镜反射,通过f‑θ透镜将光束均匀的作用在共建表面,以此实现超高速激光打孔、切割等工作。
Description
技术领域
本发明涉及超高速激光加工技术领域,具体涉及一种超高速激光加工用多边形扫描振镜装置。
背景技术
激光超高速加工技术具有相干性高、热影响小、加工效率、精度和重复率高、对材料无选择性、加工方式灵活多样、成本低等优点,在半导体材料加工、微光学元件制作和印刷电路板等领域具有重要的应用前景。
针对典型行业研发高精度多边形扫描***,提高激光束的精确和可重复偏转及定位,搭建适用于激光超高速加工的智能装备***,实现激光超高速加工。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明提供一种超高速激光加工用多边形扫描振镜装置,结构简单紧凑、焦距小、扫描精度高、加工成本较低,并具有像面上照度分布均匀,能量集中度高和相对畸变小等优点。
本发明是通过如下技术方案实现的:
提供一种超高速激光加工用多边形扫描振镜装置,包括控制器,以及分别由控制器控制的超短脉冲激光器、二维振镜组件和f-θ透镜,还包括多边形振镜,以及与控制器连接的多边形振镜转动装置,多边形振镜设有两个上下对称的多面反射基台,且两个多面反射基台之间的反射面夹角为90°。
多边形振镜作用为分离高频脉冲高脉冲,避免多个脉冲在工件上的重叠,超高速激光加工用多边形扫描振镜装置,基于预设的激光加工工艺参数通过多边形扫描振镜装置输出所述加工工艺参数对应的脉冲激光,实现工件的超高速加工。
两个多面反射基台之间的反射面夹角为90°,超短脉冲激光器发出的光束镜经上下两个多面发射基台上的反射面反射后形成平行光路,有利于光路调节,节省光路器件结构布局空间。
进一步的,每个多面反射基台具有不少于三个反射面,各反射面基于多边形振镜中心轴阵列分布。
多边形振镜转动过程中可借助多个反射面进行激光束的反射,各反射面基于多边形振镜的中心轴阵列分布,使得各个反射面之间并保证反射均匀,稳定。
本发明的有益效果:
通过将超短脉冲发出的光束经旋转的多边形振镜及摆动的二维振镜反射,通过f-θ透镜将光束均匀的作用在共建表面,可使得经多边形振镜反射后的光束配合摆动的二维振镜经f-θ透镜射出的光束对于工件的加工可以保持稳定的直线,而不发生弯曲,保证了加工效果,打孔质量差异性小,确保了打孔孔型与尺寸的基本一致性。
装置结构简单紧凑、焦距小、扫描精度高、加工成本较低,并具有像面上照度分布均匀,能量集中度高和相对畸变小等优点。
附图说明
图1为本发明的整体结构示意图;
图2为本发明中多边形振镜的结构示意图;
图3为图1的立体图。
图中所示:
1、超短脉冲激光器,2、转动装置,3、多边形振镜,4、二维振镜,5、f-θ透镜,6、工件,7、多面反射基台,8、反射面。
具体实施方式
为能清楚说明本方案的技术特点,下面通过具体实施方式,对本方案进行阐述。
如图1所示,一种超高速激光加工用多边形扫描振镜装置,包括控制器,以及分别由控制器控制的超短脉冲激光器1、二维振镜组件和f-θ透镜5,还包括多边形振镜3,以及与控制器连接的多边形振镜转动装置2,多边形振镜3设有两个上下对称的多面反射基台7,且两个多面反射基台7之间的反射面8夹角为90°,如图2所示。其中,二维振镜组件包括二维振镜4和驱动二维振镜4摆动的驱动装置,两者皆属于现有技术,此处就不做赘述。
每个多面反射基台7具有不少于三个反射面8,各反射面8基于多边形振镜3中心轴阵列分布。如图2所示,本实施例中,多面反射基台7上具有八个反射面8,八个反射面8大小相同并基于多边形振镜3的中心轴阵列分布。
本发明工作时:由控制器通过预先设置激光分频系数、激光Q信号脉宽、行重复次数、Z 轴行间距离、加工行数、主轴转速等主要***加工参数控制超短脉冲激光器1发射激光束,多边形振镜3通过转动装置2驱动绕其中心轴转动,分离高频脉冲高脉冲,光束经上下两个多面发射基台7上的反射面8发射后,进入二维振镜4,并通过f-θ透镜5调整后射向工件6表面,通过控制器控制二维振镜4偏转角度的变化实现对扫描光束的控制,将光束由点成线进而可实现对工件6表面均匀的直线形开槽、打孔、切割等加工。本发明在加工时,基于预设的激光加工工艺参数通过多边形扫描振镜装置输出加工工艺参数对应的脉冲激光,实现工件的超高速加工。
当然,上述说明也并不仅限于上述举例,本发明未经描述的技术特征可以通过或采用现有技术实现,在此不再赘述;以上实施例及附图仅用于说明本发明的技术方案并非是对发明的限制,参照优选的实施方式对本发明进行了详细说明,本领域的普通技术人员应当理解,本技术领域的普通技术人员在本发明的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换都不脱离本发明的宗旨,也应属于本发明的权利要求保护范围。
Claims (2)
1.一种超高速激光加工用多边形扫描振镜装置,包括控制器,以及分别由控制器控制的超短脉冲激光器、二维振镜组件和f-θ透镜,其特征在于:还包括多边形振镜,以及与控制器连接的多边形振镜转动装置,多边形振镜设有两个上下对称的多面反射基台,且两个多面反射基台之间的反射面夹角为90°。
2.根据权利要求1所述的超高速激光加工用多边形扫描振镜装置,其特征在于:每个多面反射基台具有不少于三个反射面,各反射面基于多边形振镜中心轴阵列分布。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110233321.6A CN112775543A (zh) | 2021-03-03 | 2021-03-03 | 一种超高速激光加工用多边形扫描振镜装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN202110233321.6A CN112775543A (zh) | 2021-03-03 | 2021-03-03 | 一种超高速激光加工用多边形扫描振镜装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN112775543A true CN112775543A (zh) | 2021-05-11 |
Family
ID=75762234
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN202110233321.6A Pending CN112775543A (zh) | 2021-03-03 | 2021-03-03 | 一种超高速激光加工用多边形扫描振镜装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN112775543A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113523577A (zh) * | 2021-07-09 | 2021-10-22 | 济南森峰激光科技股份有限公司 | 基于转镜的perc电池片高速激光开槽方法、装置及perc电池片 |
-
2021
- 2021-03-03 CN CN202110233321.6A patent/CN112775543A/zh active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113523577A (zh) * | 2021-07-09 | 2021-10-22 | 济南森峰激光科技股份有限公司 | 基于转镜的perc电池片高速激光开槽方法、装置及perc电池片 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8415585B2 (en) | Laser machining systems and methods with multiple beamlet laser beam delivery systems | |
US7714249B2 (en) | Laser beam processing machine | |
CN103203541B (zh) | 一种激光加工装置 | |
CN203265914U (zh) | 一种大幅面微孔高速钻孔*** | |
CN105163897A (zh) | 锥度控制的射束角协调及工件运动 | |
CN110405366B (zh) | 一种陶瓷材料激光加工装置及方法 | |
US9983562B2 (en) | Adaptive part profile creation via independent side measurement with alignment features | |
KR20070117500A (ko) | 복합 시트, 복합 시트의 가공 방법, 및 레이저 가공 장치 | |
KR102375235B1 (ko) | 레이저 가공 시스템 및 방법 | |
KR20180064599A (ko) | 레이저 가공 장치 | |
CN112775543A (zh) | 一种超高速激光加工用多边形扫描振镜装置 | |
EP3616886B1 (en) | Laser fabrication additive system and method | |
KR20040017248A (ko) | 취성재료기판의 스크라이브 장치 | |
CN106475681B (zh) | 光加工装置和光加工物的生产方法 | |
KR102621458B1 (ko) | 레이저 가공 장치, 레이저 가공 시스템, 로테이터 유닛 장치, 레이저 가공 방법 및 프로브 카드의 생산 방법 | |
CN113953273A (zh) | 待扫描物品的扫描方法、装置、存储介质和电子装置 | |
CN214489229U (zh) | 一种超高速激光加工用多边形扫描振镜装置 | |
TWI622446B (zh) | 光學加工裝置及光學加工物的製造方法 | |
KR100660112B1 (ko) | 레이저빔의 광폭이 제어되는 레이저와 비전의 동축가공장치 | |
JP2013116488A (ja) | ビーム加工装置及びそれを用いた基板の加工方法 | |
CN114918550A (zh) | 一种基于极坐标的高速多工位激光划线装置 | |
CN205271138U (zh) | 一种基于摆角压缩的精密激光加工装置 | |
KR102100821B1 (ko) | 두 개의 빔을 이용하는 레이저 가공 방법 및 이를 수행하는 레이저빔 조사 장치 | |
KR101519920B1 (ko) | 프린팅롤 미세패턴 형성장치 및 형성방법 | |
CN110744206A (zh) | 一种紫外纳秒激光直写微流控芯片制备***与方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination |