CN112706342B - 树脂供给机构、树脂成形装置及树脂成形品的制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能够在多个位置供给树脂材料的树脂供给机构、树脂成形装置及树脂成形品的制造方法。本发明的树脂供给机构包括：容器保管部，保管收纳有树脂材料的容器；升降机构，使所述容器保管部中所保管的所述容器上升至规定的上升位置；盖开封机构，将位于所述上升位置的所述容器的盖开封；横向移动机构，使由所述盖开封机构开封的所述容器在横向方向上移动，并使其移动至多个树脂供给位置中的任一位置；以及旋转机构，通过使位于所述树脂供给位置的所述容器旋转，将所述容器中所收纳的树脂材料排出。

Description

树脂供给机构、树脂成形装置及树脂成形品的制造方法

技术领域

本发明涉及一种树脂供给机构、树脂成形装置及树脂成形品的制造方法的技术。

背景技术

在专利文献1中公开了一种对成形装置供给粒状的树脂材料的树脂供给***。在所述***中，收纳有树脂材料的容器由把持机构把持，并由升降部移送至能够供给树脂的位置。其后，利用开闭部卸下容器的盖，并利用旋转部使把持机构倾斜，由此将容器中所收纳的树脂材料供给至树脂积存部的供给口。供给树脂材料后变空的容器通过升降部再次向下方移送并被回收。树脂积存部中所收纳的树脂材料进一步被供给至树脂成形部，来制造树脂成形品。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2018-43388号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

在专利文献1中所公开的树脂供给***中，容器在利用升降部上升的规定的位置(供给位置)倾斜，而将树脂材料供给至树脂积存部的供给口。即，在所述树脂供给***中，将树脂材料从单一的位置(供给位置)供给至单一的树脂积存部。

然而，近年来，伴随树脂成形品的大型化，树脂材料从树脂积存部向树脂成形部的供给所需要的时间变长，从而担心树脂成形品的制造效率的劣化。因此，从制造效率的观点出发，期望设置多个树脂积存部，使用供给至多个树脂积存部的树脂材料，并行地进行树脂材料从树脂积存部向树脂成形部的供给。在此情况下，需要能够在多个位置(对多个树脂积存部)供给树脂材料的树脂供给机构。

本发明是鉴于如上所述那样的状况而成，其所要解决的问题在于提供一种能够在多个位置供给树脂材料的树脂供给机构、树脂成形装置及树脂成形品的制造方法。

[解决问题的技术手段]

本发明所要解决的问题如上所述，为了解决所述问题，本发明的树脂供给机构包括：容器保管部，保管收纳有树脂材料的容器；升降机构，使所述容器保管部中所保管的所述容器上升至规定的上升位置；盖开封机构，将位于所述上升位置的所述容器的盖开封；横向移动机构，使由所述盖开封机构开封的所述容器在横向方向上移动，使其移动至多个树脂供给位置中的任一位置；以及旋转机构，通过使位于所述树脂供给位置的所述容器旋转，将所述容器中所收纳的树脂材料排出。

另外，本发明的树脂成形装置包括所述树脂供给机构。

另外，本发明的树脂成形品的制造方法使用所述树脂成形装置来制造树脂成形品。

[发明的效果]

根据本发明，可在多个位置供给树脂材料。

附图说明

图1是表示本发明一实施方式的树脂成形装置的整体结构的平面示意图。

图2是表示本发明一实施方式的树脂供给装置的整体结构的主视图。

图3是表示树脂供给装置的右部的放大主视图。

图4的(a)～图4的(d)是表示在容器保管部保管有容器的情形、及将容器搬出的情形的图。

图5的(a)是表示旋转机构、横向移动机构及盖开封机构的放大主视图。图5的(b)是表示所述旋转机构、横向移动机构及盖开封机构的放大右侧视图。

图6是表示树脂供给装置的上部的放大主视图。

图7的(a)是表示树脂收纳部的放大右侧视图。图7的(b)是表示向树脂收纳部供给树脂材料的情形的放大右侧视图。

图8的(a)是表示旋转机构保持容器的情形的主视图。图8的(b)是表示旋转机构使容器纵向旋转的情形的右侧视图。图8的(c)是表示盖开封机构使容器的盖旋转的情形的右侧视图。图8的(d)是表示从容器取下盖的状态的右侧视图。图8的(e)是表示盖开封机构将盖安装在容器的情形的右侧视图。图8的(f)是表示旋转机构使容器横向旋转的情形的右侧视图。

图9是表示容器移动至右侧的树脂收纳部的情形的放大主视图。

图10是表示将容器回收的情形的放大主视图。

图11是表示容器移动至左侧的树脂收纳部的情形的放大主视图。

[符号的说明]

1：树脂成形装置

10：基板搬入搬出模块

11：搬入部

12：搬出部

13：***

14：臂机构

14a：吸附手部

14b：臂部

14c：驱动部

20：基板交接模块

21：装载器

22：卸载器

30：成形模块

31：成形模

40：树脂供给模块

41：小托盘

42：小托盘搬送机构

43：大托盘

44：大托盘搬送机构

50：控制部

100：树脂供给机构

110：框体

120：容器保管部

121：侧壁

122、192：倾斜面

123：下侧止挡件

124：上侧止挡件

130：升降机构

131：载置部

131a：凹部

132、151、La：导轨

133、152：移动部

134、141、153、161：马达

140：旋转机构

142：基底部

143、162：把持部

150：横向移动机构

160：盖开封机构

161a：输出轴

163：升降缸

170：树脂收纳部

171：引导部

172：储料器

172a：传感器

173：第一给料机

174：树脂供给部

175：第二给料机

180：集尘机构

181、201：本体部

182：抽吸口

183、202：软管

190：容器回收部

191：回收盒

200：空调装置

B、D、F、L、R、U：箭头

C：容器

C1：盖

P：基板

具体实施方式

以下，将图中的箭头U、箭头D、箭头F、箭头B、箭头L及箭头R所示的方向分别定义为上方向、下方向、前方向、后方向、左方向及右方向来进行说明。

首先，使用图1对本实施方式的树脂成形装置1的结构进行说明。树脂成形装置1对半导体芯片等电子零件进行树脂密封，来制造树脂成形品。尤其在本实施方式中，例示了采用将模腔内的树脂材料压缩并成形的压缩成形方式(压缩方式)的树脂成形装置1。

树脂成形装置1包括基板搬入搬出模块10、基板交接模块20、成形模块30、树脂供给模块40及控制部50作为结构元件。各结构元件能够相对于其他结构元件拆卸且能够更换。

基板搬入搬出模块10搬入安装有电子零件的基板P，并且搬出电子零件经树脂密封的基板P。在本实施方式中，假定使用相对较大型的基板P。例如，基板P形成为一边为450mm以上、500mm以上、或600mm以上的矩形板状。基板搬入搬出模块10主要包括：搬入部11、搬出部12、***13及臂机构14。

搬入部11为配置未经树脂密封的基板P的部分。搬出部12为配置经树脂密封的基板P的部分。搬入部11及搬出部12可分别收纳多个基板P。

***13为进行经树脂密封的基板P的检查的部分。***13包括：载置经树脂密封的基板P的载置部、对基板P进行检查的检查机构(未图示)等。

臂机构14使基板P移动。臂机构14包括：吸附基板P的吸附手部14a、用来安装吸附手部14a的臂部14b、使臂部14b适当旋转或移动的驱动部14c等。

基板交接模块20为在基板搬入搬出模块10与后述的成形模块30之间进行基板P的交接的部分。基板交接模块20主要包括装载器21及卸载器22。

装载器21从臂机构14接收未经树脂密封的基板P，并搬送至后述的成形模块30的成形模31。卸载器22从后述的成形模31接收经树脂密封的基板P，并搬送至基板搬入搬出模块10。装载器21及卸载器22可沿着在左右方向上延伸的导轨La移动。在本实施方式中，装载器21与卸载器22以一体地移动的方式相互连结。

成形模块30使用从后述的树脂供给模块40供给的树脂材料，来对安装在基板P的电子零件进行树脂密封。在本实施方式中，成形模块30并排配置两个。通过利用两个成形模块30并行地进行基板P的树脂密封，可提高树脂成形品的制造效率。成形模块30主要包括成形模31等。

成形模31使用熔融的树脂材料对基板P进行压缩成形。成形模31包括上下一对模(上模及下模)。在下模形成用来收纳树脂材料的凹状的模腔(未图示)。另外，在成形模31设置用于使树脂材料熔融的加热器(未图示)。

树脂供给模块40向成形模块30的成形模31供给树脂材料。树脂供给模块40主要包括：树脂供给机构100、小托盘41、小托盘搬送机构42、大托盘43及大托盘搬送机构44。

树脂供给机构100向后述的小托盘41供给树脂材料。树脂供给机构100可并行地向两个小托盘41供给树脂材料。再者，关于树脂供给机构100的详细结构将在后面叙述。

小托盘41将从树脂供给机构100接收到的树脂材料供给至后述的大托盘43。小托盘41可在上表面保持树脂材料。小托盘41是以俯视时的大小为后述大托盘43的大小的四分之一左右的方式形成。

小托盘搬送机构42将小托盘41搬送至适当的位置。小托盘搬送机构42可在树脂供给机构100与大托盘43之间以使小托盘41往返的方式搬送小托盘41。

大托盘43将从小托盘41接收到的树脂材料供给至成形模块30的成形模31。大托盘43可在上表面保持树脂材料。大托盘43是以成为与成形模31的模腔的平面形状对应的平面形状(例如，矩形形状)的方式形成。

大托盘搬送机构44将大托盘43搬送至适当的位置。大托盘搬送机构44可沿着在左右方向上延伸的导轨La移动。

此处，对小托盘41、大托盘43补充说明。所谓此处的“托盘”，只要能够在内部收纳颗粒状的树脂材料即可，所述树脂材料收纳部可为单个也可为多个。例如，作为托盘，可采用如下结构：将树脂材料收纳部分割成多个区域，使用设置在下方的挡板机构使多个树脂材料收纳部中所收纳的树脂材料落下。另外，作为托盘，还可采用如下结构：将沿着长度方向而一部分开口且内部被挖通那样的圆筒形状的构件以多个在单方向上并排的方式排列，使这些圆筒形状的多个构件旋转，而使圆筒形状的多个构件的内部空间中所收纳的树脂材料落下。

控制部50对树脂成形装置1的各模块的动作进行控制。利用控制部50对基板搬入搬出模块10、基板交接模块20、成形模块30及树脂供给模块40的动作进行控制。另外，可使用控制部50任意地变更(调整)各模块的动作。

接着，对如上所述那样构成的树脂成形装置1的动作(树脂成形品的成形方法)的概要进行说明。

首先，配置在搬入部11的未经树脂密封的基板P由臂机构14搬送至装载器21。

接着，装载器21沿着导轨La移动，将基板P搬送至其中一个成形模块30。搬送至成形模块30的基板P吸附并保持于成形模31的上模。

接着，以覆盖成形模31的下模的方式配置离型膜。

接着，从树脂供给模块40向成形模块30的成形模31供给树脂材料。此处，在树脂供给模块40中，预先从树脂供给机构100供给的树脂材料经由小托盘41被供给至大托盘43。由于小托盘41以成为大托盘43的四分之一左右的大小的方式形成，因此利用共计四个小托盘41向整个大托盘43大致均匀地供给树脂材料。

通过使大托盘搬送机构44沿着导轨La移动，将保持有树脂材料的大托盘43搬送至成形模块30的成形模31。其后，将大托盘43的树脂材料供给至成形模31(下模)的模腔。大托盘搬送机构44将树脂材料供给至成形模31之后，返回至树脂供给模块40。

接着，利用成形模31的加热器将树脂材料熔融。其后，在下模与上模相互接近且基板P的电子零件浸渍于树脂材料的状态下，对树脂材料适当施加压力。通过在所述状态下将树脂材料硬化，可获得电子零件经树脂密封的基板P。

接着，卸载器22沿着导轨La移动，从成形模31接收电子零件经树脂密封的基板P。此时，可利用与卸载器22一起移动的装载器21将新的基板P配置在成形模31。其后，卸载器22沿着导轨La移动，并返回至基板交接模块20。

接着，由卸载器22保持的基板P由臂机构14搬送至***13。在***13中，进行电子零件经树脂密封的基板P的检查。

接着，检查结束后的基板P由臂机构14搬送至搬出部12。配置在搬出部12的基板P被适当搬出至外部。

如上所述，通过对安装在基板P的电子零件进行树脂密封，可制造树脂成形品。再者，在所述的动作说明中省略了说明，但在本实施方式的树脂成形装置1中，可利用设置有两个的成形模块30，并行地进行基板P的树脂密封。具体而言，在利用其中一个成形模块30进行树脂密封(树脂材料的熔融、或对基板P的按压等)时，可向另一个成形模块30供给树脂材料，或进行基板P的树脂密封。如此，可效率良好地制造树脂成形品(电子零件经树脂密封的基板P)。

以下，使用图2至图11，对树脂供给模块40的树脂供给机构100进行具体说明。

树脂供给机构100主要包括：框体110、容器保管部120、升降机构130、旋转机构140、横向移动机构150、盖开封机构160、树脂收纳部170、集尘机构180、容器回收部190、及空调装置200。

图2所示的框体110收纳构成树脂供给机构100的各部(后述的容器保管部120等)。框体110通过适当的框架或壁面等，形成为具有适当的形状的箱状。通过将容器保管部120等收纳在框体110内，可抑制树脂材料的粉末等尘埃漏出至树脂供给机构100的外部的情况，从而抑制外部的空气受到污染的情况。

图2至图4的(d)所示的容器保管部120为保管用来收纳树脂材料的容器C的部分。容器C形成为具有底的大致圆筒状(例如，参照图5的(a)、图5的(b)等)。形成于容器C的长度方向一端部的开口部由盖C1堵塞。在本实施方式中，假定使用颗粒状的树脂材料，所述树脂材料以规定量收纳在容器C。再者，作为树脂材料，不仅能够使用颗粒状的材料，还能够使用粉末状或液状等任意形态的材料。容器保管部120主要包括：侧壁121、倾斜面122、下侧止挡件123及上侧止挡件124。

侧壁121限制容器C向左右方向的移动。侧壁121以相互相对的方式设置左右一对。左右一对的侧壁121的间隔形成为与容器C的直径大致相同。

倾斜面122用于引导从容器保管部120搬出的容器C。倾斜面122是以从其中一个侧壁121(在本实施方式中为右侧的侧壁121)的下端部朝向左下方倾斜的方式配置。

下侧止挡件123限制容器C的落下。下侧止挡件123设置在其中一个侧壁121(在本实施方式中为右侧的侧壁121)的下端部附近。在侧壁121设置有狭缝，以使下侧止挡件123可朝向容器C突出。下侧止挡件123可通过适当的致动器(例如，气缸等)而伸缩。下侧止挡件123在通过致动器的动作而收缩的状态下，整***于侧壁121的右侧。另外，当下侧止挡件123通过致动器的动作而伸长时，前端(左端)从侧壁121向左方突出。

上侧止挡件124限制容器C的落下。上侧止挡件124配置在下侧止挡件123的上方。上侧止挡件124与下侧止挡件123隔开规定的间隔(与容器C的直径大致相同的间隔)而配置。上侧止挡件124的结构与下侧止挡件123相同。即，当上侧止挡件124伸长时，前端(左端)从侧壁121向左方突出。

再者，在通常时(容器保管部120中保管有容器C的状态)，仅下侧止挡件123伸长，上侧止挡件124收缩(参照图4的(a))。即，成为仅下侧止挡件123向侧壁121的左方突出的状态。

在如上所述那样构成的容器保管部120中，可保管多个容器C。具体而言，由作业者打开设置在框体110的适当的门，在一对侧壁121之间配置容器C。此时，容器C以使长度方向面向横向(前后)的状态(更详细而言，使盖C1面向前方的状态)配置。容器C因自重而欲在一对侧壁121之间向下方移动(落下)，但容器C的移动由下侧止挡件123限制(参照图4的(a))。由此，可将容器C保持在一对侧壁121之间。另外，通过将容器C配置为上下堆叠，可在容器保管部120保管多个容器C。

另外，容器保管部120可根据需要将容器C逐个搬出至后述的升降机构130。具体而言，如图4的(b)所示，首先，上侧止挡件124伸长，从下起第二个容器C向下方的移动受到限制。接着，如图4的(c)所示，下侧止挡件123收缩，最下面的容器C的限制解除。由此，最下面的容器C因自重而向下方移动，在倾斜面122的上表面滚动而被引导至配置在左方的升降机构130。最后，如图4的(d)所示，下侧止挡件123伸长，上侧止挡件124收缩。由此，残留在容器保管部120的容器C向下方移动。

图2至图4的(d)所示的升降机构130使从容器保管部120搬出的容器C升降。升降机构130主要包括：载置部131、导轨132、移动部133及马达134。

载置部131为载置容器C的部分。载置部131由前后一对板状的构件形成(参照图5的(b))。载置部131的上表面包括形成为左右中央朝向下方凹陷那样的形状(正面观看时大致V字状)的凹部131a。通过在凹部131a载置横置的容器C，可将容器C保持为不向左右滚动。

图3所示的导轨132是以能够使载置部131上下移动的方式引导载置部131。导轨132由在上下方向上延伸的适当的构件形成。导轨132配置在容器保管部120的左方。

移动部133为设置为能够相对于导轨132上下(导轨132的长度方向)移动的部分。在移动部133固定载置部131。

马达134是产生用于使移动部133上下移动的驱动力的构件(驱动源)。马达134经由适当的动力传递机构与移动部133连结。通过对马达134的动作(旋转方向或旋转速度等)进行控制，可使移动部133(甚至载置部131)上下升降至任意的位置。

图2、图3及图5的(a)、图5的(b)所示的旋转机构140保持容器C，并且使其向规定的朝向旋转。旋转机构140主要包括：马达141、基底部142及把持部143。

图5的(a)、图5的(b)所示的马达141是产生用于使后述的基底部142旋转的驱动力的构件(驱动源)。马达141是以输出轴(未图示)面向右方的方式配置。

基底部142为支撑后述的把持部143的部分。基底部142的左端部连结于马达141的输出轴。由此，基底部142可与马达141的输出轴一起旋转。

把持部143为把持容器C的部分。把持部143设置左右一对。把持部143是以能够相对于基底部142左右移动的方式设置。把持部143可通过适当的致动器(未图示)的驱动力而向左右移动。

如上所述那样构成的旋转机构140由后述的横向移动机构150支撑。如图8的(a)所示，在将容器C配置在左右一对把持部143之间的状态下，通过使把持部143以相互接近的方式移动，可利用把持部143夹入容器C来保持。通过在所述状态下驱动马达141，可使容器C向任意的朝向旋转。例如，在图8的(b)中，示出了容器C的盖C1以面向上的方式旋转的情形。

图2、图5的(a)、图5的(b)及图6所示的横向移动机构150使容器C在横向方向(左右方向)上移动。横向移动机构150主要包括：导轨151、移动部152及马达153。

图5的(a)、图5的(b)及图6所示的导轨151以能够使后述的移动部152在横向方向(水平方向)上移动的方式引导移动部152。导轨151由在左右方向上延伸的适当的构件形成。导轨151是以从升降机构130的上方(导轨132的上端部附近)朝向左方延伸的方式配置。

移动部152为设置为能够相对于导轨151左右(导轨151的长度方向)移动的部分。在移动部152设置旋转机构140。

马达153是产生用于使移动部152左右移动的驱动力的构件(驱动源)。马达153经由适当的动力传递机构与移动部152连结。通过对马达153的动作(旋转方向或旋转速度等)进行控制，可将移动部152(甚至旋转机构140)左右移动至任意的位置。再者，为了方便，在图5的(b)中省略了马达153的图示。

图2、图5的(a)、图5的(b)及图6所示的盖开封机构160将容器C的盖C1开封。盖开封机构160配置在升降机构130的上方(比旋转机构140及横向移动机构150更靠上侧)。盖开封机构160主要包括：马达161、把持部162及升降缸163。

图5的(a)、图5的(b)及图6所示的马达161是产生用于使后述的把持部162旋转的驱动力的构件(驱动源)。马达161是以输出轴161a面向下方的方式配置。

把持部162为把持容器C的盖C1的部分。把持部162在马达161的输出轴161a的下端部设置多个。把持部162设置为能够相对于输出轴161a摆动。把持部162可通过适当的致动器(例如，气缸等)而任意地摆动。通过使多个把持部162的下端部以相互接近的方式摆动，可把持容器C的盖C1。

图5的(b)所示的升降缸163用于使马达161上下移动(升降)。升降缸163是以成为能够上下伸缩的方式配置。升降缸163连结于马达161。通过使升降缸163伸缩，可使马达161升降。

通过如上所述那样构成的盖开封机构160，可将容器C的盖C1开封。具体而言，在将盖C1从容器C取下的情况下，如图8的(c)所示，在利用把持部162把持由旋转机构140保持的容器C的盖C1的状态下，驱动马达161。由此，可使盖C1相对于容器C旋转。伴随于此，通过利用升降缸163使马达161逐渐上升，可如图8的(d)所示，将盖C1从容器C取下。

另外，在将盖C1安装于容器C的情况下，如图8的(e)所示，在利用把持部162把持经取下的盖C1的状态下，驱动马达161。在所述状态下，通过利用升降缸163使马达161逐渐下降，可将盖C1安装于由旋转机构140保持的容器C。

图2、图6及图7的(a)、图7的(b)所示的树脂收纳部170为暂时收纳从容器C供给至小托盘41的树脂材料的部分。树脂收纳部170沿着横向移动机构150的导轨151设置多个(在本实施方式中为两个)。再者，在图7的(a)、图7的(b)中示出了从右方观看两个树脂收纳部170中的右侧的树脂收纳部170的情形(右侧视图)。树脂收纳部170主要包括：引导部171、储料器172、第一给料机173、树脂供给部174及第二给料机175。

图6及图7的(a)、图7的(b)所示的引导部171为将从容器C排出的树脂材料引导至后述的储料器172的部分。引导部171形成为上下开口的筒状。引导部171形成为与上部相比下部窄那样的大致漏斗状。

储料器172暂时保持从容器C排出的树脂材料，并将其供给至后述的树脂供给部174。储料器172形成为上部开口的大致箱状。在储料器172的底部形成用于将所收纳的树脂材料向下方(树脂供给部174)供给的供给口(未图示)。在储料器172设置传感器172a。

传感器172a用于对在储料器172中是否收纳有规定量的树脂材料进行检测。传感器172a可由例如反射式光电传感器构成，但也可由透射式传感器构成。

第一给料机173用于将树脂材料从储料器172排出。第一给料机173设置在储料器172的下部，可使储料器172振动。通过利用第一给料机173使储料器172振动，可使树脂材料从储料器172的供给口逐渐落下，并将其供给至配置在下方的树脂供给部174。

图6所示的树脂供给部174将树脂材料供给至小托盘41。树脂供给部174形成为上部开口的大致箱状。在树脂供给部174的底部形成用于将所收纳的树脂材料向下方(小托盘41)供给的供给口(未图示)。另外，在树脂供给部174设置重量传感器(未图示)，可对树脂供给部174的重量(甚至收纳在树脂供给部174的树脂材料的重量)进行检测。

第二给料机175用于将树脂材料从树脂供给部174排出。第二给料机175设置在树脂供给部174的下部，可使树脂供给部174振动。通过利用第二给料机175使树脂供给部174振动，可使树脂材料从树脂供给部174的供给口逐渐落下，并将其供给至配置在下方的小托盘41(参照图1)。

利用如上所述那样构成的树脂收纳部170收纳树脂材料，并且可将树脂材料适当供给至小托盘41。具体而言，在储料器172收纳从容器C供给的树脂材料。对树脂供给部174，以始终收纳规定量的树脂材料的方式，基于重量传感器的检测值而从储料器172适当供给树脂材料。树脂供给部174中所收纳的树脂材料在适当的时机被供给至小托盘41。另外，在由传感器172a检测到储料器172中所收纳的树脂材料减少的情况下，如后所述，将容器C的树脂材料供给至储料器172。

图2及图3所示的集尘机构180通过抽吸框体110内的空气，来回收树脂材料的粉末等尘埃。集尘机构180主要包括：本体部181、抽吸口182及软管183。

图3所示的本体部181是将用于抽吸空气的风扇、或回收尘埃的过滤器等单元化而成的构件。本体部181配置在框体110的适当的部位。

抽吸口182是用于抽吸框体110内的空气的开口。抽吸口182分别配置在树脂收纳部170的引导部171的左右。

软管183将本体部181与抽吸口182连接。软管183适当分支，并分别连接于多个抽吸口182。

图2及图3所示的容器回收部190为回收将树脂材料供给至树脂收纳部170而变空的容器C的部分。容器回收部190主要包括回收盒191及倾斜面192。

图3所示的回收盒191收纳变空的容器C。回收盒191形成为上部开口的大致箱状。回收盒191配置在容器保管部120的下方。

倾斜面192将容器C引导至回收盒191。倾斜面192配置在容器保管部120的倾斜面122的左下方。倾斜面192是以从回收盒191的左上端部朝向左上方倾斜的方式配置。倾斜面192配置在升降机构130的载置部131升降的路径的中途部(下部)。在倾斜面192形成升降机构130的载置部131能够上下通过的狭缝(未图示)。

图2及图3所示的空调装置200调整框体110内的温度或湿度。空调装置200主要包括本体部201及软管202。

图3所示的本体部201进行空气的冷却及除湿。在图3中，本体部201配置在框体110的外部，但也可包含软管202在内，空调装置200的整体配置在框体110的内部。本体部201可导入框体110的外部的空气，来适当进行冷却及除湿。

软管202将由本体部201进行了冷却及除湿的空气引导至框体110内。软管202分别连接于本体部201及框体110的适当的部位。通过将经冷却及除湿的空气经由软管202供给至框体110，可适当调整框体110内的温度或湿度。

接着，对如上所述那样构成的树脂供给机构100的动作(具体而言，将容器C中所收纳的树脂材料供给至树脂收纳部170的动作)进行说明。

在利用设置于储料器172的传感器172a检测到储料器172内的树脂材料在某种程度上减少(储料器172中所收纳的树脂材料小于规定量)的情况下，开始容器C中所收纳的树脂材料向树脂收纳部170的供给。再者，以下的动作说明是假定两个树脂收纳部170中的右侧的树脂收纳部170的储料器172内的树脂材料减少的情况。

首先，如图3所示，利用容器保管部120将所保管的容器C中的一个(最下面的容器C)搬出至升降机构130。搬出至升降机构130的容器C载置在载置部131的凹部131a。

接着，如图3及图6所示，容器C被升降机构130抬起，配置在能够由旋转机构140保持的上升位置。在所述状态下，容器C由旋转机构140保持(参照图8的(a))，盖C1以面向上的方式旋转(参照图8的(b))。

接着，如图8的(c)及图8的(d)所示，利用盖开封机构160将容器C的盖C1开封。

接着，如图9所示，开始利用横向移动机构150使旋转机构140(甚至容器C)向左方的移动。另外，基于利用横向移动机构150使容器C移动的开始时机，使集尘机构180运行。此处，当开始利用横向移动机构150使容器C移动时，本体部181的风扇运行，开始来自抽吸口182的抽吸。通过使集尘机构180运行，可抽吸从打开的容器C出来的尘埃等。容器C停止在能够向树脂收纳部170供给树脂材料的位置(树脂供给位置)。具体而言，容器C停止在从正面观看时与右侧的树脂收纳部170(引导部171)重合的位置。再者，集尘机构180的运行的开始可以相对于利用横向移动机构150使容器C移动的开始时机而提前/延后一定时间等的方式，基于利用横向移动机构150使容器C移动的开始时机进行控制。

接着，如图7的(b)所示，容器C通过旋转机构140旋转。由此，容器C的开口部面向下方，容器C内的树脂材料经由引导部171被供给至储料器172。

当在容器C面向下方的状态下经过规定的时间时，容器C的开口部通过旋转机构140再次面向上方。

再者，将容器C内的树脂材料供给至储料器172，在利用传感器172a检测到在储料器172中收纳有规定量的树脂材料的情况下，集尘机构180停止。

另一方面，即使将容器C内的树脂材料供给至储料器172，在利用传感器172a检测到在储料器172中未收纳有规定量的树脂材料的情况下，集尘机构180也不停止而持续运行。

在容器C的开口部面向上方之后，容器C通过横向移动机构150向右方移动。容器C停止在盖开封机构160的紧靠其的下方。

接着，如图8的(e)所示，利用盖开封机构160安装容器C的盖C1。进而，如图8的(f)所示，容器C通过旋转机构140横向(以盖C1面向前方的方式)旋转。

接着，如图10所示，利用旋转机构140对容器C的保持解除，容器C通过升降机构130向下方移动。当载置部131通过倾斜面192的狭缝而向比倾斜面192更靠下方移动时，载置于载置部131的容器C被倾斜面192引导而回收至回收盒191内。

如此，一个容器C中所收纳的树脂材料向树脂收纳部170的供给完成。此处，在储料器172内的树脂材料仍然少的情况下(在利用传感器172a检测到在储料器172中未收纳有预定量的树脂材料的情况下)，进而将另一个容器C的树脂材料供给至储料器172。如此，反复将容器C的树脂材料供给至储料器172，直至在储料器172中收纳规定量的树脂材料。在此期间，集尘机构180持续运行。

再者，在所述动作说明中，例示了右侧的储料器172的树脂材料减少的情况，但左侧的储料器172的树脂材料减少的情况，也同样地供给容器C的树脂材料。在此情况下，如图11所示，容器C通过横向移动机构150移动至在正面观看时与左侧的树脂收纳部170(引导部171)重合的位置，将容器C的树脂材料供给至左侧的储料器172。

如此，在本实施方式中，可利用横向移动机构150使容器C移动至多个位置(与左右的树脂收纳部170对应的位置)。由此，可将树脂材料供给至设置在多个部位的树脂收纳部170。由于可将树脂材料从以如上方式被供给有树脂材料的多个树脂收纳部170并行地供给至小托盘41，因此可提高树脂成形品的制造效率。

另外，集尘机构180的运行在适当的时机开始及停止。即，集尘机构180间歇地进行集尘。由此，在进行集尘的同时，也可抑制由空调装置200进行了调整的框体110内的温度或湿度被打乱的情况。此处，使集尘机构180的运行停止的时机例如可基于利用盖开封机构160将盖C1安装在树脂供给后的容器C的时机进行控制，或基于将树脂供给后的容器C回收至回收盒191内的时机进行控制，或基于利用传感器172a检测到在储料器172收纳有规定量的树脂材料进行控制。

如上所述，本实施方式的树脂供给机构100包括：

容器保管部120，保管收纳有树脂材料的容器C；

升降机构130，使所述容器保管部120中所保管的所述容器C上升至规定的上升位置；

盖开封机构160，将位于所述上升位置的所述容器C的盖C1开封；

横向移动机构150，使由所述盖开封机构160开封的所述容器C在横向方向上移动，并使其移动至多个树脂供给位置中的任一个位置；以及

旋转机构140，通过使位于所述树脂供给位置的所述容器C旋转，将所述容器C中所收纳的树脂材料排出。

通过如上所述那样构成，可在多个位置供给树脂材料。即，可利用横向移动机构150使容器C移动至多个位置(树脂供给位置)，来供给树脂材料。由此，可将树脂材料供给至多个部位(在本实施方式中为多个树脂收纳部170)，并行地进行同样的制造步骤(在本实施方式中为树脂材料向小托盘41的供给)，进而可实现制造的效率化。

另外，树脂供给机构100还包括：

多个树脂收纳部170，以与所述多个树脂供给位置对应的方式配置，收纳从所述容器C排出的树脂材料。

通过如上所述那样构成，可实现制造的效率化。即，可使用供给至多个树脂收纳部170的树脂材料，并行地进行树脂材料向小托盘41的供给。由此，推进树脂成形品(基板P)的大型化，即使树脂成形所需要的树脂材料增加，也可抑制制造效率的劣化(实现制造效率的提高)。

另外，树脂供给机构100还包括：

容器回收部190，回收排出树脂材料后的所述容器C。

通过如上所述那样构成，可实现制造的效率化。即，不需要作业者每次都取出变空的容器C的作业，因此可实现制造的效率化。另外，如本实施方式那样，通过在框体110内设置容器回收部190，可抑制来自变空的容器C的尘埃等漏出至树脂供给机构100的外部的情况。

另外，树脂供给机构100还包括：

集尘机构180，进行所述容器C所移动的空间(框体110内)的集尘。

通过如上所述那样构成，可抑制空气或各部的污染。即，伴随容器C的移动，容器C中所收纳的树脂材料的粉末等有可能飞散至框体110内。因此，通过进行框体110内的集尘，可回收飞散的尘埃，从而抑制空气或各部的污染。另外，伴随于此，可抑制尘埃向框体110外部的流出，因此还可抑制框体110外部的空气的污染。

另外，所述集尘机构180间歇地进行集尘。

通过如上所述那样构成，在进行框体110内的集尘同时，也可抑制框体110内的温度或湿度被打乱的情况。尤其是如本实施方式那样，在利用空调装置200进行框体110内的空调的情况下，可兼顾利用空调装置200进行的框体110内的空调及利用集尘机构180进行的框体110内的集尘(框体110内的污染的抑制)。

另外，所述集尘机构180基于利用所述横向移动机构150使所述容器C移动开始的时机，开始集尘。

通过如上所述那样构成，可有效地进行集尘。即，认为伴随容器C的移动，树脂材料的粉末等从容器C飞散的可能性高。因此，通过伴随容器C的移动开始使集尘机构180运行，可有效地进行集尘。

另外，所述容器保管部120能够在将所述容器C的长度方向面向横向的状态下，以上下重叠的方式保管多个容器。

通过如上所述那样构成，可在少的面积保管更多的容器C。即，通过将容器C上下重叠地保管，可抑制保管所需要的面积(前后及左右的宽度)。另外，通过使容器C的长度方向面向横向，可抑制将多个容器C堆叠时的高度，因此可保管更多的容器C。

另外，本实施方式的树脂成形装置1包括所述树脂供给机构100。

通过如上所述那样构成，可在多个位置供给树脂材料，进而可实现制造的效率化。

另外，本实施方式的树脂成形品的制造方法使用所述树脂成形装置1来制造树脂成形品。

通过如上所述那样构成，可在多个位置供给树脂材料，进而可实现制造的效率化。

以上，对本发明的实施方式进行了说明，但本发明并不限定于所述实施方式，能够在权利要求书中所记载的发明的技术思想的范围内进行适当的变更。

例如，在本实施方式中，例示了压缩方式的树脂成形装置1，但本发明并不限于此，也能够采用其他方式(例如，将熔融的树脂移送至模腔内并使其硬化的传送方式等)。

另外，本实施方式的树脂成形装置1所使用的结构元件(基板搬入搬出模块10等)为一例，能够适当地进行装卸或更换。例如，也能够不设置基板搬入搬出模块10，作业者通过手动进行基板P的搬入搬出。

另外，在本实施方式中，例示了矩形板状的基板P，但本发明并不限于此，能够使用其他各种形状(例如，圆形板状等)的基板P。

另外，在本实施方式中例示的各部的具体的结构(例如，用于利用旋转机构140保持容器C并使其旋转的结构、或用于利用横向移动机构150使容器C向横向方向移动的结构等)为一例，能够进行任意变更。

另外，在本实施方式中例示的容器C的形状为一例，能够使用其他各种形状(例如，长方体状等)的容器C。

另外，在本实施方式中，示出了利用横向移动机构150使容器C移动至两个树脂供给位置(两个树脂收纳部170)的例子，但本发明并不限于此。即，也能够设为如下结构：利用横向移动机构150使容器C移动至三个以上的树脂供给位置(即，设置三个以上的树脂收纳部170)。

另外，在本实施方式中，示出了利用横向移动机构150使容器C向单方向(左右方向)移动的例子，但本发明并不限于此。即，也能够构成为利用横向移动机构150使容器C向多个方向(例如，左右方向及前后方向)移动。

另外，利用升降机构130使容器C移动的方向可未必是上下方向(铅垂方向)，例如也可为相对于铅垂方向倾斜的方向。另外，利用横向移动机构150使容器C移动的方向可未必是水平方向，例如也可为相对于水平方向倾斜的方向。

另外，在本实施方式中，示出了利用集尘机构180间歇地进行集尘的例子，但本发明并不限于此，也能够始终进行集尘。另外，在间歇地进行集尘的情况下，集尘机构180的运行的开始及停止的时机不限于本实施方式，可任意地设定。例如，可与利用容器保管部120、升降机构130、旋转机构140及横向移动机构150使容器C移动、或利用盖开封机构160将容器C的盖C1开闭、以及空调装置200的运行等连动，设定集尘机构180的运行的开始及停止的时机。

另外，在本实施方式中，示出了将集尘机构180的抽吸口182配置在树脂收纳部170的引导部171的左右的例子，但本发明并不限于此。即，抽吸口182能够配置在任意的场所，能够根据各部的结构从所需要的部位进行集尘。

另外，在本实施方式中，示出了空调装置200调整框体110内的温度及湿度的例子，但本发明并不限于此，也可仅调整温度。

Claims (8)

1.一种树脂供给机构，包括：

容器保管部，保管收纳有树脂材料的容器；

升降机构，使所述容器保管部中所保管的所述容器上升至规定的上升位置；

盖开封机构，将位于所述上升位置的所述容器的盖开封；

横向移动机构，使由所述盖开封机构开封的所述容器在横向方向上移动，并使其移动至多个树脂供给位置中的任一位置；

旋转机构，通过使位于所述树脂供给位置的所述容器旋转，将所述容器中所收纳的树脂材料排出；以及

集尘机构，使利用所述盖开封机构开封的所述容器利用所述横向移动机构进行横向移动的空间的集尘。

2.根据权利要求1所述的树脂供给机构，还包括：

多个树脂收纳部，以与所述多个树脂供给位置对应的方式配置，收纳从所述容器排出的树脂材料。

3.根据权利要求1或2所述的树脂供给机构，还包括：

容器回收部，回收排出树脂材料后的所述容器。

4.根据权利要求3所述的树脂供给机构，其中

所述集尘机构间歇地进行集尘。

5.根据权利要求4所述的树脂供给机构，其中

所述集尘机构基于利用所述横向移动机构使所述容器移动的开始时机，开始集尘。

6.根据权利要求1或2所述的树脂供给机构，其中

所述容器保管部能够在将所述容器的长度方向面向横向的状态下，以上下重叠的方式保管多个容器。

7.一种树脂成形装置，包括如权利要求1至6中任一项所述的树脂供给机构。

8.一种树脂成形品的制造方法，使用如权利要求7所述的树脂成形装置来制造树脂成形品。

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