CN112705543B - 一种湿法清洗设备防震动进液***及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种湿法清洗设备防震动进液***，包括安装框架、阀件固定板、加热器固定板，所述阀件固定板、所述加热器固定板均固定安装于所述安装框架上，所述阀件固定板安装于所述安装框架的两侧，所述加热器固定板安装于安装框架的顶部，所述调节电磁阀集成安装于所述阀件固定板上，所述加热器安装于所述加热器固定板上，所述过滤器设置于所述加热器的旁侧，所述介质输送泵安装于所述安装框架的底部并位于所述加热器与所述过滤器之间。本发明通过将各个阀门集成安装于阀门固定板上，将加热器安装于加热器固定板上，再将阀门固定板与加热器固定板安装在安装框体上，可以有效提高进液装置的安装稳定性，避免了液体介质在传输时产生气泡。

Description

一种湿法清洗设备防震动进液***及方法
技术领域
本发明属于半导体设备技术领域，具体涉及一种湿法清洗设备防震动进液***及方法。
背景技术
半导体湿法设备在工作的过程中，涉及到酸液、碱液及有机液体的使用，其需要将液体溶液或者气体溶质借由泵或者是其他的转换输送介质进行传输。介质在输送的过程中，由于需要经过多个管路及多个输送装置，泵、加热装置及阀件在运行的过程中会产生大量的震动的情形，由于震动的产生，在液体溶液内会产生气泡或者发生液体不均匀的情况，造成清洗液失效，影响晶圆产品的清洗质量，晶圆产品的表面形成清洗盲区，进而导致晶圆产品失效。
发明内容
针对现有技术中存在的问题，本发明提供一种湿法清洗设备防震动进液***，本发明能够保证湿法清洗设备的进液的稳定性，提高清洗溶液的稳定性，保证晶圆产品的清洗质量。此外，本发明还要提供一种一种湿法清洗设备防震动进液方法。
为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：
本发明提供一种湿法清洗设备防震动进液***，采用防震动进液***，所述防震动进液***包括酸液进液管路、纯水进液管路、配液槽、介质输送泵、加热器、过滤器、排液管路、调节阀，所述酸液进液管路的进口连接外部供液***，所述纯水进液管路连接纯水，所述酸液进液管路、所述纯水进液管路的出口连接所述配液槽的进口，配液槽的出口通过第一输送管路连接所述介质输送泵的进口，所述配液槽内设置有浓度检测仪，所述介质输送泵的出口通过第二输送管路连接所述加热器的进口，所述加热器的出口通过第三输送管路连接所述过滤器的进口，所述加热器内部设置有温度传感器，所述过滤器的出口通过排液管路连接清洗槽，所述进液管路、所述第一输送管路、所述第二输送管路、所述第三输送管路、所述排液管路上均设置有调节电磁阀，所述调节电磁阀、所述浓度检测仪、所述温度传感器连接PLC控制器；
还包括安装框架、阀件固定板、加热器固定板，所述阀件固定板、所述加热器固定板均固定安装于所述安装框架上，所述阀件固定板安装于所述安装框架的两侧，所述加热器固定板安装于所述安装框架的顶部，所述调节电磁阀集成安装于所述阀件固定板上，所述加热器安装于所述加热器固定板上，所述过滤器设置于所述加热器的旁侧，所述过滤器的中轴线、所述加热器的中轴线、所述第三输送管路之间形成三角形结构，所述介质输送泵安装于所述安装框架的底部并位于所述加热器与所述过滤器之间。
作为优选的技术方案，所述过滤器的顶部设置有过滤器安装架，所述过滤器安装架为U形结构，其底部设置有卡合槽，所述过滤器的顶部固定于所述卡合槽内，所述过滤器安装架的顶部安装于湿法设备的主框架上。
作为优选的技术方案，所述过滤器与所述过滤器安装架之间设置有塑式活动式卡簧。
作为优选的技术方案，所述阀件固定板与所述安装框架之间的安装、所述加热器与所述安装框架之间的安装、所述过滤器安装架与所述主框架之间的安装均采用螺栓螺母式安装，所述螺栓为缓冲螺母，所述缓冲螺母的两侧沿螺母主体的周向设置有三角形缓冲齿。
作为优选的技术方案，所述安装框架靠近所述加热器固定板的一侧设置有一个阀件固定板，另一侧设置有两个阀件固定板。
作为优选的技术方案，所述安装框架安装于湿法清洗设备的清洗单元，每个清洗单元设置有1个或2个防震动进液***。
本发明的第二方面，提供一种湿法清洗设备防震动进液方法，采用上述的湿法清洗设备防震动进液***，包括以下步骤：
步骤一、酸液进液管路、纯水进液管路按照特定的比例向配液槽内输送酸液及纯水，酸液及纯水在配液槽内进行混合；
步骤二、浓度检测仪实时检测配液槽内酸液的浓度，并将浓度信号反馈至PLC控制器，PLC控制器根据浓度信息控制酸液进液管路、纯水进液管路上调节电磁阀的开启角度；
步骤三、配液槽内混合完成的清洗液依次经过介质输送泵、加热器、过滤器后由排液管路输送至清洗槽；
步骤四、温度传感器实时感应清洗液的温度信号并反馈至PLC控制器，PLC控制器根据温度信息控制加热器的温度。
作为优选的技术方案，所述步骤二中，酸液进液管路、纯水进液管路连接至主配液槽，在主配液槽内完成混合后进入副配液槽，主配液槽的出口与副配液槽的出口通过两个支管连接第一输送管路的进液端，主配液槽的出口处与副配液槽的出口处均设置有调节电磁阀，正常工作状态下，混合完成后的清洗液由副配液槽输送至第一输送管路。
作为优选的技术方案，若第一输送管路的流量值小于设定值，主配液槽的出口处与副配液槽的出口处的调节电磁阀同时开启。
与现有技术相比，本发明的有益效果为：
(1)本发明通过将各个阀门集成安装于阀门固定板上，将加热器安装于加热器固定板上，再将阀门固定板与加热器固定板安装在安装框体上，可以有效提高进液装置的安装稳定性，避免了液体介质在传输时产生气泡。
(2)本发明在过滤器、加热器、第三输送管路之间形成三角形结构，可以有效吸收设备产生的简谐振动，可以有效地缓解设备的震动。
(3)本发明通过设置缓冲螺母，缓冲螺母的两侧设置有三角形缓冲齿能够有效地分散振动所产生的应力，避免震动在不同的结构之间传递，提高了进液装置的稳定性。
(4)本发明设置了过滤器安装架，通过过滤器安装架将过滤器的顶部固定在主框架上，将介质输送泵设置在安装框架的底部，降低了整个装置的重心，避免了进液装置在工作的过程中来回晃动。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明湿法清洗设备防震动进液***的结构示意图之一。
图2为本发明湿法清洗设备防震动进液***的结构示意图之二。
图3为本发明湿法清洗设备防震动进液***的结构示意图之三。
图4为本发明湿法清洗设备防震动进液***的***示意图。
图5为本发明湿法清洗设备防震动进液***中缓冲螺母的结构示意图。
其中，附图标记具体说明如下：安装框架1、阀件固定板2、加热器固定板3、介质输送泵4、加热器5、过滤器6、酸液进液管路7、纯水进液管路8、第一输送管路9、第二输送管路10、第三输送管路11、排液管路12、过滤器安装架13、缓冲螺母14、三角形缓冲齿15。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
实施例1
本实施例提供一种湿法清洗设备防震动进液***，用于解决现有工艺中湿法清洗设备中管路与部件容易发生震动的情况。每个湿法清洗设备的清洗单元设置有1个或2个进液***。
本实施例的湿法清洗设备防震动进液***包括进液管路、配液槽、介质输送泵4、加热器5、过滤器6、排液管路12、调节电磁阀。其中进液管路包括两路进液管路，分别酸液进液管路7及纯水进液管路8，酸液进液管路7的进液口连接前端的供酸***，纯水进液管路8的进液口连接纯水，酸液进液管路7与纯水进液管路8上均设置有调节电磁阀，用于调节酸液与纯水的比例。酸液进液管路7的出口与纯水进液管路8的出口均连接配液槽的进口，在酸液与纯水在配液槽内混合均匀，在本实施例中，配液槽设置为两个，包括主配液槽与副配液槽，副配液槽与主配液槽选择性的连通。酸液进液管路7与纯水进液管路8均连接主配液槽，主配液槽的出口与副配液槽的出口通过两个支管连接第一输送管路9的进液端，主配液槽的出口处与副配液槽的出口处均设置有调节电磁阀，根据工作需要控制调节电磁阀的启闭或者开启大小。在第一输送管路9上也设置有调节电磁阀，用于调节液体介质的流量，第一输送管路9的出口连接介质输送泵4，介质输送泵4的出口通过第二输送管路10连接加热器5的进口，加热器5的出口通过第三输送管路11连接过滤器6的进口，过滤器6的出口通过排液管路12连接清洗槽，在第二输送管路10、第三输送管路11、排液管路12上均设置有调节电磁阀。由配液槽混合后的清洗液经介质输送泵4输送到加热器5，加热后的清洗液进入过滤器6过滤后，进入清洗槽对晶圆片进行清洗。其中，本实施例中还在配液槽内设置有浓度检测仪，在加热器内设置有温度传感器，调节电磁阀、浓度检测仪、温度传感器连接PLC控制器。
在机械结构上，本实施例包括安装框架1、阀件固定板2、加热器固定板3，所述阀件固定板2、所述加热器固定板3均固定安装于所述安装框架1上，所述阀件固定板2安装于所述安装框架1的两侧，所述加热器固定板3安装于所述安装框架1的顶部，所述安装框架1靠近所述加热器固定板3的一侧设置有一个阀件固定板2，另一侧设置有两个阀件固定板2。所述调节电磁阀集成安装于所述阀件固定板2上，所述加热器5安装于所述加热器固定板3上，所述过滤器6设置于所述加热器5的旁侧，所述过滤器6的中轴线、所述加热器5的中轴线、所述第三输送管路11之间形成三角形结构，所述介质输送泵4安装于所述安装框架1的底部并位于所述加热器5与所述过滤器6之间。所述过滤器6的顶部设置有过滤器安装架13，所述过滤器安装架13为U形结构，其底部设置有卡合槽，所述过滤器6的顶部固定于所述卡合槽内，所述过滤器安装架13的顶部安装于湿法设备的主框架上。所述过滤器6与所述过滤器安装架13之间设置有塑式活动式卡簧。所述阀件固定板2与所述安装框架1之间的安装、所述加热器5与所述安装框架1之间的安装、所述过滤器安装架13与所述主框架之间的安装均采用螺栓螺母式安装，所述螺栓为缓冲螺母14，所述缓冲螺母14的两侧沿螺母主体的周向设置有三角形缓冲齿15。
对于本实施例中的管路排布方式，可以根据实际工作需要，采取任意的管路分布。
实施例2
本实施例提供一种湿法清洗设备防震动进液方法，包括以下步骤：
步骤一、酸液进液管路7、纯水进液管路8按照特定的比例向配液槽内输送酸液及纯水，酸液及纯水在配液槽内进行混合；
步骤二、浓度检测仪实时检测配液槽内酸液的浓度，并将浓度信号反馈至PLC控制器，PLC控制器根据浓度信息控制酸液进液管路7、纯水进液管路8上调节电磁阀的开启角度；酸液进液管路7、纯水进液管路8连接至主配液槽，在主配液槽内完成混合后进入副配液槽，主配液槽的出口与副配液槽的出口通过两个支管连接第一输送管路9的进液端，主配液槽的出口处与副配液槽的出口处均设置有调节电磁阀，正常工作状态下，混合完成后的清洗液由副配液槽输送至第一输送管路9。若第一输送管路9的流量值小于设定值，主配液槽的出口处与副配液槽的出口处的调节电磁阀同时开启；
步骤三、配液槽内混合完成的清洗液依次经过介质输送泵4、加热器5、过滤器6后由排液管路12输送至清洗槽；
步骤四、温度传感器实时感应清洗液的温度信号并反馈至PLC控制器，PLC控制器根据温度信息控制加热器5的温度。
尽管上述实施例已对本发明作出具体描述，但是对于本领域的普通技术人员来说，应该理解为可以在不脱离本发明的精神以及范围之内基于本发明公开的内容进行修改或改进，这些修改和改进都在本发明的精神以及范围之内。

Claims (9)

1.一种湿法清洗设备防震动进液***，其特征在于，采用防震动进液***，所述防震动进液***包括酸液进液管路、纯水进液管路、配液槽、介质输送泵、加热器、过滤器、排液管路、调节阀，所述酸液进液管路的进口连接外部供液***，所述纯水进液管路连接纯水，所述酸液进液管路、所述纯水进液管路的出口连接所述配液槽的进口，配液槽的出口通过第一输送管路连接所述介质输送泵的进口，所述配液槽内设置有浓度检测仪，所述介质输送泵的出口通过第二输送管路连接所述加热器的进口，所述加热器的出口通过第三输送管路连接所述过滤器的进口，所述加热器内部设置有温度传感器，所述过滤器的出口通过排液管路连接清洗槽，所述进液管路、所述第一输送管路、所述第二输送管路、所述第三输送管路、所述排液管路上均设置有调节电磁阀，所述调节电磁阀、所述浓度检测仪、所述温度传感器连接PLC控制器；
还包括安装框架、阀件固定板、加热器固定板，所述阀件固定板、所述加热器固定板均固定安装于所述安装框架上，所述阀件固定板安装于所述安装框架的两侧，所述加热器固定板安装于所述安装框架的顶部，所述调节电磁阀集成安装于所述阀件固定板上，所述加热器安装于所述加热器固定板上，所述过滤器设置于所述加热器的旁侧，所述过滤器的中轴线、所述加热器的中轴线、所述第三输送管路之间形成三角形结构，所述介质输送泵安装于所述安装框架的底部并位于所述加热器与所述过滤器之间。
2.如权利要求1所述的一种湿法清洗设备防震动进液***，其特征在于，所述过滤器的顶部设置有过滤器安装架，所述过滤器安装架为U形结构，其底部设置有卡合槽，所述过滤器的顶部固定于所述卡合槽内，所述过滤器安装架的顶部安装于湿法设备的主框架上。
3.如权利要求2所述的一种湿法清洗设备防震动进液***，其特征在于，所述过滤器与所述过滤器安装架之间设置有塑式活动式卡簧。
4.如权利要求2所述的一种湿法清洗设备防震动进液***，其特征在于，所述阀件固定板与所述安装框架之间的安装、所述加热器与所述安装框架之间的安装、所述过滤器安装架与所述主框架之间的安装均采用螺栓螺母式安装，所述螺栓为缓冲螺母，所述缓冲螺母的两侧沿螺母主体的周向设置有三角形缓冲齿。
5.如权利要求1所述的一种湿法清洗设备防震动进液***，其特征在于，所述安装框架靠近所述加热器固定板的一侧设置有一个阀件固定板，另一侧设置有两个阀件固定板。
6.如权利要求1所述的一种湿法清洗设备防震动进液***，其特征在于，所述安装框架安装于湿法清洗设备的清洗单元，每个清洗单元设置有1个或2个防震动进液***。
7.一种湿法清洗设备防震动进液方法，采用权利要求1-6任一项所述的湿法清洗设备防震动进液***，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一、酸液进液管路、纯水进液管路按照特定的比例向配液槽内输送酸液及纯水，酸液及纯水在配液槽内进行混合；
步骤二、浓度检测仪实时检测配液槽内酸液的浓度，并将浓度信号反馈至PLC控制器，PLC控制器根据浓度信息控制酸液进液管路、纯水进液管路上调节电磁阀的开启角度；
步骤三、配液槽内混合完成的清洗液依次经过介质输送泵、加热器、过滤器后由排液管路输送至清洗槽；
步骤四、温度传感器实时感应清洗液的温度信号并反馈至PLC控制器，PLC控制器根据温度信息控制加热器的温度。
8.如权利要求7所述的一种湿法清洗设备防震动进液方法，其特征在于，所述步骤二中，酸液进液管路、纯水进液管路连接至主配液槽，在主配液槽内完成混合后进入副配液槽，主配液槽的出口与副配液槽的出口通过两个支管连接第一输送管路的进液端，主配液槽的出口处与副配液槽的出口处均设置有调节电磁阀，正常工作状态下，混合完成后的清洗液由副配液槽输送至第一输送管路。
9.如权利要求8所述的一种湿法清洗设备防震动进液方法，其特征在于，若第一输送管路的流量值小于设定值，主配液槽的出口处与副配液槽的出口处的调节电磁阀同时开启。
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