CN112666102A - 一种基于气体吸收的真空紫外光衰减装置及其衰减方法 - Google Patents
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- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims abstract description 25
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 5
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 abstract description 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 62
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 5
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 4
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 229910021389 graphene Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
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Abstract
本发明公开了一种基于气体吸收的真空紫外光衰减装置及其衰减方法,所述测量装置包括:主管道、真空发生***、充气控制***、高次谐波过滤***、真空封闭***。本发明可以通过改变充入气体种类和压强,在较短空间内对不同波长的真空紫外光进行可调谐的能量衰减,且真空紫外光在通过高次谐波过滤***时,将高次谐波完全滤除。由于本发明内部为封闭空间,可以充入较大压强的气体,实现较强的衰减能力和宽范围的精确调节能力。
Description
技术领域
本发明属于光学技术领域,具体涉及一种基于气体吸收的真空紫外光衰减装置及其衰减方法。
背景技术
在红外能区,通常使用石墨烯或者掺杂玻璃进行能量吸收,红外光穿过石墨烯或者掺杂玻璃,能量会有一定的衰减,对于不同波长,吸收系数是不同的。但使用该方法能量衰减强度是固定的,无法根据需求调整能量衰减强度,有一定的局限性。
在真空紫外波长,有一种气体差分吸收装置,对真空紫外光实现高次谐波过滤和能量衰减。气体持续充入真空管道,通过控制气体压强,控制高次谐波过滤效果和能量衰减强度。但由于是在真空腔内充入气体,所以可冲入的气体压强较小,达到高次谐波过滤和能量衰减需要较长的空间。若通入气体压强过高,会对真空环境造成影响,影响真空泵组和真空规的使用寿命。且该装置的能量衰减强度较小,无法实现能量的大范围调节。
发明内容
本发明的目的是提供一种基于气体吸收的真空紫外光衰减装置及其衰减方法。解决的技术问题为:需要在较短空间内对真空紫外光实现较强的能量衰减;真空封闭装置需要选择合适的窗片材料保证真空紫外光有较高的透过率;在不同波段选择合适的吸收气体对真空紫外光产生较强的吸收作用。
本发明的技术方案是:基于气体吸收的真空紫外光衰减装置,包括:
主管道,所述主管道内具有真空腔11,所述真空腔11的壁上设有法兰接口,通过法兰接口安装有真空测量组件12、真空发生***、充气控制***和观察装置15。真空测量组件12、真空发生***、充气控制***三者结合可以实现对装置内气压的精确控制,观察装置13可以在需要时观察主管道光的状态。在真空腔11两端设有法兰接口,通过法兰接口安装高次谐波过滤***。
高次谐波过滤***,过滤掉真空紫外光中的高次谐波,对光的能量有一定的衰减作用,将主管道两端封闭,保证管内气体压强稳定。
真空发生***,使得主管道及相连管道达到需要的真空度。
充气控制***,控制充入气体的流速,以确保管内气体压力的精确控制。
真空封闭***,将该段装置与两端管道真空隔离,防止更换装备或充气对两端真空造成影响。
优选的,所述真空测量组件12为真空规。
优选的,所述观察装置13为观察窗。
优选的,所述高次谐波过滤***包括转换法兰21、窗片22、压片23。转换法兰21内置深槽,将窗片22置入其中,使用压片23将其固定。通过窗片22实现高次谐波的过滤。
优选的,所述真空发生***包括机械泵31、分子泵32、真空规33。
优选的,所述充气控制***包括气瓶41、气体流量计42、真空阀门43。
优选的,所述真空封闭***包括气动阀门51、波纹管52。
本发明提供一种基于气体吸收的真空紫外光衰减方法,具体如下:
首先在通光之前,使用真空发生***将主管道内气体抽出。当达到较好的真空度后,将真空紫外光入射到装置内。光束穿过高次谐波过滤***后,高次谐波被过滤,且能量有一定的衰减。然后根据所需要的能量衰减倍数,使用计算软件计算出需要充入的气体的种类与压强,通过气体流量计控制气体流量,向主管道内缓慢充气,同时真空规观测管内压强。直到达到计算所得压强,关闭真空阀门,充气气路封闭。由于主管道密封性极好,气体的压强不会发生变化,当真空紫外光通过该装置,高次谐波会被滤除,且真空紫外光能量衰减到需要的值。
本发明具有以下有益的效果:
本发明在较短空间内充入较高压强气体,实现短空间真空紫外光能量的衰减,且对其他管道的真空没有影响。通过窗片实现高次谐波的滤除,而需要的120nm-150nm波长的光有较好的透过率。且可以高精度的衰减调节,通过调节管内气压,实现衰减强度的精确调节。气体在主腔体内封闭,不需要持续充入气体,节省气体的使用。
附图说明
图1为本发明实施例中的基于气体吸收的真空紫外光衰减装置结构示意图;
图中:11、真空腔;12、真空规;13、观察窗;21、转换法兰;22、窗片;23、压片;31、机械泵;32、分子泵;33、真空规;41、气瓶;42、气体流量计;43、真空阀门;51、气动阀门;52、波纹管。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进行详细描述。
实施例1
基于基于气体吸收的真空紫外光衰减装置,包括:
主管道,所述主管道内具有真空腔11,所述真空腔11的壁上设有法兰接口,通过法兰接口安装有真空测量组件12、真空发生***、充气控制***和观察装置15。真空测量组件12、真空发生***、充气控制***三者结合可以实现对装置内气压的精确控制,观察装置13可以在需要时观察主管道光的状态。在真空腔11两端设有法兰接口,通过法兰接口安装高次谐波过滤***。
高次谐波过滤***,过滤掉真空紫外光中的高次谐波,对光的能量有一定的衰减作用,将主管道两端封闭,保证管内气体压强稳定。
真空发生***,使得主管道及相连管道达到需要的真空度。
充气控制***,控制充入气体的流速,以确保管内气体压力的精确控制。
真空封闭***,将该段装置与两端管道真空隔离,防止更换装备或充气对两端真空造成影响。
其中:真空测量组件12为真空规,观察装置13为观察窗。高次谐波过滤***包括转换法兰21、窗片22、压片23。转换法兰21内置深槽,将窗片22置入其中,使用压片23将其固定。通过窗片22实现高次谐波的过滤,且该***将主管道密封,可以保证主管道内充入气体不对两端管道真空产生影响。真空发生***包括机械泵31、分子泵32、真空规33,充气控制***包括气瓶41、气体流量计42、真空阀门43,真空封闭***包括气动阀门51、波纹管52。
衰减方法为:
首先在通光之前,使用真空发生***将主管道内气体抽出。当达到较好的真空度后,将真空紫外光入射到装置内。光束穿过高次谐波过滤***后,高次谐波被过滤,且能量有一定的衰减。然后根据所需要的能量衰减倍数,使用计算软件计算出需要充入的气体的种类与压强,通过气体流量计控制气体流量,向主管道内缓慢充气,同时真空规观测管内压强。直到达到计算所得压强,关闭真空阀门,充气气路封闭。由于主管道密封性极好,气体的压强不会发生变化,当真空紫外光通过该装置,高次谐波会被滤除,且真空紫外光能量衰减到需要的值。
本发明的气体能量吸收原理在于:
当主管道内不充入气体时,真空紫外光通过装置后,能量为I0。充入一定压强的气体,使用真空规测量压强,此时真空紫外光通过装置后,能量为I。则装置的吸光度为:
A=lg(I0/I)=Kbc
其中K为气体的摩尔吸收截面,b为主管道的长度,c为粒子浓度。查询气体吸收截面,通过上式计算吸光度,即可得到充入气体的粒子浓度,进而计算得出充入气体的压强。真空紫外光通过装置,即可实现所需能量衰减。
具体操作过程如下:
1、加工衰减装置主管道;所述主管道内具有真空腔11,所述真空腔11的壁上设有法兰接口,通过法兰接口安装有真空测量组件12、真空发生***、充气控制***和观察装置15。真空测量组件12、真空发生***、充气控制***三者结合可以实现对装置内气压的精确控制,观察装置13可以在需要时观察主管道光的状态。在真空腔11两端设有法兰接口,通过法兰接口安装高次谐波过滤***。
2、安装高次谐波过滤***,高次谐波过滤***包括转换法兰21、窗片22、压片23。转换法兰21内置深槽,将窗片22置入其中,使用压片23将其固定。通过窗片22实现高次谐波的过滤,且该***将主管道密封,可以保证主管道内充入气体后保持稳定的气压。吸收池可以充较高压强气体,实现在较短空间内的可调吸收。
3、安装真空发生***,将机械泵31、分子泵32、真空规33组装成泵组,用于使主管道及相连管道达到需要的真空度。
4、充气控制***,充气控制***包括气瓶41、气体流量计42、真空阀门43。通过气体流量计42控制充入气体的流速,使用真空阀门43控制充气通道的通断,以确保管内气体压力的精确控制。
5、真空封闭***包括气动阀门51、波纹管52。真空封闭***将衰减装置与两端管道隔离开,在更换衰减装置时不会对两端真空产生影响。
实施例2
本装置在大连光源内建造并进行实验,衰减装置总长度为1米,使用波长为140nm的真空紫外光、10%He载氧气为吸收气体对该装置进行测试。在不充入气体情况下,测得真空紫外光能量为10.34μJ;充入气体压强为2.2Pa时,测的真空紫外光能量为7.45μJ,透过率为72.1%;充入气体压强为7.8Pa时,测的真空紫外光能量为3.79μJ,透过率为36.7%。由实验数据可得,该装置可以在较短空间内,在较大范围内实现对真空紫外光能量的衰减。
本发明中可以通过调节充入气体的压强和气体种类,对不同波长的真空紫外光实现可调谐的能量衰减。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本发明的内容并据以实施,并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
Claims (8)
1.一种基于气体吸收的真空紫外光衰减装置,其特征在于,所述装置包括:主管道、高次谐波过滤***、真空发生***、充气控制***和真空封闭***;
所述主管道内具有真空腔(11),所述真空腔(11)的壁上设有法兰接口,通过法兰接口安装有真空测量组件(12)、真空发生***、充气控制***和观察装置(15);真空测量组件(12)、真空发生***、充气控制***三者结合可以实现对装置内气压的精确控制,观察装置(13)可以在需要时观察主管道光的状态;在真空腔(11)两端设有法兰接口,通过法兰接口安装高次谐波过滤***;
所述高次谐波过滤***,过滤掉真空紫外光中的高次谐波,对光的能量有一定的衰减作用,将主管道两端封闭,保证管内气体压强稳定;
所述真空发生***,使得主管道及相连管道达到需要的真空度;
所述充气控制***,控制充入气体的流速,以确保管内气体压力的精确控制;
所述真空封闭***,将该段装置与两端管道真空隔离,防止更换装备或充气对两端真空造成影响。
2.根据权利要求1所述的基于气体吸收的真空紫外光衰减装置,其特征在于,所述真空测量组件(12)为真空规。
3.根据权利要求1所述的基于气体吸收的真空紫外光衰减装置,其特征在于,所述观察装置(13)为观察窗。
4.根据权利要求1所述的基于气体吸收的真空紫外光衰减装置,其特征在于,所述高次谐波过滤***包括转换法兰(21)、窗片(22)、压片(23);转换法兰(21)内置深槽,将窗片(22)置入其中,使用压片(23)将其固定;通过窗片(22)实现高次谐波的过滤。
5.根据权利要求1所述的基于气体吸收的真空紫外光衰减装置,其特征在于,所述真空发生***包括机械泵(31)、分子泵(32)、真空规(33)。
6.根据权利要求1所述的基于气体吸收的真空紫外光衰减装置,其特征在于,所述充气控制***包括气瓶(41)、气体流量计(42)、真空阀门(43)。
7.根据权利要求1所述的基于气体吸收的真空紫外光衰减装置,其特征在于,所述真空封闭***包括气动阀门(51)、波纹管(52)。
8.一种根据权利要求1-8任一所述的基于气体吸收的真空紫外光衰减装置的衰减方法,其特征在于,所述衰减方法为:
首先在通光之前,使用真空发生***将主管道内气体抽出,当达到较好的真空度后,将真空紫外光入射到装置内,光束穿过高次谐波过滤***后,高次谐波被过滤,且能量有一定的衰减,然后根据所需要的能量衰减倍数,使用计算软件计算出需要充入的气体的种类与压强,通过气体流量计控制气体流量,向主管道内缓慢充气,同时真空规观测管内压强,直到达到计算所得压强,关闭真空阀门,充气气路封闭;由于主管道密封性极好,气体的压强不会发生变化,当真空紫外光通过该装置,高次谐波会被滤除,且真空紫外光能量衰减到需要的值。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201910977676.9A CN112666102A (zh) | 2019-10-15 | 2019-10-15 | 一种基于气体吸收的真空紫外光衰减装置及其衰减方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Publication Number | Publication Date |
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CN112666102A true CN112666102A (zh) | 2021-04-16 |
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ID=75400047
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country | Link |
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CN (1) | CN112666102A (zh) |
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PB01 | Publication | ||
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