CN112608408A - 一种双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法 - Google Patents
一种双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN112608408A CN112608408A CN202011470023.0A CN202011470023A CN112608408A CN 112608408 A CN112608408 A CN 112608408A CN 202011470023 A CN202011470023 A CN 202011470023A CN 112608408 A CN112608408 A CN 112608408A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- methacrylic resin
- photon
- molecular weight
- controlling
- prepolymer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000113 methacrylic resin Substances 0.000 title claims abstract description 88
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 title claims abstract description 16
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims abstract description 49
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims abstract description 28
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 claims abstract description 26
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims abstract description 8
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims abstract description 4
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 33
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 18
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 17
- FDYDISGSYGFRJM-UHFFFAOYSA-N (2-methyl-2-adamantyl) 2-methylprop-2-enoate Chemical compound C1C(C2)CC3CC1C(OC(=O)C(=C)C)(C)C2C3 FDYDISGSYGFRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical group CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N Pentane Chemical compound CCCCC OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 claims description 6
- BZLVMXJERCGZMT-UHFFFAOYSA-N Methyl tert-butyl ether Chemical compound COC(C)(C)C BZLVMXJERCGZMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- -1 9-benzyl-3, 6-bis [2- (pyridin-4-yl) -vinyl ] carbazole Chemical group 0.000 claims description 3
- XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N Cyclohexane Chemical compound C1CCCCC1 XDTMQSROBMDMFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 claims description 3
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 abstract description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 abstract description 4
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 abstract description 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 14
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 8
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 8
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 7
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 4
- 125000005395 methacrylic acid group Chemical group 0.000 description 4
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 4
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 4
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 4
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 4
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 3
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 3
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000035484 reaction time Effects 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 238000010992 reflux Methods 0.000 description 1
- 150000003384 small molecules Chemical class 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F220/00—Copolymers of compounds having one or more unsaturated aliphatic radicals, each having only one carbon-to-carbon double bond, and only one being terminated by only one carboxyl radical or a salt, anhydride ester, amide, imide or nitrile thereof
- C08F220/02—Monocarboxylic acids having less than ten carbon atoms; Derivatives thereof
- C08F220/10—Esters
- C08F220/12—Esters of monohydric alcohols or phenols
- C08F220/14—Methyl esters, e.g. methyl (meth)acrylate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/46—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation
- C08F2/48—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light
- C08F2/50—Polymerisation initiated by wave energy or particle radiation by ultraviolet or visible light with sensitising agents
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
Abstract
本发明适用于高分子材料领域，提供了一种双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，包括如下步骤：将甲基丙烯酸树脂的单体混合，得到混合溶液；向混合溶液中加入双光子引发剂，该双光子引发剂与所述甲基丙烯酸树脂的单体互溶，混合均匀，得到预聚体；对预聚体进行光辐射，使预聚体进行聚合反应，得到甲基丙烯酸树脂。本发明的控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法可以通过改变双光子引发剂的浓度及光源强度来控制甲基丙烯酸树脂的分子量。本发明的控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，使用双光子引发剂进行光引发，双光子引发剂每次可以吸收两个光子，产生两个自由基来进行聚合反应，使用能量较小的光即可快速进行光聚合反应，耗能低。
Description
技术领域
本发明属于高分子材料领域，尤其涉及一种双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法。
背景技术
光刻胶作为一种光敏材料，是集成电路精细加工技术的关键性加工材料。光刻胶的主要成分是聚合物树脂、光致产酸剂以及相应的添加剂和溶剂，其中，聚合物树脂的种类和性能在较大的程度上决定着光刻胶性能的优劣。目前广泛应用于光刻胶的聚合物树脂是甲基丙烯酸树脂。不同分子量的甲基丙烯酸树脂决定着光刻胶性能的优劣，因此，为了满足光刻胶优异性能的需求，需要制备出不同分子量的甲基丙烯酸树脂。
传统的制备不同分子量的甲基丙烯酸树脂的方法是在乳液或者溶液中添加引发剂，通过水浴或油浴加热回流，进行自由基聚合反应来控制甲基丙烯酸树脂的分子量。但是，这种方法至少存在以下弊端：需要大量的溶剂；反应时间较长，通常需要反应20小时以上才能促使单体均匀的进行聚合反应；聚合物分子量主要由所加的引发剂来决定，温度、时间、浓度都是需要考虑的因素。
现有技术有使用紫外光引发剂分解产生自由基促进聚合反应制备不同分子量的聚合物树脂，可以大大缩减反应时间。但是其应用的光引发为单光子引发，引发剂每次吸收一个光子，产生一个自由基来进行聚合反应，这样的话需要用能量较大的紫外光，耗能大，且效率不高。
发明内容
本发明实施例提供一种双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，旨在解决媒介需求量大的问题。
本发明实施例是这样实现的，一种双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，其包括如下步骤：
步骤S1：将甲基丙烯酸树脂的单体混合，得到混合溶液；
步骤S2：向所述混合溶液中加入双光子引发剂，该双光子引发剂与所述甲基丙烯酸树脂的单体互溶，混合均匀，得到预聚体；
步骤S3：对预聚体进行光辐射，使预聚体进行聚合反应，得到甲基丙烯酸树脂。
更进一步地，所述甲基丙烯酸树脂的单体为甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯和2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯。
更进一步地，所述甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯以及2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯的质量比的范围为(1～10)：(1～10)：(1～10)。
更进一步地，所述双光子引发剂为9-苄基-3,6-二[2-(吡啶-4-基)-乙烯基]咔唑、反式-二苯基-{{4-[2-(4-吡咯基1-苯基)-乙烯基]-苯基}胺或反式-9-(4-[2-(4-吡咯基-1-苯基)-乙烯基]-苯基]-9-氢咔唑。
更进一步地，所述双光子引发剂的质量为甲基丙烯酸树脂的单体的总质量的1％～10％。
更进一步地，所述对预聚体进行光辐射的方法为：将预聚体平铺在三维移动台上，使用飞秒激光器提供光源，对预聚体进行光辐射。
更进一步地，飞秒激光器的扫描速率的范围为1～25μm/s。
更进一步地，所述光源的强度范围为5～30mW。
更进一步地，所述双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法还包括：步骤S4：对步骤S3中制得的甲基丙烯酸树脂进行提纯。
更进一步地，所述提纯的方法为使用洗液冲洗步骤S3中制得的甲基丙烯酸树脂，该洗液为纯水、甲醇、甲醇/水混合物、乙醇、乙醇/水混合物、异丙醇、异丙醇/水混合物、正庚烷、正己烷、环己烷、正戊烷、石油醚、***或甲基叔丁基醚。
本发明的双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，在甲基丙烯酸树脂的制备过程中使用双光子引发剂进行光引发，双光子引发剂每次可以吸收两个光子，产生两个自由基来进行聚合反应，使用能量较小的光即可快速进行光聚合反应，耗能低，节约成本。本发明的双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法可以通过改变双光子引发剂的浓度、扫描速率及光源强度来控制甲基丙烯酸树脂的分子量。此外，所述甲基丙烯酸树脂的单体与所述双光子引发剂互溶，不需要额外添加溶剂或乳液等媒介，可以有效的提高产率，减少成本。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
本发明较佳实施方式提供一种双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，其包括如下步骤：
步骤S1：将甲基丙烯酸树脂的单体混合，得到混合溶液；
步骤S2：向所述混合溶液中加入双光子引发剂，该双光子引发剂与所述甲基丙烯酸树脂的单体互溶，混合均匀，得到预聚体，该预聚体中不包含溶剂；
步骤S3：对预聚体进行光辐射，使预聚体进行聚合反应，得到甲基丙烯酸树脂；
步骤S4：对步骤S3中制得的甲基丙烯酸树脂进行提纯，以去除小分子聚合物和/或未聚合的单体。
在至少一实施例中，所述甲基丙烯酸树脂的单体为甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯及2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯。甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯以及2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯的质量比的范围为(1～10)：(1～10)：(1～10)。这样的单体用量，可以制备出重均分子量10000以下的甲基丙烯酸树脂，较可控，在使用该甲基丙烯酸树脂制备光刻胶时易于溶解。
在至少一实施方式中，所述聚合反应在玻璃瓶中进行，换言之，所述甲基丙烯酸树脂的单体在玻璃瓶中混合，所述双光子引发剂添加至玻璃瓶中。可以理解的，该玻璃瓶可以为常规应用于光聚合反应的单口烧瓶、多口烧瓶等玻璃容器。
所述双光子引发剂可以为9-苄基-3,6-二[2-(吡啶-4-基)-乙烯基]咔唑(BPyVC双光子引发剂)、反式-二苯基-{{4-[2-(4-吡咯基1-苯基)-乙烯基]-苯基}胺、反式-9-(4-[2-(4-吡咯基-1-苯基)-乙烯基]-苯基]-9-氢咔唑等常规用于光聚合反应的双光子引发剂。
所述双光子引发剂的质量为甲基丙烯酸树脂的单体的总质量的1％～10％。这样的双光子引发剂的用量，可以制备出重均分子量10000以下的甲基丙烯酸树脂，较可控，在使用该甲基丙烯酸树脂制备光刻胶时易于溶解。
在至少一实施方式中，所述对预聚体进行光辐射的方法为：将预聚体平铺在三维移动台上，使用飞秒激光器提供光源，对预聚体进行光辐射。其中，飞秒激光器的扫描速率的范围优选为1～25μm/s，所述光源的强度范围优选为5～30mW。可以理解的，在其它实施方式中，还可以将预聚体放入紫外光固化机中，对预聚体进行光辐射。
在至少一实施方式中，所述提纯方法为使用洗液冲洗聚合反应制得的甲基丙烯酸树脂。该洗液可以为纯水、甲醇、甲醇/水混合物、乙醇、乙醇/水混合物、异丙醇、异丙醇/水混合物、正庚烷、正己烷、环己烷、正戊烷、石油醚、***、甲基叔丁基醚等有机和/或无机溶剂。
所述双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，可以通过改变双光子引发剂的浓度、扫描速率及光源强度来控制甲基丙烯酸树脂的分子量。在甲基丙烯酸树脂的制备过程中使用双光子引发剂进行光引发，双光子引发剂每次可以吸收两个光子，产生两个自由基来进行聚合反应，使用能量较小的紫外光即可快速进行光聚合反应，耗能低，节约成本。此外，所述甲基丙烯酸树脂的单体与所述双光子引发剂互溶，不需要额外添加溶剂或乳液等媒介，可以有效的提高产率，减少成本。
下面通过具体实施例来对本发明进行具体说明，实施例仅是本发明的优选实施方式，不是对本发明的限定。
实施例1
将50g的甲基丙烯酸甲酯、30g的丙烯酸丁酯以及20g的2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯置于单口烧瓶中，搅拌至混合均匀；
向单口烧瓶中加入1g的BPyVC双光子引发剂，搅拌至混合均匀，得到预聚体；
将预聚体平铺在三维移动台上，利用飞秒激光器提供光源，进行光照射聚合反应，得到甲基丙烯酸树脂，其中，固定三维移动平台的Vy和Vz为零，Vx的扫描速率为10μm/s，光源强度为20mW；
将制得的甲基丙烯酸树脂取出，利用甲醇进行冲洗，洗去小分子和/或未聚合的单体，以对甲基丙烯酸树脂进行提纯。
实施例2
将50g的甲基丙烯酸甲酯、30g的丙烯酸丁酯以及20g的2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯置于单口烧瓶中，搅拌至混合均匀；
向单口烧瓶中加入5g的BPyVC双光子引发剂，搅拌至混合均匀，得到预聚体；
将预聚体平铺在三维移动台上，利用飞秒激光器提供光源，进行光照射聚合反应，得到甲基丙烯酸树脂，其中，固定三维移动平台的Vy和Vz为零，Vx的扫描速率为10μm/s，光源强度为20mW；
将制得的甲基丙烯酸树脂取出，利用甲醇进行冲洗，洗去小分子和/或未聚合的单体，以对甲基丙烯酸树脂进行提纯。
实施例3
将50g的甲基丙烯酸甲酯、30g的丙烯酸丁酯以及20g的2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯置于单口烧瓶中，搅拌至混合均匀；
向单口烧瓶中加入10g的BPyVC双光子引发剂，搅拌至混合均匀，得到预聚体；
将预聚体平铺在三维移动台上，利用飞秒激光器提供光源，进行光照射聚合反应，得到甲基丙烯酸树脂，其中，固定三维移动平台的Vy和Vz为零，Vx的扫描速率为10μm/s，光源强度为20mW；
将制得的甲基丙烯酸树脂取出，利用甲醇进行冲洗，洗去小分子和/或未聚合的单体，以对甲基丙烯酸树脂进行提纯。
实施例4
将50g的甲基丙烯酸甲酯、30g的丙烯酸丁酯以及20g的2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯置于单口烧瓶中，搅拌至混合均匀；
向单口烧瓶中加入1g的BPyVC双光子引发剂，搅拌至混合均匀，得到预聚体；
将预聚体平铺在三维移动台上，利用飞秒激光器提供光源，进行光照射聚合反应，得到甲基丙烯酸树脂，其中，固定三维移动平台的Vy和Vz为零，Vx的扫描速率为20μm/s，光源强度为20mW；
将制得的甲基丙烯酸树脂取出，利用甲醇进行冲洗，洗去小分子和/或未聚合的单体，以对甲基丙烯酸树脂进行提纯。
实施例5
将50g的甲基丙烯酸甲酯、30g的丙烯酸丁酯以及20g的2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯置于单口烧瓶中，搅拌至混合均匀；
向单口烧瓶中加入1g的BPyVC双光子引发剂，搅拌至混合均匀，得到预聚体；
将预聚体平铺在三维移动台上，利用飞秒激光器提供光源，进行光照射聚合反应，得到甲基丙烯酸树脂，其中，固定三维移动平台的Vy和Vz为零，Vx的扫描速率为5μm/s，光源强度为20mW；
将制得的甲基丙烯酸树脂取出，利用甲醇进行冲洗，洗去小分子和/或未聚合的单体，以对甲基丙烯酸树脂进行提纯。
实施例6
将50g的甲基丙烯酸甲酯、30g的丙烯酸丁酯以及20g的2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯置于单口烧瓶中，搅拌至混合均匀；
向单口烧瓶中加入1g的BPyVC双光子引发剂，搅拌至混合均匀，得到预聚体；
将预聚体平铺在三维移动台上，利用飞秒激光器提供光源，进行光照射聚合反应，得到甲基丙烯酸树脂，其中，固定三维移动平台的Vy和Vz为零，Vx的扫描速率为10μm/s，光源强度为10mW；
将制得的甲基丙烯酸树脂取出，利用甲醇进行冲洗，洗去小分子和/或未聚合的单体，以对甲基丙烯酸树脂进行提纯。
实施例7
将50g的甲基丙烯酸甲酯、30g的丙烯酸丁酯以及20g的2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯置于单口烧瓶中，搅拌至混合均匀；
向单口烧瓶中加入1g的BPyVC双光子引发剂，搅拌至混合均匀，得到预聚体；
将预聚体平铺在三维移动台上，利用飞秒激光器提供光源，进行光照射聚合反应，得到甲基丙烯酸树脂，其中，固定三维移动平台的Vy和Vz为零，Vx的扫描速率为10μm/s，光源强度为25mW；
将制得的甲基丙烯酸树脂取出，利用甲醇进行冲洗，洗去小分子和/或未聚合的单体，以对甲基丙烯酸树脂进行提纯。
对实施例1～7提纯所得的甲基丙烯酸树脂称重，计算产率、重均分子量及分子量分布，结果请参表一：
表一：
将实施例1～6对比可知，甲基丙烯酸树脂的聚合程度可以通过改变相关条件如双光子引发剂的浓度、扫描速率及光源强度来控制甲基丙烯酸树脂的分子量。由实施例1、实施例2和实施例3可知：在扫描速率及光源强度均相同时，增大双光子引发剂的用量，会使得产生的自由基浓度较高，不利于的得到窄分布的聚合物。由实施例1、实施例4和实施例5可知：在双光子引发剂的浓度及光源强度均相同时，扫描速率越慢，越有利于聚合反应，因为扫描速率小的时候，可以使双光子引发及吸收更多的光子，从而产生更多的自由基来进行聚合反应。由实施例1、实施例6和实施例7可知：光源强度越高越有利于聚合反应，因为高强度的光源可以提供更多的光子供双光子引发剂吸收，从而产生更多的自由基来进行聚合反应。
本发明的双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，可以通过改变双光子引发剂的浓度、扫描速率及光源强度来控制甲基丙烯酸树脂的分子量。在甲基丙烯酸树脂的制备过程中使用双光子引发剂进行光引发，双光子引发剂每次可以吸收两个光子，产生两个自由基来进行聚合反应，使用能量较小的光即可快速进行光聚合反应，耗能低，节约成本。此外，所述甲基丙烯酸树脂的单体与所述双光子引发剂互溶，不需要额外添加溶剂或乳液等媒介，可以有效的提高产率，减少成本。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，其包括如下步骤：
步骤S1：将甲基丙烯酸树脂的单体混合，得到混合溶液；
步骤S2：向所述混合溶液中加入双光子引发剂，该双光子引发剂与所述甲基丙烯酸树脂的单体互溶，混合均匀，得到预聚体；
步骤S3：对预聚体进行光辐射，使预聚体进行聚合反应，得到甲基丙烯酸树脂。
2.如权利要求1所述的双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，其特征在于：所述甲基丙烯酸树脂的单体为甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯和2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯。
3.如权利要求2所述的双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，其特征在于：所述甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸丁酯以及2-甲基-2-金刚烷基甲基丙烯酸酯的质量比的范围为(1～10)：(1～10)：(1～10)。
4.如权利要求1所述的双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，其特征在于：所述双光子引发剂为9-苄基-3,6-二[2-(吡啶-4-基)-乙烯基]咔唑、反式-二苯基-{{4-[2-(4-吡咯基1-苯基)-乙烯基]-苯基}胺、反式-9-(4-[2-(4-吡咯基-1-苯基)-乙烯基]-苯基]-9-氢咔唑。
5.如权利要求1所述的双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，其特征在于：所述双光子引发剂的质量为甲基丙烯酸树脂的单体的总质量的1％～10％。
6.如权利要求1所述的双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，其特征在于：所述对预聚体进行光辐射的方法为：将预聚体平铺在三维移动台上，使用飞秒激光器提供光源，对预聚体进行光辐射。
7.如权利要求6所述的双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，其特征在于：飞秒激光器的扫描速率的范围为1～25μm/s。
8.如权利要求6所述的双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，其特征在于：所述光源的强度范围为5～30mW。
9.如权利要求1所述的双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，其特征在于：所述双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法还包括：
步骤S4：对步骤S3中制得的甲基丙烯酸树脂进行提纯。
10.如权利要求9所述的双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法，其特征在于：所述提纯的方法为使用洗液冲洗步骤S3中制得的甲基丙烯酸树脂，该洗液为纯水、甲醇、甲醇/水混合物、乙醇、乙醇/水混合物、异丙醇、异丙醇/水混合物、正庚烷、正己烷、环己烷、正戊烷、石油醚、***或甲基叔丁基醚。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202011470023.0A CN112608408A (zh) | 2020-12-15 | 2020-12-15 | 一种双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202011470023.0A CN112608408A (zh) | 2020-12-15 | 2020-12-15 | 一种双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN112608408A true CN112608408A (zh) | 2021-04-06 |
Family
ID=75234196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202011470023.0A Pending CN112608408A (zh) | 2020-12-15 | 2020-12-15 | 一种双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN112608408A (zh) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106084092A (zh) * | 2016-07-28 | 2016-11-09 | 江南大学 | 一种咔唑基双光子引发剂及其制备方法 |
| CN111718439A (zh) * | 2020-06-19 | 2020-09-29 | 宁波南大光电材料有限公司 | 甲基丙烯酸树脂及其制备方法和应用 |
-
2020
- 2020-12-15 CN CN202011470023.0A patent/CN112608408A/zh active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106084092A (zh) * | 2016-07-28 | 2016-11-09 | 江南大学 | 一种咔唑基双光子引发剂及其制备方法 |
| CN111718439A (zh) * | 2020-06-19 | 2020-09-29 | 宁波南大光电材料有限公司 | 甲基丙烯酸树脂及其制备方法和应用 |
Non-Patent Citations (3)
| Title |
|---|
| 尹龙等: "新型双光子引发剂9-苄基-3,6-二[2-(吡啶-4-基)-乙烯基]咔唑的合成及其聚合特性", 《北京化工大学学报（自然科学版）》 * |
| 延云兴等: "新型双光子聚合引发剂的合成和非线性光学性质的研究", 《第五届中国功能材料及其应用学术会议论文集Ⅰ中国仪器仪表学会仪表材料分会会议论文集》 * |
| 郑美玲等: "双光子光聚合与功能微纳结构制备", 《影像科学与光化学》 * |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Yaǧci et al. | Mechanistic and kinetic studies on the photoinitiated polymerization of tetrahydrofuran | |
| JP3099126B2 (ja) | 光重合性組成物の製造方法 | |
| Petko et al. | Photoinitiating systems and kinetics of frontal photopolymerization processes–the prospects for efficient preparation of composites and thick 3D structures | |
| CN103387636B (zh) | 含倍半萜的成膜树脂及其正性248nm光刻胶 | |
| EP2048196A1 (en) | Curable resin composition and method for forming cured coating film | |
| JP4245740B2 (ja) | 光重合性樹脂組成物並びにカラーフィルター | |
| CN104448113B (zh) | 含倍半萜的成膜树脂及其正性浸没式曝光193nm光刻胶 | |
| JP7119592B2 (ja) | Ｅｕｖリソグラフィ用ポジ型レジスト組成物およびレジストパターン形成方法 | |
| Frechet et al. | Chemically amplified imaging materials based on electrophilic aromatic substitution: poly [4-(acetoxymethyl) styrene-co-4-hydroxystyrene] | |
| JP2008045125A (ja) | 極紫外線及び深紫外線用感光性高分子及びこれを含むフォトレジスト組成物 | |
| CA1339806C (en) | Liquid photoinitiator mixtures | |
| Kumar et al. | Laser-induced three-dimensional photopolymerization using visible initiators and UV cross-linking by photosensitive comonomers | |
| CN112608408A (zh) | 一种双光子引发控制甲基丙烯酸树脂分子量的方法 | |
| CN1294155C (zh) | 一种分子量梯度聚合物的制备方法 | |
| CN112694558A (zh) | 一种调控甲基丙烯酸树脂分子量的方法 | |
| CN107621751A (zh) | 含碱性香豆素结构的聚合物树脂及其光刻胶组合物 | |
| Fouassier | Photoinitiated polymerisation: theory and applications | |
| JPH1115159A (ja) | ネガ型フォトレジスト材料、およびそれを用いたパターン形成方法 | |
| TWI583712B (zh) | 光微影術用樹脂之精製方法 | |
| KR19980026687A (ko) | 화학증폭형 양성 포토레지스트 제조용 중합체 및 이를 함유하는 포토레지스트 조성물 | |
| CN114133483B (zh) | 含金刚烷结构的丙烯酸酯成膜树脂及光刻胶与制备方法 | |
| JP4747399B2 (ja) | 脂環族系重合体中の金属除去方法 | |
| CN114262404B (zh) | 光敏树脂及应用该光敏树脂的光刻胶组合物 | |
| CN104403048A (zh) | 含倍半萜内酯的成膜树脂及其正性浸没式曝光193nm光刻胶 | |
| JP4987837B2 (ja) | 高分子化合物 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20210406 |
|
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |