CN112595245A - 检测方法、检测***及非易失性计算机可读存储介质 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种检测方法、检测***及非易失性计算机可读存储介质。检测方法包括：获取工件的待测区的不同位置的高度分布信息，工件放置在承载装置上；根据高度分布信息获取驱动件的响应曲线，驱动件用于驱动承载装置沿高度方向运动；响应曲线上，延伸方向发生突变的相邻节点的最小时间差大于或等于驱动件的响应周期；及控制驱动件根据响应曲线驱动承载装置运动。本申请实施方式的检测方法、检测***及非易失性计算机可读存储介质中，驱动件驱动承载装置运动的频率在驱动件的承受范围内，保证驱动件的驱动频率满足检测***的检测需求。

Description

检测方法、检测***及非易失性计算机可读存储介质

技术领域

本申请涉及检测技术领域，更具体而言，涉及一种检测方法、检测***及非易失性计算机可读存储介质。

背景技术

相机在对工件，如显示面板，进行检测时，例如对工件的边缘进行检测时，需要严格控制相机与工件之间的距离，使得边缘位于相机的景深范围内，才能对边缘进行清晰成像。由于边缘的不同位置自身的高度可能是不同的，因此在使用相机拍摄工件边缘的不同位置时，需要控制工件在高度方向移动，或者控制相机在高度方向移动以补偿工件自身高度上的差异。由于相机是精密元件，通常是控制工件移动。

在检测过程中，相机实际拍摄的速度很快，需要工件快速地沿高度方向移动，然而，电机在驱动放置工件的承载装置沿高度方向运动时，电机还不能做到以很高的频率驱动承载装置沿高度方向移动，导致无法满足对工件的检测需求。

发明内容

本申请实施方式提供一种检测方法、检测***及非易失性计算机可读存储介质。

本申请实施方式的检测方法包括：获取工件的待测区的不同位置的高度分布信息，所述工件放置在承载装置上；根据所述高度分布信息获取驱动件的响应曲线，所述驱动件用于驱动所述承载装置沿高度方向运动；所述响应曲线上，延伸方向发生突变的相邻节点的最小时间差大于或等于所述驱动件的响应周期；及控制所述驱动件根据所述响应曲线驱动所述承载装置运动。

在某些实施方式中，所述工件由图像采集装置检测，所述响应曲线满足条件：控制所述驱动件根据所述响应曲线驱动所述承载装置运动时，所述图像采集装置的视场范围内的工件，均位于所述图像采集装置的景深范围内。

在某些实施方式中，所述高度分布信息包括高度曲线，所述获取工件的待测区的不同位置的高度分布信息，包括：采用定高检测装置测量所述待测区的不同位置相对参考位置的多个距离；以相同基准绘制每个所述距离对应的拟合点；及连接多个所述拟合点以得到所述高度曲线。

在某些实施方式中，所述高度分布信息包括具有多个台阶的高度曲线，所述根据所述高度分布信息获取驱动件的响应曲线，包括：根据所述高度曲线上沿预定方向连续多个台阶的高度分布，得到多个拟合线；及根据多个所述拟合线获取所述响应曲线。

在某些实施方式中，根据所述高度曲线上沿预定方向连续多个台阶的高度分布，得到多个拟合线，包括：比较步骤：比较多条线段中，每条线段上的任意点到线段跨越的任一台阶之间的垂直距离，是否大于预设距离，其中，多条线段均以第i个台阶上的预定点为起点，分别以第i个台阶之后的台阶上的预定点为终点形成；拟合步骤：在线段上至少一点到线段跨越的第i个台阶至第j个台阶中任一台阶的垂直距离大于所述预设距离时，对第i个台阶至第j-1个台阶上的所有预定点进行拟合得到一个拟合线；及以所述第j-1个台阶上的预定点为起点，循环执行所述比较步骤及所述拟合步骤，直至拟合完所有台阶上的预定点，以得到多个拟合线。

在某些实施方式中，所述高度分布信息包括高度数值的集合，所述获取工件的待测区的不同位置的高度分布信息，包括采用定高检测装置测量所述待测区的不同位置相对参考位置的多个距离，将多个所述距离作为集合以得到所述高度分布信息。

在某些实施方式中，所述根据所述高度分布信息获取驱动件的响应曲线，包括：计算步骤：依次计算集合内第i个数值与后面的其他数值之间的差值；比较步骤：在每次计算出一个差值后，比较所述差值的绝对值是否大于预设距离；拟合步骤：在第i个数值与第j个数值之间的差值的绝对值大于所述预设距离时，以相同基准绘制第i个数值至第j-1个数值对应的绘制点，并连接多个所述绘制点以得到拟合线；以所述第j-1个数值为计算基础循环执行所述计算步骤、所述比较步骤、及所述拟合步骤直至拟合完集合内所有数值对应的绘制点，以得到多个拟合线；及根据多条所述拟合线获取所述响应曲线。

在某些实施方式中，所述预设距离为图像采集装置的景深的预设比例，其中，所述图像采集装置用于检测所述工件。

在某些实施方式中，所述拟合线包括拟合线段，和/或拟合曲线。

本申请实施方式的检测***包括承载装置、驱动件及一个或多个处理器。所述承载装置用于承载工件。所述驱动件用于驱动所述承载装置沿高度方向运动。一个或多个所述处理器用于获取工件的待测区的不同位置的高度分布信息；根据所述高度分布信息获取驱动件的响应曲线，所述响应曲线上，延伸方向发生突变的相邻节点的最小时间差大于或等于所述驱动件的响应周期；及控制所述驱动件根据所述响应曲线驱动所述承载装置运动。

在某些实施方式中，所述检测***还包括图像采集装置，所述图像采集装置用于检测所述工件，一个或多个所述处理器用于控制所述驱动件根据所述响应曲线驱动所述承载装置运动时，所述图像采集装置的视场范围内的工件，均位于所述图像采集装置的景深范围内。

在某些实施方式中，所述高度分布信息包括高度曲线，所述检测***还包括定高检测装置，所述定高检测装置用于测量所述待测区的不同位置相对参考位置的多个距离；一个或多个所述处理器用于获取多个所述距离、以相同基准绘制每个所述距离对应的拟合点、及连接多个所述拟合点以得到所述高度曲线。

在某些实施方式中，所述高度分布信息包括具有多个台阶的高度曲线，一个或多个所述处理器还用于根据所述高度曲线上沿预定方向连续多个台阶的高度分布，得到多个拟合线；及根据多个所述拟合线获取所述响应曲线。

在某些实施方式中，一个或多个所述处理器还用于执行：比较步骤：比较多条线段中，每条线段上的任意点到线段跨越的任一台阶之间的垂直距离，是否大于预设距离，其中，多条线段均以第i个台阶上的预定点为起点，分别以第i个台阶之后的台阶上的预定点为终点形成；拟合步骤：在线段上至少一点到线段跨越的第i个台阶至第j个台阶中任一台阶的垂直距离大于所述预设距离时，对第i个台阶至第j-1个台阶上的所有预定点进行拟合得到一个拟合线；及以所述第j-1个台阶上的预定点为起点，循环执行所述比较步骤及所述拟合步骤，直至拟合完所有台阶上的预定点，以得到多个拟合线。

在某些实施方式中，所述高度分布信息包括高度数值的集合，所述检测***还包括定高检测装置，所述定高检测装置用于测量所述待测区的不同位置相对参考位置的多个距离；一个或多个所述处理器还用于获取多个所述距离，及将多个所述距离作为集合以得到所述高度分布信息。

在某些实施方式中，一个或多个所述处理器还用于执行：计算步骤：依次计算集合内第i个数值与后面的其他数值之间的差值；比较步骤：在每次计算出一个差值后，比较所述差值的绝对值是否大于预设距离；拟合步骤：在第i个数值与第j个数值之间的差值的绝对值大于所述预设距离时，以相同基准绘制第i个数值至第j-1个数值对应的绘制点，并连接多个所述绘制点以得到拟合线；以所述第j-1个数值为计算基础循环执行所述计算步骤、所述比较步骤、及所述拟合步骤直至拟合完集合内所有数值对应的绘制点，以得到多个拟合线；及根据多条所述拟合线获取所述响应曲线。

在某些实施方式中，所述预设距离为图像采集装置的景深的预设比例，其中，所述图像采集装置用于检测所述工件。

在某些实施方式中，所述拟合线包括拟合线段，和/或拟合曲线。

本申请实施方式的非易失性计算机可读存储介质包含计算机程序，当所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，使得所述处理器在执行上述任意一实施方式所述的检测方法。

本申请实施方式的检测方法、检测***及非易失性计算机可读存储介质中，根据工件的待测区的不同位置的高度分布信息获取控制驱动件驱动承载装置沿高度方向运动的响应曲线，并控制驱动件根据响应曲线驱动承载装置运动，由于响应曲线上，延伸方向发生突变的相邻节点的最小时间差大于或等于驱动件的响应周期，以使驱动件驱动承载装置运动的频率在驱动件的承受范围内，并保证驱动件的驱动频率满足检测***的检测需求。

本申请的实施方式的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实施方式的实践了解到。

附图说明

本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图；

图2是本申请某些实施方式的检测***的结构示意图；

图3是本申请某些实施方式的检测***的结构示意图；

图4是本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图；

图5是本申请某些实施方式的测高装置测量放置在承载装置上工件的高度的示意图；

图6是本申请某些实施方式获取工件的待测区的不同位置的高度分布信息的示意图；

图7和图8是本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图；

图9是本申请某些实施方式的高度曲线的示意图；

图10是本申请某些实施方式的拟合线的示意图；

图11和图12是是本申请某些实施方式的检测方法的流程示意图；

图13是本申请某些实施方式的计算机刻度存储介质和处理器的连接状态示意图。

具体实施方式

下面详细描述本申请的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中，相同或类似的标号自始至终表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请的实施方式，而不能理解为对本申请的实施方式的限制。

请参阅图1和图2，本申请实施方式提供一种检测方法。该检测方法包括：

01：获取工件40的待测区41的不同位置的高度分布信息，工件40放置在承载装置10上；

03：根据高度分布信息获取驱动件20的响应曲线，驱动件20用于驱动承载装置10沿高度方向运动，响应曲线上，延伸方向发生突变的相邻节点的最小时间差大于或等于驱动件20的响应周期；及

05：控制驱动件20根据响应曲线驱动承载装置10运动。

本申请实施方式还提供一种检测***100。检测***100包括承载装置10、驱动件20及一个或多个处理器30。本申请实施方式的检测方法可应用于本申请实施方式的检测***100。承载装置10用于承载工件40。驱动件20用于驱动承载装置10沿高度方向运动。一个或多个处理器30用于执行01、03和05中的方法。即，处理器30用于获取工件40的待测区41的不同位置的高度分布信息；根据高度分布信息获取驱动件20的响应曲线；及控制驱动件20根据响应曲线驱动承载装置10运动。

更具体地，检测***100还可包括图像采集装置50，图像采集装置50位于工件40上方，图像采集装置50用于检测工件40的缺陷。

其中，高度方向为图像采集装置50检测工件40的缺陷时，与图像采集装置50视场的中心轴的延伸方向平行的方向，如图2所示的Z方向。响应曲线上，延伸方向发生突变的相邻阶段的最小时间差大于或等于驱动件20响应周期，即驱动件20根据响应曲线驱动承载装置10运动时，驱动件20会驱动承载装置10向上运动（Z轴的正向运动）或向下运动（Z轴的负向运动）。响应曲线上，延伸方向发生突变的相邻节点的最小时间差大于或等于驱动件20的响应周期，驱动件20的驱动方向不需要过度频繁地发生变化，驱动件20的驱动速率也不需要过度频繁地发生变化，从而保证驱动件20驱动承载装置10的向上运动或向下运动的频率在驱动件20可以达到的调节频率内。其中，响应曲线的延伸方向发生突变的节点，可以指的是响应曲线上不连续的节点。

工件40包括但不限于为显示屏面板、芯片、晶圆、手机前盖、手机后盖、VR眼镜、AR眼镜、智能手表盖板、玻璃、透镜、木材、铁板、任何装置的壳体（例如手机壳）等元件。本申请以工件40为显示屏面板为例，可以理解，工件40并不局限于为显示屏面板一种。

图像采集装置50可以是电荷耦合（Charge Coupled Device，CCD）相机、互补金属氧化物半导体（Complementary Metal-Oxide-Semiconductor，CMOS）相机等可以将把光信号转化为电信号的成像装置，在本申请实施方式中，以图像采集装置50是CCD相机为例，可以理解，图像采集装置50并不局限于CCD相机一种。

具体地，在图像采集装置50检测工件40时，工件40的待测区41位于工件40朝向图像采集装置50一侧的表面，待测区41可以是该表面的任意位置，例如工件40的边缘区域、中心区域、开设的孔的边缘区域等。

响应曲线还满足：在处理器30控制驱动件20根据响应曲线驱动承载装置10运动时，图像采集装置50的视场范围内的工件40，均位于图像采集装置50的景深范围内，即待测区41均位于图像采集装置50的景深范围内。

目前，待测区41由于自身的高度起伏、表面损伤、表面附有灰尘或工件40未在承载装置10上水平放置，都会导致待测区41的不同位置的高度不同。在实际检测过程中，图像采集装置50检测频率较高，而驱动件20无法以较高的频率驱动承载装置10在高度方向移动，则会导致图像采集装置50检测工件40时，部分待测区41不在图像采集装置50的景深范围内，从而影响成像的清晰度，导致检测结果的不准确。

在本申请实施方式的检测方法和检测***100中，根据工件40的待测区41的不同位置的高度分布信息获取控制驱动件20驱动承载装置10沿高度方向运动的响应曲线，并控制驱动件20根据响应曲线驱动承载装置20运动，由于响应曲线上，延伸方向发生突变的相邻节点的最小时间差大于或等于驱动件20的响应周期，以使驱动件20驱动承载装置10运动的频率在驱动件20的能够调节的承受范围内并保证驱动件20的驱动频率满足检测***100的检测需求。

请参阅图4，在某些实施方式中，高度分布信息包括高度曲线，01：获取工件40的待测区41的不同位置的高度分布信息，包括：

011：采用定高检测装置60测量待测区41的不同位置相对参考位置的多个距离；

012：以相同基准绘制每个距离对应的拟合点；及

013：连接多个拟合点以得到高度曲线M。

请结合图2，检测***100还可包括定高检测装置60，定高检测装置60用于执行011中的方法，一个或多个处理器30用于执行012和013中的方法。即定高检测装置60用于测量待测区41的不同位置相对参考位置的多个距离，处理器30用于获取多个距离、以相同基准绘制每个距离对应的拟合点、及连接多个拟合点以得到高度曲线M。

定高检测装置60可包括探头61和图像获取装置62，定高检测装置60测量工件40的待测区41的不同位置相对参考位置的多个距离时，图像获取装置62先获取工件40的第一图像，以获取工件40在承载装置10上的位置信息。其中，位置信息可以包括工件40相对参考位置的偏移量和/或偏转角度。一个或多个处理器30内预先存有工件40放置在承载装置10的参考位置上的参考图像，处理器30根据参考图像及第一图像以获取工件40相对参考位置的偏移量和/或偏转角度。当然，检测***100还可以通过其他方式根据第一图像获取工件40在承载装置10上的位置信息，在此不作限制。在获取到位置信息后，探头61根据位置信息检测工件40的高度信息，从而测量待测区41的不同位置相对参考位置的多个距离。

其中，高度分布信息可以是多段连接的高度曲线M，处理器30能够根据高度曲线M获取驱动件20的响应曲线。参考位置可以是探头61的安装面64（如图5所示），参考位置还可以是定高检测装置60背离工件40的一面。相同基准为任一基准，例如，以安装面64所在高度为X坐标轴（基准面）所在的高度，以绘制多个拟合点相对X坐标轴的高度分布（如图6所示）。

具体地，如图5所示，在一个实施方式中，以参考位置为探头61的安装面64为例，当定高检测装置60测量待测区41的不同位置相对参考位置的多个距离时，则可得到如图6左图所示的多个距离h1、h2、h3、h4、h5、h6，处理器30分别对多个距离h1、h2、h3、h4、h5、h6以安装面64所在高度为X坐标轴，绘制工件40在对应距离下的高度分布，则可得到如图6右图所示的多个拟合点，且每个高度上的拟合点的宽度与待测区41在同一高度下的宽度相同，处理器30再通过连接多个拟合点从而得到高度曲线M，并能通过高度曲线M获得驱动件20的响应曲线。

请一并参阅图2及图3，图像采集装置50和定高检测装置60可安装在同一载台70上，载体70上可设置轨道，图像采集装置50和定高检测装置60可以在载台70上沿轨道移动(左右移动)，且图像采集装置50和定高检测装置60位于载台70的相背两侧，承载装置10位于载台70下方。处理器30可以为多个，在一个例子中，多个处理器30分别集成于图像采集装置50和定高检测装置60内部；在另一个例子中，部分处理器30集成于图像采集装置50内部，另一部分处理器30集成于载台70；在再一个例子中，部分处理器30集成于定高检测装置60内部，另一部分处理器30集成于载台70；再又一个例子中，处理器30还可以均集成于载台70。

请一并参阅图2和图3，在某些实施方式中，检测***100可包括第一运行轨道80和第二运行轨道90。承载装置10可以为多个，多个承载装置10分别放置在不同的运行轨道上。当承载装置10为两个时，一个承载装置10放置在第一运行轨道80上，另一个承载装置10放置在第二运行轨道90上。当承载装置10通过第一运行轨道80或第二运行轨道90运动至载台70下方时，定高检测装置60先根据上述测量方式获取第一运行轨道80上承载装置10上的工件40的待测区41（以边缘区域为例）的不同位置相对参考位置的多个距离，定高检测装置60再从左往右运动，以测量第二运行轨道90上承载装置10上的工件40的待测区41的不同位置相对参考位置的多个距离；处理器30可从定高检测装置60获取第一运行轨道80上工件40对应的多个距离，并以相同基准绘制每个距离对应的拟合点、及连接多个拟合点以得到第一高度曲线；处理器30还可从定高检测装置60获取第二运行轨道90上工件40对应的多个距离，并以相同基准绘制每个距离对应的拟合点、及连接多个拟合点以得到第二高度曲线，接着，图像采集装置50同样先检测第一运行轨道80上承载装置10上的工件40的缺陷，再检测第二运行轨道80上承载装置10上的工件40的缺陷。在图像采集装置50检测第一运行轨道80上承载装置10上的工件40的缺陷时，处理器30根据第一高度曲线获取第一响应曲线，并控制驱动件20根据第一响应曲线驱动承载装置10运动，以使第一运行轨道80上的工件40处于图像采集装置50的景深范围内。同样地，在图像采集装置50检测第二运行轨道90上承载装置10上的工件40的缺陷时，处理器30根据第二高度曲线获取第二响应曲线，并控制驱动件20根据第二响应曲线驱动承载装置10运动，以使第二运行轨道90上的工件40也处于图像采集装置50的景深范围内。如此，定高检测装置60对第二运行轨道90上的工件40执行距离检测的起始时刻早于图像采集装置50对第一运行轨道80上的工件40执行缺陷检测的终止时刻，定高检测装置60无需等待图像采集装置50对当前工件40完成距离检测，即可对下一工件40进行距离检测，使得检测***100同时对多个工件40进行检测，从而能够提高检测***100的检测效率。

请参阅图7，在某些实施方式中，03：根据高度分布信息获取驱动件20的响应曲线，包括：

031：根据高度曲线M上沿预定方向连续多个台阶的高度分布，得到多个拟合线；及

032：根据多个所述拟合线获取所述响应曲线。

请结合图2，一个或多个处理器30还用于执行031和032中的方法，即处理器30用于根据高度曲线M上沿预定方向连续多个台阶的高度分布，得到多个拟合线；及根据多个所述拟合线获取所述响应曲线。

在本实施方式的检测方法和检测***中，处理器30依据响应曲线控制驱动件20驱动承载装置10运动的，而响应曲线是通过工件40的待测区41的高度曲线M上的多个台阶的高度分布形成的多个拟合线获取的，即驱动件20是驱动承载装置10依据工件40的待测区41的高度分布运动的，从而使图像采集装置50在检测待测区41时，待测区41时刻都处于图像采集装置50的景深范围内，以保证图像采集装置50对工件40的成像清晰，从而保证检测结果的准确性。

具体地，请参阅图8，在某些实施方式中，031：根据高度曲线M上沿预定方向连续多个台阶的高度分布，得到多个拟合线，包括：

0311：比较步骤：比较多条线段中，每条线段上的任意点到线段跨越的任一台阶之间的垂直距离，是否大于预设距离，其中，多条线段均以第i个台阶上的预定点为起点，分别以第i个台阶之后的台阶上的预定点为终点形成；

0312：拟合步骤：在线段上至少一点到线段跨越的第i个台阶至第j个台阶中任一台阶的垂直距离大于预设距离时，对第i个台阶至第j-1个台阶上的所有预定点进行拟合得到一个拟合线；及

0313：以第j-1个台阶上的预定点为起点，循环执行比较步骤及拟合步骤，直至拟合完所有台阶上的预定点，以得到多个拟合线。

对应地，请结合图2，一个或多个处理器30用于执行0311、0312和0313中的方法，即处理器30用于执行：比较步骤：比较多条线段中，每条线段上的任意点到线段跨越的所有台阶之间的垂直距离，是否大于预设距离，其中，多条线段均以第i个台阶上的预定点为起点，分别以第i个台阶之后的台阶上的预定点为终点形成；拟合步骤：在线段上至少一点到线段跨越的第i个台阶至第j个台阶的垂直距离大于预设距离时，对第i个台阶至第j-1个台阶上的所有预定点进行拟合得到一个拟合线；及以第j-1个台阶上的预定点为起点，循环执行比较步骤及拟合步骤，直至拟合完所有台阶上的预定点，以得到多个拟合线。

其中，预设距离为图像采集装置50的景深的预设比例，例如，预设距离可以是图像采集装置50的景深的二分之一、三分之一、四份之一等，本申请以预设距离为图像采集装置50的景深的预设比例的二分之一为例，可以理解预设距离包括并不限于是图像采集装置50的景深的二分之一。

在一个例子中，预设距离与驱动件20根据响应曲线将工件40驱动到的目标高度有关。如图10（a）所示，以响应曲线为S0为例，可以看出部分台阶2和部分台阶3是高于对应位置的响应曲线的高度的，因此，当驱动件20根据响应曲线S0驱动工件40到目标高度时，由于部分台阶的高度是高于响应曲线的高度的，则该部分台阶对应的工件会始终高于目标高度，若该部分台阶的高度与响应曲线的高度的差值过大，则会导致工件40的实际高度有可能会超出图像采集装置50的景深范围。因此，为保证图像采集装置50在检测工件40的过程中，工件40时刻位于图像采集装置50的景深范围内，以保证检测***100的检测结果的准确性，则当驱动件20根据响应曲线驱动至目标高度时，预设距离可以设置为目标高度与图像采集装置50的景深的上下限之间的距离中，较小的距离。

例如，若驱动件20将响应曲线驱动的目标高度为图像采集装置50的景深的三分之一高度处，则目标高度将图像采集装置50的景深值分为三分之一景深和三分之二景深，则预设距离为图像采集装置50的景深的三分之一；若驱动件20将响应曲线驱动的目标高度为图像采集装置50的景深的二分之一高度处，则目标高度将图像采集装置50分为相同的两个二分之一景深，则预设距离为图像采集装置50的景深的二分之一；若驱动件20将响应曲线驱动的目标高度为图像采集装置50的景深的四分之三高度处，则目标高度将图像采集装置50的景深范围分为四分之三景深和四分之一景深，则预设距离为图像采集装置50的景深的四分之一。

具体地，在某些实施方式中，请结合图9，以高度曲线M上沿预定方向连续分布有6个台阶为例，6个台阶分别为台阶1、台阶2、台阶3、台阶4、台阶5及台阶6。以台阶1上的预定点（例如中点）为起点，分别以台阶2、台阶3、台阶4、台阶5及台阶6上的预定点（例如中点）为终点，可分别形成线段L1、线段L2、线段L3、线段L4、及线段L5。处理器30执行比较步骤，比较线段L1上任意点到台阶1或台阶2的垂直距离是否大于预设距离，比较线段L2上任意点到台阶1、台阶2或台阶3的垂直距离是否大于预设距离，比较线段L3上任意点到台阶1、台阶2、台阶3、或台阶4的垂直距离是否大于预设距离，比较线段L4上任意点到台阶1、台阶2、台阶3、台阶4、或台阶5的垂直距离是否大于预设距离，比较线段L5上任意点到台阶1、台阶2、台阶3、台阶4、台阶5、或台阶6的垂直距离是否大于预设距离。

其中，在处理器30执行比较步骤过程中，若某一线段上存在点到该线段跨越且对应的台阶之间的垂直距离大于预设距离，则停止形成与该线段起点相同，终点为该线段的终点所在台阶后的下一台阶上的预定点形成的下一线段。例如，当处理器30比较得到线段L1上的任意点到台阶1或台阶2的垂直距离均小于或等于预设距离，则处理器30继续比较线段L2上的任意点到台阶1、台阶2或台阶3的垂直距离是否大于预设距离，若处理器30比较得到线段L2上存在点到台阶1、台阶2或台阶3的垂直距离大于预设距离，则停止形成线段L3、线段L4、线段L5和线段L6。又例如，当处理器30比较得到线段L4上的存在点到台阶1、台阶2或台阶3的垂直距离大于预设距离，则停止形成线段L5和线段L6。可以理解，线段L1、线段L2、线段L3、线段L4、线段L5和线段L6并不是同时形成的，而是当前线段上的任意点到该线段跨越的任一台阶之间的垂直距离均小于或等于预设距离时，才会形成与该线段起点相同，终点为该线段终点所在台阶的下一台阶的下一个线段。

在一个实施方式中，若处理器30判断线段L1上任意一点到台阶1或台阶2的垂直距离均小于或等于预设距离，则处理器30继续执行比较步骤，即，比较线段L2上的任意点到台阶1、台阶2、或台阶3的垂直距离是否大于预设距离。

需要指出的是，每个线段包括和与其跨越的台阶分别对应的多段。则本申请中的线段上的任意点到台阶的垂直距离是指：线段的每段上任意点到该段跨越的台阶（对应的台阶）的垂直距离。线段的每段上任意点到该段没跨越的台阶（不对应的台阶）之间不存在垂直距离。具体地，例如，以台阶1、台阶2，和线段L1为例，线段L1包括与台阶1对应（跨越台阶1）的前半段和与台阶2对应（跨越台阶2）的后半段，线段L1上任意点到台阶1或台阶2的垂直距离是指：线段L1的前半段上任意点到台阶1的垂直距离，例如点A1到台阶1的垂直距离H1；及线段L1的后半段上任意点到台阶2的垂直距离，例如点A2到台阶1上的垂直距离H2。而且，线段L1的后半段上任意点不存在到台阶1的垂直距离，线段L1的前半段上任意点不存在到台阶2的垂直距离。再例例如，线段L2分为3段，分别为：跨越台阶1的前段，跨越台阶2的中段，及跨越台阶3的后段。前段与台阶1之间存在垂直距离，中段与台阶2之间存在垂直距离，后段与台阶3之间存在垂直距离；前段与台阶2之间不存在垂直距离，前段与台阶3之间不存在垂直距离，中段与台阶1之间不存在垂直距离，中段与台阶3之间不存在垂直距离，后段与台阶1之间不存在垂直距离，后段与台阶2之间不存在垂直距离。

若处理器30判断线段L2上任意一点到台阶1、或台阶2的垂直距离均小于或等于预设距离，则处理器30继续执行比较步骤，即，比较线段L3上的任意点到台阶1、台阶2、台阶3、或台阶4的垂直距离是否大于预设距离。若处理器30判断线段L3上的任意点到台阶1、台阶2、台阶3、或台阶4的垂直距离均小于或等于预设距离，则处理器30继续执行比较步骤，即，比较线段L4上任意点到台阶1、台阶2、台阶3、台阶4、或台阶5的垂直距离是否大于预设距离。若线段L4上任意点到台阶1、台阶2、台阶3、台阶4、或台阶5的垂直距离均小于或等于预设距离，则处理器30继续执行比较步骤，即，比较线段L5上任意点到台阶1、台阶2、台阶3、台阶4、台阶5、或台阶6的垂直距离是否大于预设距离。

请继续参阅图9，在某些实施方式中，在执行比较步骤的过程中，若处理器30判断线段L3上至少有一点到台阶1、台阶2、台阶3或台阶4的垂直距离大于预设距离，则无需进行后续比较步骤，例如停止比较线段L4上任意点到台阶1、台阶2、台阶3、台阶4、或台阶5的垂直距离是否大于预设距离，当然，也无需比较线段L5上任意点到台阶1、台阶2、台阶3、台阶4、台阶5、或台阶6的垂直距离是否大于预设距离。接着，对台阶1上的预定点、台阶2上的预定点、及台阶3上的预定点进行拟合得到一个拟合线，如图10中所示的拟合线S2、拟合线S3或拟合线S4。

在其他实施方式中，在执行比较步骤的过程中，若处理器30判断线段L3上至少有一点到台阶1、台阶2、台阶3或台阶4的垂直距离大于预设距离，可不停止后续比较步骤，例如比较完所有线段。或者，后续比较部分线段，例如比较排列在前的部分线段，例如线段L4，而线段L5则不比较。

在某些实施方式中，在线段上至少一点到线段跨越的第i个台阶至第j个台阶中任一台阶的垂直距离大于预设距离时，对第i个台阶上的预定点和第j-1个台阶上的预定点进行拟合得到一个拟合线。例如若处理器30判断线段L3上至少有一点到台阶1、台阶2、台阶3或台阶4的垂直距离大于预设距离，仅对台阶1上的预定点和台阶3上的预定点进行拟合得到一个拟合线，例如，如图10中所示的拟合线S0和拟合线S1。

然后，以台阶3上的预定点为起点，循环执行如上的比较步骤及如上的拟合步骤，直至拟合完所有台阶上的预定点，以得到多个拟合线。

需要说明的是，若处理器30判断线段L1上至少有一点到台阶1和台阶2上的距离大于预设距离时，例如，若处理器30判断线段L1上点A1到台阶1的距离H1大于预设距离，而线段L1上点A2到台阶2的距离H2小于或等于预设距离，因台阶1前再无台阶，说明此时，驱动件20无需驱动承载装置10沿高度方向运动（仅高度曲线M上第一个台阶为此种情况），则以台阶2上的预定点为起点，台阶2之后的台阶上的预定点为终点形成线段，处理器30继续执行比较步骤。

在某些实施方式中，拟合线可以是拟合线段，例如图10中（a）图所示的拟合线S1和（b）图所示的拟合线S2。在某些实施方式中，拟合线可以是拟合曲线，例如图10中（a）图所示的拟合线S0和（c）图所示的拟合线S3。在某些实施方式中，拟合线可以包括拟合曲线和拟合线段，例如图10中（d）图所示的拟合线S4。

请结合图11，在某些实施方式中，01：获取工件40的待测区41的不同位置的高度分布信息，还可包括：

014：采用定高检测装置60测量待测区41的不同位置相对参考位置的多个距离，将多个距离作为集合以得到高度分布信息。

请结合图2，定高检测装置60测量待测区41的不同位置相对参考位置的多个距离，处理器30还用于获取定高检测装置60测量的待测区41的不同位置相对参考位置的多个距离，及将多个距离作为集合以得到高度分布信息。

具体地，如图6所示，若以参考位置是探头61的安装面64为例，当定高检测装置60测量待测区41的不同位置时，则可得到定高检测装置60距待测区41的不同位置的多个距离h1、h2、h3、h4、h5、h6，并将多个距离h1、h2、h3、h4、h5、h6作为集合，从而得到高度分布信息。例如，h1、h2、h3、h4、h5、h6分别为5、10、8、13、14和20，则处理器30可将测得的多个距离作为元素得到集合P={5，10，8，13，14，20}，并将集合P作为高度分布信息。

请结合图12，在某些实施方式中，03：根据高度分布信息获取驱动件20的响应曲线，还包括：

033：计算步骤：依次计算集合内第i个数值与后面的其他数值之间的差值；

034：比较步骤：在每次计算出一个差值后，比较差值的绝对值是否大于预设距离；

035：拟合步骤：在第i个数值与第j个数值之间的差值的绝对值大于预设距离时，以相同基准绘制第i个数值至第j-1个数值对应的绘制点，并连接多个绘制点以得到拟合线；

036：以第j-1个数值为计算基础循环执行计算步骤、比较步骤、及拟合步骤直至拟合完集合内所有数值对应的绘制点，以得到多个拟合线；及

037：根据多条拟合线获取响应曲线。

请结合图2，处理器30还用于执行033、034、035、036及037中的方法，即处理器30还用于执行：计算步骤：依次计算集合内第i个数值与后面的其他数值之间的差值；比较步骤：在每次计算出一个差值后，比较差值的绝对值是否大于预设距离；拟合步骤：在第i个数值与第j个数值之间的差值的绝对值大于预设距离时，以相同基准绘制第i个数值至第j-1个数值对应的绘制点，并连接多个绘制点以得到拟合线；以第j-1个数值为计算基础循环执行计算步骤、比较步骤、及拟合步骤直至拟合完所有台阶上的预定点，以得到多个拟合线；及根据多条拟合线获取响应曲线。

具体地，高度分布信息可以是一个集合，以上述集合P为例，则处理器30执行计算步骤，可计算集合P内每一个数值与该数值后所有数值的差值，例如，集合P中第一个数值为[5]，则处理器30执行计算步骤，以依次计算出数值[5]与后面数值[10]、[8]、[13]、[14]及[20]的差值，数值[10]与后面数值[8]、[13]、[14]及[20]的差值、数值[8]与后面数值[13]、[14]及[20]的差值，数值[13]与后面数值[14]及[20]的差值，还有数值[14]与后面数值[20]的差值。

当处理器30计算出数值[5]与数值[10]的差值后，则会比较差值的绝对值是否大于预设距离。即处理器30通过计算步骤，得出第1个数值[5]与第2个数值[10]的差值为-5，则差值的绝对值为5，处理器30会比较5是否大于预设距离。以预设距离为7为例，则第1个数值[5]与第2个数值[10]的差值的绝对值小于预设距离，则处理器30会继续比较第1个数值[5]与第3个数值[8]的差值的绝对值是否大于预设距离。依次类推，可以看出第1个数值[5]与第4个数值[13]的差值为-8，则数值[5]与数值[13]大于预设距离。接下来，处理器30则会执行拟合步骤，并以一基准面绘制第1个数值[5]至第4-1个（即第3个）数值[8]对应的绘制点，即5、10、8，并连接第1个绘制点5、第2个绘制点10和第3个绘制点8，从而得到第1条拟合线。

此后，处理器30则以第3个数值[8]为计算基础，继续执行计算步骤、比较步骤及拟合步骤，直至拟合完集合内所有数值对应的绘制点。例如，若集合P内，处理器30以第3个数值[8]为计算基础，则可得到第3个数值[8]与第6个数值[20]的差值的绝对值大于预设距离7，则拟合第3个数值[8]、第4个数值[13]和第5个数值[14]对应的绘制点，即8、13、14，并连接第3个绘制点、第4个绘制点和第5个绘制点以得到第2条拟合线。依次类推，直到集合P内再无数值对应的绘制点未进行拟合，则处理器30根据第多条拟合线获取响应曲线。

在一个实施例中，若处理器30判断以第i个数值与第n个数值的差值大于预设距离，则处理器拟合第i个数值和第n个数值对应的绘制点以得到拟合线，并与上述方式相同，直至第n个数值为最后一个数值，则停止拟合步骤，从而得到多条拟合线。处理器再通过多条拟合线以获取响应曲线。

同样地，拟合线可以是拟合线段或拟合曲线，拟合线还可以是拟合线段和拟合曲线同时组成的。

请参阅图13，本申请实施方式还提供一种包含计算机程序201的非易失性计算机可读存储介质200。当计算机程序201被一个或多个处理器30执行时，使得一个或多个处理器3030执行上述任一实施方式的检测方法。

例如，计算机程序201被一个或多个处理器30执行时，使得处理器30执行以下检测方法：

01：获取工件40的待测区41的不同位置的高度分布信息，工件40放置在承载装置10上；

03：根据高度分布信息获取驱动件20的响应曲线，驱动件20用于驱动承载装置10沿高度方向运动，响应曲线上，延伸方向发生突变的相邻节点的最小时间差大于或等于驱动件20的响应周期；及

05：控制驱动件20根据响应曲线驱动承载装置10运动。

又例如，计算机201程序被一个或多个处理器30执行时，使得处理器30执行以下检测方法：

011：采用定高检测装置60测量待测区41的不同位置相对参考位置的多个距离；

012：以相同基准绘制每个距离对应的拟合点；及

013：连接多个拟合点以得到高度曲线M。

再例如，计算机201程序被一个或多个处理器30执行时，使得处理器30执行以下检测方法：

031：根据高度曲线M上沿预定方向连续多个台阶的高度分布，得到多个拟合线；

032：根据多个所述拟合线获取所述响应曲线。

还例如，计算机201程序被一个或多个处理器30执行时，使得处理器30执行以下检测方法：

0311：比较步骤：比较多条线段中，每条线段上的任意点到线段跨越的所有台阶之间的距离，是否大于预设距离，其中，多条线段均以第i个台阶上的预定点为起点，分别以第i个台阶之后的台阶上的预定点为终点形成；

0312：拟合步骤：在线段上至少一点到线段跨越的第i个台阶至第j个台阶的垂直距离大于预设距离时，对第i个台阶至第j-1个台阶上的所有预定点进行拟合得到一个拟合线；及

0313：以第j-1个台阶上的预定点为起点，循环执行比较步骤及拟合步骤，直至拟合完所有台阶上的预定点，以得到多个拟合线。

在本说明书的描述中，参考术语“某些实施方式”、“一个例子中”、“示例地”等的描述意指结合所述实施方式或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施方式或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施方式或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施方式或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本申请的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本申请的实施例所属技术领域的技术人员所理解。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施方式，可以理解的是，上述实施方式是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的普通技术人员在本申请的范围内可以对上述实施方式进行变化、修改、替换和变型。

Claims (19)

1.一种检测方法，其特征在于，包括：

获取工件的待测区的不同位置的高度分布信息，所述工件放置在承载装置上；

根据所述高度分布信息获取驱动件的响应曲线，所述驱动件用于驱动所述承载装置沿高度方向运动，所述响应曲线上，延伸方向发生突变的相邻节点的最小时间差大于或等于所述驱动件的响应周期；及

控制所述驱动件根据所述响应曲线驱动所述承载装置运动。

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述工件由图像采集装置检测，所述响应曲线满足条件：

控制所述驱动件根据所述响应曲线驱动所述承载装置运动时，所述图像采集装置的视场范围内的工件，均位于所述图像采集装置的景深范围内。

3.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述高度分布信息包括高度曲线，所述获取工件的待测区的不同位置的高度分布信息，包括：

采用定高检测装置测量所述待测区的不同位置相对参考位置的多个距离；

以相同基准绘制每个所述距离对应的拟合点；及

连接多个所述拟合点以得到所述高度曲线。

4.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述高度分布信息包括具有多个台阶的高度曲线，所述根据所述高度分布信息获取驱动件的响应曲线，包括：

根据所述高度曲线上沿预定方向连续多个台阶的高度分布，得到多个拟合线；及

根据多个所述拟合线获取所述响应曲线。

5.根据权利要求4所述的检测方法，其特征在于，根据所述高度曲线上沿预定方向连续多个台阶的高度分布，得到多个拟合线，包括：

比较步骤：比较多条线段中，每条线段上的任意点到线段跨越的任一台阶之间的垂直距离，是否大于预设距离，其中，多条线段均以第i个台阶上的预定点为起点，分别以第i个台阶之后的台阶上的预定点为终点形成；

拟合步骤：在线段上至少一点到线段跨越的第i个台阶至第j个台阶中任一台阶的垂直距离大于所述预设距离时，对第i个台阶至第j-1个台阶上的所有预定点进行拟合得到一个拟合线；及

以所述第j-1个台阶上的预定点为起点，循环执行所述比较步骤及所述拟合步骤，直至拟合完所有台阶上的预定点，以得到多个拟合线。

6.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述高度分布信息包括高度数值的集合，所述获取工件的待测区的不同位置的高度分布信息，包括：

采用定高检测装置测量所述待测区的不同位置相对参考位置的多个距离，将多个所述距离作为集合以得到所述高度分布信息。

7.根据权利要求6所述的检测方法，其特征在于，所述根据所述高度分布信息获取驱动件的响应曲线，包括：

计算步骤：依次计算集合内第i个数值与后面的其他数值之间的差值；

比较步骤：在每次计算出一个差值后，比较所述差值的绝对值是否大于预设距离；

拟合步骤：在第i个数值与第j个数值之间的差值的绝对值大于所述预设距离时，以相同基准绘制第i个数值至第j-1个数值对应的绘制点，并连接多个所述绘制点以得到拟合线；

以所述第j-1个数值为计算基础循环执行所述计算步骤、所述比较步骤、及所述拟合步骤直至拟合完集合内所有数值对应的绘制点，以得到多个拟合线；及

根据多条所述拟合线获取所述响应曲线。

8.根据权利要求5或7所述的检测方法，其特征在于，

所述预设距离为图像采集装置的景深的预设比例，其中，所述图像采集装置用于检测所述工件。

9.根据权利要求5或7所述的检测方法，其特征在于，所述拟合线包括拟合线段，和/或拟合曲线。

10.一种检测***，其特征在于，包括：

承载装置，所述承载装置用于承载工件；

驱动件，所述驱动件用于驱动所述承载装置沿高度方向运动；及

一个或多个处理器，一个或多个所述处理器用于：获取工件的待测区的不同位置的高度分布信息；根据所述高度分布信息获取驱动件的响应曲线，所述响应曲线上，延伸方向发生突变的相邻节点的最小时间差大于或等于所述驱动件的响应周期；及控制所述驱动件根据所述响应曲线驱动所述承载装置运动。

11.根据权利要求10所述的检测***，其特征在于，所述检测***还包括图像采集装置，所述图像采集装置用于检测所述工件，一个或多个所述处理器用于控制所述驱动件根据所述响应曲线驱动所述承载装置运动时，所述图像采集装置的视场范围内的工件，均位于所述图像采集装置的景深范围内。

12.根据权利要求10所述的检测***，其特征在于，所述高度分布信息包括高度曲线，所述检测***还包括定高检测装置，所述定高检测装置用于测量所述待测区的不同位置相对参考位置的多个距离；一个或多个所述处理器用于获取多个所述距离、以相同基准绘制每个所述距离对应的拟合点、及连接多个所述拟合点以得到所述高度曲线。

13.根据权利要求10所述的检测***，其特征在于，所述高度分布信息包括具有多个台阶的高度曲线，一个或多个所述处理器还用于：

根据所述高度曲线上沿预定方向连续多个台阶的高度分布，得到多个拟合线；及

根据多个所述拟合线获取所述响应曲线。

14.根据权利要求13所述的检测***，其特征在于，一个或多个所述处理器还用于执行：

比较步骤：比较多条线段中，每条线段上的任意点到线段跨越的任一台阶之间的垂直距离，是否大于预设距离，其中，多条线段均以第i个台阶上的预定点为起点，分别以第i个台阶之后的台阶上的预定点为终点形成；

拟合步骤：在线段上至少一点到线段跨越的第i个台阶至第j个台阶中任一台阶的垂直距离大于所述预设距离时，对第i个台阶至第j-1个台阶上的所有预定点进行拟合得到一个拟合线；及

以所述第j-1个台阶上的预定点为起点，循环执行所述比较步骤及所述拟合步骤，直至拟合完所有台阶上的预定点，以得到多个拟合线。

15.根据权利要求10所述的检测***，其特征在于，所述高度分布信息包括高度数值的集合，所述检测***还包括定高检测装置，所述定高检测装置用于测量所述待测区的不同位置相对参考位置的多个距离；一个或多个所述处理器还用于获取多个所述距离，及将多个所述距离作为集合以得到所述高度分布信息。

16.根据权利要求15所述的检测***，其特征在于，一个或多个所述处理器还用于执行：

计算步骤：依次计算集合内第i个数值与后面的其他数值之间的差值；

比较步骤：在每次计算出一个差值后，比较所述差值的绝对值是否大于预设距离；

拟合步骤：在第i个数值与第j个数值之间的差值的绝对值大于所述预设距离时，以相同基准绘制第i个数值至第j-1个数值对应的绘制点，并连接多个所述绘制点以得到拟合线；

以所述第j-1个数值为计算基础循环执行所述计算步骤、所述比较步骤、及所述拟合步骤直至拟合完集合内所有数值对应的绘制点，以得到多个拟合线；及

根据多条所述拟合线获取所述响应曲线。

17.根据权利要求14或16所述的检测***，其特征在于，

所述预设距离为图像采集装置的景深的预设比例，其中，所述图像采集装置用于检测所述工件。

18.根据权利要求14或16所述的检测***，其特征在于，所述拟合线包括拟合线段或拟合曲线。

19.一个或多个存储有计算机程序的非易失性计算机可读存储介质，当所述计算机程序被一个或多个处理器执行时，使得所述处理器执行权利要求1至9任意一项所述的检测方法。

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