CN112518306B - 一种探针卡用螺丝紧固装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种探针卡用螺丝紧固装置，包括支撑柜体、工作台面、支撑杆，横杆和液压伸缩杆，所述安装室的内部放置有第一电动机，所述第一电动机的输出端通过纵向齿轮与横向齿轮转动连接，所述横向齿轮上贯穿安装有延伸至工作台面内的转动轴杆，所述支撑杆一侧的顶部通过第二电动机外壳固定安装有第二电动机，所述横杆的内部固定安装有丝杆，所述丝杆上通过滑动块滑动安装有液压伸缩杆，所述液压伸缩杆的底部通过第三电动机外壳固定安装有第三电动机，所述第三电动机的输出端通过批杆安装座固定安装有批杆。通过对电动机外壳上设置的密封板进行改进，制备得到的密封板具有较好的散热性能，提高了工作效率，降低了设备工作中的危险性的出现。

Description

一种探针卡用螺丝紧固装置

技术领域

本发明属于探针卡生产技术领域，更具体的涉及一种探针卡用螺丝紧固装置。

背景技术

探针卡是一种对半导体元件进行在晶片级别上有无缺陷的测试元件，测试方法包括：将晶片和半导体元件检测设备进行电连接，并将检测设备的电信号传递至晶片上所形成的垫上，并将从垫返回的信号传递至半导体元件的检测设备。

探针卡是由多个螺丝进行紧固，随着市场需求量的增加，探针卡也随之加大生产，传统的加工过程是由工作人员手持批杆进行紧固，这会大大降低探针卡生产的工作效率，现需要一种探针卡用螺丝紧固装置，但是现有的探针卡用螺丝紧固装置在很多问题或缺陷：第一：现有的探针卡生产过程中的紧固方式大多是通过工作人员手动的方式将将螺丝对准探针卡上的螺纹再将螺丝旋入，不仅增加了工作人员的作业负担同时这种方式也大幅度的降低了探针卡的生产速度；第二：探针卡用螺丝紧固装置中存在多个电动机，电动机在使用过程中会产生大量的热量，如果不及时排出可能会导致探针卡用螺丝紧固装置的关停，影响工作进度。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种探针卡用螺丝紧固装置，包括支撑柜体1、工作台面2、支撑杆3，横杆4和液压伸缩杆5，所述支撑柜体1的内部设有存储室101与安装室102，所述安装室102的内部放置有第一电动机103，所述第一电动机103的输出端通过纵向齿轮104与横向齿轮105转动连接，所述横向齿轮105上贯穿安装有延伸至工作台面2内的转动轴杆106，所述转动轴杆106的顶部固定安装有工作转盘201，且工作转盘201上设有限位台202，所述支撑柜体1的顶部固定安装有工作台面2，所述工作台面2的两侧皆固定安装有支撑杆3，所述支撑杆3之间的顶部固定安装有横杆4，所述横杆4的内部固定安装有丝杆401，所述丝杆401上通过滑动块402滑动安装有液压伸缩杆5，所述液压伸缩杆5的底部通过第三电动机外壳501固定安装有第三电动机502。

优选的，所述的支撑杆3一侧的顶部通过第二电动机外壳301固定安装有第二电动机302。

优选的，所述第三电动机502的输出端通过批杆安装座503固定安装有批杆504。

优选的，所述支撑柜体1的正面活动安装有活动保护门，且活动保护门上设有配合使用的观察窗。

优选的，所述的工作台面2的正面固定安装有控制开关203。

优选的，所述的控制开关203通过导线分别与第一电动机103、第二电动机302和第三电动机502电性连接。

优选的，所述工作台面2的内设有与转动轴杆106配合使用的安装槽，所述限位台202内设有配合使用的限位凹槽。

优选的，所述的第二电动机外壳301与第三电动机外壳501的正面皆设有密封板，且密封板上设有配合使用的散热孔。

优选的，所述的第二电动机外壳301与支撑杆3之间通过三角支撑脚固定安装。

优选的，所述第三电动机502与第二电动机302与第一电动机103的输出端皆通过联轴器分别与批杆504、丝杆401以及纵向齿轮104转动连接。

有益效果：

(1)通过液压伸缩杆与第三电动机与批杆之间的配合使用，使得工作人员无需再通过手动的方式进行探针卡的紧固作业，减轻了工作人员的作业负担，实现了装置自动化螺丝紧固作业，同时也避免了因人工手动的作业方式导致探针卡的生产量跟不上市场需求量的情况发生，提高了探针卡生产的工作效率；

(2)通过工作转盘与限位台之间的配合使用，使得装置在紧固探针卡的作业过程中，可以对探针卡进行位置固定，同时也避免了探针卡因在作业过程中出现位移而导致螺丝与螺纹对接的角度出现偏差无法紧固的情况发生，提高了装置的实用性；

(3)通过第一电动机与纵向齿轮与横向齿轮与转动轴杆与丝杆与第二电动机之间的配合使用，使得装置可以根据作业需求进行自动化方向调节，无需人工手动调整探针卡的螺丝紧固位置进行作业，便于探针卡在螺丝紧固时的定位，提高了装置的精准性，通过存储室，可以存放与作业相关的零件，便于工作人员在作业过程中的拿取，扩大了装置的空间使用范围；

(4)通过对电动机外壳上设置的密封板进行改进，制备得到的密封板具有较好的散热性能，在本设备使用过程中可以保证电动机产生的热量即使排出，避免了设备工作过程中热量的聚集而导致的设备中途关停的现象，提高了工作效率，降低了设备工作中的危险性的出现。

附图说明

图1为本发明的正视剖面结构示意图；

图2为本发明的正视结构示意图；

图3为本发明的侧视结构示意图；

图4为本发明的局部正视剖面结构示意图。

图中：1、支撑柜体；101、存储室；102、安装室；103、第一电动机；104、纵向齿轮；105、横向齿轮；106、转动轴杆；2、工作台面；201、工作转盘；202、限位台；203、控制开关；3、支撑杆；301、第二电动机外壳；302、第二电动机；4、横杆；401、丝杆；402、滑动块；5、液压伸缩杆；501、第三电动机外壳；502、第三电动机；503、批杆安装座；504、批杆。

具体实施方式

结合以下本发明的优选实施方法的详述以及包括的实施例可进一步地理解本发明的内容。除非另有说明，本文中使用的所有技术及科学术语均具有与本申请所属领域普通技术人员的通常理解相同的含义。如果现有技术中披露的具体术语的定义与本申请中提供的任何定义不一致，则以本申请中提供的术语定义为准。

在本文中使用的，除非上下文中明确地另有指示，否则没有限定单复数形式的特征也意在包括复数形式的特征。还应理解的是，如本文所用术语“由…制备”与“包含”同义，“包括”、“包括有”、“具有”、“包含”和/或“包含有”，当在本说明书中使用时表示所陈述的组合物、步骤、方法、制品或装置，但不排除存在或添加一个或多个其它组合物、步骤、方法、制品或装置。此外，当描述本申请的实施方式时，使用“优选的”、“优选地”、“更优选的”等是指，在某些情况下可提供某些有益效果的本发明实施方案。然而，在相同的情况下或其他情况下，其他实施方案也可能是优选的。除此之外，对一个或多个优选实施方案的表述并不暗示其他实施方案不可用，也并非旨在将其他实施方案排除在本发明的范围之外。

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种探针卡用螺丝紧固装置，包括支撑柜体1、工作台面2、支撑杆3，横杆4和液压伸缩杆5，所述支撑柜体1的内部设有存储室101与安装室102，所述安装室102的内部放置有第一电动机103，所述第一电动机103的输出端通过纵向齿轮104与横向齿轮105转动连接，所述横向齿轮105上贯穿安装有延伸至工作台面2内的转动轴杆106，所述转动轴杆106的顶部固定安装有工作转盘201，且工作转盘201上设有限位台202，所述支撑柜体1的顶部固定安装有工作台面2，所述工作台面2的两侧皆固定安装有支撑杆3，所述支撑杆3之间的顶部固定安装有横杆4，所述横杆4的内部固定安装有丝杆401，所述丝杆401上通过滑动块402滑动安装有液压伸缩杆5，所述液压伸缩杆5的底部通过第三电动机外壳501固定安装有第三电动机502。

在一些优选的实施方式中，所述的支撑杆3一侧的顶部通过第二电动机外壳301固定安装有第二电动机302。

在一些优选的实施方式中，所述第三电动机502的输出端通过批杆安装座503固定安装有批杆504。

在一些优选的实施方式中，所述支撑柜体1的正面活动安装有活动保护门，且活动保护门上设有配合使用的观察窗。

在一些优选的实施方式中，所述的工作台面2的正面固定安装有控制开关203。

在一些优选的实施方式中，所述的控制开关203通过导线分别与第一电动机103、第二电动机302和第三电动机502电性连接。

在一些优选的实施方式中，所述工作台面2的内设有与转动轴杆106配合使用的安装槽，所述限位台202内设有配合使用的限位凹槽。

在一些优选的实施方式中，所述的第二电动机外壳301与第三电动机外壳501的正面皆设有密封板，且密封板上设有配合使用的散热孔。

在一些优选的实施方式中，所述的密封板包括金属层和橡胶层。

在一些优选的实施方式中，所述的密封板为金属橡胶复合密封板。

在一些优选的实施方式中，所述的金属橡胶复合密封板的制备过程包括金属层材料的处理、橡胶层材料的制备和和成型处理。

在一些优选的实施方式中，所述的成型处理温度为110-125℃。

在一些优选的实施方式中，所述的金属层为铝合金层。

在一些优选的实施方式中，所述的铝合金层的制备原料，按重量百分比计包括：铜2-4％，硅7.5-9.5％，镁0.1-0.3％，锌0.5-1％，铁0.3-0.9％，锰0.1-0.5％，锡0.05-0.3％，以铝补充余量至100％。

本申请中所述的铝合金，购买于东莞市驰城合金材料有限公司。

在一些优选的实施方式中，所述的金属层材料的处理中选用的胶粘剂为环氧树脂胶粘剂。

环氧树脂胶粘剂，EM1102，购于深圳市图特美高分子材料有限公司。

本申请人经过探究得到金属橡胶复合密封板的金属层材料选择铝合金材料制备得到的金属层，可以保证密封板具有较好的散热性能。本申请中选用的铝合金基于本申请中设备考虑，在实验过程中，申请人发现，本申请选择的铝合金层(铜2-4％，硅7.5-9.5％，镁0.1-0.3％，锌0.5-1％，铁0.3-0.9％，锰0.1-0.5％，锡0.05-0.3％，以铝补充余量至100％)和铝合金层的处理过程中使用的环氧树脂型胶粘剂更有利于与本申请中的密封板橡胶层形成金属橡胶复合密封板片材。申请人推测：橡胶层和铝合金层在成型的过程中选择的温度过高会导致铝合金硬度降低，使铝合金承受外力能力下降。另外加热温度过高还会影响橡胶层与预处理后铝合金层胶粘剂分子的运动速率、影响分子之间的碰撞频率、影响两种材料之间的结合强度，进而影响密封板的性能。

本申请选择的铝合金类型、成型过程中的温度以及环氧树脂型胶粘剂，制备得到的金属橡胶复合密封板的导热系数高达236W/(m·K)。并且在此处理温度下，并未发现铝合金表面发生变化，粘结效果较好，散热性能优异。

在一些优选的实施方式中，所述的橡胶层的制备原料按重量份计，包括：丁腈橡胶80-100份、N,N–二正丁基二硫氨基甲酸镍0.2-1.5份、氧化钙0-5份、白炭黑0.9-1份、煅烧高岭土0.1-0.4份、硅烷偶联剂1.2-3份、碳纤维1-5份、硬脂酸锌0.1-1份、石油蜡2-3份、硫磺1-3份、乙酸乙酯150-180份。

所述的丁腈橡胶，型号JH-768，购于天津津衡蓝海科技有限公司。

在一些优选的实施方式中，所述的白炭黑为气相法白炭黑。

在一些优选的实施方式中，所述的煅烧高岭土的目数为800-2000目。

在一些优选的实施方式中，所述的煅烧高岭土的目数为1250目。

气相法白炭黑，购于上海缘江化工有限公司；煅烧高岭土，购于上海缘江化工有限公司。

在一些优选的实施方式中，所述的硅烷偶联剂选自γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷。

在一些优选的实施方式中，所述的气相法白炭黑和煅烧高岭土的重量比为1：0.15-0.6。

在一些优选的实施方式中，所述的气相法白炭黑和煅烧高岭土的重量占丁腈橡胶重量的0.8-1.5wt％。

本申请中在制备复合橡胶材料的时候，通过加入气相法白炭黑和煅烧高岭土，并且控制二者重量比为1：0.15-0.6，并且气相法白炭黑和煅烧高岭土的重量为丁腈橡胶重量的0.8-1.5wt％时，制备得到的橡胶材料的耐磨性能和韧性得到较大的提升；

但是申请人在实验过程中意外发现，如果为了提高橡胶层材料的韧性而过多加入气相法白炭黑和煅烧高岭土，气相法白炭黑和煅烧高岭土在重量占丁腈橡胶重量大于1.5wt％时，得到的橡胶层材料的施工可行性变差，并且所需要的硅烷偶联剂用量增加，硅烷偶联剂的加入量过多，除了提升体系的稳定性以外，还有部分硅烷偶联剂发生自身水解，生成小分子链段嵌入橡胶分子链段间，影响橡胶材料的韧性和耐高温性能。

在一些优选的实施方式中，所述的碳纤维长度为500-1500mm。

在一些优选的实施方式中，所述的碳纤维包括平均长度为500mm、700mm、1000mm碳纤维。

所述的碳纤维，购于深圳市特力新材料科技有限公司。

在一些优选的实施方式中，平均长度500mm：700mm：1000mm长度的碳纤维的重量比为1：2.5：0.5-1。

为了解决本申请中白炭黑和煅烧高岭土过多的加入对橡胶层材料韧性和导热性的影响，本申请加入长度为500-1500mm的碳纤维，增强密封板橡胶层的导热性能、韧性、耐磨性和稳定性。

申请人意外发现，当加入得碳纤维得平均长度为500mm：700mm：1000mm的碳纤维的重量比为1：2.5：0.5-1时，除了可以掺杂于橡胶高分子链段间用于提高橡胶材料的韧性之外，还会降低成型过程中橡胶的收缩率。申请人推测可能是因为不同长度的碳纤维粒子在橡胶分子链中产生的吸附作用不同，导致橡胶体系中出现不同的交联点，增加了橡胶的表面活性点，导致橡胶制备原料之间的相互作用增强，分子链段间的运动自由性下降，橡胶的收缩率降低。

同时本申请制备的橡胶层材料用于电动机密封板材料，可以将电动机产生的热量及时排出，避免了电动机工作过程中热量的集聚，减少了危险的发生，保证了探针可用螺丝紧固装置的工作安全性。

在一些优选的实施方式中，所述的金属橡胶复合密封板橡胶层的制备方法包括以下步骤：

(1)将N,N–二正丁基二硫氨基甲酸镍、氧化钙、白炭黑、煅烧高岭土、硅烷偶联剂、硬脂酸锌、石油蜡、乙酸乙酯加入混炼机，在80-90℃，混合，得到混合料浆；

(2)将丁腈橡胶、碳纤维加入密炼机密炼40-60分钟，然后升温至100-120℃进行排胶操作，得到混合胶体；

(3)向步骤(2)中加入硫磺，在双辊开炼机上混炼，加入硫磺，混合均匀，，然后加入双螺杆挤出机进行造粒，将得到的橡胶母粒放入硫化机硫化成型，硫化压力设定为12-14MPa，硫化温度设定为120-135℃，硫化时间设定为60-80分钟。

在一些优选的实施方式中，所述的金属橡胶复合密封板铝合金层的处理方法包括以下步骤：

(1)将上述铝合金制备原料制备成厚度为0.1-0.5mm的铝合金板；

(2)对步骤(1)制备得到的铝合金板进行表面处理，然后涂饰环氧树脂型固化剂；

(3)将涂饰固化剂后的铝合金板固化干燥，备用。

在一些优选的实施方式中，所述的金属橡胶复合密封板的制备方法，包括以下步骤：

(1)将成型后的橡胶和处理后的铝合金板在成型机上压制成型，厚度为0.2-0.5mm，成型温度为110-125℃。

(2)将步骤(1)得到的成型品在硫化机上进行硫化处理，得到金属橡胶复合密封板；硫化温度为200-210℃，硫化压力为10-12MPa。

在一些优选的实施方式中，所述的第二电动机外壳301与支撑杆3之间通过三角支撑脚固定安装。

在一些优选的实施方式中，所述第三电动机502与第二电动机302与第一电动机103的输出端皆通过联轴器分别与批杆504、丝杆401以及纵向齿轮104转动连接。

下面通过实施例对本发明进行具体描述。有必要在此指出的是，以下实施例只用于对本发明的作进一步说明，不能理解为对本发明保护范围的限制，该领域的专业技术人员根据上述本发明的内容做出的一些非本质的改进和调整，仍属于本发明的保护范围。

另外，如果没有其它说明，所用原料都是市售得到的。

实施例

实施例1

请参阅图1-4，本发明提供的一种实施例：一种探针卡用螺丝紧固装置，包括支撑柜体1、工作台面2、支撑杆3，横杆4和液压伸缩杆5，支撑柜体1的内部设有存储室101与安装室102，通过存储室101，可以存放与作业相关的零件，便于工作人员在作业过程中的拿取，扩大了装置的空间使用范围，支撑柜体1的正面活动安装有活动保护门，且活动保护门上设有配合使用的观察窗；

安装室102的内部放置有第一电动机103，第一电动机103的输出端通过纵向齿轮104与横向齿轮105转动连接，横向齿轮105上贯穿安装有延伸至工作台面2内的转动轴杆106，转动轴杆106的顶部固定安装有工作转盘201，通过第一电动机103与纵向齿轮104与横向齿轮105与转动轴杆106与丝杆401与第二电动机302之间的配合使用，使得装置可以根据作业需求进行自动化方向调节，无需人工手动调整探针卡的螺丝紧固位置进行作业，便于探针卡在螺丝紧固时的定位，且工作转盘201上设有限位台202，支撑柜体1的顶部固定安装有工作台面2，通过工作转盘201与限位台202之间的配合使用，使得装置在紧固探针卡的作业过程中，可以对探针卡进行位置固定，同时也避免了探针卡因在作业过程中出现位移而导致螺丝与螺纹对接的角度出现偏差无法紧固的情况发生，工作台面2的正面固定安装有控制开关203，且控制开关203通过导线分别与第一电动机103、第二电动机302和第三电动机502电性连接，工作台面2的内设有与转动轴杆106配合使用的安装槽，限位台202内设有配合使用的限位凹槽；

工作台面2的两侧皆固定安装有支撑杆3，支撑杆3一侧的顶部通过第二电动机外壳301固定安装有第二电动机302，支撑杆3之间的顶部固定安装有横杆4，横杆4的内部固定安装有丝杆401，丝杆401上通过滑动块402滑动安装有液压伸缩杆5，液压伸缩杆5的底部通过第三电动机外壳501固定安装有第三电动机502，第二电动机外壳301与第三电动机外壳501的正面皆设有密封板，且密封板上设有配合使用的散热孔，且第二电动机外壳301与支撑杆3之间通过三角支撑脚固定安装，第三电动机502与第二电动机302与第一电动机103的输出端皆通过联轴器分别与批杆504、丝杆401以及纵向齿轮104转动连接，第三电动机502的输出端通过批杆安装座503固定安装有批杆504，过液压伸缩杆5与第三电动机502与批杆504之间的配合使用，使得工作人员无需再通过手动的方式进行探针卡的紧固作业，减轻了工作人员的作业负担，实现了装置自动化螺丝紧固作业，同时也避免了因人工手动的作业方式导致探针卡的生产量跟不上市场需求量的情况发生，液压伸缩杆5的具体操作是当压力油从无杆腔进入时，活塞有效面积最大的缸筒开始伸出，当行至终点时，活塞有效面积次之的缸筒开始伸出，伸缩式液压伸出的顺序是由大到小依次伸出，可获得很长的工作行程，外伸缸筒有效面积越小，伸出速度越快，第一电动机103和第二电动机302以及第三电动机502的型号皆是YRJ系列。

工作原理：使用时，首先，将需要加工的探针卡放置在工作台面2上的限位台202内进行位置固定，在通过控制开关203启动第二电动机302作业使得丝杆401工作旋转带动滑动块402上的液压伸缩杆5进行横向位置调节，再通过液压伸缩杆5使得批杆504与探针卡接触，通过第三电动机502带动旋转将螺丝拧紧探针卡内；

最后，通过控制开关203启动第一电动机103作业使得纵向齿轮104旋转带动横向齿轮105工作使得转动轴杆106旋转让工作转盘201上的限位台202开始循环转动调整不同限位台202内的探针卡进行螺丝紧固作业,当所有限位台202内的探针卡都完成螺丝紧固作业后便可以取出探针卡。

实施例2

一种探针卡用螺丝紧固装置，结构同实施例1，与实施例1不同的是第二电动机外壳301与第三电动机外壳501的正面密封板的材料为金属橡胶复合密封板。

一种金属橡胶复合密封板用橡胶层材料的制备原料，按重量份计，包括：丁腈橡胶90份、N,N–二正丁基二硫氨基甲酸镍0.5份、氧化钙2份、气相法白炭黑0.9份、煅烧高岭土0.18份、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷1.4份、碳纤维3.2份、硬脂酸锌0.2份、石油蜡2份、硫磺2.5份、乙酸乙酯150份。

所述的气相法白炭黑与煅烧高岭土的重量比为1：0.2。

所述的煅烧高岭土的目数为1250目。

平均长度500mm：700mm：1000mm长度的碳纤维的重量比为1：2.5：0.7。

丁腈橡胶，型号JH-768，购于天津津衡蓝海科技有限公司；气相法白炭黑，购于上海缘江化工有限公司；煅烧高岭土，购于上海缘江化工有限公司；碳纤维，购于深圳市特力新材料科技有限公司。

金属橡胶复合密封板橡胶层的制备方法包括以下步骤：

(1)将N,N–二正丁基二硫氨基甲酸镍、氧化钙、气相法白炭黑、煅烧高岭土、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、硬脂酸锌、石油蜡、乙酸乙酯加入混炼机，在85℃，混合，得到混合料浆；

(2)将丁腈橡胶、碳纤维加入密炼机密炼50分钟，然后升温至100℃进行排胶操作，得到混合胶体；

(3)向步骤(2)中加入硫磺，在双辊开炼机上混炼，加入硫磺，混合均匀，，然后加入双螺杆挤出机进行造粒，将得到的橡胶母粒放入硫化机硫化成型，硫化压力设定为12MPa，硫化温度设定为130℃，硫化时间设定为60分钟。

一种密封板用铝合金层的制备原料，按重量百分比计包括：铜3％，硅8％，镁0.2％，锌1％，铁0.6％，锰0.5％，锡0.1％，以铝补充余量至100％。

铝合金，购买于东莞市驰城合金材料有限公司；

金属橡胶复合密封板铝合金层的处理方法包括以下步骤：

(1)将上述铝合金制备原料制备成厚度为0.2mm的铝合金板；

(2)对步骤(1)制备得到的铝合金板进行表面处理，然后涂饰环氧树脂型固化剂；

(3)将涂饰固化剂后的铝合金板固化干燥，备用。

环氧树脂胶粘剂，EM1102，购于深圳市图特美高分子材料有限公司。

金属橡胶复合密封板的制备方法，包括以下步骤：

(1)将成型后的橡胶和处理后的铝合金板在成型机上压制成型，厚度为0.3mm，成型温度为115℃。

(2)将步骤(1)得到的成型品在硫化机上进行硫化处理，得到金属橡胶复合密封板；硫化温度为205℃，硫化压力为10MPa。

实施例3

一种探针卡用螺丝紧固装置，结构同实施例2，与实施例2不同的是密封板橡胶层材料选择：平均长度500mm：700mm：1000mm的碳纤维的重量比为1：2.5：1。

实施例4

一种探针卡用螺丝紧固装置，结构同实施例2，与实施例2不同的是密封板橡胶层材料选择：平均长度500mm：1000mm的碳纤维的重量比为1：0.7。

实施例5

一种探针卡用螺丝紧固装置，结构同实施例2，与实施例2不同的是密封板橡胶层材料平均长度500mm：700mm：1000mm的碳纤维的重量比为1：2.5：3。

实施例6

一种探针卡用螺丝紧固装置，结构同实施例2，与实施例2不同的是密封板橡胶层材料：气相法白炭黑与煅烧高岭土的重量比为1：1。

实施例7

一种探针卡用螺丝紧固装置，结构同实施例2，与实施例2不同的是密封板橡胶层材料：所述的煅烧高岭土的目数为8000目，购于上海缘江化工有限公司。

实施例8

一种探针卡用螺丝紧固装置，结构同实施例2，与实施例2不同的是密封板橡胶层材料：所述的白炭黑为沉淀法白炭黑，购于上海缘江化工有限公司。

实施例9

一种探针卡用螺丝紧固装置，结构同实施例2，与实施例2不同的是金属橡胶复合密封板制备方法中，步骤(1)的成型温度为80℃。

实施例10

一种探针卡用螺丝紧固装置，结构同实施例2，与实施例2不同的是金属层材料：所述的铝合金型号为ADC12，购于台州市路桥宏通金属回收有限公司。

性能测试：

1.散热性能测试：将实施2-10制备的金属橡胶复合密封板用于散热性能测试，测试方法参照GB/T 3651-2008，并将测试结果统计于下表1。

2.橡胶层材料拉伸性能测试：将实施2-8制备的金属橡胶复合密封板的橡胶层材料用于拉伸强度测试，测试方法参照GB/T 528-2009，并将测试结果统计于下表2。

3.橡胶层材料收缩率测试；将实施2-8制备的金属橡胶复合密封板的橡胶层材料用于收缩率测试，测试方法参照GB/T 15585-1995，并将测试结果统计于下表2。

表1：

表2：

经过以上性能测试结果显示，经本申请制备的金属橡胶复合密封板具有较好的散热性能和拉伸性能，并且较低的收缩率。用于电动机密封板使用，可以将电动机产生的热量及时排出，避免了电动机工作过程中热量的集聚，减少了危险的发生，保证了探针可用螺丝紧固装置的工作安全性。

最后指出，以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的保护原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种探针卡用螺丝紧固装置，包括支撑柜体（1）、工作台面（2）、支撑杆（3），横杆（4）和液压伸缩杆（5），其特征在于：所述支撑柜体（1）的内部设有存储室（101）与安装室（102），所述安装室（102）的内部放置有第一电动机（103），所述第一电动机（103）的输出端通过纵向齿轮（104）与横向齿轮（105）转动连接，所述横向齿轮（105）上贯穿安装有延伸至工作台面（2）内的转动轴杆（106），所述转动轴杆（106）的顶部固定安装有工作转盘（201），且工作转盘（201）上设有限位台（202），所述支撑柜体（1）的顶部固定安装有工作台面（2），所述工作台面（2）的两侧皆固定安装有支撑杆（3），所述支撑杆（3）之间的顶部固定安装有横杆（4），所述横杆（4）的内部固定安装有丝杆（401），所述丝杆（401）上通过滑动块（402）滑动安装有液压伸缩杆（5），所述液压伸缩杆（5）的底部通过第三电动机外壳（501）固定安装有第三电动机（502）；

所述的支撑杆（3）一侧的顶部通过第二电动机外壳（301）固定安装有第二电动机（302）；

所述的第二电动机外壳（301）与第三电动机外壳（501）的正面皆设有密封板，且密封板上设有配合使用的散热孔；

所述的密封板为金属橡胶复合密封板，所述的金属橡胶复合密封板的制备过程包括金属层材料的处理、橡胶层材料的制备和成型处理；

所述的橡胶层的制备原料按重量份计，包括：丁腈橡胶80-100份、N,N–二正丁基二硫氨基甲酸镍0.2-1.5份、氧化钙0-5份、白炭黑0.9-1份、煅烧高岭土0.1-0.4份、硅烷偶联剂1.2-3份、碳纤维1-5份、硬脂酸锌0.1-1份、石油蜡2-3份、硫磺1-3份、乙酸乙酯150-180份；

所述的白炭黑为气相法白炭黑；

所述的气相法白炭黑和煅烧高岭土的重量比为1：0.15-0.6；所述的气相法白炭黑和煅烧高岭土的重量占丁腈橡胶重量的0.8-1.5wt%；

所述的碳纤维包括平均长度为500mm、700mm、1000mm碳纤维，重量比为1：2.5：0.5-1。

2.根据权利要求1所述的探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述第三电动机（502）的输出端通过批杆安装座（503）固定安装有批杆（504）。

3.根据权利要求1所述的探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述支撑柜体（1）的正面活动安装有活动保护门，且活动保护门上设有配合使用的观察窗。

4.根据权利要求1所述的探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述的工作台面（2）的正面固定安装有控制开关（203）。

5.根据权利要求4所述的探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述的控制开关（203）通过导线分别与第一电动机（103）、第二电动机（302）和第三电动机（502）电性连接。

6.根据权利要求1所述的探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述工作台面（2）内设有与转动轴杆（106）配合使用的安装槽，所述限位台（202）内设有配合使用的限位凹槽。

7.根据权利要求1所述的探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述的第二电动机外壳（301）与支撑杆（3）之间通过三角支撑脚固定安装。

8.根据权利要求2所述的一种探针卡用螺丝紧固装置，其特征在于，所述第三电动机（502）、第二电动机（302）与第一电动机（103）的输出端分别通过联轴器与批杆（504）、丝杆（401）以及纵向齿轮（104）转动连接。

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