CN112445694A - 一种用于制定测试配置文件的工具及其应用 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于制定测试配置文件的工具，包括创建模块、编辑模块和输入输出模块；所述创建模块，能添加测试配置项；所述测试配置项用于测试机，进行测试条件的设置和测试计划的选定；所述编辑模块，能对测试配置项进行修改、复制和删除操作；所述输入输出模块，能对测试配置文件进行导入和导出操作；所述测试配置文件中包括若干条测试配置项。本发明测试流程中的测试条件设置和测试计划的选择均由提前设置好的测试配置文件中自动应用，这样有效避免了每次手动设置测试条件和测试计划时产生的人为失误以及节省测试流程总时间。

Description

一种用于制定测试配置文件的工具及其应用

技术领域

本发明是关于集成电路晶圆测试领域，特别涉及一种用于制定测试配置文件的工具及其应用。

背景技术

集成电路制造工艺复杂而冗长，从半导体单晶片到一个晶圆成品完成往往需要经历数十甚至上百道工序，在整个制造过程中任何一个工艺步骤偏差或环境变化都会对集成电路芯片最终的产品性能及成品产生影响。因此，电性测试贯穿于整个集成电路生产流程中，是芯片制造的重要组成部分，通过对测试数据有效信息的提取分析对产品成品率、可靠性及生产过程进行管控，是不可替代且非常有效的手段。

在设计和制造过程中，晶圆允收测试（WAT）在晶圆级的芯片测试中非常重要。在wafer制造完成后，测试机通过置于探针台中的探针卡连接到测试对象上，探针卡上的探针与待测器件所连焊盘接触构成测试通路，再配合控制测试机达到测试目的，获得器件的测试数据以进行失效分析。

在WAT测试过程中，如图1所示，每次测试都需要手动设置测试条件和手动选择需要的测试计划，以及需要手动完成探针台的准备工作，这些手动操作给测试的整个流程增加了一定的时间成本，且手动操作也会有一定的出错风险。特别是其中每次测试时的测试条件设置和测试计划文件选择，是通过手动编辑外部文本格式的测试配置（RecipeConfig）文件来完成的，其缺点是内容庞大，修改文件内容时很容易出错，不易维护，一旦出错，影响整个测试流程的正常运行。

发明内容

本发明的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种能有效改进测试流程的用于制定测试配置文件的工具及其在测试配置文件制定和测试机控制***中的应用。为解决上述技术问题，本发明的解决方案是：

第一方面，本发明提供一种用于制定测试配置文件（Recipe Config）的工具，包括创建模块、编辑模块和输入输出模块；所述创建模块，能添加测试配置项；所述测试配置项用于测试机，进行测试条件的设置和测试计划的选定；所述编辑模块，能对测试配置项进行修改、复制和删除操作；所述输入输出模块，能对测试配置文件进行导入和导出操作；所述测试配置文件中包括若干条测试配置项。

利用上述用于制定测试配置文件的工具创建和修改测试配置文件（RecipeConfig），能有效节省时间成本和降低出错风险，且导出的测试配置文件能进行重复使用，减少在测试配置文件编辑方面的人力成本。

作为进一步的改进，所述测试配置项中包括信息：

识别ID（Recipe ID）：唯一的用于标识的ID；测试算法（Algorithm File）：获取测试算法（测试算法目录下存储有所有测试算法，从测试算法目录中选定测试算法实现获取），定义测试的算法主体；测试计划（Test Plan File）：获取测试计划（测试计划目录下存储有所有测试计划，从测试计划目录中选定测试计划实现获取），提供晶圆信息和测试项；晶圆说明信息：从测试计划提供的晶圆信息中选定晶粒（Die）和模块（Module）；测试说明信息（Test Spec）：从测试计划提供的测试项中选定测试项。

作为进一步的改进，所述测试配置项中还包括探针台晶圆产品信息（ProberRecipe）：用于确定探针台识别的晶圆型号。

作为进一步的改进，所述测试配置项中还包括失效阈值信息（Limit File）：获取失效阈值（失效阈值文件目录下存储有所有失效阈值文件，从失效阈值文件目录中选定失效阈值文件实现获取），用于筛选测试结果参数以区别显示失效参数。

作为进一步的改进，上述一种用于制定测试配置文件的工具，能对测试配置项的信息进行核查，当检查到存在问题时，进行问题提示。核查的内容包括：确认从各种文件目录中所选择的文件是否存在；测试配置项中的必要信息是否已设置，必要信息是指识别ID、测试算法、测试计划、晶圆级说明信息、晶粒级说明信息、测试说明信息，若测试配置项中包括探针台晶圆产品信息，则探针台晶圆产品信息也是必要信息；测试配置项的识别ID是否唯一。

作为进一步的改进，所述编辑模块还能对测试配置项进行应用顺序的排序操作。

作为进一步的改进，所述输入输出模块支持导入和导出不同格式的测试配置文件，以匹配不同的测试机台；输入输出模块还提供测试配置文件的格式编辑环境，格式编辑完成后即支持所编辑格式的测试配置文件导出。

第二方面，本发明提供一种制定测试配置文件的方法，先制定好测试算法和测试计划，再利用上述用于制定测试配置文件的工具，实现测试配置文件的制定。

作为进一步的改进，所述测试计划（TestPlan）使用生成测试计划的工具进行制定，所述生成测试计划的工具用于制定测试计划所需的说明文件，并编译生成测试计划，且支持以不同的格式导出测试计划，以匹配不同的测试机台；所述测试计划所需的说明文件包括晶圆信息说明文件（用于定义待测的Die和Module的位置信息）和测试说明文件（TestSpec），用于快速生成测试说明文件的工具集成在所述生成测试计划的工具中，用于制定测试说明文件；

其中，所述的用于快速生成测试说明文件的工具包括测试算法模块、设计参数模块、模板文件模块和测试说明文件生成模块；

所述测试算法模块，能导入测试算法文件（AlgoFile），提供测试算法供模板文件选择；

所述设计参数模块，能导入设计参数文件（InputFile）；设计参数文件中包括若干行设计参数，每行设计参数包括待测器件的信息和待测器件在测试芯片中的参数；

所述模板文件模块，提供模板文件编辑环境，能通过手动编辑获取模板项或者导入模板文件获取模板项；模板文件（Template）中包括若干条模板项，每条模板项选择测试算法，并提供用于生成测试项（TestItem）中信息的赋值关系式（这里的赋值并非是指狭义的数值，是指为字段赋予字段值）；

所述测试说明文件生成模块，能根据模板项选取对应的测试算法，并根据模板项中的赋值关系式和导入的设计参数文件生成若干条测试项（利用一条模板项，以及一份包括若干行设计参数的InputFile，能解析形成多条TestItem），实现测试说明文件的生成；

其中，所述测试说明文件中包括若干条测试项，每条测试项用于定义对待测器件执行一项电性测试的条件信息。

上述生成测试计划的工具，通过集成有用于快速生成测试说明文件的工具，将原来手动设置信息生成TestSpec更新为利用工具软件生成并可反复使用生成的TestSpec，能大幅提升规划测试计划的效率。上述用于快速生成测试说明文件的工具，解决了TestSpec设置工作的繁琐、耗时问题，能方便快速地生成测试说明文件。

作为进一步的改进，所述模板项包括模块名（Module Name）的赋值关系式、器件名（Device Name）的赋值关系式、输入信息（Input）的赋值关系式、焊盘信息（Pad Number）的赋值关系式、输出信息（Output）的赋值关系式，以及选取的测试算法（Algorithm）。优选地，所述模板项还包括条件信息（Condition）、组号（Group）和失效阈值（Limit）中至少一种信息；条件信息提供用于筛选测试项的判断条件；组号用于定义测试项的所属组；失效阈值用于定义失效参数阈值。

作为进一步的改进，所述测试项（TestItem）包括信息：模块名（Module Name），用于表示待测器件所属模块，根据设计参数中的信息和模板中模块名的赋值关系式得到；器件名（Device Name），用于表示待测器件的类型（这里类型为预设的自定义类型，比如器件名为MOD17_N，表示模块MOD17中的一类NMOS管），根据设计参数中的信息和模板中器件名的赋值关系式得到；测试算法（Algorithm），用于选取对应的测试算法，以明确对待测器件执行的测试内容，由模板定义；输入信息（Input），用于定义对待测器件的测试输入条件，根据设计参数中的信息和模板中输入信息的赋值关系式得到；焊盘信息（Pad Number），用于表示待测器件管脚所连接的焊盘，根据设计参数中的信息和模板中焊盘信息的赋值关系式得到；输出信息（Output），用于明确待测器件的测试输出，根据设计参数中的信息和模板项中输出信息的赋值关系式得到。优选地，所述测试项还包括组号（Group）和失效阈值（Limit）中至少一种信息；组号用于表示该测试项的所属组（对于属于同一组的测试项放在一起执行），由模板定义；失效阈值用于筛选测试结果参数以区别显示失效参数，失效阈值由模板定义。

作为进一步的改进，所述模板文件模块中，能将编辑好的模板文件导出，供重复导入使用或修改；在测试说明文件的制定中，通过支持对用于制定测试说明文件的中间件——模板文件进行导入和导出，能减少很多不必要的操作，提升工作效率。

作为进一步的改进，所述测试说明文件生成模块支持导出不同格式的测试说明文件，以匹配不同的测试机台；测试说明文件生成模块还提供测试说明文件的格式编辑环境，格式编辑完成后即支持所编辑格式的测试说明文件导出，大大扩展本工具的通用性。

作为进一步的改进，所述测试说明文件生成模块能对生成的测试项进行核查（核查的内容包括：测试项中的信息与选取的测试算法是否匹配，即判断包括这些信息的测试项能否利用该测试算法进行测试），当检查到存在问题时，进行问题提示。

第三方面，本发明提供一种测试机控制***，用于控制测试机对待测器件进行电性测试，利用上述用于制定测试配置文件的工具制定测试配置文件后，所述测试机控制***能获取测试配置文件（用于制定测试配置文件的工具制定测试配置文件后，测试配置文件能自动存储在预设的测试配置文件目录下，测试机控制***能获取测试配置目录下的测试配置文件），通过应用测试配置文件中的测试配置项自动设置测试条件和选定测试计划。在该测试机控制***中，测试流程中的测试条件设置和测试计划的选择均由提前设置好的测试配置文件中自动应用，这样有效避免了每次手动设置测试条件和测试计划时产生的人为失误以及节省测试流程总时间。

附图说明

图1为传统测试流程图。

图2为本发明改进后的测试流程图。

图3为本发明用于制定测试配置文件的工具的结构及其使用环境示意图。

图4为本发明用于制定测试配置文件的工具的实施例图。

图5为用于快速生成测试说明文件的工具的结构示意图。

图6为用于快速生成测试说明文件的工具的实施例图。

图7为模板项的一种实现。

图8为测试说明文件的一种实现。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本发明作进一步详细描述：

实施例1

本实施例提供一种用于制定测试配置文件（Recipe Config）的工具，测试配置文件（Recipe Config）中包括若干条测试配置项，测试配置项用于应用在测试机，进行测试条件的设置和测试计划的选定；如图3所示，用于制定测试配置文件的工具包括创建模块、编辑模块和输入输出模块，如图4所示为该种用于制定测试配置文件的工具的一个实施例的操作界面。

所述创建模块，能添加测试配置项，可参考图4中的Add功能，创建的测试配置项中包括信息：

识别ID（Recipe ID）：唯一的用于标识的ID；

测试算法（Algorithm File）：从测试算法目录（测试算法目录下存储有所有测试算法）中选定测试算法，定义测试的算法主体；

测试计划（Test Plan File）：从测试计划目录（测试计划目录下存储有所有测试计划）中选定测试计划，提供晶圆信息和测试项；

晶圆说明信息：从测试计划提供的晶圆信息中选定晶粒（Die）和模块（Module）；

测试说明信息（Test Spec）：从测试计划提供的测试项中选定测试项。

在一些实施例中，测试配置项还包括探针台晶圆产品信息（Prober Recipe）和失效阈值信息（Limit File）；探针台晶圆产品信息用于确定探针台识别的晶圆型号；失效阈值信息用于获取失效阈值（失效阈值文件目录下存储有所有失效阈值文件，从失效阈值文件目录中选定失效阈值文件实现获取），来筛选测试结果参数以区别显示失效参数。

所述编辑模块，能对测试配置项进行修改、复制和删除操作，可参考图4中的Edit、Copy和Delete功能。在一些实施例中，编辑模块还能对测试配置项进行应用顺序的排序操作。

所述输入输出模块，能对测试配置文件进行导入和导出操作，可参考图4中的Import和Export功能。输入输出模块支持导入和导出不同格式的测试配置文件，以匹配不同的测试机台；输入输出模块还提供测试配置文件的格式编辑环境，格式编辑完成后即支持所编辑格式的测试配置文件导出。

上述用于制定测试配置文件的工具，能对测试配置项的信息进行核查：确认从各种文件目录中所选择的文件是否存在；测试配置项中的必要信息是否已设置，必要信息是指识别ID、测试算法、测试计划、晶圆级说明信息、晶粒级说明信息、测试说明信息，若测试配置项中包括探针台晶圆产品信息，则探针台晶圆产品信息也是必要信息；测试配置项的识别ID是否唯一。当检查到存在问题时，进行问题提示。

实施例2

本实施例提供一种制定测试配置文件的方法，先制定好测试算法和测试计划，再利用实施例1所述的用于制定测试配置文件的工具，实现测试配置文件的制定；其中，所述测试计划使用生成测试计划的工具进行制定，所述生成测试计划的工具用于制定测试计划所需的说明文件，并编译生成测试计划，且支持以不同的格式导出测试计划，以匹配不同的测试机台。所述测试计划所需的说明文件包括晶圆信息说明文件（用于定义待测的Die和Module的位置信息）和测试说明文件（TestSpec），用于快速生成测试说明文件的工具集成在所述生成测试计划的工具中，用于制定测试说明文件。

本实施例提供如图5所示的用于快速生成测试说明文件的工具，包括测试算法模块、设计参数模块、模板文件模块和测试说明文件生成模块，如图6所示为该种用于快速生成测试说明文件的工具的一个实施例的操作界面。

所述测试算法模块，能导入测试算法文件（AlgoFile），可参考图6中的AlgoFile导入功能，用于提供测试算法供模板文件选择。

所述设计参数模块，能导入设计参数文件（InputFile），可参考图6中的InputFile导入功能。设计参数文件中包括若干行设计参数，每行设计参数包括待测器件的信息，以及待测器件在测试芯片中的参数，可参考图6中示例导入InputFile后，显示的Module、CellName、Device Name、Frame、Row、Column、High、Low、L、W等信息。

所述模板文件模块，提供模板文件编辑环境，能通过手动编辑获取模板项或者导入模板文件获取模板项；模板文件模块还能将编辑好的模板文件导出，供重复导入使用或修改；具体可参考图6中的Import template、Export template功能，以及Template的编辑功能区域。模板文件（Template）中包括若干条模板项，每条模板项选择测试算法，并提供用于生成测试项（TestItem）中信息的赋值关系式（这里的赋值并非是指狭义的数值，是指为字段赋予字段值）。模板项包括模块名（Module Name）的赋值关系式、器件名（Device Name）的赋值关系式、输入信息（Input）的赋值关系式、焊盘信息（Pad Number）的赋值关系式、输出信息（Output）的赋值关系式，以及选取的测试算法（Algorithm）。在一些实施例中，模板项还包括条件信息（Condition）、组号（Group）和失效阈值（Limit），条件信息提供用于筛选测试项的判断条件，组号用于定义测试项的所属组，失效阈值用于定义失效参数阈值；图7即为一条具体的模板项。

所述测试说明文件生成模块，能根据模板项选取对应的测试算法，并根据模板项中的赋值关系式和导入的设计参数文件生成若干条测试项，实现测试说明文件的生成；其中，利用一条模板项，以及一份包括若干行设计参数的InputFile，能解析形成多条测试项。测试说明文件生成模块还能对生成的测试项进行核查：测试项中的信息与选取的测试算法是否匹配，即判断包括这些信息的测试项能否利用该测试算法进行测试；当检查到存在问题时，进行问题提示，可参考图6中的Verify功能。测试说明文件生成模块支持导出不同格式的测试说明文件，编辑人员可根据具体需要进行导出格式选择，以匹配不同的测试机台，具体可参考图6中的Generate Spec功能；测试说明文件生成模块还提供测试说明文件的格式编辑环境，格式编辑完成后即支持所编辑格式的测试说明文件导出。

测试说明文件（TestSpec）中包括若干条测试项（TestItem），每条测试项用于定义对待测器件执行一项电性测试的条件信息：模块名（Module Name），用于表示待测器件所属模块，根据设计参数中的信息和模板项中模块名的赋值关系式得到；器件名（DeviceName），用于表示待测器件的类型（这里类型为预设的自定义类型，比如器件名为MOD17_N，表示模块MOD17中的一类NMOS管），根据设计参数中的信息和模板项中器件名的赋值关系式得到；测试算法（Algorithm），用于选取对应的测试算法，以明确对待测器件执行的测试内容，由模板项定义；输入信息（Input），用于定义对待测器件的测试输入条件，根据设计参数中的信息和模板项中输入信息的赋值关系式得到；焊盘信息（Pad Number），用于表示待测器件管脚所连接的焊盘，根据设计参数中的信息和模板项中焊盘信息的赋值关系式得到；输出信息（Output），用于明确待测器件的测试输出，根据设计参数中的信息和模板项中输出信息的赋值关系式得到。在一些实施例中，测试项还包括组号（Group）和失效阈值（Limit）；组号（Group）用于表示该测试项的所属组（对于属于同一组的测试项放在一起执行），由模板项定义；失效阈值（Limit）用于筛选测试结果参数以区别显示失效参数，失效阈值由模板项定义；图8即为具体的TestSpec。

该种生成测试计划的工具中集成了所述用于快速生成测试说明文件的工具，解决了TestSpec设置工作的繁琐、耗时问题，能方便快速地生成测试说明文件，进而有效提高测试计划的生成效率。

实施例3

本实施例提供一种测试机控制***，用于控制测试机对待测器件进行电性测试，利用上述用于制定测试配置文件的工具制定测试配置文件后，能自动存储在预设的测试配置文件目录下，所述测试机控制***能获取测试配置目录下的测试配置文件，通过应用测试配置文件中的测试配置项自动设置测试条件和选定测试计划，可参考图3。如图2所示，在该测试机控制***中的测试流程中，选中提前设置好的测试配置文件应用，传统流程中的设置测试条件和选择测试计划均可实现自动应用，这样有效避免了每次手动设置测试条件和测试计划时产生的人为失误以及节省测试流程总时间。

最后，需要注意的是，以上列举的仅是本发明的具体实施例。显然，本发明不限于以上实施例，还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本发明公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种用于制定测试配置文件的工具，其特征在于，包括创建模块、编辑模块和输入输出模块；

所述创建模块，能添加测试配置项；所述测试配置项用于测试机，进行测试条件的设置和测试计划的选定；

所述编辑模块，能对测试配置项进行修改、复制和删除操作；

所述输入输出模块，能对测试配置文件进行导入和导出操作；所述测试配置文件中包括若干条测试配置项。

2.根据权利要求1所述的一种用于制定测试配置文件的工具，其特征在于，所述测试配置项中包括信息：

识别ID：唯一的用于标识的ID；

测试算法：获取测试算法，定义测试的算法主体；

测试计划：获取测试计划，提供晶圆信息和测试项；

晶圆说明信息：从测试计划提供的晶圆信息中选定晶粒和模块；

测试说明信息：从测试计划提供的测试项中选定测试项。

3.根据权利要求2所述的一种用于制定测试配置文件的工具，其特征在于，所述测试配置项中还包括探针台晶圆产品信息：用于确定探针台识别的晶圆型号。

4.根据权利要求2所述的一种用于制定测试配置文件的工具，其特征在于，所述测试配置项中还包括失效阈值信息：获取失效阈值，用于筛选测试结果参数以区别显示失效参数。

5.根据权利要求1所述的一种用于制定测试配置文件的工具，其特征在于，所述的工具能对测试配置项的信息进行核查，当检查到存在问题时，进行问题提示。

6.根据权利要求1所述的一种用于制定测试配置文件的工具，其特征在于，所述编辑模块还能对测试配置项进行应用顺序的排序操作。

7.根据权利要求1所述的一种用于制定测试配置文件的工具，其特征在于，所述输入输出模块支持导入和导出不同格式的测试配置文件，以匹配不同的测试机台；输入输出模块还提供测试配置文件的格式编辑环境，格式编辑完成后即支持所编辑格式的测试配置文件导出。

8.一种制定测试配置文件的方法，其特征在于，先制定好测试算法和测试计划，再利用权利要求1至7任意一项所述用于制定测试配置文件的工具，实现测试配置文件的制定。

9.根据权利要求8所述的一种制定测试配置文件的方法，其特征在于，所述测试计划使用生成测试计划的工具进行制定，所述生成测试计划的工具用于制定测试计划所需的说明文件，并编译生成测试计划；所述测试计划所需的说明文件包括晶圆信息说明文件和测试说明文件，用于快速生成测试说明文件的工具集成在所述生成测试计划的工具中，用于制定测试说明文件；

其中，所述的用于快速生成测试说明文件的工具包括测试算法模块、设计参数模块、模板文件模块和测试说明文件生成模块；

所述测试算法模块，能导入测试算法文件，提供测试算法供模板文件选择；

所述设计参数模块，能导入设计参数文件；设计参数文件中包括若干行设计参数，每行设计参数包括待测器件的信息和待测器件在测试芯片中的参数；

所述模板文件模块，提供模板文件编辑环境，能通过手动编辑获取模板项或者导入模板文件获取模板项；模板文件中包括若干条模板项，每条模板项选择测试算法，并提供用于生成测试项中信息的赋值关系式；

所述测试说明文件生成模块，能根据模板项选取对应的测试算法，并根据模板项中的赋值关系式和导入的设计参数文件生成若干条测试项，实现测试说明文件的生成；

其中，所述测试说明文件中包括若干条测试项，每条测试项用于定义对待测器件执行一项电性测试的条件信息。

10.一种测试机控制***，用于控制测试机对待测器件进行电性测试，其特征在于，利用权利要求1至7任意一项所述用于制定测试配置文件的工具制定测试配置文件后，所述测试机控制***能获取测试配置文件，通过应用测试配置文件中的测试配置项自动设置测试条件和选定测试计划。

Images