CN112393770B - 一种用于本征柔性线圈测量温度间隙的标定转换方法 - Google Patents

一种用于本征柔性线圈测量温度间隙的标定转换方法 Download PDF

Info

Publication number
CN112393770B
CN112393770B CN202011305506.5A CN202011305506A CN112393770B CN 112393770 B CN112393770 B CN 112393770B CN 202011305506 A CN202011305506 A CN 202011305506A CN 112393770 B CN112393770 B CN 112393770B
Authority
CN
China
Prior art keywords
delta
value
change
calibration
impedance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202011305506.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN112393770A (zh
Inventor
王璐珩
魏宇
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Central South University
Original Assignee
Central South University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Central South University filed Critical Central South University
Priority to CN202011305506.5A priority Critical patent/CN112393770B/zh
Publication of CN112393770A publication Critical patent/CN112393770A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN112393770B publication Critical patent/CN112393770B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D21/00—Measuring or testing not otherwise provided for
    • G01D21/02—Measuring two or more variables by means not covered by a single other subclass
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D18/00—Testing or calibrating apparatus or arrangements provided for in groups G01D1/00 - G01D15/00

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)

Abstract

本发明涉及一种用于本征柔性线圈测量温度间隙的标定转换方法，属于传感器技术领域。在标定阶段：获取本征柔性线圈的温度变化‑电阻变化标定数据、温度变化‑阻抗变化标定数据和间隙变化‑阻抗变化标定数据；在转换阶段：用本征柔性线圈的电阻变化值和温度变化‑电阻变化标定关系得到温度变化值，进而由温度变化‑电阻变化标定关系得到温度变化引发的阻抗变化值，再用总的阻抗变化值扣除温度变化引发的阻抗变化值得到间隙变化引发的阻抗变化值，进而由间隙变化‑阻抗变化标定关系得到间隙变化值。用本发明提出的方法能解决温度阻抗效应和间隙阻抗效应交叉干扰对测量产生不利影响的难题，适用于现代大型设备狭小曲面层间温度和间隙测量等领域。

Description

一种用于本征柔性线圈测量温度间隙的标定转换方法
技术领域
本发明属于传感器技术领域，特别涉及到基于本征柔性传感器的温度和间隙测量。
背景技术
现代大型工业设备存在着很多狭小曲面层间结构，为确保***安全，需要测量狭小曲面层间间隙与温度。由于层间间隙狭小、接触表明不规则，因此给传统刚性传感器的安装带来困难。故而，迫切需要传感器具有柔性，能柔顺地贴敷于曲面层间以完成温度与间隙的测量任务。而基于导电高分子复合材料的本征柔性线圈具有温度和间隙敏感效应，因此有潜力用于实现狭小曲面层间温度与间隙测量。但本征柔性线圈的温度-阻抗效应和间隙-阻抗效应在整个测量过程中都交织在一起，进而用传统的标定与转换方法无法实现温度和间隙的同时测量。因此，如何消除温度阻抗效应和间隙阻抗效应交叉敏感对测量产生的不利影响是亟需解决的难题。
发明内容
本发明的目的是为克服现有技术的不足之处，提出一种用于本征柔性线圈测量温度间隙的标定转换方法，包括以下步骤：
1、标定数据获取
确定温度变化标定值ΔTm(m＝1，2，...，M)，其中，M为所述温度变化标定值的个数；获取本征柔性线圈对应于所述ΔTm的电阻变化标定值ΔRm；获取本征柔性线圈在初始间隙下对应于所述ΔTm的阻抗变化标定值：ΔZ{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔTm，G(0)]}，其中，T(0)为初始温度，G(0)为初始间隙；然后，确定间隙变化标定值ΔGn(n＝1，2，...，N)，其中，N为所述间隙变化标定值的个数；获取本征柔性线圈在温度变化标定值ΔTm下对应于所述ΔGn的阻抗变化标定值：ΔZn{[T0+ΔTm，G(0)]；[T0+ΔTm，G(0)+ΔGn)]}；
2、数据转换实现
获取本征柔性线圈的电阻变化值ΔR，所述ΔR的大小为R[T(0)+ΔT]-R[T(0)]，其中，ΔT为待测的温度变化值，R[T(0)]为本征柔性线圈在T(0)下的电阻值，R[T(0)+ΔT]为本征柔性线圈在[T(0)+ΔT]下的电阻值；获取本征柔性线圈的阻抗变化值ΔZ，所述ΔZ的大小为Z{[T(0)+ΔT]，[G(0)+ΔG]}-Z[T(0)，G(0)]，其中，ΔG为待测的间隙变化值，Z[T(0)，G(0)]为本征柔性线圈在T(0)和G(0)下的阻抗值，Z{[T(0)+ΔT]，[G(0)+ΔG]}为本征柔性线圈在[T(0)+ΔT]和[G(0)+ΔG]下的阻抗值；
得到待测的温度变化值ΔT，其大小为ΔTK+(ΔTK+1-ΔTK)×(ΔR-ΔRK)/(ΔRK+1-ΔRK)，其中，K为介于1与M-1之间的整数，ΔRK为所述电阻变化标定值中不大于ΔR的最大值，ΔRK+1为所述电阻变化标定值中不小于ΔR的最小值；然后得到G(0)下由ΔT引起的阻抗变化值ΔZ{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔT，G(0)]}，其大小为ΔZK{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔTK，G(0)]}+{ΔZK+1{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔTK+1，G(0)]}-ΔZK{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔTK，G(0)]}}×(ΔT-ΔTK)/(ΔTK+1-ΔTK)；进而得到T＝T0+ΔT时由ΔG引起的阻抗变化值ΔZ{[T(0)+ΔT，G(0)]；[T(0)+ΔT，G(0)+ΔG]}，其大小为：ΔZ-ΔZ{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔT，G(0)]}；
得到T(0)+ΔT时对应于ΔGn的阻抗变化值ΔZn[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGn)]，其大小为ΔZn{[T(0)+ΔTK，G(0)]；[T(0)+ΔTK，G(0)+ΔGn]}+{ΔZn[(T(0)+ΔTK+1，G(0))；(T(0)+ΔTK+1，G(0)+ΔGn)]-ΔZn[(T(0)+ΔTK，G(0))；(T(0)+ΔTK，G(0)+ΔGn)]}×(ΔT-ΔTK)/(ΔTK+1-ΔTK)；进而得到待测的间隙变化值ΔG，其大小为ΔGL+(ΔGL+1-ΔGL)×{ΔZ[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔG)]-ΔZL[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGL)]}/{ΔZL+1[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGL+1)]-ΔZL[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGL)]}，其中，L为介于1与N-1之间的整数，ΔZL[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGL)]为所述的阻抗变化标定值中不大于ΔZ[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔG)]的最大值，ΔZL+1[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGL+1)]为所述的N个阻抗变化标定值中不小于ΔZ[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔG)]的最小值。
本发明的特点及效果：
本发明提出的用于本征柔性线圈测量温度间隙的标定转换方法，首先获取本征柔性线圈的温度变化-电阻变化标定数据、温度变化-阻抗变化标定数据和间隙变化-阻抗变化标定数据；然后用本征柔性线圈的电阻变化值和温度变化-电阻变化标定关系得到待测的温度变化值，进而由温度变化值和温度变化-阻抗变化标定关系得到温度变化引发的阻抗变化值，再用总的阻抗变化值扣除温度变化引发的阻抗变化值得到间隙变化引发的阻抗变化值，最后，用间隙变化引发的阻抗变化值和间隙变化-阻抗变化标定关系得到待测的间隙变化值。用本发明提出的方法能解决温度阻抗效应和间隙阻抗效应之间存在的交叉敏感对测量产生不利影响的难题，特别适用于现代大型设备狭小曲面层间温度和间隙同时测量等领域。
具体实施方式
1、获取温度变化-电阻变化标定数据：<ΔT1，ΔR1>、<ΔT2，ΔR2>、...、<ΔTM，ΔRM>，其中，M为温度变化-电阻变化标定数据的个数，ΔT1、ΔT2、...、ΔTM为温度变化标定值，ΔT1＜ΔT2＜...＜ΔTM，ΔR1、ΔR2、...、ΔRM为电阻变化标定值，ΔRm与ΔTm相对应(m为介于1与M之间的正整数)；
2、获取本征柔性线圈在初始间隙时的温度变化-阻抗变化标定数据：
<ΔT1，ΔZ1{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔT1，G(0)]}>、<ΔT2，ΔZ2{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔT2，G(0)]}>、...、<ΔTM，ΔZM{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔTM，G(0)]}>，其中，T(0)为初始温度，G(0)为初始间隙，ΔZ1{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔT1，G(0)]}、ΔZ2{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔT2，G(0)]}、...、ΔZM{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔTM，G(0)]}为G(0)下的阻抗变化标定值，ΔZm{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔTm，G(0)]}为ΔTm所引起的阻抗变化；
3、获取本征柔性线圈的间隙变化-阻抗变化标定数据：<ΔGn，ΔZn{[T0+ΔTm，G(0)]；[T0+ΔTm，G(0)+ΔGn]}>，其中，N为间隙变化-阻抗变化标定数据的个数，ΔGn为第n个间隙变化标定值(n＝1，2，...，N)，ΔZn{[T0+ΔTm，G(0)]；[T0+ΔTm，G(0)+ΔGn]}为本征柔性线圈在ΔTm下由ΔGn所引起的阻抗变化；
4、通过本征柔性线圈的电阻值得到本征柔性线圈的电阻变化值ΔR，所述ΔR的大小为R[T(0)+ΔT]-R[T(0)]，其中，ΔT为待测的温度变化值、R[T(0)]为本征柔性线圈在T(0)下的电阻值，R[T(0)+ΔT]为本征柔性线圈在T(0)+ΔT下的电阻值；
5、通过本征柔性线圈的阻抗值得到本征柔性线圈的阻抗变化值ΔZ，所述ΔZ的大小为Z[T(0)+ΔT，G(0)+ΔG]-Z[T(0)，G(0)]，其中，G(0)为初始间隙、ΔG为待测的间隙变化值、Z[T(0)，G(0)]为本征柔性线圈在T(0)和G(0)下的阻抗值，Z[T(0)+ΔT，G(0)+ΔG]为本征柔性线圈在T(0)+ΔT和G(0)+ΔG下的阻抗值；
6、得到待测的温度变化值ΔT的值，其大小为ΔTK+(ΔTK+1-ΔTK)×(ΔR-ΔRK)/(ΔRK+1-ΔRK)，其中，K为介于1与M-1之间的整数，ΔRK为所述的M个电阻变化标定值中不大于ΔR的最大值，ΔRK+1为所述的M个电阻变化标定值中不小于ΔR的最小值；
7、得到本征柔性线圈在G(0)下由ΔT引起的阻抗变化值ΔZ{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔT，G(0)]}，其大小为ΔZK{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔTK，G(0)]}+{ΔZK+1{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔTK+1，G(0)]}-ΔZK{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔTK，G(0)]}}×(ΔT-ΔTK)/(ΔTK+1-ΔTK)。
8、得到本征柔性线圈在T(0)+ΔT时由ΔG引起的阻抗变化值ΔZ{[T(0)+ΔT，G(0)]；[T(0)+ΔT，G(0)+ΔG]}，其大小为ΔZ-ΔZ{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔT，G(0)]}；
9、得到本征柔性线圈在T+ΔT时对应于各个间隙变化标定值的阻抗变化值：
(1)、得到对应间隙变化标定值ΔG1的阻抗变化值ΔZ1{[T(0)+ΔT，G(0)]；[T(0)+ΔT，G(0)+ΔG1]}，其大小为ΔZ1{[T(0)+ΔTK，G(0)]；[T0+ΔTK，G(0)+ΔG1]}+{ΔZ1{[T(0)+ΔTK+1，G(0)]；[T0+ΔTK+1，G(0)+ΔG1]}-ΔZ1{[T(0)+ΔTK，G(0)]；[T0+ΔTK，G(0)+ΔG1]}}×(ΔT-ΔTK)/(ΔTK+1-ΔTK)；
(2)、得到对应间隙变化标定值ΔG2的阻抗变化值ΔZ2{[T(0)+ΔT，G(0)]；[T(0)+ΔT，G(0)+ΔG2]}，其大小为ΔZ2{[T(0)+ΔTK，G(0)]；[T0+ΔTK，G(0)+ΔG2]}+{ΔZ2{[T(0)+ΔTK+1，G(0)]；[T0+ΔTK+1，G(0)+ΔG2]}-ΔZ2{[T(0)+ΔTK，G(0)]；[T0+ΔTK，G(0)+ΔG2]}}×(ΔT-ΔTK)/(ΔTK+1-ΔTK)；
…
(N)、得到对应间隙变化标定值ΔGN的阻抗变化值ΔZN{[T(0)+ΔT，G(0)]；[T(0)+ΔT，G(0)+ΔGN]}，其大小为ΔZN{[T(0)+ΔTK，G(0)]；[T0+ΔTK，G(0)+ΔGN]}+{ΔZN{[T(0)+ΔTK+1，G(0)]；[T0+ΔTK+1，G(0)+ΔGN]}-ΔZN{[T(0)+ΔTK，G(0)]；[T0+ΔTK，G(0)+ΔGN]}}×(ΔT-ΔTK)/(ΔTK+1-ΔTK)；
10、得到待测的间隙变化值ΔG，其大小为
ΔGL+(ΔGL+1-ΔGL)×{ΔZ[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔG)]-ΔZL[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGL)]}/{ΔZL+1[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGL+1)]-ΔZL[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGL)]}，其中，L为介于1与N-1之间的整数，ΔZL[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGL)]为所述的阻抗变化标定值中不大于ΔZ[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔG)]的最大值，ΔZL+1[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGL+1)]为所述的N个阻抗变化标定值中不小于ΔZ[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔG)]的最小值。

Claims (1)

1.一种用于本征柔性线圈测量温度间隙的标定转换方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：
(1)、标定数据获取
确定温度变化标定值ΔTm(m＝1，2，...，M)，其中，M为所述温度变化标定值的个数；获取本征柔性线圈对应于所述ΔTm的电阻变化标定值ΔRm；获取本征柔性线圈在初始间隙下对应于所述ΔTm的阻抗变化标定值：ΔZ{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔTm，G(0)]}，其中，T(0)为初始温度，G(0)为初始间隙；然后，确定间隙变化标定值ΔGn(n＝1，2，...，N)，其中，N为所述间隙变化标定值的个数；获取本征柔性线圈在温度变化标定值ΔTm下对应于所述ΔGn的阻抗变化标定值：ΔZn{[T0+ΔTm，G(0)]；[T0+ΔTm，G(0)+ΔGn)]}；
(2)、数据转换实现
获取本征柔性线圈的电阻变化值ΔR，所述ΔR的大小为R[T(0)+ΔT]-R[T(0)]，其中，ΔT为待测的温度变化值，R[T(0)]为本征柔性线圈在T(0)下的电阻值，R[T(0)+ΔT]为本征柔性线圈在[T(0)+ΔT]下的电阻值；获取本征柔性线圈的阻抗变化值ΔZ，所述ΔZ的大小为Z{[T(0)+ΔT]，[G(0)+ΔG]}-Z[T(0)，G(0)]，其中，ΔG为待测的间隙变化值，Z[T(0)，G(0)]为本征柔性线圈在T(0)和G(0)下的阻抗值，Z{[T(0)+ΔT]，[G(0)+ΔG]}为本征柔性线圈在[T(0)+ΔT]和[G(0)+ΔG]下的阻抗值；
得到待测的温度变化值ΔT，其大小为ΔTK+(ΔTK+1-ΔTK)×(ΔR-ΔRK)/(ΔRK+1-ΔRK)，其中，K为介于1与M-1之间的整数，ΔRK为所述电阻变化标定值中不大于ΔR的最大值，ΔRK+1为所述电阻变化标定值中不小于ΔR的最小值；然后得到G(0)下由ΔT引起的阻抗变化值ΔZ{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔT，G(0)]}，其大小为ΔZK{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔTK，G(0)]}+{ΔZK+1{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔTK+1，G(0)]}-ΔZK{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔTK，G(0)]}}×(ΔT-ΔTK)/(ΔTK+1-ΔTK)；进而得到本征柔性线圈在T(0)+ΔT时由ΔG引起的阻抗变化值ΔZ{[T(0)+ΔT，G(0)]；[T(0)+ΔT，G(0)+ΔG]}，其大小为：ΔZ-ΔZ{[T(0)，G(0)]；[T(0)+ΔT，G(0)]}；
得到T(0)+ΔT时对应于ΔGn的阻抗变化值ΔZn[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGn)]，其大小为ΔZn{[T(0)+ΔTK，G(0)]；[T(0)+ΔTK，G(0)+ΔGn]}+{ΔZn[(T(0)+ΔTK+1，G(0))；(T(0)+ΔTK+1，G(0)+ΔGn)]-ΔZn[(T(0)+ΔTK，G(0))；(T(0)+ΔTK，G(0)+ΔGn)]}×(ΔT-ΔTK)/(ΔTK+1-ΔTK)；进而得到待测的间隙变化值ΔG，其大小为ΔGL+(ΔGL+1-ΔGL)×{ΔZ[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔG)]-ΔZL[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGL)]}/{ΔZL+1[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGL+1)]-ΔZL[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGL)]}，其中，L为介于1与N-1之间的整数，ΔZL[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGL)]为所述的阻抗变化标定值中不大于ΔZ[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔG)]的最大值，ΔZL+1[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔGL+1)]为所述的N个阻抗变化标定值中不小于ΔZ[(T(0)+ΔT，G(0))；(T(0)+ΔT，G(0)+ΔG)]的最小值。
CN202011305506.5A 2020-11-13 2020-11-13 一种用于本征柔性线圈测量温度间隙的标定转换方法 Active CN112393770B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011305506.5A CN112393770B (zh) 2020-11-13 2020-11-13 一种用于本征柔性线圈测量温度间隙的标定转换方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202011305506.5A CN112393770B (zh) 2020-11-13 2020-11-13 一种用于本征柔性线圈测量温度间隙的标定转换方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN112393770A CN112393770A (zh) 2021-02-23
CN112393770B true CN112393770B (zh) 2021-08-10

Family

ID=74607748

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202011305506.5A Active CN112393770B (zh) 2020-11-13 2020-11-13 一种用于本征柔性线圈测量温度间隙的标定转换方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN112393770B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114527417B (zh) * 2022-01-19 2024-05-07 中南大学 一种消除本征柔性线圈形变对磁场测量不利影响的方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3623592B2 (ja) * 1996-03-15 2005-02-23 ファナック株式会社 力覚センサにおける温度補正方法
CN101706346B (zh) * 2009-11-13 2011-04-20 中国航天科技集团公司第四研究院第四十四研究所 智能力传感器测量非线性温度漂移的温度补偿方法
CN103837300B (zh) * 2014-03-19 2016-03-16 成都千嘉科技有限公司 带温度补偿的压力传感器校准方法
CN109341908A (zh) * 2018-11-01 2019-02-15 中南大学 用柔性压敏线圈测量压力和非接触式位移的方法
CN110470227B (zh) * 2019-08-07 2020-08-25 上海交通大学 一种激光位移传感器温度自适应补偿方法
CN110940457B (zh) * 2019-11-07 2021-05-18 中南大学 一种柔性压距传感器标定曲线修正方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN112393770A (zh) 2021-02-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110133543B (zh) 利用辅助传感器信号进行杂散场抵消的磁阻传感器***
CN112393770B (zh) 一种用于本征柔性线圈测量温度间隙的标定转换方法
US8281671B2 (en) Load measuring device, manufacturing method for the device and control method using the device
Ştefănescu Strain gauges and Wheatstone bridges—Basic instrumentation and new applications for electrical measurement of non-electrical quantities
CN116121721B (zh) 一种纳米应变薄膜、轮辐力传感器及其制备方法
US20110128014A1 (en) Position sensor
CN109580721B (zh) 一种铁磁金属材料电导率的脉冲涡流检测方法和检测装置
CN103900460A (zh) 一种半导体薄膜高温变形传感器
Qu et al. In-situ measurement of Cu film thickness during the CMP process by using eddy current method alone
KR20080077149A (ko) 3개 이상의 변형계들을 구비한 변형 센서 베어링
EP2901100B1 (de) Dehnungstransmitter
CN106017296B (zh) 一种不均匀电导率导电材料基体表面覆盖层厚度测量方法
AU2022344861A1 (en) Device for registering the brake application forces between a brake member and a brake rotor of a disc or drum brake
Chen et al. Flexible planar electromagnetic sensor array fabricated with printing electronic technology
Tan et al. Development of an AD5933-based impedance calibration and measurement technology using piezoceramic transducers
RU2397460C1 (ru) Датчик давления на основе тензорезисторной тонкопленочной нано- и микроэлектромеханической системы
CN1327213C (zh) 评估粒状物局部紧密度的方法及***
CN114527417B (zh) 一种消除本征柔性线圈形变对磁场测量不利影响的方法
Guo et al. Textile strain sensors characterization-sensitivity, linearity, stability and hysteresis
CN114858317B (zh) 一种用本征柔性压敏器件测量应力松弛的方法
Turner The development of a thick-film non-contact shaft torque sensor for automotive applications
Duan et al. The evaluation of static characteristics of pressure sensor based on conductive rubber
WO2023167144A1 (ja) トルク測定装置およびその製造方法
CN211178305U (zh) 用于弹性体应变测量的薄膜应变计
Wang et al. N-layer screen printed ceramic on stainless steel based pressure sensor

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant