CN112387632A - 一种芯片清洁除尘装置 - Google Patents

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Abstract

一种芯片清洁除尘装置,属芯片制造技术领域,包括驱动部、支撑部、清洁部、芯片和罩壳,支撑部安装在驱动部中部,清洁部安装在驱动部上且位于驱动部中间,芯片放置在驱动部上,罩壳安装在驱动部侧方,罩壳连接真空集尘装置。驱动部包括主动轮、电机、后从动轮、前从动轮、宽距皮带和窄距皮带,主动轮连接电机,主动轮和后从动轮之间架设一组窄距皮带,主动轮和前从动轮之间架设一组宽距皮带。支撑部包括横梁、连杆和耳片,连杆前端具有耳片,耳片上安装清洁部。清洁部包括毛刷、刷盘、转轴、旋转接头和联管,毛刷安装在刷盘上,转盘上安装转轴,转轴向上连接旋转接头,旋转接头连接联管,联管连接真空集尘装置,转轴安装在耳片上。

Description

一种芯片清洁除尘装置
技术领域
本发明属于集成电路制造技术领域,尤其涉及一种芯片清洁除尘装置。
背景技术
芯片制造过程中必不可少的一个环节是芯片清洁,往往在整个生产流程中需要多个清洁环节,而且往往芯片清洁有多个步骤,其中一个自然是吸尘,当前已经有较多的专用设备用于芯片清洗,还有一体化的芯片清洗设备,但是这些设备无一例外,成本高昂,操作复杂,对于清洁中的吸尘操作,大可研发一款成本低廉、操作简便的芯片清洁除尘设备。
发明内容
本发明提供一种芯片清洁除尘装置,以解决上述背景技术中的问题。
本发明所解决的技术问题采用以下技术方案来实现:
一种芯片清洁除尘装置,包括驱动部、支撑部、清洁部、芯片和罩壳,支撑部安装在驱动部中部,清洁部安装在驱动部上且位于驱动部中间,芯片放置在驱动部上,罩壳安装在驱动部侧方,罩壳连接真空集尘装置。驱动部包括主动轮、电机、后从动轮、前从动轮、宽距皮带和窄距皮带,主动轮连接电机,主动轮前后两侧分别具有后从动轮和前从动轮,主动轮和后从动轮之间架设一组窄距皮带,主动轮和前从动轮之间架设一组宽距皮带,芯片从宽距皮带上向窄距皮带移动。支撑部包括横梁、连杆和耳片,连杆前端具有耳片,耳片上安装清洁部。支撑部分别安装在宽距皮带和窄距皮带的上沿的上方和下方。清洁部包括毛刷、刷盘、转轴、旋转接头和联管,毛刷安装在刷盘上,转盘上安装转轴,转轴向上连接旋转接头,旋转接头连接联管,刷盘、转轴和旋转接头中心具有贯通的通孔,通孔与联管连通,联管连接真空集尘装置,转轴安装在耳片上,可以在耳片上旋转。
进一步的,罩壳包括壳体和真空管,壳体安装在驱动部侧部,真空管连接真空集尘装置,将芯片经清洁部清洁而掉落的粉尘进行收集。
进一步的,窄距皮带和宽距皮带互相紧邻安装。
进一步的,整个装置根据需要安装四个、六个或八个横梁。
进一步的,横梁上均匀安装1-5个连杆。
进一步的,壳体外侧具有1-5个真空管。
本发明的有益效果是:
本发明用于芯片的清洁除尘工作,其具有宽度不一的两组皮带带动芯片移动,随着芯片的移动,均布的位于芯片上下的毛刷对芯片进行清洁,毛刷上方和驱动部侧方均具有连接集尘装置的管道,使得粉尘可以很好的被收集,很好的完成芯片的清洁除尘操作。
附图说明
图1是本发明的示意图;
图2是本发明的右视图;
图3是本发明的***图;
图中:10.驱动部,11.主动轮,12.电机,13.后从动轮,14.前从动轮,15.宽距皮带,16.窄距皮带,20.支撑部,21.横梁,22.连杆,23.耳片,30.清洁部,31.毛刷,32.刷盘,33.转轴,34.旋转接头,35.联管,40.芯片,50.罩壳,51.壳体,52.真空管。
具体实施方式
为了便于理解本发明,下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的首选实施例。但是,本发明可以以许多不同的形式来实现,并不限于本文所描述的实施例。相反地,提供这些实施例的目的是使对本发明的公开内容更加透彻全面。
参见图1-图3所示的芯片清洁除尘装置, 包括驱动部10、支撑部20、清洁部30、芯片40和罩壳50,支撑部20安装在驱动部10中部,清洁部30安装在驱动部10上且位于驱动部10中间,芯片40放置在驱动部10上,随驱动部10的运动而移动,罩壳50安装在驱动部10侧方,罩壳50连接真空集尘装置,收集芯片40上清洁下来的粉尘。
驱动部10包括主动轮11、电机12、后从动轮14、前从动轮15、宽距皮带15和窄距皮带16,主动轮11连接电机12,主动轮11前后两侧分别具有后从动轮14和前从动轮15,主动轮11和后从动轮14之间架设一组窄距皮带16,主动轮11和前从动轮15之间架设一组宽距皮带15,窄距皮带16和宽距皮带15互相紧邻安装,芯片40从宽距皮带15上向窄距皮带16移动,这样可以保证被皮带遮挡的部位也能得到良好地清洁。
支撑部20包括横梁21、连杆22和耳片23,整个装置根据需要安装四个、六个或八个横梁21,横梁21上均匀安装1-5个连杆22,连杆22前端具有耳片23,耳片23上安装清洁部30。支撑部20分别安装在宽距皮带15和窄距皮带16的上沿的上方和下方。
清洁部30包括毛刷31、刷盘32、转轴33、旋转接头34和联管35,毛刷31安装在刷盘32上,转盘32上安装转轴33,转轴33向上连接旋转接头34,旋转接头34连接联管35,刷盘32、转轴33和旋转接头34中心具有贯通的通孔,通孔与联管35连通,联管35连接真空集尘装置,转轴33安装在耳片23上,可以在耳片23上旋转。清洁部30的安装数量根据耳片23的数量确定,每个耳片23安装一个清洁部30,清洁部30的毛刷31均朝向皮带的上沿,也就是芯片40的移动位置。
罩壳50包括壳体51和真空管52,壳体51安装在驱动部10侧部,壳体51外侧具有1-5个真空管52,真空管52连接真空集尘装置,将芯片40经清洁部30清洁而掉落的粉尘进行收集。
当然,还需要指出的是,整个清洁除尘装置四周应当有盖板封盖,在本实施例和附图的说明下,本领域普通技术人员可以容易的实现该技术特征,且及其的封盖并非本发明的独特特点,因而,本实施例不再赘述。
本发明的工作原理是:芯片40从宽距皮带15送入清洁除尘装置,芯片40经过清洁部30的毛刷31得到清洁,粉尘分别从联管35和罩壳50得到收集,当芯片40从宽距皮带15过渡到窄距皮带16上时,原先被宽距皮带15遮盖的部位也能得到清洁,这样便完成了整个芯片40完全清洁。
以上实施例主要说明了本发明的芯片清洁除尘装置。尽管只对其中有限的实施例和技术特征进行了描述,本领域技术人员应当了解,本发明可以在不偏离其主旨与范围内以许多其他的形式实施。因此,所展示的实施例被视为示意性的而非限制形的,在不脱离所附权利要求所定义的本发明的精神及范围的情况下,本发明可能涵盖各种修改与替换的方案。

Claims (5)

1.一种芯片清洁除尘装置,包括驱动部(10)、支撑部(20)、清洁部(30)、芯片(40)和罩壳(50),其特征在于,所述支撑部(20)安装在驱动部(10)中部,清洁部(30)安装在驱动部(10)上且位于驱动部(10)中间,芯片(40)放置在驱动部(10)上,罩壳(50)安装在驱动部(10)侧方,罩壳(50)连接真空集尘装置,驱动部(10)包括主动轮(11)、电机(12)、后从动轮(14)、前从动轮(15)、宽距皮带(15)和窄距皮带(16),主动轮(11)连接电机(12),主动轮(11)前后两侧分别具有后从动轮(14)和前从动轮(15),主动轮(11)和后从动轮(14)之间架设一组窄距皮带(16),主动轮(11)和前从动轮(15)之间架设一组宽距皮带(15),支撑部(20)包括横梁(21)、连杆(22)和耳片(23),连杆(22)链接在横梁(21)上,连杆(22)前端具有耳片(23),耳片(23)上安装清洁部(30),支撑部(20)分别安装在宽距皮带(15)和窄距皮带(16)的上沿的上方和下方,清洁部(30)包括毛刷(31)、刷盘(32)、转轴(33)、旋转接头(34)和联管(35),毛刷(31)安装在刷盘(32)上,转盘(32)上安装转轴(33),转轴(33)向上连接旋转接头(34),旋转接头(34)连接联管(35),刷盘(32)、转轴(33)和旋转接头(34)中心具有贯通的通孔,通孔与联管(35)连通,联管(35)连接真空集尘装置,转轴(33)安装在耳片(23)上,可以在耳片(23)上旋转,清洁部(30)的毛刷(31)朝向皮带的上沿,罩壳(50)包括壳体(51)和真空管(52),壳体(51)安装在驱动部(10)侧部,壳体(51)外侧具有真空管(52),真空管(52)连接真空集尘装置。
2.如权利要求1所述的芯片清洁除尘装置,其特征在于,所述窄距皮带(16)和宽距皮带(15)互相紧邻安装。
3.如权利要求1所述的芯片清洁除尘装置,其特征在于,所述横梁(21)根据需要安装四个、六个或八个。
4.如权利要求1所述的芯片清洁除尘装置,其特征在于,所述横梁(21)上均匀安装1-5个连杆(22)。
5.如权利要求1所述的芯片清洁除尘装置,其特征在于,所述壳体(51)外侧具有1-5个真空管(52)。
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