CN112345549A - 用于表面检查的成像*** - Google Patents

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Abstract

一种成像***和方法评估反射式显示器中的不均匀性或不规则性，该反射式显示器诸如是在智能电话、平板设备等等中发现的类型的组装的显示模块。该***包括被偏振和准直的非相干光，诸如发光二极管（LED）。要评估的表面垂直于准直光，使得光直接撞击在表面上。光的偏振在反射之前和之后被更改，并且来自受评估的表面的反射光由传感器接收。表面的不均匀性或不规则性将作为对比度变化出现在感测图像中。因为来自受评估的表面的反射是180度反射，所以感测图像可以跨要评估的整个表面清晰聚焦。可选地，为了效率和紧凑度，该***可以利用没有收集透镜的单个准直透镜。

Description

用于表面检查的成像***
相关申请的交叉引用
本申请要求于2019年8月7日提交的题为“IMAGING SYSTEM FOR SURFACE INSPECTION”的美国临时专利申请序列号62/883,924的标题35, U.S.C.
Figure DEST_PATH_IMAGE001
119(e)下的权益，其全部公开内容通过引用由此明确地并入本文中。
技术领域
本申请涉及测试和检测平坦和反射式光学元件和显示器的表面不规则性，并且更特别地，涉及显示器和组装的显示模块的平面性或规则性的评估。
背景技术
平板显示器的波纹度或缺乏平面性是重要的参数，以用于提供对层压过程控制的洞察以及用于提供对最终产品质量的指示。对于显示模块来说，具有一致的高度平面性（即，平坦度）正变得越来越重要。显示模块的终端用户可以看到平面性中的不规则性（例如，波纹度），尤其是以特定角度看的情况下。波纹度或其它不规则性将因此降低用户体验。
所需要的是对前述内容的改进。
发明内容
本公开涉及一种成像***和方法以用于评估反射式显示器中的不均匀性或不规则性，该反射式显示器诸如是在智能电话、平板设备等等中发现的类型的组装的显示模块。该***包括被偏振的非相干光，诸如发光二极管（LED）。要评估的表面垂直于传入光，使得光直接撞击在表面上。光的偏振在反射之前和之后被更改，并且来自受评估的表面的反射光由传感器接收以形成图像。表面的不均匀性或不规则性将作为对比度变化出现在感测图像中。因为来自受评估的表面的反射是180度反射，所以感测图像可以跨要评估的整个表面清晰聚焦。可选地，为了效率和紧凑度，该***可以利用没有收集透镜的单个准直透镜。
在第一***和方法中，非相干光传过偏振分束器，并且直接（即，垂直地）照射在要评估的表面上，该表面可以是组装的显示模块。从显示模块反射的光将偏振转换90度，并且然后被偏振分束器按90度反射。然后，光通过其路径上的刀口或孔径到相机或成像传感器，该相机或成像传感器经由反射光对显示模块成像。任何不均匀的表面不规则性在显示模块的图像中会产生对比度变化，这便于对评估表面中的任何不规则性的可视化。
在第二***和方法中，非相干光传过第一线性偏振器，然后通过非偏振分束器，并且然后直接（即，垂直地）照射在要评估的表面上，该表面可以是组装的显示模块。从显示模块反射的光将偏振转换90度，并且然后被非偏振分束器反射。然后，光通过其路径上的第二偏振器和刀口或孔径到相机或成像传感器，该相机或成像传感器经由反射光对显示模块成像。任何不均匀的表面不规则性在显示模块的图像中会产生对比度变化，这便于对评估表面中的任何不规则性的可视化。
在第三方法中，使用了与第二方法类似的布置，其中在准直透镜之后添加了圆柱形透镜，使得其生成1D会聚波前。当波前的半径与要评估的弯曲表面的半径相同时，该几何形状可以生成与在第一和第二方法和装置中所使用的相同的纹影（Schlieren）型图像，因为在反射之前和之后二者都通过圆柱形透镜之后，来自评估表面的反射光将遵循与来自上述平面显示器的反射相同的射线路径。
在一个实施例中，本公开提供了一种成像***，该成像***包括发射非相干光信号的非相干光源；被定位成接收非相干光信号和第一光信号中的一个的准直透镜，该准直透镜发射准直光信号；被功能性地设置在非相干光源与传感器之间的偏振器，并且该传感器具有限定传感器透镜平面的传感器透镜，该传感器透镜平面被定位为大体上垂直于由光源所发射的非相干光信号，该传感器被定位成接收准直光信号的反射。
在另一实施例中，本公开提供了一种用于对评估表面中的缺陷进行评估的方法，该方法包括：发射非相干光信号；使非相干光信号传过分束器以产生第一光信号和第二光信号，第一光信号相对于第二光信号成角度；使至少一部分非相干光信号传过准直透镜以产生准直光信号；在评估表面上反射准直光信号以产生反射光信号，评估表面限定大体上垂直于准直光信号的评估表面平面；以及在传感器上感测反射光信号以产生感测图像。
附图说明
通过参考结合附图所理解的本发明的实施例的以下描述，本发明的上述及其它特征和目的以及达到它们的方式将变得更加显而易见，并且本发明本身将被更好地理解，在附图中：
图1是根据本公开制作的第一表面不规则性检测***的示意图，其利用两个透镜和偏振分束器；
图2是根据本公开制作的第二表面不规则性检测***的示意图，其利用单个准直透镜、至少一个线性偏振器和非偏振分束器；
图3是图2所示的***的示意图，其具有其中传感器和光源被互换的替换布置；
图4是图3所示的***的示意图，其具有其中圆柱形透镜被用于评估弯曲显示模块的替换布置；
图5是示出了根据本公开的用于对评估表面中的完美性进行评估的方法的流程图；
图6A是根据本公开的显示模块的透视分解图；以及
图6B是图6A所示的显示模块的示意图。
遍及几个视图，对应的附图标记指示对应的部分。尽管本文中阐述的范例图示了本发明的实施例，但是下面所公开的实施例不意图是详尽的或被解释为将本发明的范围限制成所公开的精确形式。
具体实施方式
本公开涉及用于使用纹影型成像来检查和评估显示模块波纹度或其它表面不规则性的方法。测试对象直接（即，垂直地）暴露于已经被线性偏振和准直的非相干光。然后，该经调节的光信号从测试对象上的反射表面反射或被集成到测试对象中，并且反射光偏振通过双程传过被集成到层压到显示模块上的偏振器中的透明四分之一波长板而旋转90度。成像相机在光信号的进一步偏振过滤之后对该反射光信号成像。因为测试对象的评估表面的平面被直接呈现给光信号，并且与成像相机的透镜平行，所以评估图像未失真，并且因此可以跨评估的整个区域清晰聚焦。这继而导致对波纹度或其它不规则性的非常有效且高效的检测和量化。
图1-4示出了不规则性检测***10、110、110’、210的框图，其全部被配置成检测透明光学材料（例如，被用于智能电话和平板设备的类型的盖玻璃或触摸面板、显示器盖玻璃、薄膜、光学薄膜材料等）的表面不规则性、厚度变化、和/或变化和折射率。***10、110、110’和210中的每一个均利用纹影成像原理来检测由透明光学材料的平坦度变化（或在图4的情况下为标称曲率）、厚度变化和/或折光率变化所引起的表面不规则性。因此，可以利用不规则性检测***10、110、110’和210来检测和分析评估表面中的表面波纹度或不规则性的存在和程度。
现在转到图1，不规则性检测***10利用折叠纹影成像***，其中偏振分束器16拆分光路，并且实现偏振转换以对诸如显示模块50之类的对象的照明轮廓成像。
特别地，例如可以是LED灯具的非准直或非相干光源12发射非相干光信号30，该非相干光信号30然后由准直透镜14准直。所得到的准直光信号32传过偏振分束器16，以产生P偏振光信号34。
然后，显示模块50将P偏振光信号34反射180度，从而形成包括四分之一波片和线性偏振器的双程圆形偏振器18。从线性偏振器反射的光双程传过四分之一波片。在图示的实施例中，圆形偏振器18被集成到显示模块50中。从显示模块50反射的所得到的信号是S偏振光信号36，其重新进入偏振分束器16，并且再次被反射，这次是被反射90度，以成为保持S偏振的反射光信号38。
反射光信号38然后传过收集透镜20，从而保持在S偏振信号配置中。所得到的所收集的光信号40然后被引导到成像透镜22，该成像透镜22具有被定位在所收集的光信号40的焦点处的孔径光阑。替换地，成像透镜中的孔径光阑可以用刀口22替换，该刀口22被定位成在焦点处过滤所收集的光信号40。所得到的过滤光信号42然后被传感器24接收，该传感器24可以收集并且呈现指示要评估的反射表面的表面规则性的图像。在图示的实施例中，如本文中所示和描述的，评估表面来自显示模块50。
在评估表面中存在波纹度或其它不规则性的情况下，检测***10使得所收集的光信号40的传入射线被孔径光阑或刀口的不透明部分阻挡，同时干净反射的射线通过孔径光阑或刀口。以这种方式，***10在评估表面的反射图像中产生对比度变化，如由传感器24聚集并输出的（例如，到监视器或其它显示模块）。该对比度变化指示评估表面的波纹度或表面不规则性的存在和程度，其中较大的对比度变化对应于其它不规则性的较大普遍性和/或量值，并且反之亦然。
现在转到图2，图示了第二不规则性检测***110，其以类似于上述***10的方式便于对波纹度或其它不规则性的检测和量化。***110大体上类似于上述***10，其中***110的附图标记类似于***10中所使用的附图标记，除了其中对***10增加了100之外。除非另行说明，***110的元件对应于由***10的对应附图标记所表示的类似元件。
然而，***110被重新配置成消除收集透镜20，使得***110可以更物理地紧凑并且更便宜。
在***110中，非相干光源112发射非相干光信号130，该非相干光信号传过第一线性偏振器126以产生P偏振光信号134。光信号134然后传过非偏振分束器116和准直透镜114，以产生垂直正对地指向显示模块50的准直光信号132。即，准直光信号132垂直于显示模块50的评估表面的平面。信号132双程传过被包括为圆形偏振器118的一部分的四分之一波片，该圆形偏振器118可以与上述偏振器18类似地构造。
从显示模块50发射的所得到的反射光信号是S偏振光信号136，其与P偏振准直光信号132成180度定向。信号136被往回引导到非偏振分束器116，其将信号136反射90度。所得到的反射光信号138然后传过第二线性偏振器128，并且所得到的S偏振信号遇到具有被定位在焦点处的孔径光阑的成像透镜122。如上面关于***10所讨论的，焦点处的此孔径光阑（或刀口）使得由显示模块50的反射表面的非平坦部分反射的任何光线被孔径光阑的不透明部分阻挡，由此与从平坦表面部分反射的光线产生对比。因此，由传感器124经由光信号142所收集的图像提供了指示显示模块50的评估表面中的波纹度或其它表面不规则性的存在、方位和量值的对比度。
图3示出了不规则性检测***110’，其一般类似于上面详细描述的不规则性检测***110的结构和功能。如所示的，***110和110’大体上彼此相似，并且由相同的构成结构组成。
然而，检测***110’将光源112和传感器124连同其它相关联的组件（诸如孔径光阑122和线性偏振器126和128）相对于分束器116的方位互换。如图3中描绘的，非相干光源112发射非相干光信号130，该非相干光信号130传过线性偏振器126以产生P偏振光信号134。信号134然后被非偏振分束器116反射90度。所得到的反射信号138传过准直透镜114，从而产生准直光信号132，该准直光信号132以与上面关于***110所描述的相同的方式从显示模块50经由圆形偏振器118反射。
由显示模块50的评估表面发射的反射S偏振光信号136然后传过非偏振分束器116，并且传过第二线性偏振器128。成像透镜（或刀口）122过滤S偏振光信号136，并且所得到的光信号142由传感器124接收。如上所述，由传感器124感测的所得到的图像具有指示表面不规则性的存在和程度的对比度。
现在参考图4，不规则性检测***210具有与上述***110’一般类似的配置。此外，***210大体上类似于上述***110和110’，其中***210的附图标记类似于***110和110’中所使用的附图标记，除了其中对***210增加了100之外。除非另行说明，***210的元件对应于由***110的对应附图标记表示的类似元件。
然而，不规则性检测***210进一步包括从准直透镜214接收准直光信号232的圆柱形透镜215。圆柱形透镜215朝向包括圆形偏振器218的弯曲显示模块250传递P偏振会聚光信号240。在反射和双程传过偏振器218之后，光信号236在往回传过圆柱形透镜215和准直透镜214时从弯曲的评估表面反射，以生成反射光信号238。
会聚光信号240是一维弯曲（即，聚焦）波前，其入射在显示器250的对应凸面弯曲的反射表面上。该聚焦波前的曲率半径等于显示模块250的弯曲的凸面显示表面的意图半径，使得被模块250的评估表面反射的反射S偏振光信号236往回传过圆柱形透镜215以变得重新准直，并且然后往回传过准直透镜214以作为反射光信号238而变得朝向传感器224重新聚焦。因此，圆柱形透镜进行操作以从弯曲显示模块250的弯曲表面产生反射光信号238，该弯曲显示模块250具有与***10、110和110’相同的纹影图像配置，***10、110和110’被设计成用于如上面详细描述的那样评估平坦表面。以这种方式，弯曲的评估表面的不规则性的存在和程度可以与对于平坦（即，平面）表面相同的那样被评定。
在图4的图示的实施例中，圆柱形透镜215是正（即，聚焦）圆柱形透镜，其被设计成用于供如上所述的凸面弯曲显示器使用。然而，类似形成的负圆柱形透镜也可以被用来生成类似一维的发散波前，该波前被设计成用于准确测量弯曲的凹面显示面板中的不规则性。
图4图示了光源212经由线性偏振器226朝向非偏振分束器216的反射表面发射P偏振光信号234，同时反射光信号238通过分束器216被朝向传感器224引导。除了添加圆柱形透镜215和***210之外，该配置类似于图3所示并在上面详细讨论的***110’。然而，还设想到，图2所示的***110的配置可以类似地修改，其中添加用于评估弯曲显示模块250的圆柱形透镜215。即，光源212和传感器224可以连同它们相关联的组件关于分束器216互换。
在图1和图2分别所示的***10和110的情况下，光源12、112直接照射在显示模块50上。即，从光源12、112导出的准直光束垂直于由显示模块50的要评估的表面所限定的平面。出于本公开的目的，“大体上垂直”指代大约90度，诸如小如89.5度、89.7度或89.9度的角度、或大如90.1度、90.3度或90.5度的角度，包括精确的90度，或由任何一对前述值所限定的任何角度范围。
相比而言，在图3和图4所示的***110’和210的情况下，非相干光源112、212发射非相干光信号130、230，该非相干光信号130、230标称地平行于显示模块50和250的相应评估表面平面，但是在从非偏振分束器116、216反射并准直之后，准直光光束再次直接照射在（即，垂直于）由评估表面所限定的平面上。
以这种方式，所有的***10、110、110’和210被布置成，对于由传感器24、124和224的相应透镜所限定的平面来说，要分别垂直于传入的过滤信号42、142、242。该传入信号进而是反射表面显示模块50或250的直接反射。因此，传感器24、124和224被定位成接收反射的准直光信号，该反射的准直光信号是显示模块50、250的评估表面的平面的直接180度反射。因此，由传感器24、124和224生成的全部所得到的图像可以处于完美或接近完美的聚焦中。相比而言，在其中由传感器接收到的反射图像来自相对于传感器透镜成角度的显示模块的***中，完美聚焦仅跨反射图像的窄条是可能的。
在***10、110和110’的情况下，评估表面是大体上平面的表面，因为显示模块50向用户呈现了标称平面的表面显示。出于本公开的目的，并且在移动电话和手持平板设备的上下文中，“大体上平面的”可以意味着具有来自平面性的标称变化不大于100 µm的表面。对于这些***，由传感器24或124接收到的图像中的对比度指示评估表面的非平面性或其它不规则性。
另一方面，图4示出了如上所述的被设计成用于评估显示模块250的弯曲表面的***210。仍然可以说该弯曲表面限定了类似于显示模块50的平面表面的检查的平面。出于本公开的目的，弯曲模块250的评估表面的平面是垂直于由弯曲表面所限定的曲率半径的平面，并且将要评估的表面区域二等分，使得弯曲表面的一半在平面的一侧上，并且弯曲表面的另一半在平面的另一侧上。在图4的***210中，由传感器224所感测的图像指示评估表面的曲率中的缺陷，其中“完美”表面表示与所期望的切成圆弧的（例如，圆柱形或球形）表面完美一致的表面，并且缺陷表示与该完美表面的偏差。
图5图示了用于对评估表面中的缺陷进行评估的示例性方法，无论是平面表面（在***10、110或110’的情况下）还是弯曲表面（在***210的情况下）。此方法300可以由根据本公开制作的***的人类用户来实行，或者可以通过使用计算机或控制器而是自动化的。
在实施例中，由传感器24、124或224检测到的图像由控制器来评估。在实施例中，控制器是基于微处理器的，并且包括非暂时性计算机可读介质，该非暂时性计算机可读介质包括存储在其中的处理指令，该处理指令可由控制器的微处理器执行以评估检测到的图像，从而确定受测试的显示表面中的缺陷水平。非暂时性计算机可读介质或存储器可以包括随机存取存储器（RAM）、只读存储器（ROM）、可擦除可编程只读存储器（例如，EPROM、EEPROM或闪速存储器）或能够存储信息的任何其它有形介质。
图像将由被设计成检测和评估对比度变化并且确定缺陷大小并且生成总体显示质量的分数的软件来处理。常规的图像处理和机器学习技术二者可以被用来实现该软件。
在步骤310中，发射非相干光信号，诸如通过向光源施加电能。在示例性实施例中，光信号是来自光源12、112或212中的一个的LED信号。在步骤320中，非相干光信号传过分束器，诸如偏振分束器16或非偏振分束器116或216，以产生彼此成角度的第一光信号和第二光信号。在一个示例性实施例中，第一和第二光信号可以相对于彼此成90°的角度，并且拆分为大约50/50，使得第一和第二光信号中的每一个具有相等或大体上相等的强度。直接传过偏振分束器的光在第一方向上被线性偏振，在本文中被称为p偏振。在非偏振分束器的情况下，光不被分束器偏振。
在步骤330中，至少一部分非相干光信号传过准直透镜以产生准直光信号。在根据本公开制作的一些***（诸如***10）中，该准直步骤可以发生在非相干光信号进入分束器之前。在根据本公开制作的其它***中，诸如在***110、110’和210中，该步骤可以发生在光信号已经传过分束器或者已经被分束器反射之后。照此，在一些情况下，仅一部分非相干光信号可以传过准直透镜。
在步骤340中，至少一部分非相干光信号被偏振。这样的偏振可以被一个或多个结构影响，该一个或多个结构包括***10中的偏振分束器16，***110、110’中的线性偏振器126、128，或***210中的线性偏振器226和228。此外，***10、110、110’和210中的每一个可以分别经由圆形偏振器18、118或218影响至少一部分非相干光信号的偏振，无论是在准直之前还是之后。
在步骤350中，准直光信号在评估表面（诸如显示模块50或250的反射表面）上反射，以产生反射光信号。该反射光信号由传感器（诸如传感器24、124或224）所感测，以便产生感测图像。在步骤370中，该感测图像被用于对比度的评估，以确定评估表面中的表面不规则性的存在和量值。
在一个示例性实施例中，显示模块50、250可以是移动电话、平板设备或其它手持显示设备，并且***10、110、110’或210被用来评估移动电话或平板设备的操作员界面。例如，图6A和图6B图示了可以替代显示模块50或250的移动电话400（这取决于电话400具有标称平面的还是标称弯曲的用户界面）。
如图6A所示，移动电话400包括后盖410。底壳420与面壳430对接以保护电路板425，该电路板425被配置成向移动电话400提供功能。底壳420被配置成支撑电池415，并且进一步被配置成与后盖410对接。面壳430被配置成与显示模块440对接并且支撑显示模块440。当完全组装时，显示模块440包括显示层470和盖玻璃/触摸面板450a。盖玻璃/触摸面板450a被配置为透明材料或透明光学材料450。当将所有各种组件对接在一起时，移动电话400被配置在适合于由人手处置的方便包装中。除了具有更大的总体尺寸之外，平板设备可以类似于电话400进行配置。
显示模块440包括：显示层470，诸如液晶显示器（LCD）、圆形偏振器460和光学透明的盖玻璃/触摸面板450a。在一些配置中，如由围绕显示层470和圆形偏振器460二者的虚线轮廓所示，圆形偏振器460可以集成在显示层470内。显示层470被配置成向对应的用户提供视觉界面，诸如通过显示可由用户查看的图像来提供。如特定应用所需要或所期望的，显示层470可以包括一个或多个附加层。各种技术被用来构建显示层470，该显示层470通常被配置为提供可由用户查看的彩色光的像素。这些技术包括：液晶显示器（LCD）、发光二极管（LED）、有机发光二极管（OLED）等。盖玻璃/触摸面板450a位于毗邻显示层470或与显示层470相关联的圆形偏振器460。盖玻璃/触摸面板450a被配置为用户界面，其中，用户可以与移动电话400交互，和/或通过使用触笔或一个或多个手指触摸玻璃或面板450a来提供输入控制。
设想到显示模块440和/或透明光学材料450的其它用途，诸如具有显示屏的任何移动设备、电视屏、计算机显示器、平板设备、集成显示屏（例如，集成到汽车的仪表板、桌面、面板等中)、便携式通信设备等。
特别地，为了用户的最佳查看体验，期望盖玻璃/触摸面板450a的顶面451和显示层470的顶面471的均匀性。本公开的实施例（包括上面详细描述的***10、110、110’和210）被配置成检测和/或测量盖玻璃450a或其它透明材料的顶面451以及显示层470或其它反射材料的顶面471的平坦度。
虽然本发明已经被描述为具有示例性设计，但是本发明可以在本公开的精神和范围内进一步修改。因此，本申请意图覆盖使用其一般原理的本发明的任何变化、用途或适应。另外，本申请意图覆盖在本发明所属领域中已知或习惯的实践的范围内、并且落入所附权利要求的限制内的与本公开的这样的偏离。

Claims (20)

1.一种成像***，包括：
非相干光源，其发射非相干光信号；
准直透镜，其被定位成接收非相干光信号，所述准直透镜发射准直光信号；
传感器，其具有限定传感器透镜平面的传感器透镜，所述传感器透镜平面被定位为大体上垂直于由非相干光源发射的非相干光信号，所述传感器被定位成接收准直光信号的反射；以及
偏振器，其被功能性地设置在非相干光源与传感器之间。
2.根据权利要求1所述的成像***，进一步包括显示模块，所述显示模块具有限定评估表面平面的评估表面，所述显示模块被定位成使得评估表面平面大体上垂直于准直光信号。
3.根据权利要求2所述的成像***，其中，所述传感器透镜平面大体上平行于评估表面平面，并且非相干光信号大体上平行于评估表面平面。
4.根据权利要求2所述的成像***，其中，所述传感器透镜平面大体上垂直于评估表面平面，并且非相干光信号大体上垂直于评估表面平面。
5.根据权利要求2所述的成像***，其中，所述评估表面是大体上平面的表面，由此由传感器所感测的图像包括指示评估表面的非平面性的对比度。
6.根据权利要求2所述的成像***，其中，所述评估表面是弯曲表面，所述成像***进一步包括具有对应于弯曲表面的曲率的圆柱形透镜，由此由传感器所感测的图像包括指示评估表面的曲率中的缺陷的对比度。
7.根据权利要求1所述的成像***，其中，所述传感器透镜包括孔径。
8.根据权利要求1所述的成像***，进一步包括：分束器，其被定位成将非相干光信号拆分成第一光信号和第二光信号，第一光信号相对于第二光信号成角度。
9.根据权利要求8所述的成像***，其中，所述偏振器包括：
设置在非相干光源与分束器之间的第一线性偏振器，其中，所述分束器包括非偏振分束器；以及
设置在传感器与分束器之间的第二线性偏振器。
10.根据权利要求8所述的成像***，其中，所述分束器和所述偏振器被组合为偏振分束器。
11.根据权利要求10所述的成像***，进一步包括设置在偏振分束器与传感器之间的收集透镜。
12.根据权利要求11所述的成像***，其中，所述传感器透镜包括孔径和刀口中的一个。
13.根据权利要求1所述的成像***，其中，所述非相干光信号由发光二极管发射。
14.一种用于对评估表面中的缺陷进行评估的方法，所述方法包括：
发射非相干光信号；
使非相干光信号传过分束器以产生第一光信号和第二光信号，第一光信号相对于第二光信号成角度；
使至少一部分非相干光信号传过准直透镜以产生准直光信号；
在评估表面上反射准直光信号以产生反射光信号，评估表面限定大体上垂直于准直光信号的评估表面平面；以及
在传感器上感测反射光信号以产生感测图像。
15.根据权利要求14所述的方法，进一步包括：评估感测图像中的对比度，以确定评估表面的表面不规则性的存在和量值。
16.根据权利要求15所述的方法，其中，所述评估表面是弯曲表面，所述方法进一步包括：
使准直光信号传过圆柱形透镜以产生经修改的准直光信号，
反射的步骤包括在弯曲的评估表面上反射经修改的准直光信号，以及
评估对比度的步骤包括确定弯曲的评估表面的曲率中缺陷的存在和程度。
17.根据权利要求15所述的方法，其中：
评估表面是大体上平面的表面，以及
评估对比度的步骤包括确定大体上平面的表面的非平面性的存在和程度。
18.根据权利要求14所述的方法，进一步包括偏振非相干光信号、非相干光信号的一部分和准直光信号中的至少一个。
19.根据权利要求14所述的方法，其中，感测反射光信号的步骤包括以下各项中的一个：
使反射光信号传过孔径中的一个，以及
使反射光信号穿越刀口。
20.根据权利要求14所述的方法，进一步包括：
将准直透镜定位为大体上垂直于非相干光信号的至少一部分；以及
将评估表面定位为与准直透镜大体上平行。
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