CN112213009B - 基于光学原理的多轴力传感器 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种基于光学原理的多轴力传感器，其包括感测件和堆叠在感测件上侧的封盖件。感测件具有中空设置的***部和设置于***部中心位置的承载部，承载部与***部通过多个均匀分布在承载部外周侧的弹性悬梁部与***部连接，承载部在外力作用下相对***部发生偏转或移动。封盖件与承载部之间设置检测承载部相对***部的偏转量或移动量的第一位移检测器。由此，以提供结构简单，便于制造生产的多轴力传感器。

Description

基于光学原理的多轴力传感器

技术领域

本发明涉及的多轴力传感器的技术领域，特别涉及一种基于光学原理的多轴力传感器。

背景技术

多轴力传感器是一种能够测量多个自由度上的线性力和力矩的器件，最多能够测量6个自由度，即沿X轴、Y轴和Z轴上的线性力（Fx、Fy和Fz）以及每个围绕X轴、Y轴和Z轴旋转的力矩（Mx、My和Mz）。

目前，现有多轴力传感器的结构普遍结构复杂，且制造难度大。如，公开号CN110050179A公开的一种多轴力传感器，该多轴力传感器包括对叠加的环形传感器元件，该环形传感器单元由上元件和下元件形成，上元件和下元件通过弹性安装的连接杆在围绕其圆周的点处连接在一起，连接杆可以在与环相同的平面上延伸。在上元件和下元件内设有检测位移检测电路，该位移检测电路被布置成检测上元件和下元件在待感测的施加例的作用力的偏移或移动。该多轴力传感器的感测原理基于光学传感其测量由外力或力矩引起的偏转位移，将这些偏转作为校准矩阵的输入来估计各个方向的线性力和力矩。

上述的多轴力传感器尽管在结构上作了简化，但结构依旧比较复杂，制造难度大。

发明内容

针对现有技术存在的问题，本发明的主要目的是提供一种基于光学原理的多轴力传感器，旨在解决现有多轴力传感器结构复杂、制造难度大的问题。

为实现上述目的，本发明提出的基于光学原理的多轴力传感器，包括感测件和堆叠在所述感测件上侧的封盖件；

所述感测件具有中空设置的***部和设置于所述***部中心位置的承载部，所述承载部与所述***部通过多个均匀分布在所述承载部外周侧的弹性悬梁部与所述***部连接，所述承载部在外力作用下相对所述***部发生偏转或移动；

所述封盖件与所述承载部之间设置检测所述承载部相对所述***部的偏转量或移动量的第一位移检测器。

可选地，所述第一位移检测器包括：

设置于所述封盖件朝向所述承载部一侧的第一反射镜；

设置于所述承载部朝向所述封盖件一侧的第一PCB板，所述第一PCB板上设有多个的上光学传感器，每一所述上光学光感器具有发射光线的发射部和接收所述反射镜反射的光线的接收部。

可选地，所述第一反射镜包括平反射面和两旋转对称设置在所述平反射面外缘的斜反射面，且两所述斜反射面沿X轴设置；

所述上光学传感器包括两沿X轴方向设置第一光学传感器、两沿Y轴方向设置第二光学传感器，以及两相对所述斜反射面设置的第三光学传感器；

所述斜反射面一侧接近所述第三光学传感器的发射部，其另一侧远离所述第三光学传感器的接收部，使所述斜反射面相对向所述第三光学传感器的发射部倾斜。

可选地，所述第一反射镜与所述封盖件之间具有多个以所述第一反射镜的中心为原心均匀分布的第一弹性件；

所述封盖件上设有与所述第一弹性件对应的第一调节件，所述第一调节件依次穿过所述封盖件、第一弹性件，其头部插接在所述第一反射镜上；旋转所述第一调节件以压缩或放松所述第一弹性件，以改变所述第一反射镜相对所述第一PCB板的距离和/或偏转量。

可选地，所述第一弹性件为弹簧、O型圈或者中空橡胶套。

可选地，所述弹性悬梁部成对设置，包括第一悬梁和第二悬梁；

所述第一悬梁与第二悬梁平行设置；或相互搭接成三角状，其合并端与所述承载部连接，其余两端与所述***部连接。

可选地，该多轴力传感器还包括堆叠于所述感测件下方的固定件；

所述感测件的朝向所述固定件的一侧设有多个沿感测件的***部周向均匀分布的垫块部，所述垫块部的下端具有能够在垫块部的轴向上拉伸或收缩的弹性连接部，所述弹性连接部连接于所述固定件上；

所述固定件与所述承载部之间设置检测所述承载部相对所述固定件的偏转量或移动量的第二位移检测器。

可选地，所述第二位移检测器包括：

设置于所述固定件朝向所述承载部一侧的第二反射镜；

设置于所述承载部朝向所述固定件一侧的第二PCB板，所述第二PCB板上设有多个的下光学传感器，所述下光学传感器包括两沿X轴方向设置第四光学传感器与两沿Y轴方向设置第五光学传感器。

可选地，所述第二反射镜与所述固定件之间具有多个以所述第二反射镜的中心为原心均匀分布的第二弹性件；

所述固定件上设有与所述第二弹性件对应的第二调节件，所述第二调节件依次穿过所述固定件、第二弹性件，其头部插接在所述第二反射镜上；旋转所述第二调节件以压缩或放松所述第二弹性件，以改变所述第二反射镜相对所述第二PCB板的距离和/或偏转量。

可选地，所述上光学传感器与所述下光学传感器为光电二极管、反射式传感器或者波长传感器。

本发明提供的多轴力传感器通过检测传感器内部结构变形量量测量力和力矩，具体地，该多轴力传感器包括感测件和堆叠在感测件上侧的封盖件，感测件具有中空设置的***部和设置于***部中心位置的承载部，承载部与***部通过多个均匀分布在承载部外周侧的弹性悬梁部与***部连接，承载部在外力作用下相对***部发生偏转或移动。在封盖件与承载部之间设置检测承载部相对***部的偏转量或移动量的第一位移检测器。传感器内部结构的变形主要由弹性悬臂部提供，其沿感测件的径向设置在感测件的***部和承载部之间，结构简单紧凑，且能够有效感测到封盖件在承载部轴向的线性移动、旋转以及前后左右的侧翻。

且，还能够在感测件的下方设置固定件，并在感测件和固定件之间设置垫块部，在垫块部与固定件连接的一侧设置能够在感测件轴向上拉伸或收缩的弹性连接部，并在固定件与感测件的承载部下侧面间设置检测承载部相对固定件的偏转量或移动量的第二位移检测器，该第二位移检测器能够检测承载部沿轴向线性移动以及前后左右的侧翻，结合第一位移检测器检测的承载部的轴向位移以及前后左右的测量，就能够计算承载部在承载部平面内的前后左右移动，进一步实现传感器在承载部平面内的变形量，从而计算导致这些变形量的力。

附图说明

图1为本发明基于光学原理的多轴力传感器一实施例的分解示意图；

图2为本发明基于光学原理的多轴力传感器一实施例中感测件的结构示意图；

图3为本发明基于光学原理的多轴力传感器一实施例中弹性悬梁部的分布示意图；

图4为本发明基于光学原理的多轴力传感器一实施例中第一反射镜反射面的结构示意图；

图5为本发明基于光学原理的多轴力传感器一实施例中第一PCB板上光学传感器的分布示意图；

图6为本发明基于光学原理的多轴力传感器一实施例中第三光学传感器与斜反射面之间的光线反射的示意图；

图7为本发明基于光学原理的多轴力传感器一实施例中第三光学传感器与斜反射面的位置示意图；

图8为本发明基于光学原理的多轴力传感器一实施例中第二PCB板上光学传感器的分布示意图；

图9为本发明基于光学原理的多轴力传感器一实施例中第一反射镜与封盖件的连接示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的中附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

请参阅说明书附图1，在本发明实施例提出了一种基于光学原理的多轴力传感器，以实现测量Mx、My、Mz以及Fz这4个自由度的力/力矩。该基于光学原理的多轴力传感器包括感测件1和堆叠在感测件1上侧的封盖件2。感测件1具有中空设置的***部1a和设置于***部1a中心位置的承载部1b，承载部1b与***部1a通过多个均匀分布在承载部1b外周侧的弹性悬梁部1c与***部1a连接。

在本实施例中，为便于理解，下面定义感测件1所在的平面为XY平面，感测件1左右侧大致沿X轴设置，感测件1的前后侧大致沿Y轴设置，感测件1的中轴线大致沿Y轴设置。再进一步定义沿X轴、Y轴和Z轴上的线性力为Fx、Fy和Fz，围绕X轴、Y轴和Z轴旋转的力矩为Mx、My和Mz。

如图2所示，承载部1b与***部1a之间通过弹性悬梁部1c连接，使得承载部1b能够向对***部1a前后左右侧翻、在XY平面内旋转以及在Z轴方向上上下移动，由此，就能够感测到Mx、My、Mz三个力矩和力Fz引起的变形，从而反向计算出引起变形的Mx、My、Mz或Fz中的任意一项或者几项，实现多轴力/力矩的感测。

由于弹性悬梁部1c在分布在XY平面上的各个方向，大大限制了承载部1b在XY平面内的平移趋向，使得承载部1b无法XY平面内形成有意义的移动，因此，上述感测件1仅能做到四轴感测。

相应地，为检测承载部1b在收到Mx、My、Mz或Fz中任意一个或几个的力/力矩而产生的形变，在封盖件2与承载部1b之间设置检测承载部1b相对***部1a的偏转量或移动量的第一位移检测器。

该第一位移检测器包括设置于封盖件2朝向承载部1b一侧的第一反射镜41以及设置于承载部1b朝向封盖件2一侧的第一PCB板42，该第一PCB板42上设有多个的上光学传感器，每一上光学光感器具有发射光线的发射部和接收反射镜反射的光线的接收部。第一反射镜41的***形状可以是圆形、矩形或者其他形状，只能能够遮盖第一PCB板42上所有上光学传感器即可。

具体地，为能够实现不同的力/力矩，在本实施例中，如图4所示，该第一反射镜41包括平反射面41a和两旋转对称设置在平反射面41a外缘的斜反射面41b，且两斜反射面41b沿X轴设置。如图5所示，上光学传感器包括两沿X轴方向设置第一光学传感器421、两沿Y轴方向设置第二光学传感器422，以及两相对斜反射面设置的第三光学传感器423。第一光学传感器421和第二光学传感器422均与平反射部相对平行设置，第三光学传感器423则与斜反射面41b相对设置。

其中，如图6所示，斜反射面41b一侧接近第三光学传感器423的发射部423a，其另一侧远离第三光学传感器423的接收部423b，使斜反射面41b相对向第三光学传感器423的发射部423a倾斜。由此，以使得第三光学传感器423的发射部423a发出的光线能够被斜反射面41b反射到第三光学传感器423的接收部423b。更加具体地要求为：如图7所示，发射部423a与接收部423b之间的间隔中线与斜反射面41b的中线同线，发射部423a的中点与斜反射面41b的中点的连接线与斜反射面41b中线之间的夹角为正值，接收部423b的中点与斜反射面41b的中点的连接线与斜反射面41b中线之间的夹角为负值，以确保发射部423a发出的光能够内斜反射面41b折射并被接收部423b接收。

为能够理解本发明测算在不同力/力矩的作用下多轴力传感器的感测件1的形变以及形变后光学传感器的工作状态，作如下说明：

在力矩Mx的作用下：

承载部1b相对产生一个绕X轴的旋转（即前后翻转）。此时，两第二光学传感器422与第一反射镜41面之间的距离就会发生变化，若承载部1b向前侧翻转，则后侧的第二光学传感器422靠近第一发射镜，使得其接收的第一反射镜41反射的光线更强。而前侧的第二光学传感器422远离第一发射镜，使其接收的第一反射镜41反射的光线更弱。这样，两个第二光学传感器422接收的光线强度存在一个差值，能够该差值就能够计算承载部1b的旋转量，进而反推力矩Mx。

而由于两第一光学传感器421和两第三光学传感器423均沿X轴设置的，因此两第一光学传感器421与第一反射镜41的距离一样，接收的自第一反射镜41反射的光线强度一致。同样地，两第三光学传感器423接收的自第一反射镜41反射的光线强度也一致。也就是两第一光学传感器421和两第二光学传感器422不会产生信号变化。就不会对力矩Mx的测量产生干扰。

在力矩My的作用下：

承载部1b相对产生一个绕Y轴的旋转（即左右翻转）。此时，两第一光学传感器421接收的光线强度存在一个差值，通过该差值就能够反向推导计算力矩My。

在力矩Mz的作用下：

承载部1b相对产生一个绕Z轴的旋转（即在XY平面内旋转）。此时，由于第一光学传感器421相对的是第一反射镜41的斜反射面41b，承载部1b在XY平面转动会使得第三光学传感器423的间隔中线与斜反射面41b的中线距离发生改变，若承载部1b沿顺时针转动，左侧的第三光学传感器423靠近斜反射面41b，而右侧的第三光学传感器423远离斜反射面41b，两者接收的光线强度就会产生一个差值，通过该差值就能够反向计算力矩Mz。

在力Fz的作用下：

承载部1b相对产生一个沿Z轴方向向上或者向下的位置，两第一光学传感器421、两第二光学传感器422以及两第三光学传感器423的会同时靠近或者远离第一反射镜41，其接收的光线强度会同时增强或者减弱，通过将每个光学传感器当前接收的光线强度与上一状态接收的光线强度就能够获取各光学传器的差值，计算这些差值的均值或者加和，再进一步反推力Fz。

本发明提供的多轴力传感器通过检测传感器内部结构变形量量测量力和力矩，具体地，该多轴力传感器包括感测件1和堆叠在感测件1上侧的封盖件2，感测件1具有中空设置的***部1a和设置于***部1a中心位置的承载部1b，承载部1b与***部1a通过多个均匀分布在承载部1b外周侧的弹性悬梁部1c与***部1a连接，承载部1b在外力作用下相对***部1a发生偏转或移动。在封盖件2与承载部1b之间设置检测承载部1b相对***部1a的偏转量或移动量的第一位移检测器。传感器内部结构的变形主要由弹性悬臂部提供，其沿感c测件1的径向设置在感测件1的***部1a和承载部1b之间，结构简单紧凑，且能够有效感测到封盖件2在承载部1b轴向的线性移动、旋转以及前后左右的侧翻，由此以能够实现对Mx、My、Mz和Fz的测量。

另外，由于斜反射面41b与第三光学传感器423之间需要保持一定的对齐关系，以使得斜反射面41b能够反射第三光学传感器423发出的光线，这就需要限制承载部1b在XY平面内的平移。故，在本实施例中，将弹性悬梁部1c成对设置，每对弹性悬梁部1c包括第一悬梁和第二悬梁，第一悬梁和第二悬梁能够以平行或者非平行的方式设置。例如，如图3(a)所示，能够将第一悬梁和第二悬梁平行设置，并以承载部1b的中心均匀分布，使得感测件1形成一个类似车轮式结构，第一悬梁和第二悬梁相当于辐条，对感测件1中心的承载部1b起一个支撑作用，避免承载部1b在感测件1平面内移动。如图3(c)所示，非平行设置的第一悬梁和第二悬梁可以以一定的角度相互靠拢，以形成三角状，其合并端与承载部1b连接，其余两端与***部1a连接。通过这种多个成对设置的第一悬梁和第二悬梁，能够增加承载部1b在侧向的刚度以限制承载部1b在X轴向和Y轴向发生移动，使得斜反射面41b与第三光学传感器423能够保证一个对齐的状态，以为后续通过光线强弱的变化来计算承载部1b在XY平面内的旋转量提供便利，进而能够有效地反向计算出导致承载部1b在XY平面内旋转的力矩Mz。

当然，除了上述将弹性悬梁部1c成对设置外，亦可采用单弹性悬梁部1c结构设计，具体地，如图3(b)所示，通过设置多个弹性悬梁部1c来支撑承载部1b亦能够限制承载部1b在在X轴向和Y轴向发生移动。

还有，应当说明的是，根据需要感测的力/力矩的范围，能够适当的增加或者减少弹性悬梁部1c的数量，或者是调整弹性悬梁部1c的厚度、高度以及长度来调整每个弹性悬链部的弹性系数，进而调整承载部1b能够在力/力矩作用下产生的形变。

可选地，在本实施例中，第一反射镜41与封盖件2之间具有多个以第一反射镜41的中心为原心均匀分布的第一弹性件21。通过设置多个第一弹性件21，这样就能够通过压缩不同位置的第一弹性件21来调整第一反射镜41相对第一PCB的位置，从而调整第一反射镜41相对上光学传感器的位置，为多轴力传感器的精确装配和初始信号调整提供便利。且均匀分布的第一弹性件21还能够提供一致的压力以保持镜面的平整，同时减少振动。

具体地，如图9所示，在封盖件2上设有与第一弹性件21对应的第一调节件22，该第一调节件22依次穿过封盖件2、第一弹性件21，其头部插接在第一反射镜41上。通过旋转第一调节件22就能够压缩或放松第一弹性件21，以改变第一反射镜41相对第一PCB板42的距离和/或偏转量，进而调整第一反射镜41相对各上光学传感器的位置。

可选地，该第一弹性件21为弹簧、O型圈或者中空橡胶套等具有弹性的结构件。

实施例2

在上述实施例1的基础上，如图1-2所示，在感测件1的下方堆叠一固定件3。在感测件1的朝向固定件3的一侧设有多个沿感测件1的***部1a周向均匀分布的垫块部1d，垫块部1d的下端具有能够在垫块部1d的轴向上拉伸或收缩的弹性连接部1f，弹性连接部1f连接于固定件3上。在固定件3与承载部1b之间设置检测承载部1b相对固定件3的偏转量或移动量的第二位移检测器。

该第二位移检测器包括：设置于固定件3朝向承载部1b一侧的第二反射镜51和设置于承载部1b朝向固定件3一侧的第二PCB板52。如图8所示，第二PCB板52上设有多个的下光学传感器，下光学传感器包括两沿X轴方向设置第四光学传感器521与两沿Y轴方向设置第五光学传感器522。

具体地，在本实施例中，该弹性连接部设置由两个呈X交叉的支撑臂组成，其能够被压缩或者是拉伸。

由于弹性连接部1f在感测件1的轴向上能够拉伸或者收缩，因此，当感测件1的下部（即垫块部1d和弹性连接部1f）也能够实现前后左右的侧翻和感测件1轴向的移动，即，在受力矩Mx、My和Fz的作用下，感测件1的下部也会发生一定形变，使得承载部1b下侧面上的第四光学传感器521和第五光学传感器522与固定件3上的第二发射镜之间的距离发生改变，并有第四光学传感器521和第五光学传感器522来检测相应的变形量，具体的检测原理通过两第四光学传感器521和两第五光学传感器522接收的光线强度的差值进行计算。

由于感测件1的上部（即承载部1b和***部1a）和感测件1的下部是沿Z轴设置的，其上部和下部存在一个沿Z轴向的高度差H，这就会导致基于两第一光学传感器421的光线强度差值测算的力矩Mx1和基于两第四光学传感器521的光线强度的差值测算的力矩Mx2存在一个力矩差值M∆x。而力矩Mx本质上是一个沿Z轴向的力臂和平行与Y轴的分力的乘积，该分力可以等效为多轴力传感器在Y轴方向上的受力Fy。假设该Fy的作用点到感测件1的承载部1b的距离为L1，则到弹性连接部1f的距离为（L1+H），Mx1=Fy*L1，Mx2=Fy*(L+H)，M∆x=Mx2-Mx1= Fy*(L+H)- Fy*L1=Fy*H。而高度H是已经设计好的量，因此，就能够通过结合M∆x和H来计算力Fy，实现对多轴力传感器在Y轴向上的线性力的测量。

同理，力Fx也能够通过基于两第二光学传感器422测算的力矩My1和基于两第五光学传感器522传感器测算的力矩My2的力矩差值M∆y来计算力Fx，实现对多轴力传感器在X轴向上的线性力的测量。

在本实施例中，通过在感测件1的下方设置固定件3，并在感测件1和固定件3之间设置垫块部1d，在垫块部1d与固定件3连接的一侧设置能够在感测件1轴向上拉伸或收缩的弹性连接部1f，并在固定件3与感测件1的承载部1b下侧面间设置检测承载部1b相对固定件3的偏转量或移动量的第二位移检测器，该第二位移检测器能够检测承载部1b沿轴向线性移动以及前后左右的侧翻，结合第一位移检测器检测的承载部1b的轴向位移以及前后左右的测量，就能够计算承载部1b在承载部1b平面内的前后左右移动，进一步实现传感器在承载部1b平面内的变形量，从而计算导致这些变形量的力。

由此，就能够实现对传感器在6个自由度上的力/力矩的测量。

可选地，在本实施例中，该第二反射镜51与固定件3之间具有多个以第二反射镜51的中心为原心均匀分布的第二弹性件。并且，在固定件3上设有与第二弹性件对应的第二调节件，第二调节件依次穿过固定件3、第二弹性件，其头部插接在第二反射镜51上。旋转第二调节件以压缩或放松第二弹性件，以改变第二反射镜51相对第二PCB板52的距离和/或偏转量。由此，以能够调节第二反射镜51的位置。

可选地，在本实施例中，上光学传感器与下光学传感器为光电二极管、反射式传感器或者波长传感器。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并不用以本发明，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何细微修改、等同替换和改进，均应包含在本发明技术方案的保护范围内。

Claims (8)

1.一种基于光学原理的多轴力传感器，其特征在于，包括感测件和堆叠在所述感测件上侧的封盖件；

所述感测件具有中空设置的***部和设置于所述***部中心位置的承载部，所述承载部与所述***部通过多个均匀分布在所述承载部外周侧的弹性悬梁部与所述***部连接，所述承载部在外力作用下相对所述***部发生偏转或移动；

所述封盖件与所述承载部之间设置检测所述承载部相对所述***部的偏转量或移动量的第一位移检测器；

所述第一位移检测器包括：

设置于所述封盖件朝向所述承载部一侧的第一反射镜；

设置于所述承载部朝向所述封盖件一侧的第一PCB板，所述第一PCB板上设有多个的上光学传感器，每一所述上光学光感器具有发射光线的发射部和接收所述反射镜反射的光线的接收部；

所述第一反射镜包括平反射面和两旋转对称设置在所述平反射面外缘的斜反射面，且两所述斜反射面沿X轴设置；

所述上光学传感器包括两沿X轴方向设置第一光学传感器、两沿Y轴方向设置第二光学传感器，以及两相对所述斜反射面设置的第三光学传感器；

所述斜反射面一侧接近所述第三光学传感器的发射部，其另一侧远离所述第三光学传感器的接收部，使所述斜反射面相对向所述第三光学传感器的发射部倾斜。

2.如权利要求1所述的基于光学原理的多轴力传感器，其特征在于，所述第一反射镜与所述封盖件之间具有多个以所述第一反射镜的中心为原心均匀分布的第一弹性件；

所述封盖件上设有与所述第一弹性件对应的第一调节件，所述第一调节件依次穿过所述封盖件、第一弹性件，其头部插接在所述第一反射镜上；旋转所述第一调节件以压缩或放松所述第一弹性件，以改变所述第一反射镜相对所述第一PCB板的距离和/或偏转量。

3.如权利要求2所述的基于光学原理的多轴力传感器，其特征在于，所述第一弹性件为弹簧、O型圈或者中空橡胶套。

4.如权利要求2所述的基于光学原理的多轴力传感器，其特征在于，所述弹性悬梁部成对设置，包括第一悬梁和第二悬梁；

所述第一悬梁与第二悬梁平行设置；或相互搭接成三角状，其合并端与所述承载部连接，其余两端与所述***部连接。

5.如权利要求1-4任意一项所述的基于光学原理的多轴力传感器，其特征在于，还包括堆叠于所述感测件下方的固定件；

所述感测件的朝向所述固定件的一侧设有多个沿感测件的***部周向均匀分布的垫块部，所述垫块部的下端具有能够在垫块部的轴向上拉伸或收缩的弹性连接部，所述弹性连接部连接于所述固定件上；

所述固定件与所述承载部之间设置检测所述承载部相对所述固定件的偏转量或移动量的第二位移检测器。

6.如权利要求5所述的基于光学原理的多轴力传感器，其特征在于，所述第二位移检测器包括：

设置于所述固定件朝向所述承载部一侧的第二反射镜；

设置于所述承载部朝向所述固定件一侧的第二PCB板，所述第二PCB板上设有多个的下光学传感器，所述下光学传感器包括两沿X轴方向设置第四光学传感器与两沿Y轴方向设置第五光学传感器。

7.如权利要求6所述的基于光学原理的多轴力传感器，其特征在于，所述第二反射镜与所述固定件之间具有多个以所述第二反射镜的中心为原心均匀分布的第二弹性件；

所述固定件上设有与所述第二弹性件对应的第二调节件，所述第二调节件依次穿过所述固定件、第二弹性件，其头部插接在所述第二反射镜上；旋转所述第二调节件以压缩或放松所述第二弹性件，以改变所述第二反射镜相对所述第二PCB板的距离和/或偏转量。

8.如权利要求6所述的基于光学原理的多轴力传感器，其特征在于，所述上光学传感器与所述下光学传感器为光电二极管、反射式传感器或者波长传感器。

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