CN112192436B - 自调节弹性节能抛光装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种自调节弹性节能抛光装置，抛光盘组件置于抛光液回收装置的抛光液收集罩中，抛光盘组件上部一侧设有抛光头组件，另一侧设有滴液喷头组件；抛光头组件包括丝杠驱动机构、弹性抛光机构以及电推杆夹具，丝杠驱动机构安装在升降盖和抛光头外壳之间，并通过升降盖带动内滑块上下移动，弹性抛光机构中的内滑块置于抛光头外壳内，并与抛光头外壳导向滑动连接，内滑块上端与抛光头外壳之间通过主弹簧连接，内滑块下端与抛光头外壳下部的底部螺旋盖之间通过支撑弹簧连接，内滑块上端与升降盖之间通过穿过抛光头外壳顶部的拉伸弹簧相连接；内滑块中下部分内设有均布的电推杆夹具，电推杆夹具中的电推杆通过卡爪装夹用于粘黏抛光工件的载片盘。

Description

自调节弹性节能抛光装置

技术领域

本发明涉及一种抛光装置，尤其是一种可以调节抛光液滴液位置和滴液量的自调节弹性节能抛光装置。

背景技术

化学机械抛光(chemical mechanical polishing，CMP)技术是通过化学作用和机械作用对抛光工件进行材料去除。随着科学技术的进步，对工件的要求越来越高，但是传统的化学机械抛光容易在工件表面和亚表面产生划痕，控制抛光划痕已经成为精密加工领域的一个研究方向，见周明，黄铖，赵培轶，黄劭楠.光学玻璃超声振动磨削亚表面损伤的试验研究[J].工具技术，2017，51(07)：15-19.尤其是光学元件亚表面的损伤程度，直接决定了元件的使用寿命，见钟曜宇，戴一帆，石峰，隋婷婷.熔石英光学元件纳米划痕亚表面损伤特性[J].纳米技术与精密工程，2017，15(01)：7-14.研究表明，抛光划痕的产生通常有两种情况：其中一种是随机的、不可预知、不可再现的划痕，这类划痕大多数取决于研磨加工时，磨料中杂质、异常大磨粒的数量、混入的灰尘等，划痕深、数量少，另外一种引起划痕的原因是：由于研磨加工工艺参数(磨料均匀性、磨盘硬度等)的选用不合理，在工件表面形成的数量较多，深度较小的划痕。一般情况下较深的划痕对元件影响较大，但不论是由于大颗粒产生的深划痕，或是量多较浅的划痕浅，都是由于工件受到较大抛光压力作用形成的。本装置主要针对以上两类划痕进行控制，通过对抛光头进行浮动设计，实时改变抛光工件的承压大小，能有效减小划痕数量和深度。

同时传统的化学机械抛光由抛光头、抛光盘、抛光垫、底座以及抛光液供给装置等组成。化学机械抛光过程中现存的抛光液补给方法为：从抛光液供给装置引出一支导管，直接将抛光液喷射在抛光垫上，抛光后直接在抛光垫的离心力作用下甩出抛光垫，既造成浪费又存在环境污染。本装置通过设计抛光液收集过滤装置以及可改变滴液方向和滴液流量的滴液喷头，有效的解决了这一问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种自调节弹性节能抛光装置，实现工件抛光过程中有效减少工件表面及亚表面损伤，提高抛光工件抛光质量，同时保证抛光液的高效合理利用。

为实现上述目的，本发明的技术方案是：一种自调节弹性节能抛光装置，由抛光头组件、抛光盘组件、滴液喷头组件和抛光液回收装置组成，所述抛光盘组件置于抛光液回收装置的抛光液收集罩中，所述抛光盘组件上部一侧设有抛光头组件，另一侧设有滴液喷头组件；所述抛光头组件包括丝杠驱动机构、弹性抛光机构以及电推杆夹具，所述丝杠驱动机构安装在升降盖和抛光头外壳之间，并通过升降盖带动内滑块上下移动，所述弹性抛光机构中的内滑块置于抛光头外壳内，并与抛光头外壳导向滑动连接，所述内滑块上端与抛光头外壳之间通过主弹簧连接，所述内滑块下端与抛光头外壳下部的底部螺旋盖之间通过支撑弹簧连接，所述内滑块上端与升降盖之间通过穿过抛光头外壳顶部的拉伸弹簧相连接；所述内滑块中下部分内设有均布的电推杆夹具，所述电推杆夹具中的电推杆通过卡爪装夹用于粘黏抛光工件的载片盘。

进一步，所述抛光头组件中的丝杠通过螺母、法兰盖和丝杠底盖固定在升降盖上，所述丝杠下端通过丝杠轴承与抛光头外壳连接，并用下端盖和螺栓轴向固定，所述丝杠上端通过联轴器连接异步电机。

进一步，所述内滑块的底端内装有位移传感器，所述位移传感器通过控制器连接异步电机。

进一步，所述内滑块的外圆柱上通过分布的滑块翼与抛光头外壳内部的滑槽相配连接；所述内滑块上下端分别设有大型弹簧限位管和小型弹簧限位管，大型弹簧限位管和小型弹簧限位管分别与抛光头外壳上的双层弹簧限位管和底部螺旋盖上的中型弹簧限位管嵌套配合，所述小型弹簧限位管内装有支撑弹簧，支撑弹簧两端分别与内滑块和底部螺旋盖接触连接，大型弹簧限位管内装有主弹簧，主弹簧两端分别与抛光头外壳和内滑块的大型弹簧限位管底部中的拉伸弹簧下接盘接触连接。

进一步，所述卡爪呈弧形，并通过螺纹旋入电推杆内，并能随装夹不同形状的载片盘或工件来更换卡爪的类型。

所述抛光盘组件中的抛光盘主轴通过抛光盘轴承与抛光液收集罩连接；所述抛光盘上设有集液槽和集液通孔，用于收集遗留在抛光盘上的抛光液。

进一步，所述抛光液收集罩通过卡接套直接套在抛光盘主轴上的抛光盘轴承上，所述抛光液收集罩的底部内壁上设有螺旋剑齿纹，底端设有过滤网。

进一步，所述抛光液收集罩底部通过回收液支管、压力泵和主管道连接至滴液喷头组件，所述主管道下端浸入全新抛光液中，所述主管道与回收液支管连接处下方设置单向阀，用于防止过滤后的抛光液向下流动污染新液。

进一步，所述滴液喷头组件包含进液轴、锁紧盖、喷头上盖、喷头阀片、喷头底盖、刻度盘、封闭环，所述进液轴通过螺纹与主管道连接，并通过锁紧盖与喷头上盖固定连接；所述喷头上盖与喷头底盖之间设有可旋转的喷头阀片，喷头阀片中设有多条连通进液轴底部的进液筛孔的孔道及内孔，喷头底盖上设有多个喷头底盖通孔，所述封闭环外套于内孔***，防止抛光液渗入喷头底盖与喷头阀片中间缝隙。

进一步，所述喷头阀片上设有刻度盘，通过刻度盘控制内孔与喷头底盖通孔的重合度来控制出液量；所述刻度盘上共有四组刻度，每组刻度内有三条刻度线，从右往左分别对应小流量、中流量、大流量三种流况。

本发明的有益效果是：

本发明的自调节弹性节能抛光装置，采用抛光头、抛光盘、滴液喷头和抛光液回收装置。抛光头内部设置有夹具、弹性元件(多种弹簧)，丝杠螺母等多种弹性移动元件，通过弹性元件并结合三个均布楔形移动滑轨，来实现抛光过程中的弹性抛光，抛光头分为两个主要构件，一是抛光头外壳，二是内置滑块，两者通过螺钉，丝杠螺母盖以及弹簧组合等连接，内置滑块内部中空，设有三个均布电动推杆，底部设有位移传感器，连接电机，控制丝杠旋转；抛光盘内部设置有交错环形集液槽，各个槽通过三条通孔连接，安装在抛光盘***的抛光液收集罩内壁设有螺旋剑齿纹，底部通过开口连接导管，导管通向主输液管，主管内设有单向阀和压力泵，末端接有滴液喷头。该装置结构简单，抛光过程中实现弹性抛光，避免大颗粒对工件造成的损伤划痕，还可以控制滴液速度和位置，同时对抛光液进行二次回收利用，避免对抛光液的浪费，既节能又环保。

附图说明

图1为本发明的自调节弹性节能抛光装置整体结构示意图；

图2为本发明自调节弹性节能抛光装置抛光头下半部剖面图；

图3为本发明自调节弹性节能抛光装置抛光头弹簧组合剖面图；

图4为本发明抛光盘及抛光液回收装置剖面图；

图5为本发明自调节弹性节能抛光装置滴液喷头剖视图；

图6为本发明自调节弹性节能抛光装置内滑块结构示意图；

图7为本发明自调节弹性节能抛光装置刻度盘平面展开图；

图中部件代号：1—抛光头组件、1-1—丝杠、1-2—工件、1-3—载片盘、2—螺母、3—升降盖、4—抛光头外壳、5—内滑块、6—抛光头转轴、7—拉伸弹簧、8—丝杠底盖、9—主弹簧、10—双层弹簧限位管、11—大型弹簧限位管、12—拉伸弹簧挂接副、13—拉伸弹簧下接盘、14—电推杆、15—卡爪、16—位移传感器、17—底部螺旋盖、18—支撑弹簧、19—小型弹簧限位管、20—法兰盖、21—丝杠轴承、22—下端盖、23—滑块翼、24—中型弹簧限位管、25—抛光垫、26—抛光盘、26-1—抛光盘主轴、27—环形集液槽、28—集液通孔、29—抛光液收集罩、29-1—过滤网、29-2—卡接套、30—抛光盘轴承、31—螺旋剑齿纹、32—回收液支管、33—主管道、34—单向阀、35—压力泵、36—伸缩杆、37—滴液喷头组件、38—进液轴、39—锁紧盖、40—喷头上盖、41—喷头阀片、42—喷头底盖、43—刻度盘、43-1刻度标线、44—封闭环、45—内孔、46—喷头底盖通孔、47—进液筛孔、48—孔道。

具体实施方式

下面结合附图与实施例对本发明作进一步说明

如图1所示，本发明的自调节弹性节能抛光装置，由抛光头组件1、抛光盘组件、滴液喷头组件37和抛光液回收装置组成。包括丝杠1-1、螺母2、升降盖3、抛光头外壳4、抛光头转轴6、抛光垫25、抛光盘26、抛光液收集罩29、过滤网29-1、回收液支管32、主管道33、单向阀34、压力泵35、伸缩杆36、滴液喷头组件37、锁紧盖39、喷头上盖40、喷头阀片41、喷头底盖42。

抛光盘组件置于抛光液回收装置的抛光液收集罩29中，上部一侧设有抛光头组件1，另一侧设有滴液喷头组件37，且滴液喷头组件37通过主管道33和压力泵35连接抛光液回收装置的抛光液收集罩29底部。

抛光头组件1中丝杠1-1、螺母2和升降盖3是共同用于自动控制内滑块5升降的机械装置。抛光液回收装置中的抛光液收集罩29和过滤网29-1共同起到对抛光液进行过滤的作用，主管道33下端浸入全新抛光液，通过压力泵35将其输送至滴液喷头组件37，单向阀34设置在回收液支管32与主管道33连接口下方，防止过滤后的抛光液向下流动污染新液。滴液喷头组件37通过进液轴38上部的螺纹与主管道33螺旋连接，锁紧盖39内设螺纹，和进液轴38中部螺纹配合连接，用以固定喷头上盖40、喷头阀片41和喷头底盖42。

如图2、图3及图6所示，抛光头组件1内部结构，丝杠1-1与螺母2配合连接，螺母2通过法兰盖20和丝杠底盖8固定于升降盖3。丝杠1-1下端通过丝杠轴承与抛光头外壳4连接，并用下端盖22和螺栓轴向固定，丝杠1-1上端通过联轴器连接异步电机，(因异步电机和联轴器均属于标件，在图中未画出)。抛光头外壳4内装有内滑块5，内滑块5外圆柱上通过分布的滑块翼23与抛光头外壳4内孔中的滑槽相配连接，内滑块5下端设有与抛光头外壳4下部相连接的底部螺旋盖17。内滑块5上下端分别设有大型弹簧限位管11和小型弹簧限位管19，并分别与抛光头外壳4上的双层弹簧限位管10和底部螺旋盖17上的中型弹簧限位管24嵌套配合，小型弹簧限位管19内装有支撑弹簧18，支撑弹簧18两端分别与内滑块5和底部螺旋盖17接触连接，大型弹簧限位管11内装有主弹簧9，主弹簧9两端分别与抛光头外壳4和内滑块5的大型弹簧限位管11底部中的拉伸弹簧下接盘13接触连接，升降盖3与内滑块5的拉伸弹簧下接盘13之间通过穿过抛光头外壳4顶部的拉伸弹簧7相连接。内滑块5中下部分设有三个均布的电推杆14，电推杆14通过卡爪15装夹载片盘1-3，载片盘1-3上粘黏抛光工件1-2，卡爪15(呈弧形)通过螺纹旋入电推杆14，可以随装夹不同形状的载片盘1-3或工件1-2来更换卡爪15类型。内滑块5底端装有位移传感器16，当内滑块跳动幅度过大时，说明此时抛光液中大颗粒杂质较多，抛光工件1-2受到的不规则力较大，易造成不可逆的深划痕损伤，此时仅仅依靠弹簧弹性调节是不够的，需要配合丝杠1-1和螺母2做进一步调节，与此同时在抛光头组件1底部设有环形中空的底部螺旋盖17，用以限制内滑块5底部，让其不至于滑出抛光头组件1，同时内滑块5底部嵌套在底部螺旋盖17中空位置，方便装夹，使整个抛光头组件1易于安装。当卡爪15装夹好工件1-2后，支撑弹簧18支撑内滑块5使之有向上的运动趋势，主弹簧9安装于内滑块5与抛光头外壳4中间位置，对内滑块5有向下的弹性力，两组弹簧对内滑块5的力一上一下，使内滑块5处于动态平衡，当抛光开始后，抛光工件1-2受到外来的反作用力，平衡被打破，内滑块5在滑块翼23及其导轨的方向上下滑动，实现弹性抛光，当外力过大内滑块5纵向滑动幅度过大时，位移传感器16响应，从而控制异步电机旋转(异步电机通过联轴器与丝杠1-1上端连接，因电机和联轴器均属于标件，在图中未画出)，带动丝杠1-1旋转，导致升降盖3上升，与升降盖3挂接在一起的拉伸弹簧7也随之上升，拉伸弹簧7拉动内滑块5上升，从而减小抛光工件1-2与大颗粒杂质接触，避免造成深度划痕，当内滑块5纵向跳动减小或消失时，说明工件1-2受到不规则力减小，此时位移传感器16响应，电机反转，内滑块下落回原位置，当再受到位移刺激时，重复以上操作，使整个抛光过程处于实时动态调节中，提高工件1-2抛光质量。

如图4所示，经过大量研究表明，抛光垫25上的抛光液主要有两大流向，一部分随着离心力而甩出抛光盘26，一部分遗留在抛光盘26上，造成抛光液的不合理利用，通过设置的集液槽27和集液通孔28可以有效收集由于抛光盘26转速不高而遗留在抛光盘26上的抛光液，提高抛光液的回收利用率，抛光液收集罩29通过卡接套29-2直接套在抛光盘主轴26-1上的抛光盘轴承30上，不随抛光盘26旋转，通过抛光盘26旋转和集液通孔28流出的抛光液滴入螺旋剑齿纹31中，可以延长抛光液流通路径，达到沉淀杂质的作用，同时在抛光液防护罩29的底端出口处设有过滤网29-1，起到双重过滤的作用，考虑到实际抛光液回收过程中会有大颗粒杂质，抛光液通过离心作用直接甩出到抛光液收集罩29或者通过环形集液槽27和集液通孔28流入其中，首先进入抛光液收集罩29的螺旋剑齿纹31内壁通道，通过扩大抛光液流通路程使大颗粒杂质沉淀或卡接在螺旋剑齿纹31内壁通道，经过这一阶段过滤的抛光液进入过滤网29-1，过滤网29-1通过设置不同大小的筛网对抛光液进行二次过滤，可以针对不同杂质进行有效去除，紧接着通过回收液支管32进行二次重复利用，既增大了对抛光液的回收质量，又提高了抛光液利用效率，操作简单，绿色环保。

如图5所示，本发明自调节弹性节能抛光装置的滴液喷头组件37，包含进液轴38、锁紧盖39、喷头上盖40、喷头阀片41、喷头底盖42、刻度盘43、封闭环44、内孔45、八个喷头底盖通孔46，进液筛孔47，四条孔道48及与其配合的四个内孔45。抛光液通过进液轴38进入，通过进液筛孔47后流入孔道48，进而流入内控45，旋转喷头阀片41，当内孔45与对应的喷头底盖通孔46逐渐重合时，抛光液通过喷头底盖通孔46滴入抛光盘26上，进行抛光，封闭环44外套于内孔45***，防止抛光液渗入喷头底盖42与喷头阀片41中间缝隙，通过设置刻度盘43，控制内孔45与喷头底盖通孔46的重合度来控制出液量，当抛光液滴定位置和抛光头l中心位置不处于抛光盘26上同一圆环上时，说明滴定位置和抛光头l抛光中心位置不统一，达不到最佳滴定效果，此时转动刻度盘，使刻度盘43从一组刻度旋转到另一组，实现滴定位置的变化，以进液轴38为中心，可实现滴定位置向内或者向外偏移，因共有八个喷头底盖通孔46，与之配合的内孔45只有四个，所以可以分别向内、向外调节四个位置(滴液喷头组件37的八个喷头底盖通孔46的排列方向与抛光盘26径向方向一致，在一条直线上，抛光盘26圆心为内，边缘为外)，当从内向外(或由外向内)跨过进液轴38中心转换时，需要刻度盘43旋转180度。当需要调整滴定流量时见图7所示，刻度盘43上共有四组刻度，不同组刻度对应不同滴液位置，同组刻度改变滴定流量大小。同组刻度内有三条刻度线，从右往左分别对应小流量、中流量、大流量三种流况，正常滴定状态时中流量刻度线与喷头底盖42上刻度标线43-1重合，此时表示中流量滴定，当抛光过程不需要抛光盘26较大转速时，为避免造成抛光液较大浪费，旋转喷头阀片41，使小流量刻度线与刻度标线43-1重合，即调整为小流量滴定，同理当需要抛光盘26转速较高进行抛光时，为保证足够的抛光液与工件1-2接触进行抛光，将大流量刻度线与刻度标线43-1重合，实现大流量滴定。通过旋转跨越大组刻度和组内刻度线进行细微调节，即可实现滴定位置和流量的双重控制，高效节能。

本发明所涉及的抛光装置中两丝杠垂直***抛光头外壳中，底端被丝杠底盖通过螺钉固定限制，两者通过垫片和丝杠轴承间接接触，螺母固接于升降盖之中，通过平键连接，上端装有用螺钉旋入升降盖的法兰盖，升降盖底端焊接有均布的六个拉伸弹簧挂接副，在抛光头外壳对应位置打有六个通孔，拉伸弹簧一端挂接于拉伸弹簧挂接副，同时穿过通孔，另一端挂接于拉伸弹簧下接盘，内部通孔***设有双层弹簧限位管，主弹簧竖直放置于双层弹簧限位管中间，底端与拉伸弹簧下接盘上表面相接触，内滑块顶端设有与双层弹簧限位管相对应的六个大型弹簧限位管，两者嵌套连接，内滑块底部设有均布的十个小型弹簧限位管，管内装支撑弹簧。拉伸弹簧下接盘固接于大型弹簧限位底面，使拉伸弹簧、升降盖、内滑块成一体，内滑块内部装有均布的三个电推杆，卡爪螺旋套在电推杆头部，电推杆尾部延伸至滑块翼内部，通过电动推杆装夹载片盘，载片盘上粘黏工件，工件受到抛光垫上的反作用力随着内滑块在支撑弹簧和主弹簧的挤压下做上下浮动，靠近卡爪下方设置有位移传感器，通过检测内滑块纵向跳动来反馈电机，带动丝杠旋转，抛光头底部通过底部螺旋盖旋紧固定，底部螺旋盖上部设有十个与小型弹簧限位管相互对应的中型弹簧限位管，两者抛光过程中嵌套在一起。抛光头中通过三组弹簧、内滑块和丝杠螺母机构将抛光过程中工件与抛光盘的固定间距变成随切削力大小实时变化的可变间距，避免切削过程存在的大颗粒对工件造成严重划痕。

抛光盘设有交错环形集液槽，收集到的抛光液通过集液通孔流入抛光液收集罩，抛光液收集罩内壁设有螺旋剑齿纹，通过延长抛光液流通路径来达到对杂质沉淀过滤作用，底端设有开口过滤网，对抛光液起到双重过滤作用，下连接回收液支管，回收液支管直插进入主管道，主管道下部设有单向阀，上部设有压力泵，压力泵上方设有伸缩杆，管道末端接有滴液喷头。滴液喷头包含锁紧盖、喷头上盖、喷头阀片和喷头底盖，四者从上向下顺次穿过进液轴竖直安装，喷头阀片内打有四条孔道，每条孔道末端开有竖直向下的内孔。喷头底盖开有竖直排列的八个等距通孔，通孔半径与内孔对应相等，内孔与喷头底盖上部接触处设有封闭环，滴液喷头既可以改变抛光液的滴落位置，又可以改变其滴落速度。通过旋转喷头阀片来改变内孔与八个喷头底盖通孔的位置次序和重合度，从而改变滴液位置和滴液速度。

Claims (10)

1.一种自调节弹性节能抛光装置，由抛光头组件、抛光盘组件、滴液喷头组件和抛光液回收装置组成，所述抛光盘组件置于抛光液回收装置的抛光液收集罩中，所述抛光盘组件上部一侧设有抛光头组件，另一侧设有滴液喷头组件，其特征在于：所述抛光头组件包括丝杠驱动机构、弹性抛光机构以及电推杆夹具，所述丝杠驱动机构安装在升降盖和抛光头外壳之间，并通过升降盖带动内滑块上下移动，所述弹性抛光机构中的内滑块置于抛光头外壳内，并与抛光头外壳导向滑动连接，所述内滑块上端与抛光头外壳之间通过主弹簧连接，所述内滑块下端与抛光头外壳下部的底部螺旋盖之间通过支撑弹簧连接，所述内滑块上端与升降盖之间通过穿过抛光头外壳顶部的拉伸弹簧相连接；所述内滑块的下部分内设有均布的电推杆夹具，所述电推杆夹具中的电推杆通过卡爪装夹用于粘黏抛光工件的载片盘。

2.根据权利要求1所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述抛光头组件中的丝杠通过螺母、法兰盖和丝杠底盖固定在升降盖上，所述丝杠下端通过丝杠轴承与抛光头外壳连接，并用下端盖和螺栓轴向固定，所述丝杠上端通过联轴器连接异步电机。

3.根据权利要求1所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述内滑块的底端内装有位移传感器，所述位移传感器通过控制器连接异步电机。

4.根据权利要求1所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述内滑块的外圆柱上通过分布的滑块翼与抛光头外壳内部的滑槽相配连接；所述内滑块上下端分别设有大型弹簧限位管和小型弹簧限位管，大型弹簧限位管和小型弹簧限位管分别与抛光头外壳上的双层弹簧限位管和底部螺旋盖上的中型弹簧限位管嵌套配合，所述小型弹簧限位管内装有支撑弹簧，支撑弹簧两端分别与内滑块和底部螺旋盖接触连接，大型弹簧限位管内装有主弹簧，主弹簧两端分别与抛光头外壳和内滑块的大型弹簧限位管底部中的拉伸弹簧下接盘接触连接。

5.根据权利要求1所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述卡爪呈弧形，并通过螺纹旋入电推杆内，并能随装夹不同形状的载片盘或工件来更换卡爪的类型。

6.根据权利要求1所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述抛光盘组件中的抛光盘主轴通过抛光盘轴承与抛光液收集罩连接；所述抛光盘上设有集液槽和集液通孔，用于收集遗留在抛光盘上的抛光液。

7.根据权利要求5所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述抛光液收集罩通过卡接套直接套在抛光盘主轴上的抛光盘轴承上，所述抛光液收集罩的底部内壁上设有螺旋剑齿纹，底端设有过滤网。

8.根据权利要求5所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述抛光液收集罩底部通过回收液支管、压力泵和主管道连接至滴液喷头组件，所述主管道下端浸入全新抛光液中，所述主管道与回收液支管连接处下方设置单向阀，用于防止过滤后的抛光液向下流动污染新液。

9.根据权利要求1所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述滴液喷头组件包含进液轴、锁紧盖、喷头上盖、喷头阀片、喷头底盖、刻度盘、封闭环，所述进液轴通过螺纹与主管道连接，并通过锁紧盖与喷头上盖固定连接；所述喷头上盖与喷头底盖之间设有可旋转的喷头阀片，喷头阀片中设有多条连通进液轴底部的进液筛孔的孔道及内孔，喷头底盖上设有多个喷头底盖通孔，所述封闭环外套于内孔***，防止抛光液渗入喷头底盖与喷头阀片中间缝隙。

10.根据权利要求9所述的自调节弹性节能抛光装置，其特征在于：所述喷头阀片上设有刻度盘，通过刻度盘控制内孔与喷头底盖通孔的重合度来控制出液量；所述刻度盘上共有四组刻度，每组刻度内有三条刻度线，从右往左分别对应小流量、中流量、大流量三种流况。

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