CN112152582B - 离子源驱动电源的滤波电路及其滤波参数检测方法和装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种离子源驱动电源的滤波电路及其滤波参数检测方法和装置，所述离子源驱动电源的滤波电路为LC滤波电路，串联在离子源驱动电源与离子源负载之间，包括串联的电感和并联的滤波电容；所述滤波电路用于对所述离子源驱动电源输出的实时电流波形的高频振荡进行抑制，滤除所述实时电流波形中的高频振荡干扰信号。本申请提供的上述技术方案，通过采用高频滤波元件的LC滤波电路，串联电感器和并联滤波电容，在离子源驱动电源输出电源时，滤波电路可以保证离子源驱动电源输出平滑的直流电压，滤除离子源负载中不稳定导致的高频干扰，避免损坏电源。

Description

离子源驱动电源的滤波电路及其滤波参数检测方法和装置

技术领域

本申请涉及离子源技术领域，具体而言，本申请涉及一种离子源驱动电源的滤波电路，离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数检测方法和装置。

背景技术

离子源是一门用途广、类型多、涉及科学多、工艺技术性强、发展十分迅速的应用科学技术。以霍尔离子源为例，作为一种十分常用、简单耐用的离子源类型，多应用于薄膜沉积领域，光学部件的镀膜等。

离子源主要是由离子源驱动电源来提供电源，驱动电源向离子源负载施加电压电离气体来产生电离离子。但由于受真空度、气体量、气体种类、电离度以及中和器电源等影响，离子源的阻性会出现高频变化，由此驱动电源输出电流也随之产生高频变化，这些高频变化产生了能量较大的高频干扰，同时驱动电源为保持输出电压稳定高频调节电流脉冲波形的幅度占空比，输出电流波形就会出现高频无规律振荡，当高频振荡的频率超过驱动电源极限时，就会导致输出电压极不稳定，严重时甚至会损坏驱动电源。

发明内容

本申请的目的旨在解决上述的技术缺陷之一，提供一种离子源驱动电源的滤波电路，离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数检测方法和装置，以确保驱动电源输出电压稳定，保障驱动电源安全。

为了实现上述目的，本申请提供以下技术方案：

本申请提供一种离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数检测方法，用于检测离子源驱动电源的LC滤波电路的滤波参数，其中，所述LC滤波电路串联在离子源驱动电源与离子源负载之间，包括电感和滤波电容；

所述方法包括：

将接入所述LC滤波电路中的所述电感的电感值调整至预定值，并控制所述离子源驱动电源通过所述LC滤波电路向离子源负载进行供电；

检测所述离子源驱动电源输出的实时电流波形，并获取所述实时电流波形的高频振荡；

对所述电感的电感值进行微调，持续监测所述离子源驱动电源输出的实时电流波形的高频振荡；

当所述实时电流波形的高频振荡达到指定状态时，记录所述电感对应的电感量，并根据所述电感量确定LC滤波电路的滤波参数。

在一个实施例中，所述的离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数检测方法，还包括：

控制所述离子源负载工作在不同的负载段，依次检测并记录各个负载段对应检测得到的LC滤波电路的电感量；

根据各个负载段对应的电感量计算电感量均值，根据所述电感量均值确定LC滤波电路的滤波参数。

在一个实施例中，所述指定状态包括：所述实时电流波形的高频振荡达到安全范围内；

所述当所述实时电流波形的高频振荡达到指定状态时，记录所述电感对应的电感量，包括：

将所述实时电流波形与基准电流波形进行比对；当所述实时电流波形的高频振荡保持在所述基准电流波形的设定变化范围内时，记录所述电感对应的电感量。

本申请的上述技术方案，通过将接入LC滤波电路中电感的电感值调整至预定值，控制离子源驱动电源通过LC滤波电路向离子源负载进行供电；检测离子源驱动电源输出的实时电流波形以获取高频振荡；通过对电感的电感值进行微调，持续监测离子源驱动电源输出的实时电流波形的高频振荡，直至高频振荡达到指定状态时得到对应的电感量确定LC滤波电路的滤波参数。该技术方案为离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数设计提供了检测方案，使得可以准确地检测出任意离子源负载工作状态下离子源驱动电源的滤波电路所需要的滤波参数。

本申请还提供一种离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数检测装置，用于检测离子源驱动电源的LC滤波电路的滤波参数，所述装置包括：电流波形检测电路，控制电路以及可调电感LC滤波电路；

所述电流波形检测电路连接所述离子源驱动电源，所述控制电路分别连接所述电流波形检测电路和可调电感LC滤波电路；所述可调电感LC滤波电路连接在离子源驱动电源与离子源负载之间；

所述电流波形检测电路检测所述离子源驱动电源通过所述可调电感LC滤波电路向离子源负载进行供电时的实时电流波形，并将所述实时电流波形发送至所述控制电路；

所述控制电路监测所述实时电流波形的高频振荡，输出控制信号至所述可调电感LC滤波电路调整接入可调电感LC滤波电路的电感量，以及确定所述实时电流波形的高频振荡达到指定状态；依据可调电感LC滤波电路接入的电感量得到滤波参数。

在一个实施例中，所述可调电感LC滤波电路包括电容单元、电感单元以及继电器单元，所述电感单元通过所述继电器单元接入可调电感LC滤波电路；

所述控制电路输出开关控制信号至所述继电器单元，控制接入所述可调电感LC滤波电路的电感量；

所述电感单元包括多个串联连接的电感，所述继电器单元包括继电器开关阵列，其中，每个电感通过一个继电器开关连接至所述离子源负载；

所述控制电路输出开关控制信号至各个继电器开关，控制所述继电器开关的导通或断开以接入或断开相应的电感。

本申请提供的上述技术方案，通过设计了包括电流波形检测电路，控制电路以及可调电感LC滤波电路的检测装置；通过电流波形检测离子源驱动电源通过可调电感LC滤波电路向离子源负载进行供电时的实时电流波形，控制电路监测所述实时电流波形的高频振荡，输出控制信号至可调电感LC滤波电路调整接入可调电感LC滤波电路的电感量，以及确定实时电流波形的高频振荡达到指定状态时可调电感LC滤波电路接入的电感量。该技术方案为离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数的检测方案提供了硬件设计方案，通过该检测装置可以准确地检测出任意离子源负载工作状态下离子源驱动电源的滤波电路所需要的滤波参数。

一种离子源驱动电源的滤波电路，所述滤波电路为LC滤波电路，串联在离子源驱动电源与离子源负载之间，包括串联的电感和并联的滤波电容；

所述滤波电路用于对所述离子源驱动电源输出的实时电流波形的高频振荡进行抑制，滤除所述实时电流波形中的高频振荡干扰信号。

在一个实施例中，所述滤波电路为可调电感LC滤波电路；

所述可调电感LC滤波电路包括电容单元、电感单元以及开关单元，所述电感单元通过所述开关单元接入可调电感LC滤波电路；

所述控制电路输出开关控制信号至所述开关单元，控制接入所述可调电感LC滤波电路的电感量。

在一个实施例中，所述电感单元包括多个串联连接的电感，所述开关单元包括开关阵列，其中，每个电感通过一个开关连接至所述离子源负载。

在一个实施例中，所述的离子源驱动电源的滤波电路还包括：电流波形检测电路，控制电路；所述开关为继电器开关；

所述电流波形检测电路连接所述离子源驱动电源，所述控制电路分别连接所述电流波形检测电路和可调电感LC滤波电路；

所述电流波形检测电路检测离子源驱动电源输出的所述实时电流波形，并发送至所述控制电路；

所述控制电路根据所述实时电流波形输出开关控制信号至各个继电器开关，控制所述继电器开关的导通或断开以接入或断开相应的电感，调整接入所述可调电感LC滤波电路的电感量。

在一个实施例中，所述控制电路中存储有基准电流波形；

所述控制电路还将所述实时电流波形与所述基准电流波形进行比对，控制所述实时电流波形的高频振荡保持在所述基准电流波形的设定变化范围内。

本申请提供的上述技术方案，通过采用高频滤波元件的LC滤波电路，串联电感器和并联滤波电容，在离子源驱动电源输出电源时，滤波电路可以保证离子源驱动电源输出平滑的直流电压，滤除离子源负载中不稳定导致的高频干扰，避免损坏电源。

进一步的，通过设计可调电感LC滤波电路，利用开关单元选通接入可调电感LC滤波电路的电感量，从而可以实现对离子源负载工作在不同负载段下离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数，能够进一步保证驱动电源输出电压稳定，保障驱动电源安全。

更进一步地，设计了电流波形检测电路和控制电路，并采用继电器开关进行控制；由电流波形检测电路检测离子源驱动电源输出的实时电流波形，控制电路根据实时电流波形输出开关控制信号至各个继电器开关，控制继电器开关的导通或断开调整接入可调电感LC滤波电路的电感量；进一步将实时电流波形与基准电流波形进行比对，控制实时电流波形的高频振荡保持在基准电流波形的设定变化范围内。该技术方案实现了自动化调整，使得离子源驱动电源输出电压始终保持稳定状态，保障驱动电源安全。

本申请附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。

附图说明

本申请上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是一个实施例的离子源驱动电源的滤波电路结构示意图；

图2是另一个实施例的离子源驱动电源的滤波电路；

图3是又一个实施例的离子源驱动电源的滤波电路结构示意图；

图4是一个实施例的离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数检测方法流程图。

具体实施方式

下面详细描述本申请的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本申请，而不能解释为对本申请的限制。

本技术领域技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本申请的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作。

本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)，具有与本申请所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语，应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样被特定定义，否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。

参考图1所示，图1是一个实施例的离子源驱动电源的滤波电路结构示意图。如图中，本申请提供的滤波电路为LC滤波电路，该LC滤波电路串联在离子源驱动电源与离子源负载之间，包括串联的电感和并联的滤波电容；

所述滤波电路用于对所述离子源驱动电源输出的实时电流波形的高频振荡进行抑制，滤除所述实时电流波形中的高频振荡干扰信号。

图1中所示的LC滤波电路，可以采用高频滤波元件，串联电感器和并联滤波电容，在离子源驱动电源输出电源时，滤波电路可以保证离子源驱动电源输出平滑的直流电压，滤除离子源负载中不稳定导致的高频干扰，避免损坏电源。

作为实施例，LC滤波电路的滤波电容包括电容C1、电容C2、电容C3和电容C4；优选的，电容C1采用有极性电容，电容C2-C4采用无极性电容。由此，电容C1可以起到良好的隔直流等作用，电容C2-C4可以对滤波电路中的高频振荡进行有效滤波。

基于上述方案提供的滤波电路，由于离子源负载自身存在严重的不稳定性，因此无法通过常规的方式去计算固定的滤波电路的电感量，对于滤波电路的滤波参数则无法计算情况下，为了消除驱动电源输出电流波形高频振荡消除或将其安全调整变化内，需要准确地检测到滤波参数并设计相应滤波电路。

在一个实施例中，参考图2，图2是另一个实施例的离子源驱动电源的滤波电路，如图2中，所述滤波电路为可调电感LC滤波电路；所述可调电感LC滤波电路包括电容单元、电感单元以及开关单元，所述电感单元通过所述开关单元接入可调电感LC滤波电路。

所述控制电路输出开关控制信号至所述开关单元，控制接入所述可调电感LC滤波电路的电感量。如图2中，电感单元可以包括串联的电感L1、电感L2、电感L3和电感L4；对应连接继电器开关K1、继电器开关K2、继电器开关K3和继电器开关K4；具体的，在离子源驱动电源通过可调电感LC滤波电路向离子源负载供电时，可以控制继电器开关K1、K2、K3和K4的组合导通，最终将电感L1、L2、L3和L4四个电感组合串联、并联得到13种不同大小电感量，对电感量进行自动微调，控制实时电流波形的高频振荡保持在所述基准电流波形的设定变化范围内。

上述实施例的技术方案，通过可调电感LC滤波电路，利用开关单元选通接入可调电感LC滤波电路的电感量，从而可以实现对离子源负载工作在不同负载段下离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数，能够进一步保证驱动电源输出电压稳定，保障驱动电源安全。

进一步的，所述电感单元包括多个串联连接的电感，所述开关单元包括开关阵列，其中，每个电感通过一个开关连接至所述离子源负载。

上述实施例的方案，通过开关阵列，可以在多个串联的电感中选择导通或者断开的开关组合，从而可以获得所需的电感量，实现动态调整的目的，适应于不同高频振荡情况下，有效滤除高频干扰。

在一个实施例中，参考图3，图3是又一个实施例的离子源驱动电源的滤波电路结构示意图。如该图示，离子源驱动电源的滤波电路包括：电流波形检测电路，控制电路和可调电感LC滤波电路；其中开关采用继电器开关；

所述电流波形检测电路连接所述离子源驱动电源，所述控制电路分别连接所述电流波形检测电路和可调电感LC滤波电路。

所述电流波形检测电路检测离子源驱动电源输出的所述实时电流波形，并发送至所述控制电路；所述控制电路根据所述实时电流波形输出开关控制信号至各个继电器开关，控制所述继电器开关的导通或断开以接入或断开相应的电感，调整接入所述可调电感LC滤波电路的电感量。如图3中，LC滤波电路的滤波电容包括电容C1、电容C2、电容C3和电容C4；电感单元包括串联的电感L1、电感L2、电感L3和电感L4；对应连接继电器开关K1、继电器开关K2、继电器开关K3和继电器开关K4；作为实施例，在离子源驱动电源通过可调电感LC滤波电路向离子源负载供电时，电流波形检测电路实时检测离子源驱动电源输出的实时电流波形，控制电路中存储有基准电流波形，将实时电流波形与基准电流波形进行比对，输出控制信号分别控制继电器开关K1、K2、K3和K4的组合导通，最终将电感L1、L2、L3和L4四个电感组合串联、并联得到13种不同大小电感量，对电感量进行自动微调，控制实时电流波形的高频振荡保持在所述基准电流波形的设定变化范围内。一般情况下高频振荡的频率高则增加电感量，反之减小电感量。

上述实施例的方案，设计了电流波形检测电路和控制电路，并采用继电器开关进行控制；由电流波形检测电路检测离子源驱动电源输出的实时电流波形，控制电路根据实时电流波形输出开关控制信号至各个继电器开关，控制继电器开关的导通或断开调整接入可调电感LC滤波电路的电感量；进一步将实时电流波形与基准电流波形进行比对，控制实时电流波形的高频振荡保持在基准电流波形的设定变化范围内。该技术方案实现了自动化调整，使得离子源驱动电源输出电压始终保持稳定状态，保障驱动电源安全。

综合上述各个实施例，本申请利用了LC滤波电路，通过电容具有“阻直流，通交流”的特性以及电感则有“通直流，阻交流，通低频，阻高频”的功能特性，设计了多种离子源驱动电源的滤波电路的方案，滤除了离子源驱动电源中的大部分高频干扰信号，剩下的大部分高频干扰被电容旁路到地，从而实现了抑制干扰信号的作用，由此获得比较纯净的直流电流。同时，本申请设计滤波电路还可以利用滤波电路的电感储能特性给负载提供瞬间能量辅助电源瞬时供电，从而可以消除或减小离子源驱动电源适应离子源负载引起电流波形无规律高频振荡现象，保证离子源驱动电源工作在安全调整范围内。

下面阐述本申请离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数检测方法的实施例。

参考图4，图4是一个实施例的离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数检测方法流程图。该方法可以用于检测离子源驱动电源的LC滤波电路的滤波参数，其中，所述LC滤波电路串联在离子源驱动电源与离子源负载之间，包括电感和滤波电容；

所述方法包括：

S110，将接入所述LC滤波电路中的所述电感的电感值调整至预定值，并控制所述离子源驱动电源通过所述LC滤波电路向离子源负载进行供电；

S120，检测所述离子源驱动电源输出的实时电流波形，并获取所述实时电流波形的高频振荡；

S130，对所述电感的电感值进行微调，持续监测所述离子源驱动电源输出的实时电流波形的高频振荡；

S140，当所述实时电流波形的高频振荡达到指定状态时，记录所述电感对应的电感量，并根据所述电感量确定LC滤波电路的滤波参数。

在一个实施例中，在步骤S140中，还可以控制所述离子源负载工作在不同的负载段，依次检测并记录各个负载段对应检测得到的LC滤波电路的电感量；然后根据各个负载段对应的电感量计算电感量均值，根据所述电感量均值确定LC滤波电路的滤波参数。

在一个实施例中，对于所述指定状态，可以包括所述实时电流波形的高频振荡消除，或者所述实时电流波形的高频振荡达到安全范围内。

在一个实施例中，在步骤S140中检测实时电流波形的高频振荡达到指定状态时，可以将所述实时电流波形与基准电流波形进行比对；当所述实时电流波形的高频振荡保持在所述基准电流波形的设定变化范围内时，记录所述电感对应的电感量。

优选地，在对实时电流波形与基准电流波形进行比对时，可以通过示波器检测所述离子源驱动电源输出的实时电流波形，并实时显示所述实时电流波形。

上述实施例的技术方案，针对于无法准确计算离子源负载不稳定的规律和相关数值的缺陷，根据不同离子源驱动电源测得的实时电流波形无规律振荡的情况，预设电感值接入滤波电路，然后对滤波电路的电感量进行微调，监测到离子源驱动电源输出的实时电流波形的高频振荡消除或在安全调整变化内，并在各负载段重复检测微调滤波电路的电感量，最终计算滤波电路的平均电感值得到滤波参数。

下面阐述离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数检测装置实施例。

继续参考图3，本申请提供的离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数检测装置可以包括电流波形检测电路，控制电路以及可调电感LC滤波电路；该检测装置用于检测离子源驱动电源的LC滤波电路的滤波参数。

所述电流波形检测电路连接所述离子源驱动电源，所述控制电路分别连接所述电流波形检测电路和可调电感LC滤波电路；所述可调电感LC滤波电路连接在离子源驱动电源与离子源负载之间；

所述电流波形检测电路检测所述离子源驱动电源通过所述可调电感LC滤波电路向离子源负载进行供电时的实时电流波形，并将所述实时电流波形发送至所述控制电路；

所述控制电路监测所述实时电流波形的高频振荡，输出控制信号至所述可调电感LC滤波电路调整接入可调电感LC滤波电路的电感量，以及确定所述实时电流波形的高频振荡达到指定状态；依据可调电感LC滤波电路接入的电感量得到滤波参数。

在一个实施例中，如图3所示，所述可调电感LC滤波电路包括电容单元、电感单元以及继电器单元，所述电感单元通过所述继电器单元接入可调电感LC滤波电路；所述控制电路输出开关控制信号至所述继电器单元，控制接入所述可调电感LC滤波电路的电感量。

进一步的，所述电感单元包括多个串联连接的电感，所述继电器单元包括继电器开关阵列，其中，每个电感通过一个继电器开关连接至所述离子源负载；所述控制电路输出开关控制信号至各个继电器开关，控制所述继电器开关的导通或断开以接入或断开相应的电感。

在一个实施例中，所述控制电路中还可以存储有基准电流波形；所述控制电路还将所述实时电流波形与所述基准电流波形进行比对，确定所述实时电流波形的高频振荡是否保持在所述基准电流波形的设定变化范围内。

上述实施例的技术方案，为离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数的检测方案提供了硬件设计方案，通过该检测装置可以准确地检测出任意离子源负载工作状态下离子源驱动电源的滤波电路所需要的滤波参数。

以上所述仅是本申请的部分实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims (9)

1.一种离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数检测方法，其特征在于，用于检测离子源驱动电源的LC滤波电路的滤波参数，其中，所述LC滤波电路串联在离子源驱动电源与离子源负载之间，包括串联连接的电感和并联连接的滤波电容，所述滤波电容包括有极性电容、无极性电容；

所述方法包括：

将接入所述LC滤波电路中的所述电感的电感值调整至预定值，并控制所述离子源驱动电源通过所述LC滤波电路向离子源负载进行供电；

检测所述离子源驱动电源输出的实时电流波形，并获取所述实时电流波形的高频振荡；

根据所述高频振荡与基准电流波形的偏差对所述电感的电感值进行微调，持续监测所述离子源驱动电源输出的实时电流波形的高频振荡；

当所述实时电流波形的高频振荡达到指定状态时，记录所述电感对应的电感量，并根据所述电感量确定LC滤波电路的滤波参数，包括：控制所述离子源负载工作在不同的负载段，依次检测并记录各个负载段对应检测得到的LC滤波电路的电感量；根据各个负载段对应的电感量计算电感量均值，根据所述电感量均值确定LC滤波电路的滤波参数，所述指定状态包括所述实时电流波形的高频振荡保持在所述基准电流波形的设定变化范围内或所述高频振荡消除。

2.根据权利要求1所述的离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数检测方法，其特征在于，所述指定状态包括：所述实时电流波形的高频振荡达到安全范围内；

所述当所述实时电流波形的高频振荡达到指定状态时，记录所述电感对应的电感量，包括：

将所述实时电流波形与基准电流波形进行比对；当所述实时电流波形的高频振荡保持在所述基准电流波形的设定变化范围内时，记录所述电感对应的电感量。

3.一种离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数检测装置，其特征在于，用于检测离子源驱动电源的LC滤波电路的滤波参数，所述装置包括：电流波形检测电路，控制电路以及可调电感LC滤波电路，所述可调电感LC滤波电路包括串联连接的电感和并联连接的滤波电容，所述滤波电容包括有极性电容、无极性电容；

所述电流波形检测电路连接所述离子源驱动电源，所述控制电路分别连接所述电流波形检测电路和可调电感LC滤波电路；所述可调电感LC滤波电路连接在离子源驱动电源与离子源负载之间；

所述电流波形检测电路检测所述离子源驱动电源通过所述可调电感LC滤波电路向离子源负载进行供电时的实时电流波形，并将所述实时电流波形发送至所述控制电路；

所述控制电路监测所述实时电流波形的高频振荡，根据所述高频振荡与基准电流波形的偏差输出控制信号至所述可调电感LC滤波电路调整接入可调电感LC滤波电路的电感量，以及确定所述实时电流波形的高频振荡达到指定状态；依据可调电感LC滤波电路接入的电感量得到滤波参数，包括：控制所述离子源负载工作在不同的负载段，依次检测并记录各个负载段对应检测得到的可调电感LC滤波电路的电感量；根据各个负载段对应的电感量计算电感量均值，根据所述电感量均值确定可调电感LC滤波电路的滤波参数，所述指定状态包括所述实时电流波形的高频振荡保持在所述基准电流波形的设定变化范围内或所述高频振荡消除。

4.根据权利要求3所述的离子源驱动电源的滤波电路的滤波参数检测装置，其特征在于，所述可调电感LC滤波电路包括电容单元、电感单元以及继电器单元，所述电感单元通过所述继电器单元接入可调电感LC滤波电路；

所述控制电路输出开关控制信号至所述继电器单元，控制接入所述可调电感LC滤波电路的电感量；

所述电感单元包括多个串联连接的电感，所述继电器单元包括继电器开关阵列，其中，每个电感通过一个继电器开关连接至所述离子源负载；

所述控制电路输出开关控制信号至各个继电器开关，控制所述继电器开关的导通或断开以接入或断开相应的电感。

5.一种离子源驱动电源的滤波电路，其特征在于，所述滤波电路为LC滤波电路，串联在离子源驱动电源与离子源负载之间，包括串联的电感和并联的滤波电容，通过所述LC滤波电路实现如权利要求1或2所述的滤波参数检测方法；

所述滤波电路用于对所述离子源驱动电源输出的实时电流波形的高频振荡进行抑制，滤除所述实时电流波形中的高频振荡干扰信号。

6.根据权利要求5所述的离子源驱动电源的滤波电路，其特征在于，所述滤波电路为可调电感LC滤波电路；

所述可调电感LC滤波电路包括电容单元、电感单元以及开关单元，所述电感单元通过所述开关单元接入可调电感LC滤波电路；

控制电路输出开关控制信号至所述开关单元，控制接入所述可调电感LC滤波电路的电感量。

7.根据权利要求6所述的离子源驱动电源的滤波电路，其特征在于，所述电感单元包括多个串联连接的电感，所述开关单元包括开关阵列，其中，每个电感通过一个开关连接至所述离子源负载。

8.根据权利要求7所述的离子源驱动电源的滤波电路，其特征在于，还包括：电流波形检测电路，控制电路；所述开关为继电器开关；

所述电流波形检测电路连接所述离子源驱动电源，所述控制电路分别连接所述电流波形检测电路和可调电感LC滤波电路；

所述电流波形检测电路检测离子源驱动电源输出的所述实时电流波形，并发送至所述控制电路；

所述控制电路根据所述实时电流波形输出开关控制信号至各个继电器开关，控制所述继电器开关的导通或断开以接入或断开相应的电感，调整接入所述可调电感LC滤波电路的电感量。

9.根据权利要求8所述的离子源驱动电源的滤波电路，其特征在于，所述控制电路中存储有基准电流波形；

所述控制电路还将所述实时电流波形与所述基准电流波形进行比对，控制所述实时电流波形的高频振荡保持在所述基准电流波形的设定变化范围内。