CN112025506A - 一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法 - Google Patents

一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及硅片打磨装置技术领域,且公开了一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法,包括工作板,所述工作板顶部的左右两侧均固定连接有安装板,两个安装板的顶部固定连接有横板,横板的顶部开设有五个通孔。本发明解决了现在的硅片在进行打磨的时候,不能够稳定的进行打磨,同时在打磨过程中往往会存在打磨力度调整不均会损坏硅片,会导致硅片在加工的时候,成品率降低的问题。本发明通过拉升机构的电机B工作,使得转轴B转动,转筒旋转,并且带动两侧的绳索移动,使得绳索另一端的环形底座向上可以稳定的移动,便于进行打磨,使得打磨更为稳定,方便进行使用,也保护了硅片在打磨时候不会被碎坏,提高的打磨硅片的稳定性。

Description

一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法
本申请是申请日为2018年4月11日,申请号为CN 201810318096.4,发明名称为一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置的分案申请。
技术领域
本发明涉及硅片打磨装置技术领域,具体为一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法。
背景技术
光伏:是太阳能光伏发电***的简称,是一种利用太阳电池半导体材料的光伏效应,将太阳光辐射能直接转换为电能的一种新型发电***,有独立运行和并网运行两种方式。而地壳中含量达25.8%的硅元素,为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一,对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言,储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。
但是现在的硅片加工的时候需要进行打磨设置,而现在的硅片在进行打磨的时候,不能够稳定的进行打磨,同时在打磨过程中往往会存在打磨力度调整不均会损坏硅片,会导致硅片在加工的时候,成品率降低,不利于成为光伏的主要材料。
发明内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本发明提供了一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法,解决了现在的硅片在进行打磨的时候,不能够稳定的进行打磨,同时在打磨过程中往往会存在打磨力度调整不均会损坏硅片,会导致硅片在加工的时候,成品率降低的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法,包括工作板,所述工作板顶部的左右两侧均固定连接有安装板,两个安装板的顶部固定连接有横板,横板的顶部开设有五个通孔,通孔的内部设置有移动打磨机构,横板的顶部的左右两侧均固定连接有侧板,两个侧板相互靠近的一侧设置有稳固机构,两个侧板的顶部设置有拉升机构,横板和工作板的右侧固定连接有固定板,固定板的右侧固定连接有把手,把手的表面上套接有橡胶条,工作板底部的左右两侧均固定连接有万向轮,万向轮的表面上设置有轮刹,工作板的顶部设置有位于两个安装板之间的放置机构。
优选的,所述移动打磨机构包括竖杆,竖杆的数量为五个,且相对应的竖杆的底部贯穿通孔并固定连接有U型卡块,U型卡块的内壁的底部固定连接有伺服电机A,伺服电机A底部的输出端固定连接有转轴A,转轴A的底部固定连接有打磨刀具,五个竖杆的顶部固定连接有长杆,且长杆的底部固定连接有位于相邻两个竖杆之间的伸缩弹簧A,伸缩弹簧A的底部与横板之间固定连接,通过设置伸缩弹簧A,利用伸缩弹簧A的弹性作用,使得竖杆上下移动时,伸缩弹簧A压缩或者复位,并且给长杆一推力,从而保护了硅片在打磨时候不会被碎坏,提高的打磨硅片的稳定性,长杆顶部的左右两侧均固定连接有环形底座,两个环形底座之间以长杆的中垂线为对称轴对称设置,通过设置移动打磨机构、竖杆、U型卡块、伺服电机A、转轴A、打磨刀具、长杆、环形底座,通过竖杆在拉升机构的作用下上下移动,使得竖杆下方的打磨刀具可以改变与硅片之间的间距,并且便于打磨硅片,使得硅片打磨的时候更加稳定,同时在向上移动时也不妨碍下一步的工序,提高了硅片打磨的工作效率,并且也提高了硅片的成品率。
优选的,所述稳固机构包括U型卡板,U型卡板的数量为两个,且两个U型卡板相靠近的一侧均与长杆之间固定连接,U型卡板内壁的两侧之间活动连接有转轴C,转轴C的表面上固定连接有齿轮,齿轮远离长杆的一侧啮合有齿板,齿板的远离齿轮一侧与侧板之间固定连接,通过设置稳固机构、U型卡板、转轴C、齿轮、齿板,在拉升机构的作用下,使得长杆上下移动,从而使得齿轮在齿板上移动,使得该打磨装置在工作的时候,不会向左右偏移,便于进行打磨,使得打磨更为稳定,方便进行使用,也保护了硅片在打磨时候不会被碎坏,提高的打磨硅片的稳定性。
优选的,拉升机构包括顶板,顶板的左右两侧固定连接有定滑轮,顶板顶部的中心处固定连接有两个卡紧板,两个卡紧板之间固定连接有电机B,电机B底部的输出端固定连接有转轴B,转轴B的表面上固定连接有转筒,转筒的左右两侧均固定连接有绳索,绳索的另一端通过最近的定滑轮贯穿顶板并与环形底座之间固定连接,转轴B的底部贯穿顶板并固定连接有扇叶外壳,扇叶外壳内壁的顶部和底部之间固定连接有四组空气流速倾斜板,且每组相邻的两个空气流速倾斜板之间固定连接有2-5个弹性水平杆,弹性水平杆具有弹性的作用,不会因为空气流动而导致空气流速倾斜板之间损坏,相邻的两个弹性水平杆之间距离相等,空气流速倾斜板与水平平面之间的角度Q1为75度,设置多个空气流速倾斜板,利用空气流动的原理,扇叶外壳在顺时针旋转的时候,空气从两个空气流速倾斜板之间穿过,并带动气流向下移动,可以对下方进行轻微的散热,或者逆时针旋转,气流向上进行散热,保证了电机B不会功耗而损坏机器,通过设置转轴B和扇叶外壳,使得在转轴B在转动的时候风扇可以微微转动,使得会有一丝微风,可以保证电器元件不会被烧坏,便于使用,使得该硅片打磨装置具有实用性增强的效果,通过设置拉升机构、顶板、定滑轮、卡紧板、电机B、转轴B、转筒、绳索、扇叶外壳,通过拉升机构的电机B工作,使得转轴B转动,转筒旋转,并且带动两侧的绳索移动,使得绳索另一端的环形底座向上可以稳定的移动,便于进行打磨,使得打磨更为稳定,方便进行使用,也保护了硅片在打磨时候不会被碎坏,提高的打磨硅片的稳定性。
优选的,所述放置机构包括连接底座,连接底座的顶部开设有五个槽口A,槽口A内壁的左右两侧均开设有槽口B,且槽口A位于打磨刀具的正下方,连接底座的顶部螺纹连接有位于槽口A左右两侧的定位螺栓,通过设置连接底座、槽口A、槽口B、定位螺栓,使得硅片可以通过槽口B处***,并且通过两侧的定位螺栓固定,使得在工作的时候,打磨刀具可以从槽口A进入并进行打磨,使得硅片不易移动,并且便于进行打磨,使得打磨更为稳定,方便进行使用,提高了硅片打磨的工作效率,并且也提高了硅片的成品率。
优选的,所述齿轮和齿板之间相互适配,通过设置齿板和齿轮,相互适配的齿板和齿轮,使得齿轮在转动的时候,契合并且不会发生卡住的现象。
优选的,所述转筒(706)的侧面为凹面设置,且转筒(706)的凹面处固定连接有30-40个圆锥形凸起(711),且每组圆锥形凸起(711)之间呈环形设置,通过设置转筒,凹面设置使得绳索在缠绕的时候不易掉落,并且不会发生卡住的现象,设置圆锥形凸起(711),多个圆锥形凸起(711)可以限制绳索不会脱离,避免了发生二次卡住的现象。
优选的,所述绳索为细钢丝绳,通过设置绳索,细钢丝绳的绳索保证了绳索的韧性,并且不易损坏,便于硅片加工的正常运行。
优选的,所述扇叶外壳的数量为四个,并且四个扇叶外壳之间以转轴B底部的中心处为对称中心对称设置。
工作原理:拉升机构的电机B工作,使得转轴B转动,转筒旋转,并且带动两侧的绳索移动,使得绳索另一端的环形底座向上可以稳定的移动硅片可以通过槽口B处***,并且通过两侧的定位螺栓固定,使得在工作的时候,打磨刀具可以从槽口A进入并进行打磨,使得硅片不易移动,同时拉升机构的电机B反向工作,并利用伸缩弹簧A的弹性作用,得竖杆向下移动时,伸缩弹簧A复位,并且给长杆一推力,在拉升机构的作用下,使得长杆上下移动,从而使得齿轮在齿板上移动,使得该打磨装置在工作的时候,不会向左右偏移,并且通过竖杆在拉升机构的作用下上下移动,使得竖杆下方的打磨刀具可以改变与硅片之间的间距,并且便于打磨硅片,使得硅片打磨的时候更加稳定,同时在向上移动时也不妨碍下一步的工序,提高了硅片打磨的工作效率,并且也提高了硅片的成品率。
(三)有益效果
本发明提供了一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法。具备以下有益效果:
(1)、本发明通过设置拉升机构、顶板、定滑轮、卡紧板、电机B、转轴B、转筒、绳索、扇叶外壳,通过拉升机构的电机B工作,使得转轴B转动,转筒旋转,并且带动两侧的绳索移动,使得绳索另一端的环形底座向上可以稳定的移动,便于进行打磨,使得打磨更为稳定,方便进行使用,也保护了硅片在打磨时候不会被碎坏,提高的打磨硅片的稳定性。
(2)、本发明通过设置移动打磨机构、竖杆、U型卡块、伺服电机A、转轴A、打磨刀具、长杆、环形底座,通过竖杆在拉升机构的作用下上下移动,使得竖杆下方的打磨刀具可以改变与硅片之间的间距,并且便于打磨硅片,使得硅片打磨的时候更加稳定,同时在向上移动时也不妨碍下一步的工序,提高了硅片打磨的工作效率,并且也提高了硅片的成品率。
(3)、本发明通过设置伸缩弹簧A,利用伸缩弹簧A的弹性作用,使得竖杆上下移动时,伸缩弹簧A压缩或者复位,并且给长杆一推力,从而保护了硅片在打磨时候不会被碎坏,提高的打磨硅片的稳定性。
(4)、本发明通过设置稳固机构、U型卡板、转轴C、齿轮、齿板,在拉升机构的作用下,使得长杆上下移动,从而使得齿轮在齿板上移动,使得该打磨装置在工作的时候,不会向左右偏移,便于进行打磨,使得打磨更为稳定,方便进行使用,也保护了硅片在打磨时候不会被碎坏,提高的打磨硅片的稳定性。
(5)、本发明通过设置转轴B和扇叶外壳,使得在转轴B在转动的时候风扇可以微微转动,使得会有一丝微风,可以保证电器元件不会被烧坏,便于使用,使得该硅片打磨装置具有实用性增强的效果。
(6)、本发明通过设置连接底座、槽口A、槽口B、定位螺栓,使得硅片可以通过槽口B处***,并且通过两侧的定位螺栓固定,使得在工作的时候,打磨刀具可以从槽口A进入并进行打磨,使得硅片不易移动,并且便于进行打磨,使得打磨更为稳定,方便进行使用,提高了硅片打磨的工作效率,并且也提高了硅片的成品率。
(7)、本发明通过设置绳索,细钢丝绳的绳索保证了绳索的韧性,并且不易损坏,便于硅片加工的正常运行。
(8)、本发明通过设置齿板和齿轮,相互适配的齿板和齿轮,使得齿轮在转动的时候,契合并且不会发生卡住的现象。
(9)、本发明通过设置转筒,凹面设置使得绳索在缠绕的时候不易掉落,并且不会发生卡住的现象。
(10)、设置多个空气流速倾斜板,利用空气流动的原理,扇叶外壳在顺时针旋转的时候,空气从两个空气流速倾斜板之间穿过,并带动气流向下移动,可以对下方进行轻微的散热,或者逆时针旋转,气流向上进行散热,保证了电机B不会功耗而损坏机器。
(11)、设置圆锥形凸起,多个圆锥形凸起可以限制绳索不会脱离,避免了发生二次卡住的现象。
附图说明
图1为本发明正面结构示意图;
图2为本发明移动打磨的机构结构示意图;
图3为本发明稳固机构的结构示意图;
图4为本发明拉升机构的结构示意图;
图5为本发明放置机构的结构示意图;
图6为本发明空气柳树倾斜板的立体结构示意图;
图7为图4中A处的放大图。
图中:1工作板、2安装板、3横板、4通孔、5移动打磨机构、501竖杆、502U型卡块、503伺服电机A、504转轴A、505打磨刀具、506长杆、507伸缩弹簧A、508环形底座、6稳固机构、601U型卡板、602转轴C、603齿轮、604齿板、7拉升机构、701顶板、702定滑轮、703卡紧板、704电机B、705转轴B、706转筒、707绳索、708扇叶外壳、709空气流速倾斜板、710弹性水平杆、711圆锥型凸起、8固定板、9把手、10万向轮、11轮刹、12放置机构、1201连接底座、1202槽口A、1203槽口B、1204定位螺栓、13侧板。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
如图1所示,本发明提供一种技术方案:一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法,包括工作板1,工作板1顶部的左右两侧均固定连接有安装板2,两个安装板2的顶部固定连接有横板3,横板3的顶部开设有五个通孔4,通孔4的内部设置有移动打磨机构5,横板3的顶部的左右两侧均固定连接有侧板13,两个侧板13相互靠近的一侧设置有稳固机构6,两个侧板13的顶部设置有拉升机构7,横板3和工作板1的右侧固定连接有固定板8,固定板8的右侧固定连接有把手9,把手9的表面上套接有橡胶条,工作板1底部的左右两侧均固定连接有万向轮10,万向轮10的表面上设置有轮刹11,工作板1的顶部设置有位于两个安装板2之间的放置机构12。
如图2所示,移动打磨机构5包括竖杆501,竖杆501的数量为五个,且相对应的竖杆501的底部贯穿通孔4并固定连接有U型卡块502,U型卡块502的内壁的底部固定连接有伺服电机A503,伺服电机A503底部的输出端固定连接有转轴A504,转轴A504的底部固定连接有打磨刀具505,五个竖杆501的顶部固定连接有长杆506,且长杆506的底部固定连接有位于相邻两个竖杆501之间的伸缩弹簧A507,伸缩弹簧A507的底部与横板3之间固定连接,通过设置伸缩弹簧A507,利用伸缩弹簧A507的弹性作用,使得竖杆501上下移动时,伸缩弹簧A507压缩或者复位,并且给长杆506一推力,从而保护了硅片在打磨时候不会被碎坏,提高的打磨硅片的稳定性,长杆506顶部的左右两侧均固定连接有环形底座508,两个环形底座508之间以长杆506的中垂线为对称轴对称设置,通过设置移动打磨机构5、竖杆501、U型卡块502、伺服电机A503、转轴A504、打磨刀具505、长杆506、环形底座508,通过竖杆501在拉升机构7的作用下上下移动,使得竖杆501下方的打磨刀具505可以改变与硅片之间的间距,并且便于打磨硅片,使得硅片打磨的时候更加稳定,同时在向上移动时也不妨碍下一步的工序,提高了硅片打磨的工作效率,并且也提高了硅片的成品率。
如图3所示,稳固机构6包括U型卡板601,U型卡板601的数量为两个,且两个U型卡板601相靠近的一侧均与长杆506之间固定连接,U型卡板601内壁的两侧之间活动连接有转轴C602,转轴C602的表面上固定连接有齿轮603,齿轮603远离长杆506的一侧啮合有齿板604,齿轮603和齿板604之间相互适配,通过设置齿板604和齿轮603,相互适配的齿板604和齿轮603,使得齿轮603在转动的时候,契合并且不会发生卡住的现象,齿板604的远离齿轮603一侧与侧板13之间固定连接,通过设置稳固机构6、U型卡板601、转轴C602、齿轮603、齿板604,在拉升机构7的作用下,使得长杆506上下移动,从而使得齿轮603在齿板604上移动,使得该打磨装置在工作的时候,不会向左右偏移,便于进行打磨,使得打磨更为稳定,方便进行使用,也保护了硅片在打磨时候不会被碎坏,提高的打磨硅片的稳定性。
如图4、6和7所示,拉升机构7包括顶板701,顶板701的左右两侧固定连接有定滑轮702,顶板701顶部的中心处固定连接有两个卡紧板703,两个卡紧板703之间固定连接有电机B704,电机B704底部的输出端固定连接有转轴B705,转轴B705的表面上固定连接有转筒706,转筒706的侧面为凹面设置,且转筒706的凹面处固定连接有30-40个圆锥形凸起711,且每组圆锥形凸起711之间呈环形设置,通过设置转筒,凹面设置使得绳索在缠绕的时候不易掉落,并且不会发生卡住的现象,设置圆锥形凸起711,多个圆锥形凸起711可以限制绳索707不会脱离,避免了发生二次卡住的现象,转筒706的左右两侧均固定连接有绳索707,绳索707为细钢丝绳,通过设置绳索707,细钢丝绳的绳索707保证了绳索的韧性,并且不易损坏,便于硅片加工的正常运行,绳索707的另一端通过最近的定滑轮702贯穿顶板701并与环形底座508之间固定连接,转轴B705的底部贯穿顶板701并固定连接有扇叶外壳708,扇叶外壳708内壁的顶部和底部之间固定连接有四组空气流速倾斜板709,且每组相邻的两个空气流速倾斜板709之间固定连接有2-5个弹性水平杆710,弹性水平杆710具有弹性的作用,不会因为空气流动而导致空气流速倾斜板709之间损坏,相邻的两个弹性水平杆710之间距离相等,空气流速倾斜板709与水平平面之间的角度Q1为75度(如图6所示),设置多个空气流速倾斜板709,利用空气流动的原理,扇叶外壳709在顺时针旋转的时候,空气从两个空气流速倾斜板709之间穿过,并带动气流向下移动,可以对下方进行轻微的散热,或者逆时针旋转,气流向上进行散热,保证了电机B不会功耗而损坏机器,扇叶外壳708的数量为四个,并且四个扇叶外壳708之间以转轴B705底部的中心处为对称中心对称设置,通过设置转轴B705和扇叶外壳708,使得在转轴B705在转动的时候风扇708可以微微转动,使得会有一丝微风,可以保证电器元件不会被烧坏,便于使用,使得该硅片打磨装置具有实用性增强的效果,通过设置拉升机构7、顶板701、定滑轮702、卡紧板703、电机B704、转轴B705、转筒706、绳索707、扇叶外壳708,通过拉升机构7的电机B704工作,使得转轴B705转动,转筒706旋转,并且带动两侧的绳索707移动,使得绳索707另一端的环形底座508向上可以稳定的移动,便于进行打磨,使得打磨更为稳定,方便进行使用,也保护了硅片在打磨时候不会被碎坏,提高的打磨硅片的稳定性。
如图5所示,放置机构12包括连接底座1201,连接底座1201的顶部开设有五个槽口A1202,槽口A1202内壁的左右两侧均开设有槽口B1203,且槽口A1202位于打磨刀具505的正下方,连接底座1201的顶部螺纹连接有位于槽口A1201左右两侧的定位螺栓1204,通过设置连接底座1201、槽口A1202、槽口B1203、定位螺栓1204,使得硅片可以通过槽口B1203处***,并且通过两侧的定位螺栓1204固定,使得在工作的时候,打磨刀具505可以从槽口A1202进入并进行打磨,使得硅片不易移动,并且便于进行打磨,使得打磨更为稳定,方便进行使用,提高了硅片打磨的工作效率,并且也提高了硅片的成品率。
该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接,并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
使用时,拉升机构7的电机B704工作,使得转轴B705转动,转筒706旋转,多个空气流速倾斜板709,利用空气流动的原理,扇叶外壳709在顺时针旋转的时候,空气从两个空气流速倾斜板709之间穿过,并带动气流向下移动,可以对下方进行轻微的散热,并且带动两侧的绳索707移动,使得绳索707另一端的环形底座508向上可以稳定的移动硅片可以通过槽口B1203处***,并且通过两侧的定位螺栓1204固定,使得在工作的时候,打磨刀具505可以从槽口A1202进入并进行打磨,使得硅片不易移动,同时拉升机构7的电机B704反向工作,并利用伸缩弹簧A507的弹性作用,得竖杆501向下移动时,伸缩弹簧A507复位,并且给长杆506一推力,在拉升机构7的作用下,使得长杆506上下移动,从而使得齿轮603在齿板604上移动,使得该打磨装置在工作的时候,不会向左右偏移,并且通过竖杆501在拉升机构7的作用下上下移动,使得竖杆501下方的打磨刀具505可以改变与硅片之间的间距,并且便于打磨硅片,使得硅片打磨的时候更加稳定,同时在向上移动时也不妨碍下一步的工序,提高了硅片打磨的工作效率,并且也提高了硅片的成品率。
综上可得,(1)、本发明通过设置拉升机构7、顶板701、定滑轮702、卡紧板703、电机B704、转轴B705、转筒706、绳索707、扇叶外壳708,通过拉升机构7的电机B704工作,使得转轴B705转动,转筒706旋转,并且带动两侧的绳索707移动,使得绳索707另一端的环形底座508向上可以稳定的移动,便于进行打磨,使得打磨更为稳定,方便进行使用,也保护了硅片在打磨时候不会被碎坏,提高的打磨硅片的稳定性。
(2)、本发明通过设置移动打磨机构5、竖杆501、U型卡块502、伺服电机A503、转轴A504、打磨刀具505、长杆506、环形底座508,通过竖杆501在拉升机构7的作用下上下移动,使得竖杆501下方的打磨刀具505可以改变与硅片之间的间距,并且便于打磨硅片,使得硅片打磨的时候更加稳定,同时在向上移动时也不妨碍下一步的工序,提高了硅片打磨的工作效率,并且也提高了硅片的成品率。
(3)、本发明通过设置伸缩弹簧A507,利用伸缩弹簧A507的弹性作用,使得竖杆501上下移动时,伸缩弹簧A507压缩或者复位,并且给长杆506一推力,从而保护了硅片在打磨时候不会被碎坏,提高的打磨硅片的稳定性。
(4)、本发明通过设置稳固机构6、U型卡板601、转轴C602、齿轮603、齿板604,在拉升机构7的作用下,使得长杆506上下移动,从而使得齿轮603在齿板604上移动,使得该打磨装置在工作的时候,不会向左右偏移,便于进行打磨,使得打磨更为稳定,方便进行使用,也保护了硅片在打磨时候不会被碎坏,提高的打磨硅片的稳定性。
(5)、本发明通过设置转轴B705和扇叶外壳708,使得在转轴B705在转动的时候风扇708可以微微转动,使得会有一丝微风,可以保证电器元件不会被烧坏,便于使用,使得该硅片打磨装置具有实用性增强的效果。
(6)、本发明通过设置连接底座1201、槽口A1202、槽口B1203、定位螺栓1204,使得硅片可以通过槽口B1203处***,并且通过两侧的定位螺栓1204固定,使得在工作的时候,打磨刀具505可以从槽口A1202进入并进行打磨,使得硅片不易移动,并且便于进行打磨,使得打磨更为稳定,方便进行使用,提高了硅片打磨的工作效率,并且也提高了硅片的成品率。
(7)、本发明通过设置绳索707,细钢丝绳的绳索707保证了绳索707的韧性,并且不易损坏,便于硅片加工的正常运行。
(8)、本发明通过设置齿板604和齿轮603,相互适配的齿板604和齿轮603,使得齿轮603在转动的时候,契合并且不会发生卡住的现象。
(9)、本发明通过设置转筒706,凹面设置使得绳索707在缠绕的时候不易掉落,并且不会发生卡住的现象。
(10)、设置多个空气流速倾斜板709,利用空气流动的原理,扇叶外壳709在顺时针旋转的时候,空气从两个空气流速倾斜板709之间穿过,并带动气流向下移动,可以对下方进行轻微的散热,或者逆时针旋转,气流向上进行散热,保证了电机B不会功耗而损坏机器。
(11)、设置圆锥形凸起711,多个圆锥形凸起711可以限制绳索707不会脱离,避免了发生二次卡住的现象。
需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个引用结构”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法,包括工作板(1),其特征在于:所述工作板(1)顶部的左右两侧均固定连接有安装板(2),两个安装板(2)的顶部固定连接有横板(3),横板(3)的顶部开设有五个通孔(4),通孔(4)的内部设置有移动打磨机构(5),横板(3)的顶部的左右两侧均固定连接有侧板(13),两个侧板(13)相互靠近的一侧设置有稳固机构(6),两个侧板(13)的顶部设置有拉升机构(7),横板(3)和工作板(1)的右侧固定连接有固定板(8),固定板(8)的右侧固定连接有把手(9),把手(9)的表面上套接有橡胶条,工作板(1)底部的左右两侧均固定连接有万向轮(10),万向轮(10)的表面上设置有轮刹(11),工作板(1)的顶部设置有位于两个安装板(2)之间的放置机构(12);
所述拉升机构(7)包括顶板(701),顶板(701)的左右两侧固定连接有定滑轮(702),顶板(701)顶部的中心处固定连接有两个卡紧板(703),两个卡紧板(703)之间固定连接有电机B(704),电机B(704)底部的输出端固定连接有转轴B(705),转轴B(705)的表面上固定连接有转筒(706),转筒(706)的左右两侧均固定连接有绳索(707),绳索(707)的另一端通过最近的定滑轮(702)贯穿顶板(701)并与环形底座(508)之间固定连接,转轴B(705)的底部贯穿顶板(701)并固定连接有扇叶外壳(708),扇叶外壳(708)内壁的顶部和底部之间固定连接有四组空气流速倾斜板(709),且每组相邻的两个空气流速倾斜板(709)之间固定连接有2-5个弹性水平杆(710),相邻的两个弹性水平杆(710)之间距离相等,空气流速倾斜板(709)与水平平面之间的角度Q1为75度;
所述绳索(707)为细钢丝绳;
所述扇叶外壳(708)的数量为四个,并且四个扇叶外壳(708)之间以转轴B(705)底部的中心处为对称中心对称设置。
2.根据权利要求1所述的一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法,其特征在于:所述移动打磨机构(5)包括竖杆(501),竖杆(501)的数量为五个,且相对应的竖杆(501)的底部贯穿通孔(4)并固定连接有U型卡块(502),U型卡块(502)的内壁的底部固定连接有伺服电机A(503),伺服电机A(503)底部的输出端固定连接有转轴A(504),转轴A(504)的底部固定连接有打磨刀具(505),五个竖杆(501)的顶部固定连接有长杆(506),且长杆(506)的底部固定连接有位于相邻两个竖杆(501)之间的伸缩弹簧A(507),伸缩弹簧A(507)的底部与横板(3)之间固定连接,长杆(506)顶部的左右两侧均固定连接有环形底座(508),两个环形底座(508)之间以长杆(506)的中垂线为对称轴对称设置。
3.根据权利要求2所述的一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法,其特征在于:所述稳固机构(6)包括U型卡板(601),U型卡板(601)的数量为两个,且两个U型卡板(601)相靠近的一侧均与长杆(506)之间固定连接,U型卡板(601)内壁的两侧之间活动连接有转轴C(602),转轴C(602)的表面上固定连接有齿轮(603),齿轮(603)远离长杆(506)的一侧啮合有齿板(604),齿板(604)的远离齿轮(603)一侧与侧板(13)之间固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法,其特征在于:所述放置机构(12)包括连接底座(1201),连接底座(1201)的顶部开设有五个槽口A(1202),槽口A(1202)内壁的左右两侧均开设有槽口B(1203),且槽口A(1202)位于打磨刀具(505)的正下方,连接底座(1201)的顶部螺纹连接有位于槽口A(1201)左右两侧的定位螺栓(1204)。
5.根据权利要求3所述的一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法,其特征在于:所述齿轮(603)和齿板(604)之间相互适配。
6.根据权利要求1所述的一种拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置及其打磨方法,其特征在于:所述转筒(706)的侧面为凹面设置,且转筒(706)的凹面处固定连接有30-40个圆锥形凸起(711),且每组圆锥形凸起(711)之间呈环形设置。
7.一种根据权利要求1-6所述的拉升式可稳定打磨的硅片打磨装置的打磨方法,其特征在于:拉升机构(7)的电机B(704)工作,使得转轴B(705)转动,转筒(706)旋转,并且带动两侧的绳索(707)移动,使得绳索(707)另一端的环形底座(508)向上可以稳定的移动硅片可以通过槽口B(1203)处***,并且通过两侧的定位螺栓(1204)固定,使得在工作的时候,打磨刀具(505)可以从槽口A(1202)进入并进行打磨,使得硅片不易移动,同时拉升机构(7)的电机B(704)反向工作,并利用伸缩弹簧A(507)的弹性作用,得竖杆(501)向下移动时,伸缩弹簧A(507)复位,并且给长杆(506)一推力,在拉升机构(7)的作用下,使得长杆(506)上下移动,从而使得齿轮(603)在齿板(604)上移动,使得该打磨装置在工作的时候,不会向左右偏移,并且通过竖杆(501)在拉升机构(7)的作用下上下移动,使得竖杆(501)下方的打磨刀具(505)可以改变与硅片之间的间距,并且便于打磨硅片,使得硅片打磨的时候更加稳定,同时在向上移动时也不妨碍下一步的工序,提高了硅片打磨的工作效率,并且也提高了硅片的成品率。
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109129167A (zh) * 2018-09-18 2019-01-04 王深洋 一种自动研磨机

Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4786233A (en) * 1986-01-20 1988-11-22 Hitachi, Ltd. Gas turbine cooled blade
CN104128867A (zh) * 2014-07-31 2014-11-05 广西北流仲礼瓷业有限公司 一种瓷砖抛光机
DE102013014738A1 (de) * 2013-09-04 2015-03-05 Brigitte Abele Vorrichtung und Verfahren zum Aufkleben von Proben und Deckgläser auf Objektträger
CN204603997U (zh) * 2015-04-07 2015-09-02 宇宙电路板设备(深圳)有限公司 端面磨板机
CN105081913A (zh) * 2015-08-25 2015-11-25 泉州市佳能机械制造有限公司 一种磨抛装置及磨抛机
CN205465519U (zh) * 2016-03-04 2016-08-17 深圳磨霸智能科技有限公司 一种用于打磨抛光拉丝的五轴机床
CN105922101A (zh) * 2016-06-20 2016-09-07 苏州华徕光电仪器有限公司 一种用于透镜的抛光装置
CN205609987U (zh) * 2016-04-25 2016-09-28 陈志恭 一种散热交流低压配电柜
CN106346351A (zh) * 2016-12-06 2017-01-25 无锡昊康通用机械有限公司 一种金属镜面抛光机
CN107020556A (zh) * 2017-05-16 2017-08-08 遵义顺峰汽车零部件制造有限公司 一种汽车套筒冷却装置
CN107211645A (zh) * 2017-06-30 2017-09-29 朱静洁 一种可以调节割草高度的园艺割草机器人
CN107322426A (zh) * 2017-07-19 2017-11-07 刘奇美 一种方便移动的钢板表面处理工具
CN107520726A (zh) * 2017-10-11 2017-12-29 郑州博尔德磨料磨具有限公司 一种多工位便于更换磨轮的磨具
CN206869681U (zh) * 2017-03-31 2018-01-12 中国燃气涡轮研究院江油天诚实业公司 一种磨削加工同步降温装置
CN206912968U (zh) * 2017-07-10 2018-01-23 吴保霞 一种高效抛光机
CN107685259A (zh) * 2017-09-30 2018-02-13 东莞市松研智达工业设计有限公司 一种铝合金轮毂打磨设备
CN107877312A (zh) * 2017-11-08 2018-04-06 镇江市丹徒区顺发船舶螺旋桨有限公司 一种精准的螺旋桨加工用打磨装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9695696B2 (en) * 2013-07-31 2017-07-04 General Electric Company Turbine blade with sectioned pins
CN105570192B (zh) * 2016-02-29 2018-08-17 李锦标 一种风机叶轮及其加工方法
CN106985045B (zh) * 2017-03-28 2024-01-02 湖南宇环精密制造有限公司 一种多轴联动打磨设备
CN107813216A (zh) * 2017-11-28 2018-03-20 桂阳磊腾新材料科技有限公司 一种人造石英石生产用连续分级抛光装置

Patent Citations (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4786233A (en) * 1986-01-20 1988-11-22 Hitachi, Ltd. Gas turbine cooled blade
DE102013014738A1 (de) * 2013-09-04 2015-03-05 Brigitte Abele Vorrichtung und Verfahren zum Aufkleben von Proben und Deckgläser auf Objektträger
CN104128867A (zh) * 2014-07-31 2014-11-05 广西北流仲礼瓷业有限公司 一种瓷砖抛光机
CN204603997U (zh) * 2015-04-07 2015-09-02 宇宙电路板设备(深圳)有限公司 端面磨板机
CN105081913A (zh) * 2015-08-25 2015-11-25 泉州市佳能机械制造有限公司 一种磨抛装置及磨抛机
CN205465519U (zh) * 2016-03-04 2016-08-17 深圳磨霸智能科技有限公司 一种用于打磨抛光拉丝的五轴机床
CN205609987U (zh) * 2016-04-25 2016-09-28 陈志恭 一种散热交流低压配电柜
CN105922101A (zh) * 2016-06-20 2016-09-07 苏州华徕光电仪器有限公司 一种用于透镜的抛光装置
CN106346351A (zh) * 2016-12-06 2017-01-25 无锡昊康通用机械有限公司 一种金属镜面抛光机
CN206869681U (zh) * 2017-03-31 2018-01-12 中国燃气涡轮研究院江油天诚实业公司 一种磨削加工同步降温装置
CN107020556A (zh) * 2017-05-16 2017-08-08 遵义顺峰汽车零部件制造有限公司 一种汽车套筒冷却装置
CN107211645A (zh) * 2017-06-30 2017-09-29 朱静洁 一种可以调节割草高度的园艺割草机器人
CN206912968U (zh) * 2017-07-10 2018-01-23 吴保霞 一种高效抛光机
CN107322426A (zh) * 2017-07-19 2017-11-07 刘奇美 一种方便移动的钢板表面处理工具
CN107685259A (zh) * 2017-09-30 2018-02-13 东莞市松研智达工业设计有限公司 一种铝合金轮毂打磨设备
CN107520726A (zh) * 2017-10-11 2017-12-29 郑州博尔德磨料磨具有限公司 一种多工位便于更换磨轮的磨具
CN107877312A (zh) * 2017-11-08 2018-04-06 镇江市丹徒区顺发船舶螺旋桨有限公司 一种精准的螺旋桨加工用打磨装置

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