CN111975604A - 一种集成电路生产用机械抛光装置 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种集成电路生产用机械抛光装置，工作台顶面两侧两端均开设有移动槽，移动槽内部一端安装有移动电动推杆，移动电动推杆一端安装有移动块，两个相邻移动块分别通过螺钉安装于移动板底面两端，限位板一端处于带动杆外侧位置处焊接有移动弹簧，移动弹簧一端活动安装于保护盒一端，带动杆一端处于移动板一端位置处通过螺钉安装有夹持板，夹持板一端粘接有防护橡胶板，与现有技术相比，本发明的有益效果，便于对集成电路板进行夹持，在夹持过程中，通过移动弹簧的使用，使得移动板和夹持板始终保持贴附状态，使得夹持更加的稳定，保证在抛光过程中，集成电路板不晃动，间接性提高抛光的效果。

Description

一种集成电路生产用机械抛光装置
技术领域
本发明涉及集成电路生产技术领域，具体为一种集成电路生产用机械抛光装置。
背景技术
当今社会进步，国力强大，离不开网络的支撑，而网络的载体是集成电路板，因此集成电路板对当今社会的发展起着至关重要的作用，集成电路板是载装集成电路的一个载体，但往往说集成电路板时也把集成电路带上，集成电路板主要由树脂构成，所以一般呈绿色，在集成电路板的加工过程中，对集成电路板抛光是至关重要的一部分。
现在对集成电路板抛光过程中，工作人员将集成电路板一面抛光结束后，需要将集成电路板从装置上取下后，再进行装配，对其另一面抛光，这样不仅会导致抛光效率低下，同时会使得工作人员劳动强度大，在对集成电路拆卸和夹持过程中，也会对工作人员造成夹伤的情况发生。
发明内容
本发明提供一种集成电路生产用机械抛光装置，可以有效解决上述背景技术中提出的在现在市场对集成电路板抛光过程中，工作人员将集成电路板一面抛光结束后，需要将集成电路板从装置上取下后，在进行装配，对其另一面抛光，这样不仅会导致抛光效率低下，同时会使得工作人员劳动强度大，在对集成电路拆卸和夹持过程中，也会工作人员造成夹伤的情况发生的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：包括抛光箱体以及内部底端安装的工作台，所述工作台顶端安装有旋转夹持稳定组件，所述旋转夹持稳定组件包括移动槽、移动电动推杆、移动块、移动板、保护盒、旋转电机、旋转轴、带动齿轮、半环齿轮、带动杆、限位板、移动弹簧、夹持板、防护橡胶板、滑动槽、支撑弹簧、滑动块和支撑杆；
所述工作台顶面两侧两端均开设有移动槽，所述移动槽内部一端安装有移动电动推杆，所述移动电动推杆一端安装有移动块，两个相邻所述移动块分别通过螺钉安装于移动板底面两端；
所述工作台两端均通过螺钉安装有保护盒，所述保护盒一端固定安装有旋转电机，所述旋转电机输出轴固定连接有旋转轴，所述旋转轴两端外侧处于保护盒内部均固定套接有带动齿轮，所述带动齿轮顶端啮合有半环齿轮，所述半环齿轮中部活动套接于带动杆外侧，所述带动杆一端焊接有限位板，所述限位板一端处于带动杆外侧位置处焊接有移动弹簧，所述移动弹簧一端活动安装于保护盒一端，所述带动杆一端处于移动板一端位置处通过螺钉安装有夹持板，所述夹持板一端粘接有防护橡胶板；
所述移动板一侧两端均开设有滑动槽，所述滑动槽内部底面焊接有支撑弹簧，所述支撑弹簧顶面处于滑动槽内部焊接有滑动块，两个相邻所述滑动块分别通过螺钉安装于支撑杆一侧两端；
所述移动电动推杆和旋转电机的输入端均与外部电源输出端电性相连接。
与现有技术相比，本发明的有益效果：本发明结构科学合理，使用安全方便：
1、通过旋转夹持稳定组件的配合使用，便于对集成电路板进行夹持，在夹持过程中，通过移动弹簧的使用，使得移动板和夹持板始终保持贴附状态，使得夹持更加的稳定，保证在抛光过程中，集成电路板不晃动，间接性提高抛光的效果，通过旋转电机、带动齿轮和半环齿轮的配合使用，可以在集成电路板一面抛光结束后，对集成电路板旋转，可以直接对集成电路板另一面进行加工，一方面降低工作人员的劳动强度和提高工作人员的安全系数，另一方面，又可以提高抛光的效率，减少抛光的时间，提高企业的生产效益。
2、通过清理降温组件的使用，在抛光结束后，能够及时的对抛光片抛光面清理，提高抛光的效果，使得抛光后集成电路板表面的手感更佳，同时对抛光片起到一个散热作用，降低抛光片的损耗，延长抛光片的寿命，避免工作人员频繁的更换抛光片，配合密封橡胶杆使用，可以将储存在散热管内部的空气通过散热孔瞬间吹出，相当于一个高压的***的效果，使得清理和降温的效果更佳，并且在抛光过程中进行清理，便于工作人员进行观察，并且可以对打磨位置外侧起到支撑作用，提高打磨的效果，使得打磨时更加稳定。
3、通过密封进料组件的使用，便于工作人员对集成电路板的上料，无需工作人员弯腰伸入抛光箱体内部进行放置，降低工作人员劳动强度，在上料过程中，对集成电路表面清理，避免积累的灰尘对打磨造成影响，间接性提高打磨的质量，同时在上料结束后，可以将抛光箱体封闭，保证了抛光箱体的密封性，防止抛光过程中灰尘溅出，对工作人员和周围环境造成影响的问题出现，
4、通过出料缓冲组件的使用，便于集成电路板出料和收集，无需工作人员手动从抛光箱体中拿出后在对集成电路板收集，降低工作人员的劳动强度和提高收集的效率，同时通过缓冲橡胶杆、缓冲弹簧、转动弹簧和复位块的配合使用，可以在收集过程中，对集成电路板有一个缓冲作用，可以使得集成电路板逐渐放入收集框中，对集成电路板形成保护作用，避免在收集过程中，集成电路板出现损伤的问题出现。
5、通过收集压缩组件的使用，可以在抛光过程中对灰尘进行收集，避免抛光过程中灰尘四溅的现象出现，对抛光的精度造成影响，同时在收集过程中，使得灰尘向中部聚集并且对灰尘进行压缩，减少灰尘的占用空间，达到无需对灰尘频繁清理的目的，直接提高空间的利用率。
综上所述：通过密封进料组件和出料缓冲组件的配合使用，便于对集成电路板的进料和出料，在提高生产效率的同时，又可以降低工作人员的劳动强度和提高工作人员的安全系数，同时在抛光过程中，可以将抛光箱体封闭，避免抛光时产生的灰尘外溅的现象出现；
通过清理降温组件和收集压缩组件的配合使用，便于对抛光片和集成电路板进行散热，方便工作人员收集集成电路板的同时又可以延长抛光片的寿命，同时又可以在抛光过程中对抛光产生的灰尘进行收集和压缩，减少抛光过程中产生灰尘对周围环境的影响。
通过清理降温组件和旋转夹持稳定组件，使得集成电路板打磨时的更加稳定，且不易晃动，从而使得打磨的效果更佳，从而提高打磨的精度，使得打磨的更加的高效、安全和稳定。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。
在附图中：
图1是本发明的结构示意图；
图2是本发明的气缸安装结构示意图；
图3是本发明的带动电动推杆结构示意图；
图4是本发明的工作台结构示意图；
图5是本发明的旋转夹持稳定组件结构示意图；
图6是本发明的清理降温组件结构示意图；
图7是本发明的散热管安装结构示意图；
图8是本发明的密封进料组件结构示意图；
图9是本发明的固定板安装结构示意图；
图10是本发明的收集压缩组件结构示意图；
图11是本发明的复位板安装结构示意图；
图12是本发明的收集管结构示意图；
图13是本发明的15吸风管结构示意图；
图中标号：1、抛光箱体；2、气缸；3、安装块；4、带动电动推杆；5、抛光电机；6、安装板；7、抛光片；8、工作台；9、移动电机；10、移动丝杆；
11、旋转夹持稳定组件；1101、移动槽；1102、移动电动推杆；1103、移动块；1104、移动板；1105、保护盒；1106、旋转电机；1107、旋转轴；1108、带动齿轮；1109、半环齿轮；1110、带动杆；1111、限位板；1112、移动弹簧；1113、夹持板；1114、防护橡胶板；1115、滑动槽；1116、支撑弹簧；1117、滑动块；1118、支撑杆；
12、清理降温组件；1201、散热扇；1202、散热管；1203、散热孔；1204、旋转圈；1205、连接架；1206、密封橡胶杆；1207、连接弹簧；1208、圆板；1209、压柱；1210、压杆；1211、清理布；1212、固定弹簧；1213、限制板；1214、T型杆；
13、密封进料组件；1301、防护板；1302、进料孔；1303、移动电动伸缩杆；1304、进料板；1305、带动槽；1306、带动块；1307、卡杆；1308、旋转块；1309、旋转板；1310、卡位板；1311、清理弹簧；1312、清理板；
14、出料缓冲组件；1401、出料孔；1402、出料板；1403、带动弹簧；1404、固定板；1405、转动板；1406、复位弹簧；1407、收集框；1408、倾斜角；1409、缓冲槽；1410、缓冲弹簧；1411、滑块；1412、复位板；1413、转动弹簧；1414、缓冲橡胶杆；1415、复位块；
15、收集压缩组件；1501、收灰框；1502、吸风扇；1503、收集管；1504、安装弹簧；1505、压缩块；1506、水平压缩板；1507、圆弧板；1508、落灰孔；1509、转动压缩板；1510、压缩槽。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限定本发明。
实施例：如图1-13所示，本发明提供技术方案，一种集成电路生产用机械抛光装置，包括抛光箱体1，抛光箱体1内部顶部一端安装有气缸2，气缸2一端固定安装有安装块3，安装块3底端安装有带动电动推杆4，带动电动推杆4底端安装有抛光电机5，抛光电机5输出轴固定连接有安装板6，安装板6底端安装有抛光片7，抛光箱体1内部底面活动安装有工作台8，抛光箱体1内部底面处于工作台8一端位置处固定安装有移动电机9，移动电机9输出轴固定连接有移动丝杆10，移动丝杆10通过螺纹孔与工作台8相连接，带动电动推杆4、抛光电机5和移动电机9的输入端均与外部电源输出端电性相连接；
工作台8顶端安装有旋转夹持稳定组件11，旋转夹持稳定组件11包括移动槽1101、移动电动推杆1102、移动块1103、移动板1104、保护盒1105、旋转电机1106、旋转轴1107、带动齿轮1108、半环齿轮1109、带动杆1110、限位板1111、移动弹簧1112、夹持板1113、防护橡胶板1114、滑动槽1115、支撑弹簧1116、滑动块1117和支撑杆1118；
工作台8顶面两侧两端均开设有移动槽1101，移动槽1101内部一端安装有移动电动推杆1102，移动电动推杆1102一端安装有移动块1103，两个相邻移动块1103分别通过螺钉安装于移动板1104底面两端；
工作台8两端均通过螺钉安装有保护盒1105，保护盒1105一端固定安装有旋转电机1106，旋转电机1106输出轴固定连接有旋转轴1107，旋转轴1107两端外侧处于保护盒1105内部均固定套接有带动齿轮1108，带动齿轮1108顶端啮合有半环齿轮1109，半环齿轮1109中部活动套接于带动杆1110外侧，移动板1104一端与夹持板1113一端相互接触，旋转轴1107一端焊接有半圆板，移动板1104对应旋转轴1107位置处开设有对应孔，且对应孔的直径大于旋转轴1107与半圆板的半径之和，移动弹簧1112一端焊接有转动块，且保护盒1105对应转动块位置处开设有转动槽，且转动块嵌入安装于转动槽内部，在带动夹持板1113转动时，防止带动移动板1104一同转动，且移动弹簧1112通过可以始终使得移动板1104一端与夹持板1113一端相互接触，带动杆1110一端焊接有限位板1111，限位板1111一端处于带动杆1110外侧位置处焊接有移动弹簧1112，移动弹簧1112一端活动安装于保护盒1105一端，带动杆1110一端处于移动板1104一端位置处通过螺钉安装有夹持板1113，夹持板1113一端粘接有防护橡胶板1114；
移动板1104一侧两端均开设有滑动槽1115，滑动槽1115内部底面焊接有支撑弹簧1116，支撑弹簧1116顶面处于滑动槽1115内部焊接有滑动块1117，安装块3顶面通过螺钉安装有T型块，抛光箱体1内侧边部对应T型块位置处开设有T型槽，滑动槽1115和滑动块1117横截面的形状均为T型，滑动槽1115的内径大于滑动块1117的外径，使得在抛光过程中抛光电机5移动的更加稳定，提高抛光的效果，同时方便支撑杆1118进行转动，两个相邻滑动块1117分别通过螺钉安装于支撑杆1118一侧两端；
移动电动推杆1102和旋转电机1106的输入端均与外部电源输出端电性相连接。
抛光箱体1内部靠近安装板6一端安装有清理降温组件12，清理降温组件12包括散热扇1201、散热管1202、散热孔1203、旋转圈1204、连接架1205、密封橡胶杆1206、连接弹簧1207、圆板1208、压柱1209、压杆1210、清理布1211、固定弹簧1212和限制板1213、T型杆1214；
抛光箱体1内部顶部处于气缸2底端位置处安装有散热扇1201，散热扇1201一端固定连接有散热管1202，散热管1202底端处于抛光片7一侧开设有散热孔1203，安装板6内部活动安装有旋转圈1204，散热管1202底端活动安装于旋转圈1204外侧，抛光电机5与旋转圈1204一端通过连接架1205相连接，散热管1202一端固定连接有限位杆，且限位杆一端通过螺钉安装有限位块，抛光箱体1内壁对应限位块位置处开设有限位槽，限位块与限位槽的纵截面的形状均为T型，连接架1205底面与顶面均通过螺钉安装有安装圈，散热管1202处于两个安装圈内部，使得抛光电机5移动时能够带动散热管1202一同移动，同时使得散热管1202移动过程中更加稳定，连接架1205一端对应散热孔1203位置处粘接有密封橡胶杆1206；
旋转圈1204顶端两侧均焊接有连接弹簧1207，连接弹簧1207顶端焊接有圆板1208，圆板1208底面处于连接弹簧1207内部通过螺钉安装有压柱1209，压柱1209底面焊接有压杆1210，压杆1210底面粘接有清理布1211；
一个压柱1209一端焊接有固定弹簧1212，固定弹簧1212一端焊接有限制板1213，限制板1213一端处于固定弹簧1212内部焊接有T型杆1214，T型杆1214贯穿压柱1209，散热扇1201的输入端与外部电源输出端电性相连接。
抛光箱体1一端安装有密封进料组件13，密封进料组件13包括防护板1301、进料孔1302、移动电动伸缩杆1303、进料板1304、带动槽1305、带动块1306、卡杆1307、旋转块1308、旋转板1309、卡位板1310、清理弹簧1311和清理板1312；
抛光箱体1一端通过螺钉安装有防护板1301，防护板1301一端开设有进料孔1302，抛光箱体1外侧一端安装有移动电动伸缩杆1303，移动电动伸缩杆1303一端安装于进料板1304底面，进料板1304处于进料孔1302内部，进料板1304底面开设有带动槽1305，带动槽1305内部滑动连接有带动块1306，带动块1306一端粘接有橡胶块，带动块1306底面螺钉安装有卡杆1307，卡杆1307一端通过转轴安装有旋转块1308，进料板1304一端铰接有旋转板1309，卡杆1307两端均通过螺钉安装有卡位板1310，旋转板1309通过螺钉安装于旋转块1308顶面；
进料板1304顶面均匀焊接有清理弹簧1311，清理弹簧1311分别焊接于清理板1312四角位置处，且清理板1312为倾斜状，进料板1304顶面与抛光箱体1底面之间的夹角为30°，带动槽1305的内径与带动块1306外径相等，清理板1312顶面与抛光箱体1底面之间的夹角为55°，方便将电路板送入抛光箱体1中，同时可以对电路板表面更好的清理，移动电动伸缩杆1303的输入端与外部电源输出端电性相连接
抛光箱体1一端远离防护板1301位置处安装有出料缓冲组件14，出料缓冲组件14包括出料孔1401、出料板1402、带动弹簧1403、固定板1404、转动板1405、复位弹簧1406、收集框1407、倾斜角1408、缓冲槽1409、缓冲弹簧1410、滑块1411、复位板1412、转动弹簧1413、缓冲橡胶杆1414和复位块1415；
抛光箱体1一端开设有出料孔1401，出料孔1401一端铰接有出料板1402，出料板1402底端通过带动弹簧1403与出料孔1401底面相连接，出料孔1401顶面一端通过螺钉安装有固定板1404，固定板1404一端铰接有转动板1405，转动板1405一端均匀焊接有复位弹簧1406，若干复位弹簧1406一端均焊接于固定板1404底面；
抛光箱体1一端处于出料板1402一侧底端位置处放置有收集框1407，收集框1407顶面一端加工有倾斜角1408，收集框1407内部两侧两端均开设有缓冲槽1409，支撑杆1118顶面开设有滚珠槽，且滚珠槽内部均匀活动安装有滚珠，出料板1402纵截面的形状为倾斜状，缓冲槽1409底面的宽度大于滑块1411底面的宽度，便于抛光结束后的集成电路板进行移动，方便将复位板1412放入缓冲槽1409内部，缓冲槽1409底面焊接有缓冲弹簧1410，缓冲弹簧1410顶面处于缓冲槽1409内部焊接有滑块1411，滑块1411一端铰接有复位板1412，复位板1412一端通过转动弹簧1413与滑块1411一端相连接，复位板1412顶面粘接有缓冲橡胶杆1414，缓冲槽1409底面一端焊接有复位块1415。
抛光箱体1内部一端安装有收集压缩组件15，收集压缩组件15包括收灰框1501、吸风扇1502、收集管1503、安装弹簧1504、压缩块1505、水平压缩板1506、圆弧板1507、落灰孔1508、转动压缩板1509和压缩槽1510；
抛光箱体1内部一端靠近移动板1104顶端位置处通过螺钉安装有收灰框1501，收灰框1501顶面安装有吸风扇1502，吸风扇1502顶面均匀贯穿连接有四个收集管1503，四个收集管1503一端均通过螺钉安装于旋转圈1204四角处；
收灰框1501内部两端均开设有压缩槽1510，压缩槽1510底面焊接有安装弹簧1504，安装弹簧1504顶端处于压缩槽1510内部焊接有压缩块1505，两个压缩块1505分别通过螺钉安装于水平压缩板1506两端，水平压缩板1506顶面中部两端均通过螺钉安装有圆弧板1507，水平压缩板1506顶面两端均匀开设有落灰孔1508，水平压缩板1506底面两端均铰接有转动压缩板1509，吸风扇1502的输入端与外部电源输出端电性相连接。
本发明的工作原理及使用流程：工作人员开启移动电动伸缩杆1303，带动进料板1304移动，通过进料板1304的移动，带动带动槽1305随之移动，当带动槽1305与带动块1306接触后，带动带动块1306移动，从而带动卡杆1307移动，当卡杆1307底端的卡位板1310移动至与防护板1301内壁接触后，此时随着进料板1304的移动，可以使得橡胶块压缩，由于卡杆1307位置固定，随着进料板1304上移，带动旋转板1309上移，由于旋转块1308的位置固定，使得旋转块1308发生转动，带动旋转板1309转动，此后，工作人员将集成电路板放在进料板1304上，集成电路板一端与旋转板1309接触；
在集成电路板放在进料板1304时，此时集成电路板沿着进料板1304滑下，与清理板1312接触，对集成电路板表面的灰尘进行清理，同时在集成电路板与清理板1312一端接触时，一端的清理弹簧1311拉伸，使得清理板1312发生转动，带动另一端的清理弹簧1311压缩，增大清理板1312与集成电路板表面接触的面积，从而更好的对集成电路板表面的灰尘进行清理；
在清理灰尘结束后，工作人员开启移动电动伸缩杆1303，使得进料板1304移动至抛光箱体1内部，随着进料板1304的移动和橡胶块的压缩，可以使得旋转板1309逐渐发生转动，使得集成电路板滑下，落在支撑杆1118上，从而方便工作人员上料，节省上料的时间；
在上料结束后，再次开启移动电动伸缩杆1303，带动旋转板1309移动，使得旋转板1309将进料孔1302密闭，方便工作人员下次上料，同时防止在加工过程中，灰尘从进料孔1302溅出，对工作人员造成影响，同时也方便工作人员下次使用。
集成电路板放置在支撑杆1118后，开启移动电动推杆1102，带动移动块1103在移动槽1101中移动，通过移动块1103的移动，带动移动板1104，推动夹持板1113移动，使得两侧夹持板1113向中间移动，将集成电路板固定；
将集成电路板固定后，先开启带动电动推杆4，带动抛光电机5和抛光片7移动，使得抛光片7底面与集成电路板顶面接触，然后开启抛光电机5，带动安装板6和抛光片7转动，对集成电路板表面进行抛光，在抛光过程中，开启气缸2和移动电机9，通过移动电机9输出轴的转动，带动移动丝杆10转动，从而带动工作台8前后移动，同时在气缸2的带动下，带动抛光片7来回移动，通过工作台8的移动和抛光片7移动，从而对集成电路板表面进行抛光；
在集成电路板一面抛光结束后，开启带动电动推杆4，使得抛光片7上升后，开启旋转电机1106，带动旋转轴1107转动，带动带动齿轮1108转动，通过带动齿轮1108的转动，使得半环齿轮1109转动，带动带动杆1110转动，通过带动杆1110的转动，带动夹持板1113转动，从而带动夹持在两个夹持板1113之间的集成电路板转动，使得集成电路板转动180°，对集成电路板另一面进行抛光，无需工作人员手动转动，提高抛光的效率，节省抛光的时间；
在夹持过程中，通过防护橡胶板1114，可以防止夹持板1113对集成电路板夹持的位置造成损伤，造成集成电路板受损的问题出现，在夹持板1113转动过程中，此时夹持板1113挤压支撑杆1118，使得支撑弹簧1116压缩，带动滑动块1117在滑动槽1115压缩，便于夹持板1113转动，当夹持板1113转动至水平后，此时支撑弹簧1116恢复原位，从而再次使得支撑杆1118顶面与夹持板1113底面相互接触后，又可以在抛光过程中对集成电路板底面进行支撑，保证集成电路板的稳定性，同时又便于装置的下次使用，在抛光结束后，可以通过移动弹簧1112，始终对限位板1111进行拉伸，推动限位板1111移动，通过限位板1111的移动，可以带动夹持板1113移动，从而使得夹持板1113始终与移动板1104接触，从而保证移动板1104和夹持板1113的稳定性，防止夹持板1113晃动；
在抛光的过程中，开启散热扇1201，由于带动电动推杆4的推动，使得抛光电机5向下移动，带动安装板6移动，从而带动旋转圈1204、连接架1205和密封橡胶杆1206同时向下移动，随着密封橡胶杆1206向下移动，将散热孔1203封闭，防止风力散出，造成风力的浪费，在抛光结束后，此时密封橡胶杆1206向上移动，将散热孔1203打开，此时通过散热孔1203吹出的空气吹向一端的压杆1210，带动一端的压杆1210在抛光片7上移动，此时固定弹簧1212压缩，使得T型杆1214进行移动，对抛光片7表面的灰尘进行去除，在去除的过程中，又可以对抛光片7降温，间接性提高抛光片的使用寿命；
随着抛光片7与集成电路板接触时，此时压杆1210和清理布1211也与集成电路板接触，此时连接弹簧1207拉伸，带动圆板1208和压柱1209向上移动，达到一边抛光一边清理的目的，从而便于工作人员观察抛光后的位置。
同时在抛光过程中，开启吸风扇1502，此时随着安装板6的移动，带动收集管1503一同移动，使得收集管1503始终处于抛光片7四周，从而使得可以将抛光时产生的灰尘吸入收灰框1501内部，对抛光所产生的灰尘进行收集，在收集过程中，此时灰尘接触圆弧板1507，并且沿着圆弧板1507滑向收灰框1501内部两端，且沿着落灰孔1508落下，在收集的同时，通过吸风扇1502的吹风，使得水平压缩板1506向下移动，此时安装弹簧1504压缩，压缩块1505在压缩槽1510中移动，随着水平压缩板1506的移动，使得转动压缩板1509发生转动，使得从落灰孔1508落下的灰尘向中间移动，随着水平压缩板1506的继续移动和转动压缩板1509的转动，会对中部的灰尘进行压缩，使得中部能够放置更多的灰尘，提高收灰框1501内部的空间利用率，同时无需工作人员频繁对灰尘进行清理。
在抛光结束后，先转动夹持板1113，使得集成电路板倾斜，然后，开启移动电动推杆1102，使得夹持板1113松动，此时集成电路板会由于重力作用沿着支撑杆1118顶面滑落至出料板1402顶面，并且由出料孔1401滑出，落在收集框1407内部，在落在收集框1407后，集成电路板先与缓冲橡胶杆1414接触，由于集成电路板自身的重力作用，使得缓冲弹簧1410向下压缩，带动滑块1411在缓冲槽1409中移动，当复位板1412移动至复位块1415位置时，此时转动弹簧1413逐渐压缩，使得复位板1412发生转动，从而将复位板1412收进缓冲槽1409内部，此后，集成电路板底端不与缓冲橡胶杆1414接触，使得集成电路板掉落，从而将集成电路板放入收集框1407内部，对集成电路板进行收集，且在收集过程中对集成电路板形成缓冲作用，避免集成电路板受到损伤，影响集成电路板的美观；
在集成电路板在出料板1402滑动时，先与转动板1405接触，使得转动板1405转动，复位弹簧1406拉伸，在集成电路板滑出后，复位弹簧1406恢复原位，带动转动板1405转回原位，达到将抛光箱体1内部起到封闭的目的，同时通过带动弹簧1403，可以使得出料板1402转动，使得集成电路板下滑的速度更快，提高收集的效率。
最后应说明的是：以上所述仅为本发明的优选实例而已，并不用于限制本发明，尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种集成电路生产用机械抛光装置，包括抛光箱体(1)以及内部底端安装的工作台(8)，其特征在于：所述工作台(8)顶端安装有旋转夹持稳定组件(11)，所述旋转夹持稳定组件(11)包括移动槽(1101)、移动电动推杆(1102)、移动块(1103)、移动板(1104)、保护盒(1105)、旋转电机(1106)、旋转轴(1107)、带动齿轮(1108)、半环齿轮(1109)、带动杆(1110)、限位板(1111)、移动弹簧(1112)、夹持板(1113)、防护橡胶板(1114)、滑动槽(1115)、支撑弹簧(1116)、滑动块(1117)和支撑杆(1118)；
所述工作台(8)顶面两侧两端均开设有移动槽(1101)，所述移动槽(1101)内部一端安装有移动电动推杆(1102)，所述移动电动推杆(1102)一端安装有移动块(1103)，两个相邻所述移动块(1103)分别通过螺钉安装于移动板(1104)底面两端；
所述工作台(8)两端均通过螺钉安装有保护盒(1105)，所述保护盒(1105)一端固定安装有旋转电机(1106)，所述旋转电机(1106)输出轴固定连接有旋转轴(1107)，所述旋转轴(1107)两端外侧处于保护盒(1105)内部均固定套接有带动齿轮(1108)，所述带动齿轮(1108)顶端啮合有半环齿轮(1109)，所述半环齿轮(1109)中部活动套接于带动杆(1110)外侧，所述带动杆(1110)一端焊接有限位板(1111)，所述限位板(1111)一端处于带动杆(1110)外侧位置处焊接有移动弹簧(1112)，所述移动弹簧(1112)一端活动安装于保护盒(1105)一端，所述带动杆(1110)一端处于移动板(1104)一端位置处通过螺钉安装有夹持板(1113)，所述夹持板(1113)一端粘接有防护橡胶板(1114)；
所述移动板(1104)一侧两端均开设有滑动槽(1115)，所述滑动槽(1115)内部底面焊接有支撑弹簧(1116)，所述支撑弹簧(1116)顶面处于滑动槽(1115)内部焊接有滑动块(1117)，两个相邻所述滑动块(1117)分别通过螺钉安装于支撑杆(1118)一侧两端；
所述移动电动推杆(1102)和旋转电机(1106)的输入端均与外部电源输出端电性相连接。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用机械抛光装置，其特征在于，所述抛光箱体(1)内部顶部一端安装有气缸(2)，所述气缸(2)一端固定安装有安装块(3)，所述安装块(3)底端安装有带动电动推杆(4)，所述带动电动推杆(4)底端安装有抛光电机(5)，所述抛光电机(5)输出轴固定连接有安装板(6)，所述安装板(6)底端安装有抛光片(7)，所述抛光箱体(1)内部底面活动安装有工作台(8)，所述抛光箱体(1)内部底面处于工作台(8)一端位置处固定安装有移动电机(9)，所述移动电机(9)输出轴固定连接有移动丝杆(10)，所述移动丝杆(10)通过螺纹孔与工作台(8)相连接，所述带动电动推杆(4)、抛光电机(5)和移动电机(9)的输入端均与外部电源输出端电性相连接；
所述安装块(3)顶面通过螺钉安装有T型块，所述抛光箱体(1)内侧边部对应T型块位置处开设有T型槽，所述滑动槽(1115)和滑动块(1117)横截面的形状均为T型，所述滑动槽(1115)的内径大于滑动块(1117)的外径。
3.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用机械抛光装置，其特征在于，所述移动板(1104)一端与夹持板(1113)一端相互接触，所述旋转轴(1107)一端焊接有半圆板，所述移动板(1104)对应旋转轴(1107)位置处开设有对应孔，且对应孔的直径大于旋转轴(1107)与半圆板的半径之和，所述移动弹簧(1112)一端焊接有转动块，且保护盒(1105)对应转动块位置处开设有转动槽，且转动块嵌入安装于转动槽内部。
4.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用机械抛光装置，其特征在于，所述抛光箱体(1)内部靠近安装板(6)一端安装有清理降温组件(12)，所述清理降温组件(12)包括散热扇(1201)、散热管(1202)、散热孔(1203)、旋转圈(1204)、连接架(1205)、密封橡胶杆(1206)、连接弹簧(1207)、圆板(1208)、压柱(1209)、压杆(1210)、清理布(1211)、固定弹簧(1212)限制板(1213)和T型杆(1214)；
所述抛光箱体(1)内部顶部处于气缸(2)底端位置处安装有散热扇(1201)，所述散热扇(1201)一端固定连接有散热管(1202)，所述散热管(1202)底端处于抛光片(7)一侧开设有散热孔(1203)，所述安装板(6)内部活动安装有旋转圈(1204)，所述散热管(1202)底端活动安装于旋转圈(1204)外侧，所述抛光电机(5)与旋转圈(1204)一端通过连接架(1205)相连接，所述连接架(1205)一端对应散热孔(1203)位置处粘接有密封橡胶杆(1206)；
所述旋转圈(1204)顶端两侧均焊接有连接弹簧(1207)，所述连接弹簧(1207)顶端焊接有圆板(1208)，所述圆板(1208)底面处于连接弹簧(1207)内部通过螺钉安装有压柱(1209)，所述压柱(1209)底面焊接有压杆(1210)，所述压杆(1210)底面粘接有清理布(1211)；
一个所述压柱(1209)一端焊接有固定弹簧(1212)，所述固定弹簧(1212)一端焊接有限制板(1213)，所述限制板(1213)一端处于固定弹簧(1212)内部焊接有T型杆(1214)，所述T型杆(1214)贯穿压柱(1209)，所述散热扇(1201)的输入端与外部电源输出端电性相连接。
5.根据权利要求4所述的一种集成电路生产用机械抛光装置，其特征在于，所述散热管(1202)一端固定连接有限位杆，且限位杆一端通过螺钉安装有限位块，所述抛光箱体(1)内壁对应限位块位置处开设有限位槽，所述限位块与限位槽的纵截面的形状均为T型；
所述连接架(1205)底面与顶面均通过螺钉安装有安装圈，所述散热管(1202)处于两个安装圈内部。
6.根据权利要求1所述的一种集成电路生产用机械抛光装置，其特征在于，所述抛光箱体(1)一端安装有密封进料组件(13)，所述密封进料组件(13)包括防护板(1301)、进料孔(1302)、移动电动伸缩杆(1303)、进料板(1304)、带动槽(1305)、带动块(1306)、卡杆(1307)、旋转块(1308)、旋转板(1309)、卡位板(1310)、清理弹簧(1311)和清理板(1312)；
所述抛光箱体(1)一端通过螺钉安装有防护板(1301)，所述防护板(1301)一端开设有进料孔(1302)，所述抛光箱体(1)外侧一端安装有移动电动伸缩杆(1303)，所述移动电动伸缩杆(1303)一端安装于进料板(1304)底面，所述进料板(1304)处于进料孔(1302)内部，所述进料板(1304)底面开设有带动槽(1305)，所述带动槽(1305)内部滑动连接有带动块(1306)，所述带动块(1306)底面螺钉安装有卡杆(1307)，所述卡杆(1307)一端通过转轴安装有旋转块(1308)，所述进料板(1304)一端铰接有旋转板(1309)，所述旋转板(1309)通过螺钉安装于旋转块(1308)顶面；所述卡杆(1307)两端均通过螺钉安装有卡位板(1310)；
所述进料板(1304)顶面均匀焊接有清理弹簧(1311)，所述清理弹簧(1311)分别焊接于清理板(1312)四角位置处，且清理板(1312)为倾斜状，所述移动电动伸缩杆(1303)的输入端与外部电源输出端电性相连接。
7.根据权利要求6所述的一种集成电路生产用机械抛光装置，其特征在于，所述进料板(1305)顶面与抛光箱体(1)底面之间的夹角为30°，所述带动槽(1305)的内径与带动块(1306)外径相等，所述清理板(1312)顶面与抛光箱体(1)底面之间的夹角为55°，所述带动块(1306)一端粘接有橡胶块。
8.根据权利要求6所述的一种集成电路生产用机械抛光装置，其特征在于，所述抛光箱体(1)一端远离防护板(1301)位置处安装有出料缓冲组件(14)，所述出料缓冲组件(14)包括出料孔(1401)、出料板(1402)、带动弹簧(1403)、固定板(1404)、转动板(1405)、复位弹簧(1406)、收集框(1407)、倾斜角(1408)、缓冲槽(1409)、缓冲弹簧(1410)、滑块(1411)、复位板(1412)、转动弹簧(1413)、缓冲橡胶杆(1414)和复位块(1415)；
所述抛光箱体(1)一端开设有出料孔(1401)，所述出料孔(1401)一端铰接有出料板(1402)，所述出料板(1402)底端通过带动弹簧(1403)与出料孔(1401)底面相连接，所述出料孔(1401)顶面一端通过螺钉安装有固定板(1404)，所述固定板(1404)一端铰接有转动板(1405)，所述转动板(1405)一端均匀焊接有复位弹簧(1406)，若干所述复位弹簧(1406)一端均焊接于固定板(1404)底面；
所述抛光箱体(1)一端处于出料板(1402)一侧底端位置处放置有收集框(1407)，所述收集框(1407)顶面一端加工有倾斜角(1408)，所述收集框(1407)内部两侧两端均开设有缓冲槽(1409)，所述缓冲槽(1409)底面焊接有缓冲弹簧(1410)，所述缓冲弹簧(1410)顶面处于缓冲槽(1409)内部焊接有滑块(1411)，所述滑块(1411)一端铰接有复位板(1412)，所述复位板(1412)一端通过转动弹簧(1413)与滑块(1411)一端相连接，所述复位板(1412)顶面粘接有缓冲橡胶杆(1414)，所述缓冲槽(1409)底面一端焊接有复位块(1415)。
9.根据权利要求8所述的一种集成电路生产用机械抛光装置，其特征在于，所述支撑杆(1118)顶面开设有滚珠槽，且滚珠槽内部均匀活动安装有滚珠，所述出料板(1402)纵截面的形状为倾斜状，所述缓冲槽(1409)底面的宽度大于滑块(1411)底面的宽度。
10.根据权利要求4所述的一种集成电路生产用机械抛光装置，其特征在于，所述抛光箱体(1)内部一端安装有收集压缩组件(15)，所述收集压缩组件(15)包括收灰框(1501)、吸风扇(1502)、收集管(1503)、安装弹簧(1504)、压缩块(1505)、水平压缩板(1506)、圆弧板(1507)、落灰孔(1508)、转动压缩板(1509)和压缩槽(1510)；
所述抛光箱体(1)内部一端靠近移动板(1104)顶端位置处通过螺钉安装有收灰框(1501)，所述收灰框(1501)顶面安装有吸风扇(1502)，所述吸风扇(1502)顶面均匀贯穿连接有四个收集管(1503)，四个所述收集管(1503)一端均通过螺钉安装于旋转圈(1204)四角处；
所述收灰框(1501)内部两端均开设有压缩槽(1510)，所述压缩槽(1510)底面焊接有安装弹簧(1504)，所述安装弹簧(1504)顶端处于压缩槽(1510)内部焊接有压缩块(1505)，两个所述压缩块(1505)分别通过螺钉安装于水平压缩板(1506)两端，所述水平压缩板(1506)顶面中部两端均通过螺钉安装有圆弧板(1507)，所述水平压缩板(1506)顶面两端均匀开设有落灰孔(1508)，所述水平压缩板(1506)底面两端均铰接有转动压缩板(1509)，所述吸风扇(1502)的输入端与外部电源输出端电性相连接。
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